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技術 物品中継装置及びストッカ

出願人 村田機械株式会社
発明者 小合玄己後藤史樹
出願日 2017年11月28日 (2年11ヶ月経過) 出願番号 2018-562911
公開日 2019年11月7日 (1年0ヶ月経過) 公開番号 WO2018-135137
状態 特許登録済
技術分野 倉庫・貯蔵装置 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等
主要キーワード エアシリンダ機構 外気供給 移動限界位置 リニアモータ機構 搬出対象 軸周り方向 渡し作業 物品保持
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2019年11月7日)のものです。
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図面 (8)

課題

開口部よりも奥側の視認性を向上させ、作業者にとって容器等の物品の確認が容易となることにより作業性を向上させる。

解決手段

ストッカ200内外区画する外壁111に設けられ、設備内部と作業者との間で物品Mを中継する物品中継装置100であって、外壁の外側における作業者の通路Rに面して開口する開口部10と、開口部よりも奥行方向Dの奥側に設けられて物品が載置される載置台20と、開口部に対して上方かつ開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて外壁の一部となる第1カバー31と、第1カバーと開口部との間に設けられて外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第2カバー41と、を備える。

概要

背景

半導体製造工場などでは、レチクルまたは半導体ウエハ等を収容する容器を用いて、ストッカ保管装置)あるいは露光装置などの各種設備搬入または搬出を行っている。この各種設備への容器の搬入または搬出は、搬送システムによって行う一方、作業者によって行う場合がある。各種設備には、作業者による容器の搬入または搬出を行うために、物品中継装置マニュアルポート)を備えることが知られている(例えば、特許文献1参照)。

このような物品中継装置は、例えば、ストッカ内外を区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品(容器)を中継する。物品中継装置には、外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部が設けられており、この開口部よりも奥行方向の奥側には物品が載置される載置台が配置される。また、開口部の上方には、制御盤等が配置されており、この制御盤を覆うためのカバーが外壁の一部として設けられる。

概要

開口部よりも奥側の視認性を向上させ、作業者にとって容器等の物品の確認が容易となることにより作業性を向上させる。ストッカ200内外を区画する外壁111に設けられ、設備内部と作業者との間で物品Mを中継する物品中継装置100であって、外壁の外側における作業者の通路Rに面して開口する開口部10と、開口部よりも奥行方向Dの奥側に設けられて物品が載置される載置台20と、開口部に対して上方かつ開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて外壁の一部となる第1カバー31と、第1カバーと開口部との間に設けられて外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第2カバー41と、を備える。

目的

本発明は、開口部よりも奥側の視認性を向上させ、作業者にとって容器等の物品の確認が容易となることにより作業性を向上させることが可能な物品中継装置及びストッカを提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

設備内外区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品中継する物品中継装置であって、前記外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部と、前記開口部よりも奥行方向の奥側に設けられて物品が載置される載置台と、前記開口部に対して上方かつ前記開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて前記外壁の一部となる第1カバーと、前記第1カバーと前記開口部との間に設けられて前記外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第2カバーと、を備える、物品中継装置。

請求項2

記載置台を、奥行方向の手前側の第1位置と、前記第1位置よりも奥行方向の奥側でありかつ設備内部に備えられた搬送装置に対する物品の受け渡し位置である第2位置との間で移動させる移動機構を備える、請求項1に記載の物品中継装置。

請求項3

前記第1位置は、前記載置台に載置された物品の少なくとも一部が、前記開口部の上端を含みかつ前記第2カバーに接する仮想平面よりも前記奥行方向の手前側となる位置であり、前記第2位置は、前記第1位置よりも奥行方向の奥側となる位置である、請求項2に記載の物品中継装置。

請求項4

前記第1位置は、奥行方向において前記第1カバーよりも奥側の位置であり、前記移動機構の奥行方向の手前側限界位置である、請求項2または請求項3に記載の物品中継装置。

請求項5

前記開口部に対して奥行方向の奥側に、前記外壁の外側の外気を供給する外気供給部を備える、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の物品中継装置。

請求項6

前記第2カバーの一部に、前記外気供給部における外気取込口が設けられる、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の物品中継装置。

請求項7

請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の物品中継装置を備える、ストッカ

請求項8

物品が載置される複数のを内部に備え、前記複数の棚の少なくとも1つは、前記第1カバーに対して奥行方向の奥側かつ前記載置台に対して上方に配置される、請求項7に記載のストッカ。

技術分野

0001

本発明は、物品中継装置及びストッカに関する。

背景技術

0002

半導体製造工場などでは、レチクルまたは半導体ウエハ等を収容する容器を用いて、ストッカ(保管装置)あるいは露光装置などの各種設備搬入または搬出を行っている。この各種設備への容器の搬入または搬出は、搬送システムによって行う一方、作業者によって行う場合がある。各種設備には、作業者による容器の搬入または搬出を行うために、物品中継装置(マニュアルポート)を備えることが知られている(例えば、特許文献1参照)。

0003

このような物品中継装置は、例えば、ストッカ内外を区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品(容器)を中継する。物品中継装置には、外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部が設けられており、この開口部よりも奥行方向の奥側には物品が載置される載置台が配置される。また、開口部の上方には、制御盤等が配置されており、この制御盤を覆うためのカバーが外壁の一部として設けられる。

先行技術

0004

特許第5332930号公報

発明が解決しようとする課題

0005

例えば、物品がレチクルを収容する容器(レチクルポッド)の場合、この容器を上記した物品中継装置で中継する場合、SEMI等の規格により容器を載置する高さが設定されており、この高さは作業者の目線よりかなり低くなっている。また、レチクルポッドは、収容するレチクルが1枚または数枚であるため、上下方向の高さがない。したがって、物品中継装置において、開口部の上下方向も小さく設定されている。また、開口部の上方には、上記したように制御盤等を覆うカバーが設けられており、このカバーが設備の外壁から突出した状態となっている。そのため、作業者が立ったまま開口部の奥側を視認することが難しく、物品中継装置に載置された容器が見えにくくなって作業性を低下させるといった問題がある。

0006

本発明は、開口部よりも奥側の視認性を向上させ、作業者にとって容器等の物品の確認が容易となることにより作業性を向上させることが可能な物品中継装置及びストッカを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0007

本発明に係る物品中継装置は、設備内外を区画する外壁に設けられ、設備内部と作業者との間で物品を中継する物品中継装置であって、外壁の外側における作業者の通路に面して開口する開口部と、開口部よりも奥行方向の奥側に設けられて物品が載置される載置台と、開口部に対して上方かつ開口部よりも奥行方向の手前側の位置に設けられて外壁の一部となる第1カバーと、第1カバーと開口部との間に設けられて外壁の一部となりかつ下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状の第2カバーと、を備える。

0008

また、載置台を、奥行方向の手前側の第1位置と、第1位置よりも奥行方向の奥側でありかつ設備内部に備えられた搬送装置に対する物品の受け渡し位置である第2位置との間で移動させる移動機構を備えてもよい。また、第1位置は、載置台に載置された物品の少なくとも一部が、開口部の上端を含みかつ第2カバーに接する仮想平面よりも奥行方向の手前側となる位置であり、第2位置は、第1位置よりも奥行方向の奥側となる位置であってもよい。また、第1位置は、奥行方向において第1カバーよりも奥側の位置であり、移動機構は、奥行方向の手前側に向かう方向に第1位置まで載置台を移動可能であってもよい。また、開口部に対して奥行方向の奥側に、外壁の外側の外気を供給する外気供給部を備えてもよい。また、第2カバーの一部に、外気供給部における外気取込口が設けられてもよい。

0009

本発明に係るストッカは、上記した物品中継装置を備える。また、物品が載置される複数のを内部に備え、複数の棚の少なくとも1つは、第1カバーに対して奥行方向の奥側かつ載置台に対して上方に配置されてもよい。

発明の効果

0010

本発明に係る物品中継装置は、第2カバーが第1カバーから下方に向かうにつれて奥行方向の奥側へ向かう形状であるため、作業者が立った状態で、斜め上方から開口部の奥側の一部を視認することができる。その結果、作業者が開口部の奥側に物品が存在することを容易に確認することができ、物品の受け渡し作業などの作業性を向上させることができる。

0011

また、載置台を、奥行方向の手前側の第1位置と、第1位置よりも奥行方向の奥側でありかつ設備内部に備えられた搬送装置に対する物品の受け渡し位置である第2位置との間で移動させる移動機構を備える場合、第1位置の載置台により、作業者によって載置台に対する物品の受け渡しが容易となり、また、第2位置の載置台により、搬送装置によって載置台に対する物品の受け渡しを確実に行うことができる。また、第1位置は、載置台に載置された物品の少なくとも一部が、開口部の上端を含みかつ第2カバーに接する仮想平面よりも奥行方向の手前側となる位置であり、第2位置は、第1位置よりも奥行方向の奥側となる位置である場合、第1位置の載置台に載置された物品の一部を開口部の斜め上方から視認可能となり、物品の存在を容易に確認できる。

0012

また、第1位置が、奥行方向において第1カバーよりも奥側の位置であり、移動機構の奥行方向の手前側限界位置である場合、第1位置の載置台が第1カバーから突出して配置されることを防止できる。また、開口部に対して奥行方向の奥側に、外壁の外側の外気を供給する外気供給部を備える場合、開口部の内部の雰囲気を外気に近い状態に設定することができる。また、第2カバーの一部に、外気供給部における外気取込口が設けられる場合、外気取込口を開口部に近い第2カバーに設けられるので、ダクト等が短くなりコストを低減できる。

0013

また、本発明に係るストッカは、上記した物品中継装置を備えるので、作業者がこのストッカに対して物品の受け渡しを行う際の作業性が向上する。また、物品が載置される複数の棚を内部に備え、複数の棚の少なくとも1つが、第1カバーに対して奥行方向の奥側かつ載置台に対して上方に配置される場合、ストッカ内に物品を効率よく収容することができる。

図面の簡単な説明

0014

本実施形態に係る物品中継装置の一例を示す側面図である。
図1に示す物品中継装置の正面図である。
(A)は載置台が第1位置にある場合を示す平面図、(B)は載置台が第2位置にある場合を示す平面図である。
(A)は載置台が第1位置にある場合を示す側面図、(B)は載置台が第2位置にある場合を示す側面図である。
外気供給部の一例を示す断面図である。
本実施形態に係るストッカの一例を示す斜視図である。
ストッカの内部構成の一例を示す図である。

実施例

0015

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。ただし、本発明はこの実施形態に限定されない。また、図面においては実施形態を説明するため、一部分を大きくまたは強調して記載するなど適宜縮尺を変更して表している。

0016

図1及び図2は、本実施形態に係る物品中継装置の一例を示す図である。図1側方から見た場合、図2は正面から見た図をそれぞれ示している。図1及び図2に示すように、物品中継装置100は、設備の1つであるストッカ200の内外を区画する外壁111の一部に設けられ、ストッカ内部(設備内部)K2と作業者との間で物品Mを中継する。物品中継装置100は、外壁111のうち、例えば作業者が通行する通路Rに面して配置される。以下、物品中継装置100は、通路Rに面する側が正面であるとして説明する。

0017

本実施形態では、設備としてストッカ200を示しているが、この形態に限定されず、例えば、露光装置などの処理装置を有する設備であってもよい。また、本実施形態において、物品Mは、露光装置で使用されるレチクルを収容するレチクルポッド(容器)であるが、レチクルポッドに限定されず、例えば、ウエハを収容するFOUPであってもよい。物品Mは、収容するレチクルが1枚または数枚であり、上下方向の寸法が1枚又は数枚のレチクルを収容可能な高さに形成されている。

0018

物品中継装置100は、図1及び図2に示すように、開口部10と、載置台20と、移動機構50と、シャッタ機構60と、を備える。第1カバー30、第2カバー40、及び外気供給部70は、物品中継装置100に対応して、設備としてのストッカ200に設けられている。また、第1カバー30及び第2カバー40は、ストッカ200の外壁111の一部を形成している。開口部10は、外壁111の外側における作業者の通路Rに面して開口する。つまり、開口部10は、物品中継装置100の正面に設けられる。この開口部10は、正面側から見て、矩形状に形成されている。また、開口部10は、上下方向の寸法が物品Mを通過可能な寸法に設定されている。本明細書において、矩形は、長方形及び正方形を含む意味で用いている。

0019

開口部10は、奥行方向Dに外壁111を貫通して設けられる。物品中継装置100は、奥行方向Dの奥側に内側開口部11を有している。内側開口部11は、開口部10と同様に矩形状であり、ストッカ内部K2側に形成される。物品中継装置100は、開口部10と内側開口部11との間に、底面12と、側面13、14と、上面15とで形成された装置内部K1を備える。

0020

載置台20は、物品Mが載置される。載置台20は、装置内部K1に配置され、開口部10よりも奥行方向Dの奥側に設けられる。載置台20は、不図示のガイド部により奥行方向Dに沿って奥側及び手前側に移動可能である。また、載置台20は、物品Mを載置する高さHがSEMI等の規格に基づいて設定されている。載置台20の高さHは、作業者の目線よりも低い高さとなっている。

0021

第1カバー30は、例えば金属または樹脂などによって外壁111の一部として設けられる。第1カバー30は、開口部10に対して上方かつ開口部10よりも奥行方向Dの手前側の位置に設けられ、外壁111から外側に突出した状態で配置されている。第1カバー30は、正面部31と、側面部32と、上面部33とを有する。正面部31、側面部32及び上面部33は、それぞれ平面状に形成され、互いに直交して配置される。

0022

正面部31は、上下方向に沿って配置され、正面視において矩形状である。正面部31は、作業者の目線に近い高さに配置される。正面部31には、操作盤34及びスイッチ部35が配置されている(図2参照)。操作盤34は、例えば、物品中継装置100の各部を操作する入力部と、画像及び文字等を表示する表示部とを有する。入力部としては、例えばタッチパネルレバー、ボタン等が用いられる。表示部としては、例えば液晶ディスプレイ等が用いられる。スイッチ部35は、後述の外気供給部70の駆動または停止を切り替える。操作盤34又はスイッチ部35が作業者の目線に近い正面部31に配置されることにより、作業者の操作性及び利便性が高くなる。第1カバー30は、例えば内部に制御基盤等を収容可能である。なお、スイッチ部35は、なくてもよい。例えば、外気供給部70は、後述するシャッタ61、62が開いているときにファン73を駆動させるように制御されてもよい。

0023

第2カバー40は、第1カバー30と同様に、例えば金属または樹脂などによって外壁111の一部として設けられ、第1カバー30と開口部10との間に設けられる。第2カバー40は、例えば、第1カバー30と一体に形成されてもよいし、別体に形成されて締結部材によって連結されてもよい。第1カバー30と第2カバー40との間は、隙間なく接合されており、外壁111と同様にストッカ200の内外を区画する。

0024

第2カバー40は、傾斜部41と、側面部42とを有する。傾斜部41は、下方に向かうにつれて奥行方向Dの奥側へ向かう形状である。傾斜部41は、第1カバー30の正面部31の下端31bにおいて開口部10側に向かうように配置される。したがって、傾斜部41は、正面部31に対して傾斜して配置される。傾斜部41は、下端41bが開口部10の上端10aに一致する高さに配置されるが、この構成に限定されない。第2カバー40は、傾斜部41を備えることにより、設備内部のスペースを確保しつつ、開口部10が上方から見て隠れることを抑制している。

0025

傾斜部41は、矩形の板状の部材を用いられて平面状であるが、この形態に限定されず、例えば曲面状であってもよいし、複数の平面又は曲面が組み合わせた形状であってもよい。本実施形態において、傾斜部41は、正面部31の下端31bと開口部10の上端10aとを一平面で接続した形状である。

0026

移動機構50は、載置台20を奥行方向Dの第1位置P1と第2位置P2との間で移動させる。第1位置P1は、載置台20に載置された物品Mの少なくとも一部が、開口部10の上端を含みかつ第2カバー40に接する仮想平面Sよりも奥行方向Dの手前側となる位置である。本実施形態において、仮想平面Sは、傾斜部41を含む平面である。また、第1位置P1は、奥行方向Dにおいて第1カバー30よりも奥側の位置である。第2位置P2は、第1位置P1よりも奥行方向Dの奥側の位置である。第2位置P2は、ストッカ内部K2に備えられた搬送装置(図7参照)に対する物品Mの受け渡し位置である。

0027

移動機構50としては、載置台20を不図示のガイド部に沿って直線方向に移動させることが可能な機構が用いられる。このような駆動装置としては、例えば、ボールネジ機構リニアモータ機構回転ベルト機構、又はエアシリンダ機構などが挙げられる。移動機構50は、制御装置63によって移動方向、移動量及び移動のタイミング等が制御される。制御装置63は、図1では移動機構50の下方に記載しているが、例えば、第2カバー40の内側に配置されてもよいし、物品中継装置100の外側に配置されてもよい。また、制御装置63は、ストッカ200の制御装置と電気的に接続されてもよい。

0028

移動機構50を駆動して載置台20を第1位置P1に配置した場合には、載置台20が開口部10に近い位置となり、作業者によって載置台20に対する物品Mの受け渡しが容易となる。また、この場合、作業者は、仮想平面Sよりも手前側において、載置台20に載置された物品Mの一部が斜め上方から視認可能となり、物品Mの存在を容易に確認できる。すなわち、作業者は、しゃがんで覗き込むなどの姿勢を変えて物品Mの存在を確認する必要がなく、作業性を向上させることができる。

0029

また、第1位置P1が載置台20の移動範囲において手前側の移動限界位置である。この構成により、載置台20(または物品M)が第1カバー30から外側に突出することを防止する。また、第2位置P2は、載置台20の移動範囲において奥側の移動限界位置であり、ストッカ内部K2に設置されている不図示の物品搬送装置との間で物品Mの受け渡しを行うことが可能な位置である。したがって、載置台20が第2位置P2に配置されることにより、ストッカ内部K2の物品搬送装置との間で物品の受け渡しを確実に行うことが可能となる。

0030

シャッタ機構60は、装置内部K1において奥行方向Dの奥側に配置される。シャッタ機構60は、物品中継装置100の装置内部K1と、ストッカ200のストッカ内部K2との間を開閉する。シャッタ機構60は、シャッタ61、62を有する。シャッタ61、62は、それぞれ1枚の湾曲した金属板または樹脂板で形成されている。

0031

図3及び図4は、本実施形態に係る物品中継装置の動作を示す図である。図3(A)及び(B)は、上方から見た状態を示す。図4(A)及び(B)は、側方から見た状態を示す。シャッタ61、62は、不図示の駆動機構によって上下方向の中心軸AXの軸周り方向にそれぞれ移動可能である。なお、シャッタ61、62は、互いに連動して移動可能である。制御装置63は、駆動機構を駆動してシャッタ61、62の開閉を制御する。例えば、制御装置63は、載置台20が第1位置P1にある場合に閉じ、載置台20が第2位置P2に移動した際に開くように制御してもよい。

0032

図3(A)及び図4(A)に示すように、シャッタ61、62は、閉じた状態では互いに対向する端辺61a、62a同士が当接した状態で、内側開口部11を塞ぐように配置される。なお、シャッタ61、62の端辺61a、62aにそれぞれ弾性部材が配置されてもよい。シャッタ61、62が閉じることにより、物品中継装置100の装置内部K1とストッカ200のストッカ内部K2との間をシールして、ストッカ内部K2の雰囲気が装置内部K1に流入するのを抑制する。

0033

次に、図3(B)及び図4(B)に示すように、シャッタ61、62が開くことにより、中心軸AXの軸周り方向にそれぞれ移動し、内側開口部11を開放する。なお、シャッタ61、62が開いた際は、第2位置P2を挟む位置に退避している。シャッタ61は、側面13に沿って退避し、シャッタ62は、側面14に沿って退避する。シャッタ61、62は、物品Mを奥行方向Dに通過可能な距離を空けて退避している。なお、シャッタ61、62の開閉の軌道は、載置台20の軌道と干渉しないように設定される。また、シャッタ61、62が開くタイミングは、載置台20が第2位置P2に達した後であってもよいし、載置台20が第2位置P2に移動する途中であってもよい。

0034

また、シャッタ61、62を開閉する駆動機構として、移動機構50の駆動力をシャッタ61、62の開閉に伝達するリンク機構が用いられてもよい。このリンク機構は、載置台20の移動と連動してシャッタ61、62を開閉させてもよい。すなわち、リンク機構は、載置台20の直線方向の運動を、シャッタ61、62の中心軸AXを中心とする回転方向への運動に変換する機構が用いられる。また、リンク機構は、載置台20が第1位置P1に配置される場合、シャッタ61、62を閉じた状態とし、載置台20が第2位置P2に配置される場合、シャッタ61、62を開いた状態とするように構成されてもよい。

0035

このリンク機構を用いることにより、載置台20が第1位置P1から第2位置P2に移動すると、載置台20の移動に連動してシャッタ61、62を開くことができ、また、載置台20が第2位置P2から第1位置P1に移動すると、載置台20の移動に連動してシャッタ61、62を閉じるので、シャッタ61、62の開閉に別の駆動源を用いないので装置コストを低減でき、さらに制御装置63による制御を簡単にすることができる。

0036

外気供給部70は、開口部10の近傍であって装置内部K1の上方に配置される。外気供給部70は、外壁111の外側の外気を物品中継装置100の装置内部K1に供給する。外気供給部70は、開口部10の装置内部K1に外気を供給することにより、装置内部K1を外気に近い状態にすることが可能である。シャッタ61、62を開いた際に、ストッカ内部K2の雰囲気が装置内部K1に流入するので、装置内部K1に外気を供給することで装置内部K1を外気に近づけることができ、装置のメンテナンス等で作業者が装置内部K1内に頭部を入れたときでも円滑に作業を行うことができる。

0037

図5は、外気供給部70の一例を示す断面図である。図5に示すように、外気供給部70は、外気取込口71と、ダクト72と、ファン73とを有する。外気取込口71は、第2カバー40の一部に設けられる。外気取込口71は、開口部10に近い第2カバー40の下方において水平方向に複数並んで形成される(図2参照)。このため、例えば、第1カバー30あるいは他の外壁111などに外気取込口71を設ける場合に比べて、ダクト72が短くなり、装置コストの低減が可能となる。

0038

ダクト72は、第2カバー40の内部に配置され、外気取込口71から取り込まれた外気を奥行方向Dの奥側に案内する。ファン73は、下方に向けて配置され、ダクト72によって案内された外気を上面15から下方に向けて装置内部K1に送り込む。ファン73の駆動または停止は、スイッチ部35(図2参照)によりマニュアルで操作してもよいし、制御装置63により制御されてもよい。ファン73の駆動を制御装置63で制御する場合、シャッタ61、62が開いて閉じた後に駆動するといった制御でもよい。

0039

次に、上記した物品中継装置100を用いた物品Mの中継動作を説明する。まず、作業者により物品Mをストッカ200内に搬入する場合を説明する。物品Mの搬入を行う場合、作業者は、例えば、物品Mを台車等に載置して通路Rを物品中継装置100の正面まで運搬する。続いて、作業者は、操作盤34を操作して、載置台20を第1位置P1に配置させる。なお、この物品中継装置100は、待機時(不使用時)において載置台20を第1位置P1に配置させておいてもよい。載置台20を第1位置P1に配置する場合、上記したようにシャッタ61、62は、閉じた状態となっている。

0040

作業者は、物品中継装置100の正面に立った状態で載置台20に既に物品Mが載置されていないことを確認する。この場合、作業者は、開口部10の装置内部K1を斜め上方から見下ろして視認する。本実施形態では、第2カバー40が傾斜部41を有するため、作業者が開口部10を介して視認する場合、視線を遮る物体がない。したがって、作業者は、立った状態で開口部10の奥側を見ることができ、第1位置P1の載置台20において物品Mの有無を容易に確認できる。

0041

作業者は、第1位置P1の載置台20に物品Mがないことを確認した場合、台車等から物品Mを持ち上げて載置台20に載置する。この場合、載置台20が開口部10に近い第1位置P1に配置されているため、作業者は容易に物品Mを載置台20に載置することができる。また、作業者が物品Mを載置台20に載置する際、スイッチ部35を操作して外気供給部70を駆動させてもよい。

0042

作業者は、載置台20に物品Mを載置した後、操作盤34を操作して、載置台20を第1位置P1から第2位置P2に移動させる。この操作により、移動機構50は、物品Mを載置した載置台20を奥行方向Dに沿って移動させ、第2位置P2に配置する。制御装置63により、あるいは上記したリンク機構により、載置台20の移動に連動してシャッタ61、62が開く。この動作により、例えば図4(B)に示すように、物品Mは、ストッカ200の搬送装置130を用いて搬送可能な状態となる。搬送装置130が物品Mを受け取った後、制御装置63により、あるいは上記したリンク機構によりシャッタ61、62を閉じる。

0043

次に、作業者により物品Mの搬出を行う場合を説明する。物品Mの搬出を行う場合、載置台20を第2位置P2に配置させ、制御装置63により、あるいは上記したリンク機構によりシャッタ61、62を開く。シャッタ61、62が開いたことを確認して、ストッカ200の制御により、搬送装置130が物品Mを載置台20に載置する。搬送装置130が装置内部K1から退避した後、シャッタ61、62を閉じ、物品Mが載置された載置台20を第2位置P2から第1位置P1に移動させる。なお、シャッタ61、62を閉じたタイミングで外気供給部70を駆動させてもよい。

0044

作業者は、物品中継装置100の正面に立った状態で、物品Mを載置した載置台20が第1位置P1に配置されていることを確認する。この場合、作業者は、開口部10の装置内部K1を斜め上方から見下ろして視認する。本実施形態では、第2カバー40が傾斜部41を有するため、作業者が第1位置P1を視認する場合、視線を遮る物体が配置されない。したがって、作業者は、第1位置P1の載置台20に物品Mが載置されていることを容易に確認できる。

0045

作業者は、第1位置P1の載置台20に物品Mが載置されていることを確認した後、載置台20から物品Mを持ち上げて開口部10から物品Mを取り出す。この場合、載置台20が開口部10に近い第1位置P1に配置されているため、作業者は容易に物品Mを載置台20から取り出すことができる。作業者は、載置台20から物品Mを取り出した後、あらかじめ通路Rに準備しておいた台車等に載置する。

0046

このように、本実施形態に係る物品中継装置100によれば、第2カバー40が第1カバー30から下方に向かうにつれて奥行方向Dの奥側へ向かう形状であるため、作業者が立った状態で、斜め上方から開口部10の奥側の一部を視認することができる。この構成により、作業者が開口部10の奥側に物品M又は載置台20が存在することを容易に確認することができ、物品Mの受け渡し作業の作業性を向上させることができる。

0047

図6は、本実施形態に係るストッカ200の一例を示す斜視図である。図7は、ストッカ200の内部構成の一例を示す図である。図6及び図7に示すように、ストッカ200は、複数の物品Mを保管することが可能である。ストッカ200は、本体部110と、棚部120と、搬送装置130と、走行部140とを有している。ストッカ200は、各部を統括的に制御する不図示の制御装置を備えている。

0048

本体部110は、床部FLに設置されており、外壁111を有する。外壁111は、庫内の空間を囲むように配置され、ストッカ200の内外を区画する。本体部110は、外壁111の一の面に、上記した物品中継装置100を備えている。

0049

棚部120は、物品Mを載置する。棚部120は、不図示の支柱等に支持され、庫内の上下方向(Z方向)に複数段設けられる。本実施形態では、このような複数段の棚部120が、平面方向に1列又は複数列に配置される。また、複数の棚部120のうち少なくとも1つは、第1カバー30に対して奥行方向Dの奥側かつ載置台20に対して上方に配置されている。このため、物品中継装置100の上方のスペースが物品Mの保管スペースとして有効に利用されている。

0050

各棚部120には、それぞれ切り欠き部が形成される。切り欠き部は、ストッカ200の庫内で搬送装置130により物品Mを移載する際の通過部分として用いられる。なお、搬送装置130の物品保持部133が物品Mをすくって載置する構成である場合、物品中継装置100の載置台20は、棚部120と同様に物品保持部133と干渉しない形状の切り欠き部が設けられる。また、各棚部120は、例えば、上面に3本のピンを備え、このピンが物品Mの底面に備える3つの溝部にそれぞれ入り込むことにより、棚部120に載置した物品Mを位置決めしてもよい。

0051

搬送装置130は、走行部140によって奥行方向Dと直交する方向に走行し、複数の棚部120の間で物品Mを移載する。搬送装置130は、基部131と、伸縮部132と、物品保持部133とを有する。基部131は、後述の昇降台143に固定される。伸縮部132は、基部131に対して棚部120に向けて伸縮可能に設けられる。物品保持部133は、伸縮部132の先端に設けられ、物品Mを載置する。物品保持部133は、伸縮部132の伸縮により奥行方向Dに移動可能である。物品保持部133は、例えば上面に3本のピンを備え、このピンが物品Mの底面に備える溝部に入り込むことにより、物品保持部133に載置した物品Mを位置決めしてもよい。なお、搬送装置130は、物品Mを載置する構成に限定されず、例えば、物品Mのフランジ部を把持する構成、または物品Mの側面を把持する構成であってもよい。

0052

走行部140は、奥行方向Dと直交する方向に沿って配置されたレール150に沿って走行する。走行部140は、本体部141と、マスト142と、昇降台143とを有する。レール150は、庫内の床部FL及び天井部CLに平行に配置される。本体部141は、不図示の走行駆動装置を備える。マスト142は、上下の本体部141との間に鉛直方向に沿って配置される。マスト142は、本体部141の移動に伴って移動する。昇降台143は、マスト142に沿って鉛直方向に昇降可能に配置される。搬送装置130は、走行部140による停止位置、及び昇降台143による昇降位置をそれぞれ設定することにより、載置台20又は棚部120のいずれかに対して物品Mの受け渡しを行うことが可能である

0053

次に、上記したストッカ200の動作について説明する。まず、作業者により物品Mの搬入を行う場合、ストッカ200の制御装置は、物品中継装置100から、物品Mを載置した載置台20が第2位置P2に配置されたことが通知される。続いて、走行部140及び昇降台143を駆動して搬送装置130の物品保持部133を物品中継装置100の奥行方向Dの奥側に配置させる。ストッカ200の制御装置は、シャッタ61、62が開いたことを確認して、伸縮部132を奥行方向Dの手前側に伸ばして物品保持部133により載置台20の物品Mを受け取って保持する。なお、物品Mが第2位置P2に配置されているので、搬送装置130の物品保持部133により容易かつ確実に物品Mを保持することができる。

0054

物品Mを保持した後、搬送装置130は、伸縮部132を収縮させて物品保持部133及び物品Mをストッカ内部K2に取り込む。物品Mを取り込んだ後、走行部140及び昇降台143を駆動して搬送先の棚部120に対応する位置に物品保持部133を移動させる。その後、搬送装置130は、伸縮部132を伸ばして物品保持部133の物品Mを棚部120に載置する。この動作により、物品Mが搬送先の棚部120に搬入される。

0055

また、作業者により物品Mの搬出を行う場合、ストッカ200の制御装置は、走行部140及び昇降台143を移動させて、搬出対象となる物品Mが載置された棚部120に対応する位置に物品保持部133を移動させる。その後、搬送装置130は、伸縮部132を伸ばして物品保持部133により棚部120から物品Mを受け取って保持する。続いて、走行部140及び昇降台143を駆動して物品保持部133を物品中継装置100の奥行方向Dの奥側に配置させる。

0056

続いて、ストッカ200の制御装置は、シャッタ61、62が開いたこと、及び物品Mが載置されていない載置台20が第2位置P2に配置されたことを確認した後、伸縮部132を奥行方向Dの手前側に伸ばして、第2位置P2の載置台20に物品Mを載置する。なお、載置台20が第2位置P2に配置されているので、搬送装置130は、容易かつ確実に物品Mを載置台20に載置することができる。

0057

続いて、搬送装置130は、伸縮部132を収縮させて物品保持部133をストッカ内部K2に引き込む。ストッカ200の制御装置は、載置台20に物品Mを載置したことを物品中継装置100に通知する。物品中継装置100は、この通知を受けてシャッタ61、62が閉じ、移動機構50を駆動して載置台20を第2位置P2から第1位置P1に移動させる。その後、作業者が第1位置P1に配置された物品Mを取り出すことにより、物品Mの搬出が完了する。こととき、作業者は、斜め上方から第1位置P1の載置台20上の物品Mを視認できるので、物品Mの有無を容易に確認できる。

0058

このように、本実施形態に係るストッカ200によれば、上記した物品中継装置100を備えるため、作業者による物品Mの搬入及び搬出を行う場合、開口部10の奥側の視認性を向上させ、作業者にとって物品Mの有無の確認が容易となる。その結果、作業者による物品Mの搬入及び搬出を行う際の作業性を向上させることができる。

0059

以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。上記したストッカ200では、複数の棚部120のうち少なくとも1つが第1カバー30に対して奥行方向Dの奥側かつ載置台20に対して上方に配置された構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第1カバー30に対して奥行方向Dの奥側かつ載置台20に対して上方のスペースに棚部120を設けない構成であってもよい。

0060

また、上記した実施形態では、外気取込口71が第2カバー40の正面側に設けられた構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、外気取込口71は、第2カバー40のうち側面部42に設けられてもよい。また、外気取込口71は、例えば、第1カバー30に設けられてもよい。

0061

また、上記した実施形態では、ファン73が開口部10に対して奥行方向Dの奥側に配置された構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。ファン73は、開口部10に対して奥行方向Dの手前側に配置されてもよい。また、外気供給部70は、装置内部K1の上方に配置されることに代えて、装置内部K1の側方または下方に配置されてもよい。また、外気供給部70を備えない構成であってもよい。

0062

また、上記した実施形態では、第1位置P1が奥行方向Dにおいて第1カバー30よりも奥側の位置である場合を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第1位置P1が第1カバー30よりも奥行方向Dの手前側に配置されてもよい。また、上記した実施形態では、移動機構50が奥行方向Dの手前側に向かう方向に第1位置P1まで載置台20を移動可能な構成を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、移動機構50は、奥行方向Dの手前側に向かう方向に第1位置P1を超える手前側まで載置台20を移動可能な構成であってもよい。

0063

また、上記した実施形態では、載置台20に載置された物品Mの少なくとも一部が、仮想平面Sよりも奥行方向Dの手前側となる位置を第1位置P1に設定した場合を例に挙げて説明したが、この構成に限定されない。例えば、第1位置P1は、載置台20に載置された物品Mの全部が仮想平面Sよりも奥行方向Dの手前側となる位置に設定されてもよいし、載置台20に載置された物品Mの全部が仮想平面Sよりも奥行方向Dの奥側となる位置に設定されてもよい。また、法令許容される限りにおいて、日本特許出願である特願2017−009445、及び本明細書で引用した全ての文献、の内容を援用して本文の記載の一部とする。

0064

D・・・奥行方向
K2・・・ストッカ内部(設備内部)
M・・・物品
P1・・・第1位置
P2・・・第2位置
R・・・通路
S・・・仮想平面
10・・・開口部
10a・・・上端
20・・・載置台
30・・・第1カバー
40・・・第2カバー
41・・・傾斜部
50・・・移動機構
60・・・シャッタ機構
61、62・・・シャッタ
63・・・制御装置
70・・・外気供給部
71・・・外気取込口
72・・・ダクト
100・・・物品中継装置
111・・・外壁
120・・・棚部
130・・・搬送装置
200・・・ストッカ(設備)

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