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技術 タッチパネル、タッチパネルの製造方法

出願人 東レ株式会社
発明者 三井博子諏訪充史山舖有香
出願日 2017年10月26日 (2年6ヶ月経過) 出願番号 2017-557154
公開日 2019年9月19日 (7ヶ月経過) 公開番号 WO2018-084067
状態 不明
技術分野
  • -
主要キーワード 寸法精度評価 カット端面 非ポリマー基 耐熱ポリマー 亜鉛スズ酸化物 グリーンランプ 銅キレート化合物 特性評価システム
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2019年9月19日)のものです。
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図面 (1)

透明層(OC−D)、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)がこの順に積層された部位を含むタッチパネルであって、前記透明層(OC−D)が下記化学式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造を有する耐熱ポリマーを含有する、タッチパネル。寸法精度に優れる加工方法への適用が可能で、導電性組成物の残渣が抑制され、色目耐湿熱性に優れた、微細パターン形成およびフレキシブル対応が可能なタッチパネルを提供する。

化1

上記一般式(1)および(2)中、R1およびR2はそれぞれ独立に1価の有機基を示す。mおよびnはそれぞれ独立に0〜4の整数を示す。m個のR1およびn個のR2はそれぞれ同じでも異なってもよい。

概要

背景

近年、モバイルタブレット等のタッチパネルにおいて、デザイン性や利便性耐久性の観点から、フレキシブル化が嘱望されている。しかしながら、タッチパネルのフレキシブル化には種々の課題があり、まだ実用には到っていないのが現状である。その主たる課題が、タッチパネル技術、特にタッチ配線技術の不足である。従来、タッチ配線の形成方法としては、視認性向上の観点から、ガラスフィルム等の基材上にITO等の透明導電金属からなる薄膜を形成し、エッチングによりパターン加工する手法が広く用いられてきた。しかしながら、ITO配線は剛直で脆いため、曲げ耐性が低く、曲げるとクラックが発生する課題があった。そのため、ITOに替わるタッチ配線として、金属メッシュ配線、金属ナノワイヤーカーボンナノチューブといった種々の技術が提案されてきた。中でも、曲げ耐性と視認性、高導電性を兼ね備えるタッチ配線として、金属メッシュ配線技術が注目を浴びている。

金属メッシュ配線は、視認できない程度に細い金属配線メッシュパターンに形成することにより得られる。例えば、金や銀、銅などの抵抗値の小さい金属を用いることにより、導電性の良好な配線を得ることができる。さらに、十分に設計された有機成分を適量含有させることにより曲げ耐性を向上させることができ、フレキシブル化にも十分対応できる。

このような金属メッシュ配線を形成する方法としては、例えば、導電性の金属粒子と有機成分からなる導電ペーストを用い、スクリーン印刷インクジェットフォトリソグラフィーなどの方法により配線パターンを形成する方法が挙げられる(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、視認できないほどの微細パターンを形成するためには、導電性粒子粒径ナノサイズまで微粒子化する必要がある。そのような導電性粒子は室温などの低温でも融着して凝集しやすい課題があった。また、導電性粒子の表面が有機成分と反応して、保存安定性が低下する課題があった。さらに、感光性ペースト法を用いてパターン加工する場合、導電性粒子は光反射性を有し露光光散乱することから、微細パターンを形成することは困難であった。

これに対し、被覆層を有する導電性粒子を用いて、かかる課題を解決する方法が開示されている(例えば、特許文献2参照)。被覆層によって導電性粒子の表面活性を低下させて、導電性粒子同士および/または有機成分との反応を抑制することができる。さらに、感光性ペースト法を用いた場合でも、露光光の散乱を抑制し、配線を高精度にパターン加工することができる。一方、200℃程度の高温で加熱することにより、被覆層を容易に除去し、十分な導電性を発現することができる。この技術により、金属メッシュ配線形成が可能となった。

概要

透明層(OC−D)、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)がこの順に積層された部位を含むタッチパネルであって、前記透明層(OC−D)が下記化学式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造を有する耐熱ポリマーを含有する、タッチパネル。寸法精度に優れる加工方法への適用が可能で、導電性組成物の残渣が抑制され、色目耐湿熱性に優れた、微細パターン形成およびフレキシブル対応が可能なタッチパネルを提供する。上記一般式(1)および(2)中、R1およびR2はそれぞれ独立に1価の有機基を示す。mおよびnはそれぞれ独立に0〜4の整数を示す。m個のR1およびn個のR2はそれぞれ同じでも異なってもよい。

目的

本発明は、係る従来技術の課題に鑑み創案されたもので、その目的は、寸法精度に優れる加工方法の適用が可能で、導電性組成物の残渣が少なく、色目および耐湿熱性に優れ、微細パターン形成およびフレキシブル対応が可能なタッチパネルを提供する

効果

実績

技術文献被引用数
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- 件

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請求項1

透明層(OC−D)、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)がこの順に積層された部位を含むタッチパネルであって、前記透明層(OC−D)が下記一般式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造を含む耐熱ポリマーを含有する、タッチパネル:上記一般式(1)および(2)中、R1およびR2は、それぞれ独立に1価の有機基を示す;mおよびnは、それぞれ独立に0〜4の整数を示す;m個のR1およびn個のR2は、それぞれ同じでも異なってもよい。

請求項2

前記耐熱ポリマーが、さらに下記一般式(12)で表される構造を含む、請求項1に記載のタッチパネル:上記一般式(12)中、R7およびR8は、それぞれ独立にフッ素原子またはフッ素原子を含む基を示す;xおよびyは、それぞれ独立に1〜4の整数を示す;x個のR8およびy個のR7は、それぞれ同じでも異なってもよい。

請求項3

前記耐熱ポリマーが、さらに下記構造式(13)で表される構造を含む、請求項1または2に記載のタッチパネル。

請求項4

前記第一の配線層(A−1)および/または前記第二の配線層(A−2)が、線幅0.1〜9μmの網目構造を有する、請求項1〜3のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項5

前記第一の配線層(A−1)および/または前記第二の配線層(A−2)が、表面被覆層を有する導電性粒子を含有する、請求項1〜4のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項6

前記第一の配線層(A−1)および/または前記第二の配線層(A−2)が、透明電極である、請求項1〜3のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項7

さらに、前記第二の配線層(A−2)の上面に、第二の絶縁層(OC−2)が配置された、請求項1〜6のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項8

前記第二の絶縁層(OC−2)が感光性および粘着性を有する、請求項7記載のタッチパネル。

請求項9

さらに、前記第二の絶縁層(OC−2)の上面に、感光性粘着層(OC−R)が配置された、請求項7記載のタッチパネル。

請求項10

さらに、前記透明層(OC−D)と前記第一の配線層(A−1)の間に、絶縁層(OC−0)が配置された、請求項1〜9のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項11

さらに、前記第一の配線層(A−1)の下部であって、かつ、前記第二の配線層(A−2)の下部、および/または、前記第一の配線層(A−1)の上部であって、かつ、前記第二の配線層(A−2)の上部に、遮光層が配置された、請求項1〜10のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項12

前記耐熱ポリマーが、ポリイミドポリイミドシロキサンポリエーテルスルホンポリベンゾオキサゾールアラミドエポキシおよびスルホンアミドからなる群から選ばれる少なくとも一種である、請求項1〜11のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項13

前記耐熱ポリマーが、ポリイミド、ポリイミドシロキサンおよびポリベンゾオキサゾールからなる群から選ばれる少なくとも一種である、請求項12に記載のタッチパネル。

請求項14

前記第一の配線層(A−1)および/または前記第二の配線層(A−2)が有機化合物を0.1〜80質量%含有する、請求項1〜13のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項15

前記第一の配線層(A−1)および/または前記第二の配線層(A−2)が銀粒子を含む、請求項1〜14のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項16

厚みが1〜40μmである、請求項1〜15のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項17

国際照明委員会1976に規定されるL*a*b*表色系によるb*の値が−5〜5である、請求項1〜16のいずれかに記載のタッチパネル。

請求項18

仮支持体上に、少なくとも、透明層(OC−D)、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)をこの順に形成して転写部材を作製する工程、前記転写部材の仮支持体とは反対側の面を透明粘着層を介して基材に貼り合わせる工程および仮支持体を除去する工程を含む、タッチパネルの製造方法であって、前記透明層(OC−D)が、剥離機能を有し、下記一般式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造を含むポリマーを含有する、タッチパネルの製造方法:上記一般式(1)および(2)中、R1およびR2はそれぞれ独立に1価の有機基を示す;mおよびnはそれぞれ独立に0〜4の整数を示す;m個のR1およびn個のR2はそれぞれ同じでも異なってもよい。

請求項19

仮支持体上に、少なくとも、透明層(OC−D)、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)をこの順に形成して転写部材を作製する工程、前記転写部材の仮支持体と反対側の面を透明粘着層を介して基材に貼り合わせる工程および仮支持体を除去する工程を含む、タッチパネルの製造方法であって、前記透明層(OC−D)が、剥離機能を有し、下記一般式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造を含むポリマーを含有する、請求項1〜17のいずれかに記載のタッチパネルの製造方法:上記一般式(1)および(2)中、R1およびR2はそれぞれ独立に1価の有機基を示す;mおよびnはそれぞれ独立に0〜4の整数を示す;m個のR1およびn個のR2はそれぞれ同じでも異なってもよい。

請求項20

前記基材がガラス基板またはフィルム基板である、請求項18または19に記載のタッチパネルの製造方法。

請求項21

前記基材がOLED素子を有するガラス基板である、請求項20に記載のタッチパネルの製造方法。

請求項22

前記透明層(OC−D)を形成する工程が、150〜350℃で加熱する工程を含む、請求項19〜21のいずれかに記載のタッチパネルの製造方法。

請求項23

透明層(OC−D)上に第一の配線層(A−1)が積層された部位を有する構造体であって、前記透明層(OC−D)が下記一般式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造を有する耐熱ポリマーを含有する、構造体:上記一般式(1)および(2)中、R1およびR2は、それぞれ独立に1価の有機基を示す;mおよびnは、それぞれ独立に0〜4の整数を示す;m個のR1およびn個のR2は、それぞれ同じでも異なってもよい。

技術分野

0001

本発明は、タッチパネル、タッチパネルの製造方法に関する。

背景技術

0002

近年、モバイルタブレット等のタッチパネルにおいて、デザイン性や利便性耐久性の観点から、フレキシブル化が嘱望されている。しかしながら、タッチパネルのフレキシブル化には種々の課題があり、まだ実用には到っていないのが現状である。その主たる課題が、タッチパネル技術、特にタッチ配線技術の不足である。従来、タッチ配線の形成方法としては、視認性向上の観点から、ガラスフィルム等の基材上にITO等の透明導電金属からなる薄膜を形成し、エッチングによりパターン加工する手法が広く用いられてきた。しかしながら、ITO配線は剛直で脆いため、曲げ耐性が低く、曲げるとクラックが発生する課題があった。そのため、ITOに替わるタッチ配線として、金属メッシュ配線、金属ナノワイヤーカーボンナノチューブといった種々の技術が提案されてきた。中でも、曲げ耐性と視認性、高導電性を兼ね備えるタッチ配線として、金属メッシュ配線技術が注目を浴びている。

0003

金属メッシュ配線は、視認できない程度に細い金属配線メッシュパターンに形成することにより得られる。例えば、金や銀、銅などの抵抗値の小さい金属を用いることにより、導電性の良好な配線を得ることができる。さらに、十分に設計された有機成分を適量含有させることにより曲げ耐性を向上させることができ、フレキシブル化にも十分対応できる。

0004

このような金属メッシュ配線を形成する方法としては、例えば、導電性の金属粒子と有機成分からなる導電ペーストを用い、スクリーン印刷インクジェットフォトリソグラフィーなどの方法により配線パターンを形成する方法が挙げられる(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、視認できないほどの微細パターンを形成するためには、導電性粒子粒径ナノサイズまで微粒子化する必要がある。そのような導電性粒子は室温などの低温でも融着して凝集しやすい課題があった。また、導電性粒子の表面が有機成分と反応して、保存安定性が低下する課題があった。さらに、感光性ペースト法を用いてパターン加工する場合、導電性粒子は光反射性を有し露光光散乱することから、微細パターンを形成することは困難であった。

0005

これに対し、被覆層を有する導電性粒子を用いて、かかる課題を解決する方法が開示されている(例えば、特許文献2参照)。被覆層によって導電性粒子の表面活性を低下させて、導電性粒子同士および/または有機成分との反応を抑制することができる。さらに、感光性ペースト法を用いた場合でも、露光光の散乱を抑制し、配線を高精度にパターン加工することができる。一方、200℃程度の高温で加熱することにより、被覆層を容易に除去し、十分な導電性を発現することができる。この技術により、金属メッシュ配線形成が可能となった。

先行技術

0006

特開2000−199954号公報
特開2013−196997号公報

発明が解決しようとする課題

0007

しかしながら、特許文献2に開示された技術は、導電性粒子の被覆層を除去するために200℃程度の高温が必要であることから、適用できる基材には高い耐熱性が要求され、実質ガラス基板上にしか形成できない課題があった。当然のことながら、ガラス基板を用いてフレキシブル化に対応することは困難である。さらに、基材として、耐熱性に非常に優れたフィルムを用いた場合であっても、高温でキュアを繰り返すことにより、熱劣化によるフィルムの着色により、色目が低下したり、寸法精度が低下して位置ずれが発生し、モアレと呼ばれる外観不良が発生する課題があった。さらに、耐熱性に優れたフィルム上に、導電性組成物を用いた感光法により金属配線をパターン加工する場合、導電性組成物とフィルム表面の強い相互作用により、現像時に未露光部の導電性組成物が十分除去できず残渣が発生しやすい。一方、残渣を低減するために現像条件強化するとパターンが剥がれやすく微細パターンの形成が困難である課題があった。さらに、導電性組成物の残渣により湿熱環境下においてマイグレーションが発生しやすいことから、耐湿熱性が不十分である課題があった。

0008

本発明は、係る従来技術の課題に鑑み創案されたもので、その目的は、寸法精度に優れる加工方法の適用が可能で、導電性組成物の残渣が少なく、色目および耐湿熱性に優れ、微細パターン形成およびフレキシブル対応が可能なタッチパネルを提供することにある。

課題を解決するための手段

0009

本発明は、透明層(OC−D)、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)がこの順に積層された部位を含むタッチパネルであって、前記透明層(OC−D)が下記一般式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造を含む耐熱ポリマーを含有する、タッチパネルである。

0010

0011

上記一般式(1)〜(2)中、R1およびR2はそれぞれ独立に1価の有機基を示し、mおよびnはそれぞれ独立に0〜4の整数を示す。m個のR1およびn個のR2はそれぞれ同じでも異なってもよい。

0012

また、本発明の別の態様は、仮支持体上に、少なくとも、
透明層(OC−D)、
第一の配線層(A−1)、
第一の絶縁層(OC−1)および
第二の配線層(A−2)
をこの順に形成して転写部材を作製する工程、前記転写部材の仮支持体と反対側の面を透明粘着層を介して基材に貼り合わせる工程および仮支持体を除去する工程を含む、タッチパネルの製造方法であって、前記透明層(OC−D)が、剥離機能を有し、前記一般式(1)で表される構造および前記一般式(2)で表される構造を含むポリマーを含有する、請求項1〜17のいずれかに記載のタッチパネルの製造方法である。

0013

また、本発明の別の態様は、透明層(OC−D)上に第一の配線層(A−1)が積層された部位を有する構造体であって、前記透明層(OC−D)が前記一般式(1)で表される構造および前記一般式(2)で表される構造を有する耐熱ポリマーを含有する、構造体である。

発明の効果

0014

本発明のタッチパネルは、寸法精度に優れる加工方法の適用が可能であり、導電性組成物の残渣が少なく、色目および耐湿熱性に優れる。本発明によれば、微細パターン形成およびフレキシブル化への対応が可能なタッチパネルを提供することができる。

0015

本発明のタッチパネルは、透明層(OC−D)、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)がこの順に積層された部位を有し、前記透明層(OC−D)が前記一般式(1)で表される構造および前記一般式(2)で表される構造を含む耐熱ポリマーを含有することを特徴とする。これらの各層について説明する。

0016

(透明層(OC−D))
本発明に用いられる透明層(OC−D)は、下記一般式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造を含む耐熱ポリマーを含有する。筆者らは鋭意検討の結果、下記一般式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造の両方を一分子中に含む耐熱ポリマーを用いることにより、それ以外のポリマーと比較して、非晶性を高めて着色を抑制し、透明性を著しく向上できることを見出した。それに加え、上述の構造を含むポリマーは耐熱性が高いため、後工程における加熱時の黄変を抑制することができる。このため、かかるポリマーを透明層(OC−D)に適用することにより、色目を向上させる効果がある。さらに、透明層(OC−D)が、かかるポリマーを含むことにより、後工程の導電層(A−1)の加工において、残渣を抑制することができるため、微細パターンを形成することができ、かつ、得られるタッチパネルの耐湿熱性を向上させる効果がある。

0017

0018

上記一般式(1)〜(2)中、R1およびR2は、それぞれ独立に1価の有機基を示し、mおよびnは、それぞれ独立に0〜4の整数を示す。m個のR1およびn個のR2は、それぞれ同じでも異なってもよい。

0019

R1およびR2は、色目をより向上させる観点から、炭素数1〜10のアルキル基カルボキシル基フェニル基もしくは置換フェニル基、または、トリフルオロメチル基が好ましい。また、mおよびnは、色目をより向上させる観点から、0または1が好ましく、0がより好ましい。置換フェニル基の置換基としては、フッ素、トリフルオロメチル基、炭素数1〜10のアルキル基、アリル基、炭素数3〜10のアリール基が好ましい。

0020

前記耐熱ポリマーは、さらにフッ素を含むことが好ましく、透明性をより向上させることができる。フッ素を含む構造としては、下記構造式(3)または下記一般式(12)で表される構造が好ましい。下記構造式(3)で表される構造を含むことにより、透明性を向上させることができ、下記一般式(12)で表される構造を含むことにより、透明層の破断伸度を向上させることができる。

0021

0022

上記一般式(12)中、R7およびR8は、それぞれ独立にフッ素原子またはフッ素原子を含む基を示す。フッ素原子を含む基としては、例えば、トリフルオロメチル基が挙げられる。R7およびR8は、フッ素原子またはトリフルオロメチル基が好ましい。xおよびyは、それぞれ独立に1〜4の整数を示す。x個のR8およびy個のR7は、それぞれ同じでも異なってもよい。

0023

前記一般式(12)で表される構造としては、例えば下記構造式(14)〜(17)のいずれかで表される構造などが挙げられる。

0024

0025

前記耐熱ポリマーが前記一般式(12)で表される構造を含む場合、かかる構造を有する繰り返し単位含有量は、全繰り返し単位中、破断伸度をより向上させる観点から、3モル%以上が好ましく、5モル%以上がより好ましく、8モル%以上がさらに好ましい。一方、色目をより向上させる観点から、含有量は、50モル%以下が好ましく、45モル%以下がより好ましく、40モル%以下がさらに好ましい。

0026

前記耐熱ポリマーは、さらに下記構造式(13)で表される構造を含むことが好ましい。下記構造式(13)で表される構造を含むことにより、透明層の強靭性を向上させて、後工程の収率と、タッチパネルの曲げ耐性を大幅に向上させることができる。

0027

0028

前記耐熱ポリマーが前記一般式(13)で表される構造を含む場合、かかる構造を有する繰り返し単位の含有量は、ポリマー中の全繰り返し単位中、破断伸度をより向上させる観点から、0.01モル%以上が好ましく、0.1モル%以上がより好ましく、0.3モル%以上がさらに好ましい。一方、色目をより向上させる観点から、含有量は、10モル%以下が好ましく、3モル%以下がより好ましく、2モル%以下がさらに好ましい。

0029

前記耐熱ポリマーとしては、ポリイミドポリイミドシロキサンポリエーテルスルホンポリベンゾオキサゾールアラミドエポキシおよびスルホンアミドからなる群から選ばれる少なくとも一種のポリマーが好ましい。これらを2種以上組み合わせてもよい。耐熱ポリマーとしてこれらを用いることにより、耐熱性をより向上させ、後工程における着色をさらに抑制することができ、色目をより向上できる。耐熱性をより向上させる観点から、ポリイミド、ポリイミドシロキサン、ポリエーテルスルホンおよびポリベンゾオキサゾールからなる群から選ばれる少なくとも一種のポリマーがより好ましい。さらに耐溶剤性を向上させる観点から、ポリイミド、ポリイミドシロキサンおよびポリベンゾオキサゾールからなる群から選ばれる少なくとも一種のポリマーがさらに好ましい。

0030

ポリイミドは、下記一般式(4)で表される構造単位を有することが好ましい。

0031

0032

上記一般式(4)中、R3は4〜10価の有機基、R4は2〜8価の有機基、R5およびR6は1価の有機基を表し、それぞれ単一のものであっても異なるものが混在していてもよい。R3および/またはR4の少なくとも一部に、前記一般式(1)で表される構造および前記一般式(2)で表される構造を含む。R3および/またはR4の少なくとも一部に、さらに前記一般式(12)で表される構造および前記構造式(13)で表される構造から選ばれた構造を含むことが好ましい。pおよびqはそれぞれ独立に0〜6の整数を表す。

0033

ポリイミドの耐熱性をより向上させる観点から、一般式(4)において、R3およびR4の50モル%以上が、芳香族炭化水素基またはその誘導体であることが好ましい。R3およびR4の80モル%以上が芳香族炭化水素基またはその誘導体であることがより好ましく、R3およびR4の全てが芳香族炭化水素基またはその誘導体であることがさらに好ましい。

0034

ポリイミドは、ポリマー一分子中に前記一般式(4)で表される構造単位を5〜100000有することが好ましい。前記一般式(4)で表される構造単位を5以上有することにより、透明層の強靭性を向上させることができる。一方、前記一般式(4)で表される構造単位を100000以下有することにより、塗布性を維持することができる。

0035

上記一般式(4)中、R3−(R5)pは、酸二無水物の残基を表す。R3は4価〜10価の有機基であり、なかでも芳香族環または環状脂肪族基を含む炭素原子数5〜40の有機基が好ましい。R5はフェノール性水酸基スルホン酸基またはチオール基が好適に挙げられ、単一のものであっても異なるものが混在していてもよい。

0036

酸二無水物としては、例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニルプロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン酸二無水物、9,9−ビス{4−(3,4−ジカルボキシフェノキシフェニル}フルオレン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,5,6−ピリジンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族テトラカルボン酸二無水物や、ブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族のテトラカルボン酸二無水物などを挙げることができる。これらを2種以上用いてもよい。

0037

前記一般式(1)で表される構造を含む酸二無水物としては、例えば、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、4,4’−[p−スルホニルビスフェニレンスルファニル)]ジフタル酸無水物DPSDA)およびそれらの異性体等が挙げられる。前記一般式(2)で表される構造を有する酸二無水物としては、例えば、3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物ODPA)およびその異性体等が挙げられる。

0038

フッ素原子を含有する酸二無水物としては、例えば、5,5’−[2,2,2−トリフルオロ−1−[3−(トリフルオロメチル)フェニル]エチリデン]ジフタル酸無水物、5,5’−[2,2,3,3,3−ペンタフルオロ−1−(トリフルオロメチル)プロピリデン]ジフタル酸無水物、1H−ジフロ[3,4−b:3’,4’−i]キサンテン−1,3,7,9(11H)−テトロン、5,5’−オキシビス[4,6,7−トリフルオロ−ピロメリット酸無水物]、3,6−ビス(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、4−(トリフルオロメチル)ピロメリット酸二無水物、1,4−ジフルオロピロメリット酸二無水物、1,4−ビス(3,4−ジカルボキシトリフルオロフェノキシテトラフルオロベンゼン二無水物などが挙げられる。

0039

フッ素原子を含有する酸二無水物のうち、一般式(3)で表される構造を含む酸二無水物としては、例えば、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物(6FDA)、4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物、3,3’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタル酸無水物などが挙げられる。

0040

フッ素原子を含有する酸二無水物のうち、一般式(12)で表される構造を含む酸二無水物としては、例えば、4,7’−ビス(トリフルオロメチル)−(5,5’−ビイソベンゾフラン)−1,1’,3,3’−テトラオン、4,7’−ジフルオロ−(5,5’−ビイソベンゾフラン)−1,1’,3,3’−テトラオンなどが挙げられる。

0041

前記一般式(4)中、R4−(R6)qは、ジアミンの残基を表す。R5は2〜8価の有機基であり、なかでも芳香族環または環状脂肪族基を含む炭素原子数5〜40の有機基が好ましい。R6はフェノール性水酸基、スルホン酸基またはチオール基が好適に挙げられ、単一のものであっても異なるものが混在していてもよい。

0042

ジアミンとしては、例えば、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルヒド、4,4’−ジアミノジフェニルスルヒド、1,4−ビス(4−アミノフェノキシベンゼンベンジンm−フェニレンジアミンp−フェニレンジアミン、1,5−ナフタレンジアミン、2,6−ナフタレンジアミン、ビス(4−アミノフェノキシフェニル)スルホン、ビス(3−アミノフェノキシフェニル)スルホン、ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス{4−(4−アミノフェノキシ)フェニル}エーテル、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジエチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジエチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’,3,3’−テトラメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’,4,4’−テトラメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジ(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、1,3,5−トリス(4−アミノフェノキシ)ベンゼンまたはこれらの芳香族環の水素原子の少なくとも一部をアルキル基やハロゲン原子置換した化合物や、脂肪族のシクロヘキシルジアミン、メチレンビスシクロヘキシルアミンなどが挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。

0043

これらのジアミンは、対応するジイソシアネート化合物またはトリメチルシリル化ジアミンとして使用してもよい。

0044

前記一般式(1)で表される構造を含むジアミンとしては、例えば、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホンおよびそれらの異性体等が挙げられる。前記一般式(2)で表される構造を含むジアミンとしては、例えば、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテルおよびそれらの異性体等が挙げられる。

0045

フッ素原子を含有するジアミンとしては、例えば、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、2,3,5,6−テトラフルオロ−1,4−ジアミノベンゼン、2,4,5,6−テトラフルオロ−1,3−ジアミノベンゼン、2,3,5,6−テトラフルオロ−1,4−ベンゼン(ジメタンアミン)、2,2’−ジフルオロ−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミン、2,2’,6,6’−テトラフルオロ−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミン、4,4’−ジアミノオクタフルオロビフェニル、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパン、4,4’−オキシビス(2,3,5,6−テトラフルオロアニリン)、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ジフェニルエーテル、1,4−ビス[4−アミノ−2−(トリフルオロメチル)フェノキシ]ベンゼン、2,2−ビス[4−[4−アミノ−2−(トリフルオロメチル)フェノキシ]ヘキサフルオロプロパン、3,5−ジアミノベンゼントリフロリド、4,4−ジアミノ−2−(トリフルオロメチル)ジフェニルエーテルおよびそれらの異性体等が挙げられる。これらのうち、一般式(3)で表される構造を含むジアミンとしては、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフルオロプロパンなどが挙げられ、一般式(12)で表される構造を含むジアミンとしては、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジフルオロ−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミン、2,2’,6,6’−テトラフルオロ−(1,1’−ビフェニル)−4,4’−ジアミン、4,4’−ジアミノオクタフルオロビフェニル、4,4’−オキシビス(2,3,5,6−テトラフルオロアニリン)、3,3’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニルなどが挙げられる。これらの中でも、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニルが特に好ましく、透明層の破断伸度をより向上させることができる。

0046

一般式(13)で表される構造を含むアミンとしては、例えば、1,3,5−トリス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン等が挙げられる。

0047

ポリイミドの製造方法としては、ポリアミド酸またはポリアミド酸エステル熱硬化する方法が挙げられる。ポリアミド酸またはポリアミド酸エステルの製造方法としては、例えば、低温中でテトラカルボン酸二無水物とジアミンを反応させる方法、テトラカルボン酸二無水物とアルコールとによりジエステルを得、その後アミンと縮合剤の存在下で反応させる方法、テトラカルボン酸二無水物とアルコールとによりジエステルを得、その後残りのジカルボン酸を酸クロリド化し、アミンと反応させる方法などが挙げられる。

0048

透明層(OC−D)中における前述の耐熱ポリマーの含有量は、50〜100質量%が好ましく、透明性と耐熱性をより向上させることができる。耐熱性ポリマーの含有量は、75〜100質量%がより好ましく、90〜100質量%がさらに好ましい。

0049

透明層(OC−D)は、さらに、界面活性剤レベリング剤密着改良剤粘度調整剤酸化防止剤無機顔料有機顔料染料等を含有してもよい。

0050

透明層(OC−D)の厚みは、タッチパネルの強靱性を向上させる観点から、1μm以上が好ましく、2μm以上がより好ましく、5μm以上がさらに好ましい。一方、透明性をより向上させる観点から、厚みは、50μm以下が好ましく、40μm以下がより好ましく、30μm以下がさらに好ましい。

0051

透明層(OC−D)の波長550nmにおける透過率は、タッチパネルの画質を向上させる観点から、85%以上が好ましい。また、150〜350℃で熱処理した後の透明層(OC−D)の波長550nmにおける透過率は、80%以上が好ましい。

0052

透明層(OC−D)は、例えば、前記耐熱ポリマーを含み、必要に応じて有機溶剤、界面活性剤、レベリング剤、密着改良剤、粘度調整剤、酸化防止剤、無機顔料、有機顔料、染料等を配合してなる透明組成物を用いて形成することができる。

0053

(第一の配線層(A−1)、第二の配線層(A−2))
本発明のタッチパネルは、第一の配線層(A−1)および第二の配線層(A−2)を含む。

0054

配線層(A−1)および(A−2)は、線幅0.1〜9μmの網目からなる網目構造を有することが好ましい。線幅0.1〜9μmの網目構造を有することにより、導電性および視認性を両立させることができる。導電性の観点から、網目構造の線幅は、0.5μm以上がより好ましく、1μm以上がさらに好ましい。一方、視認性の観点から、網目構造の線幅は、7μm以下がより好ましく、6μm以下がさらに好ましい。

0055

配線層(A−1)および(A−2)の膜厚は、導電性の観点から、0.1μm以上が好ましく、0.2μm以上がより好ましく、0.3μm以上がさらに好ましい。一方、配線層(A−1)および(A−2)の膜厚は、視認性の観点から、5μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましく、1μm以下がさらに好ましい。

0056

配線層(A−1)および/または配線層(A−2)は、導電性粒子によって形成されていることが好ましい。

0057

導電性粒子としては、例えば、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、ニッケル(Ni)、錫(Sn)、ビスマス(Bi)、鉛(Pb)、亜鉛(Zn)、パラジウム(Pd)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、タングステン(W)、モリブデン(Mo)等の金属からなる金属粒子が挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。中でも、金、銀、銅、ニッケル、錫、ビスマス、鉛、亜鉛、パラジウム、白金、アルミニウムおよび炭素を含む金属粒子がより好ましく、銀粒子がさらに好ましい。

0058

導電性粒子として、導電性粒子の表面を被覆する層(以下、表面被覆層と呼ぶ)を有する導電性粒子がさらに好ましい。導電性粒子の表面の少なくとも一部に表面被覆層が存在することにより、表面活性を低下させて、導電性粒子同士または導電性粒子と有機成分との反応を抑制することができる。さらに、感光性ペースト法を用いた場合、導電性粒子による露光光の散乱を抑制し、配線をより高精度にパターン加工することができる。一方、150〜350℃程度の高温で加熱することにより、表面被覆層を容易に除去し、十分な導電性を発現することができる。導電性粒子の表面は、表面被覆層により完全に被覆されていることが好ましい。

0059

表面被覆層は、炭素および/または炭素化合物を含むことが好ましい。炭素および/または炭素化合物を含むことにより、導電性粒子の分散性をさらに向上させることができる。

0060

導電性粒子表面に炭素および/または炭素化合物を含む表面被覆層を形成する方法としては、例えば、熱プラズマ法により導電性粒子を作製する際に、反応性ガスと接触させる方法(特開2007−138287号公報)などが挙げられる。

0061

表面被覆層の平均厚みは、0.1〜10nmが好ましい。この範囲であれば、導電性粒子同士の融着を抑制し、より微細なパターンを形成することができる。また、350℃以下の温度で熱処理することにより、所望の導電性を発現することができる。

0062

導電性粒子の1次粒子径は、所望の導電性を有する微細な導電パターンを形成するため、10〜200nmが好ましく、10〜60nmがより好ましい。ここで、導電性粒子の1次粒子径とは、走査型電子顕微鏡を用いて無作為に選択した100個の1次粒子粒子径平均値により算出することができる。それぞれの1次粒子の粒子径は、1次粒子における長径短径を測定し、その平均値から算出することができる。

0063

配線層(A−1)および配線層(A−2)中における導電性粒子の含有量は、導電性を向上させる観点から、20質量%以上が好ましく、50質量%以上がより好ましく、65質量%以上がさらに好ましい。一方、導電性粒子の含有量は、パターン加工性を向上させる観点から、95質量%以下が好ましく、90質量%以下がより好ましい。

0064

配線層(A−1)および配線層(A−2)は、有機化合物を0.1〜80質量%含有することが好ましい。有機化合物を0.1質量%以上含有することにより、配線層に柔軟性が付与され、配線層の曲げ耐性が向上する。有機化合物の含有量は、1質量%以上が好ましく、5質量%以上がより好ましい。一方、有機化合物を80質量%以下含有することにより、配線層の導電性を向上させることができる。有機化合物の含有量は、50質量%以下がより好ましく、35質量%以下がさらに好ましい。

0065

有機化合物としては、アルカリ可溶性樹脂が好ましい。アルカリ可溶性樹脂としては、カルボキシル基を有する(メタアクリル系共重合体が好ましい。ここで、(メタ)アクリル系共重合体とは、(メタ)アクリル系モノマーと他のモノマーとの共重合体をいう。(メタ)アクリル系モノマーとしては、例えば、メチル(メタ)アクリレートエチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、tert−ブチル(メタ)アクリレート、n−ペンチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、ブトキシエチル(メタ)アクリレート、ブトキシトリエチレングリコール(メタ)アクリレート、シクロキシル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタニル(メタ)アクリレート、ジシクロペンテニル(メタ)アクリレート、2−エチルへキシル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、ヘプタデカフロロデシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、イソデキシル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシエチレングリコール(メタ)アクリレート、メトキシジエチレングリコール(メタ)アクリレート、オクタフロロペンチル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、トリフロロエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミドアミノエチル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレート、1−ナフチル(メタ)アクリレート、2−ナフチル(メタ)アクリレート、チオフェノール(メタ)アクリレート、ベンジルメルカプタン(メタ)アクリレートなどが挙げられる。

0066

他のモノマーとしては、炭素−炭素二重結合を有する化合物が挙げられ、例えば、スチレン、p−メチルスチレン、o−メチルスチレン、m−メチルスチレン、α−メチルスチレン等の芳香族ビニル化合物;(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−ビニルピロリドン等のアミド不飽和化合物;(メタ)アクリロニトリルアリルアルコール酢酸ビニルシクロヘキシルビニルエーテル、n−プロピルビニルエーテル、i−プロピルビニルエーテル、n−ブチルビニルエーテル、i−ブチルビニルエーテル、2−ヒドロキシエチルビニルエーテル、4−ヒドロキシブチルビニルエーテルなどが挙げられる。

0067

アルカリ可溶性樹脂にアルカリ可溶性を付与するカルボキシル基を導入するためには、例えば、(メタ)アクリル酸イタコン酸クロトン酸マレイン酸フマル酸、これらの酸無水物などを共重合する方法が挙げられる。

0068

(メタ)アクリル系共重合体は、硬化反応の速度を大きくする観点から、側鎖または分子末端に炭素−炭素二重結合を有することが好ましい。炭素−炭素二重結合を有する官能基としては、例えば、ビニル基、アリル基、(メタ)アクリル基などが挙げられる
アルカリ可溶性樹脂のカルボン酸当量は、400〜1,000g/molが好ましい。アクリル樹脂のカルボン酸当量は、酸価を測定することにより算出することができる。また、アルカリ可溶性樹脂の二重結合当量は、硬度耐クラック性とを高いレベルで両立できるため、150〜10,000g/molが好ましい。アクリル樹脂の二重結合当量は、ヨウ素価を測定することにより算出することができる。

0069

アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量(Mw)は、1,000〜100,000が好ましい。重量平均分子量(Mw)を上記範囲とすることにより、良好な塗布特性が得られ、パターン形成する際の現像液への溶解性も良好となる。ここで、アルカリ可溶性樹脂のMwは、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)により測定されるポリスチレン換算値を言う。

0070

アルカリ可溶性樹脂の含有量は、配線層(A−1)および(A−2)中、5〜30質量%が好ましい。

0071

配線層(A−1)および(A−2)は、有機スズ化合物および/または金属キレート化合物を含有してもよい。配線層が有機スズ化合物および/または金属キレート化合物を含有することにより、透明層(OC−D)および/または絶縁層(OC−1)との密着をより向上させることができる。金属キレート化合物は、有機スズ化合物と比較して、環境負荷をかけずに密着性向上効果が得られることからより好ましい。

0072

有機スズ化合物とは、スズの有機酸塩またはスズ原子に少なくとも1つの炭素原子が結合している化合物をいう。例えば、2−エチルヘキサン酸スズ、ジラウリン酸スズ等の有機酸塩;二酢酸ジブチルスズ、ジラウリン酸ジブチルスズ、マレイン酸ジブチルスズ、ジブチルスズビス(メルカプト酢酸2−エチルヘキシル)、ジブチルスズビス(メルカプト酢酸イソオクチル)、二酢酸ジオクチルスズ、ジラウリン酸ジオクチルスズ、マレイン酸ジオクチルスズ、二酢酸ジメチルスズ、ジラウリン酸ジメチルスズ、マレイン酸ジメチルスズ、二酢酸ジフェニルスズ、ジラウリン酸ジフェニルスズ、マレイン酸ジフェニルスズ、ジクロロジブチルスズ、ジクロロジプロピルスズ、ジクロロジエチルスズ、ジクロロジメチルスズ、トリクロロブチルスズ、トリクロロメチルスズ、ジクロロジフェニルスズ、ジブチルスズオキシド、ジメチルスズオキシドジオクチルスズオキシド、テトラブチルスズ、テトラメチルスズテトラフェニルスズアレニルトリブチルスズ、アリルトリブチルスズ、アリルトリフェニルスズ、ジエチルスズ等の化合物が挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。

0073

金属キレート化合物とは、中心金属と、該中心金属に二以上の部位で配位した配位子とを有する化合物をいう。金属キレート化合物は、配位子が容易に脱離し、アルカリ可溶性樹脂のアルカリ可溶性官能基錯形成することにより密着性を向上させることができる。金属キレート化合物の金属元素としては、例えば、Au(金)、Ag(銀)、Cu(銅)、Cr(クロム)、Fe(鉄)、Co(コバルト)、Ni(ニッケル)、Bi(ビスマス)、Sn(スズ)、Pb(鉛)、Zn(亜鉛)、Pd(パラジウム)、In(インジウム)、Pt(白金)、Mg(マグネシウム)、Al(アルミニウム)、Ti(チタン)、Zr(ジルコニウム)、W(タングステン)、Mo(モリブデン)が挙げられる。これらの中でも、配位子の脱離容易性の観点から、Mg(マグネシウム)、Al(アルミニウム)、Ti(チタン)およびZr(ジルコニウム)から選ばれた金属が好ましく、アルカリ可溶性官能基との錯体安定性の観点から、Al(アルミニウム)およびZr(ジルコニウム)から選ばれた金属がより好ましい。

0074

金属キレート化合物としては、例えば、ビス(アセチルアセトナート)マグネシウム、ビス(エチルアセトアセタート)マグネシウム、イソプロポキシモノ(アセチルアセトナート)マグネシウム、イソプロポキシモノ(エチルアセトアセタート)マグネシウムなどのマグネシウムキレート化合物エチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレートアルミニウムトリスエルアセトアセテートアルキルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート、アルミニウムモノアセチルアセトネートビス(エチルアセトアセテート)、アルミニウムトリス(アセチルアセトネート)などのアルミニウムキレート化合物テトラキス(アセチルアセトナート)チタン、ジイソプロポキシビス(エチルアセトアセタート)チタン、ジイソプロポキシビス(アセチルアセトナート)チタン、ジ−n−オクチロキシビス(オクチレングリコラート)チタン、ジイソプロポキシビス(トリエタノールアミナート)チタン、ジヒドロキシビス(2−ヒドロキシプロピオナート)チタン、ジヒドロキシビス(2−ヒドロキシプロピオナート)チタンアンモニウム塩などのチタンキレート化合物ジルコニウムテトラセチルアセトネート、ジルコニウムジブトキシビス(エチルアセトアセテート)、ジルコニウムトリブトキシモノアセチルアセトネート、ジルコニウムトリブトキシモノステアレートなどのジルコニウムキレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)金、ビス(エチルアセトアセタート)金などの金キレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)銀、ビス(エチルアセトアセタート)銀などの銀キレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)銅、ビス(エチルアセトアセタート)銅などの銅キレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)クロム、ビス(エチルアセトアセタート)クロムなどのクロムキレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)鉄、ビス(エチルアセトアセタート)鉄などの鉄キレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)コバルト、ビス(エチルアセトアセタート)コバルトなどのコバルトキレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)ニッケル、ビス(エチルアセトアセタート)ニッケルなどのニッケルキレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)ビスマス、ビス(エチルアセトアセタート)ビスマスなどのビスマスキレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)スズ、ビス(エチルアセトアセタート)スズなどのスズキレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)鉛、ビス(エチルアセトアセタート)鉛などの鉛キレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)亜鉛、ビス(エチルアセトアセタート)亜鉛などの亜鉛キレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)パラジウム、ビス(エチルアセトアセタート)パラジウムなどのパラジウムキレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)インジウム、ビス(エチルアセトアセタート)インジウムなどのインジウムキレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)白金、ビス(エチルアセトアセタート)白金などの白金キレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)タングステン、ビス(エチルアセトアセタート)タングステンなどのタングステンキレート化合物;ビス(アセチルアセトナート)モリブデン、ビス(エチルアセトアセタート)モリブデンなどのモリブデンキレート化合物などが挙げられる。

0075

配線層(A−1)および(A−2)中、有機スズ化合物および金属キレート化合物の合計含有量は、基板密着性をより向上させる観点から、0.01質量%以上が好ましく、0.05質量%以上がより好ましく、0.1質量%以上がさらに好ましい。一方、導電性を向上させ、より微細なパターンを形成する観点から、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましく、5質量%以下がさらに好ましい。

0076

配線層(A−1)および(A−2)は、他に、分散剤光重合開始剤、モノマー、光酸発生剤熱酸発生剤溶剤増感剤可視光に吸収を有する顔料および/または染料、密着改良剤、界面活性剤、重合禁止剤等を含有することが好ましい。

0077

配線層(A−1)および(A−2)は、同じ材料で構成されていてよいし、異なる材料で構成されていてもよい。

0078

配線層(A−1)および(A−2)は、例えば、導電性組成物を用いて形成することができる。導電性組成物としては、前述の導電性粒子、アルカリ可溶性樹脂および溶剤を含む組成物を用いることができる。導電性組成物は、有機スズ化合物、金属キレート化合物、分散剤、光重合開始剤、モノマー、光酸発生剤、熱酸発生剤、増感剤、可視光に吸収を有する顔料および/または染料、密着改良剤、界面活性剤または重合禁止剤等を必要に応じて含有することができる。

0079

また、別の態様として、配線層(A−1)および/または(A−2)は、透明電極であることも好ましい。配線層(A−1)および/または(A−2)として透明電極を用いた場合は、高価な銀等を用いる必要がなく、既存の生産設備を用いて配線層を形成することができる。透明電極を構成する材料としては、例えば、インジウムスズ酸化物(ITO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、亜鉛酸化物(ZnO)、インジウム亜鉛スズ酸化物(IZTO)、カドミウムスズ酸化物(CTO)、PEDOT(poly(3,4−ethylenedioxythiophene))、炭素ナノチューブ(CNT)、金属ワイヤ等が挙げられる。これらを2種以上用いてもよい。これらの中でも、インジウムスズ酸化物(ITO)が好ましい。

0080

(絶縁層(OC−0)、(OC−1)、(OC−2))
本発明のタッチパネルは、第一の配線層(A−1)と第二の配線層(A−2)との間に、第一の絶縁層(OC−1)が配置される。第一の絶縁層(OC−1)により、第一の配線層(A−1)と第二の配線層(A−2)の間の絶縁性を確保することができる。

0081

さらに、前記第二の配線層(A−2)の上面、すなわち第一の絶縁層(OC−1)と接している面と反対側の面に、第二の絶縁層(OC−2)がさらに配置されてもよい。第二の絶縁層(OC−2)を有することにより、大気中の水分が第二の配線層(A−2)に到達することを抑制し、タッチパネルの耐湿熱性をより向上させることができる。

0082

絶縁層(OC−2)は、感光性および粘着性を有することが好ましい。ここで、感光性とは光の照射によって化学変化を起こす性質を表す。粘着性とは、室温または加熱条件下で、僅かな圧力のみで短時間で接着する性質を表す。絶縁層(OC−2)が感光性を有することにより、外部電極との接続部分上の絶縁層(OC−2)のみを高精度に除去し、外部電極との接続部分を容易に露出させることができる。さらに、絶縁層(OC−2)が粘着性を有することにより、カバーガラスカバーフィルムOLED基板等の他部材に容易に貼り合わせることができる。

0083

さらに、前記透明層(OC−D)と前記第一の配線層(A−1)の間に、絶縁層(OC−0)を有してもよい。絶縁層(OC−0)を有することにより、第一の配線層(A−1)加工時の残渣をより抑制し、タッチパネルの耐湿熱性をより向上させることができる。

0084

絶縁層(OC−0)、(OC−1)および(OC−2)は、それぞれ同じ材料で構成されていてよいし、異なる材料で構成されていてもよい。

0085

前記絶縁層(OC−1)および(OC−2)の膜厚は、絶縁性をより向上させる観点から、0.1μm以上が好ましく、0.5μm以上がより好ましい。一方、透明性をより向上させる観点から、10μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましい。

0086

前記絶縁層(OC−0)の膜厚は、配線層(A−1)の残渣をより抑制する観点から、0.05μm以上が好ましく、0.1μm以上がより好ましい。一方、透明性をより向上させる観点から、5μm以下が好ましく、2μm以下がより好ましい。

0087

前記絶縁層(OC−0)、(OC−1)および(OC−2)は、アルカリ可溶性樹脂を含有する絶縁性組成物から形成されることが好ましい。

0088

アルカリ可溶性樹脂としては、前述の(メタ)アクリル系共重合体や、カル系樹脂を挙げることができる。カルド系樹脂が、疎水性を向上させ、絶縁層の絶縁性をより向上させることができるので好ましい。

0089

カルド系樹脂としては、下記化学式(5)で表される構造単位を2つ以上含有し、かつ、重合性基およびアルカリ可溶性基を含有するカルド系樹脂が好ましい。

0090

0091

カルド系樹脂は、例えば、エポキシ化合物ラジカル重合性基含有酸化合物との反応物を、さらに酸二無水物と反応させることにより得ることができる。

0092

エポキシ化合物とラジカル重合性基含有酸化合物との反応および酸二無水物との反応に用いる触媒としては、例えば、テトラブチルアンモニウムアセテート等のアンモニウム系触媒、2,4,6−トリス(ジメチルアミノメチルフェノールもしくはジメチルベンジルアミン等のアミン系触媒トリフェニルホスフィン等のリン系触媒、アセチルアセトネートクロム、塩化クロム等のクロム系触媒などが挙げられる。

0093

エポキシ化合物としては、以下の構造を有する化合物が挙げられる。

0094

0095

ラジカル重合性基含有酸化合物としては、例えば、(メタ)アクリル酸、コハク酸モノ(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)、フタル酸モノ(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)、テトラヒドロフタル酸モノ(2−(メタ)アクリロイルオキシエチル)、p−ヒドロキシスチレン等が挙げられる。

0096

酸二無水物としては、絶縁層の耐薬品性向上の観点から、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物などが好ましい。また、酸二無水物は、分子量を調整する目的で酸二無水物の一部を酸無水物に置き換えて使用することもできる。

0097

また、カルド系樹脂としては、市販品を好ましく用いることができ、「WR−301(商品名)」((株)ADEKA製)、「V−259ME(商品名)」(新日鉄住金化学(株)製)、「オグゾール(登録商標)CR−TR1」、「オグゾール(登録商標)CR−TR2(商品名)」、「オグゾール(登録商標)CR−TR3」、「オグゾール(登録商標)CR−TR4」、「オグゾール(登録商標)CR−TR5」、「オグゾール(登録商標)CR−TR6」(以上、大阪ガスケミカル(株)製)等が挙げられる。

0098

(メタ)アクリル系共重合体の重量平均分子量(Mw(A1))およびカルド系樹脂の重量平均分子量(Mw(A2))は、塗布特性を向上させる観点から、2,000以上が好ましく、パターン形成における現像液への溶解性を向上させる観点から、200,000以下が好ましい。ここで、重量平均分子量は、GPCで測定されるポリスチレン換算値を言う。また、(メタ)アクリル系共重合体およびカルド系樹脂を含有する場合、Mw(A1)とMw(A2)の比(Mw(A2)/Mw(A1))は、層分離を抑制して均一な絶縁層を形成する観点から、0.14以上が好ましい。一方、Mw(A2)/Mw(A1)は、層分離を抑制して均一な絶縁層を形成する観点から、1.5以下が好ましく、1以下がより好ましい。

0099

前記絶縁性組成物において、(メタ)アクリル系共重合体およびカルド系樹脂の合計含有量は、所望の膜厚や用途により任意に選択することができるが、全固形分100質量%中の、10質量%以上、70質量%以下とすることが好ましい。

0100

前記絶縁性組成物は、ヒンダードアミン光安定剤を含有してもよい。ヒンダードアミン系光安定剤を含有することで、絶縁層の着色をより低減し、色目および耐候性をより向上させることができる。

0101

ヒンダードアミン系光安定剤として例えば、下記式(7)〜(11)で表される化合物などが挙げられる。これらを2種以上含有してもよい。これらの中でも、反応性が高いことから、化学式(7)または(8)で表される化合物がより好ましい。

0102

0103

ただし、上記一般式(9)〜(11)中、a、b、cおよびdは、それぞれ独立に、0〜15の整数を表す。

0104

前記絶縁性組成物において、ヒンダードアミン系光安定剤の含有量は、全固形分100質量%中の、0.01質量%以上が好ましく、0.05質量%以上がより好ましい。また、ヒンダードアミン系光安定剤の含有量は、10質量%以下が好ましく、5質量%以下がより好ましい。

0105

前記絶縁性組成物は、さらに必要に応じて、多官能モノマー硬化剤紫外線吸収剤、重合禁止剤、密着改良剤、溶剤、界面活性剤、溶解抑止剤、安定剤、消泡剤等の添加剤を含有することもできる。

0106

感光性粘着層(OC−R))
前記第二の絶縁層(OC−2)の上面に、感光性粘着層(OC−R)がさらに配置されることが好ましい。感光性粘着層(OC−R)により、耐湿熱性をより向上させることができる。また、感光性粘着層(OC−R)が感光性を有することにより、外部電極との接続部分上の感光性粘着層(OC−R)のみを高精度に除去し、外部電極との接続部分を容易に露出させることができる。さらに、感光性粘着層(OC−R)が粘着性を有することにより、絶縁層(OC−2)が粘着性を有さない場合であっても、カバーガラス、カバーフィルム、OLED基板等の他部材に容易に貼り合わせることができる。

0107

感光性粘着層としては、アルカリ可溶性樹脂と、感光成分とを含有する感光性粘着組成物が好ましく用いられる。アルカリ可溶性樹脂としては、アクリル樹脂、シリコーン樹脂ウレタン樹脂等を好ましく用いることができる。特にアクリル樹脂またはシリコーン樹脂が、透明性の観点から好ましい。

0108

遮光層
タッチパネルにおいて、前記第一の配線層(A−1)の下部であって、かつ、前記第二の配線層(A−2)の下部、および/または、前記第一の配線層(A−1)の上部であって、かつ、前記第二の配線層(A−2)の上部に、遮光層が配置されることが好ましい。遮光層を有することにより、配線層による光の反射を抑制して、配線見えを抑制することができる。ここで、タッチパネルにおいて、下部とは透明層(OC−D)が存在する側を、上部とは、第二の配線層(A−2)が存在する側のことを意味する。第一の配線層(A−1)および第二の配線層(A−2)の下部に、遮光層が配置される場合は、透明層(OC−D)側から見た場合の配線見えを抑制することができる。この場合、第一の配線層(A−1)の下部および第二の配線層(A−2)の下部にそれぞれ一層ずつ遮光層を設け、合計二層以上の遮光層を配置するようにしてもかまわないが、第一の配線層(A−1)および第二の配線層(A−2)よりも下部に一層のみの遮光層を設けた方が、工程省略化が可能となるので好ましい。一方、第一の配線層(A−1)および第二の配線層(A−2)の上部に、遮光層が配置される場合は、第二の配線層(A−2)側から見た場合の配線見えを抑制することができる。この場合、第一の配線層(A−1)および第二の配線層(A−2)よりも上部に一層のみの遮光層を設けた方が、工程省略化が可能となるので好ましい。また、第一の配線層(A−1)の下部と第二の配線層(A−2)の上部の両方に遮光層を設けた場合は、両面における配線見えを抑制することができる。

0109

遮光層を配置する具体的な位置は、第一の配線層と透明層(OC−D)の間、第二の配線層(A−2)の直上、および第二の絶縁層(OC−2)の直上のいずれかの位置が好ましい。

0110

遮光層の光学濃度(以下、OD値という)は、配線見えをより抑制する観点から、0.2以上が好ましく、0.5以上がより好ましく、1.0以上がさらに好ましい。例えば、後述の好ましい絶縁組成物から遮光層を形成することにより、OD値を前記範囲に容易に調整することができる。なお、遮光層のOD値は、顕微分光器(大塚電子MCPD2000)を用いて測定することにより得られた遮光層の透過光強度(I)と、入射光強度(I0)とから下記の関係式(a)より求めることができる。

0111

OD値= log10(I0/I) (a)
また、遮光層の波長550nmの光の反射率は、配線見えをより抑制する観点から、30%以下が好ましく、20%以下がより好ましく、10%以下がさらに好ましい。例えば、後述の好ましい絶縁組成物を用いて遮光層を形成することにより、反射率を前記範囲に容易に調整することができる。

0112

遮光層は絶縁性を有することが好ましい。遮光層の表面抵抗値は、タッチパネルの電気特性を向上させて誤作動を抑制する観点から、108Ω/□以上が好ましく、1012Ω/□以上がより好ましく、1015Ω/□以上がさらに好ましい。なお、遮光層の表面抵抗値は、ハイレスタUPMCP−HT450((株)三菱化学アナリテック製)を用いて、印加電圧10Vの条件で測定することができる。

0113

遮光層を形成する材料としては、絶縁層を形成する材料として先に例示した絶縁性組成物に、遮光顔料を分散させた組成物が好ましい。遮光顔料としては、ペリレンブラックアニリンブラック等の有機顔料;酸窒化チタンチタン窒化物カーボンブラックグラファイト酸化コバルト、チタン、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属微粒子金属酸化物複合酸化物金属硫化物金属窒化物金属炭化物等の無機顔料などが挙げられる。これらの中でも、遮光性反射色特性の観点から、カーボンブラックまたはチタン窒化物がより好ましい。

0114

窒素吸着BET法により測定した遮光顔料の比表面積は、遮光性および絶縁性を向上させる観点から、10m2/g以上が好ましく、20m2/g以上がより好ましい。一方、粒子の凝集を抑制し、分散安定性を向上させる観点から、600m2/g以下が好ましく、200m2/g以下がより好ましく、100m2/g以下がさらに好ましい。

0115

遮光顔料としてカーボンブラックを使用する場合、表面処理により絶縁性を高めたカーボンブラックが好ましい。絶縁性を高めるための表面処理としては、例えば樹脂による表面被覆(特開2002−249678号公報)、表面の湿式酸化処理(特許第4464081号公報)、非ポリマー基からなる有機基による表面修飾特表2008−517330号公報)等が知られている。

0116

絶縁性をさらに向上させるために、カーボンブラックの表面における炭素原子比率は95%以下が好ましく、90%以下がより好ましい。また、カーボンブラック表面における硫黄原子比率が高いほど、アルカリ可溶性樹脂がカーボンブラックへ吸着しやすく、立体障害によりカーボンブラック同士の接触を抑制することから、遮光層の絶縁性をより向上させることができる。このため、カーボンブラックの表面における硫黄原子比率は0.5%以上が好ましく、1.0%以上がより好ましい。

0117

遮光層における遮光顔料の含有量は、遮光性を向上させる観点から、40質量%以上が好ましく、60質量%以上がより好ましい。一方、遮光層の基板との密着性およびパターン加工性を向上させる観点から、含有量は、80質量%以下が好ましく、75質量%以下がより好ましい。

0118

タッチパネルの強度を向上させる観点から、タッチパネルの厚みは、1μm以上が好ましく、3μm以上がより好ましく、5μm以上がさらに好ましい。一方、曲げ耐性をより向上させる観点から、40μm以下が好ましく、30μm以下がより好ましく、25μm以下がさらに好ましい。

0119

タッチパネルは、国際照明委員会1976に規定されるL*a*b*表色系によるb*の値が−5〜5であることが好ましい。この範囲とすることにより、過度色度調整が不要となり、ディスプレイの視認性をより向上させることができる。b*の値は、−4〜4がより好ましく、−3〜3がさらに好ましい。なお、タッチパネルのb*値は、分光光度計(CM−2600d;コニカミノルタ(株)製)を用いて、ガラス基板側から全反射光の反射率を測定し、CIE(L*,a*,b*)色空間における色特性b*を測定することにより算出することができる。

0120

次に、本発明のタッチパネルの製造方法について説明する。本発明のタッチパネルの製造方法は、仮支持体上に、少なくとも、前述の透明層(OC−D)、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)をこの順に形成して転写部材を作製する工程、前記転写部材の仮支持体とは反対側の面を透明粘着層を介して基材に貼り合わせる工程および仮支持体を除去する工程を含む。前記透明層(OC−D)は、剥離機能を有する。ここで、転写部材とは、少なくとも、前述の透明層(OC−D)、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)がこの順に積層された部材を指す。また、剥離機能を有するとは、前記仮支持体と前記転写部材とを、前記仮支持体と前記透明層(OC−D)との界面で剥離可能であることを意味する。具体的な剥離方法としては、仮支持体と透明層(OC−D)の界面で機械剥離する方法、または、温水や有機溶剤等の薬液等に浸漬することで、仮支持体と透明層(OC−D)の界面を剥離する方法、300〜400nmの波長のレーザー光を仮支持体側から照射することで、仮支持体と透明層(OC−D)の界面を剥離する方法などが挙げられる。

0121

仮支持体としては、例えば、シリコンウエハーセラミックス基板、有機系基板などが挙げられる。セラミックス基板としては、例えば、ソーダガラス無アルカリガラスホウケイ酸ガラス石英ガラス等のガラスからなるガラス基板;アルミナ基板窒化アルミニウム基板炭化ケイ素基板が挙げられる。有機系基板としては、例えば、エポキシ基板ポリエーテルイミド樹脂基板、ポリエーテルケトン樹脂基板、ポリサルフォン系樹脂基板、ポリイミドフィルムポリエステルフィルム等が好適に挙げられる。

0122

はじめに、仮支持体上に透明層(OC−D)を形成する。透明層(OC−D)の形成方法は、前記透明組成物を仮支持体上に塗布する塗布工程、塗布された透明組成物を乾燥するプリベーク工程、および、それをキュアするキュア工程を含むことが好ましい。

0123

透明組成物を仮支持体上に塗布する方法としては、例えば、スピンコーターバーコーターブレードコーターロールコーターダイコーターカレンダーコーターメニスカスコーターを用いた塗布、スクリーン印刷、スプレー塗布ディップコートなどが挙げられる。

0124

プリベーク工程およびキュア工程における乾燥方法としては、例えば、加熱乾燥減圧乾燥真空乾燥赤外線照射などが挙げられる。加熱乾燥装置としては、例えば、ホットプレート熱風乾燥機オーブン)などが挙げられる。

0125

プリベーク工程の温度および時間は、透明組成物の組成や、乾燥する塗布膜の膜厚によって適宜設定することができる。加熱温度は50〜150℃が好ましく、加熱時間は10秒間〜30分間が好ましい。

0126

キュア工程の雰囲気、温度および時間は、透明組成物の組成や、乾燥する塗布膜の膜厚によって適宜設定することができるが、空気中でキュアすることが好ましい。加熱温度は、硬化を十分に進める観点から、150℃以上が好ましく、180℃以上がより好ましい。一方、加熱による黄変をより抑制し、色目をより向上させる観点から、加熱温度は、350℃以下が好ましく、300℃以下がより好ましく、245℃以下がさらに好ましい。また、加熱時間は、硬化を十分に進める観点から、5分間以上が好ましく、20分間以上がより好ましい。一方、加熱による黄変をより抑制して、色目をより向上させる観点から、加熱時間は、120分間以下が好ましく、80分間以下がより好ましい。

0127

このようにして形成された透明層(OC−D)に、さらに表面処理を施してもよい。表面処理を施すことにより、透明層(OC−D)の表面状態を変化させ、後の第一の配線層(A−1)等の形成工程における現像残渣によるパターン加工性の低下を抑制することができる。表面処理方法としては、例えば、コロナ放電処理プラズマ処理UVオゾン処理等が好適に挙げられる。表面の劣化を抑制しながら表面状態を改質し、残渣をより低減する観点から、コロナ放電処理またはプラズマ処理が好ましく、プラズマ処理がより好ましい。一方、装置の簡便性の観点からは、コロナ放電処理またはUVオゾン処理が好ましく、UVオゾン処理がより好ましい。

0128

また、形成された透明層(OC−D)上に、絶縁層(OC−0)をさらに形成してもよい。絶縁層(OC−0)を形成することにより、透明層(OC−D)に上述の表面処理を施さない場合であっても、後の第一の配線層(A−1)等のパターン加工性をより向上させることができる。

0129

絶縁層(OC−0)は、前記絶縁性組成物を用いて形成することができる。形成方法は、前記絶縁性組成物を絶縁層(OC−0)上に塗布する塗布工程、塗布された絶縁性組成物を乾燥するプリベーク工程、およびそれをキュアするキュア工程を有することが好ましい。

0130

また、絶縁層(OC−0)として無機膜を形成することも好ましい。無機膜を形成することにより、後の第一の配線層(A−1)等のパターン加工性をより向上させることができる。また、透明層(OC−D)から第一の配線層(A−1)への金属不純物や水分等の移動を抑制し、配線層の信頼性を向上できるため、好ましい。

0131

無機膜の種類としては、Si系薄膜、C系薄膜金属薄膜などが挙げられる。Si系薄膜としては、Si、SiOx、SoCx、SiNx、SiOxCy、SiOxNy、SiOxFy、などが挙げられる。C系薄膜としては、DLC(a−C:H)、N−DLC、Si−DLC、F−DLC、Metal−DLC、グラフェン等が挙げられる。金属薄膜としては、TiOx、SnOx、AlOx、W、などが挙げられる。後の第一の配線層(A−1)等のパターン加工性向上の観点から、Si系薄膜がより好ましい。

0132

続いて、得られた透明層(OC−D)または絶縁層(OC−0)上に、第一の配線層(A−1)を形成する。第一の配線層(A−1)の形成方法は、前記導電性組成物を基板面上に塗布する塗布工程、塗布された導電性組成物を乾燥するプリベーク工程、それを露光および現像してメッシュパターンを形成する工程(露光工程および現像工程)、および得られたメッシュパターンをキュアするキュア工程を含むことが好ましい。

0133

導電性組成物を基板面上に塗布する方法としては、透明組成物の塗布方法として例示した方法が挙げられる。

0134

プリベーク工程およびキュア工程における乾燥方法としては、透明組成物の乾燥方法として例示した方法が挙げられる。

0135

プリベークの温度および時間は、導電性組成物の組成や、乾燥する塗布膜の膜厚によって適宜設定することができる。加熱温度は50〜150℃が好ましく、加熱時間は10秒間〜30分間が好ましい。

0136

露光工程で用いる光源としては、例えば、水銀灯のj線、i線、h線、g線が好ましい。

0138

また、より良好な導電性パターンを得るため、これらのアルカリ性現像液にさらに非イオン系界面活性剤等の界面活性剤を0.01〜1質量%添加することも好ましい。

0139

キュア工程の雰囲気、温度および時間は、導電性組成物の組成や、乾燥する塗布膜の膜厚によって適宜設定することができるが、空気中でキュアすることが好ましい。加熱温度は100〜300℃が好ましく、200〜300℃がより好ましい。加熱時間は5分間〜120分間が好ましい。

0140

さらに、形成した配線層(A−1)上に、第一の絶縁層(OC−1)を形成する。第一の絶縁層(OC−1)の形成方法は、前記絶縁性組成物を配線層(A−1)上に塗布する塗布工程、塗布された絶縁性組成物を乾燥するプリベーク工程、それを露光および現像してパターンを形成する工程(露光工程、現像工程)、および得られたパターンをキュアするキュア工程を含むことが好ましい。それぞれの工程は、配線層(A−1)と同様に行うことができる。

0141

続いて、第一の絶縁層(OC−1)の上に第二の配線層(A−2)を形成する。第二の配線層(A−2)は、第一の配線層(A−1)と同様の方法により形成することができる。

0142

第二の配線層(A−2)の上に、第二の絶縁層(OC−2)をさらに形成してもよい。第二の絶縁層(OC−2)を形成することにより、大気中の水分が配線層(A−2)に到達することを抑制し、耐湿熱性をより向上させることができる。

0143

このとき、電極の引き出し部上部の第二の絶縁層(OC−2)を除去することが好ましい。この部分を予め精密に除去しておくことにより、後の外部電極との接続を容易にすることができる。

0144

また、第二の絶縁層(OC−2)上に、さらに感光性粘着層を形成することも好ましい。かかる構成とすることにより、絶縁性と耐湿熱性をより向上させることができる。第二の絶縁層(OC−2)は、第一の絶縁層(OC−1)と同様の方法により形成することができる。

0145

さらに、遮光層を形成する工程を含むことが好ましい。遮光層の形成方法としては、例えば、(i)透明層(OC−D)上に、遮光層を形成し、第一の配線層(A−1)および第二の配線層(A−2)と同じ形状になるように遮光層をパターン加工した後、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)、第二の配線層(A−2)を形成する方法、(ii)透明層(OC−D)上に、第一の遮光層(B−1)を形成し、第一の配線層(A−1)と同じ形状になるように第一の遮光層をパターン加工した後、第一の配線層(A−1)および第一の絶縁層(OC−1)を形成し、続いて第一の絶縁層(OC−1)上に第二の遮光層(B−2)を形成し、第二の配線層(A−2)と同じ形状になるように第二の遮光層をパターン加工した後、前記第二の配線層(A−2)を形成する方法、(iii)透明層(OC−D)上に、第一の配線層(A−1)、第一の絶縁層(OC−1)および第二の配線層(A−2)を形成した後、第二の配線層(A−2)上に遮光層を形成し、第一の配線層(A−1)および第二の配線層(A−2)と同じ形状になるように遮光層をパターン加工する方法等が挙げられる。

0146

このようにして仮支持体上に前記転写部材が形成された転写部材付き仮支持体が得られる。

0147

次に、前記転写部材の仮支持体とは反対側の面を透明粘着層を介して基材に貼り合わせた後、転写部材付き仮支持体の透明層(OC−D)と仮支持体の間を剥離し、仮支持体のみを除去することにより、タッチパネルを完成させる。ここで、基材とは、ガラス基板やフィルム基板であることが好ましく、ガラス基板やフィルム基板上に部材が形成されていてもよい。そのような基材として、具体的には、カバーガラスやカバーフィルム、偏光フィルムカラーフィルター基板ディスプレイ基板等が好ましく挙げられる。

0148

透明層(OC−D)と仮支持体を剥離する方法としては、例えば、仮支持体裏面から透明層(OC−D)にレーザーを照射して剥離する方法、タッチパネル付き仮支持体を0〜80℃に保った溶剤および/または精製水等に10秒〜10時間浸漬して剥離する方法、透明層(OC−D)を上面よりカットし、カット端面より機械剥離する方法等が挙げられるが、タッチパネルの耐湿熱性をより向上させる観点から、カット端面より機械剥離する方法が好ましい。

0149

また、別の態様として、転写部材付き仮支持体に対して上記の剥離工程を行って、転写部材と仮支持体とを剥離した後、該転写部材の仮支持体とは反対側の面を透明粘着層を介して基材に貼り合わせることにより、タッチパネルを完成させてもよい。さらに、転写部材付き仮支持体の第二の配線層(A−2)の上に保護フィルムや透明粘着層(以下、OCAという)を貼合した後、上記の貼合せ工程および剥離工程を行ってもよい。転写部材付き仮支持体をガラス基板等の基材に貼合した後に剥離工程を行う方が、貼合精度の観点からより好ましい。

0150

本発明のタッチパネルは、上記のとおり、寸法精度に優れた仮支持体上で形成された後、仮支持体を剥離、除去することにより製造されるので、寸法精度に優れる加工方法を適用することが可能である。本発明のタッチパネルは、透明層(OC−D)が前記特定の構造を含む耐熱ポリマーを含有することにより、導電性組成物の残渣が抑制され、色目および耐湿熱性に優れる。本発明によれば、微細パターン形成およびフレキシブル化への対応が可能なタッチパネルを提供することができる。

0151

本発明は、タッチパネル以外の配線を有する構造体にも適用できる。ここでいう構造体としては、例えば、マイクロLED等の曲面ディスプレイRFID等の各種フレキシブルセンサー等が挙げられる。

0152

本発明の構造体は、透明層(OC−D)上に第一の配線層(A−1)が積層された部位を有する構造体であって、前記透明層(OC−D)が下記一般式(1)で表される構造および下記一般式(2)で表される構造を有する耐熱ポリマーを含有する、構造体である。

0153

0154

上記一般式(1)および(2)中、R1およびR2は、それぞれ独立に1価の有機基を示す;mおよびnは、それぞれ独立に0〜4の整数を示す;m個のR1およびn個のR2は、それぞれ同じでも異なってもよい。

0155

以下、本発明の実施例について説明する。まず、実施例および比較例で用いた材料について説明する。

0156

(酸二無水物)
ODPA:3,3’,4,4’−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物(一般式(2)で表される構造を含む化合物)
PMDA:1,2,4,5−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物
PMDA−HS:1,2,4,5−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物

0157

(ジアミン)
DDS:ビス(4−アミノフェニル)スルホン(一般式(1)で表される構造を含む化合物)
m−BAPS:ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホン(一般式(1)および(2)で表される構造を含む化合物)
AHF:2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(一般式(3)で表される構造を含む化合物)
FMB:2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ベンジジン(一般式(12)で表される構造を含む化合物)
FDA:9,9’−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン
HFHA:2,2−ビス(3−アミノ−4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン(一般式(3)で表される構造を含む化合物)
APOB:1,3,5−トリス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(一般式(13)で表される構造を含む化合物)。

0159

(アルカリ可溶性樹脂)
アルカリ可溶性樹脂(A):メタクリル酸メタクリル酸メチル/スチレン=54/23/23(モル%)からなる共重合体のカルボキシル基に対して、0.4当量グリシジルメタクリレート付加反応させたもの(重量平均分子量(Mw):29,000)。

0160

(その他)
PE−3A:ペンタエリスリトールトリアクリレート
(導電性粒子)
A−1:表面炭素被覆層の平均厚みが1nmで、1次粒子径が40nmの銀粒子(日清エンジニアリング(株)製)
A−2:1次粒子径が0.7μmの銀粒子(三井金属(株)製)。

0161

製造例1:ポリマー(P−1〜P−7、P−9〜P−15の合成)
乾燥窒素気流下、表1に示す酸二無水物をGBLに溶解させて濃度10質量%の溶液とした。ここに表1に示すジアミンを加えて、20℃で1時間反応させ、次いで50℃で2時間反応させた。反応完了した重合溶液の濃度は、20〜25質量%であった。

0162

0163

(耐熱ポリマー)
P−8:ポリエーテルスルホン樹脂(“スミエクセル”(登録商標)5003PS:住友化学(株)製)。

0164

製造例2:透明組成物(OP−1〜OP−15)の調製
クリーンボトルに、表2に記載の耐熱ポリマー20g、GBL70gおよび界面活性剤(F−477:DIC(株)製)0.03gを添加し、1時間撹拌して透明組成物OP−1〜OP−15を得た。

0165

0166

製造例3:導電性組成物(AE−1〜AE−4)の調製
上記導電性粒子A−1 80g、界面活性剤(“DISPERBYK”(登録商標)21116:(株)DIC製)4.06g、PGMEA98.07gおよびDPM98.07gを混合し、ホモジナイザーを用いて、1200rpm、30分間の混合処理を施した。その後、さらに、高圧湿式メディアレス微粒化装置ナノマイザー(ナノマイザー(株))を用いて分散処理して、銀含有量28.6質量%の銀分散液1を得た。

0167

また、導電性粒子A−1に代えて導電性粒子A−2を用いたこと以外は上記と同様の操作を行い、銀分散液2を得た。

0168

有機化合物として、アルカリ可溶性樹脂(A)を20g、金属キレート化合物としてエチルアセトアセテートアルミニウムジイソプロピレート(ALCH:川研ファインケミカル(株)製)を0.6g、光重合開始剤(NCI−831:(株)ADEKA製)を2.4g、およびPE−3Aを12.0g混合したものに、PGMEA132.6gおよびDPM52.6gを添加し撹拌することにより、導電性組成物用有機I液を得た。

0169

上記銀分散液と上記有機I液をそれぞれ表3に示す割合で混合し、導電性組成物(AE−1〜AE−4)を得た。

0170

0171

表中、Ag量有機成分量は、導電性組成物中に含まれる銀粒子と、溶媒を除く有機成分との質量比を示す。

0172

製造例4:絶縁性組成物(OA−1)の調製
クリーンボトルに、カルド樹脂(V−259ME:新日鉄住友化学(株)製)50.0g、モノマー(TAIC:日本化成(株)製)18.0g、モノマー(M−315:東亞合成(株)製)10.0g、エポキシ化合物(PG−100:大阪ガスケミカル(株)製)20.0g、および開始剤(OXE−01:BASF株式会社製)0.2gを添加し、1時間撹拌して絶縁性組成物OA−1を得た。

0173

製造例5:遮光性組成物(b−1)の調製
クリーンボトルに、絶縁性組成物(OA−1)50.0g、遮光顔料としてカーボンブラック(“M−100”(商標登録)三菱化学(株)製)8.0gを添加し、ウルトラアペックスミルを用いて1時間分散させて、遮光性組成物(b−1)を得た。

0174

次に、実施例および比較例で行った評価方法について説明する。

0175

(1)微細パターン加工性評価
実施例1〜11、13、15〜22および各比較例については透明層(OC−D)上に、実施例12、実施例14および実施例23については絶縁層(OC−0)上に、各実施例および比較例において用いた導電性組成物を、スピンコーター(ミカサ(株)製「1H−360S(商品名)」)を用いて300rpmで10秒、500rpmで2秒の条件でスピンコートした。続いて、導電性組成物が塗布された基板をホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW−636(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークし、膜厚0.9μmのプリベーク膜を得た。パラレルライトマスクアライナー(キヤノン(株)製「PLA−501F(商品名)」)を用いて超高圧水銀灯を光源とし、ラインアンドスペースパターンを有するマスクを介してプリベーク膜を露光した。この後、自動現像装置産業(株)製「AD−2000(商品名)」)を用いて、0.045質量%水酸化カリウム水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。露光および現像後、5μmのラインアンドスペースパターンを1対1の幅に形成する露光量を最適露光量とした。露光量はI線照度計で測定した。そして、最適露光量における現像後の最小パターン寸法を測定し、以下の評価基準に従って微細パターン加工性を評価し、2以上を合格とした。
5:3μm未満
4:3μm以上4μm未満
3:4μm以上5μm未満
2:5μm以上6μm未満
1:6μm以上。

0176

(2)導電性組成物の導電性評価
実施例1〜11、13、15〜22および各比較例については透明層(OC−D)上に、実施例12、実施例14および実施例23については絶縁層(OC−0)上に、前記(1)に記載の方法により、各実施例および比較例において用いた導電性組成物を用いて、膜厚0.9μmのプリベーク膜を形成した。パラレルライトマスクアライナー(キヤノン(株)製「PLA−501F(商品名)」)を用いて超高圧水銀灯を光源とし、体積抵抗率評価パターンを有するマスクを介してプリベーク膜を露光した。この後、自動現像装置(滝沢産業(株)製「AD−2000(商品名)」)を用いて、0.045質量%水酸化カリウム水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。その後、オーブン(「IHPS−222」;エスペック(株)製)を用いて、空気中、230℃で30分間ポストベークを施すことにより、体積抵抗率評価パターンを得た。

0177

得られた体積抵抗率評価パターンについて、表面抵抗測定機(“ロレスタ”(登録商標)−FP;三菱油化(株)製)により表面抵抗値ρs(Ω/□)を、表面粗さ形状測定機(“サーフコム”(登録商標)1400D;(株)東京精密製)により膜厚t(cm)を測定し、両値を乗算することにより、体積抵抗率(μΩ・cm)を算出し、以下の評価基準に従って導電性評価し、2以上を合格とした。
5:60μΩ・cm未満
4:60μΩ・cm以上80μΩ・cm未満
3:80μΩ・cm以上100μΩ・cm未満
2:100μΩ・cm以上150μΩ・cm未満
1:150μΩ・cm以上。

0178

(3)導電性組成物の残渣評価
前記(2)の方法により得られた体積抵抗率評価パターンが形成された基板の未露光部分について、膜形成前後の400nmにおける透過率を、紫外可視分光光度計((株)島津製作所製「MultiSpec−1500(商品名)」)を用いて測定した。そして、膜形成前の透過率をT0、膜形成後の透過率をTとしたときに、式(T0−T)/T0で表される透過率変化を算出し、以下の評価基準に従って残渣を評価した。2以上を合格とした。
5:1%未満
4:1%以上2%未満
3:2%以上3%未満
2:3%以上4%未満
1:4%以上5%未満。

0179

(4)色目(b*)評価
実施例1〜12、15〜21、23および各比較例については導電層(A−2)までを積層した基板、実施例13〜14、22については透明層(OC−2)までを積層した基板について、分光光度計(CM−2600d;コニカミノルタ(株)製)を用いて、ガラス基板側から積層基板の全反射光の反射率を測定し、CIE(L*,a*,b*)色空間における色特性b*を測定し、以下の評価基準に従って色目を評価した。2以上を合格とした。なお、光源としてはD65光源を用いた。
5:−2≦b*≦2
4:−3≦b*<−2または2<b*≦3
3:−4≦b*<−3または3<b*≦4
2:−5≦b*<−4または4<b*≦5
1:b*<−5または5<b*。

0180

(5)曲げ耐性評価
各実施例および比較例1〜3において作製した透明層(OC−D)付きガラス基板の透明層(OC−D)のみを1cm幅にカットし、ガラス基板から剥離し、直径がそれぞれ10cm、5cm、3cmおよび1cmの金属棒を用いて、180度折り曲げ試験を行った後、光学顕微鏡を用いてクラック発生の有無を観察した。比較例4はPETフィルムを1cm幅に切り出し、同様に180度折り曲げ試験を行った後、光学顕微鏡を用いてクラック発生の有無を観察した。試験回数は1回とした。以下の評価基準に従って曲げ耐性を評価した。2以上を合格とした。
5:直径1cmでクラック発生なし
4:直径3cmでクラック発生なし、直径1cmでクラック発生あり
3:直径5cmでクラック発生なし、直径3cmでクラック発生あり
2:直径10cmでクラック発生なし、直径5cmでクラック発生あり
1:直径10cmでクラック発生あり。

0181

(5)耐湿熱性評価
各実施例および比較例により作製した積層基板について、以下の方法により耐湿熱性を評価した。測定には絶縁劣化特性評価システム“ETAC SIR13”(本化成(株)製)を用いた。配線層(A−1)および配線層(A−2)の端子部分にそれぞれ電極を取り付け、85℃85%RH条件に設定された高温高湿槽内に積層基板を入れた。槽内環境が安定してから5分間経過後、配線層(A−1)および配線層(A−2)の電極間電圧印加し、絶縁抵抗経時変化を測定した。配線層(A−1)を正極、配線層(A−2)を負極として、10Vの電圧を印加し、500時間の抵抗値を5分間隔で測定した。測定した抵抗値が10の5乗以下に達したとき絶縁不良による短絡と判断して印圧を停止し、それまでの試験時間を短絡時間とした。以下の評価基準に従って耐湿熱性を評価した。2以上を合格とした。
5:短絡時間が1000時間以上
4:短絡時間が500時間以上1000時間未満
3:短絡時間が300時間以上500時間未満
2:短絡時間が100時間以上300時間未満
1:短絡時間が100時間未満。

0182

(6)寸法精度評価
各実施例および比較例により作製した積層基板について、以下の方法により寸法精度を評価した。積層基板の中心で配線層(A−1)のメッシュ交差部と配線層(A−2)のメッシュ交差部が重なるように設計された部位において、配線層(A−1)のメッシュ交差部と配線層(A−2)のメッシュ交差部の水平方向のずれを測定し、以下の評価基準に従って寸法精度を評価した。2以上を合格とした。
5:ずれが1μm未満
4:ずれが1μm以上2μm未満
3:ずれが2μm以上3μm未満
2:ずれが3μm以上5μm未満
1:ずれが5μm以上。

0183

(7)破断伸度評価
各実施例および比較例1〜3において作製した透明層(OC−D)付きガラス基板の透明層(OC−D)のみを幅1cm、長さ約9cmの短冊状にカットした後、ガラス基板から剥離し、破断伸度測定サンプルとした。比較例4はPETフィルムを幅1cm、長さ約9cmの短冊状にカットし、破断伸度測定サンプルとした。(株)オリエンテック製テンシロンRTM−100に、破断伸度測定サンプルを初期試料長50mmにセットし、引っ張り速度50mm/分で引っ張り試験を行った。測定は12回行い、得られた破断伸度の上位5点の平均値を透明層(OC−D)の破断伸度とし、以下の評価基準に従って破断伸度を評価した。2以上を合格とした。
5:30%以上
4:15%以上30%未満
3:5%以上15%未満
2:1%以上5%未満
1:1%未満
(8)配線見え評価
実施例1〜12、15〜21、23および各比較例については導電層(A−2)までを積層した基板、実施例13〜14、22については透明層(OC−2)までを積層した基板について、グリーンランプ下、および蛍光灯下で、透明層(OC−D)側から目視にて配線層を観測し、以下の評価基準に従って配線見えを評価した。2以上を合格とした。なお、光源としてはD65光源を用いた。
5:グリーンランプ下で全く視認できない
4:グリーンランプ下で視認できる
3:蛍光灯下で全く視認できない
2:蛍光灯下で角度により視認できる
1:蛍光灯下で視認できる。

0184

(実施例1)
<透明層(OC−D)の形成>
表4に示す透明組成物を、縦210mm×横297mmのガラス基板上にスピンコーター(ミカサ(株)製「1H−360S(商品名)」)を用いて600rpmで10秒スピンコートした後、ホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW−636(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークし、プリベーク膜を作製した。作製したプリベーク膜付き基板を、オーブン(エスペック(株)製「IHPS−222(商品名)」)を用いて、空気中において230℃で30分間キュアし、透明層(OC−D)を形成した。

0185

<第一の配線層(A−1)の形成>
表4に示す導電性組成物を、透明層が形成された基板上にスピンコーター(ミカサ(株)製「1H−360S(商品名)」)を用いて300rpmで10秒、500rpmで2秒の条件でスピンコートした後、ホットプレート(大日本スクリーン製造(株)製「SCW−636(商品名)」)を用いて100℃で2分間プリベークし、プリベーク膜を作製した。パラレルライトマスクアライナー(キヤノン(株)製「PLA−501F(商品名)」)を用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介してプリベーク膜を露光した。この後、自動現像装置(滝沢産業(株)製「AD−2000(商品名)」)を用いて、0.045質量%水酸化カリウム水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、プリベーク膜のパターン加工を行った。

0186

パターン加工された基板を、オーブンを用いて、空気中で230℃で30分間キュアし、第一の配線層(A−1)を形成した。

0187

<絶縁層(OC−1)の形成>
表4に示す絶縁性組成物を、第一の配線層(A−1)を形成した基板上にスピンコーターを用いて650rpmで5秒スピンコートした後、ホットプレートを用いて100℃で2分間プリベークし、プリベーク膜を作製した。パラレルライトマスクアライナーを用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介してプリベーク膜を露光した。この後、自動現像装置を用いて、0.045質量%水酸化カリウム水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。

0188

パターン加工した基板を、オーブンを用いて、空気中で230℃で60分間キュアし、絶縁層を形成し、積層基板を得た。

0189

<第二の配線層(A−2)>
表4に示す導電性組成物を用いて、上記<第一の配線層(A−1)の形成>と同様にして、上記絶縁層上に第二の配線層(A−2)を形成した。

0190

前述の方法により評価した結果を表4に示す。微細パターン加工性、導電性、色目、曲げ耐性および寸法精度は「5」で良好であった。導電性組成物の残渣および耐室熱性は「4」であったが、問題なく使用できる範囲であった。破断伸度は「2」であったが、問題なく使用できる範囲であった。

0191

(実施例2)
透明組成物とキュア温度、膜厚を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。キュア温度が低かったため、導電性は僅かに低下して「4」となったが、問題なく使用できる範囲であった。

0192

(実施例3)
透明組成物とキュア温度、膜厚を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。キュア温度が高かったため、色目は僅かに低下して「4」となったが、問題なく使用できる範囲であった。

0193

(実施例4)
透明組成物を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。評価結果に変化はなかった。

0194

(実施例5)
透明組成物を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマー中の一般式(1)で表される構造の割合が小さかったため、耐熱性が少し低下し色目が低下したが、使用可能な範囲であった。耐熱ポリマーに一般式(12)で表される構造を導入したため、破断伸度が向上した。

0195

(実施例6)
透明組成物を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマー中の一般式(2)で表される構造の割合が小さかったため、耐熱性が少し低下し色目が低下したが、使用可能な範囲であった。

0196

(実施例7)
透明組成物を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマー中の一般式(2)で表される構造の割合が小さいことに加え、芳香族環の割合が小さいことから、耐熱性が低下し色目が低下した。さらに、導電性組成物残渣が発生したが、いずれも使用可能な範囲であった。

0197

(実施例8)
透明組成物を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。ポリイミドに代えてポリエーテルスルホンを用いたことによりにより微細パターン加工性および色目が低下したが、いずれも使用可能な範囲であった。

0198

(実施例9)
導電性組成物を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。導電性組成物中の有機化合物の量が少ないため、微細パターン加工性が低下すると共に残渣が発生した。また曲げ耐性も低下したが、いずれも使用可能な範囲であった。

0199

(実施例10)
導電性組成物を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。導電性組成物中の有機化合物の量が多いため、導電性が低下したが、使用可能な範囲であった。

0200

(実施例11)
導電性組成物を表4に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。金属微粒子が被覆されていなかったため、微細パターン加工性、導電性、耐湿熱性が低下するとともに残渣、配線見えが発生したが、いずれも使用可能な範囲であった。

0201

(実施例12)
表5に記載のとおり、透明層(OC−D)上に絶縁層(OC−0)を形成した他は、実施例1と同様の操作を行った。絶縁層(OC−0)により導電性組成物の残渣が改善されたが、色目が僅かに低下した。使用に問題ない範囲であった。

0202

(実施例13)
表5に記載のとおり、配線層(A−2)上に絶縁層(OC−2)を形成した他は、実施例1と同様の操作を行った。絶縁層(OC−2)の形成は、絶縁層(OC−1)の形成と同様に行った。絶縁層(OC−2)により耐湿熱性が向上したが、色目が僅かに低下した。使用に問題ない範囲であった。

0203

(実施例14)
表5に記載のとおり、透明層(OC−D)上に絶縁層(OC−0)を、配線層(A−2)上に絶縁層(OC−2)を形成した他は、実施例1と同様の操作を行った。絶縁層(OC−0)により導電性組成物の残渣が改善され、絶縁層(OC−2)により耐湿熱性が向上したが、色目が僅かに低下した。使用に問題ない範囲であった。

0204

(実施例15)
キュア温度を表5に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。キュア温度が低かったため、導電性、耐湿熱性は低下して「2」となったが、いずれも使用できる範囲であった。

0205

(実施例16)
キュア温度を表5に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。キュア温度が高かったため、色目、曲げ性、配線見えは低下してそれぞれ「2」、「3」、「2」となったが、いずれも使用できる範囲であった。

0206

(実施例17)
透明組成物を表5に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマーに一般式(12)で表される構造を導入したため、破断伸度が向上した。

0207

(実施例18)
透明組成物を表5に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマーに一般式(12)で表される構造の割合が実施例17よりも増加したため、破断伸度がさらに向上した。

0208

(実施例19)
透明組成物を表5に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマーに構造式(13)で表される構造を導入したため、破断伸度が向上した。

0209

(実施例20)
透明組成物を表5に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマーに構造式(13)で表される構造の割合が実施例17よりも増加したため、色目が低下した。

0210

(実施例21)
表5に記載のとおり、透明層(OC−D)上に遮光層(B−1)を形成した他は、実施例1と同様の操作を行った。遮光層(B−1)により、透明層(OC−D)側から見た配線見えが軽減した。なお、遮光層(B−1)の形成方法を以下に記載する。

0211

<遮光層(B−1)の形成>
遮光性組成物(b−1)を、スピンコーターを用いて750rpmで10秒スピンコートした後、ホットプレートを用いて100℃で2分間プリベークし、プリベーク膜を作製した。パラレルライトマスクアライナーを用いて超高圧水銀灯を光源とし、所望のマスクを介してプリベーク膜を露光した。この後、自動現像装置を用いて、0.045質量%水酸化カリウム水溶液で60秒間シャワー現像し、次いで水で30秒間リンスし、パターン加工を行った。

0212

パターン加工された基板を、オーブンを用いて、空気中で230℃で60分間キュアし、遮光層(B−1)を形成した。

0213

(実施例22)
表5に記載のとおり、遮光層(B−1)を第二の絶縁層(OC−2)上に形成した他は、実施例21と同様の操作を行った。遮光層(B−1)により第二の絶縁層(OC−2)側から見た配線見えが軽減した。

0214

(実施例23)
表5に記載のとおり、透明層(OC−D)上にスパッタにて厚さ30nmのSiO2膜を形成した他は、実施例1と同様の操作を行った。SiO2膜により導電性組成物の残渣が改善し、色目も変化しなかった。

0215

(比較例1)
耐熱ポリマーを表5に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマーが一般式(1)または(2)で表される構造をいずれも含まないため、微細パターン加工性、残渣、色目および耐湿熱性が大幅に低下し、使用不可のレベルであった。

0216

(比較例2)
耐熱ポリマーを表5に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマーが一般式(2)で表される構造を含まないため、微細パターン加工性、残渣、色目および耐湿熱性が大幅に低下し、使用不可のレベルであった。

0217

(比較例3)
耐熱ポリマーを表5に記載のとおり変更した他は、実施例1と同様の操作を行った。耐熱ポリマーが一般式(1)で表される構造を含まないため、微細パターン加工性、残渣、色目および耐湿熱性が大幅に低下し、使用不可のレベルであった。

0218

(比較例4)
透明層(OC−D)を塗布したガラス基板の代わりに膜厚50μmのPETフィルム(“ルミラー”(登録商標):東レ(株)製)を用いた他は、実施例1と同様の操作を行った。PETフィルムの耐熱性が低いために、微細パターン加工性、残渣、色目および耐湿熱性が大幅に低下し、使用不可のレベルであった。さらに、フィルムの変形によりパターンの位置ずれが発生し、寸法精度も大幅に低下し、使用不可のレベルであった。

0219

各実施例および比較例の評価結果を表4〜5に示す。

0220

実施例

0221

0222

本発明のタッチパネルは、従来のフラットディスプレイのみならず、フレキシブルディスプレイに好適に利用できる。

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