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技術 光記録媒体の製造装置及び製造方法

出願人 パナソニック株式会社
発明者 徳永友規豊田武彦原田辰幸
出願日 2011年6月1日 (9年7ヶ月経過) 出願番号 2012-537553
公開日 2014年2月24日 (6年10ヶ月経過) 公開番号 WO2012-046364
状態 特許登録済
技術分野 光記録担体の製造
主要キーワード 三つ又形状 磁場発生体 歯状突起 円周縁 スリット形 気体噴出ノズル スパッタターゲット材 気体吸引
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (10)

課題・解決手段

光記録媒体製造装置において、基板センターホールに対して位置決めを行う上下方向に可動基板位置出しピンと、基板位置出しピンを用いて基板の位置決めを行って基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板の表面に向けて気体噴出する気体噴出部と気体を吸引する気体吸引部とを有するクリーナーと、基板位置出しピンを下方に押下可能で且つ基板のセンターホールの内周側面に接触しないように構成された基板位置出しピン固定部とを備え、基板位置出しピン固定部は、基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成されるように、基板保持部に保持された基板のセンターホール内を下降して、基板位置出しピンを押下して固定し、その状態で前記クリーナーが、気体の噴出と吸引を行う。

概要

背景

光記録媒体情報信号層における異物を除去する従来の方法として、情報信号層を形成する工程の後、光透過層を形成する工程の前に、基板の少なくとも情報信号層の露出面に気体を吹き付けると共に、露出面近傍の気体を吸引する工程を有するものがある(例えば、特許文献1参照)。

概要

光記録媒体の製造装置において、基板のセンターホールに対して位置決めを行う上下方向に可動基板位置出しピンと、基板位置出しピンを用いて基板の位置決めを行って基板を保持する基板保持部と、基板保持部に保持された基板の表面に向けて気体を噴出する気体噴出部と気体を吸引する気体吸引部とを有するクリーナーと、基板位置出しピンを下方に押下可能で且つ基板のセンターホールの内周側面に接触しないように構成された基板位置出しピン固定部とを備え、基板位置出しピン固定部は、基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成されるように、基板保持部に保持された基板のセンターホール内を下降して、基板位置出しピンを押下して固定し、その状態で前記クリーナーが、気体の噴出と吸引を行う。

目的

本発明は、上記の課題を解決するものであり、光記録媒体のセンターホールの内周側面付近の異物を十分に除去し得る光記録媒体の製造装置及び製造方法を提供する

効果

実績

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牽制数
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請求項1

基板上に情報信号層が設けられた光記録媒体製造装置において、前記基板のセンターホールに対して位置決めを行う上下方向に可動基板位置出しピンと、前記基板位置出しピンを用いて前記基板の位置決めを行って、前記基板を保持する基板保持部と、前記基板保持部に保持された前記基板の表面に向けて気体噴出する気体噴出部と気体を吸引する気体吸引部とを有するクリーナーと、前記基板位置出しピンを下方に押下可能で、且つ前記基板のセンターホールの内周側面に接触しないように構成された基板位置出しピン固定部とを備え、前記基板位置出しピン固定部は、前記基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成されるように、前記基板保持部に保持された前記基板のセンターホール内を下降して、前記基板位置出しピンを押下して固定し、その状態で前記クリーナーが、気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする光記録媒体の製造装置。

請求項2

前記基板位置出しピン固定部が円柱形状であり、その円断面の径が前記基板位置出しピンの円断面の径よりも小さいことを特徴とする請求項1に記載の製造装置。

請求項3

前記基板位置出しピン固定部が、前記基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成され得るように、前記基板保持部に保持された前記基板のセンターホール内を下降して、前記基板位置出しピンを押下して固定した状態のときに、前記クリーナーの気体噴出部の一部と気体吸引部の一部が、前記基板保持部に保持された前記基板の内周側面よりも内側の位置まで移動可能であることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。

請求項4

前記クリーナーと前記基板位置出しピン固定部とが一体構成されていることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。

請求項5

前記基板位置出しピンと前記基板位置出しピン固定部とのうち、一方が磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。

請求項6

前記基板位置出しピンと前記基板位置出しピン固定部のいずれもが、磁場発生体で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の製造装置。

請求項7

前記基板位置出しピン固定部は、真空吸着により前記基板位置出しピンを押下した状態で固定することを特徴とする請求項1に記載の製造装置。

請求項8

前記クリーナーが、前記情報信号層が設けられた面側に対して気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする請求項1に記載の製造装置。

請求項9

前記クリーナーが、光記録媒体の印刷面側に対して気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする請求項1に記載の製造装置。

請求項10

基板のセンターホールに対して上下方向に可動の基板位置出しピンにより位置決めされた前記基板を保持するステップと、前記基板のセンターホールの内周側面が露出するように、前記基板位置出しピンを下方に押下して固定するステップと、保持されている前記基板の表面に向けて気体を噴出し同時に気体を吸引するクリーナーにより異物の除去を行うステップとを含む光記録媒体の製造方法。

請求項11

前記基板のセンターホールの内周側面が露出するように、前記基板位置出しピンを下方に押下して固定した状態のときに、前記クリーナーの一部が、保持されている前記基板の内周側面よりも内側の位置まで移動し得ることを特徴とする請求項10に記載の製造方法。

請求項12

基板の信号面ターゲット材スパッタリングすることで記録膜又は反射膜を形成する工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項10に記載の製造方法。

請求項13

基板の信号面を保護するためのカバー層を形成する工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項10に記載の製造方法。

請求項14

基板の信号面を保護するためのカバー層を形成した面の反対側面に、裏面スパッタターゲット材をスパッタリングすることで吸水防止膜を形成する工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項10に記載の製造方法。

請求項15

基板の吸水防止膜を形成した面に印刷を行う工程の直前に、前記各ステップを実行することを特徴とする請求項10に記載の製造方法。

技術分野

0001

本発明は、光記録媒体製造装置及び製造方法に関し、特に、光記録媒体の基板上の異物を除去する製造装置及び製造方法に関する。

背景技術

0002

光記録媒体の情報信号層における異物を除去する従来の方法として、情報信号層を形成する工程の後、光透過層を形成する工程の前に、基板の少なくとも情報信号層の露出面に気体を吹き付けると共に、露出面近傍の気体を吸引する工程を有するものがある(例えば、特許文献1参照)。

先行技術

0003

特開2001−338443号公報

発明が解決しようとする課題

0004

しかしながら、上述のような異物を除去する方法を実施する装置においては、光記録媒体のセンターホール内周側面付近基板位置出しピンと接触しているため、気体を吹き付けて吸引するとしても、異物が十分に除去できない。

0005

本発明は、上記の課題を解決するものであり、光記録媒体のセンターホールの内周側面付近の異物を十分に除去し得る光記録媒体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0006

上記課題を解決するため、本発明の光記録媒体の製造装置は、
基板上に情報信号層が設けられた光記録媒体の製造装置において、
前記基板のセンターホールに対して位置決めを行う上下方向に可動の基板位置出しピンと、
前記基板位置出しピンを用いて前記基板の位置決めを行って、前記基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部に保持された前記基板の表面に向けて気体を噴出する気体噴出部と気体を吸引する気体吸引部とを有するクリーナーと、
前記基板位置出しピンを下方に押下可能で、且つ前記基板のセンターホールの内周側面に接触しないように構成された基板位置出しピン固定部と
を備え、
前記基板位置出しピン固定部は、前記基板のセンターホールの内周側面の近傍に隙間が形成されるように、前記基板保持部に保持された前記基板のセンターホール内を下降して、前記基板位置出しピンを押下して固定し、その状態で前記クリーナーが、気体の噴出と吸引を行うことを特徴とする。

0007

また、上記課題を解決するため、本発明の光記録媒体の製造方法は、
基板のセンターホールに対して上下方向に可動の基板位置出しピンにより、位置決めされた前記基板を保持するステップと、
前記基板のセンターホールの内周側面が露出するように、前記基板位置出しピンを下方に押下して固定するステップと、
保持されている前記基板の表面に向けて気体を噴出し同時に気体を吸引するクリーナーにより異物の除去を行うステップと
を含む。

発明の効果

0008

本発明によれば、クリーナー動作中に光記録媒体のセンターホールの内周側面の表面を露出させることにより、光記録媒体のセンターホールの内周側面付近の異物を十分に除去し得る光記録媒体の製造装置及び製造方法を実現できる。

図面の簡単な説明

0009

円盤状光記録媒体の製造の全体工程を概略示す図
本発明の実施の形態1に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置2の概略の構成を示す図
クリーナーノズルの先端部の横断面図
本発明の実施の形態1に係る光記録媒体の製造装置の、異物を除去するための動作を示す図
本発明の実施の形態2に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置42の概略の構成を示す図
基板保持部上に配置される基板の信号面に対向する、クリーナーユニットの底面を示す図
本発明の実施の形態2に係る光記録媒体の製造装置の、異物を除去するための動作を示す図
基板位置出しピン固定部として別の構成を採用する、本発明の実施の形態に係る製造装置の概略の構成を示す図
本発明の一つの実施の形態を実現する基板位置出しピンと基板位置出しピン固定部とを示す図

実施例

0010

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。

0011

1.実施の形態1
1.1.光記録媒体の製造工程
最初に、円盤状光記録媒体の製造の全体工程について説明する。図1は、円盤状光記録媒体の製造の全体工程を概略示す図である。以下に説明する製造方法により製造される光記録媒体は、基板上に情報信号層が設けられ該基板に対して光を照射して情報信号の記録及び/又は再生が行われる円盤状の記録媒体である。図1に示すように、円盤状光記録媒体の製造の全体工程は、基板の成形工程スパッタ工程、カバー層工程、裏面スパッタ工程、及び、印刷工程を含み、各工程はこの順序で行われる。

0012

まず、基板の成形工程では、例えば、厚さ1.1mmの円盤状のポリカーボネート基板11が成形される。次に、スパッタ工程では、基板11の信号面13にターゲット材12をスパッタリングすることで記録膜及び/又は反射膜が形成される。

0013

次に、カバー層工程では、信号面13の表面を保護するために、カバー層が形成される。具体的には、このカバー層工程では、基板11中心部上方に配置されるセンターキャップ14上に、樹脂滴下ノズル15によって紫外線硬化樹脂16を塗布し、更に、塗布した樹脂を、例えばスピンコート法により、基板表面に均一な厚さになるように引き伸ばし、その後、紫外線によって硬化する。このようにすることでカバー層が形成される。

0014

次に、裏面スパッタ工程では、吸水による基板の反りを防止するために、カバー層を形成した基板面の反対側に、裏面スパッタターゲット材17をスパッタリングすることで吸水防止膜18が形成される。最後に、印刷工程では、裏面スパッタ工程で吸水防止膜18を形成した面にレーベル印刷を行う。

0015

本実施の形態では、円盤状光記録媒体の製造の全体工程において、塵等の異物を除去するための異物除去のサブ工程を、上述のスパッタ工程、カバー層工程、裏面スパッタ工程、及び、印刷工程のうちの少なくとも何れか一つの工程の前に行う。特に、カバー層工程では、異物混入による不良な記録媒体の発生が、カバー層工程における歩留を大きく悪化させるので、紫外線硬化樹脂16を塗布する前の基板表面の異物除去が非常に重要である。

0016

1.1.光記録媒体の製造装置の構成
次に、本発明の実施の形態1に係る製造装置2について説明する。図2は、本実施の形態に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置2の概略の構成を示す図である。なお以下では、カバー層工程直前における記録媒体の異物を除去する際の、製造装置2の構成を示しており、製造装置2には、記録層及び/又は反射膜をスパッタリングにより形成した後の基板23が配置される。

0017

本実施の形態の光記録媒体の製造装置2は、回転軸21、基板保持部22、基板位置出しピン24、基板位置出しピン固定部28、クリーナーノズル25、気体供給部26、及び吸引ポンプ27を含む。なお、図2において、回転軸21、基板保持部22、基板位置出しピン24、及び基板位置出しピン固定部28は、縦断面図により示されている。

0018

光記録媒体の元となる円盤状の基板23は、高速回転する回転軸21と連動する基板保持部22によって保持される。基板保持部22は、真空吸着などの作用により基板23を保持する。

0019

図2に示すように、回転軸21及び基板保持部22の中心部の鉛直方向には、基板23のセンターホールの径と同じ径を有する円筒孔が、設けられている。この円筒孔内には、円柱形の基板位置出しピン24が配置される。基板位置出しピン24は、回転軸21及び基板保持部22の円筒孔内に隙間無く配置されるが、基板23の信号面13に対して垂直方向に動作可能であるように構成されている。この基板位置出しピン24は、基板保持部22上での基板23の位置決めを行うために設けられている。つまり、基板位置出しピン24は、基板23の位置決めを行う際には基板23の信号面13から僅かに上面を突出するように、また、上面を下方へ押下すると鉛直方向の位置を円筒孔内で下げるように、下方からバネなどの弾性体(図示せず)により付勢されている。

0020

基板位置出しピン24の上方において、それに対向する位置には、基板位置出しピン固定部28が設けられている。基板位置出しピン固定部28は、鉛直方向に下降して、基板位置出しピン24を押下した状態で固定される。つまり、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部28とは、接触した状態で相互に固定される。このように相互に固定されることにより、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部28との接触面は、回転軸21及び基板保持部22が回転しても磨耗することがなく、よって回転軸21及び基板保持部22の回転動作中の異物の発生が抑制される。そのために、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部28のいずれもがマグネット等の磁場発生体で構成されているのが好ましい。或いは、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部28とのうち一方がマグネット等の磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されていてもよい。

0021

後で説明するように、基板位置出しピン固定部28が基板位置出しピン24を押下した際に、基板23のセンターホールの内周側面30の内側に隙間(空間)が形成されること、すなわち、内周側面30の表面が露出することが好ましい。つまり、このときに、基板位置出しピン固定部28が、基板23のセンターホールの内周側面30に接触しないものであることが好ましい。そのために、基板位置出しピン固定部28の横幅が、基板位置出しピン24の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。具体的には、例えば、基板位置出しピン固定部28が円柱形状であり、その円断面の径が、基板位置出しピン24の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。

0022

更に、基板23の信号面13に対向させて、クリーナーノズル25が設けられている。クリーナーノズル25は、異物を除去するために、その先端部にて気体の噴出と気体の吸引とを行う。従って、図2に示すように、クリーナーノズル25の先端部は、基板23の信号面13と対向して、且つ、基板23の信号面13と数mm離れて、配置される。更に、本実施の形態においては、クリーナーノズル25の先端部は、基板23の信号面13と数mm離隔する平行面上を、基板23の径方向において、基板23のセンターホール近傍から外周近傍へ、若しくは、基板23の外周近傍からセンターホール近傍へ、移動可能に構成されている。後で説明するように、クリーナーノズル25の先端部が基板23のセンターホール近傍に存在するときには、基板のセンターホールの内周側面30よりもセンターホールの中心に僅かに近づくところにまで、接近することが好ましい。

0023

図3は、クリーナーノズル25の先端部の横断面図である。クリーナーノズル25には、気体噴出を行うための気体噴出ノズル25bと、それを取り囲むように、気体の吸引を行うための気体吸引ノズル25aが設けられている。図2に示す気体供給部26は、クリーナーノズル25の気体噴出ノズル25bを介して高圧の気体を基板23表面に供給する。吸引ポンプ27は、クリーナーノズル25の気体吸引ノズル25aを介して気体を吸引する。

0024

1.2.光記録媒体の製造装置の動作
次に、本実施の形態に係る製造装置2の、異物を除去するための動作について説明する。図4は、本実施の形態に係る光記録媒体の製造装置2の、異物を除去するための動作を説明するための図である。

0025

最初、図2に示すように、基板23が、基板位置出しピン24を基準に基板保持部22に設置され、真空吸着などの作用により基板保持部22に保持されている。この状態で、基板位置出しピン固定部28が基板位置出しピン24を押下し、その状態で相互の位置がマグネットの作用により固定される。このとき、図4に示すように、基板位置出しピン固定部28が基板位置出しピン24を押下することにより、基板23のセンターホールの内周側面30と、基板位置出しピン固定部28及び基板位置出しピン24との間に、隙間(空間)が形成される。このように隙間(空間)が形成されるために、基板位置出しピン固定部28の横幅が、基板位置出しピン24の円断面の径よりも小さいことが好ましい。

0026

次に、基板保持部22は、回転軸21の回転動作により回転し、この回転動作により、基板保持部22に保持される基板23も同様に回転する。この基板23の回転と、以下に述べるクリーナーノズル25の径方向の移動とにより、基板23の上面の表面のあらゆる位置に存在する異物が除去され得る。

0027

クリーナーノズル25の先端部は、基板23の信号面13と数mm離隔した位置を、基板23の径方向において、基板23のセンターホール近傍から外周近傍へ、若しくは、基板23の外周近傍からセンターホール近傍へ、平行移動する。クリーナーノズル25の先端部が基板23のセンターホール近傍に存在するときには、基板23のセンターホールの内周側面30よりもセンターホールの中心に僅かに近づくところに、接近することが好ましい。

0028

クリーナーノズル25の先端部は、基板23の表面に向けて、気体の噴出と気体の吸引とを同時に行うことにより、基板23の表面の異物を除去する。この際、基板位置出しピン固定部28が基板位置出しピン24を押下することで、基板23のセンターホールの内周側面30と、基板位置出しピン固定部28及び基板位置出しピン24との間に隙間(空間)が形成されることにより、クリーナーノズル25の先端部は、基板23のセンターホールの内周側面30付近の異物を十分に且つ効率的に吸引して除去することができる。また更に、クリーナーノズル25の先端部が、基板23のセンターホールの内周側面30よりもセンターホール中心に僅かに近づくところに、接近できるのであるならば、基板23のセンターホールの内周側面30付近の異物を、より十分に且つ効率的に除去することができる。

0029

また、本実施の形態に係る、異物を除去するための光記録媒体の製造装置2では、基板位置出しピン24は基板位置出しピン固定部28によって固定されているため、相互の接触面は、回転軸21及び基板保持部22が回転しても、磨耗することがなく、よって回転軸21及び基板保持部22の回転動作中の異物の発生を無くすことができる。

0030

1.3.まとめ
実施の形態1に係る光記録媒体の製造装置2では、基板位置出しピン固定部28が基板位置出しピン24を押下することで、基板23のセンターホールの内周側面30と、基板位置出しピン固定部28及び基板位置出しピン24との間に隙間(空間)が形成される。また、クリーナーノズル25の先端部が、基板23のセンターホールの内周側面30よりもセンターホール中心に僅かに近づくところに、接近できる。これらのことにより、基板23のセンターホールの内周側面30が露出し、基板23のセンターホールの内周側面30付近の異物が十分に且つ効率的に除去され得る。更に、基板位置出しピン24が基板位置出しピン固定部28によって固定されているので、回転軸21及び基板保持部22の回転動作中に、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部28の摩擦により生じ得る異物の発生が、抑制される。

0031

2.実施の形態2
2.1.光記録媒体の製造装置の構成
本発明の実施の形態2に係る製造装置について説明する。図5は、本実施の形態に係る光記録媒体の製造装置の概略の構成を示す図である。実施の形態2に係る製造装置42のうち、回転軸21、基板保持部22、及び基板位置出しピン24の構成は、実施の形態1のものと同様であるため詳しい説明を省略する。以下においても、カバー層工程直前における記録媒体の異物を除去する際の、製造装置42の構成を示しており、製造装置には、記録層及び/又は反射膜をスパッタリングにより形成した後の状態の基板23が配置される。

0032

本発明の実施の形態2に係る製造装置42は、基板位置出しピン固定部52と、異物を除去するための気体の噴出及び気体の吸引を行うクリーナーユニット51とが、一体構成されている点が本発明の実施の形態1のものと異なる。

0033

図6は、クリーナーユニット51を、基板保持部22上に配置される基板23の信号面13に対向する側、すなわち、クリーナーユニット51の開口部側から見た図である。実施の形態2に係るクリーナーユニット51は、概略、直方体形状であり、図5に示すように、その長手方向の寸法は基板23の半径を超えるものである。

0034

図6に示すように、実施の形態2に係るクリーナーユニット51の底面には、より効率的に異物を除去するために、スリット形状である1本の気体噴出部51bと2本の気体吸引部51aとが、クリーナーユニット51の長手方向に並列して配置されている。1本の気体噴出部51bは、クリーナーユニット51の底面の中央に配置され、2本の気体吸引部51aは、夫々、クリーナーユニット51の底面の縁部近くに配置されている。また、基板位置出しピン固定部52が、気体噴出部51bと気体吸引部51aの間に設けられている。基板位置出しピン固定部52は、クリーナーユニット51の底面の別の位置に設けられてもよく、例えば、スリット形状の気体噴出部51bの一部を遮るようにその途中の位置に設けられてもよい。また、図6に示すクリーナーユニット51では、1本の気体噴出部51bと2本の気体吸引部51aとが設けられているが、より多数本の気体噴出部51b及び気体吸引部51aが設けられてもよい。

0035

クリーナーユニット51底面の気体噴出部51bを介して基板23表面に噴出される高圧の気体は、クリーナーユニット51と繋がる気体供給部26により供給される。クリーナーユニット51底面の気体吸引部51aを介して基板23表面から吸引される気体は、クリーナーユニット51と繋がる吸引ポンプ27により吸収される。

0036

クリーナーユニット51と一体構成される基板位置出しピン固定部52は、実施の形態1に係る製造装置2における基板位置出しピン固定部28と同様のものである。基板位置出しピン固定部52は、鉛直方向に降下し、基板位置出しピン24を押下した状態で相互に固定される。このように相互に固定されることにより、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部52との接触面は、回転軸21及び基板保持部22が回転しても磨耗することがなく、よって回転軸21及び基板保持部22の回転動作中の異物の発生が抑制される。そのために、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部52のいずれもがマグネット等の磁場発生体で構成されているのが好ましい。或いは、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部52とのうち一方がマグネット等の磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されていてもよい。

0037

また、基板位置出しピン固定部52が基板位置出しピン24を押下した際に、基板23のセンターホールの内周側面30の内側に隙間(空間)が形成されること、すなわち、内周側面30の表面が露出することが好ましい。つまり、このときに、基板位置出しピン固定部52が、基板23のセンターホールの内周側面30に接触しないものであることが好ましい。そのために、基板位置出しピン固定部52の横幅が、基板位置出しピン24の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。具体的には、例えば、基板位置出しピン固定部52が円柱形状であり、その円断面の径が、基板位置出しピン24の円断面の径よりも小さいものであるのが好ましい。

0038

また、基板位置出しピン固定部52が基板位置出しピン24を押下して固定される状態の際には、クリーナーユニット51底面が、基板23の信号面13の上方に数mm離隔して配置されるように、基板位置出しピン固定部52及びクリーナーユニット51底面が構成されている。

0039

2.2.光記録媒体の製造装置の動作
次に、本実施の形態に係る製造装置42の、異物を除去するための動作について説明する。図7は、本実施の形態に係る光記録媒体の製造装置42の、異物を除去するための動作を説明するための図である。回転軸21、基板保持部22、及び基板位置出しピン24の動作は、実施の形態1のものと同様であるため詳しい説明を省略する。

0040

最初、図5に示すように、基板23が、基板位置出しピン24を基準に基板保持部22に設置され、真空吸着などの作用により基板保持部22に保持されている。この状態で、クリーナーユニット51と一体構成された基板位置出しピン固定部28が、基板位置出しピン24を押下し、その状態で相互の位置がマグネットの作用により固定される。このとき、図7に示すように、基板位置出しピン固定部52が基板位置出しピン24を押下することにより、基板23のセンターホールの内周側面30と、基板位置出しピン固定部52及び基板位置出しピン24との間に、隙間(空間)が形成される。このように隙間(空間)が形成されるために、基板位置出しピン固定部52の横幅が、基板位置出しピン24の円断面の径よりも小さいことが好ましい。

0041

基板位置出しピン固定部28が基板位置出しピン24を押下し、相互の位置をマグネットの作用により固定するとき、クリーナーユニット51底面は、基板23の信号面13の上方に数mm離隔して配置される。

0042

次に、基板保持部22は、回転軸21の回転動作により回転し、この回転動作により、基板保持部22に保持される基板23も同様に回転する。この基板23の回転と、基板23の半径よりも長いスリット形状の気体噴出部51b及び気体吸引部51aを底面に備えるクリーナーユニット51の配置とにより、基板23の上面のあらゆる位置に存在する異物が除去され得る。

0043

クリーナーユニット51底面の気体噴出部51b及び気体吸引部51aは、基板23の信号面13の上方に数mm離隔して配置される。図6に示すように、気体噴出部51bと片方の気体吸引部51aとは、基板位置出しピン固定部52を挟むようにして配置されているので、基板位置出しピン固定部52近傍の、気体噴出部51bの一部と気体吸引部51aの一部は、基板23のセンターホールの内周側面30よりもセンターホールの中心に近い位置の上方に在ることになる。

0044

クリーナーユニット51は、気体の噴出と吸引とを同時に行うことにより、基板23表面の異物を除去する。この際、基板位置出しピン固定部52が基板位置出しピン24を押下し続けることで、基板23のセンターホールの内周側面30と、基板位置出しピン固定部52及び基板位置出しピン24との間に隙間(空間)が形成されることにより、クリーナーユニット51の気体噴出部51b及び気体吸引部51aは、基板23のセンターホールの内周側面30付近の異物を十分に且つ効率的に吸引して除去することができる。また、基板位置出しピン固定部52近傍の、気体噴出部51bの一部と気体吸引部51aの一部は、基板23のセンターホールの内周側面30よりもセンターホールの中心に近い部分の直ぐ上方に在ることからも、基板23のセンターホールの内周側面30付近の異物は、より十分に且つ効率的に除去されることが可能になる。

0045

なお、クリーナーユニット51の長手方向の寸法が、基板23の直径と同程度のものであってもよく、基板23の直径を超えるものであってもよい。これらの場合、より早く確実に異物が除去されることになる。

0046

2.3.まとめ
実施の形態2に係る光記録媒体の製造装置2によっても、実施の形態1と同様に、クリーニング動作中に基板23のセンターホールの内周側面30付近に空間を形成できるため、基板23のセンターホールの内周側面30付近の異物が十分に且つ効率的に除去され得る。更に、基板位置出しピン24が基板位置出しピン固定部52によって固定されているので、回転軸21及び基板保持部22の回転動作中に、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部52の摩擦により生じ得る異物の発生が、抑制される。

0047

更に、実施の形態2に係る製造装置では、クリーナーノズルの移動機構を必要としないため、実施の形態1に比べて、製造装置の全体構成が簡略化される。

0048

3.その他の実施の形態
以上、本発明の実施の形態1と実施の形態2を説明したが、本発明は、以上の実施の形態に限定されるものではない。

0049

実施の形態1に係る製造装置、及び、実施の形態2に係る製造装置のいずれでも、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部28、52のいずれもがマグネット等の磁場発生体で構成されている、又は、基板位置出しピン24と基板位置出しピン固定部28、52とのうち一方がマグネット等の磁場発生体で構成されており、他方が磁性体で構成されている。つまり、両者が接触したとき両者は相互に固定されるものである。このように、両者が接触したときの相互の固定が実現されるのであれば、基板位置出しピン固定部は、別の構成を採用するものであってもよい。

0050

図8は、基板位置出しピン固定部81として別の構成を採用する、本発明の別の実施の形態に係る製造装置62の概略の構成を示す図である。図8に示す基板位置出しピン固定部81は、真空ポンプ82と繋がっている。基板位置出しピン固定部81は、基板位置出しピン24を押下可能であり、更に、押下した状態で、真空ポンプ82の動作により基板位置出しピン24を真空吸着しつつ固定することができる。この構成により、基板位置出しピン固定部81と基板位置出しピン24との互いの接触面は、回転軸21及び基板保持部22が回転しても磨耗することがなく、よって、回転軸21及び基板保持部22の回転動作中における異物の発生が抑制される。

0051

なお、図示していないが、クリーナーノズル25、気体供給部26、及び吸引ポンプ27は、図2及び図4に示す実施の形態1に係るものが用いられるのが好ましい。

0052

また、基板位置出しピン固定部と基板位置出しピンが接触したとき、両者が相互に完全に吸着するものでなくても、本発明の実施の形態は実現され得る。図9は、本発明の更に別の実施の形態を実現する、基板位置出しピン24bと、基板位置出しピン固定部28aとを示す図である。基板位置出しピン固定部28aは略、円柱形状であり(図9(1a)参照)、その先端部には三つ又形状を為す突起部55を備える。図9(2a)に、図9(1a)に示す基板位置出しピン固定部28aを矢印Aから見たときの底面図を示す。

0053

これに対して、基板位置出しピン24bも略、円柱形状であり(図9(1b)参照)、その上面には、円周縁と、基板位置出しピン固定部28aの突起部55を受けて係合する三つの歯状突起部57とを、備える。図9(2b)に、図9(1b)に示す基板位置出しピン24bを矢印Bから見たときの上面図を示す。

0054

基板位置出しピン24bと基板位置出しピン固定部28a以外の構成要素については、実施の形態1に係る製造装置のもの、若しくは実施の形態2に係る製造装置のものと、同様であればよい。

0055

基板位置出しピン固定部28aの先端部と、基板位置出しピン24bの上面とを合わせ、基板位置出しピン24bを回転矢印βの方向に回転させると(或いは、基板位置出しピン固定部28aを回転矢印αの方向に回転させると)、基板位置出しピン固定部28aと基板位置出しピン24bの相互の位置は、図9(3)に示すように係合して固定される。すなわち、基板位置出しピン固定部28aの先端部の突起部55と、基板位置出しピン24b上面の歯状突起部57とが係合し、両者はそれ以上相互に回転しないことになる。

0056

このように、回転軸21及び基板保持部22が回転しても、基板位置出しピン固定部28aと基板位置出しピン24bとの回転方向の位置は固定されるため、相互の接触面は磨耗することがなく、よって、回転軸21及び基板保持部22の回転動作中における異物の発生が抑制される。

0057

以上、本発明の実施の形態に係る製造装置は、図1に示すカバー層工程の直前における記録媒体の異物を除去する装置として説明してきたが、本発明の実施の形態に係る製造装置は、その他の工程における記録媒体の異物を除去することもできる。例えば、図1には、光記録媒体の製造の全体工程に含まれる、スパッタ工程、裏面スパッタ工程、及び、印刷工程などが示されているが、これら各工程の直前における記録媒体の異物を除去する装置としても、本発明の実施の形態に係る製造装置を用いることができる。

0058

2、42、62・・・製造装置、11・・・ポリカーボネート基板、12・・・ターゲット材、13・・・信号面、14・・・センターキャップ、15・・・樹脂滴下ノズル、16・・・紫外線硬化樹脂、17・・・裏面スパッタターゲット、18・・・吸水防止膜、21・・・回転軸、22・・・基板保持部、23・・・基板、24、24b・・・基板位置出しピン、25・・・クリーナーノズル、25a・・・気体吸引ノズル、25b・・・気体噴出ノズル、26・・・気体供給部、27・・・吸引ポンプ、28、28a、52、81・・・基板位置出しピン固定部、30・・・センターホール内周側面、51・・・クリーナーユニット、51a・・・気体吸引部、51b・・・気体噴出部、55・・・突起部、57・・・歯状突起部、82・・・真空ポンプ。

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