図面 (/)

技術 流量調整方法及び圧力調整方法

出願人 株式会社ディスコ
発明者 越岡裕司
出願日 2019年9月17日 (1年9ヶ月経過) 出願番号 2019-168192
公開日 2021年3月25日 (3ヶ月経過) 公開番号 2021-045798
状態 未査定
技術分野 研削機械のドレッシング及び付属装置
主要キーワード シリコン母材 開口扉 略放物線 蛇腹カバー 比較監視 設定圧力範囲 複数環状 着脱領域
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2021年3月25日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (2)

課題

加工装置において流体供給源が供給部に供給する流体流量調整を行う場合に、作業者作業効率を向上させる。

解決手段

加工装置1において、被加工物Wまたは加工具164に流体を供給する手段7が供給する流体の流量を調整する方法であり、流体供給手段7は、流体が供給される供給部70と流体供給源79とを連通させる配管71と、配管71内を流れる流体の流量を可変させる絞り弁72と、供給部70と絞り弁72との間の配管71内を流れる流体の流量を検出する流量センサ73と、を備え、制御手段9は、流体の規定の設定流量値を設定する設定部90と、設定流量値に対して絞り弁72の開度が変更されることで流量センサ73によって検出された流量値によってスピーカ99に通電させスピーカ99に音を鳴らさせる通電部91と、を備え、絞り弁72の開度を変更しスピーカ99の音を聞き供給部70に供給する流体の流量を調整する工程を備える、流量調整方法

概要

背景

加工具を用いて被加工物を加工する加工装置(例えば、特許文献1参照)においては、流体供給源が加工装置のノズル等の供給部に供給する加工液洗浄液等の液体乾燥エア等の気体を、流量調整または圧力調整して供給している。また、流体供給源から液体と気体とを混合させた混合液二流体)を供給部に供給する際も、流量調整または圧力調整して供給している。

また、近年の加工装置は、加工中に供給される流体流量値を認識するための流量センサ、又は圧力値を認識するための圧力センサを備えていて、加工中に予め設定された流量値、又は圧力値で流体が供給されているかを監視している。また、流量センサ、又は圧力センサで検出された流量、又は圧力を加工装置の制御手段が認識しているので、装置の装置筐体等に取り付けられたモニタータッチパネル画面に流量、又は圧力を表示して作業者視認することが可能である。そのため、近年の加工装置は作業者が流量を目視できる表示計フローメータ)や、圧力を目視できる表示計(圧力ゲージ)を備える必要が無いので加工装置の小型化が実現できている。

概要

加工装置において流体供給源が供給部に供給する流体の流量調整を行う場合に、作業者の作業効率を向上させる。加工装置1において、被加工物Wまたは加工具164に流体を供給する手段7が供給する流体の流量を調整する方法であり、流体供給手段7は、流体が供給される供給部70と流体供給源79とを連通させる配管71と、配管71内を流れる流体の流量を可変させる絞り弁72と、供給部70と絞り弁72との間の配管71内を流れる流体の流量を検出する流量センサ73と、を備え、制御手段9は、流体の規定の設定流量値を設定する設定部90と、設定流量値に対して絞り弁72の開度が変更されることで流量センサ73によって検出された流量値によってスピーカ99に通電させスピーカ99に音を鳴らさせる通電部91と、を備え、絞り弁72の開度を変更しスピーカ99の音を聞き供給部70に供給する流体の流量を調整する工程を備える、流量調整方法

目的

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

この技術が所属する分野

ライセンス契約や譲渡などの可能性がある特許掲載中! 開放特許随時追加・更新中 詳しくはこちら

請求項1

被加工物を保持する保持手段と、加工具を装着し被加工物を加工する加工手段と、被加工物または加工具に流体を供給する流体供給手段と、加工装置における制御を行う制御手段と、を備える加工装置において、該流体供給手段が供給する流体の流量を調整する流量調整方法であって、該流体供給手段は、流体が供給される供給部と、該供給部と流体供給源とを連通させる配管と、該配管に配設され該配管内を流れる流体の流量を可変させる絞り弁と、該供給部と該絞り弁との間の該配管内を流れる流体の流量を検出する流量センサと、を備え、該制御手段は、流体の規定の設定流量値を設定する設定部と、該設定流量値に対して該絞り弁の開度が変更されることで該流量センサによって検出された流量値によってスピーカ通電させ該スピーカに音を鳴らさせる通電部と、を備え、該絞り弁の開度を変更し該スピーカの音を聞き該供給部に供給する流体の流量を調整する流量調整工程を備える、流量調整方法。

請求項2

前記流量調整工程において、前記設定流量値と前記流量センサによって検出された流量値とが一致したら、前記制御手段による制御の下で、前記通電部が前記スピーカに通電させ該スピーカに音を鳴らさせる流量一致音発生工程を備える請求項1記載の流量調整方法。

請求項3

前記制御手段は、前記設定流量値を含む所定幅設定範囲を設定する範囲設定部を備え、前記流量調整工程において、前記流量センサが検出した流量値が該設定範囲に入ったら、該制御手段による制御の下で、前記通電部がスピーカに通電させ、前記スピーカから断続的な音、または、該スピーカから前記流量一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を鳴らさせる流量近似音発生工程を行い、前記供給部に供給される流体の流量が該設定流量値に近づいていることを知らせる請求項1、又は請求項2記載の流量調整方法。

請求項4

被加工物を保持する保持手段と、加工具を装着し被加工物を加工する加工手段と、被加工物または加工具に流体を供給する流体供給手段と、加工装置における制御を行う制御手段と、を備える加工装置において、該流体供給手段で供給する流体の供給圧力を調整する圧力調整方法であって、該流体供給手段は、流体が供給される供給部と、該供給部と流体供給源とを連通させる配管と、該配管に配設され該配管内を流れる流体の圧力を可変させる絞り弁と、該供給部と該絞り弁との間の該配管内の圧力を検出する圧力センサと、を備え、該制御手段は、該配管内の規定の設定圧力値を設定する設定部と、該設定圧力値に対して該絞り弁の開度が変更されることで該圧力センサによって検出された圧力値によってスピーカに通電させ該スピーカに音を鳴らさせる通電部と、を備え、該絞り弁の開度を変更し該スピーカの音を聞き該供給部に供給する流体の圧力を調整する圧力調整工程を備える、圧力調整方法。

請求項5

前記圧力調整工程において、前記設定圧力値と前記圧力センサによって検出された圧力値とが一致したら、前記制御手段による制御の下で、前記通電部が前記スピーカに通電させ該スピーカに音を鳴らさせる圧力一致音発生工程を備える請求項4記載の圧力調整方法。

請求項6

前記制御手段は、前記設定圧力値を含む所定幅の設定範囲を設定する範囲設定部を備え、前記圧力調整工程において、該圧力センサが検出した圧力値が該設定範囲に入ったら、該制御手段による制御の下で、前記通電部がスピーカに通電させ、前記スピーカから断続的な音、または、該スピーカから前記圧力一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を鳴らさせる圧力近似音発生工程を行い、前記供給部に供給する流体の圧力が該設定圧力値に近づいていることを知らせる請求項4が、又は請求項5記載の流量調整方法。

技術分野

0001

本発明は、加工装置において流体供給手段が加工水ノズル等の供給部に供給する流体の流量を調整する流量調整方法、及び加工装置において流体供給手段が加工水ノズル等の供給部に供給する流体の供給圧力を調整する圧力調整方法に関する。

背景技術

0002

加工具を用いて被加工物を加工する加工装置(例えば、特許文献1参照)においては、流体供給源が加工装置のノズル等の供給部に供給する加工液洗浄液等の液体乾燥エア等の気体を、流量調整または圧力調整して供給している。また、流体供給源から液体と気体とを混合させた混合液二流体)を供給部に供給する際も、流量調整または圧力調整して供給している。

0003

また、近年の加工装置は、加工中に供給される流体の流量値を認識するための流量センサ、又は圧力値を認識するための圧力センサを備えていて、加工中に予め設定された流量値、又は圧力値で流体が供給されているかを監視している。また、流量センサ、又は圧力センサで検出された流量、又は圧力を加工装置の制御手段が認識しているので、装置の装置筐体等に取り付けられたモニタータッチパネル画面に流量、又は圧力を表示して作業者視認することが可能である。そのため、近年の加工装置は作業者が流量を目視できる表示計フローメータ)や、圧力を目視できる表示計(圧力ゲージ)を備える必要が無いので加工装置の小型化が実現できている。

先行技術

0004

特開2015−213995号公報

発明が解決しようとする課題

0005

しかし、例えば、加工装置をクリーンルーム等に設置した場合等において、作業者が行う流体供給源から供給部に供給される流体の流量や圧力を調整する調整作業の際は、流量、又は圧力を装置の画面に表示させているため、作業者は画面に表示された値を見ながら調整作業を行う必要がある。したがって、流量調整作業や圧力調整作業は、作業者が画面に表示された値を見ながら絞り弁等を適当な開度開閉する作業になるため、作業者が手元を見たり画面を見たりしながら行うことで作業効率が悪くなるという問題がある。

0006

よって、加工装置において流体供給源が供給部に供給する流体の流量調整または圧力調整を行う場合には、作業者の作業効率を向上させるという課題がある。

課題を解決するための手段

0007

上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持する保持手段と、加工具を装着し被加工物を加工する加工手段と、被加工物または加工具に流体を供給する流体供給手段と、加工装置における制御を行う制御手段と、を備える加工装置において、該流体供給手段が供給する流体の流量を調整する流量調整方法であって、該流体供給手段は、流体が供給される供給部と、該供給部と流体供給源とを連通させる配管と、該配管に配設され該配管内を流れる流体の流量を可変させる絞り弁と、該供給部と該絞り弁との間の該配管内を流れる流体の流量を検出する流量センサと、を備え、該制御手段は、流体の規定の設定流量値を設定する設定部と、該設定流量値に対して該絞り弁の開度が変更されることで該流量センサによって検出された流量値によってスピーカ通電させ該スピーカに音を鳴らさせる通電部と、を備え、該絞り弁の開度を変更し該スピーカの音を聞き該供給部に供給する流体の流量を調整する流量調整工程を備える、流量調整方法である。

0008

前記流量調整工程において、前記設定流量値と前記流量センサによって検出された流量値とが一致したら、前記制御手段による制御の下で、前記通電部が前記スピーカに通電させ該スピーカに音を鳴らさせる流量一致音発生工程を備えると好ましい。

0009

前記制御手段は、前記設定流量値を含む所定幅設定範囲を設定する範囲設定部を備え、前記流量調整工程において、前記流量センサが検出した流量値が該設定範囲に入ったら、該制御手段による制御の下で、前記通電部がスピーカに通電させ、前記スピーカから断続的な音、または、該スピーカから前記流量一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を鳴らさせる流量近似音発生工程を行い、前記供給部に供給される流体の流量が該設定流量値に近づいていることを知らせると好ましい。

0010

また、上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持する保持手段と、加工具を装着し被加工物を加工する加工手段と、被加工物または加工具に流体を供給する流体供給手段と、加工装置における制御を行う制御手段と、を備える加工装置において、該流体供給手段で供給する流体の供給圧力を調整する圧力調整方法であって、該流体供給手段は、流体が供給される供給部と、該供給部と流体供給源とを連通させる配管と、該配管に配設され該配管内を流れる流体の圧力を可変させる絞り弁と、該供給部と該絞り弁との間の該配管内の圧力を検出する圧力センサと、を備え、該制御手段は、該配管内の規定の設定圧力値を設定する設定部と、該設定圧力値に対して該絞り弁の開度が変更されることで該圧力センサによって検出された圧力値によってスピーカに通電させ該スピーカに音を鳴らさせる通電部と、を備え、該絞り弁の開度を変更し該スピーカの音を聞き該供給部に供給する流体の圧力を調整する圧力調整工程を備える、圧力調整方法である。

0011

前記圧力調整工程において、前記設定圧力値と前記圧力センサによって検出された圧力値とが一致したら、前記制御手段による制御の下で、前記通電部が前記スピーカに通電させ該スピーカに音を鳴らさせる圧力一致音発生工程を備えると好ましい。

0012

前記制御手段は、前記設定圧力値を含む所定幅の設定範囲を設定する範囲設定部を備え、前記圧力調整工程において、該圧力センサが検出した圧力値が該設定範囲に入ったら、該制御手段による制御の下で、前記通電部がスピーカに通電させ、前記スピーカから断続的な音、または、該スピーカから前記圧力一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を鳴らさせる圧力近似音発生工程を行い、前記供給部に供給する流体の圧力が該設定圧力値に近づいていることを知らせると好ましい。

発明の効果

0013

本発明に係る流量調整方法において、加工装置の流体供給手段は、流体が供給される供給部と、供給部と流体供給源とを連通させる配管と、配管に配設され配管内を流れる流体の流量を可変させる絞り弁と、供給部と絞り弁との間の配管内を流れる流体の流量を検出する流量センサと、を備え、制御手段は、流体の規定の設定流量値を設定する設定部と、設定流量値に対して絞り弁の開度が変更されることで流量センサによって検出された流量値によってスピーカに通電させスピーカに音を鳴らさせる通電部と、を備え、絞り弁の開度を変更しスピーカの音を聞き供給部に供給する流体の流量を調整する流量調整工程を備えることで、作業者が加工装置の画面に表示される流量をいちいち見なくても、スピーカが鳴らす音を聞くことで、絞り弁の開度を適切に変更して配管内を流れる流体を設定流量に合わせる流量調整可能となる。即ち、作業者が、流量調整を手元を見たり画面を見たりしながら行う必要がなくなり、作業効率を向上させることが可能となる。

0014

流量調整工程において、設定流量値と流量センサによって検出された流量値とが一致したら、制御手段による制御の下で、通電部がスピーカに通電させスピーカに音を鳴らさせる流量一致音発生工程を備えることで、作業者が加工装置の画面に表示される流量をいちいち見なくても、スピーカが鳴らす音を聞くことで、絞り弁の開度を適切に変更して配管内を流れる流体を設定流量に一致させる流量調整が可能となる。即ち、流量調整を、手元を見たり画面を見たりしながら行う必要がなくなり、作業効率を向上させることが可能となる。

0015

制御手段は、設定流量値を含む所定幅の設定範囲を設定する範囲設定部を備え、流量調整工程において、流量センサが検出した流量値が設定範囲に入ったら、制御手段による制御の下で、通電部がスピーカに通電させ、スピーカから断続的な音、または、スピーカから流量一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を鳴らさせる流量近似音発生工程を行い、供給部に供給される流体の流量が設定流量値に近づいていることを知らせることで、聞こえる音の違いにより作業者が絞り弁の開度をより適切に効率よく変更できるようになるため、作業者が加工装置の画面に表示される流量をいちいち見なくても、絞り弁の開度を適切に変更して配管内を流れる流体を設定流量に流量調整可能となる。

0016

本発明に係る圧力調整方法において、加工装置の流体供給手段は、流体が供給される供給部と、供給部と流体供給源とを連通させる配管と、配管に配設され配管内を流れる流体の圧力を可変させる絞り弁と、供給部と絞り弁との間の配管内を流れる流体の圧力を検出する圧力センサと、を備え、制御手段は、配管内の規定の設定圧力値を設定する設定部と、設定圧力値に対して絞り弁の開度が変更されることで圧力センサによって検出された圧力値によってスピーカに通電させスピーカに音を鳴らさせる通電部と、を備え、絞り弁の開度を変更しスピーカの音を聞き供給部に供給する流体の圧力を調整する圧力調整工程を備えることで、作業者が加工装置の画面に表示される圧力をいちいち見なくても、スピーカが鳴らす音を聞くことで、絞り弁の開度を適切に変更して配管内を流れる流体を設定圧力に圧力調整可能となる。即ち、作業者が、圧力調整を手元を見たり画面を見たりしながら行う必要がなくなり、作業効率を向上させることが可能となる。

0017

圧力調整工程において、設定圧力値と圧力センサによって検出された圧力値とが一致したら、制御手段による制御の下で、通電部がスピーカに通電させスピーカに音を鳴らさせる圧力一致音発生工程を備えることで、作業者が加工装置の画面に表示される圧力をいちいち見なくても、スピーカが鳴らす音を聞くことで、絞り弁の開度を適切に変更して配管内を流れる流体を設定圧力に圧力調整可能となる。即ち、作業者が、圧力調整を手元を見たり画面を見たりしながら行う必要がなくなり、作業効率を向上させることが可能となる。

0018

制御手段は、設定圧力値を含む所定幅の設定範囲を設定する範囲設定部を備え、圧力調整工程において、圧力センサが検出した圧力値が設定範囲に入ったら、制御手段による制御の下で、通電部がスピーカに通電させ、スピーカから断続的な音、または、スピーカから圧力一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を鳴らさせる圧力近似音発生工程を行い、供給部に供給する流体の圧力が設定圧力値に近づいていることを知らせることで、聞こえる音の違いにより作業者が絞り弁の開度をより適切に効率よく変更できるようになるため、作業者が加工装置の画面に表示される圧力をいちいち見なくても、絞り弁の開度を適切に変更して配管内を流れる流体を設定流圧力に圧力調整可能となる。

図面の簡単な説明

0019

本発明に係る流量調整方法又は圧力調整方法が実施される加工装置の一例を示す斜視図である。

実施例

0020

図1に示す加工装置1は、保持手段30上に保持された被加工物Wを加工手段16によって研削加工する装置であり、加工装置1の装置ベース10上の前方(−Y方向側)は、保持手段30に対して被加工物Wの着脱が行われる着脱領域であり、装置ベース10上の後方(+Y方向側)は、加工手段16によって保持手段30上に保持された被加工物Wの研削加工が行われる加工領域である。
なお、本発明に係る加工装置は、加工装置1のような加工手段16が1軸の研削装置に限定されるものではなく、粗研削手段と仕上げ研削手段とを備え、回転するターンテーブルで被加工物Wを各研削手段の下方に位置づけ可能な2軸の研削装置等であってもよい。また、加工装置は、研磨パッドを備える加工手段で被加工物Wに研磨加工を施す研磨装置であってもよいし、回転する切削ブレードを備える切削手段で被加工物Wを切削してチップに分割する切削装置であってもよい。

0021

被加工物Wは、例えば、シリコン母材等からなる円形半導体ウェーハであるが、これに限定されない。被加工物Wの上側(+Z方向側)を向いている裏面Wbは、研削が施される被研削面となり、裏面Wbの反対面である表面Waは、例えば、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。

0022

図1に示すように、加工装置1の装置ベース10上には、箱状の装置筐体11が配設されており、装置筐体11内部に前記加工手段16や保持手段30が配設されている。
例えば装置筐体11の−Y方向側の正面には、作業者が加工装置1に対して加工手段16の加工条件等を入力するためのタッチパネル12が配設されている。タッチパネル12は、CPU及び記憶素子等からなり装置全体の制御を行う制御手段9に電気的に接続されており、作業者が指で触れた位置を検出し、検出結果を示す信号を制御手段9に送信する。タッチパネル12には、入力画面及び表示画面が映し出され、入力画面によって作業者が加工条件の各種情報等を加工装置1に入力して設定でき、表示画面によって加工条件の各種情報等、図示しない制御手段による処理等、及び装置の各部の状態等を表示する。

0023

装置ベース10の正面側(−Y方向側)には、第1のカセット載置部150及び第2のカセット載置部151が設けられており、第1のカセット載置部150には加工前の被加工物Wが収容される第1のカセット150aが載置され、第2のカセット載置部151には加工後の被加工物Wが収容される第2のカセット151aが載置される。

0024

第1のカセット150aの開口の後方には、第1のカセット150aから加工前の被加工物Wを搬出するとともに加工後の被加工物Wを第2のカセット151aに搬入するロボット155が配設されている。ロボット155に隣接する位置には、仮置き領域152が設けられており、仮置き領域152には位置合わせ手段153が配設されている。位置合わせ手段153は、第1のカセット150aから搬出され仮置き領域152に載置された被加工物Wを、縮径する位置合わせピンで所定の位置に位置合わせ(センタリング)する。

0025

位置合わせ手段153と隣接する位置には、被加工物Wを保持した状態で旋回するローディングアーム154aが配置されている。ローディングアーム154aは、位置合わせ手段153において位置合わせされた被加工物Wを保持し、加工領域内に配設されている保持手段30へ搬送する。

0026

ローディングアーム154aの隣には、加工後の被加工物Wを保持した状態で旋回するアンローディングアーム154bが設けられている。アンローディングアーム154bと近接する位置には、アンローディングアーム154bにより搬送された加工後の被加工物Wを洗浄する枚葉式の洗浄手段156が配置されている。洗浄手段156は、スピンナーテーブル156aで被加工物Wの下側を向いた表面Waを保持し、保持された被加工物Wの上方を移動する洗浄ノズル156bから、洗浄水を被加工物Wの裏面Wbに噴射して裏面Wbの洗浄を行う。次いで、例えば、洗浄ノズル156bからエアを噴出させて被加工物Wを乾燥する。
洗浄手段156により洗浄・乾燥された被加工物Wは、ロボット155により第2のカセット151aに搬入される。

0027

被加工物Wを吸引保持する保持手段30は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり被加工物Wを吸引保持する保持面300を備えている。保持手段30は、軸方向がZ軸方向(鉛直方向)である回転軸を軸に回転可能であると共に、カバー39によって周囲を囲まれており、カバー39及びカバー39に連結されY軸方向に伸縮する蛇腹カバー39aの下に配設された図示しないY軸方向移動手段によって、装置ベース10上をY軸方向に往復移動可能である。

0028

装置ベース10上の後方側(+Y方向側)には、コラム100が立設されており、コラム100の前面には、加工手段16をZ軸方向(鉛直方向)に加工送りするボールネジ機構等からなる加工送り手段17が配設されている。

0029

保持手段30に保持された被加工物Wを加工する加工手段16は、軸方向が保持手段30の保持面300に直交するZ軸方向である回転軸160と、回転軸160を回転可能に支持するハウジング161と、回転軸160を回転駆動するモータ162と、回転軸160の下端に取り付けられたマウント163と、マウント163に着脱可能に接続された加工具164とを備える。加工具164は、研削ホイールであり、ホイール基台と、略直方体形状の外形を備えホイール基台の下面に複数環状に配設された研削砥石とを備えている。

0030

例えば、回転軸160の内部には、Z軸方向に延びる図示しない研削水流路が形成されており、この研削水流路に挿入された研削水供給パイプ166を介して図示しない研削水供給手段が連通している。研削水供給手段から回転軸160に対して供給される研削水は、研削水流路の下端の開口から加工具164に向かって下方に噴出し、加工具164と被加工物Wとの接触部位に到達する。

0031

加工手段16の下方に位置づけられた状態の保持手段30に隣接する位置には、例えば、研削中において保持手段30によって保持されている被加工物Wの厚みを接触式にて測定する厚み測定手段38が配設されている。

0032

加工装置1は、被加工物Wまたは加工具164に流体を供給する流体供給手段7を備えている。そして、流体供給手段7は、流体が供給される供給部70と、供給部70と流体供給源79とを連通させる配管71と、配管71に配設され配管71内を流れる流体の流量を可変させる絞り弁72と、供給部70と絞り弁72との間の配管71内を流れる流体の流量を検出する流量センサ73と、を備えている。

0033

本実施形態における流体供給源79は、例えば、ポンプ等からなる水供給源又はコンプレッサー等からなるエア供給源の少なくとも一方を備えており、流体供給源79が供給することができる流体は、例えば、水とエアとの混合流体である。または、該流体は水である。または、該流体はエアである。

0034

流体供給源79には、金属パイプ又は可撓性を有するチューブ等からなる配管71の上流側である一端が連通している。
本実施形態において、流体供給源79から流体が供給される供給部70は、例えば、加工手段16の下方に位置づけられた状態の保持手段30の外周より外側から保持面300に吸引保持された被加工物Wと加工具164との接触部位(加工点)に流体(研削水)を供給する研削水噴射ノズルである。供給部70は、例えば、装置ベース10上に立設しており、側面視略逆L字状の外形を備えている。供給部70の先端部分に形成され保持手段30側に向かって開口する図示しない供給口から噴射された水が、略放物線を描くように保持面300に保持された被加工物Wと加工具164との接触部位に到達する。そして、研削水噴射ノズルである供給部70の下端側に、配管71の下流側である他端が連通している。

0035

流体供給源79から流体が供給される供給部は、図1に示す研削水噴射ノズルである供給部70に限定されるものではなく、例えば、加工手段16の回転軸160内部の図示しない研削水流路に連通する研削水供給パイプ166であってもよいし、洗浄手段156の洗浄ノズル156bであってもよい。

0036

または、供給部は、保持手段30であってもよい。例えば、保持手段30による被加工物Wの吸引保持を解除して、保持手段30から被加工物Wを搬出したい場合には、流体供給源79から供給されたエアは、保持手段30の保持面300から噴出する。その結果、保持面300と被加工物Wの被吸着面との間に残存する真空吸着力を排除して、被加工物Wを保持面300から離脱可能な状態にすることができる。

0037

絞り弁72は、例えば、作業者がハンドル手動で回転させて開度を変更させることができるものであるが、このような絞り弁に限定されない。絞り弁72は、配管71上において、流量センサ73よりも上流側に位置している。絞り弁72は、例えば、図示しないハンドルを右に回すと開度が小さくなり流量が減少し、左に回すと開度が大きくなり流量が増加する。

0038

一般的に、加工装置1のタッチパネル12は、使用頻度が高く、図1に示すように、加工装置1の装置ベース10上の装置筐体11に取り付けられている。これは、被加工物Wに適切な加工が施されているか否かを作業者が装置筐体11に配設された図示しない除き窓から目視できるようにしつつ、加工不良が発生した場合にタッチパネル12を用いて装置の停止等を直ぐに行えるようにするためである。一方、絞り弁72は、例えば、加工装置1の装置ベース10内に収納されており、図示しない装置ベース10の開口扉を開くことで、作業者がアクセスできるようになる。これは、絞り弁72の使用頻度がそれ程高くなく、例えば、加工装置1をクリーンルーム等に初めて設置した際等に使用するのみであるためである。したがって、タッチパネル12と絞り弁72とは、一般的に離れた位置に位置しており、一人の作業者がタッチパネル12と絞り弁72とを使用するには、作業者がいちいち移動する必要がある。

0039

供給部70と絞り弁72との間の配管71内を流れる流体の流量を検出する流量センサ73は、例えば、電磁式流量センサ羽根車式流量センサ等であるが、これに限定されない。流量センサ73には、検出した流量に比例した信号を有線又は無線通信経路98を介して後述する制御手段9に送信できる。

0040

加工装置1は、加工装置における制御を行う制御手段9を備えている。CPU等で構成される制御手段9は、メモリ等の記憶素子で構成され配管71を流れる流体の規定の設定流量値を設定する設定部90と、設定流量値に対して絞り弁72の開度が例えば作業者の手作業で変更されることで流量センサ73によって検出された流量値によって図1に示すスピーカ99に通電させスピーカ99に音を鳴らさせる通電部91と、を備えている。

0041

設定部90は、メモリ等の記憶素子で構成されており、例えば、作業者が、タッチパネル12を用いて、配管71内の流体の規定の設定流量値を制御手段9に対して入力することで、該設定流量値が設定される。
また、本実施形態における制御手段9は、上記設定流量値を含む所定幅の設定流量範囲を設定する範囲設定部93を備えている。なお、設定流量値及び設定流量値を含む所定幅の設定流量範囲は、過去に行った被加工物Wの研削実験において被加工物Wを適切に研削することができた際に得られたデータ等によって定められる。

0042

スピーカ99は、例えば、コーン型のスピーカであり、通電部91に電気的に接続されている。通電部91がスピーカ99に通電を行うことで、図示しないアンプを介してスピーカ99から発生させる音の音量増幅させたり、鳴らせる音を所定間隔で断続的に変化させたりすることができる。なお、スピーカ99は、例えば、ドーム型のスピーカやホーン型のスピーカ等であってもよい。

0043

本発明に係る加工装置1において、流体供給手段7を構成する絞り弁72は、配管71内を流れる流体の圧力を可変させる役割も果す。
また、流体供給手段7は、例えば、供給部70と絞り弁72との間の配管71内を流れる流体の圧力を検出する圧力センサ74を備えている。圧力センサ74は、例えば、ステンレスダイヤフラム、又はシリコンチップ受圧部(シリコンダイヤフラム)を備えており、シリコンダイヤフラム又はステンレスダイヤフラムに配管71内を流れる流体の圧力が加わると、そのたわみ(加えられた圧力)をダイヤフラムに接着した半導体トランスジューサ等で電気信号に変換する。圧力センサ74は、制御手段9に無線又は有線の通信経路98を介して接続されている。なお、圧力センサ74は、上記に示す例に限定されるものではない。

0044

設定部90は、例えば、作業者が、タッチパネル12を用いて、配管71内の流体の規定の設定圧力値を制御手段9に対して入力することで、該設定圧力値が設定される。
また、本実施形態における制御手段9は、上記設定圧力値を含む所定幅の設定圧力範囲を設定する範囲設定部93を備えている。なお、設定圧力値及び設定圧力値を含む所定幅の設定圧力範囲は、過去に行った被加工物Wの研削実験において被加工物Wを適切に研削することができた際に得られたデータ等によって定められる。

0045

(流量調整方法)
以下に、上記加工装置1において、流体供給手段7が供給する流体の流量を調整する流量調整方法を実施する場合の工程について説明する。本流量調整方法が実施される場合の一例としては、例えば、加工装置1がクリーンルームに最初に設置された場合等が挙げられる。

0046

(1)流量調整工程における流体の流量の調整
まず、加工装置1において、作業者が、タッチパネル12を用いて、配管71内の流体の規定の設定流量値F1を制御手段9に対して入力することで、該設定流量値F1が設定部90に設定される。また、本実施形態においては、該設定流量値F1に加えて、設定流量値F1を含む所定幅の設定範囲である上限値F2〜、設定流量値F1、〜下限値F3(以下、流量設定範囲F2〜F3とする)も設定部90に設定される。

0047

次に、流体供給源79から加圧された流体(例えば、研削水である純水)が送出され、該流体は、配管71を通り供給部70に供給される。そして、流量センサ73が、配管71を流れる流体の流量を逐次検出する。流量センサ73は、配管71を流れる流体の流量についての検出情報逐次制御手段9に送信する。

0048

制御手段9は、例えば、図1に示す検出値比較監視部92を備えており、検出値比較監視部92は、流量センサ73が検出した配管71を流れる流体の流量が設定流量値F1を含む所定幅の流量設定範囲F2〜F3内に含まれているか否かを逐次比較監視している。

0049

この状態において、作業者が、絞り弁72の図示しないハンドルを手動で回転させて絞り弁72の開度を変更することで、配管71内を流れる流体の流量が無段階に変更される。

0050

(2)流量近似音発生工程
流量調整工程において、配管71内を流れる流体の流量が上記のように絞り弁72の開度が変更されることで、検出値比較監視部92が監視する流量センサ73が検出した流量値が流量設定範囲F2〜F3に入ったら、制御手段9による制御の下で、通電部91がスピーカ99に通電させ、スピーカ99は断続的な音、または、スピーカ99から後述する流量一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を鳴らす。この断続的な音、または、後述する流量一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を聞いた作業者は、配管71を流れる流体の流量が該設定流量値F1に近づいていることを把握できる。

0051

配管71を流れる流体の流量が設定流量値F1に近づいていることを把握できた作業者が、絞り弁72の図示しないハンドルを手動で回転させて絞り弁72の開度を微調整していくことで、配管71内を流れる流体の流量がさらに設定流量値F1に近づけられていく。

0052

(3)流量一致音発生工程
流量調整工程において、例えば、上記のように流量近似音発生工程が行われ、配管71内を流れる流体の流量が上記のように絞り弁72の開度が変更されることで、検出値比較監視部92は、検出された流量値が設定流量値F1に一致したと判断する。すると、制御手段9による制御の下で、通電部91がスピーカ99に通電させスピーカ99に音を鳴らさせる。即ち、通電部91は、例えば、図示しないアンプを介してスピーカ99から発生させる音の音量を増幅させ、スピーカ99が流量近似音発生工程で発生させていた音よりも大きな音を例えば継続的に鳴らす。この継続的な大きな音を聞いた作業者は、配管71を流れる流体の流量が設定流量値F1に一致したと判断できる。そして、作業者が絞り弁72の図示しないハンドルの回転作業を止める。

0053

(4)流量調整工程における流体の流量の調整の完了
作業者が、絞り弁72の開度を変更しスピーカ99の音を聞き供給部70に供給する流体の流量を調整する作業は、上記のように配管71を流れる流体の流量が設定流量値F1に一致したことで完了する。そして、加工装置1は、被加工物Wを実際に研削する際に、研削水噴射ノズルである供給部70から被加工物Wと加工具164との接触部位に対して適切な流量に調整された研削水を供給できるようにセットされた状態になる。

0054

上記のように、本発明に係る流量調整方法は、作業者が加工装置1のタッチパネル12の画面に表示される流量をいちいち見なくても、スピーカ99が鳴らす音を聞くことで、絞り弁72の開度を適切に変更して配管71内を流れる流体を設定流量値F1に流量調整可能となる。即ち、作業者が、流量調整を絞り弁72の開度を調整して、その後、タッチパネル12の前に移動して画面を見て流量を把握し、再び絞り弁72の開度を調整して、を繰り返して行う必要が無くなり、作業効率を向上させることが可能となる。

0055

(圧力調整方法)
以下に、上記加工装置1において、流体供給手段7が供給する流体の供給圧力を調整する圧力調整方法を実施する場合の工程について説明する。本圧力調整方法が実施される場合の一例としては、例えば、加工装置1がクリーンルームに最初に設置された際等が挙げられる。

0056

(1)圧力調整工程における流体の圧力の調整
まず、作業者が、加工装置1のタッチパネル12を用いて、配管71内を流れる流体の規定の設定圧力値P1を制御手段9に対して入力することで、該設定圧力値P1が設定部90に設定される。また、本実施形態においては、該設定圧力値P1に加えて、設定圧力値P1を含む所定幅の設定範囲である上限値P2〜、設定圧力値P1、〜下限値P3(以下、圧力設定範囲P2〜P3とする)も設定部90に設定される。

0057

次に、流体供給源79から加圧された流体(例えば、研削水)が送出され、該流体は、配管71を通り供給部70に供給される。そして、圧力センサ74が、供給部70と絞り弁72との間の流体が流れている配管71内の圧力を逐次検出する。圧力センサ74は、配管71内の該圧力の検出値についての情報を、逐次制御手段9に送信する。

0058

制御手段9は、例えば、図1に示す検出値比較監視部92を備えており、検出値比較監視部92は、圧力センサ74が検出した供給部70と絞り弁72との間の流体が流れている状態の配管71内の圧力値が、設定圧力値P1を含む所定幅の圧力設定範囲P2〜P3内に含まれているか否かを逐次比較監視している。

0059

この状態において、作業者が、絞り弁72の図示しないハンドルを手動で回転させて絞り弁72の開度を変更することで、配管71内を流れる流体の圧力が無段階に変更される。即ち、絞り弁72の開度を上げることで、絞り弁72よりも下流側(供給部70側)の配管71内の流量は増加して、圧力も増加する。逆に、絞り弁72の開度を下げることで、絞り弁72よりも下流側(供給部70側)の配管71内の流量は減少して、圧力も減少する。

0060

(2)圧力近似音発生工程
圧力調整工程において、供給部70と絞り弁72との間の配管71内の圧力が上記のように絞り弁72の開度が変更されることで、検出値比較監視部92が監視する圧力センサ74が検出した圧力値が圧力設定範囲P2〜P3に入ったら、制御手段9による制御の下で、通電部91がスピーカ99に通電させ、スピーカ99は断続的な音、または、スピーカ99から後述する圧力一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を鳴らす。この断続的な音、または、後述する圧力一致音発生工程において鳴らされる音よりも小さい音を聞いた作業者は、配管71を流れる流体の圧力が該設定圧力値P1に近づいていることを認識できる。

0061

配管71を流れる流体の圧力が設定圧力値P1に近づいていると認識できた作業者が、絞り弁72の図示しないハンドルを手動で回転させて絞り弁72の開度を微調整していくことで、配管71内を流れる流体の圧力がさらに設定圧力値P1に近づけられていく。

0062

(3)圧力一致音発生工程
圧力調整工程において、例えば、上記のように圧力近似音発生工程が行われ、配管71内を流れる流体の圧力が上記のように絞り弁72の開度が変更されることで、検出値比較監視部92は検出された圧力値が設定圧力値P1に一致したことを認識する。すると、制御手段9による制御の下で、通電部91がスピーカ99に通電させスピーカ99に音を鳴らさせる。即ち、通電部91は、例えば、図示しないアンプを介してスピーカ99から発生させる音の音量を増幅させ、スピーカ99が圧力近似音発生工程で発生させていた音よりも大きな音を例えば継続的に鳴らす。この継続的な大きな音を聞いた作業者は、配管71を流れる流体の圧力が設定圧力値P1に一致したことを知ることができる。そして、作業者が絞り弁72の図示しないハンドルの回転作業を止める。

0063

(4)圧力調整工程における流体の圧力の調整の完了
作業者が、絞り弁72の開度を変更しスピーカ99の音を聞き供給部70に供給する流体の流量を調整する作業は、上記のように配管71を流れる流体の圧力が設定圧力値P1に一致したことで完了する。そして、加工装置1は、被加工物Wを実際に研削する際に、研削水噴射ノズルである供給部70から被加工物Wと加工具164との接触部位に対して、適切な圧力に調整された研削水を供給できるようにセットされた状態になる。

0064

上記のように、本発明に係る圧力調整方法は、作業者が加工装置1のタッチパネル12の画面に表示される圧力をいちいち見なくても、スピーカ99が鳴らす音を聞くことで、絞り弁72の開度を適切に変更して配管71内を流れる流体を設定圧力に圧力調整可能となる。即ち、圧力調整を絞り弁72の開度を調整し、その後、タッチパネル12の前に移動して画面を見て圧力を把握し、再び絞り弁72の開度調整のために移動するといったことを繰り返す必要が無くなり、作業効率を向上させることが可能となる。

0065

本発明に係る流量調整方法、又は圧力調整方法は本実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている加工装置1の構成等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

0066

W:被加工物
1:加工装置10:装置ベース100:コラム11:装置筐体12:タッチパネル
150:第1のカセット載置部 150a:第1のカセット 151:第2のカセット載置部 151a:第2のカセット
152:仮置き領域 153:位置合わせ手段 154a:ローディングアーム
154b:アンローディングアーム155:ロボット
156:洗浄手段 156a:スピンナーテーブル156b:洗浄ノズル
30:保持手段 300:保持面 39:カバー39a:蛇腹カバー38:厚み測定手段
17:加工送り手段
16:加工手段 160:回転軸161:ハウジング162:モータ163:マウント164:加工具166:研削水供給パイプ
7:流体供給手段 70:供給部(研削水噴射ノズル) 71:配管72:絞り弁
73:流量センサ74:圧力センサ79:流体供給源
9:制御手段 90:設定部 91:通電部 92:検出値比較監視部 93:範囲設定部
98:通信経路99:スピーカ

ページトップへ

この技術を出願した法人

この技術を発明した人物

ページトップへ

関連する挑戦したい社会課題

該当するデータがありません

関連する公募課題

該当するデータがありません

ページトップへ

技術視点だけで見ていませんか?

この技術の活用可能性がある分野

分野別動向を把握したい方- 事業化視点で見る -

ページトップへ

おススメ サービス

おススメ astavisionコンテンツ

新着 最近 公開された関連が強い技術

  • 東京エレクトロン株式会社の「 基板処理システム及び基板処理方法」が 公開されました。( 2021/05/27)

    【課題・解決手段】基板の加工面を加工する基板処理システムであって、加工用保持部で非加工面が保持された基板に対し、搬送用保持部で加工面を保持する保持工程と、その後、液供給部から加工用保持部の保持面と基板... 詳細

  • 東陽漢林伝感器有限公司の「 ガラスに対する多方位のふち加工装置」が 公開されました。( 2021/05/27)

    【課題】本発明はガラスに対する全方位のふち加工装置を開示した。【解決手段】本体を含み、前記本体の中には昇降空間が設置され、前記昇降空間の下方には前記昇降空間と連通する作動空間が設置され、前記作動空間の... 詳細

  • 株式会社ニッシンの「 不純物除去装置」が 公開されました。( 2021/05/27)

    【課題】固形不純物および油性不純物を含む水性液の再生処理と、濾過材再生とを並行して行うこと。【解決手段】固形不純物および油性不純物を含む水性液を濾紙200に付着するよう減圧濾過する濾過タンクユニット1... 詳細

この 技術と関連性が強い人物

関連性が強い人物一覧

この 技術と関連する社会課題

該当するデータがありません

この 技術と関連する公募課題

該当するデータがありません

astavision 新着記事

サイト情報について

本サービスは、国が公開している情報(公開特許公報、特許整理標準化データ等)を元に構成されています。出典元のデータには一部間違いやノイズがあり、情報の正確さについては保証致しかねます。また一時的に、各データの収録範囲や更新周期によって、一部の情報が正しく表示されないことがございます。当サイトの情報を元にした諸問題、不利益等について当方は何ら責任を負いかねることを予めご承知おきのほど宜しくお願い申し上げます。

主たる情報の出典

特許情報…特許整理標準化データ(XML編)、公開特許公報、特許公報、審決公報、Patent Map Guidance System データ