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技術 表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法

出願人 株式会社ミツトヨ
発明者 加藤慶顕
出願日 2019年4月9日 (1年10ヶ月経過) 出願番号 2019-074405
公開日 2020年10月22日 (4ヶ月経過) 公開番号 2020-173141
状態 未査定
技術分野 光学的手段による測長装置
主要キーワード 防水仕様 密着部分 測定槽 防水対策 測定台 変位計測 レーザー変位計 表面形状測定システム
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年10月22日)のものです。
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図面 (6)

課題

透光性を有する素材からなる測定対象であっても測定対象の表面を反射する光を十分に取得することができ、測定精度を向上させることができる表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法の提供。

解決手段

表面形状測定システム1は、光源5と、光源5からの光を受光する受光手段6と、受光手段6にて受光された光に基づき表面Hの形状を検出する検出手段7と、を備える表面形状測定器2を備える。表面形状測定システム1は、測定対象Wの屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源5から表面Hに向かって照射される光の光路上および表面Hから受光手段6に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面Hと密着して設けられる媒質3を備え、光源5は、表面Hへの光の入射角θ臨界角よりも大きくなるように配置されている。

概要

背景

従来、測定対象の表面に向かって光を照射する光源と、測定対象の表面に沿って光源と一体に移動し、測定対象の表面を反射した光源からの光を受光する受光手段と、受光手段にて受光された光に基づき測定対象の表面の形状を検出する検出手段と、を備える表面形状測定器が知られている。
この際、光源は、例えばレーザー光源であり、測定対象は、レーザー光が照射された表面でレーザー光を反射する。受光手段は、測定対象の表面で反射したレーザー光を受光し、検出手段は、受光手段が受光したレーザー光に基づいて測定対象の表面の形状を検出する。

図5は、従来の表面形状測定システム100を示す図である。
ここで、測定対象Wがガラスなどの透光性を有する素材であり、測定台Dに載置されている場合、図5に示すように、表面形状測定器200における光源300が測定対象Wの表面Hに向かって光を照射すると、破線矢印で示す測定対象Wの表面Hを反射する光と、実線矢印で示す測定対象Wを透過する光と、が生じる。測定対象Wを透過した実線矢印で示す光は、測定台Dで反射し、再び測定対象W内を受光手段400に向かって進行する。受光手段400は、測定台Dを反射した実線矢印で示す光と、測定対象Wの表面Hを反射する破線矢印で示す光と、それぞれ光の光量が異なる複数の光を受光することとなる。そして、図示しない検出手段は、それぞれ光の光量が異なる複数の光に基づいて測定対象の表面の形状を検出する。したがって、検出手段は、測定台Dで反射した実線矢印で示す光により測定対象の表面を正確に測定することができないという問題がある。

このような問題に対し、特許文献1に記載された表面形状測定装置は、透光性を有する測定対象の表面に向かってレーザー光を照射するレーザー光源と、測定対象の表面を反射したレーザー光を受光し変位計測するレーザー変位計と、を備える。また、表面形状測定装置とともに用いられる測定台は、少なくともレーザー光が照射される測定対象物の測定位置に対応する位置の下方が、測定位置を含まない他の領域より凹んだ凹部を有している。凹部は、透光性を有する素材からなる測定対象を透過した光が測定台にて反射し、レーザー変位計に向かって反射することを抑制している。したがって、表面形状測定装置は、測定対象の表面を反射した光を用いて測定対象の表面の形状を検出することができる。

概要

透光性を有する素材からなる測定対象であっても測定対象の表面を反射する光を十分に取得することができ、測定精度を向上させることができる表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法の提供。表面形状測定システム1は、光源5と、光源5からの光を受光する受光手段6と、受光手段6にて受光された光に基づき表面Hの形状を検出する検出手段7と、を備える表面形状測定器2を備える。表面形状測定システム1は、測定対象Wの屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源5から表面Hに向かって照射される光の光路上および表面Hから受光手段6に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面Hと密着して設けられる媒質3を備え、光源5は、表面Hへの光の入射角θ臨界角よりも大きくなるように配置されている。

目的

本発明の目的は、透光性を有する素材からなる測定対象であっても測定対象の表面を反射する光を十分に取得することができ、測定精度を向上させることができる表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

測定対象の表面に向かって光を照射する光源と、前記測定対象の前記表面に沿って前記光源と一体に移動し、前記表面を反射した前記光源からの光を受光する受光手段と、前記受光手段にて受光された光に基づき前記表面の形状を検出する検出手段と、を備える表面形状測定器を備えた表面形状測定システムであって、前記測定対象の屈折率よりも大きい屈折率を有し、前記光源から前記表面に向かって照射される光の光路上および前記表面から前記受光手段に反射する光の光路上に配置されるとともに、前記表面と密着して設けられる媒質を備え、前記光源は、前記表面への光の入射角臨界角よりも大きくなるように配置されていることを特徴とする表面形状測定システム。

請求項2

請求項1に記載された表面形状測定システムにおいて、前記媒質は流体であり、前記光源と前記受光手段と一体に前記測定対象の前記表面に沿って移動し、少なくとも前記媒質と前記表面との密着部分密閉する密閉手段を備えることを特徴とする表面形状測定システム。

請求項3

測定対象の表面に向かって光を照射する光源と、前記測定対象の前記表面に沿って前記光源と一体に移動し、前記表面を反射した前記光源からの光を受光する受光手段と、前記受光手段にて受光された光に基づき前記表面の形状を検出する検出手段と、を備える表面形状測定器を用いた表面形状測定方法であって、前記測定対象の屈折率よりも大きい屈折率を有し、前記光源から前記表面に向かって照射される光の光路上および前記表面から前記受光手段に反射する光の光路上に配置されるとともに、前記表面と密着して設けられる媒質を備え、前記光源は、前記表面への光の入射角が臨界角よりも大きくなるように配置されていることを特徴とする前記表面形状測定器を用いた表面形状測定方法。

技術分野

0001

本発明は、表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法に関する。

背景技術

0002

従来、測定対象の表面に向かって光を照射する光源と、測定対象の表面に沿って光源と一体に移動し、測定対象の表面を反射した光源からの光を受光する受光手段と、受光手段にて受光された光に基づき測定対象の表面の形状を検出する検出手段と、を備える表面形状測定器が知られている。
この際、光源は、例えばレーザー光源であり、測定対象は、レーザー光が照射された表面でレーザー光を反射する。受光手段は、測定対象の表面で反射したレーザー光を受光し、検出手段は、受光手段が受光したレーザー光に基づいて測定対象の表面の形状を検出する。

0003

図5は、従来の表面形状測定システム100を示す図である。
ここで、測定対象Wがガラスなどの透光性を有する素材であり、測定台Dに載置されている場合、図5に示すように、表面形状測定器200における光源300が測定対象Wの表面Hに向かって光を照射すると、破線矢印で示す測定対象Wの表面Hを反射する光と、実線矢印で示す測定対象Wを透過する光と、が生じる。測定対象Wを透過した実線矢印で示す光は、測定台Dで反射し、再び測定対象W内を受光手段400に向かって進行する。受光手段400は、測定台Dを反射した実線矢印で示す光と、測定対象Wの表面Hを反射する破線矢印で示す光と、それぞれ光の光量が異なる複数の光を受光することとなる。そして、図示しない検出手段は、それぞれ光の光量が異なる複数の光に基づいて測定対象の表面の形状を検出する。したがって、検出手段は、測定台Dで反射した実線矢印で示す光により測定対象の表面を正確に測定することができないという問題がある。

0004

このような問題に対し、特許文献1に記載された表面形状測定装置は、透光性を有する測定対象の表面に向かってレーザー光を照射するレーザー光源と、測定対象の表面を反射したレーザー光を受光し変位計測するレーザー変位計と、を備える。また、表面形状測定装置とともに用いられる測定台は、少なくともレーザー光が照射される測定対象物の測定位置に対応する位置の下方が、測定位置を含まない他の領域より凹んだ凹部を有している。凹部は、透光性を有する素材からなる測定対象を透過した光が測定台にて反射し、レーザー変位計に向かって反射することを抑制している。したがって、表面形状測定装置は、測定対象の表面を反射した光を用いて測定対象の表面の形状を検出することができる。

先行技術

0005

特開2017−32297号公報

発明が解決しようとする課題

0006

しかしながら、特許文献1に記載された表面形状測定装置は、透光性を有する測定対象を挟んで反対側に凹部を有する測定台を備えなければならず、また、レーザー光源から照射されたレーザー光の大部分は、透光性を有する素材からなる測定対象を透過する。このため、レーザー変位計は、透光性を有する測定対象の表面を反射する反射光を十分に得ることができず、十分な変位計測をすることができないという問題がある。

0007

本発明の目的は、透光性を有する素材からなる測定対象であっても測定対象の表面を反射する光を十分に取得することができ、測定精度を向上させることができる表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法を提供することである。

課題を解決するための手段

0008

本発明の表面形状測定システムは、測定対象の表面に向かって光を照射する光源と、測定対象の表面に沿って光源と一体に移動し、表面を反射した光源からの光を受光する受光手段と、受光手段にて受光された光に基づき表面の形状を検出する検出手段と、を備える表面形状測定器を備えた表面形状測定システムであって、測定対象の屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源から表面に向かって照射される光の光路上および表面から受光手段に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面と密着して設けられる媒質を備え、光源は、表面への光の入射角臨界角よりも大きくなるように配置されていることを特徴とする。

0009

このような本発明によれば、表面形状測定システムは、測定対象の屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源から表面に向かって照射される光の光路上および表面から受光手段に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面と密着して設けられる媒質を備え、光源は、表面への光の入射角が臨界角よりも大きくなるように配置されていることで、光源からの光を測定対象の表面で全反射させることができる。光源からの光を測定対象の表面で全反射させることで、測定対象が透光性を有していたとしても、光源からの光は、測定対象を透過することなく、光量を維持したまま受光手段に向かって反射する。したがって、受光手段が受光する光の光量は低下しないため、表面形状測定システムは、透光性を有する素材からなる測定対象であっても測定対象の表面を反射する光を十分に取得することができ、測定精度を向上させることができる。

0010

この際、媒質は流体であり、光源と受光手段と一体に測定対象の表面に沿って移動し、少なくとも媒質と表面との密着部分密閉する密閉手段を備えることが好ましい。

0011

このような構成によれば、表面形状測定システムは、光源と受光手段と一体に測定対象の表面に沿って移動し、少なくとも媒質と表面との密着部分を密閉する密閉手段を備えることで、媒質が流体であっても例えば測定対象全体を媒質にて覆うことなく測定対象の表面の形状を測定することができる。また、少なくとも媒質と表面との密着部分を密閉することができればよいため、例えば測定対象よりも大きい容器を用いて媒質の流出を防がなくとも測定対象の表面を測定することができ、コスト削減を図ることができる。

0012

本発明の表面形状測定器を用いた表面形状測定方法は、測定対象の表面に向かって光を照射する光源と、測定対象の表面に沿って光源と一体に移動し、表面を反射した光源からの光を受光する受光手段と、受光手段にて受光された光に基づき表面の形状を検出する検出手段と、を備える表面形状測定器を用いた表面形状測定方法であって、測定対象の屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源から表面に向かって照射される光の光路上および表面から受光手段に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面と密着して設けられる媒質を備え、光源は、表面への光の入射角が臨界角よりも大きくなるように配置されていることを特徴とする。

0013

このような本発明によれば、表面形状測定器を用いた表面形状測定方法は、測定対象の屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源から表面に向かって照射される光の光路上および表面から受光手段に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面と密着して設けられる媒質を備え、光源は、表面への光の入射角が臨界角よりも大きくなるように配置されていることで、光源からの光を測定対象の表面で全反射させることができる。光源からの光を測定対象の表面で全反射させることで、測定対象が透光性を有していたとしても、光源からの光は、測定対象を透過することなく受光手段に向かって反射する。したがって、受光手段が受光する光の光量は低下しないため、表面形状測定器を用いた表面形状測定方法は、透光性を有する素材からなる測定対象であっても測定対象の表面を反射する光を十分に取得することができ、測定精度を向上させることができる。

図面の簡単な説明

0014

本発明の第1実施形態に係る表面形状測定システムを示す斜視図
前記表面形状測定システムを示すブロック図
本発明の第2実施形態に係る表面形状測定システムを示す斜視図
本発明の第3実施形態に係る表面形状測定システムを示す斜視図
従来の表面形状測定システムを示す図

実施例

0015

〔第1実施形態〕
以下、本発明の第1実施形態を図1および図2に基づいて説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る表面形状測定システム1を示す斜視図である。
図1に示すように、表面形状測定システム1は、測定対象Wの表面Hの形状を測定する表面形状測定器2と、表面形状測定器2を覆うように設けられる媒質3と、媒質3を収容する測定槽4と、を備える。
測定対象Wは、透光性を有する例えばガラスである。表面形状測定器2は、測定対象Wであるガラスの表面Hの形状について光を用いて測定する。

0016

表面形状測定器2は、測定対象Wの表面Hに向かって光を照射する光源5と、測定対象Wの表面Hに沿って光源5と一体に移動し、測定対象Wの表面Hを反射した光源5からの光を受光する受光手段6と、を備える。
光源5は、レーザー光を照射するレーザー光源である。光源5にレーザー光源を用いることで、受光手段6は、他の光源を用いた場合と比較して効率よく測定対象Wの表面Hを反射した光を受光することができる。なお、光源5はレーザー光源でなくともよく、LED(Light Emitting Diode)など、任意の光源を用いてもよい。

0017

受光手段6には、PDA(Photo Diode Array)が用いられる。なお、受光手段6はPDAに限らず、PSD(Position Sensitive Detector)やCCD(Charge-Coupled Device)等、測定対象Wの表面Hを反射する光を受光することができれば任意の検出器を用いてもよい。
また、図1では、説明の都合上、光源5から照射され、測定対象Wの表面Hを反射し、受光手段6へ向かう光の光路を実線矢印で表している。

0018

媒質3は、測定対象Wの屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源5から測定対象Wの表面Hに向かって照射される光の光路上および測定対象Wの表面Hから受光手段6に反射する光の光路上に配置されるとともに、測定対象Wの表面Hと密着して設けられる。具体的には、媒質3は、図1に示す実線矢印上に配置されるとともに、測定対象Wの表面Hと密着して設けられている流体である。流体とは、固体を除く気体液体の総称であり、本実施形態では、媒質3は、測定対象Wの屈折率よりも大きい屈折率を有する液体である。

0019

測定槽4は、光源5から測定対象Wの表面Hに向かう光の光路上および受光手段6に反射する光の光路上に、液体である媒質3を配置し流出を防ぐ水槽である。このため、測定対象Wは、測定槽4の底部に固定され、全体的に媒質3にて覆われた状態となる。また、表面形状測定器2の少なくとも光源5および受光手段6は、液体である媒質3の中に配置されるため、防水仕様になっている。表面形状測定器2は、測定槽4内を測定領域として測定槽4の中で、測定対象Wの表面Hに沿って光源5および受光手段6を移動させることで、測定対象Wの表面Hの形状を測定する。

0020

そして、光源5は、測定対象Wの表面Hへの光の入射角θが臨界角よりも大きくなるように配置されている。これにより、光源5から照射される光は、測定対象Wの表面Hを全反射する。具体的には、測定対象Wの屈折率をn1とし、媒質3の屈折率をn2としたとき、測定対象Wの屈折率n1よりも媒質3の屈折率n2が大きいという関係が成り立つ状態において、測定対象Wと媒質3との境界面における臨界角θ0は、次の式(1)のように表される。

0021

sinθ0 =n1/n2 ・・・(1)

0022

このとき、臨界角θ0よりも光源5から測定対象Wに向かって照射される光の入射角θの方が大きい角度であれば、光は、透光性を有するガラスである測定対象Wと媒質3の境界面で全反射することとなる。この測定対象Wの表面Hを全反射した光を受光手段6にて受光することで、測定対象Wが透光性を有する場合であっても、光は全反射し測定対象Wを透過しないため、測定対象Wの表面Hを高精度に測定することができる。

0023

図2は、表面形状測定システム1を示すブロック図である。
表面形状測定器2は、図2に示すように、受光手段6にて受光された光に基づき測定対象Wの表面Hの形状を検出する検出手段7をさらに備える。検出手段7は、例えばマイコン等である。なお、検出手段7はマイコンではなく、外部接続されたパソコン等であってもよく、測定対象Wの表面Hを受光手段6が受光した光に基づき検出することができれば、どのようなもので構成されていてもよい。
検出手段7は、測定槽4の外部に配置されているが、媒質3の影響を受けないように防水対策が成されている場合は、測定槽4の内部に配置されていてもよい。

0024

以上のような構成において、光源5が表面への光の入射角が臨界角よりも大きくなるように配置されている表面形状測定器2と、測定対象Wの屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源5から表面に向かって照射される光の光路上および表面から受光手段6に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面と密着して設けられる媒質3と、を用いた表面形状測定方法により、透光性を有するガラスである測定対象であっても、光は測定対象Wを透過せずに表面Hで全反射するため、その表面Hの形状を高精度に検出することができる。

0025

このような第1実施形態によれば、以下の作用・効果を奏することができる。
(1)表面形状測定システム1は、測定対象Wの屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源5から表面Hに向かって照射される光の光路上および表面Hから受光手段6に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面と密着して設けられる媒質3を備え、光源5は、表面Hへの光の入射角θが臨界角よりも大きくなるように配置されていることで、光源5からの光を測定対象Wの表面Hで全反射させることができる。光源5からの光を測定対象Wの表面Hで全反射させることで、測定対象Wが透光性を有していたとしても、光源5からの光は、測定対象Wを透過することなく、光量を維持したまま受光手段6に向かって反射する。したがって、受光手段6が受光する光の光量は低下しないため、表面形状測定システム1は、透光性を有する素材からなる測定対象Wであっても測定対象Wの表面Hを反射する光を十分に取得することができ、測定精度を向上させることができる。

0026

(2)表面形状測定器2を用いた表面形状測定方法は、測定対象Wの屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源5から表面Hに向かって照射される光の光路上および表面Hから受光手段6に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面Hと密着して設けられる媒質3を備え、光源5は、表面Hへの光の入射角θが臨界角よりも大きくなるように配置されていることで、光源5からの光を測定対象Wの表面Hで全反射させることができる。光源5からの光を測定対象Wの表面Hで全反射させることで、測定対象Wが透光性を有していたとしても、光源5からの光は、測定対象Wを透過することなく受光手段6に向かって反射する。したがって、受光手段6が受光する光の光量は低下しないため、表面形状測定器2を用いた表面形状測定方法は、透光性を有する素材からなる測定対象Wであっても測定対象Wの表面Hを反射する光を十分に取得することができ、測定精度を向上させることができる。

0027

〔第2実施形態〕
以下、本発明の第2実施形態を図3に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図3は、本発明の第2実施形態に係る表面形状測定システム1Aを示す斜視図である。
前記第1実施形態では、測定対象Wと媒質3と光源5と受光手段6とは、測定槽4の内部に配置されていた。
第2実施形態では、図3に示すように、測定槽4を備えず、測定槽4の代わりとして、光源5と受光手段6と一体に測定対象Wの表面Hに沿って移動し、少なくとも媒質3と表面Hとの密着部分を密閉する密閉手段4Aを備える点で前記第1実施形態と異なる。

0028

密閉手段4Aは、図3では、断面図として記載されているが、略円筒状に形成されている。この際、表面形状測定器2Aの少なくとも光源5および受光手段6は、液体である媒質3の中に配置される。
密閉手段4Aは、シリコンゴムなど、測定対象Wの表面Hを傷つけずに光源5と受光手段6と一体に測定対象Wの表面Hに沿って移動でき、流体である媒質3と表面Hとの密着部分を密閉し、媒質3が密閉手段4Aの外部に流出させないような素材で形成されていることが好ましい。なお、密閉手段は、光源5と受光手段6と一体に測定対象Wの表面Hに沿って移動し、少なくとも媒質3と表面Hとの密着部分を密閉することができれば、略円筒状ではなく、他の形状であってもよいし、どのような素材を用いてもよい。また、密閉手段は、光源5と受光手段6と一体に測定対象Wの表面Hに沿って移動し、少なくとも媒質3と表面Hとの密着部分を密閉することができれば、密閉手段と媒質3と光源5と受光手段6とを固定し、測定対象Wを移動させて測定対象Wの表面Hの形状を測定してもよい。

0029

このような第2実施形態においても、前記第1実施形態における(1),(2)と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
(3)表面形状測定システム1Aは、光源5と受光手段6と一体に測定対象Wの表面Hに沿って移動し、少なくとも媒質3と表面Hとの密着部分を密閉する密閉手段4Aを備えることで、媒質3が液体であっても例えば第1実施形態における測定槽4で測定対象W全体を媒質3にて覆うことなく測定対象Wの表面Hの形状を測定することができる。また、少なくとも媒質3と表面Hとの密着部分を密閉することができればよいため、例えば第1実施形態の測定槽4のように測定対象Wよりも大きい水槽を用いて媒質3の流出を防がなくとも測定対象Wの表面Hを測定することができ、コスト削減を図ることができる。
(4)密閉手段4Aは、第1実施形態の測定槽4のように測定領域を限定しないため、第1実施形態と比較して、測定槽4より大きい測定対象や測定対象全体を媒質3にて覆うことができない測定対象等であっても測定することができ、様々な測定対象に対応することができる。

0030

〔第3実施形態〕
以下、本発明の第3実施形態を図4に基づいて説明する。なお、以下の説明では、既に説明した部分については、同一符号を付してその説明を省略する。
図4は、本発明の第3実施形態に係る表面形状測定システム1Bを示す斜視図である。
前記各実施形態では、媒質3は液体であり、媒質3が流出しないようにするために測定槽4や密閉手段4Aを用いて測定対象Wの表面Hの形状を測定していた。

0031

第3実施形態は、図4に示すように、測定槽4や密閉手段4Aは備えず、媒質3Bは、粘性を有し、表面Hとの密着部分を密閉させた状態で光源5と受光手段6と一体に測定対象Wの表面Hに沿って移動するゲル等の半固体である点で前記各実施形態と異なる。
媒質3Bは、光源5と受光手段6とともに表面Hに密着したまま移動させることで、表面Hに付着し残留する等して減少することがあるが、一定時間ごとに媒質3Bを補充することで測定槽4や密閉手段4Aを備えなくても、光源5から表面Hに向かって照射される光の光路上および表面Hから受光手段6に反射する光の光路上から流出せずに留まることができる。したがって、測定槽4や密閉手段4Aを備えなくても、表面形状測定器2Bは、測定対象Wの表面Hの形状の測定を中断することなく実行することができる。

0032

このような第3実施形態においても、前記第1実施形態における(1),(2)と同様の作用、効果を奏することができる他、以下の作用、効果を奏することができる。
(5)媒質3Bは半固体であるため、第1実施形態の測定槽4や第2実施形態の密閉手段4Aを備えなくとも測定対象Wの表面Hの形状を測定することができる。したがって、表面形状測定システム1Bは、コスト削減を図ることができる。
(6)媒質3Bが粘性を有することで容易に流出しないため、測定対象Wの表面Hが傾斜を有していたとしても、表面形状測定システム1Bにて測定対象Wの表面Hの形状を検出することができる。

0033

〔実施形態の変形〕
なお、本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、前記実施形態では、媒質3,3Bは液体や半固体であったが、気体であってもよい。要するに、媒質は、測定対象の屈折率よりも大きい屈折率を有し、光源から表面に向かって照射される光の光路上および表面から受光手段に反射する光の光路上に配置されるとともに、表面と密着して設けられていれば、どのようなものであってもよい。

0034

前記各実施形態では、測定対象Wは透光性を有していたが、透光性を有していなくてもよく、ガラスではなく任意の測定対象であってよい。本発明における表面形状測定システムおよび表面形状測定方法は、例えば、光を測定対象の内部まで侵入させたくない場合等にも採用することができる。
前記各実施形態では、表面形状測定器2,2A〜2Bが測定対象Wに沿って移動していたが、表面形状測定器を固定し、測定対象を移動させて測定対象の表面の形状を測定してもよい。

0035

以上のように、本発明は、表面形状測定システムおよび表面形状測定器を用いた表面形状測定方法に好適に利用できる。

0036

1,1A〜1B表面形状測定システム
2,2A〜2B表面形状測定器
3,3B媒質
4B密閉手段
5光源
6受光手段
7 検出手段

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