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技術 光レセプタクルの検査方法および検査装置

出願人 株式会社エンプラス
発明者 助川卓幸
出願日 2019年3月27日 (1年10ヶ月経過) 出願番号 2019-060695
公開日 2020年10月1日 (4ヶ月経過) 公開番号 2020-160323
状態 未査定
技術分野 ライトガイドの光学的結合 光学的手段による測長装置
主要キーワード 角度計測器 中間角度 オートコリメーター 角度測定器 マルチモ 凹レンズ面 基準プレート 基準光線
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年10月1日)のものです。
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図面 (6)

課題

光レセプタクルに測定面を設けた場合でも、基準となる方向を特定でき、簡単に光レセプタクルを検査できる検査方法を提供すること。

解決手段

検査方法は、入射面と、反射面と、出射面と、測定面とを有する光レセプタクル100を検査する方法である。光レセプタクルの出射面から出射された基準光線基準線に対する基準角度を測定する工程と、検査ステージ220および測定面で順次反射した第1光線L1の基準線に対する第1角度を測定する工程と、測定面および検査ステージで順次反射した第2光線L2の基準線に対する第2角度を測定する工程と、基準角度と第1角度および第2角度の中間角度とを比較して光レセプタクルが適切に形成されているか否かを判定する工程と、を含む。

概要

背景

光通信の技術分野では、LEDなどの発光素子や、光ファイバー光導波路などの光伝送体、発光素子および光伝送体を光学的に接合するための光レセプタクルなどが使用されている。発光素子、光伝送体および光レセプタクルなどは、その大きさが小さいため、発光素子および光伝送体の高い配置精度や、光レセプタクルの高い成形精度が求められる。発光素子および光伝送体の高い配置精度を実現するためには、これらの光学部品を配置するための筐体に対しても高い組み立て精度が求められる。光通信の技術分野において、光学部品を配置するための筐体の組み立て精度を測定する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。

特許文献1には、レーザーオートコリメーターを用いて、被測定面の角度(組み立て精度)を測定する方法が記載されている。特許文献1に記載の測定方法は、レーザーオートコリメーターと、ミラーと、を使用する。被測定面は、パッケージの底面に配置されたベース板の表面に対して垂直となるように配置されるべき面である。

被測定面の角度を測定するためには、パッケージに向けてレーザー光線出射されるように、パッケージの真上にレーザーオートコリメーターを配置し、パッケージの底部に配置されたベース板上であって、レーザー光線の光路上にミラーを配置する。

レーザーオートコリメーターから出射されたレーザー光線は、ミラーで反射して被測定面に到達する。被測定面に到達したレーザー光線は、当該被測定面で反射する。被測定面で反射したレーザー光線は、再度ミラーで反射し、レーザーオートコリメーターに到達する。被測定面の角度を測定する方法では、出射したレーザー光線の出射位置と、受光したレーザー光線の到達位置との位置関係から、ベース板の表面に沿う方向(基準方向)に対する被測定面の傾斜角度を測定する。

概要

光レセプタクルに測定面を設けた場合でも、基準となる方向を特定でき、簡単に光レセプタクルを検査できる検査方法を提供すること。検査方法は、入射面と、反射面と、出射面と、測定面とを有する光レセプタクル100を検査する方法である。光レセプタクルの出射面から出射された基準光線基準線に対する基準角度を測定する工程と、検査ステージ220および測定面で順次反射した第1光線L1の基準線に対する第1角度を測定する工程と、測定面および検査ステージで順次反射した第2光線L2の基準線に対する第2角度を測定する工程と、基準角度と第1角度および第2角度の中間角度とを比較して光レセプタクルが適切に形成されているか否かを判定する工程と、を含む。

目的

本発明の目的は、光レセプタクルに測定面を設けた場合でも、基準となる方向を特定でき、簡単に光レセプタクルを検査できる検査方法および検査装置を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

光伝送体が接続されたときに、前記光伝送体から出射された光を入射させ、入射した光を出射させる光レセプタクル検査する方法であって、前記光レセプタクルは、前記光伝送体から出射された光を入射させる入射面と、前記入射面で入射した光を反射させる反射面と、前記反射面で反射した光を外部に向けて出射させる出射面と、前記光レセプタクルの外面の一部である測定面と、を有し、前記光レセプタクルの検査方法は、検査ステージに配置された前記光レセプタクルの前記出射面から、前記検査ステージから離れるように出射された基準光線基準線に対する基準角度を得る工程と、第1光線を前記基準線に沿うように前記検査ステージに向けて出射したときに、前記検査ステージおよび前記測定面の順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第1光線の前記基準線に対する第1角度を測定する工程と、第2光線を前記基準線に沿うように前記測定面に向けて出射したときに、前記測定面および前記検査ステージの順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第2光線の前記基準線に対する第2角度を測定する工程と、前記基準角度と、前記第1角度および前記第2角度の中間角度とを比較して、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値未満の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていると判定し、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値以上の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていないと判定する工程と、を含む、光レセプタクルの検査方法。

請求項2

光伝送体が接続されたときに、前記光伝送体から出射された光を入射させ、入射した光を出射させる光レセプタクルを検査する検査装置であって、前記光レセプタクルは、前記光伝送体から出射された光を入射させる入射面と、前記入射面で入射した光を反射させる反射面と、前記反射面で反射した光を外部に向けて出射させる出射面と、前記光レセプタクルの外面の一部である測定面と、を有し、前記検査装置は、前記光レセプタクルを配置される検査ステージと、到達する光線の基準線に対する角度を測定する角度測定器と、前記光レセプタクルが適切に形成されているか否かを判定する判定部と、を有し、前記角度測定器は、前記検査ステージに配置された前記光レセプタクルの前記出射面から、前記検査ステージから離れるように出射された基準光線の前記基準線に対する基準角度を測定し、第1光線を前記基準線に沿うように前記検査ステージに向けて出射したときに、前記検査ステージおよび前記光レセプタクルの測定面の順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第1光線の前記基準線に対する第1角度を測定し、第2光線を前記基準線に沿うように前記測定面に向けて出射したときに、前記測定面および前記検査ステージの順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第2光線の前記基準線に対する第2角度を測定し、前記判定部は、前記基準角度と、前記第1角度および前記第2角度の中間角度とを比較して、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値未満の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていると判定し、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値以上の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていないと判定する、検査装置。

請求項3

前記角度測定器は、オートコリメーターである、請求項2に記載の検査装置。

技術分野

0001

本発明は、光レセプタクル検査方法および検査装置に関する。

背景技術

0002

光通信の技術分野では、LEDなどの発光素子や、光ファイバー光導波路などの光伝送体、発光素子および光伝送体を光学的に接合するための光レセプタクルなどが使用されている。発光素子、光伝送体および光レセプタクルなどは、その大きさが小さいため、発光素子および光伝送体の高い配置精度や、光レセプタクルの高い成形精度が求められる。発光素子および光伝送体の高い配置精度を実現するためには、これらの光学部品を配置するための筐体に対しても高い組み立て精度が求められる。光通信の技術分野において、光学部品を配置するための筐体の組み立て精度を測定する方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。

0003

特許文献1には、レーザーオートコリメーターを用いて、被測定面の角度(組み立て精度)を測定する方法が記載されている。特許文献1に記載の測定方法は、レーザーオートコリメーターと、ミラーと、を使用する。被測定面は、パッケージの底面に配置されたベース板の表面に対して垂直となるように配置されるべき面である。

0004

被測定面の角度を測定するためには、パッケージに向けてレーザー光線出射されるように、パッケージの真上にレーザーオートコリメーターを配置し、パッケージの底部に配置されたベース板上であって、レーザー光線の光路上にミラーを配置する。

0005

レーザーオートコリメーターから出射されたレーザー光線は、ミラーで反射して被測定面に到達する。被測定面に到達したレーザー光線は、当該被測定面で反射する。被測定面で反射したレーザー光線は、再度ミラーで反射し、レーザーオートコリメーターに到達する。被測定面の角度を測定する方法では、出射したレーザー光線の出射位置と、受光したレーザー光線の到達位置との位置関係から、ベース板の表面に沿う方向(基準方向)に対する被測定面の傾斜角度を測定する。

先行技術

0006

特開2006−267236号公報

発明が解決しようとする課題

0007

特許文献1に記載のレーザーオートコリメーターを用いて、光レセプタクルから出射される光が所定の方向に向けて出射されているか否かを検査することが考えられる。この場合、光レセプタクルに被測定面を設けただけでは、当該光レセプタクルから出射される光の角度の基準となる基準方向を特定することが困難な場合がある。これは、光レセプタクルの成形精度によって基準方向が精度良く特定できないためである。これにより、当該光レセプタクルから出射される光の角度を適切に測定できないことがあった。

0008

本発明の目的は、光レセプタクルに測定面を設けた場合でも、基準となる方向を特定でき、簡単に光レセプタクルを検査できる検査方法および検査装置を提供することである。

課題を解決するための手段

0009

本発明に係る光レセプタクルの検査方法は、光伝送体が接続されたときに、前記光伝送体から出射された光を入射させ、入射した光を出射させる光レセプタクルを検査する方法であって、前記光レセプタクルは、前記光伝送体から出射された光を入射させる入射面と、前記入射面で入射した光を反射させる反射面と、前記反射面で反射した光を外部に向けて出射させる出射面と、前記光レセプタクルの外面の一部である測定面と、を有し、前記光レセプタクルの検査方法は、検査ステージに配置された前記光レセプタクルの前記出射面から、前記検査ステージから離れるように出射された基準光線基準線に対する基準角度を得る工程と、第1光線を前記基準線に沿うように前記検査ステージに向けて出射したときに、前記検査ステージおよび前記測定面の順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第1光線の前記基準線に対する第1角度を測定する工程と、第2光線を前記基準線に沿うように前記測定面に向けて出射したときに、前記測定面および前記検査ステージの順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第2光線の前記基準線に対する第2角度を測定する工程と、前記基準角度と、前記第1角度および前記第2角度の中間角度とを比較して、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値未満の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていると判定し、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値以上の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていないと判定する工程と、を含む。

0010

本発明に係る検査装置は、光伝送体が接続されたときに、前記光伝送体から出射された光を入射させ、入射した光を出射させる光レセプタクルを検査する検査装置であって、前記光レセプタクルは、前記光伝送体から出射された光を入射させる入射面と、前記入射面で入射した光を反射させる反射面と、前記反射面で反射した光を外部に向けて出射させる出射面と、前記光レセプタクルの外面の一部である測定面と、を有し、前記検査装置は、前記光レセプタクルを配置される検査ステージと、到達する光線の基準線に対する角度を測定する角度測定器と、前記光レセプタクルが適切に形成されているか否かを判定する判定部と、を有し、前記角度測定器は、前記検査ステージに配置された前記光レセプタクルの前記出射面から、前記検査ステージから離れるように出射された基準光線の前記基準線に対する基準角度を測定し、第1光線を前記基準線に沿うように前記検査ステージに向けて出射したときに、前記検査ステージおよび前記光レセプタクルの測定面の順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第1光線の前記基準線に対する第1角度を測定し、第2光線を前記基準線に沿うように前記測定面に向けて出射したときに、前記測定面および前記検査ステージの順番で反射した後の、前記基準線に沿う方向に進む前記第2光線の前記基準線に対する第2角度を測定し、前記判定部は、前記基準角度と、前記第1角度および前記第2角度の中間角度とを比較して、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値未満の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていると判定し、前記基準角度および前記中間角度の差が閾値以上の場合には、前記光レセプタクルが適切に形成されていないと判定する。

発明の効果

0011

本発明によれば、光レセプタクルに測定面を設けた場合でも、基準となる方向を特定でき、簡単に光レセプタクルを検査できる。

図面の簡単な説明

0012

図1A〜Fは、実施の形態に係る光レセプタクルの構成を示す図である。
図2A〜Dは、光レセプタクルの検査方法を説明するための図である。
図3A〜Dは、光レセプタクルの検査方法を説明するための他の図である。
図4は、光レセプタクルの検査方法における判定する工程を説明するための図である。
図5は、光レセプタクルの検査方法のフローチャートである。

実施例

0013

以下、本発明に係る一実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。

0014

本実施の形態に係る光レセプタクル100の検査方法は、光伝送体160から出射された光が所定の角度で出射されたかに否かついて検査する方法である。そこで、検査対象となる光レセプタクル100について説明した後に、検査装置200および検査装置200を用いた検査方法について説明する。

0015

(光レセプタクルの構成)
図1A〜Fは、本実施の形態における光レセプタクル100の構成を示す図である。図1Aは、光レセプタクル100の平面図であり、図1Bは、正面図であり、図1Cは、底面図であり、図1Dは、図1Aに示されるA−A線の断面図であり、図1Eは、左側面図であり、図1Fは、右側面図である。図1Dでは、光軸OA1、OA2、中心軸CA1、CA2を示すために光レセプタクル100のハッチングを省略している。図1A〜Dでは、光伝送体160およびフェルール162を破線で示している。

0016

図1A〜Dに示されるように、光レセプタクル100は、光伝送体160がフェルール162を介して結合(以下、接続ともいう)されて使用される。光伝送体160の種類は、特に限定されない、光伝送体160の種類の例には、光ファイバー、光導波路が含まれる。本実施の形態では、光伝送体160は、光ファイバーである。光ファイバーは、シングルモード方式でもよいし、マルチモード方式でもよい。光伝送体160の数は、1または2以上である。本実施の形態では、光伝送体160の数は、1本である。

0017

光レセプタクル100は、透光性を有し、光伝送体160から出射された光を入射させ、入射した光の進行方向を変えて、外部に向けて出射させる。図1A〜Fに示されるように、光レセプタクル100は、入射面110と、反射面120と、出射面130と、測定面140とを有する。また、本実施の形態では、光レセプタクル100は、脚部150をさらに有する。

0018

光レセプタクル100は、光通信に用いられる波長の光に対して透光性を有する材料を用いて形成される。そのような材料の例には、ポリエーテルイミド(PEI)や環状オレフィン樹脂などの透明な樹脂が含まれる。また、例えば、光レセプタクル100は、射出成形により製造される。

0019

入射面110は、光レセプタクル100の右側面側に形成されており、光伝送体160から出射された光を屈折させて光レセプタクル100の内部に入射させる光学面である。入射面110は、光伝送体160から出射された光を、コリメート光収束光、または拡散光に変換させうる。本実施の形態では、入射面110は、光伝送体160から出射された光をコリメート光に変換させる。入射面110の形状は、特に限定されない。入射面110は、光伝送体160に向かって凸状の凸レンズ面でもよいし、光伝送体160に対して凹状の凹レンズ面でもよいし、平面でもよい。本実施の形態では、入射面110は、光伝送体160に向かって凸状の凸レンズ面である。入射面110の平面視形状は、特に限定されない。入射面110の平面視形状は、円形状でもよいし、多角形状でもよい。本実施の形態では、入射面110の平面視形状は、円形状である。入射面110の中心軸CA1は、光伝送体160から出射される光の光軸OA1と一致していてもよいし、光伝送体160から出射される光の光軸OA1に対して傾斜していてもよい。本実施の形態では、入射面110の中心軸CA1は、光伝送体160から出射される光の光軸OA1と一致している。

0020

反射面120は、光レセプタクル100の底面側に形成された傾斜面であり、入射面110と出射面130との間の光路上に配置されている。反射面120は、入射面110で入射した光(光伝送体160から出射された光)を出射面130に向かって反射させる。反射面120は、平面でもよいし、曲面でもよい。本実施の形態では、反射面120は、平面である。反射面120は、光レセプタクル100の底面から天面に向かうにつれて、光伝送体160から離れるように傾斜している。本実施の形態では、反射面120の傾斜角度は、入射面110で入射した光の光軸OA1に対して30°である。反射面120には、入射面110で入射した光が、臨界角より大きな入射角で内部入射する。これにより、反射面120は、入射した光を出射面130に向けて全反射させる。

0021

出射面130は、反射面120で反射した光を、外部に向けて出射させる光学面である。本実施の形態では、出射面130は、光レセプタクル100の天面側に形成された光学面である。出射面130は、外部に向かって凸状の凸レンズ面でもよいし、外部に対して凹状の凹レンズ面でもよいし、平面でもよい。本実施の形態では、出射面130は、外部に向かって凸状の凸レンズ面である。出射面130の平面視形状は、特に限定されない。出射面130の平面視形状は、円形状でもよいし、多角形状でもよい。本実施の形態では、出射面130の平面視形状は、円形状である。出射面130の中心軸CA2は、出射面130から出射される光の光軸OA2と一致していてもよいし、出射面130から出射される光の光軸OA2に対して傾斜していてもよい。本実施の形態では、出射面130の中心軸CA2は、出射面130から出射される光の光軸OA2と一致している。

0022

測定面140は、光レセプタクル100の検査方法において使用される光レセプタクル100の外面の一部の面である。測定面140は、後述する光レセプタクル100の検査方法において機能できる位置の面であれば特に限定されない。本実施の形態では、測定面140は、入射面110の反対側(左側面側)に配置された外面である。測定面140は、検査ステージ220の傾斜面221上に光レセプタクル100を配置したときに、傾斜面221に対して垂直方向に配置されるように構成されている。すなわち、測定面140と検査ステージ220の傾斜面221とのなす角度は、90°である。測定面140は、平面であり、臨界角以上の角度で到達した光が全反射するように光学面仕上げされている。

0023

脚部150は、光レセプタクル100を図外の基板などに固定するときに使用される。脚部の数は、上述の機能を発揮できれば特に限定されない。本実施の形態では、脚部150の数は、3つである。

0024

光伝送体160から出射された光は、入射面110で光レセプタクル100の内部に入射する。光レセプタクル100内に入射した光は、反射面120で内部反射して、出射面130に向かって進行する。出射面130に到達した光は、外部に向かって出射される。本実施の形態に係る光レセプタクル100では、出射面130から左斜め上の方向に向かって出射される。

0025

(検査装置の構成および検査方法)
次に、図2A〜D、図3A〜D、図4および図5を参照して、本実施の形態に係る検査装置200および検査方法について説明する。

0026

図2A、Bは、基準線を求める工程を説明するための図であり、図2C、Dは、基準角度を得る工程を説明するための図である。図3A、Bは、第1角度を得る工程を説明するための図であり、図3C、Dは、第2角度を得る工程を説明するための図である。図4は、判定する工程を説明するための図である。図5は、検査方法のフローチャートである。

0027

図2C、図3Aおよび図3Cに示されるように、検査装置200は、移動ステージ210と、検査ステージ220と、角度測定器230と、判定部240を有する。検査装置200は、光伝送体160が接続された光レセプタクル100を検査ステージ220に配置した状態で光レセプタクル100を検査する。

0028

移動ステージ210は、検査ステージ220を支持するとともに、移動ステージ210を移動可能に構成されている。移動ステージ210の移動方向は、特に限定されない。移動ステージ210の移動方向は、移動ステージ210の上面を含む仮想平面における第1の軸(X軸)に沿う方向でもよいし、第1の軸(X軸)および第1の軸に直交する第2の軸(Y軸)に沿う方向でもよい。本実施の形態では、移動ステージ210は、第1の軸(X軸)に沿う方向(図2C、図3Aおよび図3Cにおいて左右方向)に移動する。移動ステージ210の駆動方法は、特に限定されない。移動ステージ210は、例えば、ステッピングモーターなどで駆動される。

0029

検査ステージ220は、移動ステージ210の上に固定される。検査ステージ220の形状は、検査する光レセプタクル100に応じて適宜設計される。本実施の形態では、検査ステージ220は、光レセプタクル100から出射される基準光線の光軸が移動ステージ210の上面の法線と平行となるように形成されている。具体的には、検査ステージ220は、底面が直角三角形三角柱である。本実施の形態では、傾斜面221に光レセプタクル100が配置される。本実施の形態では、移動ステージ210に対する傾斜面221の角度は、30°である。傾斜面221の表面は、到達した光を反射するように、光学面仕上げされている。なお、特に図示しないが、検査ステージ220の傾斜面221には、光レセプタクル100を位置決めするための位置決め凸部が形成されている。光レセプタクル100の位置決め凸部に光レセプタクル100を係合させることにより、検査ステージ220に対して光レセプタクル100を位置決めする。

0030

角度測定器230は、到達する光線の基準線に対する角度を測定する。角度測定器230の例は、オートコリメーター、レーザーオートコリメーター、レーザー角度計測器が含まれる。本実施の形態では、角度測定器230は、レーザーオートコリメーターである。角度測定器230から出射され、反射した光を基準線Lとし、当該基準線Lが到達する角度測定器230の受光面の中心を基準点P0とする。角度測定器230は、検査ステージ220の直上部に、レーザー光線を検査ステージ220(光レセプタクル100)に出射向けてするように配置されている。本実施の形態では、角度測定器230は、レーザー光線を出射し、測定対象物で反射したレーザー光線を受光することで、基準線に対する傾斜角度をX軸方向およびY軸方向についてそれぞれ測定できる。

0031

判定部240は、光レセプタクル100が適切に形成されているか否かを判定する。判定部240は、後述する基準角度と、第1角度および第2角度の中間角度とを比較する。そして、基準角度および中間角度の差が閾値以上の場合には、光レセプタクル100が適切に形成されていると判定する。基準角度および中間角度の差が閾値未満の場合には、光レセプタクル100が適切に形成されていないと判定する。ここで「閾値」は、検査する光レセプタクル100に求められる成形精度に応じて適宜設定される。判定部240は、例えば、本発明の光レセプタクル100の検査方法がインストールされた、ワークステーションパーソナルコンピュータなどの汎用コンピュータである。

0032

次に、本実施の形態に係る光レセプタクル100の検査方法について説明する。

0033

図2A〜D、図3A〜D、図4および図5に示されるように、光レセプタクル100の検査方法は、基準角度を得る工程(S200)と、第1角度を得る工程(S300)と、第2角度を得る工程(S400)と、判定する工程(S500)を含む。本実施の形態では、基準線Lを求める工程(S100)をさらに含んでいてもよい。

0034

基準線L(基準方向)を求める工程(S100)では、測定する角度の基準となる線を求める。図2Aに示されるように、具体的には、まず、移動ステージ210上に基準プレート250を設置する。基準プレート250の表面は、平面であり、法線方向から入射した光を法線方向に向かって反射させる。角度測定器230からレーザー光線Laを基準プレート250に向かって出射する。角度測定器230から出射したレーザー光線Laは、そのまま基準プレート250に到達する。基準プレート250に到達したレーザー光線Laは、基準プレート250で角度測定器230に向かって反射する。基準プレート250で反射した反射レーザー光線Lbは、角度測定器230に到達する。図2Bに示されるように、このとき、基準プレート250で反射した反射レーザー光線Lbが基準点P0の中心に到達するように、角度測定器230の位置を調整する。ここで、角度測定器230から出射された光線であって、基準プレート250で反射し、基準点P0を通過した反射レーザー光線Lbを基準線Lとする。

0035

基準角度を得る工程(S200)では、図2C、Dに示されるように、光レセプタクル100から出射される光が基準点P0に向くように、光レセプタクル100を検査ステージ220に配置し、光レセプタクル100から出射された光線の基準線Lに対する基準角度を得る。具体的には、基準プレート250に代えて、移動ステージ210上に検査ステージ220を設置する。そして、検査ステージ220に光レセプタクル100を配置して、光伝送体160を光レセプタクル100に接続する。次いで、光伝送体160から光線(基準光線L0)を出射する。光伝送体160から出射された基準光線L0は、光レセプタクル100で制御されて、出射面130から角度測定器230に向けて出射される。このとき、光レセプタクル100から出射された基準光線L0の光軸が、基準点P0の近くに到達するように、角度測定器230を調整する。これにより、基準点P0の近くを基準光線L0が通過する。

0036

第1角度を測定する工程(S300)では、第1光線L1を検査ステージ220の傾斜面221に向けて出射し、検査ステージ220の傾斜面221および測定面140の順番で反射した第1光線L1の基準線Lに対する第1角度を測定する。具体的には、図3Aに示されるように、基準線Lと平行に第1光線L1を出射させたときに測定面140に到達するように移動ステージ210を移動させる。角度測定器230から出射された第1光線L1は、測定面140および検査ステージ220の順番に反射して、角度測定器230に到達する。次いで、図3Bに示されるように、基準線Lに対する第1光線L1の角度(第1角度)を測定する。

0037

第2角度を測定する工程(S400)では、第2光線を測定面140に向けて出射し、測定面140および検査ステージ220の順番で反射した第2光線L2の基準線Lに対する第2角度を測定する。具体的には、図3Cに示されるように、基準線Lと平行に第2光線L2を出射させたときに検査ステージ220に到達するように移動ステージ210を移動させる。角度測定器230から出射された第2光線L2は、検査ステージ220および測定面140の順番に反射して、角度測定器230に到達する。次いで、図3Dに示されるように、基準線Lに対する第2光線L2の角度(第2角度)を測定する。

0038

なお、第1角度を測定する工程および第2角度を測定する工程は、角度測定器230から出射される光線(L1、L2)の光路が反対向きである点においてのみ異なる。よって、得られる第1角度および第2角度の絶対値は、ほぼ同じである。

0039

次いで、判定する工程(S500)について説明する。図4におけるS0(x0,y0)は、基準線Lに対する基準光線L0の傾斜角度(基準角度)を示しており、S1は、基準線Lに対する第1光線L1の傾斜角度(第1角度)を示しており、S2は、基準線Lに対する第2光線L2の傾斜角度(第2角度)を示しており、S3は、第1光線L1の傾斜角度(第1角度)および第2光線L2の傾斜角度(第2角度)の中間角度を示している。

0040

図4に示されるように、まず、第1角度S1および第2角度S2の中間角度S3を求める。ここで、第1角度S1を(x1,y1)とし、第2角度S2を(x2,y2)とすると、中間角度S3(x3,y3)は、S3((x1+x2)/2,(y1+y2)/2)で表すことができる。

0041

次いで、基準角度S0と、中間角度S3との差ΔDを求める。具体的には、(x0−x3,y0−y0)で求めることができる。そして、基準角度S0と、中間角度S3との差ΔDが本来光レセプタクル100から出射されるべき光に対する検査される光レセプタクル100から出射される光の傾斜角度である。

0042

次いで、光レセプタクル100毎に設定された閾値と、差ΔDとを比較して、差ΔDが閾値未満の場合には、光レセプタクル100が適切に形成されていると判定する。すなわち、光レセプタクル100から出射された光が所定の角度で出射されていると判断できる。差ΔDが閾値以上の場合には、光レセプタクル100が適切に形成されていないと判定する。すなわち、光レセプタクル100から出射された光が所定の角度で出射されていないと判断できる。

0043

このようにして、光レセプタクル100から出射された光が所定の角度で出射されているか否かを検査できる。

0044

(効果)
以上のように、本実施の形態に係る光レセプタクル100の検査装置および検査方法では、光レセプタクル100から出射された光と、光レセプタクル100の測定面140および検査ステージ220の傾斜面221で反射した光とを比較することで、簡単に光レセプタクル100から出射される光の角度を求めることができる。

0045

本発明に係る光レセプタクルの検査方法および検査装置は、光伝送体を用いた光通信の高精度化に有用である。

0046

100光レセプタクル
110入射面
120反射面
130出射面
140 測定面
150 脚部
160光伝送体
162フェルール
200検査装置
210移動ステージ
220検査ステージ
221 傾斜面
230角度測定器
240 判定部
250基準プレート
P0基準点
L基準線
L0基準光線
L1 第1光線
L2 第2光線
Laレーザー光線
Lb反射レーザー光線
CA1 入射面の中心軸
CA2 出射面の中心軸
OA1 光伝送体から出射された光の光軸
OA2 出射面から出射された光の光軸

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