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技術 加工装置

出願人 株式会社ディスコ
発明者 田中万平
出願日 2019年2月14日 (1年9ヶ月経過) 出願番号 2019-024392
公開日 2020年8月31日 (2ヶ月経過) 公開番号 2020-135102
状態 未査定
技術分野 洗浄、機械加工 総合的工場管理 ダイシング
主要キーワード 蛇腹カバー ブレードセット 定期点検時期 ブレード先端位置 各点検項目 両ブレード 使用段階 加工距離
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年8月31日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (4)

課題

加工装置において予定されている作業が忘れられ、予定作業日時に遅れて実施される事態を防止する。

解決手段

加工手段2と、制御手段3と、入力手段4と、報知手段5とを備えた加工装置1を用いて、制御手段3に備えられた日時記憶部30に記憶された作業日時に基づき報知手段5により所定のタイミングでオペレータに対して作業予定を報知し、発信された報知が、入力手段4に備えられた報知停止ボタン40によって停止された後も、報知停止から所定時間経過時に、さらに制御手段3に備えられた予定作業完了検出部32で作業の完了が検出されない場合には、再び追加報知が報知されることで、繰り返しオペレータに対して作業予定を報知し、作業の実施忘れを防止する。

概要

背景

各種の加工装置においては、装置の稼働経時変化等によって、装置に備えられた各種部品センサ等が劣化するため、加工装置の適切な動作を実現すべく、定期的なメンテナンス定期点検推奨されている(例えば、特許文献1参照)。

概要

加工装置において予定されている作業が忘れられ、予定作業日時に遅れて実施される事態を防止する。加工手段2と、制御手段3と、入力手段4と、報知手段5とを備えた加工装置1を用いて、制御手段3に備えられた日時記憶部30に記憶された作業日時に基づき報知手段5により所定のタイミングでオペレータに対して作業予定を報知し、発信された報知が、入力手段4に備えられた報知停止ボタン40によって停止された後も、報知停止から所定時間経過時に、さらに制御手段3に備えられた予定作業完了検出部32で作業の完了が検出されない場合には、再び追加報知が報知されることで、繰り返しオペレータに対して作業予定を報知し、作業の実施忘れを防止する。1

目的

本発明が解決しようとする課題は、加工装置のメンテナンスや定期点検等の予定されている作業を忘れてしまったり、作業が予定されているタイミングよりも後回しにされてしまったりすることを防止することである

効果

実績

技術文献被引用数
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牽制数
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請求項1

被加工物に加工を施す加工手段と、少なくとも該加工手段を制御する制御手段と、情報を入力する入力手段と、を備えた加工装置であって、該制御手段は、予定されている作業の日時を記憶する日時記憶部と、予定されている該作業の完了を検出する予定作業完了検出部と、を有し、該日時記憶部に記憶された該日時前に所定のタイミングで該作業の発生予定を発生予定報知として報知する報知手段を備え、該入力手段は、該報知手段からの報知を停止する報知停止ボタンを有し、該発生予定報知が報知され、該報知停止ボタンで該発生予定報知が停止された後、所定時間経過後、該予定作業完了検出部で該作業の完了が検出されない場合に、該報知手段から追加報知を報知する加工装置。

請求項2

該制御手段は、該日時記憶部で記憶された該日時に達した際に該予定作業完了検出部で該作業の完了が検出されない場合、該報知停止ボタンによる報知の停止を無効とする報知停止無効部を更に備えた、請求項1に記載の加工装置。

技術分野

0001

本発明は、加工装置に関する。

背景技術

0002

各種の加工装置においては、装置の稼働経時変化等によって、装置に備えられた各種部品センサ等が劣化するため、加工装置の適切な動作を実現すべく、定期的なメンテナンス定期点検推奨されている(例えば、特許文献1参照)。

先行技術

0003

特開2015−098063号公報

発明が解決しようとする課題

0004

メンテナンスや定期点検の実施時期は、加工装置のユーザが各自で管理しているが、ユーザが例えば別の作業等に追われ、メンテナンスや定期点検の実施を忘れてしまうことがある。また、メンテナンスや定期点検を行う際には装置の稼働を停止して生産中断しなくてはならず、メンテナンスや定期点検を行う時期を覚えていても、定期点検時期繁忙期と重なると後回しにされてしまうこともある。

0005

本発明が解決しようとする課題は、加工装置のメンテナンスや定期点検等の予定されている作業を忘れてしまったり、作業が予定されているタイミングよりも後回しにされてしまったりすることを防止することである。

課題を解決するための手段

0006

本発明は、被加工物に加工を施す加工手段と、少なくとも該加工手段を制御する制御手段と、情報を入力する入力手段と、を備えた加工装置であって、該制御手段は、予定されている作業の日時を記憶する日時記憶部と、予定されている該作業の完了を検出する予定作業完了検出部と、を有し、該加工手段は、該日時記憶部で記憶された該日時前に、所定のタイミングで該作業の発生予定を発生予定報知として報知する報知手段を備え、該入力手段は、該報知手段からの報知を停止する報知停止ボタンを含み、該発生予定報知が報知され、該報知停止ボタンで該発生予定報知が停止された後、所定時間経過後、該予定作業完了検出部で該作業の完了が検出されない場合に、該報知手段から追加報知を報知する加工装置である。

0007

本発明は、該制御手段が、該日時記憶部で記憶された該日時に達した際に該予定作業完了検出部で該作業の完了が検出されない場合、該報知停止ボタンによる報知の停止を無効とする報知停止無効部を更に備えた、上記の加工装置である。

発明の効果

0008

本発明では、メンテナンスや定期点検等、予定されている作業に対して、特定の日時よりも前のタイミングで報知手段が報知を発生する。そして、その報知が停止されてから所定時間経過後に作業が完了していない場合、報知手段が追加で報知するため、作業の実施を忘れてしまうのを防止できる。また、予定されている日時よりも前の所定のタイミングで報知するので、十分な準備ができる。
日時記憶部に記憶された日時に達した際に作業の完了が検出されない場合には、報知停止ボタンが無効化されるため、作業を忘れたり作業が後回しにされたりするおそれがより低減される。

図面の簡単な説明

0009

加工装置全体を表す斜視図である。
タッチパネルメンテナンス画面を表示している状態を示す説明図である。
タッチパネルがブレード交換画面を表示している状態を示す説明図である。

実施例

0010

1加工装置の構成
図1に示す加工装置1は、被加工物を加工するための装置である。本実施形態における加工装置1は、半導体ウェーハ等を切削加工する切削装置であるが、加工装置は、レーザ加工装置研削装置等でもよい。

0011

加工装置1は、加工手段2を備える。本実施形態において、加工手段2は半導体ウェーハ等の被加工物を切削する手段である。加工手段2は、第1切削ユニット20と、第2切削ユニット21とを備える。第1切削ユニット20は、第1切削ブレード200と、第1切削ブレード200が一端に装着される図示しない第1スピンドルと第1スピンドルの他端に連結され第1スピンドルを介して第1切削ブレードを回転させる図示しないモータとを備える。同様に、第2切削ユニット21は、第2切削ブレード210と、第2切削ブレード210が一端に装着される図示しない第2スピンドルと第2スピンドルの他端に連結され第2スピンドルを介して第2切削ブレードを回転させる図示しないモータとを備える。

0012

第1切削ユニット20と第2切削ユニット21とは、それぞれが独立してY軸方向に移動可能となっている。更には、第1切削ユニット20と第2切削ユニット21とは、それぞれが独立してZ軸方向に昇降移動可能である。

0013

加工装置1は、チャックテーブル60と、カバー61と、蛇腹カバー62とを備える保持手段6を備える。チャックテーブル60は例えば略円形状であり、チャックテーブル60の上に被加工物を載置し、被加工物を保持することができる。チャックテーブル60は、図示しない移動手段によりX軸方向に移動可能であり、また図示しない回転手段により自転可能となっている。カバー61と蛇腹カバー62とは、切削加工中に被加工物に吹きかける切削水や、切削加工により生じた切削屑等が装置内部に侵入しないように防護する役割を果たす。カバー61は、図示しない移動手段によりX軸方向に移動可能であり、研削中にチャックテーブル60とともにX軸方向に移動する。カバー61の移動に伴い蛇腹カバー62が伸縮可能となっている。

0014

加工装置1は、アライメント手段8を備える。アライメント手段8は、切削加工の際に上記の両ブレードと被加工物とを位置合わせするための図示しない撮像カメラ等を備える。アライメント手段8に備えられた撮像カメラによって被加工物が撮像され、加工手段2と被加工物との位置合わせが行われることとなる。

0015

加工装置1は、少なくとも加工手段2を制御する制御手段3を備える。例えば、被加工物との位置合わせ時の加工手段2のY軸方向の移動や、第1切削ブレード200又は第2切削ブレード210が被加工物に対して切り込む際の加工手段2のZ軸方向の昇降移動は、制御手段3によって制御される。

0016

制御手段3は、予定されている作業の日時を記憶する日時記憶部30と、予定されている作業の完了を検出する予定作業完了検出部32とを備える。予定されている作業は、例えば装置点検作業、ブレード交換カセットの取り外し、その他上記のものに限定されない保守点検修理、交換等である。なお、本実施形態においては、予定されている作業をブレード交換としている。予定作業完了検出部32は、作業完了を示す信号を受信すると作業の完了を検出する。

0017

加工装置1は、カセット載置台70とカセット有無検出センサ71とを備えるカセット載置機構7を備える。カセット載置台70には、被加工物を収容したカセットが載置される。カセット有無検出センサ71は、カセットがカセット載置台70に載置されているかどうかを検出する。被加工物は、カセット載置台70に載置されたカセットから搬出されて加工を施され、加工後にカセットに収容される。すべての被加工物の加工が終了してカセットに収容されると、オペレータ等によるカセットの取り外し作業が行われる。カセットが取り外されると、カセット有無検出センサ71がカセットの取り外しの完了を検出し、予定作業完了検出部32に信号が送られることで、カセット取り外しの作業の完了が認識されるという構成となっている。

0018

加工装置1は、報知手段5を備える。報知手段5は、上記の日時記憶部30に記憶された作業の日時よりも前における所定のタイミングに作業の予定を発生予定報知として報知する。ここで、所定のタイミングは、例えば、予定の作業日時の数日前、数時間前、数分前等である。オペレータが作業の予定日時を入力して日時記憶部30に記憶させる場合は、当該所定のタイミングも、作業者が設定する。一方、加工装置1によって作業の予定日時が算出される場合もあり、その場合は、当該所定のタイミングも、加工装置1によって算出される。
報知手段5は、例えば表示灯50とスピーカー51とを備える。また、報知手段5は、文字マーク等による画面表示による報知を行う表示モニタであってもよい。

0019

表示灯50は、例えばLED等であり、所定のタイミングになると点灯や点滅を行い、オペレータ等に対して作業の発生予定を報知する。表示灯50は、点灯や点滅の際、例えば赤色等の所定の色の光を放つ。ただし、点灯される光の色や点滅のパターンはこれに限定されるものではない。

0020

また、スピーカー51は、発生予定報知のタイミングにおいて、報知音発信する。報知音は、発信された報知音をオペレータが認識できる程度に聴音可能なものであれば、音量音程、音色はバリエーションがあってよい。また、報知音は、例えば、定められた音程の音が発信されるものであっても、曲の形式であってもよい。

0021

加工装置1は、情報の入力に用いる入力手段4を備える。本実施形態における入力手段4は、タッチパネル4Aであり、図2及び図3に示すように報知停止ボタン40と、enterボタン41とを備える。

0022

発生予定報知の報知中に報知停止ボタン40をタッチすると、例えば、報知の発信が停止されることとなる。すなわち、発生予定報知として点灯していた表示灯50が消灯され、スピーカー51から発信されていた報知音が停止される。また、enterボタン41をタッチすると、予定作業完了検出部32に信号が送られ、予定作業完了検出部32で該作業の完了が検出される。

0023

図2では、タッチパネル4Aにはメンテナンス画面G1が表示されており、図3では、タッチパネル4Aには、メンテナンスするべき項目のうち特にブレードの交換を表すブレード交換画面G2が表示されている。

0024

図2に示した点検項目画面G1には各点検項目42が表示されている。各点検項目42には、例えば、各点検項目の名前と点検項目の作業の予定日時とが表示される。

0025

図3に示したブレード交換画面G2の画面内の表示において、Z1は第1切削ブレード200を、Z2は第2切削ブレード210を、それぞれ表している。

0026

上記のような発生予定報知が、報知手段5によって報知され、報知停止ボタン40で該発生予定報知が停止された後、所定時間が経過してもなお予定作業完了検出部32で作業の完了が検出されない場合に、報知手段5によって追加報知が発信される構成となっている。

0027

報知手段5によって報知される追加報知は、例えば、上述の表示灯50の点灯や点滅、スピーカー51からの報知音の発信等である。このとき、追加報知における表示灯50の点灯は、初めの発生予定報知の点灯と同じパターンの点灯であっても、異なるパターンのものであってもよい。また、同様に、スピーカー51から発信される追加報知の報知音が、初めの発生予定報知の報知音と同じであっても異なっていてもよい。例えば、最初の発生予定報知で発信された報知音よりも、一層、予定作業時刻が近づいてきているというような印象をオペレータ等に与えるような警告音や、予定されている作業の開始時刻までの時間をアナウンスする音声タイプの報知であってもよい。追加報知の際の報知音は、上記のものに限定されない。

0028

予定されている作業が例えば装置点検のように決められた日時に行う作業の場合、制御手段3に備えられている日時記憶部30には、タッチパネル4Aに表示された所定の入力欄から入力された作業日時等の情報が記憶される。また、予定されている作業が例えばブレード交換である場合、日時記憶部30には、制御手段3において算出された第1切削ブレード200(Z1)及び第2切削ブレード210(Z2)の交換時期が記憶される。そのために、制御手段3は、まず、未使用段階ブレード刃先出し量を認識する。未使用段階のブレード刃先出し量は、例えば基台周縁切り刃が形成されて構成されるハブブレードの場合は、その品種をオペレータが所定の入力画面から入力するか、または基台に付されたバーコードバーコードリーダーを用いて読み取ることにより、自動入力される。また、中古の切削ブレードの場合は、所定の入力画面から刃先だし量の値を手入力する。
また、切削中は、実際にカットした距離とカット中に測定されたブレード先端位置磨耗量)とから、あらかじめ制御手段3に入力されている使用限界、すなわちブレード交換が必要と制御手段3が判断する刃先出し量に至るまでのカット距離を算出推定する。
さらに、加工中の被加工物の加工距離、加工後の被加工物の洗浄及び乾燥に要する時間、加工装置1における被加工物の搬送に要する時間等の条件も案し、これらの条件の下で被加工物を加工し続けた場合における第1切削ブレード200(Z1)及び第2切削ブレード210(Z2)が使用限界に至る時刻使用限界時刻)を算出する。
なお、使用限界時刻が到来する前に、図1に示したカセット載置台70上のカセットに収容されたすべての被加工物の連続加工が終了した場合は、制御手段3によって算出され日時記憶部30に記憶された使用限界時刻はリセット(削除)され、第1切削ブレード200(Z1)及び第2切削ブレード210(Z2)の先端位置を認識するブレードセットアップが行われ、その先端位置をもとに、両切削ブレードの使用限界時刻が再度算出される。
このようにして算出された使用限界時刻の情報が日時記憶部30に送られることで、日時記憶部30に予定日時が記憶される。

0029

同じく、日時記憶部30での作業日時の記憶に関して、予定作業がカセット取り外し作業である場合、例えば、加工装置1が、カセットに収容された被加工物の加工開始からそのカセットに収容されたすべての被加工物の加工が終了するまでの工程を全て自動で行うフルオートタイプの装置であるとき、例えば、加工開始からすべての被加工物の加工終了までにかかる時間が自動的に算出され、その算出された時間を基にしてカセットの取り外し作業の予定日時が自動的に日時記憶部30に記憶されるという構成も考えられる。日時記憶部30に作業日時を記憶させるための加工装置1の構成は、上記に挙げたものに限定されない。

0030

制御手段3は、報知停止無効部34を備えている。報知停止無効部34は、日時記憶部30で記憶された予定の作業日時に達した際に予定作業完了検出部32で作業の完了が検出されない場合、報知停止ボタン40による報知の停止を無効にする。

0031

2加工装置の動作
以下、上記の構成の加工装置1の動作を説明する。本実施形態においては、切削加工に用いられる第1切削ブレード200と第2切削ブレード210との両方をそれぞれ別の切削ブレードに交換するブレード交換作業が予定されているものとするが、行われる作業はこれに限定されるものではない。

0032

(予定の作業日時の記憶)
まず、前述のように、制御手段3において、第1切削ブレード200(Z1)及び第2切削ブレード210(Z2)の使用限界時刻が算出され、その時刻が、日時記憶部30に予定作業日時がとして記憶される。

0033

(発生予定報知)
例えば、カセットに収容されたすべての被加工物の連続加工を開始する前に、加工装置1に備えたセンサを用いて、カセット中の被加工物の枚数をあらかじめカウントしておき、1枚当たりのカット距離にその枚数を乗じることによって、総カット距離が算出される。そして、その総カット距離分の切削が終了する前に使用限界時刻が到来すると制御手段3が判断すると、区切りの良いタイミング、例えば使用限界時刻に切削中と思われる被加工物の前の被加工物の切削が終了した後、次の被加工物の切削を開始する前のタイミングで、日時記憶部30から報知手段5に信号が送られ、報知手段5がブレード交換作業の発生予定報知を報知する。

0034

発生予定報知の報知時、例えば、報知手段5に備えられた表示灯50が所定の色(例えば赤色)の灯りを点灯し、そして、同じく報知手段5に備えられたスピーカー51が図示しない音源等の電気信号をうけて報知音を発信する。

0035

報知は、表示灯50の点灯による表示のみでも、スピーカー51からの報知音のみでも、あるいは、表示灯50の点灯とスピーカー51からの報知音の発信とが同時に行われてもよい。

0036

このとき、表示灯50の灯りは、例えば、所定の色の灯りの点灯や、点滅等が考えられるが、これらに限定されるものではない。同様に、スピーカー51から発信される報知音も、単なる定められた音程の音を発信するだけでなく、曲の形式であってもよい。

0037

発生予定報知時、表示灯50の点灯やスピーカー51からの報知音の発信とともに、例えば、制御手段3の備える日時記憶部30からの信号の伝達等によって、タッチパネル4Aの画面が所定のホーム画面等から図3に示したブレード交換画面G2に切り替わる。なお、ブレード交換画面G2への切り替えは、自動で行われてもよいし、オペレータの操作によって切り替えることとしても良い。

0038

次に、オペレータが報知停止ボタン40をタッチすると、点灯している表示灯50の灯りが消灯し、スピーカー51から発信されている報知音が停止する。

0039

(追加報知)
オペレータが報知停止ボタン40をタッチして、発信された上記の発生予定報知を停止させた後、所定時間が経過し、予定作業完了検出部32で作業の完了が検出されない場合、再び報知が発信される。本実施の形態においては、例えば、所定時間を10分とする。報知停止ボタン40がタッチされたのち10分後に再び発生予定報知が、追加報知として発信されることとなる。

0040

追加報知では、上記の最初の発生予定報知と同様に、表示灯50が所定の色、例えば赤色の光を点灯させ、また、スピーカー51が、報知音を発信する。

0041

タッチパネル4Aの報知停止ボタン40をタッチすることで、点灯していた表示灯50が消灯し、スピーカー51からの報知音の発信が停止する。

0042

(報知停止できない追加報知)
追加報知の報知時、予定の作業時刻に達していると、予定作業完了検出部32で作業の完了が検出されない限り、タッチパネル4Aの報知停止ボタン40をタッチしても、制御手段3に備えられた報知停止無効部34によって報知が停止しなくなる。

0043

報知停止無効部34によって報知停止ボタン40の報知の停止を無効とする上記の仕組みによって、予定されていたブレード交換作業の実施がオペレータに促される。さらに、例えば、予定の作業時刻になると、追加報知とともにタッチパネル4Aの画面上に、予定されていたブレード交換等の実施をオペレータ等に対して催促するような表示が表示されるようにしてもよい。

0044

(作業の実施)
予定の作業時刻に、切削ブレードの交換を実施する。図3に示したように画面内に表示されたZ1が第1切削ブレード200を示し、Z2が第2切削ブレード210を示している。画面の表示に従って適切に切削ブレードを交換する。

0045

両ブレードの交換が完了した後に、オペレータがenterボタン41をタッチする。すると、制御手段3に備えられた予定作業完了検出部32が作業の完了を検出する。予定作業完了検出部32が作業の完了を検出した後においては、報知停止ボタン40をタッチすることで、継続して発信されていた報知が停止する。すなわち、報知停止ボタン40のタッチにより、点灯していた表示灯50の灯りが消灯し、スピーカー51から発信されていた報知音が停止する。

0046

以上のように、メンテナンスや定期点検等、予定されている作業に対して、特定の日時よりも前のタイミングで報知手段5が報知を発生し、その報知が停止されてから所定時間経過後に作業が完了していない場合は、報知手段5が追加で報知するため、オペレータが作業の実施を忘れてしまうのを防止できる。また、予定されている日時よりも前の所定のタイミングで報知するので、十分な準備ができる。
また、日時記憶部30に記憶された日時に達した際に作業の完了が検出されない場合には、報知停止ボタン40が無効化されるため、作業を忘れたり作業が後回しにされたりするおそれがより低減される。

0047

1:加工装置2:加工手段 20:第1切削ユニット200:第1切削ユニット
21:第2切削ユニット 210:第2切削ユニット 22:ガイドレール
3:制御手段 30:日時記憶部 32:予定作業完了検出部 34:報知停止無効部
4:入力手段 4A:タッチパネル40:報知停止ボタン41:enterボタン
42:各点検項目42a:ブレード交換詳細表示ボタン
5:報知手段 50:表示灯51:スピーカー
6:保持手段 60:チャックテーブル61:カバー62:蛇腹カバー
7:カセット載置機構70:カセット載置台71:カセット有無検出センサ
8:アライメント手段
G1:メンテナンス画面G2:ブレード交換画面

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