図面 (/)

技術 シート貼付装置およびシート貼付方法

出願人 リンテック株式会社
発明者 杉下芳昭
出願日 2018年11月15日 (2年0ヶ月経過) 出願番号 2018-214476
公開日 2020年6月4日 (5ヶ月経過) 公開番号 2020-087959
状態 未査定
技術分野 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等
主要キーワード 被押圧物 剥離縁 レーザカッタ 被保持部材 コイルヒータ ファンフォールド 接着形態 被支持部材
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年6月4日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (2)

課題

フレーム部材に対する貼付条件を満たしていない接着シート被着体に貼付されることを防止することができるシート貼付装置を提供すること。

解決手段

シート貼付装置EAは、フレーム部材RFに接着シートASを貼付する貼付手段20と、フレーム部材RFに対する接着シートASの貼付条件を検知し、当該貼付条件を満たしているか否かを認定する認定手段30と、接着シートASと被着体WKとを相対移動させる貼付補助手段40とを備え、貼付補助手段40は、認定手段30によって貼付条件を満たしていることが認定されると、接着シートASに当接することのない位置にあった被着体WKと、接着シートASとを相対移動させ、接着シートASに被着体WKを当接させる。

概要

背景

従来、フレーム部材および被着体接着シート貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

概要

フレーム部材に対する貼付条件を満たしていない接着シートが被着体に貼付されることを防止することができるシート貼付装置を提供すること。シート貼付装置EAは、フレーム部材RFに接着シートASを貼付する貼付手段20と、フレーム部材RFに対する接着シートASの貼付条件を検知し、当該貼付条件を満たしているか否かを認定する認定手段30と、接着シートASと被着体WKとを相対移動させる貼付補助手段40とを備え、貼付補助手段40は、認定手段30によって貼付条件を満たしていることが認定されると、接着シートASに当接することのない位置にあった被着体WKと、接着シートASとを相対移動させ、接着シートASに被着体WKを当接させる。

目的

本発明の目的は、フレーム部材に対する貼付条件を満たしていない接着シートが被着体に貼付されることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

この技術が所属する分野

(分野番号表示ON)※整理標準化データをもとに当社作成

ライセンス契約や譲渡などの可能性がある特許掲載中! 開放特許随時追加・更新中 詳しくはこちら

請求項1

フレーム部材接着シート貼付する貼付手段と、前記フレーム部材に対する前記接着シートの貼付条件を検知し、当該貼付条件を満たしているか否かを認定する認定手段と、前記接着シートと被着体とを相対移動させる貼付補助手段とを備え、前記貼付補助手段は、前記認定手段によって前記貼付条件を満たしていることが認定されると、前記接着シートに当接することのない位置にあった前記被着体と、前記接着シートとを相対移動させ、前記接着シートに前記被着体を当接させることを特徴とするシート貼付装置

請求項2

フレーム部材に接着シートを貼付する貼付工程と、前記フレーム部材に対する前記接着シートの貼付条件を検知し、当該貼付条件を満たしているか否かを認定する認定工程と、前記接着シートと被着体とを相対移動させる貼付補助工程とを実施し、前記貼付補助工程では、前記認定工程によって前記貼付条件を満たしていることが認定されると、前記接着シートに当接することのない位置にあった前記被着体と、前記接着シートとを相対移動させ、前記接着シートに前記被着体を当接させることを特徴とするシート貼付方法

技術分野

0001

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

背景技術

0002

従来、フレーム部材および被着体接着シート貼付するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

先行技術

0003

特開2017−204615号公報

発明が解決しようとする課題

0004

しかしながら、特許文献1に記載されたような従来のテープ着装置2(シート貼付装置)では、フレーム13(フレーム部材)に対する円形状テープ3a(接着シート)の貼付条件が満たされていなくても、被加工物11(被着体)に接着シートが貼付されてしまうという不都合を発生する。

0005

本発明の目的は、フレーム部材に対する貼付条件を満たしていない接着シートが被着体に貼付されることを防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

0006

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

発明の効果

0007

本発明によれば、フレーム部材に対する接着シートの貼付条件が満たされていれば、当該接着シートに被着体を当接させるので、フレーム部材に対する貼付条件を満たしていない接着シートが被着体に貼付されることを防止することができる。

図面の簡単な説明

0008

(A)〜(C)は、本発明のシート貼付装置の説明図。

実施例

0009

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1(A)中手前方向で「後」がその逆方向とする。

0010

シート貼付装置EAは、フレーム部材としてのリングフレームRFを支持する支持手段10と、リングフレームRFに接着シートASを貼付する貼付手段20と、リングフレームRFに対する接着シートASの貼付条件を検知し、当該貼付条件を満たしているか否かを認定する認定手段30と、接着シートASと被着体WKとを相対移動させる貼付補助手段40とを備えている。

0011

支持手段10は、駆動機器としてのリニアモータ11のスライダ11Aに支持され、減圧ポンプ真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面12Aを有する外側テーブル12を備えている。

0012

貼付手段20は、剥離シートRLの一方の面に接着シートASが仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内するガイドローラ22と、剥離縁23Aで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シートASを剥離する剥離手段としての剥離板23と、接着シートASをリングフレームRFおよび被着体WKに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ24と、駆動機器としての回動モータ25Aによって駆動され、ピンチローラ25Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ25と、図示しない駆動機器によって駆動され、シート貼付装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ25Bとの間に存在する剥離シートRLに、常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収ローラ26とを備えている。

0013

認定手段30は、カメラ投影機等の撮像手段や、光学センサ超音波センサ等の検知手段31を備え、リングフレームRFの左端縁RF1から接着シートASの左端縁AS1までの距離DXを検知手段31によって計測し、当該距離DXが5mm±0.5mmの範囲内に収まっていれば、貼付条件を満たしていると認定し、距離DXが同範囲内に収まっていなければ、貼付条件を満たしていないと認定する。

0014

貼付補助手段40は、外側テーブル12に形成された凹部12B内に支持された直動モータ41と、その出力軸41Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面42Aを有する内側テーブル42とを備え、認定手段30によって貼付条件を満たしていることが認定されると、接着シートASに当接することのない位置にあった被着体WKと、接着シートASとを相対移動させ、接着シートASに被着体WKを当接させる構成となっている。

0015

以上のシート貼付装置EAの動作を説明する。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、図示しない操作パネルパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段20が回動モータ25Aを駆動し、原反RSを繰り出し、図1(A)中実線で示すように、先頭の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板23の剥離縁23Aで所定長さ剥離されると、回動モータ25Aの駆動を停止する。

0016

次いで、使用者または多関節ロボットベルトコンベア等の図示しない搬送手段がリングフレームRFおよび被着体WKを、図1(A)に示すように、外側テーブル12および内側テーブル42上に載置すると、支持手段10および貼付補助手段40が図示しない減圧手段を駆動し、支持面12A、42AでのリングフレームRFおよび被着体WKの吸着保持を開始する。その後、支持手段10がリニアモータ11を駆動し、外側テーブル12を左方に移動させ、当該外側テーブル12が所定の位置に到達すると、貼付手段20が回動モータ25Aを駆動し、外側テーブル12の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、接着シートASが剥離板23で剥離シートRLから剥離され、押圧ローラ24によってリングフレームRFに押圧されて貼付される。

0017

次に、認定手段30が検知手段31を駆動し、被着体WKの左端縁WK1が押圧ローラ24の押圧位置である最下部に達する前に、距離DXを計測してリングフレームRFに対する接着シートASの貼付条件を満たしているか否かを認定する。ここで、認定手段30によって貼付条件を満たしていることが認定されると、貼付補助手段40が直動モータ41を駆動し、図1(A)中二点鎖線で示すように、内側テーブル42を上昇させ、リングフレームRFの上面が位置する平面内に被着体WKの上面を位置させる。そして、外側テーブル12の左方への移動が続行されると、押圧ローラ24によってリングフレームRFおよび被着体WKに接着シートASが押圧されて貼付され、当該接着シートASを介して被着体WKとリングフレームRFとが一体化された一体物UPが形成される(図1(B)参照)。次いで、先頭の接着シートASに次ぐ次の接着シートASが剥離板23の剥離縁23Aで所定長さ剥離されると、貼付手段20が回動モータ25Aの駆動を停止する。

0018

その後、図1(B)に示すように、外側テーブル12が押圧ローラ24の左方所定位置に到達すると、支持手段10がリニアモータ11の駆動を停止した後、支持手段10および貼付補助手段40が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面12A、42AでのリングフレームRFおよび被着体WKの吸着保持を解除する。次に、使用者または図示しない搬送手段が、一体物UPを支持して次工程に搬送すると、支持手段10および貼付補助手段40がリニアモータ11および直動モータ41を駆動し、外側テーブル12および内側テーブル42を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

0019

一方、認定手段30が検知手段31を駆動し、距離DXを計測してリングフレームRFに対する接着シートASの貼付条件を満たしているか否かを認定した際、当該認定手段30によって貼付条件を満たしていないことが認定されると、貼付補助手段40は、直動モータ41を駆動させることはない。そして、外側テーブル12の左方への移動が続行されると、押圧ローラ24によってリングフレームRFのみに接着シートASが押圧されて貼付され、先頭の接着シートASに次ぐ次の接着シートASが剥離板23の剥離縁23Aで所定長さ剥離されると、貼付手段20が回動モータ25Aの駆動を停止する。

0020

次いで、図1(C)に示すように、外側テーブル12が押圧ローラ24の左方所定位置に到達すると、支持手段10がリニアモータ11の駆動を停止した後、支持手段10および貼付補助手段40が図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面12A、42AでのリングフレームRFおよび被着体WKの吸着保持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートASが貼付されたリングフレームRFおよび、接着シートASが貼付されていない被着体WKをそれぞれ支持面12A、42Aから取り除くと、支持手段10がリニアモータ11を駆動し、外側テーブル12を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。なお、支持面12Aから取り除かれたリングフレームRFは、接着シートASが剥離され、支持面42Aから取り除かれた被着体WKと共に、再度シート貼付装置EAに搬入され、次回以降の上記同様の動作によって上記同様に処理される。

0021

以上のような実施形態によれば、リングフレームRFに対する接着シートASの貼付条件が満たされていれば、当該接着シートASに被着体WKを当接させるので、リングフレームRFに対する貼付条件を満たしていない接着シートASが被着体WKに貼付されることを防止することができる。

0022

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

0023

例えば、支持手段10は、外側テーブル12を停止または移動させつつ、貼付手段20を移動させてもよいし、外側テーブル12で貼付補助手段40を支持しなくてもよいし、他の装置でリングフレームRFを支持する場合、本発明のシート貼付装置EAに備わっていなくてもよい。

0024

貼付手段20は、剥離シートRLに仮着された帯状接着シート基材閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が接着シートASとされた原反を繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反を採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を接着シートASとしてもよいし、接着シートASを剥離シートRLから剥離する際、原反RSに所定の張力が付与されるように回動モータ25Aのトルク制御を行ってもよいし、支持ローラ21やガイドローラ22等の各ローラの代わりに板状部材シャフト部材等で原反RSや剥離シートRLを支持したり案内したりしてもよいし、原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、剥離シートRLを巻回することなく例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して剥離シートRLを回収してもよいし、剥離シートRLを回収しなくてもよいし、リングフレームRFの開口部を完全に覆うように接着シートASを貼付してもよいし、リングフレームRFの開口部の一部を覆わないように接着シートASを貼付してもよい。

0025

認定手段30は、リングフレームRFに対する接着シートASの貼付条件として、距離DXが5mm±0.5mmの範囲内のみならず、例えば、当該距離DXが1mm±0.05mmの範囲内や、50mm±3mmの範囲等、その設定値は使用者が任意に決定することができるし、例えば、接着シートASやリングフレームRFの傷、損傷、汚れ、または、接着シートASやリングフレームRFの有無等としてもよく、リングフレームRFに対する接着シートASの貼付条件は、使用者が任意に決定することができる。
認定手段30は、被着体WKの左端縁WK1が押圧ローラ24の最下部に達した後に、当該リングフレームRFに対する接着シートASの貼付条件を認定してもよいし、リングフレームRFに接着シートAS全体を貼付した後に、当該リングフレームRFに対する接着シートASの貼付条件を認定してもよいし、検知手段31として、投受光型のセンサを使用してもよいし、反射型のセンサを使用してもよいし、リミットセンサ等の接触型のセンサを使用してもよいし、その他、圧力センサロードセル等のセンサを使用してもよい。

0026

貼付補助手段40は、内側テーブル42を停止または移動させつつ、外側テーブル12を移動させてもよいし、接着シートASのみと被着体WKとを相対移動させ、接着シートASに被着体WKを当接させる構成でもよいし、接着シートASに被着体WKを当接させるタイミングは、例えば、押圧ローラ24の最下部が被着体WK上に位置する前のタイミングや、押圧ローラ24の最下部が被着体WK上に位置しているタイミングや、押圧ローラ24の最下部が被着体WK上を通過した後のタイミングや、接着シートAS全体がリングフレームRFに貼付された後のタイミング等、どのようなタイミングでもよいし、接着シートASに被着体WKを当接させる当接力を受ける受けローラ受け板等の図示しない当接力受け手段を、押圧ローラ24の左方に配置してもよいし、直動モータ41に代えてまたは併用して、接着シートASと当該被着体WKとを再押圧する押圧ローラや押圧板等の図示しない再押圧手段を採用してもよい。

0027

シート貼付装置EAは、リングフレームRFに接着シートASを貼付中に認定手段30によって貼付条件を満たしていないと認定されると、外側テーブル12と貼付手段20との相対移動速度および、接着シートASの繰出速度を速くし、貼付処理に要する時間を削減したり、外側テーブル12の移動を停止し、リングフレームRFに対する接着シートASの貼付を進行させないようにしたり、外側テーブル12と貼付手段20との相対移動方向を逆にし、リングフレームRFから接着シートASを剥離したりしてもよい。
フレーム部材は、リングフレームRF以外に、環状でない(外周が繋がっていない)ものや、円形、楕円形三角形以上の多角形、その他の形状であってもよいし、フレーム部材の外形状は、円形、楕円形、三角形以上の多角形、その他の形状であってもよい。

0028

また、本発明における接着シートASおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品樹脂容器シリコン半導体ウエハ化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ回路基板光ディスク等の情報記録基板ガラス板鋼板陶器木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方換え、例えば、情報記載用ラベル装飾用ラベル、保護シートダイシングテープダイアタッチフィルムダイボンディングテープ記録層成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

0029

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付手段は、フレーム部材に接着シートを貼付可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器エアシリンダ油圧シリンダロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴム樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気ガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤粘着シート粘着テープ)、磁力ベルヌーイ吸着吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃レーザカッタイオンビーム火力、熱、水圧電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

0030

EAシート貼付装置
20貼付手段
30認定手段
40 貼付補助手段
AS接着シート
RFリングフレーム(フレーム部材)
WK 被着体

ページトップへ

この技術を出願した法人

この技術を発明した人物

ページトップへ

関連する挑戦したい社会課題

関連する公募課題

該当するデータがありません

ページトップへ

技術視点だけで見ていませんか?

この技術の活用可能性がある分野

分野別動向を把握したい方- 事業化視点で見る -

(分野番号表示ON)※整理標準化データをもとに当社作成

ページトップへ

おススメ サービス

おススメ astavisionコンテンツ

新着 最近 公開された関連が強い技術

  • 株式会社デンソーの「 ピックアップ装置」が 公開されました。( 2020/09/24)

    【課題】ウェハの外周近傍のチップをピックアップすること。【解決手段】シート2が載置されるステージ4と、ステージ4に一部が載置され、後方側の端部5cがスライダ5を前進させた状態であるときにステージ4の後... 詳細

  • 株式会社ディスコの「 収容トレイ及び加工装置」が 公開されました。( 2020/09/24)

    【課題】収容トレイに載置する際にはデバイスチップと粘着材を密着させる粘着力を有し、ピックアップする際には粘着力を弱めることが出来ること。【解決手段】収容トレイ1は、被加工物を収容可能な大きさの凹部から... 詳細

  • 東京エレクトロン株式会社の「 接合システム、および接合方法」が 公開されました。( 2020/09/24)

    【課題】接合時に第1基板と第2基板との間に空隙が発生することを抑制できる、技術を提供する。【解決手段】第1基板の接合面および第2基板の接合面を改質する表面改質装置と、前記改質した前記第1基板の前記接合... 詳細

この 技術と関連性が強い人物

関連性が強い人物一覧

この 技術と関連する社会課題

関連する挑戦したい社会課題一覧

この 技術と関連する公募課題

該当するデータがありません

astavision 新着記事

サイト情報について

本サービスは、国が公開している情報(公開特許公報、特許整理標準化データ等)を元に構成されています。出典元のデータには一部間違いやノイズがあり、情報の正確さについては保証致しかねます。また一時的に、各データの収録範囲や更新周期によって、一部の情報が正しく表示されないことがございます。当サイトの情報を元にした諸問題、不利益等について当方は何ら責任を負いかねることを予めご承知おきのほど宜しくお願い申し上げます。

主たる情報の出典

特許情報…特許整理標準化データ(XML編)、公開特許公報、特許公報、審決公報、Patent Map Guidance System データ