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技術 脱泡装置及び塗布装置

出願人 東レエンジニアリング株式会社
発明者 内潟外茂夫山下元気伊藤禎彦
出願日 2018年10月12日 (2年4ヶ月経過) 出願番号 2018-193236
公開日 2020年4月16日 (10ヶ月経過) 公開番号 2020-059005
状態 未査定
技術分野 塗布装置2(吐出、流下) 脱気・消泡 塗布装置3(一般、その他)
主要キーワード 拡大空間 上下二列 オリフィス作用 副タンク 脱泡済み 主タンク 設置姿勢 収容能力
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年4月16日)のものです。
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図面 (7)

課題

液体中に含まれている気体を短時間で除去する。

解決手段

脱泡装置30は、液体9が流れる供給流路32と、前記供給流路32の下流側に設けられ当該供給流路32よりも流路面積の小さい微細流路孔36を複数有する微細流路要素34と、内部に拡大空間40を有し前記微細流路孔36を通過した前記液体9を溜めるタンク38と、前記拡大空間40を減圧する減圧機構42と、を備える。

概要

背景

フレキシブルディスプレイには、基材としてポリイミドフィルムが使用される。ポリイミドフィルムは、ガラス基板上に液状であるポリイミド材料ポリイミドワニス)を、塗布装置スリットコーター)によって薄く塗布し、その後、乾燥、焼成の工程を経て成膜される。ポリイミドフィルムに気泡が多く混入していると製品不良となることから、成膜の際、気泡の発生を防止することが重要である。従来、液状のポリイミド材料をガラス基板上へ塗布する前に、ポリイミド材料に含まれる溶存気体及びマイクロバブル等の気体が除去される。このために、撹拌式の脱泡装置が用いられる。特許文献1には、タンク内で液体羽根により撹拌することで液体中に含まれる気体を浮上させて除去する撹拌式の脱泡装置が開示されている。

概要

液体中に含まれている気体を短時間で除去する。脱泡装置30は、液体9が流れる供給流路32と、前記供給流路32の下流側に設けられ当該供給流路32よりも流路面積の小さい微細流路孔36を複数有する微細流路要素34と、内部に拡大空間40を有し前記微細流路孔36を通過した前記液体9を溜めるタンク38と、前記拡大空間40を減圧する減圧機構42と、を備える。

目的

本発明は、液体中に含まれている気体を短時間で除去することを目的とする

効果

実績

技術文献被引用数
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牽制数
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請求項1

液体が流れる供給流路と、前記供給流路の下流側に設けられ当該供給流路よりも流路面積の小さい微細流路孔を複数有する微細流路要素と、内部に拡大空間を有し前記微細流路孔を通過した前記液体を溜めるタンクと、前記拡大空間を減圧する減圧機構と、を備える、脱泡装置

請求項2

前記タンクは、前記微細流路要素から当該タンクの底部側に向かって、前記液体を遠回りして誘導する誘導路を有する、請求項1に記載の脱泡装置。

請求項3

前記微細流路要素の上流側に、前記供給流路よりも流路面積が拡大し前記液体を溜める液溜め空間が設けられている、請求項1又は2に記載の脱泡装置。

請求項4

被塗布部材を載せるステージと、前記被塗布部材に対して液体を吐出するスリットを有する塗布器と、前記ステージ上の前記被塗布部材と前記塗布器との内の一方を他方に対して移動させる駆動機構と、前記塗布器に前記液体を供給する送液機構と、を備え、前記送液機構は、請求項1〜3のいずれか一項に記載の脱泡装置を有する、塗布装置

技術分野

0001

本発明は、液体中の溶存気体及びマイクロバブル等の気体を除去するための脱泡装置、及びこの脱泡装置を備える塗布装置に関する。

背景技術

0002

フレキシブルディスプレイには、基材としてポリイミドフィルムが使用される。ポリイミドフィルムは、ガラス基板上に液状であるポリイミド材料ポリイミドワニス)を、塗布装置(スリットコーター)によって薄く塗布し、その後、乾燥、焼成の工程を経て成膜される。ポリイミドフィルムに気泡が多く混入していると製品不良となることから、成膜の際、気泡の発生を防止することが重要である。従来、液状のポリイミド材料をガラス基板上へ塗布する前に、ポリイミド材料に含まれる溶存気体及びマイクロバブル等の気体が除去される。このために、撹拌式の脱泡装置が用いられる。特許文献1には、タンク内で液体を羽根により撹拌することで液体中に含まれる気体を浮上させて除去する撹拌式の脱泡装置が開示されている。

先行技術

0003

特開2003−103110公報

発明が解決しようとする課題

0004

特許文献1に開示されている撹拌式の脱泡装置の場合、液体中の気体の除去を完了(脱泡完了)するためには、多くの時間を要する。特に、脱泡の対象となる液体が、粘度の高いポリイミド材料(例えば、3000cpの液体)である場合、顕著である。例えば、3〜4リットルのポリイミド材料の脱泡を完了するためには4時間程度、要する。前記のようなフレキシブルディスプレイの製造のために用いられる塗布装置の場合、タンクに溜めておく液体の必要量が、例えば20リットル〜40リットルとなることがある。このような多量の液体に対して、塗布の前に脱泡を完了するためには、従来の脱泡装置では時間がかかり過ぎ、生産効率が悪くなる。

0005

そこで、本発明は、液体中に含まれている気体を短時間で除去することを目的とする。

課題を解決するための手段

0006

本発明は、液体が流れる供給流路と、前記供給流路の下流側に設けられ当該供給流路よりも流路面積の小さい微細流路孔を複数有する微細流路要素と、内部に拡大空間を有し前記微細流路孔を通過した前記液体を溜めるタンクと、前記拡大空間を減圧する減圧機構と、を備える。この脱泡装置によれば、タンクの拡大空間が減圧されることで、供給流路の液体は微細流路孔を通過しタンク内に流れる。拡大空間は減圧されていることから、微細流路孔を通過した液体中に含まれる気体は発泡し、更に、その液体は、微細流路孔を通過するとオリフィス作用により減圧され、発泡が促進される。よって、液体中に含まれていた気体が短時間で除去される。

0007

また、好ましくは、前記タンクは、前記微細流路要素から当該タンクの底部側に向かって、前記液体を遠回りして誘導する誘導路を有する。この誘導路によれば、微細流路要素を通過した液体の表面に泡が付着していても、液体を誘導路に沿って流す間にその泡を消滅させやすい。

0008

また、好ましくは、前記微細流路要素の上流側に、前記供給流路よりも流路面積が拡大し前記液体を溜める液溜め空間が設けられている。この構成によれば、供給流路を流れた液体は、一旦、前記液溜め空間に入る。液溜め空間に入った液体は、微細流路要素の全体に広く分布して設けられている複数の微細流路孔から流出する。このため、タンク内の拡大空間に開放される液体の表面積が広くなり、発泡がより一層促進される。

0009

本発明は、被塗布部材を載せるステージと、前記被塗布部材に対して液体を吐出するスリットを有する塗布器と、前記ステージ上の前記被塗布部材と前記塗布器との内の一方を他方に対して移動させる駆動機構と、前記塗布器に前記液体を供給する送液機構と、を備え、前記送液機構は、前記脱泡装置を有する。この塗布装置によれば、脱泡装置によって脱泡された液体が塗布器に供給され、被塗布部材に対して塗布器から当該液体が吐出され、被塗布部材上に薄膜が形成される。前記脱泡装置により、薄膜の形成の際に気泡の発生が防止される。更に、液体中に含まれていた気体が短時間で除去されることから、生産効率が良い。

発明の効果

0010

本発明の脱泡装置によれば、液体中に含まれている気体を短時間で除去することが可能となる。
本発明の塗布装置によれば、液体中に含まれていた気体が短時間で除去されることから、生産効率が良い。

図面の簡単な説明

0011

塗布装置の概略構成図である。
脱泡装置の概略構成を示す断面図である。
オリフィス作用を説明する図である。
微細流路要素の変形例を示す正面図である。
他の形態を有する脱泡装置の概略構成を示す断面図である。
微細流路要素の斜視図である。

実施例

0012

〔塗布装置について〕
図1は、塗布装置の概略構成図である。塗布装置10は、ガラス等の基板(被塗布部材)7を載せるステージ12と、塗布器14と、駆動機構16と、送液機構18とを備える。塗布器14は、スリット20を有する。スリット15からステージ12上の基板7に対して液体9が吐出される。駆動機構16は、ステージ12上の基板7と塗布器14との内の一方を他方に対して移動させる。本実施形態の駆動機構16は、固定状態にあるステージ12に対して塗布器14を移動させる。このために、駆動機構16は、塗布器14を水平方向に移動させるための(図示しない)アクチュエータを備える。送液機構18は、塗布器14に液体9を供給する。

0013

塗布器14は、当該塗布器14の移動方向に直交する方向に長い。塗布器14内には、スリット20の他に、スリット20と繋がる拡大液溜め部(マニホールド)22が形成されている。スリット15及び拡大液溜め部22は、塗布器14の長手方向に沿って長く形成されている。送液機構18は、液体9を溜める主タンク24と、主タンク24の液体9を送り出すポンプ26と、ポンプ26と塗布器14(拡大液溜め部22)とを繋ぐ配管28とを有する。送液機構18は、更に、液体9中の溶存気体及びマイクロバブル等の気体を除去するための脱泡装置30を有する。図1に示す形態では、脱泡装置30によって脱泡された液体9が主タンク24に供給される。ポンプ26が駆動することで、主タンク24の液体9が塗布器14に供給される。塗布器14の拡大液溜め部22に供給された液体9がスリット15を通じて吐出される。この吐出に併せて駆動機構16により塗布器14が水平方向に移動する。これにより、基板7上に液体9による薄膜が形成される。

0014

〔液体9について〕
本実施形態の液体9は、液状であるポリイミド材料(ポリイミドワニス)である。塗布装置10は、基板7上に液体9としてポリイミド材料を塗布する。塗布後、液体9を乾燥及び焼成することで、基板7上にポリイミドフィルムが形成される。ポリイミド材料は、比較的、高粘度の液体である。その粘度は高く、例えば1000cp以上である。本実施形態の塗布装置10及び脱泡装置30は、1000cp以上である(7000cp以下の)高粘度の液体9に対して好適であり、3000cp以上である液体9に対して特に好適である。なお、液体9は、ポリイミド材料以外であってもよく、例えば他の樹脂を含むワニスであってもよい。また、脱泡装置30によって脱泡を行う対象となる液体は、樹脂を含む液体以外であってもよく、その他として、様々な分野で用いられる液体であってもよい。また、脱泡装置30によって脱泡を行う対象となる液体は、高粘度の液体以外であってもよい(つまり、1000cp未満の液体であってもよい)。

0015

〔脱泡装置30について〕
図2は、脱泡装置30の概略構成を示す断面図である。脱泡装置30は、高粘度の前記液体9が流れる供給流路32と、供給流路32の下流側に設けられている微細流路要素34と、内部に拡大空間40を有するタンク38と、拡大空間40を減圧する(真空圧とする)減圧機構42とを備える。脱泡装置30は、更に、液体9が収容されている容器44を備える。以下において、タンク38を「(脱泡用の)副タンク38」と称する。

0016

供給流路32は、配管により構成されている。供給流路32の一端33a側は、容器44内の液体9中にある。供給流路32の他端33b側が副タンク38の壁部39に接続されている。供給流路32の途中には開閉バルブ46が設けられている。開閉バルブ46が開状態で液体9は供給流路32を流れることができる。供給流路32の流路径内径)は、例えば、10ミリメートル以上、19ミリメートル以下である。なお、この流路径は供給流路32における最小値である。

0017

脱泡装置30の説明において「上流側」及び「下流側」は液体9の流れる方向が基準とされる。つまり、液体9が収容されている容器44中の供給流路32の一端33a側が上流側であり、液体9が排出される副タンク38の底部49側が下流側である。

0018

本実施形態の微細流路要素34は、板状の部材により構成されている。この板状の部材に、複数(多数)の微細流路孔36が形成されている。微細流路孔36は、板状の部材を、その厚さ方向に貫通した孔により構成されている。各微細流路孔36は、供給流路32よりも流路面積が小さい。微細流路孔36の直径は、例えば0.1ミリメール以上、1.0ミリメートル以下である。微細流路孔36を液体9は通過可能である。このように、微細流路要素34は、供給流路32の下流側に設けられていて、この供給流路32よりも流路面積の小さい微細流路孔36を複数有する。微細流路要素34は、副タンク38の上部側における壁部39に取付けられている。

0019

副タンク38は、微細流路要素34の下流側(供給流路32の反対側)に設けられている。副タンク38は、微細流路孔36を通過した液体9を溜める。副タンク38が有する拡大空間40は、微細流路孔36から拡大した空間である。副タンク38は、密閉容器となる。副タンク38が有する別の壁部48に、第一の配管50を通じて減圧機構42が接続されている。副タンク38の底部(底壁部)49に、第二の配管52が接続されている。第二の配管52に開閉バルブ54が設けられている。開閉バルブ54が開状態で、副タンク38の液体9を外部へ排出可能とする。排出された液体9は、外部装置図1の形態では、主タンク24)へと流れる。

0020

壁部39の構成について説明する。副タンク38の壁の一部に孔が設けられており、この孔を塞ぐように板状である微細流路要素34が設けられる。微細流路要素34を覆うように、蓋部材56が取付けられている。微細流路要素34の周囲(縁部)にはシール部材(Oリング)37が設けられている。蓋部材56に供給流路32が接続されている。蓋部材56は微細流路要素34と対面しかつ間隔をあけて設けられていて、これにより、蓋部材56と微細流路要素34との間に液溜め空間58が設けられる。つまり、微細流路要素34の上流側(直上流側)に、液溜め空間58が設けられる。液溜め空間58は、供給流路32よりも流路面積が拡大している空間であり、供給流路32を流れた液体9を溜めることができる。

0021

副タンク38は、内部に誘導路60を有する。誘導路60は、微細流路要素34から副タンク38の底部49側に向かって、液体9を遠回りして(迂回して)誘導する。なお、前記「遠回り」とは、微細流路要素34から副タンク38に溜められている液体9の液面までの最短距離よりも、長い道のりを有することである。微細流路孔36を通過した液体9は、下向きに流れ、誘導路60の上部62に到達する。上部62に到達した液体9は、誘導路60に沿って副タンク38の底部49側へ流れる。誘導路60は、例えば凹溝を有する部材であり、この凹溝に沿って液体9が流れる。なお、誘導路60は、凹溝を有する構造以外であってもよい。図2に示す誘導路60は、複数の誘導部材64a,64bを含む。一つの誘導部材64aと他の誘導部材64bとの間に、液体9の流れる方向が変化する折返し部65が設けられている。誘導路60は、上部62から、副タンク38に溜められている液体9(液面、又は、液面の近く)まで延びて設けられている。誘導路60は、図示した形態以外であってもよい。例えば、誘導路60は、図示しないが、螺旋状の誘導部材を有していてもよい。螺旋状とすることで「遠回り」をコンパクトに実現できる。

0022

減圧機構42は、真空ポンプを含む。減圧機構42は、第一の配管50を通じて副タンク38内の気体を吸引し、拡大空間40を減圧する(拡大空間40を真空圧とする)。副タンク38の外部は、大気圧であり、容器44内も大気圧である。減圧機構42によって拡大空間40が大気圧に対して減圧されると、副タンク38の内外差圧によって、容器44の液体9が副タンク38に向かって供給流路32を流れ、更に、その液体9は、微細流路孔36を通過し拡大空間40に到達する。

0023

以上の構成を備える脱泡装置30によれば、副タンク38の拡大空間40が減圧されることで、供給流路32の液体9は微細流路孔36を通過し副タンク38内に流れる。拡大空間40は減圧されていることから、微細流路孔36を通過した液体9中に含まれる溶存気体及びマイクロバブル等の気体は発泡する。更に、その液体9は、微細流路孔36を通過するとオリフィス作用により急激に減圧され、発泡が促進される。図3は、オリフィス作用を説明する図である。液体9が微細流路孔36を通過すると、図3の上部の図に示すように、液体9の圧力はQ1(pa:パスカル)からQ2(pa:パスカル)に低下する。つまり、微細流路孔36がオリフィスとしての機能を有する。本実施形態では、液体9が、微細流路孔36を通じて、減圧された拡大空間40(真空圧となる拡大空間40)側へ吸い出される際に、拡大空間40が真空圧であることによる作用と、前記オリフィス作用との相乗効果によって、急激に液体9の圧力が低下する。このため、液体9中の溶存気体及びマイクロバブルは気泡8となって拡大空間40において析出する。これにより、液体9中の溶存気体及びマイクロバブルが液体9から除去される。発生した気泡8は副タンク38内で潰れる。

0024

図4は、微細流路要素34の変形例を示す正面図である。微細流路要素34は、円板状の部材であって、円形の範囲内に微細流路孔36が多く設けられていてもよいが、図4に示すように、微細流路要素34は、一方向に長い長尺状の板部材(正面視において、矩形の板部材)であってもよい。この一方向の直交方向(他方向)よりも、当該一方向に微細流路孔36が多く並んで設けられている。そして、前記一方向が水平方向となって、副タンク38に設けられる。下段において並ぶ微細流路孔36と、その一つ上の段において並ぶ微細流路孔36とは、前記一方向に沿う位置が異なっている。つまり、微細流路要素34において、微細流路孔36は千鳥配置にある。図2に示す形態(円板状)の場合、微細流路要素34の全体の微細流路孔36を液体9は通過するが、比較的下部の微細流路孔36を通過した液体9は、上部の微細流路孔36を通過した液体9に覆われやすい。このため、下部の微細流路孔36を通過した液体9から脱泡した泡が、上部の微細流路孔36を通過した多くの液体9に巻き込まれやすくなる。これに対して、図4に示す形態の場合、微細流路要素34の上部から下部へと流れる液体9が少なくなるため、脱泡した泡の巻き込みが低減される。すなわち、微細流路孔36は、上下方向よりも水平方向に多く並んで分布している構成が好ましい。

0025

図2において、副タンク38に溜められている液体9は脱泡が完了している。液体9は、副タンク38の底部49から第二の配管52を通じて、外部装置(図1の形態では、主タンク24)に供給される。この供給の際、減圧機構42による副タンク38内を減圧する動作は停止されている。副タンク38の拡大空間40を大気開放し(大気圧とし)、副タンク38内の液体9を排出する。なお、図2に示す副タンク38を主タンク24(図1参照)と兼用させ、つまり、主タンク24を省略し、副タンク38の液体9を塗布器14に供給するように構成してもよい。

0026

〔脱泡装置の他の形態〕
図5は、他の形態を有する脱泡装置30の概略構成を示す断面図である。以下において、図5に示す脱泡装置30を「第二の形態」と称する。図2に示す脱泡装置30と、同一の構成要素に対しては可能な限り同一の符号(参照番号)を付し、重複する説明は省略する。第二の形態では、図6に示すように、微細流路要素34が円環状の部材により構成されていて、この円環状の部材に、微細流路孔36が設けられている。微細流路孔36は千鳥配置にある。また、微細流路孔36は、上下方向よりも水平方向に多く並んで分布している。

0027

図5に示すように、微細流路要素34は、上側部材66と下側部材67とに挟まれた状態となって、副タンク38の上部に設けられている。上側部材66及び下側部材67は円板状の部材である。供給流路32が上側部材66の中央を貫通するようにして副タンク38に接続されている。上側部材66と下側部材67との間であって、環状である微細流路要素34の内周側の領域が、液溜め空間58となる。液溜め空間58に、一旦、溜められた液体9が、微細流路孔36を通過し、副タンク38の拡大空間40へと流れる。上側部材66及び下側部材67それぞれと微細流路要素34との間にはシール部材(Oリング)68が設けられている。第二の形態では、下側部材67に誘導路60の上部62が取付けられている。誘導路60は、筒状の部材により構成されている。微細流路要素34から副タンク38の底部49側に向かって、液体9を遠回りして誘導するために、誘導路60は、テーパー形状の筒部69を有する。

0028

前記の各形態において、微細流路要素34を通過させて副タンク38内に流入させる液体9の量(流量)を増加させるためには、微細流路孔36の数を増やせばよい。第二の形態によれば、多くの微細流路孔36が省スペースで設けられる。更に、第二の形態によれば、図4に示す微細流路要素34と同様に、微細流路要素34の上部から下部へと流れる液体9が少なくなるため、脱泡した泡の巻き込みが低減される(つまり、脱泡の効率が良い)。

0029

第二の形態の場合、前記のとおり、微細流路孔36の数を増やすことが容易であり、多くの液体9の脱泡が可能となる。このため、短時間で多くの液体9の脱泡が可能となる。そこで、副タンク38の液体9の収容能力(容量)を高く(大きく)することで、副タンク38は、図1に示す主タンク24を兼ねることが可能となる。つまり、主タンク24を省略できる。この場合、副タンク38の拡大空間40を大気開放して(大気圧として)、副タンク38内の液体9が塗布器14(図1参照)に供給される。なお、第二の形態の脱泡装置30を図1に示す塗布装置10に適用してもよく、脱泡用の副タンク38に溜められている液体9を、主タンク24に一旦送り、主タンク24から塗布器14へ液体9が送られるように構成されていてもよい。

0030

〔各形態の脱泡装置30について〕
以上のように、前記各形態の脱泡装置30は、供給流路32と、微細流路要素34と、副タンク38と、減圧機構42とを備える。この脱泡装置30によれば、副タンク38の拡大空間40が減圧機構42によって減圧されることで、供給流路32の液体9は微細流路孔36を通過し副タンク38内に流れる。拡大空間40は減圧されていることから、微細流路孔36を通過した液体9中に含まれる溶存気体及びマイクロバブル等の気体は発泡し、更に、その液体9は、微細流路孔36を通過するとオリフィス作用により急激に減圧され、発泡が促進される。よって、容器44内の液体9中に含まれていた気体が短時間で除去される。

0031

このため、前記各形態の脱泡装置30を備える塗布装置10によれば、脱泡された液体9が塗布器14に供給され、基板7に対して塗布器14から当該液体9が吐出され、基板7上に薄膜が形成される。脱泡装置30により、薄膜の形成の際に気泡の発生が防止される。更に、液体9中に含まれていた気体が短時間で除去されることから、生産効率が良い。塗布装置10は、脱泡装置30を複数備えていてもよく、複数の脱泡装置30は、交互に主タンク24(又は塗布器14)と繋がって液体9を排出するように構成していてもよい。この場合、一つの脱泡装置30において脱泡処理を行っている間、他の脱泡装置30から脱泡済みの液体9を主タンク24(又は塗布器14)へ供給する。そして、前記他の脱泡装置30において脱泡処理を行っている間、前記一つの脱泡装置30から脱泡済みの液体9を主タンク24(又は塗布器14)へ供給する。このように、塗布装置10は脱泡装置30を複数備えていて、複数の脱泡装置30を切り替えて使用してもよい。

0032

前記各形態の脱泡装置30において(図2図5)、副タンク38は、誘導路60を有していて、誘導路60は、微細流路要素34から副タンク38の底部49側に向かって、液体9を遠回りして(迂回して)誘導する。この誘導路60によれば、微細流路要素34を通過した液体9の表面に泡が付着していても、液体9を誘導路60に沿って流す間にその泡を消滅させることができる。なお、泡が残った状態であっても、その泡は、溜められている液体9の表層に残る。液体9は、副タンク38の底部49から外部へ排出されるので、泡が、外部装置である(図1に示す)主タンク24及び塗布器14へ供給されない。

0033

前記各形態の脱泡装置30において(図2図5)、微細流路要素34の上流側に、液溜め空間58が設けられている。液溜め空間58は、供給流路32よりも流路面積が拡大していて、微細流路要素34の直前で液体9を溜める。このため、供給流路32を流れた液体9は、一旦、液溜め空間58に入る。そして、液溜め空間58に入った液体9は、微細流路要素34の全体に広く分布して設けられている多くの微細流路孔36から流出することができる。このため、副タンク38内の拡大空間40に開放される液体9の表面積が広くなり、発泡がより一層促進される。

0034

〔その他〕
今回開示した実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではない。本発明の権利範囲は、上述の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の範囲に記載された構成と均等の範囲内でのすべての変更が含まれる。図4及び図6に示す微細流路要素34では、微細流路孔36が上下二列に設けられている場合について説明したが、列数段数)は変更可能であり、三列以上であってもよい。また、微細流路要素34の形状は、図示した形状以外であってもよい。副タンク38における微細流路要素34の設置位置及び設置姿勢等についても、図示した形態以外であってもよい。

0035

7:基板(被塗布部材) 9:液体10:塗布装置
12:ステージ14:塗布器15:スリット
16:駆動機構18:送液機構30:脱泡装置
32:供給流路34:微細流路要素 36:微細流路孔
38:副タンク(タンク) 40:拡大空間42:減圧機構
49:底部 58:液溜め空間 60:誘導路

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