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技術 研磨パッド用運搬具

出願人 富士紡ホールディングス株式会社
発明者 糸山光紀笹谷健太真鍋一樹
出願日 2018年9月26日 (2年3ヶ月経過) 出願番号 2018-179840
公開日 2020年4月2日 (8ヶ月経過) 公開番号 2020-049572
状態 未査定
技術分野 洗浄、機械加工
主要キーワード 起立部材 運搬具 運搬後 ウレタン樹脂発泡体 袋形状 運搬作業 直交座標 マザーガラス
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年4月2日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (5)

課題

研磨パッドコンパクトな状態として運搬作業負荷を軽減しながらも、研磨パッドの品質を維持することが可能な研磨パッド用運搬具を提供する。

解決手段

研磨パッド用運搬具1は、設置面と当接する基部11と、基部11の上方に設けられ、研磨パッド9の下面と当接して研磨パッド9を支持する支持部12と、を備える。水平方向に沿うX軸方向に沿って見たとき、支持部12は、上部から下部にかけて幅が漸次増加するとともに、上端部12aが湾曲するように形成されている。

概要

背景

液晶ディスプレイマザーガラス半導体デバイス等の研磨に用いられる研磨材が広く普及している。このような研磨材として、ウレタン樹脂発泡体により形成され、可撓性を有する研磨パッドがある。

特許文献1には、研磨パッド運搬用ボックスが開示されている。当該運搬用ボックスは、内箱と、収容部材とを有している。収容部材は袋形状を呈しており、研磨パッドを収容する。内箱の内部には棒状部材が配置されており、研磨パッドを収容している収容部材が、当該棒状部材により吊り下げられた状態で保持される。

概要

研磨パッドをコンパクトな状態として運搬作業負荷を軽減しながらも、研磨パッドの品質を維持することが可能な研磨パッド用運搬具を提供する。研磨パッド用運搬具1は、設置面と当接する基部11と、基部11の上方に設けられ、研磨パッド9の下面と当接して研磨パッド9を支持する支持部12と、を備える。水平方向に沿うX軸方向に沿って見たとき、支持部12は、上部から下部にかけて幅が漸次増加するとともに、上端部12aが湾曲するように形成されている。

目的

本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、研磨パッドをコンパクトな状態として運搬作業の負荷を軽減しながらも、研磨パッドの品質を維持することが可能な研磨パッド用運搬具を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
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牽制数
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請求項1

可撓性を有する研磨パッド運搬に用いられる研磨パッド用運搬具であって、設置面と当接する基部と、前記基部の上方に設けられ、研磨パッドの下面と当接して該研磨パッドを支持する支持部と、を備え、水平方向に沿う所定方向に沿って見たとき、前記支持部は、上部から下部にかけて幅が漸次増加するとともに、上端部が湾曲するように形成されていることを特徴とする、研磨パッド用運搬具。

請求項2

前記所定方向に沿って見たとき、前記支持部の上端部の曲率半径は、前記支持部の他部の曲率半径よりも小さい、請求項1に記載の研磨パッド用運搬具。

請求項3

前記所定方向に沿って見たとき、前記支持部の外形線変曲点を有していない、請求項2に記載の研磨パッド用運搬具。

請求項4

平板形状を呈し、外形線が湾曲している複数の起立部材と、複数の連結部材と、を備え、前記複数の起立部材は、その厚み方向が前記所定方向に沿うとともに、前記所定方向に互いに間隔を空けて配置され、前記複数の連結部材は、前記所定方向に延びるように配置され、前記複数の起立部材を連結している、請求項1から3のいずれか一項に記載の研磨パッド用運搬具。

請求項5

前記所定方向に沿って見たとき、前記連結部材は、その外側端部が前記起立部材の外形線と略一致するように配置されている、請求項4に記載の研磨パッド用運搬具。

技術分野

0001

本発明は、可撓性を有する研磨パッド運搬に用いられる研磨パッド用運搬具に関する。

背景技術

0002

液晶ディスプレイマザーガラス半導体デバイス等の研磨に用いられる研磨材が広く普及している。このような研磨材として、ウレタン樹脂発泡体により形成され、可撓性を有する研磨パッドがある。

0003

特許文献1には、研磨パッド運搬用ボックスが開示されている。当該運搬用ボックスは、内箱と、収容部材とを有している。収容部材は袋形状を呈しており、研磨パッドを収容する。内箱の内部には棒状部材が配置されており、研磨パッドを収容している収容部材が、当該棒状部材により吊り下げられた状態で保持される。

先行技術

0004

特開2015−62975号公報

発明が解決しようとする課題

0005

近年、液晶ディスプレイの大型化や、研磨効率向上の要求に伴い、大型の研磨パッドの需要が高まっている。例えば、特許文献1に記載されているような円盤形状の研磨パッドでは、直径が2000mmを超えるものも提供されている。

0006

特許文献1記載の運搬用ボックスでは、研磨パッドは円盤形状のまま運搬される。したがって、当該研磨パッドの運搬に大型の運搬用ボックスを用いる必要があり、運搬作業負荷が増加するという課題があった。

0007

また、研磨パッドの運搬作業の負荷を軽減する方法として、例えば、研磨パッドを折り曲げコンパクトな状態とすることにより、比較的小さい運搬具でも運搬を可能にするものが考えられる。しかしながら、この場合、折り曲げられた研磨パッドに歪が生じ、運搬後に元の形状を復元できなくなったり、研磨パッドの表面に貼付されている離型紙が剥離したりするおそれがある。

0008

本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、研磨パッドをコンパクトな状態として運搬作業の負荷を軽減しながらも、研磨パッドの品質を維持することが可能な研磨パッド用運搬具を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0009

上記課題を解決するために、本発明は、可撓性を有する研磨パッドの運搬に用いられる研磨パッド用運搬具であって、設置面と当接する基部と、基部の上方に設けられ、研磨パッドの下面と当接して研磨パッドを支持する支持部と、を備え、水平方向に沿う所定方向に沿って見たとき、支持部は、上部から下部にかけて幅が漸次増加するとともに、上端部が湾曲するように形成されていることを特徴とする。

0010

この構成によれば、研磨パッドが支持部において支持されると、研磨パッドの中央部は支持部の上端部により支持され、研磨パッドの両端部は垂下する。つまり、研磨パッドは、支持部の上端部において折り曲げられた状態となる。この結果、本発明に係る研磨パッド用運搬具は、研磨パッドを原形のまま運搬する従来の運搬具と比較して、研磨パッドをコンパクトな状態にして運搬作業の負荷を軽減することが可能になる。

0011

また、支持部の上端部は湾曲している。研磨パッドはこの上端部の湾曲に沿って緩やかに変形するため、上端部周辺で研磨パッドが極端屈曲することはない。この結果、折り曲げられた研磨パッドに、運搬後に元の形状を復元できなくなるほどの屈曲が生じることを抑制し、研磨パッドの品質を維持することが可能になる。

0012

本発明において、好ましくは、所定方向に沿って見たとき、支持部の上端部の曲率半径は、支持部の他部の曲率半径よりも小さい。

0013

この構成によれば、支持部の上端部において研磨パッドの下面に作用する面圧は、支持部の他部において作用する面圧よりも大きくなる。この結果、支持部の上端部において、研磨パッドの下面との間の摩擦力を集中的に発生させることができる。この結果、運搬時に研磨パッドは上端部において確実に支持されるため、研磨パッドが支持部からずれ落ちることを抑制できる。

0014

本発明において、好ましくは、所定方向に沿って見たとき、支持部の外形線変曲点を有していない。

0015

この構成によれば、変曲点の近傍において研磨パッドに無為な歪が生じたり、研磨パッドが支持部から離れることを抑制できる。この結果、折り曲げられた研磨パッドに、運搬後に元の形状を復元できなくなるほどの屈曲が生じることを抑制し、研磨パッドの品質を維持することが可能になる。

0016

本発明において、好ましくは、平板形状を呈し、外形線が湾曲している複数の起立部材と、複数の連結部材と、を備え、複数の起立部材は、その厚み方向が所定方向に沿うとともに、所定方向に互いに間隔を空けて配置され、複数の連結部材は、所定方向に延びるように配置され、複数の起立部材を連結している。

0017

この構成によれば、研磨パッド用運搬具の内部に空隙を形成し、研磨パッド用運搬具を軽量化することができる。また、研磨パッド用運搬具の作製の際には、起立部材の湾曲している外形線により、支持部の上端部における湾曲を設けることができる。

0018

本発明において、好ましくは、所定方向に沿って見たとき、連結部材は、その外側端部が起立部材の外形線と略一致するように配置されている。

0019

この構成によれば、連結部材の外側端部を起立部材の外形線と略一致するように配置することにより、隣り合う起立部材の間では、連結部材の外側端部において研磨パッドの下面と当接し、研磨パッドを支持することができる。この結果、隣り合う起立部材の間でも、起立部材の湾曲した外形線に沿うように研磨パッドを配置し、研磨パッドに無為な歪が生じることを抑制できる。

発明の効果

0020

本発明によれば、研磨パッドをコンパクトな状態として運搬作業の負荷を軽減しながらも、研磨パッドの品質を維持することが可能な研磨パッド用運搬具を提供することができる。

図面の簡単な説明

0021

実施形態に係る研磨パッド用運搬具を示す斜視図である。
図1の研磨パッド用運搬具を示す斜視図である。
図1の研磨パッド用運搬具を示す側面図である。
比較例に係る研磨パッド用運搬具を示す側面図である。

実施例

0022

以下、添付図面を参照しながら実施形態について説明する。説明の理解を容易にするため、各図面において同一の構成要素に対しては同一の符号を付して、重複する説明は省略する。

0023

まず、図1及び図2を参照しながら、実施形態に係る研磨パッド用運搬具1(以下「運搬具1」という。)の構成について説明する。図1及び図2は、運搬具1を示す斜視図である。図1は、研磨パッド9を支持している運搬具1を示しており、図2は、互いに離間した運搬具1と研磨パッド9とを示している。

0024

尚、理解を容易にするため、図1に示されるように、水平方向に沿う軸をX軸及びY軸とし、鉛直向きをZ軸とする直交座標を用いて説明する。X軸方向は、本発明に係る所定方向の一例である。図2以降にも同様の座標が示されている。

0025

研磨パッド9は、不図示の研磨装置に搭載される研磨材である。研磨パッド9は、ウレタン樹脂発泡体に硬化剤を添加し、硬化させることにより成形されており、可撓性を有している。成形された研磨パッド9は円盤形状を呈しており、その直径は約2000mmである。研磨パッド9は、スラリー状の研磨液の供給を受けながら、ワークの表面を研磨する。また、研磨パッド9の一側面には、不図示の離型紙が貼付されている。

0026

運搬具1は、この研磨パッド9の運搬に用いられる。運搬具1のX軸方向外寸は約2400mm、Y軸方向外寸は600mm、Z軸方向外寸は約1000mmである。

0027

運搬具1は、基部11と、支持部12と、を有している。基部11は運搬具1の土台となる部分であり、設置面(例えば、床面や、運搬具1を収容するケースの底面)と当接する。支持部12は、基部11の上方に設けられており、湾曲形成されている。

0028

運搬具1は、この支持部12において研磨パッド9の下面と当接し、研磨パッド9を支持する。支持部12の上端部12aは、研磨パッド9の中央部9aの下面と当接する。

0029

研磨パッド9は支持部12の上端部12aにおいて折り曲げられ、研磨パッド9の端部9bが垂下する。このため、運搬具1により支持されている研磨パッド9のZ軸方向外寸は、研磨パッド9の直径である2000mmよりも十分小さくなる。

0030

研磨パッド9は、その中央部9aから端部9bにかけて、支持部12の湾曲に沿って変形する。研磨パッド9は、X軸周りに巻かれる不図示のゴム製のバンド等により、運搬具1に対して固定される。研磨パッド9は、当該研磨パッド9を支持している運搬具1とともに不図示のケースに収容され、当該ケースとともに運搬される。

0031

次に、図1及び図2に加えて図3及び図4を参照しながら、運搬具1の詳細な構成と作製について説明する。図3は、運搬具1を示す側面図である。図4は、比較例に係る研磨パッド用運搬具100(以下「運搬具100」という。)を示す側面図である。図2に示されるように、運搬具1は、6枚の起立部材2と、連結部材31〜33と、底板4と、により構成されている。

0032

6枚の起立部材2の形状は全て同一である。起立部材2は、樹脂材料により形成され、平板形状を呈している。起立部材2の厚さ(つまり、X軸方向寸法)は一様であるが、図3に示されるように、起立部材2の幅(つまり、Y軸方向寸法)は、上部から下部にかけて漸次増加するように設定されている。

0033

起立部材2の外形線2aは、湾曲している。詳細には、図3に示されるように、外形線2aは略楕円形状の一部を成しており、その曲率半径は、上部から下部にかけて漸次増加するように設定されている。つまり、上端部12aにおける外形線2aの曲率半径Rは、外形線2aの他部における曲率半径よりも小さい。

0034

また、起立部材2の外形線2aは、変曲点を有していない。例えば、図4に示される比較例に係る運搬具100の起立部材20の外形線20aは、複数の変曲点IPを有している。つまり、外形線20aは、変曲点IPにおいて突出方向が変化するように湾曲している。これに対し、本実施形態に係る起立部材2の外形線2aは、このように突出方向が変化する変曲点を有していない。

0035

また、起立部材2は、切欠21〜23が形成されている。切欠21,22は、支持部12(図2参照)に対応する部位に形成されており、切欠23は、起立部材2の下端部に形成されている。切欠21〜23は、起立部材2を厚さ方向に貫通するとともに、起立部材2の内方に向かって延びている。切欠21〜23の幅は略一様である。

0036

連結部材31〜33は、いずれも樹脂材料により形成されており、細長い平板形状を呈している。連結部材31〜33の厚さは、起立部材2の切欠21〜23の幅と略同一である。

0037

運搬具1は、起立部材2と、連結部材31〜33と、底板4と、を組み立てることにより作製される。6枚の起立部材2は、図2に示されるように、X軸方向に互いに間隔を空けて直線状に配置される。各起立部材2は、その厚さ方向がX軸方向に沿うように配置される。これにより、各起立部材2に形成された切欠21〜23が、それぞれX軸方向に沿って直線状に整列する。

0038

連結部材31は切欠21に嵌入し、連結部材32は切欠22に嵌入し、連結部材33は切欠23に嵌入する。図3に示されるように側面視した場合に、連結部材31の外側端部31aと、連結部材32の外側端部32aとが、起立部材2の外形線2aと略一致するように配置される。つまり、連結部材31,32の外側端部31a,32aは起立部材2の端部と略面一となる。6枚の起立部材2は、連結部材31〜33を介して互いに連結され、隣り合う起立部材2,2間の間隔が維持される。

0039

6枚の起立部材2のそれぞれの下端は、接着剤粘着テープ等の公知の手段により、底板4の上面に固定され、これにより、運搬具1の作製作業が完了する。底板4は樹脂材料により形成されており、平板形状を呈している。

0040

このように作製された運搬具1は、起立部材2の外形線2aに相当する外側端部と、連結部材31,32の外側端部31a,32aとにおいて研磨パッド9の下面と当接し、研磨パッド9を支持する。すなわち、起立部材2の外側端部と、連結部材31,32の外側端部31a,32aとが、支持部12として機能する。起立部材2の外側端部と、連結部材31,32の外側端部31a,32aと、が十字形状に交差している部位では、研磨パッド9は特に安定的に支持される。

0041

支持部12により研磨パッド9の下面が支持されると、図3に示されるように、研磨パッド9は、自重により上端部12aの湾曲に沿って緩やかに変形する。また、上端部12aにおいて研磨パッド9に作用する面圧P1は、基部11近傍において研磨パッド9に作用する面圧P2よりも大きくなる。

0042

次に、上記実施形態に基づく作用効果について説明する。

0043

上記構成によれば、研磨パッド9が支持部12において支持されると、研磨パッド9の中央部9aは支持部12の上端部12aにより支持され、研磨パッド9の両端部9bは垂下する。つまり、研磨パッド9は、支持部12の上端部12aにおいて折り曲げられた状態となる。この結果、運搬具1は、研磨パッド9を原形のまま運搬する従来の運搬具と比較して、研磨パッド9をコンパクトな状態にして運搬作業の負荷を軽減することが可能になる。

0044

また、支持部12の上端部12aは湾曲している。研磨パッド9はこの上端部12aの湾曲に沿って緩やかに変形するため、上端部12a周辺で研磨パッド9が極端に屈曲することはない。この結果、折り曲げられた研磨パッド9に、運搬後に元の形状を復元できなくなるほどの屈曲が生じることを抑制し、研磨パッド9の品質を維持することが可能になる。

0045

また、X軸方向に沿って見たとき、支持部12の上端部12aの曲率半径Rは、支持部12の他部の曲率半径よりも小さい。

0046

この構成によれば、支持部12の上端部12aにおいて研磨パッド9の下面に作用する面圧P1は、支持部12の他部において作用する面圧P2よりも大きくなる。この結果、支持部12の上端部12aにおいて、研磨パッド9の下面との間の摩擦力を集中的に発生させることができる。この結果、運搬時に研磨パッド9は上端部12aにおいて確実に支持されるため、研磨パッド9が支持部12からずれ落ちることを抑制できる。

0047

ところで、比較例に係る運搬具100(図4参照)では、起立部材20の外形線20aが変曲点IPを有しているため、変曲点IPの周辺において研磨パッド9が無為に歪み、研磨パッドの品質が低下するおそれがある。

0048

これに対し、本実施形態の運搬具1では、X軸方向に沿って見たとき、支持部12の外形線は変曲点を有していない。

0049

この構成によれば、変曲点の近傍において研磨パッド9に無為な歪が生じることを抑制できる。この結果、折り曲げられた研磨パッド9に、運搬後に元の形状を復元できなくなるほどの屈曲が生じることを抑制し、研磨パッド9の品質を維持することが可能になる。

0050

また、運搬具1は、平板形状を呈し外形線2aが湾曲している複数の起立部材2と、複数の連結部材31〜33と、を備える。複数の起立部材2は、その厚み方向がX軸方向に沿うとともに、X軸方向に互いに間隔を空けて配置される。複数の連結部材31〜33は、X軸方向に延びるように配置され、複数の起立部材2を連結している。

0051

この構成によれば、運搬具1の内部に空隙を形成し、運搬具1を軽量化することができる。また、運搬具1の作製の際には、起立部材2の湾曲している外形線2aにより、支持部12の上端部12aにおける湾曲を設けることができる。

0052

X軸方向に沿って見たとき、連結部材31,32は、その外側端部31a,32aが起立部材2の外形線2aと略一致するように配置されている。

0053

この構成によれば、連結部材31,32の外側端部31a,32aを起立部材2の外形線2aと略一致するように配置することにより、隣り合う起立部材2,2の間では、連結部材31,32の外側端部31a,32aにおいて研磨パッド9の下面と当接し、研磨パッド9を支持することができる。この結果、隣り合う起立部材2,2間でも、起立部材2の湾曲した外形線2aに沿うように研磨パッドを配置し、研磨パッド9に無為な歪が生じることを抑制できる。

0054

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定して解釈するためのものではない。実施形態が備える各要素並びにその配置、材料、条件、形状及びサイズ等は、例示したものに限定されるわけではなく適宜変更することができる。また、異なる実施形態で示した構成同士を部分的に置換し又は組み合わせることが可能である。

0055

1研磨パッド用運搬具(運搬具)
2起立部材
2a外形線
31〜33連結部材
31a,32a外側端部
9 研磨パッド
11基部
12 支持部
12a上端部

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