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技術 テープ貼着装置

出願人 株式会社ディスコ
発明者 和田昌大吉村寛力石利康
出願日 2018年9月18日 (2年2ヶ月経過) 出願番号 2018-173490
公開日 2020年3月26日 (8ヶ月経過) 公開番号 2020-047699
状態 未査定
技術分野 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 ダイシング
主要キーワード プレート先端 ロールテープ シリンダー機構 平面視円環状 ポーラス部材 巻き取りユニット テープユニット 廃棄ボックス
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (7)

課題

テープ着装置において、フレームウェーハとに貼着したダイシングテープテンションを均一にする。

解決手段

フレーム保持部30とウェーハ保持部31とからなる保持手段3と、テープユニットTUを送り出すユニット2と、ダイシングテープT2が剥がされたシートT1を巻き取るユニット4と、シートT1に接触させシートT1を内側にしてテープユニットTUを屈曲させシートT1からテープT2を剥離させるプレート50と、剥離したテープT2をフレームFとウェーハWとに貼着するローラ60と、剥がされたテープT2をローラ60に沿わせるようにエアを噴き付けるノズル39と、を備え、プレート先端部500とローラ60側面との隙間をテープユニットTUが通過し、プレート先端部500で剥離されたテープT2をノズル39からのエアによりローラ60側面に沿わせ、テープT2に弛みを発生させないようにフレームFとウェーハWとに貼着する装置1。

概要

背景

円形の開口を備えるリングフレームに円形のダイシングテープを貼着して開口を塞ぎ、開口部分のダイシングテープにウェーハを貼着し、ダイシングテープでリングフレームとウェーハとを一体化させるテープ着装置がある(例えば、特許文献1参照)。

概要

テープ貼着装置において、フレームとウェーハとに貼着したダイシングテープのテンションを均一にする。フレーム保持部30とウェーハ保持部31とからなる保持手段3と、テープユニットTUを送り出すユニット2と、ダイシングテープT2が剥がされたシートT1を巻き取るユニット4と、シートT1に接触させシートT1を内側にしてテープユニットTUを屈曲させシートT1からテープT2を剥離させるプレート50と、剥離したテープT2をフレームFとウェーハWとに貼着するローラ60と、剥がされたテープT2をローラ60に沿わせるようにエアを噴き付けるノズル39と、を備え、プレート先端部500とローラ60側面との隙間をテープユニットTUが通過し、プレート先端部500で剥離されたテープT2をノズル39からのエアによりローラ60側面に沿わせ、テープT2に弛みを発生させないようにフレームFとウェーハWとに貼着する装置1。

目的

効果

実績

技術文献被引用数
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牽制数
0件

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請求項1

帯状シート長手方向に円形ダイシングテープを並べて貼着した帯状のテープユニットの該シートから該ダイシングテープを剥がして、リングフレームと該リングフレームの開口に配置したウェーハとに貼着し、該リングフレームとウェーハとを該ダイシングテープで一体化させるテープ着装置であって、該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と、該リングフレームの該開口内でウェーハを保持するウェーハ保持部とからなる保持手段と、該テープユニットを挟んで回転し該テープユニットを送り出す送り出しユニットと、該ダイシングテープが剥がされた該シートを挟んで回転し該シートを巻き取る巻き取りユニットと、該送り出しユニットと該巻き取りユニットとの間で該シートに接触させ該シートを内側にして該テープユニットを屈曲させ該シートから該ダイシングテープを剥離させるピールプレートと、該シートから剥離した該ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに押し付けながら貼着する貼着ローラと、該シートから剥がされた該ダイシングテープを該貼着ローラに沿わせるようにエアを噴き付けるエアノズルと、を備え、該ピールプレートの先端部と該貼着ローラの側面との隙間を該テープユニットが通過し、該ピールプレートの先端部で剥離された該ダイシングテープを該エアノズルから噴き付けるエアにより該貼着ローラの側面に沿わせ、該ダイシングテープに弛みを発生させないようにして、該リングフレームと該ウェーハとに貼着するテープ貼着装置。

技術分野

0001

本発明は、リングフレームウェーハとにテープを貼着するテープ貼着装置に関する。

背景技術

0002

円形の開口を備えるリングフレームに円形のダイシングテープを貼着して開口を塞ぎ、開口部分のダイシングテープにウェーハを貼着し、ダイシングテープでリングフレームとウェーハとを一体化させるテープ貼着装置がある(例えば、特許文献1参照)。

先行技術

0003

特開2011−086687号公報

発明が解決しようとする課題

0004

上記テープ貼着装置においては、円形のダイシングテープを帯状シート長手方向に、等間隔で並べて貼着して一体化させたテープユニットを用いている。このテープユニットは、ダイシングテープ側を内側にしてロール状に巻筒巻回されている。このロール状のテープユニットがテープ貼着装置の支持柱に巻筒が貫装された状態で、ロールテープの外周の端からシートを把持して引き出し、シート側を内側にしてピールプレートを押し当てて屈曲させつつシートからダイシングテープの端を剥がす。そして、シートから剥がしたダイシングテープの端をリングフレームの上に位置づけ転動するローラでダイシングテープをリングフレームに押し付け、ダイシングテープの端をリングフレームに貼着し、さらに、シートを剥がしながらダイシングテープをローラで押し付けていき、ウェーハ上面とリングフレーム上面との被貼着面に貼着している。

0005

ここで、シートに押し当てるピールプレートの先端の高さ位置で、ダイシングテープがシートから剥がれされるので、リングフレーム及びウェーハの被貼着面とダイシングテープとの間にゴミ気泡が入らないようにするために、ピールプレートは該被貼着面に近づけているほうがよい。

0006

しかし、ピールプレートを該被貼着面に近づけると、ピールプレートの先端とローラの側面との間に隙間ができ、その隙間によりダイシングテープに弛みが生じ、リングフレームとウェーハとに貼着したダイシングテープのテンションが均一にならないという問題がある。即ち、ダイシングテープの貼り始めのテンションが弱く、その後、均一のテンションになるため、全体的にはテンションが不均一となる。また、ダイシングテープの種類によってはリングフレームとウェーハとの間に皺が入る問題も生じる。そして、貼着されたダイシングテープのテンションが均一になっていないと、ウェーハを分割した際等にチップ同士が接触しチップ欠けが発生するという問題がある。

0007

よって、リングフレームとウェーハとにダイシングテープを貼着するテープ貼着装置においては、貼着したダイシングテープのテンションが均一になるようにするという課題がある。

課題を解決するための手段

0008

上記課題を解決するための本発明は、帯状のシートの長手方向に円形のダイシングテープを並べて貼着した帯状のテープユニットの該シートから該ダイシングテープを剥がして、リングフレームと該リングフレームの開口に配置したウェーハとに貼着し、該リングフレームとウェーハとを該ダイシングテープで一体化させるテープ貼着装置であって、該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と、該リングフレームの該開口内でウェーハを保持するウェーハ保持部とからなる保持手段と、該テープユニットを挟んで回転し該テープユニットを送り出す送り出しユニットと、該ダイシングテープが剥がされた該シートを挟んで回転し該シートを巻き取る巻き取りユニットと、該送り出しユニットと該巻き取りユニットとの間で該シートに接触させ該シートを内側にして該テープユニットを屈曲させ該シートから該ダイシングテープを剥離させるピールプレートと、該シートから剥離した該ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに押し付けながら貼着する貼着ローラと、該シートから剥がされた該ダイシングテープを該貼着ローラに沿わせるようにエアを噴き付けるエアノズルと、を備え、該ピールプレートの先端部と該貼着ローラの側面との隙間を該テープユニットが通過し、該ピールプレートの先端部で剥離された該ダイシングテープを該エアノズルから噴き付けるエアにより該貼着ローラの側面に沿わせ、該ダイシングテープに弛みを発生させないようにして、該リングフレームと該ウェーハとに貼着するテープ貼着装置である。

発明の効果

0009

本発明に係るテープ貼着装置は、ピールプレートの先端部と貼着ローラの側面との隙間をテープユニットが通るだけの大きさまで小さくし、ピールプレートにより屈曲させたシートから剥がされたダイシングテープをエアノズルから噴き付けるエアにより貼着ローラの側面に沿わせ、ダイシングテープに弛みを発生させないよう貼着ローラの側面に沿わせた状態でリングフレームとウェーハとに貼着するので、貼着したダイシングテープのテンションを均一にすることができる。

図面の簡単な説明

0010

ロール状に巻回されたテープユニットの一例を示す斜視図である。
テープ貼着装置の構成の一例を示す模式的な断面図である。
貼着ローラをダイシングテープをリングフレームに貼着する停止位置よりも少しだけ上方の位置に待機させ、エアノズルからエアを噴射させて貼着ローラの側面にダイシングテープを沿わせている状態を説明する断面図である。
ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに貼着している状態を説明する断面図である。
ピールプレートの傾きを従来よりも倒した状態で、ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに貼着している場合を説明する断面図である。
ダイシングテープをリングフレームとウェーハとに貼着している状態における従来の問題点を説明する断面図である。

実施例

0011

図1に示すテープユニットTU(例えば、厚み200μm)は、帯状の粘着テープT5と、帯状のシートT1とが貼り合わせられた構造となっている。粘着テープT5は、例えばポリオレフィン系樹脂等からなる基材T51と基材T51上の粘着剤層T52とからなり、粘着剤層T52側にシートT1(例えば、厚み100μm)が貼着されている。本実施形態に示す粘着テープT5は、予め貼着対象となるリングフレームF(図2参照)の径に応じて円形状に複数プリカットされており、シートT1に粘着テープT5がプリカットされて形成されたダイシングテープT2が複数、シートT1の長手方向(図1においてはX軸方向)に等間隔を空けて貼着された状態になっている。なお、粘着テープT5及びシートT1は、特に材質などが限定されない。

0012

上記の帯状のシートT1の長手方向に円形のダイシングテープT2を並べて貼着したテープユニットTUは、図1に示すように巻筒T3にダイシングテープT2を内側にしてロール状に巻回された状態となっている。

0013

図2に示すテープ貼着装置1は、リングフレームFとウェーハWとを図1に示すダイシングテープT2で一体化させる装置であり、リングフレームFを保持するリングフレーム保持部30と、リングフレームFの開口内でウェーハWを保持するウェーハ保持部31とからなる保持手段3と、テープユニットTUを挟んで回転しテープユニットTUを送り出す送り出しユニット2と、ダイシングテープT2が剥がされたシートT1を挟んで回転しシートT1を巻き取る巻き取りユニット4と、送り出しユニット2と巻き取りユニット4との間でシートT1に接触させシートT1を内側にしてテープユニットTUを屈曲させシートT1からダイシングテープT2を剥離させるピールプレート50と、シートT1から剥離したダイシングテープT2をリングフレームFとウェーハWとに押し付けながら貼着する貼着ローラ60と、シートT1から剥がされたダイシングテープT2を貼着ローラ60に沿わせるようにエアを噴き付けるエアノズル39と、を少なくとも備えている。

0014

テープ貼着装置1は、例えば、ロール状に巻回されたテープユニットTUを支持する第一のテープユニット支持手段11及び第二のテープユニット支持手段12を備えている。第一のテープユニット支持手段11と第二のテープユニット支持手段12とは同様の構成となっているため、以下に第一のテープユニット支持手段11の構成について説明する。

0015

第一のテープユニット支持手段11は、テープユニットTUが収容されるケース110を有している。ケース110の底壁には、テープユニットTUを通過させるための開口110aが形成されている。開口110aの端部には、光センサ等からなりテープユニットTUの先端を検出する先端検出部111が配設されている。

0016

ケース110内には、テープユニットTUが巻回されている巻筒T3が貫装される支持柱113を備えており、該支持柱113は、回転手段114によってY軸方向の軸心周りに回転可能となっている。
なお、ケース110の手前側(Y軸方向紙面手前側)には、開閉可能な図示しない蓋が配設されている。

0017

第一のテープユニット支持手段11及び第二のテープユニット支持手段12のそれぞれのケース110の開口110aの直下には、一対のガイドローラ14がそれぞれ配設されており、ケース110から引き出されたテープユニットTUを、図1に示すテープユニット引渡し手段17に向かってガイドすることができる。
図示の例では、第二のテープユニット支持手段12側のガイドローラ14の近傍に送り出しユニット2に向けてテープユニットTUをガイドするガイドローラ15が配設されている。

0018

テープユニット引渡し手段17は、支持部材171の下端に接続された回転機構172と、回転機構172に接続されたアーム部173と、クランプ等からなりアーム部173の先端に配設されたテープユニット挟持部174と、支持部材171をX軸方向にスライド移動させるスライド機構175とを備えている。テープユニット挟持部174は、テープユニットTUの端部のY軸方向両端を挟持することが可能となっている。

0019

回転機構172は、Y軸方向から見て時計回り方向又は反時計回り方向に回転可能となっており、テープユニット挟持部174を、第一のテープユニット支持手段11から引き出されたテープユニットTUをテープユニット挟持部174が挟持可能となる第1の挟持位置P1と、第二のテープユニット支持手段12から引き出されたテープユニットTUを挟持する第2の挟持位置P2と、テープユニットTUが送り出しユニット2によって挟まれた後にテープユニット挟持部174がテープユニットTUを開放する開放位置P3とに位置づけることができる。

0020

スライド機構175は、X軸方向に延在するベース175aと、ベース175aにおいてX軸方向にスライド移動可能なスライダ175bと、スライダ175bを移動させる図示しないボールネジ機構とにより構成されている。そして、スライダ175bがベース175aにおいてX軸方向にスライド移動することにより、回転機構172とともにテープユニット挟持部174をX軸方向にスライド移動させることができる。

0021

送り出しユニット2は、少なくとも駆動ローラ21と、Z軸方向において対向する2つの従動ローラ22と、駆動ローラ21と従動ローラ22とを相対的に接近又は離間させる移動機構23とにより構成されている。移動機構23は、X軸方向に延在するガイドレール231と、ガイドレール231においてX軸方向に移動可能な移動部232とにより構成されている。側面視略コの字状の移動部232は、その各先端において2つの従動ローラ22を支持している。移動部232がガイドレール231に沿って移動することにより、駆動ローラ21と2つの従動ローラ22とをX軸方向において相対的に接近又は離間させることができる。

0022

図2、3に示すように、引き出されたテープユニットTUを屈曲させシートT1からダイシングテープT2を剥離させるピールプレート50は、例えば、テープユニットTUの幅(Y軸方向長さ)以上の長さでY軸方向に延在しており、貼着ローラ60に向かって斜め上から延在する基台51上に可動部材52を介して配設されている。例えば、ピールプレート50の下端側の先端部500は、R状に丸まっている。可動部材52は、図示しない基台51を往復移動可能となっており、可動部材52が基台51の下端側まで移動することで、ピールプレート50がテープユニットTUのうちシートT1を押圧して鋭角に屈曲させることにより、シートT1からダイシングテープT2を剥離することができる。

0023

例えば、基台51はY軸方向の軸心周りに回動可能となっており、基台51が所定角度回動することで、ピールプレート50の貼着ローラ60に対する角度を可変することができる。

0024

図2に示すリングフレーム保持部30は、平面視円環状であり、その上面はポーラス部材等からなり図示しない吸引源に連通する保持面となる。
リングフレーム保持部30に囲繞されリングフレームFの開口内でウェーハWを保持するウェーハ保持部31は、平面視円形状であり、その上面はポーラス部材等からなり図示しない吸引源に連通する保持面となる。

0025

ウェーハ保持部31とリングフレーム保持部30とは、支持台32によって下方から支持されている。支持台32の下方には、支持台32を介して保持手段3をX軸方向に往復移動させる保持手段移動手段34が配設されている。保持手段移動手段34は、X軸方向に延在するベース341と、ベース341に沿ってX軸方向に移動可能な移動基台342と、移動基台342を移動させる図示しないボールネジ機構等とを備えている。

0026

支持台32と移動基台342とは、例えば、シリンダー機構等からなる保持手段昇降手段35を介して接続されている。保持手段昇降手段35は、支持台32を介して保持手段3をZ軸方向に昇降させる。

0027

Y軸方向の軸心周りに回転可能な貼着ローラ60は、保持手段3の上方に配設されており、少なくともダイシングテープT2の直径以上の長さでY軸方向に延在している。貼着ローラ60には、例えばシリンダー機構等からなる貼着ローラ位置づけ手段61が接続され、貼着ローラ位置づけ手段61によって保持手段3に接近又は離間するZ軸方向に昇降可能となっている。
なお、本実施形態においては貼着ローラ60と保持手段3との両方がZ軸方向に往復移動可能となっているが、いずれか一方のみがZ軸方向に往復移動可能な構成となっていてもよい。

0028

例えばウェーハ保持部31の上方には、シートT1から剥がされたダイシングテープT2を貼着ローラ60に沿わせるようにエアを噴き付けるエアノズル39が配設されている。エアノズル39は+X方向側を向く噴射口390を備えており、コンプレッサー等からなるエア供給源393に連通している。

0029

保持手段3の移動経路上方には、図2に示すテープユニット引取り手段76をX軸方向に往復移動可能とするスライド機構71が配設されている。スライド機構71は、X軸方向に延在するベース710と、テープユニット引取り手段76が固定されベース710においてX軸方向にスライド移動可能なスライダ711と、スライダ711を移動させる図示しないボールネジ機構とにより構成されている。

0030

テープユニット引取り手段76は、支持部材761と、支持部材761の上端に配設されたクランプ等のテープユニット把持部762とを備えている。テープユニット把持部762は、テープユニット引渡し手段17のテープユニット挟持部174が挟持するテープユニットTUの端部のY軸方向両端を引き継いで把持することができる。

0031

巻き取りユニット4は、テープユニット引取り手段76のX軸方向の移動経路上に配設されており、送り出しユニット2と略同様の構成となっている。即ち、巻き取りユニット4は、少なくとも駆動ローラ41と、X軸方向において対向する2つの従動ローラ42と、駆動ローラ41と従動ローラ42とを相対的に接近又は離間させる移動機構43とにより構成されている。移動機構43は、Z軸方向に延在するガイドレール431と、ガイドレール431においてZ軸方向に移動可能な移動部432とにより構成されている。移動部432は、その各上端において2つの従動ローラ42を支持している。移動部432がガイドレール431に沿って移動することにより、駆動ローラ41と従動ローラ42とをZ軸方向において相対的に接近又は離間させることができる。

0032

スライド機構71のベース710の−X方向側の端側には、シートT1を廃棄する廃棄手段73が配置されている。廃棄手段73は、シートT1の端部のY軸方向の両端を把持部731aによって把持するとともにその外周面にシートT1をロール状に巻き取る巻き取り部731と、巻き取り部731を回転させる図示しないモータと、巻き取り部731の下方に配設されロール状に巻かれたシートT1を把持部731aが離すことでシートT1が落下する廃棄ボックス732とを備えている。

0033

以下に、テープ貼着装置1の動作例について説明する。
まず、ウェーハWが保持手段3のウェーハ保持部31に互いの中心を略合わせて載置されるとともに、リングフレームFがリングフレーム保持部30に載置される。続いて、図示しない吸引源が作動し、ウェーハ保持部31の保持面でウェーハWが吸引保持され、リングフレーム保持部30の保持面でリングフレームFが吸引保持される。

0034

テープユニット引渡し手段17は、例えば、第一のテープユニット支持手段11を選択して、第一のテープユニット支持手段11からテープユニットTUを引き出す。即ち、回転手段114により、第一のテープユニット支持手段11内のロール状のテープユニットTUを正転方向(例えば、紙面手前から見て時計回り方向)に回転させながら、帯状となったテープユニットTUが開口110a及び一対のガイドローラ14の間に通され、一対のガイドローラ14によって下方に送り出される。また、回転機構172及びスライド機構175によって第1の挟持位置P1にテープユニット挟持部174が位置づけられ、一対のガイドローラ14により送り出されてくるテープユニットTUの端部のY軸方向両端をテープユニット挟持部174が挟持する。

0035

スライド機構175によって、テープユニットTUを挟持したテープユニット挟持部174が+X方向に移動し、これにともない、テープユニットTUが第一のテープユニット支持手段11からさらに引き出される。回転機構172が例えば時計回り方向に回転することにより、テープユニット挟持部174で挟持しているテープユニットTUを、ガイドローラ15に引っ掛けるとともに送り出しユニット2の駆動ローラ21と従動ローラ22との間を通して駆動ローラ21に引っ掛け、テープユニット挟持部174を開放位置P3に移動させる。

0036

次いで、スライド機構71によって、スライダ711がベース710に沿って例えば+X方向にスライド移動し、テープユニット把持部762が開放位置P3に移動する。テープユニット挟持部174が開放位置P3でテープユニットTUを開放したら、テープユニット把持部762によりテープユニットTUの端部のY軸方向両端を引き継いで把持する。さらに、スライド機構71によって、テープユニット把持部762が−X方向に移動し、テープユニット把持部762で把持しているテープユニットTUが同方向に引っ張られ、巻き取りユニット4の駆動ローラ41と従動ローラ42との間を通過し、テープユニットTUが廃棄手段73の巻き取り部731まで導かれる。そして、巻き取り部731の把持部731aがテープユニットTUの端部のY軸方向両端を把持する。

0037

送り出しユニット2の移動機構23により、2つの従動ローラ22が駆動ローラ21に接近し、駆動ローラ21と2つの従動ローラ22とによってテープユニットTUが挟み込まれる。また、巻き取りユニット4の移動機構43により、2つの従動ローラ42が駆動ローラ41に接近し、駆動ローラ41と2つの従動ローラ42とによってテープユニットTUが挟み込まれる。

0038

図3に示すように、保持手段移動手段34が保持手段3をX軸方向に移動させることで、リングフレームFを保持するリングフレーム保持部30が貼着ローラ60の直下に位置付けられる。
また、図3に示すように、例えば、保持手段昇降手段35が保持手段3をZ軸方向に移動させることで、貼着ローラ60が、ダイシングテープT2をリングフレーム保持部30で保持されたリングフレームFに貼着する際の停止高さ位置より少しだけ上方に位置した状態になる。

0039

また、図3に示すように、可動部材52が基台51の下端側まで移動することで、例えば、先端部500がエアノズル39から噴射されるエアの移動経路上よりも僅かに上方の位置に位置するように、ピールプレート50が移動される。そして、ピールプレート50の先端部500と貼着ローラ60の側面との隙間SをテープユニットTUが通過している状態になる。なお、隙間Sは、テープユニットTUがぎりぎり通過できるだけの僅かな隙間である。また、ピールプレート50の先端部500がテープユニットTUのシートT1に接触・押圧して、シートT1を内側にしてテープユニットTUを屈曲させ鋭角に形成する。そうすると、テープユニットTUからダイシングテープT2が剥離され、貼着ローラ60の下方にダイシングテープT2が送り込まれる。

0040

この状態で、エア供給源393から圧縮エアがエアノズル39に供給される。そして、エアノズル39から噴射されたエアが、貼着ローラ60の下方に送り込まれたダイシングテープT2に噴き付けられ、これによって、貼着ローラ60の側面にダイシングテープT2が沿わせられる。

0041

図4に示すように、エアにより貼着ローラ60の側面にダイシングテープT2を沿わせた状態で、貼着ローラ60が所定の回転速度で回転しながら、貼着ローラ位置づけ手段61により貼着ローラ60が貼着する際の停止位置まで下降することで、リングフレーム保持部30に保持されたリングフレームFの一方側からダイシングテープT2が押し付けられる。なお、例えば、図4に示すピールプレート50の先端部500の最下端と、ウェーハWの上面Wbとの距離は従来よりも大きい4.7mmに設定されている。また、図3に示す隙間Sはさらに小さくなる。

0042

保持手段移動手段34によってリングフレーム保持部30及びウェーハ保持部31が+X方向に送り出されていき、回転する貼着ローラ60によってウェーハW及びリングフレームFに対してダイシングテープT2が押し付けられる。このとき、図2に示す送り出しユニット2は、駆動ローラ21を所定の回転速度で回転させつつ、2つの従動ローラ22も駆動ローラ21の回転にともなって回転させ、テープユニットTUを保持手段3に向けて下方に導く。また、巻き取りユニット4においては、駆動ローラ41を所定の回転速度で回転させつつ、2つの従動ローラ42も駆動ローラ41の駆動にともなって回転させ、ピールプレート50によりダイシングテープT2が剥離されたシートT1をピールプレート50から廃棄手段73まで導く。

0043

そして、貼着ローラ60でダイシングテープT2を押し付けながら、保持手段3を所定の位置に至るまで+X方向に移動させると、ウェーハWとリングフレームFとに一枚のダイシングテープT2を貼着することができる。

0044

ここで、ダイシングテープT2のウェーハW及びリングフレームFに対する貼着時の従来の問題点について、図6を用いて簡潔に説明する。従来においては、可動部材52が基台51の下端側まで移動することで、先端部500がエアノズル39から噴射されるエアの移動経路上に位置するようにピールプレート50が移動されており、例えば、貼着する際の停止高さ位置に位置づけられたピールプレート50の先端部500の最下端と、ウェーハWの上面Wbとの距離は3.5mmに設定されていた。そして、先端部500と貼着ローラ60の側面との間に大きな隙間S1が形成されることで、ダイシングテープT2が弛んでしまい、エアノズル39からエアを噴射しても貼着ローラ60の側面にダイシングテープT2が十分に沿っていなかった。
そのため、リングフレームFとウェーハWとに貼着したダイシングテープT2のテンションが均一にならなかった。

0045

一方、本発明に係るテープ貼着装置1においては、貼着する際のピールプレート50を従来よりも上方に位置づけてピールプレート50の先端部500と貼着ローラ60の側面との隙間Sを小さくし、ピールプレート50により屈曲させたシートT1から剥がされたダイシングテープT2を、エアノズル39から噴き付けるエアにより貼着ローラ60の側面に沿わせ、ダイシングテープT2に弛みを発生させないように貼着ローラ60の側面に沿っている状態でリングフレームFとウェーハWとに貼着するので、貼着したダイシングテープT2のテンションを均一にすることができる。
なお、リングフレームFにダイシングテープT2を貼着する方法は、エアノズル39から噴き付けるエアにより貼着ローラ60の側面にダイシングテープT2を沿わせた状態で、貼着ローラ60をリングフレーム保持部30に向かって貼着ローラ位置づけ手段61で下降させても良いし、貼着ローラ60に向かってウェーハ保持部31とリングフレーム保持部30とを保持手段昇降手段35で上昇させてもよい。

0046

図2、4に示すダイシングテープT2が剥離されたシートT1は、巻き取りユニット4によって巻き取られ、巻き取りユニット4から廃棄手段73の巻き取り部731に送り出される。
シートT1は、図示しないモータにより回転する巻き取り部731の外周面においてロール状に巻き取られていき、シートロールに形成される。巻き取り部731が所定の長さ分シートT1を巻き取りシートロールを形成した後、把持部731aがシートロールの把持を解除して、シートロールを廃棄ボックス732に廃棄する。

0047

ダイシングテープT2を介してリングフレームFと一体となったウェーハWは、図示しない搬送手段によって例えばダイシング装置等に移送されてダイシング等が行われる。このようにして1枚のウェーハWに対するダイシングテープT2の貼着動作が完了したら、順次新たなウェーハWをウェーハ保持部31に搬送するとともにリングフレームFをリングフレーム保持部30に搬送して、上記と同様、ダイシングテープT2の貼着動作と、ダイシングテープT2から剥離されたシートT1の巻き取り動作とを繰り返し行う。

0048

本発明に係るテープ貼着装置1は本実施形態に限定されるものではなく、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。
例えば、図5に示すように、基台51が+Z方向から−X方向に反時計回り方向に回動し、ピールプレート50が水平方向に向かって所定角度倒されることで、ダイシングテープT2貼着時におけるテープユニットTUの角度が、二点鎖線で示す従来のテープユニットTUの角度よりもより鋭角になるようにしてもよい。図5に示すように、ピールプレート50が水平方向に向かって従来よりも倒されることで、ピールプレート50の先端部500と貼着ローラ60の側面との隙間をテープユニットTUが通過するだけの非常に僅かな隙間とすることが可能となる。

0049

この状態で、エアノズル39から噴射されたエアが、貼着ローラ60の下方に送り込まれたダイシングテープT2に噴き付けられ、これによって、貼着ローラ60の側面にダイシングテープT2が沿わせられるため、ダイシングテープT2に弛みを発生させないよう貼着ローラ60の側面に沿っている状態でダイシングテープT2はリングフレームFとウェーハWとに貼着されるので、貼着したダイシングテープT2のテンションを均一にすることができる。

0050

TU:テープユニットT1:シートT5:粘着テープT51:基材T52:粘着剤層T2:ダイシングテープT3:巻筒
W:ウェーハF:リングフレーム
1:テープ貼着装置
11:第一のテープユニット支持手段110:ケース110a:開口 111:先端検出部
113:支持柱114:回転手段
12:第二のテープユニット支持手段 14:一対のガイドローラ15:ガイドローラ
17:テープユニット引渡し手段 171:支持部材172:回転機構
173:アーム部 174:テープユニット挟持部
175:スライド機構175a:ベース175b:スライダ
3:保持手段 30:リングフレーム保持部 31:ウェーハ保持部 32:支持台
34:保持手段移動手段 341:ベース 342:移動基台35:保持手段昇降手段
2:送り出しユニット21:駆動ローラ22:従動ローラ23:移動機構
231:ガイドレール232:移動部
4:巻き取りユニット41:駆動ローラ 42:従動ローラ 43:移動機構
431:ガイドレール 432:移動部
50:ピールプレート500:先端部 51:基台52:可動部材
60:貼着ローラ61:貼着ローラ位置づけ手段
39:エアノズル390:噴射口 393:エア供給源
76:テープユニット引取り手段 761:支持部材 762:テープユニット把持部
71:スライド機構 710:ベース 711:スライダ
73:廃棄手段 731:巻き取り部 731a:把持部 732:廃棄ボックス

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