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技術 高圧放電ランプ

出願人 ウシオ電機株式会社
発明者 森和之
出願日 2018年9月14日 (2年3ヶ月経過) 出願番号 2018-172321
公開日 2020年3月26日 (9ヶ月経過) 公開番号 2020-047373
状態 未査定
技術分野 放電灯用うつわ・被膜
主要キーワード 両導電部材 ガラス筒 導電部材間 スリット形 溶着封止 ロジウムメッキ 芯線挿入孔 溶融封止
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (12)

課題

封止部形状を大型化することなく、多数枚の金属箔を封止できて、ランプ大出力化に対応できるようにするとともに、封止部の封止作業も一度の溶融封止作業で済むようにした高圧放電ランプの構造を提供する。

解決手段

封止部マウント10は、電極芯線12に電気的に接続された第1の導電部材16と、外部リード13に電気的に接続された第2の導電部材17が対向配置され、当該導電部材の対向する端面には、複数段平坦階段形状の箔接続部が形成されており、金属箔32、33、34は、前記導電部材の箔接続部で溶接接続されるとともに、前記金属箔の間には矩形状のスペーサガラス42、43、44が介在するものであり、前記封止部マウントが封止部内において封止されていることを特徴とする。

概要

背景

従来から、半導体基板液晶ディスプレイ用液晶基板露光するのに使用する露光装置紫外線光源として、高圧放電ランプが使用されている。
この種の高圧放電ランプでは、発光管連設された封止部内で、電極芯線外部リードとを集電ディスクを介して金属箔により電気的に接続する構造のものが多用されている。
即ち、円柱状のガラス部材の周囲に金属箔を複数枚配設して、これを封止部で溶着封止する構造が採用されている。
近時においては、ランプ大電力化に応じて、金属箔の枚数を増やすことが求められていて、例えば、実開平6−60960号公報(特許文献1)で、封止部内の円柱状の封止用ガラス体の周囲に多数枚の金属箔を配置する構造が知られている。
この構造では、大電力化に応じて金属箔の枚数を増やすものであるが、そのためには封止用ガラス体の直径を大きくすることが必要となり、その結果封止部の直径が大型化してしまうという問題がある。

このように、円柱状の封止用ガラス体の外周に配置した金属箔の枚数を増やすことには限界があり、この問題に対処すべく、多層構造に金属箔を配置することが提案されている。
特開2018−37320号公報(特許文献2)では、ガラス部材を多層構造として、これらガラス部材間に金属箔を配置することが開示されていて、図11にその概略が示されている。
図11において、電極芯線110に接続された電極側第1分電板〜第3分電板111、112、113と、外部リード120に接続された外側第1〜3分電板121、122、123とを有し、円柱状の第1ガラス部材130の周囲に配置された第1金属箔141は電極側第1分電板111と外側第1分電板121に接続されている。

その第1金属箔141を挟んで第1ガラス部材130の周囲には円筒状の第2ガラス部材131が被嵌され、更にその周囲には第2金属箔142が配置されて電極側第2分電板112と外側第2分電板122に接続されている。
同様に、第2ガラス部材131の外周には第3金属箔143が配置されており、その外周が封止部150によって溶融封止されている。
この構造により、第1金属箔141、第2金属箔142と第3金属箔143が同心状に多層(この例では3層)に配置されていて、大電力化に対応して多数枚の金属箔を備えたランプを実現しようとするものである。

ところでこの従来技術では、円柱状の第1ガラス部材上に第1金属箔を配置して、これに第2ガラス管を被嵌させてこれを加熱溶融して収縮させ、また、この第2ガラス管上に第2金属箔を配置した後に、第3ガラス部材(封止部)を被嵌させて溶融収縮して密着させるという複雑な作業が層を重ねるごとに何度も行われるという問題がある。
また、分電板を電極芯線より小さくできないために、第1ガラス部材の大きさが制約を受け、金属箔を多層に配置しようとすると、これに被嵌する多重のガラス管が順次増径して封止部の外径が大きくなってしまい、ランプをミラーに入れた場合に光のけられが大きくなり、照度低下を招き光学特性に悪影響を与えるという不具合もある。

概要

封止部形状を大型化することなく、多数枚の金属箔を封止できて、ランプの大出力化に対応できるようにするとともに、封止部の封止作業も一度の溶融封止作業で済むようにした高圧放電ランプの構造を提供する。封止部マウント10は、電極芯線12に電気的に接続された第1の導電部材16と、外部リード13に電気的に接続された第2の導電部材17が対向配置され、当該導電部材の対向する端面には、複数段平坦階段形状の箔接続部が形成されており、金属箔32、33、34は、前記導電部材の箔接続部で溶接接続されるとともに、前記金属箔の間には矩形状のスペーサガラス42、43、44が介在するものであり、前記封止部マウントが封止部内において封止されていることを特徴とする。

目的

この発明が解決しようとする課題は、内部に一対の電極が配置された発光部とその両端の封止部とからなる発光管を有し、前記封止部の内部に埋設された金属箔により電極芯線と封止部の外方に導出された外部リードとを電気的に接続してなる高圧放電ランプにおいて、封止部形状を大型化することなく、多数枚の金属箔を封止できて、ランプの大出力化に対応できるようにするとともに、封止部の封止作業も一度の溶融封止作業で済むようにした高圧放電ランプの構造を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

内部に一対の電極が配置された発光部とその両端の封止部とからなる発光管を有し、前記封止部の内部に埋設された金属箔により電極芯線と封止部の外方に導出された外部リードとを電気的に接続してなる高圧放電ランプにおいて、前記封止部内には封止部マウントが配置されており、当該封止部マウントは、前記電極芯線に電気的に接続された第1の導電部材と、前記外部リードに電気的に接続された第2の導電部材が対向配置され、前記第1と第2の導電部材の対向する端面には、複数段階段形状の箔接続部が形成されており、前記金属箔は、前記第1と第2の導電部材の箔接続部で溶接接続されるとともに、前記金属箔の間には矩形状のスペーサガラスが介在するものであり、前記封止部マウントが封止部内において封止されていることを特徴とする高圧放電ランプ。

請求項2

前記第1と第2の導電部材の中央部に形成された開口にガラス製の連結部材が挿入され、該連結部材により前記第1と第2の導電部材の位置決めを行うことを特徴とする請求項1に記載の高圧放電ランプ。

請求項3

前記導電部材における階段状の箔接続部は、中央部に近づくにつれて軸方向の突出量が大きくなっていることを特徴とする請求項1に記載の高圧放電ランプ。

請求項4

前記導電部材における階段状の箔接続部は、一方向に向かうほど軸方向の突出量が大きくなっていて、前記第1の導電部材と第2の導電部材は、突出量が最も小さな箔接続部と最も大きな箔接続部とが対向するように配置されていることを特徴とする請求項1に記載の高圧放電ランプ。

請求項5

前記箔接続部は、軸方向と直交する平面において、中央側が、上下端側よりも幅が大きくなっていることを特徴とする請求項1に記載の高圧放電ランプ。

請求項6

前記箔接続部は、軸方向と直交する平面において、略円形状であることを特徴とする請求項5に記載の高圧放電ランプ。

請求項7

前記金属箔は、軸方向と直交する平面において、中央側に位置するものが、上下端側に位置するものより幅が大きくなっていることを特徴とする請求項5または請求項6に記載の高圧放電ランプ。

請求項8

前記スペーサガラスは、その軸方向の両端部に切欠き部が形成されていて、前記箔接続部が前記切欠き部に嵌入していることを特徴とする請求項1に記載の高圧放電ランプ。

請求項9

前記第1と第2の導電部材の表面がロジウムメッキされていることを特徴とする請求項1に記載の高圧放電ランプ。

技術分野

0001

この発明は高圧放電ランプに関し、特に、封止部内埋設された金属箔によって給電される高圧放電ランプに係わるものである。

背景技術

0002

従来から、半導体基板液晶ディスプレイ用液晶基板露光するのに使用する露光装置紫外線光源として、高圧放電ランプが使用されている。
この種の高圧放電ランプでは、発光管連設された封止部内で、電極芯線外部リードとを集電ディスクを介して金属箔により電気的に接続する構造のものが多用されている。
即ち、円柱状のガラス部材の周囲に金属箔を複数枚配設して、これを封止部で溶着封止する構造が採用されている。
近時においては、ランプ大電力化に応じて、金属箔の枚数を増やすことが求められていて、例えば、実開平6−60960号公報(特許文献1)で、封止部内の円柱状の封止用ガラス体の周囲に多数枚の金属箔を配置する構造が知られている。
この構造では、大電力化に応じて金属箔の枚数を増やすものであるが、そのためには封止用ガラス体の直径を大きくすることが必要となり、その結果封止部の直径が大型化してしまうという問題がある。

0003

このように、円柱状の封止用ガラス体の外周に配置した金属箔の枚数を増やすことには限界があり、この問題に対処すべく、多層構造に金属箔を配置することが提案されている。
特開2018−37320号公報(特許文献2)では、ガラス部材を多層構造として、これらガラス部材間に金属箔を配置することが開示されていて、図11にその概略が示されている。
図11において、電極芯線110に接続された電極側第1分電板〜第3分電板111、112、113と、外部リード120に接続された外側第1〜3分電板121、122、123とを有し、円柱状の第1ガラス部材130の周囲に配置された第1金属箔141は電極側第1分電板111と外側第1分電板121に接続されている。

0004

その第1金属箔141を挟んで第1ガラス部材130の周囲には円筒状の第2ガラス部材131が被嵌され、更にその周囲には第2金属箔142が配置されて電極側第2分電板112と外側第2分電板122に接続されている。
同様に、第2ガラス部材131の外周には第3金属箔143が配置されており、その外周が封止部150によって溶融封止されている。
この構造により、第1金属箔141、第2金属箔142と第3金属箔143が同心状に多層(この例では3層)に配置されていて、大電力化に対応して多数枚の金属箔を備えたランプを実現しようとするものである。

0005

ところでこの従来技術では、円柱状の第1ガラス部材上に第1金属箔を配置して、これに第2ガラス管を被嵌させてこれを加熱溶融して収縮させ、また、この第2ガラス管上に第2金属箔を配置した後に、第3ガラス部材(封止部)を被嵌させて溶融収縮して密着させるという複雑な作業が層を重ねるごとに何度も行われるという問題がある。
また、分電板を電極芯線より小さくできないために、第1ガラス部材の大きさが制約を受け、金属箔を多層に配置しようとすると、これに被嵌する多重のガラス管が順次増径して封止部の外径が大きくなってしまい、ランプをミラーに入れた場合に光のけられが大きくなり、照度低下を招き光学特性に悪影響を与えるという不具合もある。

先行技術

0006

実開平6−60960号公報
特開2018−37320号公報

発明が解決しようとする課題

0007

上記従来技術の問題点に鑑みて、この発明が解決しようとする課題は、内部に一対の電極が配置された発光部とその両端の封止部とからなる発光管を有し、前記封止部の内部に埋設された金属箔により電極芯線と封止部の外方に導出された外部リードとを電気的に接続してなる高圧放電ランプにおいて、封止部形状を大型化することなく、多数枚の金属箔を封止できて、ランプの大出力化に対応できるようにするとともに、封止部の封止作業も一度の溶融封止作業で済むようにした高圧放電ランプの構造を提供することである。

課題を解決するための手段

0008

上記課題を解決するために、この発明に係る高圧放電ランプでは、前記封止部内には封止部マウントが配置されており、当該封止部マウントは、前記電極芯線に電気的に接続された第1の導電部材と、前記外部リードに電気的に接続された第2の導電部材が対向配置され、前記第1と第2の導電部材の対向する端面には、複数段階段形状の箔接続部が形成されており、前記金属箔は、前記第1と第2の導電部材の箔接続部で溶接接続されるとともに、前記金属箔の間には矩形状のスペーサガラスが介在するものであり、前記封止部マウントが封止部内において封止されていることを特徴とする。

0009

また、前記第1と第2の導電部材の中央部に形成された開口にガラス製の連結部材が挿入され、該連結部材により前記第1と第2の導電部材の位置決めを行うことを特徴とする。
また、前記導電部材における階段状の箔接続部は、中央部に近づくにつれて軸方向の突出量が大きくなっていることを特徴とする。
また、前記導電部材における階段状の箔接続部は、一方向に向かうほど軸方向の突出量が大きくなっていて、前記第1の導電部材と第2の導電部材は、突出量が最も小さな箔接続部と最も大きな箔接続部とが対向するように配置されていることを特徴とする。

0010

また、前記箔接続部は、軸方向と直交する平面において、中央側が、上下端側よりも幅が大きくなっていることを特徴とする。
また、前記箔接続部は、軸方向と直交する平面において、略円形状であることを特徴とする。
また、前記金属箔は、軸方向と直交する平面において、中央側に位置するものが、上下端側に位置するものより幅が大きくなっていることを特徴とする。
また、前記スペーサガラスは、その軸方向の両端部に切欠き部が形成されていて、前記箔接続部が前記切欠き部に嵌入していることを特徴とする。
また、前記第1と第2の導電部材の表面がロジウムメッキされていることを特徴とする。

発明の効果

0011

この発明によれば、対向配置された第1と第2の導電部材の対向端面に形成された複数段の箔接続部に金属箔を溶接して、第1と第2の導電部材間に張渡し、隣接する金属箔の間に矩形状のスペーサガラスを介在させた封止部マウントを封止部内で封止したので、封止部を大型化することなく多数枚の金属箔を配置でき、ランプの大電力化に適用できるものである。
しかも、多数枚の金属箔を組み込んだ封止部マウントを一度の溶融封止作業で封止できるという大きな利点がある。

図面の簡単な説明

0012

本発明の第1実施例の斜視図(A)とその分解斜視図(B)。
図1の第1実施例の側断面図。
第1実施例の封止部マウントの断面図(A)と,導電部材の斜視図(B)および側面図(C)。
封止部マウントの組み立て工程図(A〜C)。
第2実施例の斜視図(A)と,導電部材の斜視図(B),正面図(C)および側面図(D)。
第3実施例の斜視図(A)と,導電部材の正面図(B)および側面図(C)。
第4実施例の断面図(A)と,導電部材の斜視図(B)および側面図(C)。
第5実施例の斜視図(A)および断面図(B)。
第6実施例の分解斜視図(A)とスペーサガラスと導電部材の組み立て説明図(B,C)。
本発明の高圧放電ランプの側断面図(A)および平断面図(B)。
従来技術の断面図。

実施例

0013

図1は、本発明の第1実施例の構造を示し、(A)は斜視図であり、(B)はその一部分解斜視図であり、図2はその側断面図である。
図1、2に電極が組み込まれた電極マウント10が示されており、先端に電極11と、後端に外部リード13が設けられている。
図2に最もよく示されるように、電極11の芯線12の後端と、外部リード13の先端には封止部マウント15が配置されている。
この封止部マウント15は、モリブデンなどからなる第1の導電部材16と第2の導電部材17を有している。第1の導電部材16の端部に形成された芯線挿入孔18には電極芯線12が挿入され、第2の導電部材17の端部に形成された外部リード挿入孔19には外部リード13が挿入されている。
なお、電極芯線12には芯線用ガラス筒体21が嵌合装着され、外部リード13には外部リード用ガラス筒体22が嵌合装着されている。

0014

第1の導電部材16および第2の導電部材17の互いに対向するそれぞれの端面には、複数段の平坦階段形状の箔接続部23、23と箔接続部24、24が形成されており、両箔接続部23、24は互いに対向して配置される。
この実施例では、前記導電部材16、17における階段状の箔接続部23、24は、中央部に近づくにつれて軸方向の突出量が大きくなっている。
図3(A)〜(C)に詳細が示されるように、対向する第1の導電部材16の箔接続部23と第2の導電部材17の箔接続部24には多数枚のモリブデンなどからなる金属箔30(31〜34)が溶接接続されて両箔接続部23、24間に張り渡されている。
そして、これら金属箔30の間には、石英ガラスなどからなる矩形状のスペーサガラス40(41〜44)が介在されている。このスペーサガラス40は、中央部のスペーサガラス41を除いて、導電部材16、17の箔接続部23、24上に、金属箔30を挟むようにして載置されていて、その厚さは、階段形状の箔接続部23、24の高さとほぼ等しい厚さとされている。
これら、第1および第2の導電部材16、17と、金属箔30およびスペーサガラス40とによって封止部マウント15が構成されている。
なお、図3(B)(C)には、一方の第2の導電部材17のみが示されているが、第1の導電部材16も同様の構造である。

0015

封止部マウント15の組み立て方の一例が図4に示されている。
第1の導電部材16と第2の導電部材17の中央の箔接続部23、24間に第1のスペーサガラス41を位置させて、その上下の階段状箔接続部23、24およびスペーサガラス41上に金属箔31を載置させる。このとき、適宜の支持部材50を第1のスペーサガラス41および金属箔31に下方から当接させてこられを支持する。
その状態で、金属箔31の端部を箔接続部23、24に溶接する(A)。

0016

次いで、第1のスペーサガラス41および金属箔31を挟むようにして、第2のスペーサガラス42を箔接続部23、24の上に載置し、その上に金属箔32を載せる。
ここで、金属箔32の端部を箔接続部23、24に溶接する(B)。
以後この作業を繰り返し、最終的には、第4のスペーサガラス44を箔接続部23、24に載せ、金属箔34をその上に配置し、その両端部を第1の導電部材16および第2の導電部材17に溶接する(C)。
こうして、図3(A)に示すような、第1の導電部材16と第2の導電部材17間に支持された複数のスペーサガラス40とその間に挟まれた複数枚の金属箔30とを有する封止部マウント15が完成する。
なお、この実施例では、金属箔30は8枚の例が示されているが、その枚数は必要とされる電流値に応じて決定される。

0017

図5には他の第2実施例が示されていて、図1〜4の第1実施例における封止部マウント15の形状が、軸方向に直交する断面視で四角形状であったものが、図5の第2実施例では、八角形状をなしている。
図5(B)〜(C)には一方の第2の導電部材17のみが示されており、階段状の箔接続部24は、上下方向の中央部で幅広とされ、上下方向端部側で幅狭とされていて、その形状は全体として八角形状である。なお、当然図5(A)に示される第1の導電部材16も同様な構造である。
このような箔接続部24の形状に合わせて、スペーサガラス40もその形状が変化しており、中央部で幅広であり、上下方向端部側では幅狭とされている。
また、スペーサガラス40に載置される金属箔30(不図示)の幅も、中央部に位置するものが幅広とされ、上下方向端側に位置するものが幅狭とされている。

0018

図6の第3実施例では、導電部材16、17の形状が略円形形状をなしている。図6(B)に示すように、箔接続部24は上下方向の中央部で最も幅広で、上下方向に向かうほど幅狭となり、全体として略円形形状とされている。
上記図5の第2実施例や図6の第3実施例のような形状とすることで、封止部マウント15を封止部内で封止する際に、封止部の円筒断面形状と形状が略一致していることで、封止工程で適切な封止ができるとともに、封止作業が無理なく円滑に行われるという効果がある。

0019

図7に他の第4の実施例が示されていて、この実施例では、第1と第2の導電部材が連結部材によって連結されて位置決めされるものである。
図7において、第1と第2の導電部材16、17の対向する端面の中央に位置決め用の開口51、52が形成されている。この開口51、52は、図7(B)(C)に示すようなスリット形状であってもよいし、4角形状の穴であってもよい。
図7(A)に示すように、第1の導電部材16の開口51と第2の導電部材17の開口52には、石英ガラス製などの連結部材53が挿入されており、これにより両導電部材16、17は位置決めがされている。
この連結部材53により、第1と第2の導電部材16、17が位置決め固定されるので、その後のスペーサガラス40と金属箔30の積層作業が円滑に行われるという利点がある。

0020

図8には更に他の第5実施例が示されており、第1および第2の導電部材16、17に形成する箔接続部23、24の形状が上記の各実施例と異なる。
この実施例では、階段状の箔接続部23、24は、上下方向の一方向に向かうほど、軸方向への突出量が大きくなっている。そして、第1の導電部材16と第2の導電部材17は、それぞれ突出量が最も小さな箔接続部23と最も大きな箔接続部24とが対向するように配置されている。
このような構成とすることで、スペーサガラス40は全て同じ形状、同じ大きさのものを使用することができる。

0021

図9には更に他の第6実施例が示されている。この実施例では、スペーサガラス40にはその軸方向の両端部に切欠き部45が形成されている。この切欠き部45は、図9(B)(C)に示すように、第1および第2の導電部材16、17の箔接続部23、24が嵌入できる大きさである。
組み立て作業時には、スペーサガラス40をその切欠き部45が箔接続部23、24に係合するように上方から箔接続部23、24に載置する。
この形状により、スペーサガラス40が移動することなく、箔接続部23、24から妄りにずれたり落下したりすることが防止され、作業性が向上する。

0022

ところで、上記いずれの実施例においても、第1の導電部材16と第2の導電部材17は、その表面にロジウムメッキを施こすことが好適である。このロジウムメッキにより、封止部での封止に際して発光管材料である石英ガラスなどのガラスが導電部材16、17に溶着することを防止できる。

0023

以上の封止部マウント15を組み込んで封止した高圧放電ランプ1が図10(A)(B)に示されている。
高圧放電ランプ1は、発光部2とその両端の封止部3、3とからなる発光管4を有し、発光部2内には一対の陰極5と陽極6(図2の説明では参照番号11で示される)が配置されている。両端の封止部3、3内には、封止部マウント15、15が配置され封止されている。
封止部マウント15には一端にそれぞれ電極5、6が接続され、他端にはそれぞれ外部リード13、13が接続されていて、外部リード13は封止部マウント15の金属箔30によって電極5、6と電気的な接続がなされる。
そして、封止部マウント15を前述した各実施例のように構成することで、封止部の径を大きくすることなく金属箔を多数枚配置することができ、ランプの大電力化に効果的な対応をすることができるとともに、封止部での封止部マウントの一度の封止工程で済むという利点もある。

0024

1 :高圧放電ランプ
2 :発光部
3 :封止部
4 :発光管
5 :陰極
6 :陽極
10:封止部マウント
11:電極
12:芯線
13:外部リード
15:封止部マウント
16:第1の導電部材
17:第2の導電部材
18:芯線挿入孔
19:外部リード挿入孔
23:(第1の導電部材の)箔接続部
24:(第2の導電部材の)箔接続部
30:金属箔(31〜34)
35:切欠
40:スペーサガラス(41〜44)
51:(第1の導電部材の)置決め用の開口
52:(第2の導電部材の)置決め用の開口
53:連結部材

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