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技術 対象物支持装置

出願人 株式会社エーエス
発明者 早川政光
出願日 2018年8月23日 (2年4ヶ月経過) 出願番号 2018-156046
公開日 2020年2月27日 (10ヶ月経過) 公開番号 2020-029916
状態 未査定
技術分野 防振装置
主要キーワード リンク連結軸 テーブル支持機構 直線傾斜 案内ブロック 非線形ばね特性 左リンク 支持特性 右リンク
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図面 (20)

課題

簡単な構造でさらに免震機能を向上させた対象物を支持する対象物支持装置を提供しようとする。

解決手段

従来のテーブル支持機構にかわって、前記基台に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、一方の端部を前記テーブルに回転自在に固定され他方の端部を前記案内ブロックに回転自在に固定される左右一対のリンクと、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材とを有し、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、ものとした。

概要

背景

平方向の対象物支持装置(例えば、免震テーブル)として、従来より、いくつかの構成のものが考案されている。水平方向の免震テーブルは比較的容易に実現できる。免震テーブルに支えられる対象物の重量が、X−Yテーブルやベアリング等により支えられているため水平方向のばね定数を比較的小さく設定して地震時に水平加速度振動応答できる。例えば、ベアリング等の機構垂直方向荷重を支え、水平方向の振動に対する抵抗力を抑制し、免震作用を効果的に発揮できる。

一方、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、簡易な構成、かつ、低コストで実現できるものが要請されている。

地震の波には様々な周期を持った波が重なっており、その中でも周期が0.5〜1.0秒程度の波の成分が卓越している。対象物支持装置の上下方向の固有周期を1秒より大きくすることで、対象物支持装置の地震波に対する共振を避けて、免震効果を大きくすることができる。対象物支持装置の上下方向の固有周期を1秒、2秒、3秒、5秒と大きくするほど免震効果が大きくなる。少なくとも2秒程度にすることが好ましい。

対象物支持装置の上下方向の固有周期を2秒程度にするためには、上下方向のばねを柔らかくすることが必要である。ここで、対象物支持装置の上下方向の固有周期を2秒程度にするためには、ばね定数が一定である場合、対象物の質量に関わらず、約1mの静的たわみが必要となることが分かっている。これは、無負荷の状態の免震装置に対象物を静かに乗せると約1m程度沈んでつりあい、この静的つりあい位置を中心に上下振動して免震効果を発揮する。対象物支持装置は、高さが1m〜数十cm程度になる。免震装置の上下方向の固有周期を3秒、5秒にすると、さらに静的たわみが大きくなる。

特に、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、一定の荷重に対しては静的たわみが極めて小さく、一定の荷重以上になると軟らかいばね定数をもつ非線形ばね特性をもつ免震装置が好ましい。
例えば、対象物をテーブルに置くと、一つの位置まで静的にたわみ、その静的吊りあい位置で静的に吊りあう。地震が発生すると、静的吊りあい位置を中心に上下に振動する。

本願出願人、他は、「対象物が載置され基台に対して上下動するテーブルと、このテーブルと前記基台との間に設置され、前記テーブルの上下動に応じて上下方向のバネ力を生じる上下方向バネ部材と、前記テーブルと前記基台とを連結し、前記テーブルの上下動に伴って水平方向に沿って可動する水平可動部を有する連結部材と、この連結部材の前記水平可動部に係合され、当該水平可動部の可動に応じて水平方向にバネ力を生じる水平方向バネ部材と、を備え、前記連結部材は、前記テーブルの上下動に伴って相互間の距離が変化する前記水平可動部をそれぞれ備えた一対のリンク部材を備えると共に、当該一対のリンク部材は、それぞれの一端部が前記テーブルに回動自在に係合され、前記水平方向バネ部材は、その両端が前記各水平可動部にそれぞれ連結されている、ことを特徴とする免震装置。」を考案した。
市場は、本願出願人が考案した対象物支持装置の免震機能をさらに向上させることを望んでいる。

概要

簡単な構造でさらに免震機能を向上させた対象物を支持する対象物支持装置を提供しようとする。 従来のテーブル支持機構にかわって、前記基台に対して特定水平軸に沿って離れて配される左右一対案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、一方の端部を前記テーブルに回転自在に固定され他方の端部を前記案内ブロックに回転自在に固定される左右一対のリンクと、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿ってばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材とを有し、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、ものとした。

目的

また、一方の端部が上方の端部である場合に右軌道の右曲率中心と左軌道の左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置し、または一方の端部が下方の端部である場合に右軌道の右曲率中心と左軌道の左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する様にしたので、前記軌道の曲率半径を長くでき、長周期化を目的とする

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

対象物を支持する対象物支持装置であって、対象物を乗せられるテーブルと、基礎に支持される基台と、前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、を備え、前記テーブル支持機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクを持つリンク機構と、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、を有し、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、ことを特徴とする対象物支持装置。

請求項2

左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると、遷移するに従って前記リンクの上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部のある側に偏る様に延びる、ことを特徴とする請求項1に記載の対象物支持装置。

請求項3

左右一対の前記軌道が凹んだ曲線に沿って延びる、ことを特徴とする請求項2に記載の対象物支持装置。

請求項4

左右一対の前記軌道が凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる、ことを特徴とする請求項3に記載の対象物支持装置。

請求項5

左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点呼称するとき、一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置し、一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちの一つに記載の対象物支持装置。

請求項6

左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称するとき、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として右側に位置する、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちの一つに記載の対象物支持装置。

請求項7

左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちの一つに記載の対象物支持装置。

請求項8

左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちの一つに記載の対象物支持装置。

請求項9

左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちの一つに記載の対象物支持装置。

請求項10

左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちの一つに記載の対象物支持装置。

請求項11

前記テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、を有し、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちの一つに記載の対象物支持装置。

請求項12

N個のテーブル支持機構と、を備え、上から見てN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持し、前記上下方向ばね部材が上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである、ことを特徴とする請求項1乃至請求項4のうちの一つに記載の対象物支持装置。

請求項13

対象物を支持する対象物支持装置であって、対象物を乗せられるテーブルと、基礎に支持される基台と、基台を基礎として前記テーブルを支持するN個のテーブル支持機構と、を備え、前記テーブル支持機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクを持つリンク機構と、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、を有し、上から見てN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持し、前記上下方向ばね部材が上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである、ことを特徴とする対象物支持装置。

請求項14

前記テーブル支持機構が前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構とを有し、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方に形成された凹凸が前記テーブルと前記基台との他方に形成される凹凸に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である、ことを特徴とする請求項13に記載の対象物支持装置。

技術分野

0001

本発明は、対象物を支持する対象物支持装置に係る。特に、上下方向の振動に対する免震機能に注目した対象物支持装置に関する。

背景技術

0002

平方向の対象物支持装置(例えば、免震テーブル)として、従来より、いくつかの構成のものが考案されている。水平方向の免震テーブルは比較的容易に実現できる。免震テーブルに支えられる対象物の重量が、X−Yテーブルやベアリング等により支えられているため水平方向のばね定数を比較的小さく設定して地震時に水平加速度振動に応答できる。例えば、ベアリング等の機構垂直方向荷重を支え、水平方向の振動に対する抵抗力を抑制し、免震作用を効果的に発揮できる。

0003

一方、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、簡易な構成、かつ、低コストで実現できるものが要請されている。

0004

地震の波には様々な周期を持った波が重なっており、その中でも周期が0.5〜1.0秒程度の波の成分が卓越している。対象物支持装置の上下方向の固有周期を1秒より大きくすることで、対象物支持装置の地震波に対する共振を避けて、免震効果を大きくすることができる。対象物支持装置の上下方向の固有周期を1秒、2秒、3秒、5秒と大きくするほど免震効果が大きくなる。少なくとも2秒程度にすることが好ましい。

0005

対象物支持装置の上下方向の固有周期を2秒程度にするためには、上下方向のばねを柔らかくすることが必要である。ここで、対象物支持装置の上下方向の固有周期を2秒程度にするためには、ばね定数が一定である場合、対象物の質量に関わらず、約1mの静的たわみが必要となることが分かっている。これは、無負荷の状態の免震装置に対象物を静かに乗せると約1m程度沈んでつりあい、この静的つりあい位置を中心に上下振動して免震効果を発揮する。対象物支持装置は、高さが1m〜数十cm程度になる。免震装置の上下方向の固有周期を3秒、5秒にすると、さらに静的たわみが大きくなる。

0006

特に、上下方向の振動に対する対象物支持装置は、一定の荷重に対しては静的たわみが極めて小さく、一定の荷重以上になると軟らかいばね定数をもつ非線形ばね特性をもつ免震装置が好ましい。
例えば、対象物をテーブルに置くと、一つの位置まで静的にたわみ、その静的吊りあい位置で静的に吊りあう。地震が発生すると、静的吊りあい位置を中心に上下に振動する。

0007

本願出願人、他は、「対象物が載置され基台に対して上下動するテーブルと、このテーブルと前記基台との間に設置され、前記テーブルの上下動に応じて上下方向のバネ力を生じる上下方向バネ部材と、前記テーブルと前記基台とを連結し、前記テーブルの上下動に伴って水平方向に沿って可動する水平可動部を有する連結部材と、この連結部材の前記水平可動部に係合され、当該水平可動部の可動に応じて水平方向にバネ力を生じる水平方向バネ部材と、を備え、前記連結部材は、前記テーブルの上下動に伴って相互間の距離が変化する前記水平可動部をそれぞれ備えた一対のリンク部材を備えると共に、当該一対のリンク部材は、それぞれの一端部が前記テーブルに回動自在に係合され、前記水平方向バネ部材は、その両端が前記各水平可動部にそれぞれ連結されている、ことを特徴とする免震装置。」を考案した。
市場は、本願出願人が考案した対象物支持装置の免震機能をさらに向上させることを望んでいる。

発明が解決しようとする課題

0008

本発明は以上に述べた問題点に鑑み案出されたもので、簡単な構造でさらに免震機能を向上させた対象物を支持する対象物支持装置を提供しようとする。

課題を解決するための手段

0009

上記目的を達成するため、本発明に係る対象物を支持する対象物支持装置を、対象物を乗せられるテーブルと、基礎に支持される基台と、前記基台を基礎として前記テーブルを支持するテーブル支持機構と、を備え、前記テーブル支持機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクと、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、を有し、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる、ものとした。

0010

上記本発明の構成により、テーブルが、対象物を乗せられる。基台が、基礎に支持される。テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルを支持する。前記テーブル支持機構の水平移動案内機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ。前記テーブル支持機構の上下方向ばね部材が、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる。前記テーブル支持機構の左右一対のリンクが、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。前記テーブル支持機構の水平方向ばね部材が、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。前記テーブル支持機構の上下移動案内機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する。左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
その結果、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。

0011

以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持装置を説明する。本発明は、以下に記載した実施形態のいずれか、またはそれらの中の二つ以上が組み合わされた態様を含む。

0012

また、左右一対の前記軌道が特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると、遷移するに従って前記リンクの上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部のある側に偏る様に延びる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると、遷移するに従って前記リンクの上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部のある側に偏る様に延びる。
その結果、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。

0013

また、左右一対の前記軌道が凹んだ曲線に沿って延びる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記軌道が凹んだ曲線に沿って延びる。
その結果、左右一対の軌道の曲線の曲る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。

0014

また、左右一対の前記軌道が凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記軌道が凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる。
その結果、左右一対の軌道の曲線の曲率を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。

0015

左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点呼称するとき、一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置し、一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する、
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称する。一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置する。一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心と左右一対の前記軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する。
その結果、前記軌道の曲率半径を長くでき、長周期化を目的とする設計の自由度が増える。

0016

また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称するとき、左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として右側に位置する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点と呼称する。左右一対の前記軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として右側に位置する。
その結果、軌道の傾斜する程度を大きくすることができ、設計の自由度が増える。

0017

また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる。
その結果、設計の自由度が増える。

0018

また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、
左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する。
その結果、設計の自由度が増える。

0019

また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。
その結果、設計の自由度が増える。

0020

また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差し、左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
上記本発明に係る実施形態の構成により、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する。左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される。
その結果、設計の自由度が増える。

0021

また、前記テーブル支持機構が、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構と、を有し、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する。
その結果、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。

0022

上記目的を達成するため、本発明に係る対象物を支持する対象物支持装置を、対象物を乗せられるテーブルと、基礎に支持される基台と、基台を基礎として前記テーブルを支持するN個のテーブル支持機構と、を備え、前記テーブル支持機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ水平移動案内機構と、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる上下方向ばね部材と、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される左右一対のリンクと、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる水平方向ばね部材と、を有し、上から見てN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持し、前記上下方向ばね部材が上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである、ものとした。

0023

上記本発明の構成により、テーブルが、対象物を乗せられる。基台が、基礎に支持される。N個のテーブル支持機構が、基台を基礎として前記テーブルを支持する。上から見てN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持する。前記テーブル支持機構の水平移動案内機構が、前記テーブルまたは前記基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸に沿って離れて配される左右一対の案内ブロックと左右一対の該案内ブロックを該特定水平軸に沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レールとを持つ。前記テーブル支持機構の上下方向ばね部材が、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させる。前記テーブル支持機構の左右一対のリンクが、上方の端部または下方の端部のうち一方の端部を前記テーブルまたは前記基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を前記案内ブロックに回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。前記テーブル支持機構の水平方向ばね部材が、左右一対のリンクに前記特定水平軸に沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。前記上下方向ばね部材が上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである。
その結果、N個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。

0024

また、前記テーブル支持機構が前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する上下移動案内機構とを有し、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方に形成された凹凸が前記テーブルと前記基台との他方に形成される凹凸に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である。
上記本発明に係る実施形態の構成により、前記上下移動案内機構が、前記テーブルと前記基台との一方に形成された凹凸が前記テーブルと前記基台との他方に形成される凹凸に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である。
その結果、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。

発明の効果

0025

以上説明したように本発明に係る対象物支持装置は、その手順と構成により、以下の効果を有する。
前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンクの一方の端部が前記テーブルまたは前記基台の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の案内ブロックが左右一対の軌跡に沿って案内され、左右一対のリンクに互いに接近する向きにばね力を作用させ、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記軌道が前記特定水平軸に沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って前記リンクの一方の端部のある側に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道の上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記軌道が凹んだ曲線に沿って延びる様にしたので、左右一対の軌道の曲線の曲る程度を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記軌道が凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる様にしての、左右一対の軌道の曲線の曲率を選択することでテーブル支持機構の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、一方の端部が上方の端部である場合に右軌道の右曲率中心と左軌道の左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として上方に位置し、または一方の端部が下方の端部である場合に右軌道の右曲率中心と左軌道の左曲率中心とが前記仮想交差点を上下の境として下方に位置する様にしたので、前記軌道の曲率半径を長くでき、長周期化を目的とする設計の自由度が増える。
また、右軌道の右曲率中心が前記仮想交差点を左右の境として左側に位置し、左軌道の左曲率中心が前記仮想交差点を境として右側に位置する様にしたので、軌道の傾斜する程度を大きくすることができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクの各々の前記一方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対の前記リンクが各々の前記一方回転中心と前記他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される様にしたので、設計の自由度が増える。
また、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
また、前記基台を基礎として前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、前記基台を基礎として前記テーブルに上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンクの一方の端部が前記テーブルまたは前記基台の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸に添って離れた左右一対の案内ブロックに回転自在に固定され、左右一対の案内ブロックが左右一対の軌跡に沿って案内され、左右一対のリンクに互いに接近する向きにばね力を作用させるN個のテーブル支持機構が前記テーブルを囲う様に配されて前記テーブルを各々に支持し、前記上下方向ばね部材が上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである様にしたので、N個のテーブル支持機構の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
また、前記テーブルと前記基台との一方が前記テーブルと前記基台との他方に嵌合し、前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造で前記テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
従って、簡単な構造でさらに免震機能を適合させた対象物を支持する免震装置を提供できる。

図面の簡単な説明

0026

本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力の比較グラフである。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1である。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1の側面図である。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1の平面図である。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の側面断面図である。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の部分詳細図である。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の部分詳細図である。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の部分詳細図である。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の平面図である。
従来の対象物支持装置の概念図である。

実施例

0027

以下、本発明を実施するための最良の形態を、図面を参照して説明する。

0028

最初に、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図1は、本発明の第一の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

0029

対象物支持装置は、対象物を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持して、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

0030

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100は、対象物10を乗せるものである。
基台200は、基礎に支持されるものである。
テーブル支持機構300は、基台200を基礎としてテーブル100を支持する機構である。
以下に、テーブル支持機構300の構造を説明する。

0031

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320と左右一対のリンク機構330と水平方向ばね部材340とで構成される。
テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320と左右一対のリンク機構330と水平方向ばね部材340と上下移動案内機構350とで構成されてもよい。

0032

水平移動案内機構310は、テーブルまたは基台の他方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸xに沿って離れて配される左右一対の案内ブロック311と左右一対の案内ブロック311を特定水平軸xに沿って延びる左右一対の軌道gに沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レール312とで構成される。
例えば、水平移動案内機構310は、基台200に設けられ、基台200に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸xに沿って離れて配される左右一対の案内ブロック311と左右一対の案内ブロック311を特定水平軸xに沿って延びる左右一対の軌道gに沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レール312とで構成される。
例えば、水平移動案内機構310は、テーブル100に設けられ、テーブル100に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸xに沿って離れて配される左右一対の案内ブロック311と左右一対の案内ブロック311を特定水平軸xに沿って延びる左右一対の軌道gに沿って各々に移動自在に案内する左右一対の案内レール312とで構成される。
軌道gの形状については、後述する。
図1は、水平移動案内機構310が基台200に設けられる様子を示す。

0033

上下方向ばね部材320は、基台200を基礎としてテーブル100に上向きのばね力を発生させる部材である。
上下方向ばね部材320は、設計上選択されたばね定数をもつ。
上下方向ばね部材320は、圧縮ばねでもよい。
例えば、圧縮ばねは、下端を基台200に連結され、上端をテーブル100に連結され、上向きの圧縮力をテーブ100に作用させる。
上下方向ばね部材320は、引張ばねでもよい。
例えば、引張ばねは、下端をテーブル100に連結され、上端を基台に連結され、上向きの引張力をテーブル100に作用させる。
図1は、圧縮ばねがテーブル100と基台200との間に設けられる様子を、模式的に示す。

0034

リンク機構330は、左右一対のリンク331で構成される。
リンク機構330は、左右一対のリンク331と一方連結軸332uと他方連結軸332dとで構成されてもよい。
例えば、左右一対のリンク331は、右リンク331rと左リンク331lとで構成される。
左右一対のリンク331は、上方の端部または下方の端部のうちの一方の端部をテーブルまたは基台の一方に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され、上方の端部または下方の端部のうちの他方の端部を案内ブロック311に回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。
例えば、水平移動案内機構310が基台200に設けられるとき、左右一対のリンク331は、上方の端部である一方の端部をテーブル100に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され、下方の端部である他方の端部を案内ブロック311に回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。
一方連結軸332uが、リンクの一方の端部を回転自在にテーブル100に連結し、他方連結軸332dがリンクの他方の端部を案内ブロック311に回転自在に連結する。
例えば、水平移動案内機構310がテーブル100に設けられるとき、左右一対のリンク331は、下方の端部である一方の端部を基台200に回転中心である一方回転中心の回りに回転自在に固定され、上方の端部である他方の端部を案内ブロック311に回転中心である他方回転中心の回りに回転自在に固定される。
一方連結軸332uが、リンクの一方の端部を回転自在に基台200に連結し、他方連結軸332dがリンクの他方の端部を案内ブロック311に回転自在に連結する。
図1は、左右一対のリンク331が、一方の端部をテーブル100に一方連結軸332uにより回転自在に連結され、他方の端部を他方連結軸322dにより基台200に設けられた水平移動案内機構310の案内ブロック311に他方連結軸332dにより回転自在に各々に連結される様子を示す。

0035

左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク331の各々の一方回転中心が一致してもよい。
図1は、左右一対のリンク331が、一方の端部をテーブル100に一方連結軸332uにより回転自在に連結され、他方の端部を左右一対の他方連結軸322dにより基台200に設けられた水平移動案内機構310の案内ブロック311に他方連結軸332dにより回転自在に各々に連結される様子を示す。

0036

水平方向ばね部材340は、左右一対のリンク331に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる部材である。
水平方向ばね部材340は、左右一対のリンク331の他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる部材であってもよい。
水平方向ばね部材340は、設計上選択されたばね定数をもつ。
水平方向ばね部材340は、圧縮ばねであってもよい。
例えば、一対の圧縮ばねが、左右一対のリンク331の他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
水平方向ばね部材340は、引張ばねであってもよい。
例えば、引張ばねが、左右一対のリンク331の他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、一対の引張ばねが、左右一対のリンク331の他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させてもよい。
例えば、引張ばねが、一方の端部を右リンク331rの他方の端部に連結され、他方の端部を左リンク331lの他方の端部に連結され、左右一対のリンク331の他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる。
水平方向ばね部材340は左右一対のリンク331に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に直接に作用させてもよい。
水平方向ばね部材340は左右一対のリンク331に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に案内ブロック311を介して作用させてもよい。
図1に、引張ばねが、一方の端部を右リンク331rの他方の端部に連結され、他方の端部を左リンク331lの他方の端部に連結され、左右一対のリンク331の他方の端部に特定水平軸xに沿って互いに接近する向きにばね力を各々に作用させる様子を示す。

0037

上下移動案内機構(図示せず)は、基台200を基礎としてテーブル100の相対的な左右移動を抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構である。
上下移動案内機構(図示せず)は、基台200を基礎としてテーブル100の相対的な左右移動と揺動運動とを抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構であってもよい。
上下移動案内機構(図示せず)は、基台200を基礎としてテーブル100の相対的な左右移動とピッチングローリングとを抑制し、上下方向に移動自在に案内する機構であってもよい。
上下移動案内機構(図示せず)は、ロッキングを防止する機能を加えられたものをロッキング防止機構とも呼称される。

0038

左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図1は、軌道gが、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向の一方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。

0039

次に、本発明の第二の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図2は、本発明の第二の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

0040

対象物支持装置は、対象物10を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

0041

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。

0042

左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に一定の比率で偏る様に延びてもよい。
図2は、軌道gが、直線状であり、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向方に一定の比率で偏る様に延びる様子を示す。

0043

次に、本発明の第三の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図3は、本発明の第三の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

0044

対象物支持装置は、対象物10を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

0045

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。

0046

左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道が凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道が下方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道が下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図3に、左右一対の軌道が下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Rがリンクの長さより長い様子が示される。

0047

ここで、説明の便宜上、左右一対のリンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Cと呼称する。
一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが仮想交差点Cを上下の境として上方に位置してもよい。
一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが仮想交差点Cを上下の境として下方に位置してもよい。
図3に、左右一対の軌道のうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが仮想交差点Cを上下の境にして上方に位置する様子を示される。

0048

次に、本発明の第四の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図4は、本発明の第四の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

0049

対象物支持装置は、対象物10を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

0050

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。

0051

左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道gが凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道gが上方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道gが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図4に、左右一対の軌道gが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Rがリンクの長さより長い様子が示される。

0052

ここで、説明の便宜上、左右一対のリンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Cと呼称する。
一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが軌道gを上下の境として下方に位置してもよい。
一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが軌道gを上下の境として上方に位置してもよい。
図4に、一方の端部が上方の端部であり、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが軌道gを上下の境として下方に位置する様子が示される。

0053

次に、本発明の第五の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図5は、本発明の第五の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

0054

対象物支持装置は、対象物10を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

0055

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。

0056

左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って下方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道gが凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道gが下方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道gが下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図5に、左右一対の軌道gが下方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Rがリンクの長さより長い様子が示される。

0057

ここで、説明の便宜上、左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Cと呼称する、
左右一対の軌道gのうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcが仮想交差点Cを左右の境として左側に位置し、左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcが仮想交差点Cを左右の境として右側に位置する。
図5に、左右一対の軌道gのうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが仮想交差点Cを上下の境として上方に位置し、左右一対の軌道gのうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcが仮想交差点Cを左右の境として左側に位置し、左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcが仮想交差点Cを左右の境として右側に位置する様子が示される。

0058

次に、本発明の第六の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図6は、本発明の第六の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

0059

対象物支持装置は、対象物10を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

0060

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。

0061

左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる。
左右一対の軌道gが、特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上方向に偏る様に延びる。
左右一対の軌道gが凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道gが上方に凹んだ曲線に沿って延びてもよい。
左右一対の軌道gが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びてもよい。
図6に、左右一対の軌道gが上方に凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延び、曲率半径Rがリンクの長さより長い様子が示される。

0062

ここで、説明の便宜上、左右一対のリンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Cと呼称する。
一方の端部が上方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが軌道gを上下の境として下方に位置してもよい。
一方の端部が下方の端部である場合、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが軌道gを上下の境として上方に位置してもよい。
図6に、一方の端部が上方の端部であり、左右一対の軌道のうちの右側の軌道である右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcと左右一対の軌道のうちの左側の軌道である左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcとが軌道gを上下の境として下方に位置し、左右一対の軌道gのうちの右軌道の所定の曲率である右曲率の中心である右曲率中心Rcが仮想交差点Cを左右の境として左側に位置し、左軌道の所定の曲率である左曲率の中心である左曲率中心Lcが仮想交差点Cを左右の境として右側に位置する様子が示される。

0063

次に、本発明の第七の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図7は、本発明の第七の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

0064

対象物支持装置は、対象物10を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

0065

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
軌跡gは、第一乃至第六の実施形態にかかる対象物支持装置の軌跡gのうちのどの軌跡gであってもよい。

0066

左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク331の各々の一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる。
図7に、左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク331の各々の一方回転中心が所定の離間距離Hだけ離れる様子を示す。

0067

次に、本発明の第八の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図8は、本発明の第八の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

0068

対象物支持装置は、対象物10を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

0069

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
軌跡gは、第一乃至第六の実施形態にかかる対象物支持装置の軌跡gのうちのどの軌跡gであってもよい。

0070

ここで、説明の便宜上、左右一対のリンクを左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンクの各々の一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Cと呼称する。
左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク331が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する。
図8に、左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク331が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する様子が示される。

0071

次に、本発明の第九の実施形態に係る対象物支持装置を説明する
図9は、本発明の第九の実施形態にかかる対象物支持装置の概念図である。

0072

対象物支持装置は、対象物10を支持する装置である。
対象物支持装置は、対象物10を支持し、上下方向の振動を免震する装置に用いられる。
対象物支持装置は、水平方向の振動を免震する装置と組み合わせて、用いられてもよい。

0073

対象物支持装置は、テーブル100と基台200とテーブル支持機構300とで構成される。
テーブル100と基台200とテーブル支持機構300の主要構造は、本発明の第一の実施形態に係る対象物支持装置のものと同じなので、説明を省略し、異なる点のみを説明する。
軌跡gは、第一乃至第六の実施形態にかかる対象物支持装置の軌跡gのうちのどの軌跡gであってもよい。

0074

ここで、説明の便宜上、左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て左右一対のリンク331の各々の一方回転中心と他方回転中心とを結ぶ左右一対の仮想線の交差する点を仮想交差点Cと呼称する。
左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンクが一方回転中心と他方回転中心との間で交差し、左右一対のリンク331が各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結する。
リンク331の一方の端部がテーブル100または基台の一方に設けられる一方水平移動案内機構360の一方案内ブロック361に回転自在に連結される。
一方水平移動案内機構360は、テーブルまたは基台の一方に対して特定の水平方向に延びる水平軸である特定水平軸xに沿って離れて配される左右一対の一方案内ブロック361と左右一対の一方案内ブロック361を特定水平軸xに沿って延びる左右一対の軌道に沿って各々に移動自在に案内する左右一対の一方案内レール362とで構成される。
図9に、左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク331が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差し、左右一対のリンク331が各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結され、リンク331の一方の端部がテーブル100に設けられる一方水平移動案内機構360の一方案内ブロック361に回転自在に連結される様子が示される。
リンク連結軸333が、一対のリンク331を交差する箇所で回転自在に連結する。
案内レール312の軌跡gを選択するのと同様に、一方案内レール362の軌跡gを選択することにより、免震性能を選択できる。

0075

以下に、本発明の実施形態に係る対象物支持機構の合成ばね反力を、図を基に、説明する。
図10は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力グラフである。
図10中の実線は、テーブル100の上下変位(m)と水平方向ばね部材340のばね力によりテーブル100に作用する上下方向の反力(N)の関係を示すカーブである、
図10中の実破線は、テーブル100の上下変位(m)と上下方向ばね部材320のばね力によりテーブル100に作用する上下方向の反力(N)の関係を示すカーブである、
図10中の細破線は、テーブル100の上下変位(m)と合成ばね反力の関係を示すカーブである。
軌跡gとリンクの一方の端部の位置を選択することにより合成ばね反力の特性を選択できる。

0076

図11は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の合成ばね反力の比較グラフである。
図11の(A)〜(D)は、案内レールの軌跡の形状を除くの形状、諸元を一致させ、案内レールの軌跡を以下の様にして、合成ばね反力の特性を比較したものである。
(A)軌跡が下に凹の曲線である第三の実施形態のもの。
(B)軌跡が上に凹の曲線である第四の実施形態のもの。
(C)軌跡が外側に遷移するに従って上がる直線である第一の実施形態ものの。
(D)軌跡が外側に遷移するに従って下がる直線である第二の実施形態ものの。
図中で、破線で表す合成ばね反力は、軌跡が水平直線である軌跡をもつ図20に示すテーブル支持構造のものであり、比較のために示した。
図11の(A)〜(D)を比較すると以下のことが分かる。

0077

リンクの一方の端部が上方の端部であり、リンクの案内レールに案内される他方の端部が下方の端部である場合に、案内レールの曲率中心Rc、Lcを仮想交差点Cより上方に位置する様に設定する、または軌跡の傾斜が左右に遷移するにしたがって上向きになる様に設定すると、水平の軌跡gを持つ従来のテーブル支持構造に比較して負ばねのばね定数を大きくしてばねがいわゆる剛になりマイナス傾斜が傾きを鋭くなり、上下ばねと合成した全体のばね特性平坦にし、対象物を支持する対象物支持装置の応答特性を長周期にすることができる。

0078

リンクの一方の端部が上方の端部であり、リンクの案内レールに案内される他方の端部が下方の端部である場合に、案内レールの曲率中心が軌跡より下方に位置する様に設定し、または軌跡の傾斜が左右に遷移するにしたがって下向きになる様に設定すると、水平の軌跡gを持つ従来のテーブル支持構造に比較して負ばねのばね定数を小さくしてばねがいわゆる軟らかくなりマイナス傾斜の傾きが鈍くなり、、上下ばねと合成した全体のばね特性が傾き、対象物を支持する対象物支持装置の応答特性を短周期にすることができる。

0079

以下に、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例のその1乃至その2を、図を基に、説明する。
本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1は、小型の対象物を支持する台に採用する。
図12は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1である。図13は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1の側面図である。図14は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その1の平面図である。
例えば、小型の対象物は、美術品である。
例えば、美術品を支持する台は、上下免震台20と水平免震台30とガラスケース40とで構成される。
上下免震台20は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵する。
水平免震台30は、垂直方向の移動を拘束し、水平移動を許容して水平移動に応じて減衰力を発生させる台である。
ガラスケース40は、美術品を覆う透明体である。

0080

上下免震台20に採用される対象物支持装置は、テーブル100と基台200とN個のテーブル支持機構300とで構成される。
図13に、テーブル100と基台200と4個のテーブル支持機構300とで構成される対象物支持装置が示される。
テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320と左右一対のリンク機構330と水平方向ばね部材340と上下移動案内機構350とで構成される。
先に説明した水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320と左右一対のリンク機構330と水平方向ばね部材340と同じ構成の説明を省略し、上下免震台20に採用される対象物支持装置に特徴のある構成を説明する。

0081

上から見て、N個のテーブル支持機構がテーブル100を囲う様に配されてテーブル100を各々に支持する。

0082

水平移動案内機構310が、基台200に設けられる。
案内レール312が、基台200の側面を形成する板材に設けられ、軌跡gに沿って形成されるスリットである。
案内ブロック311が、案内レール312のスリットに案内される車輪を持つ。
車輪が軌跡gに沿って転動する。
図中の(A)は、直線水平の軌跡をもる案内ガイドを設けられるものを示す。
図中の(B)は、直線傾斜した軌跡gをもつ案内ガイドが設けられるものを示す。
図中の(C)は、下に凹んだ曲線の軌跡gをもつ案内ガイドが設けられるものを示す。

0083

上下方向ばね部材320が、上部を基台に連結され下部をテーブルに連結される引張ばねである。

0084

上下移動案内機構350が、テーブル100と基台200との一方に形成された凹凸がテーブルと基台との他方に形成される凹凸に嵌合し、テーブル100の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機構である。

0085

本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2は、大型の対象物10を支持する大規模な台に採用する。
図15は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の側面断面図である。図19は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の平面図である。

0086

例えば、大型の対象物10は、リアクターである。
例えば、リアクターを支持する台は、複数の上下免震台20と複数の上下免震台20xと複数の水平免震台30とで構成される。
上下免震台20と上下免震台20xの一方は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵し、上下免震台20と上下免震台20xの他方は、他の形式の対象物支持装置を内蔵してもよい。
例えば、上下免震台20は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置を内蔵し、上下免震台20xは、他の形式の対象物支持装置を内蔵する。
水平免震台30は、垂直方向の移動を拘束し、水平移動を許容して水平移動に応じて減衰力を発生させる台である。
例えば、水平免震台30は、金属板ゴム板とを積層した免震台である。

0087

テーブル支持機構300は、水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320と左右一対のリンク機構330と水平方向ばね部材340とで構成される。
上下免震台20xが、対象物10の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する機能を有する。
上下免震台20xが、対象物10の相対的な左右移動、ローリング、ピッチングを抑制し上下方向に移動自在に案内する機能を有する。

0088

以下に、上下免震台20と上下免震台20Xとの実例を、図を基に、説明する。
図16は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の部分詳細図である。図17は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の部分詳細図である。図18は、本発明の実施形態にかかる対象物支持装置の採用例その2の部分詳細図である。

0089

図16は、上下免震台20の構造の一例を示す。
図16に示す上下免震台20は、本願発明のテーブル支持機構300の構造のうち、テーブル100と基台200と上下方向ばね部材320と上下移動案内機構350とロッキング防止機構400とで構成され、水平移動案内機構310とリンク機構330と水平方向ばね部材340省いたものである。
上下移動案内機構350とロッキング防止機構400とは、一対のパンタグラフ機構とと一対のパンタグラフを連結するリンク機構とで構成される。
上下方向ばね部材320は、圧縮ばねで構成されてもよい。

0090

図17図18は、上下免震台20xの構造の一例を示す。
図17に示す上下免震台20xは、本願発明のテーブル支持機構300の構造のうち、テーブル100と基台200と水平移動案内機構310と上下方向ばね部材320とリンク機構330と水平方向ばね部材340とで構成されたものである。
図18に示す上下免震台20xは、本願発明のテーブル支持機構300の構造のうち、テーブル100と基台200と水平移動案内機構310とリンク機構330と水平方向ばね部材340とで構成され、上下方向ばね部材320を省いたものである。
上下方向ばね部材320は、圧縮ばねで構成されてもよい。

0091

図17に示す様に、上から見て、本願発明の構造をもつ上下免震台20xを中心部に配置し、上下方向ばね部材320で構成される上下免震台20をその回りに配置してもよい。
上下免震台20xの合成ばね反力のばね定数は上下免震台20の合成ばね反力のばね定数より小さい。
この様に配置すると、対象物の上下移動を効率よく支え、対象物のロッキングを効率よく支えることができる。

0092

上述の実施形態に係る対象物支持装置を用いれば、以下の効果を発揮する。
基台200を基礎としてテーブル100の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、基台200を基礎としてテーブル100に上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンク331の一方の端部がテーブル100または基台200の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸xに添って離れた左右一対の案内ブロック311に回転自在に固定され、左右一対の案内ブロック311が左右一対の軌跡gに沿って案内され、左右一対のリンク331の他方の端部に互いに接近する向きにばね力を作用させ、左右一対の軌道gが特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従って上下方向の一方に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道gの上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構300の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の軌道gが特定水平軸xに沿って互いに離間する向きに沿って遷移すると遷移するに従ってリンク331の一方の端部のある側に偏る様に延びる様にしたので、左右一対の軌道gの上下方向の一方に偏る程度を選択することでテーブル支持機構300の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の軌道gが凹んだ曲線に沿って延びる様にしたので、左右一対の軌道の曲線の曲る程度を選択することでテーブル支持機構300の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対の軌道gが凹んだ所定の曲率をもつ左右一対の曲線に沿って各々に延びる様にしたての、左右一対の軌道gの曲線の曲率を選択することでテーブル支持機構300の支持特性を目的に合わせて選択することができ、設計の自由度が増える。
また、一方の端部が上方の端部である場合に、右軌道の右曲率中心Rcと左軌道の左曲率中心Lcとが仮想交差点Cを上下の境として上方に位置する様にしたので、軌道の曲率半径Rを長くでき、長周期化を目的とする設計の自由度が増える。
また、右軌道の右曲率中心Rcが仮想交差点Cを境として左側に位置し、左軌道の左曲率中心Lcが仮想交差点Cを左右の境として右側に位置する様にしたので、軌道の傾斜する程度を大きくすることができ、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク331の各々の一方回転中心が所定の離間距離だけ離れる様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク331の各々の一方回転中心が一致する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク331を左右に分ける様に水平に見て、左右一対のリンク331が各々の一方回転中心と他方回転中心との間で交差する様にしたので、設計の自由度が増える。
また、左右一対のリンク331が各々の一方回転中心と他方回転中心とに挟まれて交差する箇所で回転自在に連結される様にしたので、設計の自由度が増える。
また、テーブル100と基台200との一方がテーブル100と基台200との他方に嵌合し、テーブルの相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造でテーブル100の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。
また、基台200を基礎としてテーブル100の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内し、基台200を基礎としてテーブル100に上向きのばね力を発生させ、左右一対のリンク331の一方の端部がテーブル100または基台200の一方に回転自在に固定され、他方の端部が特定水平軸xに添って離れた左右一対の案内ブロック311に回転自在に固定され、左右一対の案内ブロック311が左右一対の軌跡gに沿って案内され、左右一対のリンクの他方の端部に互いに接近する向きにばね力を作用させるN個のテーブル支持機構300がテーブル100を囲う様に配されてテーブル100を各々に支持し、上下方向ばね部材320が上部を基台200に連結され下部をテーブル100に連結される引張ばねである様にしたので、N個のテーブル支持機構300の免震特性を調整して大規模な対象物支持装置をつくることができ、設計の自由度が増える。
また、テーブル100と基台200との一方がテーブルと基台との他方に嵌合し、テーブル100の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内する様にしたので、簡易な構造でテーブル100の相対的な左右移動を抑制し上下方向に移動自在に案内できる。

0093

本発明は以上に述べた実施形態に限られるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変更が可能である。
水平移動案内機構310が基台200に設けられ場合を例にして説明したが、これに限定されない。例えば、水平移動案内機構310がテーブル100に設けられてもよい。
左右一対のリンクの各々の一方回転中心が所定の離間距離Hだけ離れる構造を第一の実施形態に適用した例で説明したが、これに限定されない。例えば、左右一対のリンクの各々の一方回転中心が所定の離間距離Hだけ離れる構造を第二乃至第六の実施形態に適用してもよい。
左右一対のリンクが交差する構造を第一の実施形態に適用した例で説明したが、これに限定されない。例えば、左右一対のリンクが交差する構造を第二乃至第六の実施形態に適用してもよい。
左右一対のリンクが交差する箇所を回転自在に連結する構造を第一の実施形態に適用した例で説明したが、これに限定されない。例えば、左右一対のリンクが交差する箇所を回転自在に連結する構造を第二乃至第六の実施形態に適用してもよい。

0094

x 特定水平軸
g軌跡
C仮想交差点
Rc 右曲率中心
Lc 左曲率中心
R曲率半径
H離間距離
10対象物
20 上下免震台
20x 上下免震台
30 水平免震台
40ガラスケース
100 テーブル
200基台
300テーブル支持機構
310水平移動案内機構
311案内ブロック
312案内レール
320 上下方向ばね部材
330リンク機構
331リンク
331r右リンク
331l左リンク
332u 一方連結軸
332d 他方連結軸
333リンク連結軸
340 水平方向ばね部材
350上下移動案内機構
360 一方水平移動案内機構
361 一方案内ブロック
362 一方案内レール
400ロッキング防止機構

先行技術

0095

特開平11−37214号
特開2009−168157号
特開2008−157288号

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