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技術 ノズル高さ検査方法及び切削装置

出願人 株式会社ディスコ
発明者 須磨努
出願日 2018年8月13日 (2年4ヶ月経過) 出願番号 2018-152491
公開日 2020年2月20日 (10ヶ月経過) 公開番号 2020-026009
状態 未査定
技術分野 ダイシング 工作機械の検出装置 研削機械のドレッシング及び付属装置 研削盤の構成部分、駆動、検出、制御 工作機械の補助装置
主要キーワード 位置付けステップ 装置制御用コンピュータ 被加工箇所 固定状況 吸引保持機構 接触検出回路 接触判定ステップ 被保持物
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図面 (10)

課題

ノズルの高さ位置の誤りの有無を確実かつ容易に検出する。

解決手段

切削ブレード18aと、切削水を供給するノズル44と、を有する切削ユニット18と、チャックテーブルと、を備える切削装置において、該ノズル44の高さを検査するノズル高さ検査方法であって、該チャックテーブル上に治具ピース66を固定する治具ピース固定ステップと、該切削ブレード18aと、該治具ピース66と、の接触が検出された際の切削ユニット18の高さを基準位置として設定する基準位置設定ステップと、該基準位置より所定距離下方の検査位置に至るまで該切削ユニット18を下降させた際に該治具ピース66と、該ノズル44と、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、該接触判定ステップにおいて該治具ピース66と、該ノズル44と、が接触したと判定された場合、該ノズル44の高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備える。

概要

背景

半導体デバイスを搭載したデバイスチップは、半導体ウェーハパッケージ基板等が分割されて形成される。交差する複数の分割予定ラインにより半導体ウェーハ等の表面を区画し、区画された各領域に半導体デバイスを形成し、その後、該半導体ウェーハ等を分割予定ラインに沿って分割すると個々のデバイスチップを形成できる。

半導体ウェーハ等の分割には、例えば、円環状の切削ブレードが装着された切削ユニットを備える切削装置が用いられる。切削装置では、切削ブレードを半導体ウェーハ等の被加工物の表面に対して垂直な面内に回転させ、切削ブレードを切り込み送り方向の所定の高さ位置に下降させ、被加工物を分割予定ラインに沿う方向に加工送りして切削ブレードで被加工物を切削する。

切削ブレードで被加工物を切削すると、被加工物に由来する切削屑が発生して被加工箇所の周囲に飛散する。また、加工熱が発生する。そこで、切削装置は、切削水を供給するノズルを切削ブレードの近傍に備え、被加工物の切削が実施される際には、該ノズルから該切削ブレード及び該被加工物に切削水が供給される。切削装置では、切削水により切削屑及び加工熱が除去されながら被加工物が切削される。

切削屑及び加工熱を効率的に除去するために、該ノズルは、切削ブレード及び被加工物に極めて近い位置に設けられるのが好ましい。そこで、直線状のパイプ部分を有するノズルの該パイプ部分が切削ブレードの側面、及び被加工物の表面に沿うように、該ノズルが切削装置に固定される。さらに、ノズルを所定の位置に高い精度で固定するために、該ノズルの位置を微調整するための専用の治具が使用される場合もある(特許文献1参照)。

概要

ノズルの高さ位置の誤りの有無を確実かつ容易に検出する。切削ブレード18aと、切削水を供給するノズル44と、を有する切削ユニット18と、チャックテーブルと、を備える切削装置において、該ノズル44の高さを検査するノズル高さ検査方法であって、該チャックテーブル上に治具ピース66を固定する治具ピース固定ステップと、該切削ブレード18aと、該治具ピース66と、の接触が検出された際の切削ユニット18の高さを基準位置として設定する基準位置設定ステップと、該基準位置より所定距離下方の検査位置に至るまで該切削ユニット18を下降させた際に該治具ピース66と、該ノズル44と、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、該接触判定ステップにおいて該治具ピース66と、該ノズル44と、が接触したと判定された場合、該ノズル44の高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備える。

目的

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とする

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

被加工物切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、を備え、該ノズルは、該切削ブレードの側面に沿って該切削ブレードの前方側または後方側に延在する切削装置において、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査方法であって、該チャックテーブルの該保持面上に治具ピースを固定する治具ピース固定ステップと、該治具ピースの上面に該切削ブレードを下降させ、該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触が検出された際の切削ユニットの高さを基準位置として設定する基準位置設定ステップと、該ノズルの先端が該治具ピースの上方に位置し、かつ、該切削ブレードの下端が該治具ピースの水平方向外側に位置するように切削ユニットを位置付け、次に、該基準位置より所定距離下方の検査位置に至るまで該切削ユニットを下降させた際に該治具ピースと、該ノズルと、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、該接触判定ステップにおいて該治具ピースと、該ノズルと、が接触したと判定された場合、該ノズルの高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備えることを特徴とするノズル高さ検査方法。

請求項2

該基準位置設定ステップでは、該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触時に生じる弾性波を検出することにより該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触判定ステップでは、該ノズルと、該治具ピースと、が接触する際に生じる弾性波が検出された場合に該ノズルと、該治具ピースと、が接触したと判定することを特徴とする請求項1に記載のノズル高さ検査方法。

請求項3

該基準位置設定ステップでは、該切削ブレードと、該治具ピースと、の間の電気的な導通を検出することにより該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触判定ステップでは、該ノズルと、該治具ピースと、の間の電気的な導通が検出された場合に該ノズルと、該治具ピースと、が接触したと判定することを特徴とする請求項1に記載のノズル高さ検査方法。

請求項4

被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、発光部と受光部との間に該切削ブレードを進入させ該切削ブレードの下端の位置を検出する刃先検出ユニットと、を備え、該ノズルは、該切削ブレードの側面に沿って該切削ブレードの前方側または後方側に延在する切削装置において、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査方法であって、該切削ユニットを下降させて該刃先検出ユニットの該発光部と該受光部との間に該切削ブレードを進入させ、該切削ブレードの下端を該刃先検出ユニットの上端よりも低い基準位置に位置付ける基準位置位置付けステップと、該基準位置よりも低い判定位置に該切削ブレードの該下端を位置付けるように該切削ユニットを更に下降させた際に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、該接触判定ステップにおいて該刃先検出ユニットの上端に該ノズルが接触したと判定された場合、該ノズルの高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備え、該刃先検出ユニットの該上端の高さ位置と、該基準位置と、の高さ方向における距離及び該基準位置と、該判定位置と、の高さ方向における距離の和は、該ノズルと、該切削ブレードの該下端と、の高さ方向における許容される距離の下限であることを特徴とするノズル高さ検査方法。

請求項5

該接触判定ステップでは、該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触する際に生じる弾性波が検出された場合に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したと判定することを特徴とする請求項4に記載のノズル高さ検査方法。

請求項6

該接触判定ステップでは、該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の間の電気的な導通が検出された場合に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したと判定することを特徴とする請求項4に記載のノズル高さ検査方法。

請求項7

被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、発光部と受光部との間の切削ブレード進入溝に該切削ブレードを下降させ該切削ブレードの下端の位置を検出する刃先検出ユニットと、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査ユニットと、を備え、該ノズル高さ検査ユニットは、該チャックテーブルに載る治具ピース又は該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の間の電気的導通を検出することにより該治具ピース又は該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の接触を検出できる接触検出回路を備えることを特徴とする切削装置。

技術分野

0001

本発明は、切削ブレード被加工物切削する切削装置と、該切削装置において該切削ブレードに切削水を供給するノズルの高さ検査方法に関する。

背景技術

0002

半導体デバイスを搭載したデバイスチップは、半導体ウェーハパッケージ基板等が分割されて形成される。交差する複数の分割予定ラインにより半導体ウェーハ等の表面を区画し、区画された各領域に半導体デバイスを形成し、その後、該半導体ウェーハ等を分割予定ラインに沿って分割すると個々のデバイスチップを形成できる。

0003

半導体ウェーハ等の分割には、例えば、円環状の切削ブレードが装着された切削ユニットを備える切削装置が用いられる。切削装置では、切削ブレードを半導体ウェーハ等の被加工物の表面に対して垂直な面内に回転させ、切削ブレードを切り込み送り方向の所定の高さ位置に下降させ、被加工物を分割予定ラインに沿う方向に加工送りして切削ブレードで被加工物を切削する。

0004

切削ブレードで被加工物を切削すると、被加工物に由来する切削屑が発生して被加工箇所の周囲に飛散する。また、加工熱が発生する。そこで、切削装置は、切削水を供給するノズルを切削ブレードの近傍に備え、被加工物の切削が実施される際には、該ノズルから該切削ブレード及び該被加工物に切削水が供給される。切削装置では、切削水により切削屑及び加工熱が除去されながら被加工物が切削される。

0005

切削屑及び加工熱を効率的に除去するために、該ノズルは、切削ブレード及び被加工物に極めて近い位置に設けられるのが好ましい。そこで、直線状のパイプ部分を有するノズルの該パイプ部分が切削ブレードの側面、及び被加工物の表面に沿うように、該ノズルが切削装置に固定される。さらに、ノズルを所定の位置に高い精度で固定するために、該ノズルの位置を微調整するための専用の治具が使用される場合もある(特許文献1参照)。

先行技術

0006

特開2010−42490号公報

発明が解決しようとする課題

0007

しかしながら、切削ブレードを交換する際、ノズルを固定する高さ位置の設定を誤る場合や、ノズルに触れてノズルを移動させてしまう場合等、該ノズルが誤った高さ位置に固定される場合がある。ノズルが誤った高さ位置に固定されると、被加工物の切削時に該ノズルが被加工物に衝突して、該ノズルや被加工物に損傷が生じるおそれがある。

0008

従来、被加工物の切削が実施される前に、固定されたノズルの高さ位置が許容される範囲内であるか否か、切削装置の使用者オペレータ)が目視で確認していた。また、上述の治具によりノズルの高さ位置を確認する場合もあった。しかしながら、これらの方法でノズルの高さ位置を確認するのは手間であり、また、該許容される範囲からのずれが小さい場合にノズルの高さ位置の誤りを検知できない場合があった。

0009

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、切削水を供給するノズルの高さ位置の誤りを容易かつ確実に検出でき、該ノズルの衝突による被加工物の損傷を防止できる切削装置及びノズル高さ検査方法を提供することである。

課題を解決するための手段

0010

本発明の一態様によると、被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、を備え、該ノズルは、該切削ブレードの側面に沿って該切削ブレードの前方側または後方側に延在する切削装置において、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査方法であって、該チャックテーブルの該保持面上に治具ピースを固定する治具ピース固定ステップと、該治具ピースの上面に該切削ブレードを下降させ、該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触が検出された際の切削ユニットの高さを基準位置として設定する基準位置設定ステップと、該ノズルの先端が該治具ピースの上方に位置し、かつ、該切削ブレードの下端が該治具ピースの水平方向外側に位置するように切削ユニットを位置付け、次に、該基準位置より所定距離下方の検査位置に至るまで該切削ユニットを下降させた際に該治具ピースと、該ノズルと、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、該接触判定ステップにおいて該治具ピースと、該ノズルと、が接触したと判定された場合、該ノズルの高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備えることを特徴とするノズル高さ検査方法が提供される。

0011

好ましくは、該基準位置設定ステップでは、該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触時に生じる弾性波を検出することにより該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触判定ステップでは、該ノズルと、該治具ピースと、が接触する際に生じる弾性波が検出された場合に該ノズルと、該治具ピースと、が接触したと判定する。

0012

また、好ましくは、該基準位置設定ステップでは、該切削ブレードと、該治具ピースと、の間の電気的な導通を検出することにより該切削ブレードと、該治具ピースと、の接触を検出し、該接触判定ステップでは、該ノズルと、該治具ピースと、の間の電気的な導通が検出された場合に該ノズルと、該治具ピースと、が接触したと判定する。

0013

また、本発明の他の一態様によると、被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、発光部と受光部との間に該切削ブレードを進入させ該切削ブレードの下端の位置を検出する刃先検出ユニットと、を備え、該ノズルは、該切削ブレードの側面に沿って該切削ブレードの前方側または後方側に延在する切削装置において、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査方法であって、該切削ユニットを下降させて該刃先検出ユニットの該発光部と該受光部との間に該切削ブレードを進入させ、該切削ブレードの下端を該刃先検出ユニットの上端よりも低い基準位置に位置付ける基準位置位置付けステップと、該基準位置よりも低い判定位置に該切削ブレードの該下端を位置付けるように該切削ユニットを更に下降させた際に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したか否かを判定する接触判定ステップと、該接触判定ステップにおいて該刃先検出ユニットの上端に該ノズルが接触したと判定された場合、該ノズルの高さが異常であることを報知する報知ステップと、を備え、該刃先検出ユニットの該上端の高さ位置と、該基準位置と、の高さ方向における距離及び該基準位置と、該判定位置と、の高さ方向における距離の和は、該ノズルと、該切削ブレードの該下端と、の高さ方向における許容される距離の下限であることを特徴とするノズル高さ検査方法が提供される。

0014

好ましくは、該接触判定ステップでは、該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触する際に生じる弾性波が検出された場合に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したと判定する。

0015

また、好ましくは、該接触判定ステップでは、該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の間の電気的な導通が検出された場合に該刃先検出ユニットと、該ノズルと、が接触したと判定する。

0016

本発明のさらに他の一態様によると、被加工物を切削する切削ブレードと、該切削ブレードに切削水を供給するノズルと、を有する切削ユニットと、該切削ユニットの下方に設けられ、上面が保持面となるチャックテーブルと、発光部と受光部との間の切削ブレード進入溝に該切削ブレードを下降させ該切削ブレードの下端の位置を検出する刃先検出ユニットと、該ノズルの高さを検査するノズル高さ検査ユニットと、を備え、該ノズル高さ検査ユニットは、該チャックテーブルに載る治具ピース又は該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の間の電気的導通を検出することにより該治具ピース又は該刃先検出ユニットと、該ノズルと、の接触を検出できる接触検出回路を備えることを特徴とする切削装置が提供される。

発明の効果

0017

本発明の一態様に係るノズル高さ検査方法では、切削ブレードを備える切削ユニットを所定の高さ位置にまで下降させた際に、切削ユニットが備えるノズルが所定の対象と接触したか否かを判定する。ここで、所定の対象とは、チャックテーブルに固定された治具ピース又は刃先検出ユニットである。

0018

切削ユニットを下降させた際、ノズルの高さ位置が許容される範囲であれば該ノズルと該所定の対象とが衝突しない。その一方で、該ノズルが該許容される範囲よりも下方の高さ位置に固定されている場合、該ノズルと、該所定の対象と、が接触する。すなわち、切削ユニットを下降させた際に該ノズルと、該所定の対象と、の接触が検出された場合、該ノズルが正常な高さ位置に固定されておらず、該ノズルの高さ位置が異常であると判定できる。

0019

本発明の一態様に係るノズル高さ検出方法によると、切削装置の使用者等による目視の確認等の方法に依らずノズルの高さ位置の誤りの有無を確実に検出できる。また、切削ユニットを下降させるだけでノズルの高さ位置の誤りの有無を容易に検出できる。該高さ位置の誤りが検出された際は、ノズルの高さ位置を修正することにより該ノズルの衝突による被加工物の損傷を防止できる。

0020

したがって、本発明の一態様によると、切削水を供給するノズルの高さ位置の誤りを容易かつ確実に検出でき、該ノズルの衝突による被加工物の損傷を防止できる切削装置及びノズル高さ検査方法が提供される。

図面の簡単な説明

0021

切削装置及び被加工物を模式的に示す斜視図である。
切削ユニットを拡大して示す斜視図である。
図3(A)は、ノズルが許容される高さ位置に固定されている切削ユニットを模式的に示す側面図であり、図3(B)は、ノズルが許容される範囲に固定されていない切削ユニットを模式的に示す側面図である。
ノズル高さ検査ユニットの構成を模式的に示す側面図である。
図5(A)は、基準位置設定ステップにおける切削ユニット及びサブチャックテーブルを模式的に示す側面図であり、図5(B)は、接触判定ステップにおける切削ユニット及びサブチャックテーブルを模式的に示す側面図である。
切削ユニット及び刃先検出ユニットを模式的に示す側面図である。
図7(A)は、基準位置位置付けステップにおける切削ユニット及び刃先検出ユニットを模式的に示す側面図であり、図7(B)は、接触判定ステップにおける切削ユニット及び刃先検出ユニットを模式的に示す側面図である。
図8(A)は、AEセンサを用いて実施する基準位置設定ステップを模式的に示す側面図であり、図8(B)は、AEセンサを用いて実施する接触判定ステップを模式的に示す側面図である。
図9(A)は、ノズル高さ検査方法の一例のフローを示すフローチャートであり、図9(B)は、ノズル高さ検査方法の他の一例のフローを示すフローチャートである。

実施例

0022

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。まず、図1を用いて、本実施形態に係るノズル高さ検査方法が実施される切削装置と、該切削装置で切削される被加工物について説明する。図1は、切削装置及び被加工物を模式的に示す斜視図である。被加工物1は、例えば、シリコン、SiC(シリコンカーバイド)、若しくは、その他の半導体等の材料、または、サファイアガラス石英等の材料からなる略円板状の基板等である。

0023

被加工物1の表面は格子状に配列された複数の分割予定ラインで区画されており、区画された各領域にはIC等のデバイスが形成されている。最終的に、被加工物1が該分割予定ラインに沿って分割されることで、個々のデバイスチップが形成される。例えば、被加工物1は、環状のフレーム5に貼られたテープ3に保持され、フレーム5と、テープ3と、と一体となったフレームユニット7の状態で切削される。

0024

図1に示す通り、該切削装置2は、各構成要素を支持する装置基台4を備える。装置基台4の中央上部には、X軸移動テーブル6と、該X軸移動テーブル6をX軸方向(加工送り方向)に移動させるX軸移動機構と、X軸移動機構を覆う防塵防滴カバー(不図示)と、該防塵防滴カバー上に到達した液体を受ける排水路20と、が設けられている。該X軸移動機構は、X軸方向に平行な一対のX軸ガイドレール12を備えており、X軸ガイドレール12には、X軸移動テーブル6がスライド可能に取り付けられている。

0025

X軸移動テーブル6の下面側には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、X軸ガイドレール12に平行なX軸ボールねじ14が螺合されている。X軸ボールねじ14の一端部には、X軸パルスモータ16が連結されている。X軸パルスモータ16でX軸ボールねじ14を回転させると、X軸移動テーブル6はX軸ガイドレール12に沿ってX軸方向に移動する。

0026

X軸移動テーブル6上には、被加工物1を吸引、保持するためのチャックテーブル8が設けられている。チャックテーブル8は、モータ等の回転駆動源(不図示)に連結されており、チャックテーブル8の上面に垂直な回転軸周りに回転可能である。また、チャックテーブル8は、上述したX軸移動機構によりX軸方向に送られる。

0027

チャックテーブル8の表面(上面)は、被加工物1を吸引、保持する保持面8aとなる。この保持面8aは、チャックテーブル8の内部に形成された吸引路(不図示)を介して吸引源(不図示)に接続されている。該保持面8aの周囲には、テープ3を介して被加工物1を保持する環状のフレーム5を固定するためのクランプ10が配設されている。

0028

装置基台4の上面には、被加工物1を切削する2つの切削ユニット18を支持する支持構造22が、X軸移動機構を跨ぐように配置されている。支持構造22の前面上部には、2つの切削ユニット18をそれぞれY軸方向(割り出し送り方向)及びZ軸方向に移動させる切削ユニット移動機構が設けられている。

0029

切削ユニット移動機構は、支持構造22の前面に配置されY軸方向に平行な一対のY軸ガイドレール24を備えている。Y軸ガイドレール24には、切削ユニット18のそれぞれに対応する2つのY軸移動プレート26がスライド可能に取り付けられている。それぞれのY軸移動プレート26の裏面側(後面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Y軸ガイドレール24に平行なY軸ボールねじ28が螺合されている。

0030

Y軸ボールねじ28の一端部には、Y軸パルスモータ28aが連結されている。Y軸パルスモータ28aでY軸ボールねじ28を回転させると、対応するY軸移動プレート26は、Y軸ガイドレール24に沿ってY軸方向に移動する。Y軸移動プレート26の表面(前面)には、それぞれ、Z軸方向に平行な一対のZ軸ガイドレール30が設けられている。それぞれのZ軸ガイドレール30には、Z軸移動プレート32がスライド可能に取り付けられている。

0031

Z軸移動プレート32の裏面側(後面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Z軸ガイドレール30に平行なZ軸ボールねじ34が螺合されている。Z軸ボールねじ34の一端部には、Z軸パルスモータ36が連結されている。Z軸パルスモータ36でZ軸ボールねじ34を回転させれば、Z軸移動プレート32は、Z軸ガイドレール30に沿ってZ軸方向(切り込み送り方向)に移動する。

0032

2つのZ軸移動プレート32のそれぞれの下部には、被加工物1を加工する切削ユニット18と、チャックテーブル8に保持された被加工物1を撮像できる撮像ユニットカメラ)38と、が固定されている。Y軸移動プレート26をY軸方向に移動させれば、切削ユニット18及び撮像ユニット38はY軸方向(割り出し送り方向)に移動し、Z軸移動プレート32をZ軸方向に移動させれば、切削ユニット18及び撮像ユニット38はZ軸方向(切り込み送り方向)に移動する。

0033

切削ユニット18について、図2を用いてさらに説明する。図2は、切削ユニット18を拡大して示す斜視図である。切削ユニット18は、切削ブレード18aと、先端側に切削ブレード18aが装着されるスピンドル40と、を備える。

0034

切削ブレード18aは、円板状の基台を有する。基台の中央部には、この基台を貫通する略円形装着穴が設けられており、該装着穴にスピンドル40の先端部が通されて切削ブレード18aがスピンドル40に固定される。基台の外周部には、被加工物1に切り込ませるための環状の切刃18bが固定される。該スピンドル40の基端側には該スピンドル40を回転させるスピンドルモータ(不図示)が装着され、該スピンドルモータはスピンドルハウジング42に収容される。

0035

スピンドルハウジング42に収容された該スピンドルモータを作動させ該スピンドル40を回転させると、スピンドル40の先端に装着された切削ブレード18aが該スピンドル40を軸として回転する。切削ブレード18aを回転させた状態で切削ユニット18を所定の高さ位置に移動させ、被加工物1が保持するチャックテーブル8をX軸方向に沿って加工送りすると、回転する切削ブレード18aの切刃18bが接触することにより被加工物1が切削される。

0036

被加工物1を切削ブレード18aにより切削すると、被加工物1に由来する切削屑が発生して被加工箇所の周囲に飛散して被加工物1の表面が汚染される。また、被加工物1を切削すると加工熱が発生し、該加工熱により切削ブレード18aや被加工物1に膨張や歪みが生じて切削加工の精度が低下する場合がある。そのため、被加工物1の切削を実施する間、該被加工物1及び切削ブレード18aに純水等の切削水が供給される。

0037

切削装置2の切削ユニット18は、切削ブレード18aの近傍に切削水供給用のノズル44及び切削水供給部48を備え、被加工物1の切削が実施される際には、ノズル44及び切削水供給部48から切削ブレード18a及び被加工物1に切削水が供給される。切削水供給部48は、切削ブレード18aに主に加工送り方向(X軸方向)から切削水を供給し、ノズル44は、切削ブレード18aに主に側方から切削水を供給する。

0038

ノズル44は、切削ブレード18aの側面及び被加工物1の表面に沿って加工送り方向に延在する一対の直線状部分44aと、該一対の直線状部分44aのそれぞれ基端側を支持する支持部44bと、を備える。該一対の直線状部分44aは、先端が切削ブレード18aの加工送り方向(X軸方向)の前方側または後方側に張り出している。該一対の直線状部分44aは、それぞれ、パイプ状の部材で形成されており、切削ブレード18aに向いた複数の噴出口(不図示)が形成されている。

0039

また、ノズル44の支持部44bは、切削ブレード18aを覆って保護するブレードカバー46に固定される。該ブレードカバー46は、該支持部44bを固定するボルト46aが通される楕円状のねじ孔46bを備える。ノズル44の支持部44bが備える挿通穴(不図示)にボルト46aを突き通し、ボルト46aをねじ孔46bに締め込むことによりノズル44が切削ユニット18に固定される。

0040

なお、ねじ孔46bは、ボルト46aのねじ部の直径に対応する幅を有する楕円状に形成されており、かつ、該直径よりも大きな長さに形成されている。そのため、該ねじ孔46bにおけるボルト46aの固定高さは、該ねじ孔46bの長さの範囲で任意の位置に決定できる。そして、被加工物1やテープ3の厚さ等を考慮して切削水を効率良く切削ブレード18a等に供給できるようにノズル44の高さを調整できる。

0041

ノズル44の支持部44bの上端には、直線状部分44aから噴出される切削水の供給管路(不図示)が接続される接続部44cが設けられる。切削水供給源(不図示)から該管路を通じて切削ユニット18のノズル44に切削水を供給すると、ノズル44から切削ブレード18a及び被加工物1に切削水が供給される。

0042

また、図1に示す通り、切削装置2は、さらに、制御ユニット56を備えている。制御ユニット56は、切削ユニット18、チャックテーブル8、各移動機構、撮像ユニット38等の切削装置2の各構成要素を制御する機能を有する。また、制御ユニット56は、後述のノズル高さ検査ユニット58を制御する機能を有する。制御ユニット56の機能は、例えば、装置制御用コンピュータソフトウェアとして実現される。

0043

また、切削装置2の前面には、タッチパネル付きディスプレイパネル等でなる表示部50が設けられる。該切削装置2の使用者又は管理者は該タッチパネルを用いて制御ユニット56に加工条件等の情報を入力できる。該表示部50は、情報等の入力や切削装置2の操作のためのインターフェース画像を表示する。また、表示部50は、切削装置2の稼働状況に関する情報や、各種の警告を表示できる。

0044

さらに、切削装置2の上部には、該制御ユニット56に電気的に接続された警報ランプ52が配設される。該警報ランプ52は、例えば、緑色のランプと、赤色のランプと、を有する。制御ユニット56は、切削装置2が正常な稼働状況にあるときは該緑色のランプを点灯させて、切削装置2が正常であることを使用者又は管理者に報知する。その一方で、切削装置2に何等かの問題が生じたときには、該制御ユニットは赤色のランプを点灯させて、その旨を使用者又は管理者に報知する。

0045

また、切削装置2は、切削ユニット18の近傍に切削ブレード18aの切刃18bの高さを検出する刃先検出ユニット54を備える。刃先検出ユニット54は、切削ブレード18aが切削ユニット18に装着された直後や、被加工物1の切削が繰り返し実施され損耗した後に、切削ブレード18aの切刃18bの高さを検出する。そして、被加工物1の切削時に切刃18bの下端が所定の高さとなるように、切削装置2は該刃先検出ユニット54で検出された切刃18bの高さに基づいて切削ユニット18の高さを調整する。

0046

刃先検出ユニット54は、開閉可能なカバー部を有し、切削ブレード18aによる被加工物1の切削を実施している間はカバー部が閉じて刃先検出ユニット54の各構成要素が該カバー部に収容される。被加工物1の切削を実施している間、ノズル44等から切削ブレード18a及び被加工物1に切削液が供給され、被加工物1から発生する切削屑を含む切削液が周囲に飛散する。該切削水は刃先検出ユニット54にも飛散するが、カバー部が閉じられていると刃先検出ユニット54の各構成要素に該切削液が付着しない。

0047

刃先検出ユニット54により切削ブレード18aの切刃18bの高さを検出する際には、該カバー部が開けられる。刃先検出ユニット54の各構成について図6を用いて説明する。図6には、刃先検出ユニット54の内部の側面図が模式的に示されている。該刃先検出ユニット54の本体には、上方に開口した切削ブレード進入溝54cが設けられ、切削ブレード18aの切刃18bの下端の高さ位置を検出するときは、切削ブレード進入溝54cに切削ブレード18aを進入させる。

0048

該切削ブレード進入溝54cの一方の側壁には発光部54aが設けられ、切削ブレード進入溝54cの他方の側壁には該発光部54aに対向する位置に受光部54bが設けられている。発光部54aと、該受光部54bと、は略同一の高さ位置に設けられる。発光部54aには光源68aが光ファイバー等を介して接続されており、光源68aを作動させると発光部54aから光が放射される。

0049

該受光部54bには光ファイバー等を介して光電変換部68bが接続されており、受光部54bに到達した光は光電変換部68bで受光される。光電変換部68bには光センサが組み込まれており、該光電変換部68bからは受光量に応じた電気信号(例えば、電圧)が出力される。光電変換部68bは端部位置検出部68cに電気的に接続されており、該電気信号を該端部位置検出部68cに送信する。

0050

該端部位置検出部68cは、Z軸ガイドレール30、Z軸移動プレート32、Z軸ボールねじ34、及びZ軸パルスモータ36で構成された切り込み送りユニット36aに接続されており、切削ユニット18の高さを制御できる。また、切削ユニット18の高さ位置に関する情報を切り込み送りユニット36aより受信できる。

0051

刃先検出ユニット54による切削ブレード18aの切刃18bの高さの検出時には、光源68aを作動させ発光部54aから光を放射させて、該光を受光部54bで受ける。切削ブレード進入溝54cに向けて切削ブレード18aを下降させると、発光部54aから放射された光が徐々に切削ブレード18aにより遮られるようになり、受光部54bに到達して受光される光の受光量は徐々に減少する。

0052

そのため、光電変換部68bから出力された電気信号を端部位置検出部68cで解析することにより、切削ブレード18aの切刃18bの下端の高さ位置を検出できる。そして、切削ブレード18aの切刃18bの下端の高さが被加工物1の切削に適した高さ位置となるときの切削ユニット18の高さが制御ユニット56に記録される。これにより、被加工物1を切削する際に該高さ位置に切削ユニット18を位置付けられる。

0053

さらに、切削装置2は、チャックテーブル8の近傍にサブチャックテーブル8b(図4参照)を備える。サブチャックテーブル8bはチャックテーブル8と同様にX軸移動テーブル6上に固定されており、X軸移動テーブル6をX軸方向(加工送り方向)に移動させることによりチャックテーブル8と共にX軸方向に移動できる。また、サブチャックテーブル8bは、上面である保持面に載せられた被保持物吸引保持する吸引機構を備える。

0054

切削ユニット18に装着された切削ブレード18aにより複数の被加工物1を切削すると、切削ブレード18aの切刃18bが損耗して切刃18bに含まれる砥粒結合材から適切に露出していない状態となり、切削ブレード18aの切削能力が低下する。未使用の切削ブレード18aもまた砥粒が適度に露出していないため、そのままでは切削に適さない。そこで、切削ブレード18aを適度に消耗させて切刃18bの結合材から砥粒を適切に露出させるドレッシングと呼ばれる処理が実施される。

0055

ドレッシングの対象となる切削ブレード18aを回転させ、該切削ブレード18aにドレッシングボードと呼ばれる板状物を切削させると、切刃18bの砥粒が適度に露出して、切削ブレード18aの切削能力を向上できる。ドレッシングに使用されるドレッシングボードには複数の種類が存在し、切削ブレード18aの種別により適切なドレッシングボードが選択されて使用される。ドレッシングに使用されるドレッシングボードは、例えば、サブチャックテーブル8bの保持面上に吸引保持される。

0056

ところで、切削ユニット18のノズル44は、上述の通り、所定の高さでブレードカバー46に固定される。しかしながら、切削装置2の使用者等がノズル44の固定高さの設定を誤る場合や、切削ブレード18aの交換作業時等にノズル44に触れてノズル44の位置がずれる場合がある。また、固定が不適切であり、ノズル44が傾いた状態で固定される場合がある。これらのようにノズル44が適切に固定されていない場合、被加工物1の切削時にノズル44が被加工物1に衝突して、被加工物1に破損が生じる場合がある。

0057

図3(A)は、ノズル44が許容される高さ位置に固定されている切削ユニット18を模式的に示す側面図である。ノズル44の高さ位置の許容される範囲は、例えば、切削ブレード18aの切刃18bの下端の高さ位置64aを基準として設定され、例えば、その下限の高さ位置64bは、高さ位置64aよりも1mm〜2mm高い高さ位置とされる。例えば、ノズル44の直線状部分44aが下限の高さ位置64bよりも高くなるようにノズル44が切削ユニット18に固定される。

0058

図3(B)は、ノズル44が許容される高さ位置に固定されていない切削ユニット18を模式的に示す側面図である。図3(B)に示す通り、ノズル44が傾いた状態で固定される等してノズル44の直線状部分44aが該下限の高さ位置64bよりも低くなる場合、このまま切削ブレード18aにより被加工物1を切削すると、ノズル44が被加工物1に衝突してしまう。

0059

そこで、該切削装置2には、ノズル高さ検査ユニットが設けられる。次に、該ノズル高さ検査ユニットについて説明する。ノズル高さ検査ユニットは、切削ユニット18に固定されたノズル44の高さの適否を判定する。図4は、ノズル高さ検査ユニット58の構成の一部を模式的に説明する構成図である。図4には、切削ユニット18の側面図と、チャックテーブル8の断面図と、サブチャックテーブル8bの側面図と、回路図と、が示されている。

0060

ノズル高さ検査ユニット58は、例えば、接触検出部60と、該接触検出部60を含む接触検出回路62と、を有する。該接触検出回路62は、例えば、電源62dと、スイッチ62aと、該接触検出部60と、スイッチ62bと、を有しこれらが直列に接続されている。

0061

該接触検出部60は、一端がスイッチ62aと、電源62dと、を介してチャックテーブル8及びサブチャックテーブル8bに電気的に接続され、他端がスイッチ62bを介して切削ユニット18のノズル44に電気的に接続されている。また、該接触検出部60の該他端はスイッチ62c及びスピンドル40を介して切削ブレード18aに電気的に接続されている。

0062

ノズル高さ検査ユニット58によりノズル44の高さを検査する際には、チャックテーブル8又はサブチャックテーブル8bのいずれかのチャックテーブルの保持面に治具ピース66を直接載せ、該チャックテーブルに治具ピース66を吸引保持させる。以下、図4に示す通り、治具ピース66を吸引保持するチャックテーブルがサブチャックテーブル8bである場合を例に説明するが、治具ピース66はどちらのチャックテーブルに吸引保持されてもよい。

0063

該治具ピース66は、例えば、ステンレス鋼カーボン等の導電性及び剛性を有する材料で構成された部材であり、それぞれ平坦であり互いに平行な上面及び下面を有する。治具ピース66は、切削ブレード18aの切刃18bの下端の高さ位置64aと、該高さ位置64aに対するノズル44の高さ位置の許容される範囲の下限の高さ位置64bと、の間の距離よりも大きい厚さとされる。

0064

ノズル高さ検査ユニット58は、治具ピース66と、切削ブレード18aと、の間の電気的導通の有無を検出することにより治具ピース66と、切削ブレード18aと、の接触の有無を判定できる。また、ノズル高さ検査ユニット58は、治具ピース66と、ノズル44と、の間の電気的導通の有無を検出することにより治具ピース66と、ノズル44と、の接触の有無を判定できる。

0065

ノズル高さ検査ユニット58は、高さ方向における該ノズル44の位置が異常であることを報知する報知部をさらに備える。例えば、報知部は表示部50であり、ノズル44の高さ位置の異常が検出された場合に、表示部50に該異常を知らせるための警告画像が表示される。または、報知部は警報ランプ52であり、ノズル44の高さ位置の異常が検出された場合に、赤色ランプが点灯される。または、切削装置2は、ノズル44の位置の異常が検出された場合に警告音を発するブザー(不図示)を報知部として有してもよい。

0066

次に、本実施形態の一態様に係るノズル高さ検査方法について説明する。図9(A)は、本実施形態の一態様に係るノズル高さ検査方法のフローを示すフローチャートである。該ノズル高さ検査方法では、まず、チャックテーブル8又はサブチャックテーブル8bのいずれかのチャックテーブルの保持面上に治具ピース66を固定する治具ピース固定ステップS11を実施する。

0067

例えば、治具ピース固定ステップS11では、図4に示す通り、サブチャックテーブル8bの保持面上に治具ピース66を載せ、サブチャックテーブル8bの吸引保持機構を作動させて治具ピース66をサブチャックテーブル8bに吸引保持させる。

0068

該ノズル高さ検査方法では、次に、切削ユニット18の高さの基準位置を設定する基準位置設定ステップS12を実施する。基準位置設定ステップS12では、ノズル44の高さの異常の有無を判定する際の切削ユニット18の基準の高さとなる基準位置を設定する。ここで、該基準位置は、切削ブレード18aの下端の高さ位置が治具ピース66の上面の高さ位置となる際の高さ方向(Z軸方向、切り込み送り方向)における切削ユニット18の高さ位置である。

0069

基準位置設定ステップS12では、まず、切削ブレード18aの下方に治具ピース66を位置付けるように、X軸移動テーブル6を移動させて治具ピース66を保持するサブチャックテーブル8bを移動させる。次に、治具ピース66の上面に切削ブレード18aを接触させるように切削ユニット18を下降させる。このとき、切削ブレード18aと、治具ピース66と、の接触は、例えば、ノズル高さ検査ユニット58の接触検出回路62に設けられた接触検出部60により検出する。

0070

切削ブレード18aと、治具ピース66と、の接触を検出する場合、図5(A)に示す通り、予め接触検出回路62のスイッチ62a及びスイッチ62cをオンに切り替え、スイッチ62bをオフに切り替えておく。図5(A)は基準位置設定ステップS12を模式的に示す側面図であり、図5(A)には接触検出回路62の回路図が示されている。

0071

図5(A)に示す通り切削ブレード18aと、治具ピース66と、が接触して導通すると、接触検出回路62に電流が生じ、接触検出部60により該電流が観測される。すなわち、接触検出部60により接触検出回路62の該電流が観測されると、切削ブレード18aと、治具ピース66と、の接触が検出される。そして、基準位置設定ステップS12では、該接触が検出された際の切削ユニット18の高さを基準位置として設定する。

0072

該ノズル高さ検査方法では、次に、接触判定ステップS13を実施する。接触判定ステップS13では、まず、ノズル44の直線状部分44aの先端が治具ピース66の上方に位置し、かつ、切削ブレード18aの切刃18bの下端が治具ピース66の水平方向外側に位置するように切削ユニット18を位置付ける。この際、X軸移動テーブル6、Y軸移動プレート26、及びZ軸移動プレート32を移動させる。

0073

接触判定ステップS13では、次に、上述の基準位置より所定距離下方の検査位置に至るまで該切削ユニットを下降させる。ここで、該所定距離とは、例えば、切削ブレード18aの切刃18bの下端の高さ位置と、ノズル44の直線状部分44aの高さ位置と、の高さ方向における許容される距離の範囲の下限である。

0074

なお、接触判定ステップS13を実施する際は、予め接触検出回路62のスイッチ62a及びスイッチ62bをオンに切り替え、スイッチ62cをオフに切り替えておく。図5(B)は、接触判定ステップS13を模式的に示す側面図であり、接触検出回路62の回路図が示されている。

0075

ノズル44が適切に切削ユニット18に固定され、切削ブレード18aの下端の高さ位置と、該ノズル44の直線状部分44aと、の高さ方向における距離が許容される範囲に収まる場合について説明する。この場合、切削ユニット18を該基準位置よりも該所定距離下方の該検査位置に下降させたとき、ノズル44の直線状部分44aと、治具ピース66と、が接触せず、両者間が電気的に導通しない。そのため、接触検出回路62に電流が生じず、接触検出部60が該電流を検出することはない。

0076

次に、ノズル44が適切に切削ユニット18に固定されておらず、切削ブレード18aの下端の高さ位置と、該ノズル44の直線状部分44aと、の高さ方向における距離が該許容される範囲を下回る場合について説明する。この場合、切削ユニット18を該検査位置に下降させたとき、ノズル44の直線状部分44aと、治具ピース66と、が接触して両者間が電気的に導通する。そのため、接触検出回路62に電流が生じ、接触検出部60では、該電流が検出される。

0077

すなわち、切削ユニット18を該基準位置から該検査位置に下降させた際、ノズル高さ検査ユニット58の接触検出部60が接触検出回路62の電流を検出しない場合、治具ピース66と、ノズル44と、が接触していないと判定できる。その一方で、ノズル高さ検査ユニット58の接触検出部60が接触検出回路62の電流を検出する場合、治具ピース66と、ノズル44と、が接触したと判定できる。

0078

治具ピース66と、ノズル44と、が接触したと判定された場合、ノズル44が適切な位置に固定されておらず高さが異常であることが確認される。そこで、接触判定ステップS13を実施し、治具ピース66と、ノズル44と、が接触したと判定された場合、次に、ノズル44の高さが異常であることを報知する報知ステップS14を実施する。

0079

報知ステップS14では、切削装置2の表示部50や警報ランプ52等の報知部によりノズル44の位置が異常であることが報知される。切削装置2の管理者や使用者が報知部により発せられた警告を確認した場合、該管理者等は、切削装置2のノズル44の切削ユニット18への固定状況を確認し、ノズル44の高さ位置等を調整してもよい。

0080

なお、ノズル44の高さ位置の検査は、チャックテーブルに保持された治具ピース66を使用せず、刃先検出ユニット54を使用して実施することもできる。この場合、ノズル高さ検査ユニット58には、刃先検出ユニット54が含まれる。次に、本実施形態の他の一態様に係るノズル高さ検査方法について説明する。図9(B)は、本実施形態の他の一態様に係るノズル高さ検査方法のフローを示すフローチャートである。

0081

図9(B)に示す通り、該ノズル高さ検査方法では、まず、切削ブレード18aの切刃18bの下端を基準位置に位置付ける基準位置位置付けステップS21を実施する。図7(A)は、基準位置位置付けステップS21を模式的に示す側面図である。図7(A)には、基準位置70の一例が示されている。

0082

該基準位置70は、該ノズル高さ検査方法における高さの基準となる。基準位置70は、刃先検出ユニット54の切削ブレード進入溝54c内の刃先検出ユニット54の本体の上端よりも低い高さ位置に設定される。該基準位置70は、刃先検出ユニット54が切削ブレード18aの切刃18bの下端が該基準位置70に到達したことを検出できる高さ位置とされる。

0083

該基準位置70と、刃先検出ユニット54の本体の上端の高さ位置と、の間の切り込み送り方向(Z軸方向、高さ方向)における距離について説明する。該距離は、切削ブレード18aの下端に対するノズル44の高さ位置の許容される範囲の下限と、切削ブレード18aの下端と、の間の切り込み送り方向における距離よりも小さい。

0084

基準位置位置付けステップS21では、切削ユニット18を下降させて刃先検出ユニット54の切削ブレード進入溝54cの内部の発光部54a(図6参照)と、受光部54b(図6参照)と、の間の切削ブレード進入溝54c(図6参照)に切削ブレード18aを進入させる。そして、切削ブレード18aの切刃18bの下端が基準位置70に達するまで切削ユニット18を下降させる。

0085

次に、本実施形態の他の一態様に係るノズル高さ検査方法では、切削ユニット18を更に下降させた際に刃先検出ユニット54と、ノズル44と、が接触したか否かを判定する接触判定ステップS22を実施する。図7(B)は、接触判定ステップS22を模式的に示す側面図である。図7(B)には、判定位置72の一例が示されている。刃先検出ユニット54と、ノズル44と、が接触したか否かは、図7(A)及び図7(B)に示す接触検出回路62により判定される。

0086

接触検出部60は、スイッチ62a及び電源62dを介して刃先検出ユニット54に電気的に接続される。切削ユニット18のノズル44と、刃先検出ユニット54の本体と、が接触すると、両者間が電気的に導通して接触検出回路62に電流が生じ、接触検出部60により該電流が観測される。したがって、接触検出部60は、刃先検出ユニット54の本体と、ノズル44の直線状部分44aと、の間の電気的導通の有無を検出することにより両者が接触したか否かを判定できる。

0087

接触判定ステップS22では、基準位置70よりも低い判定位置72に切削ブレード18aの切刃18bの下端を位置付けるように切削ユニット18を下降させる。刃先検出ユニット54は、切削ユニット18を下降させたとき切削ブレード18aの切刃18bの下端が該判定位置72に達したことを検出する。そして、判定位置72に切削ブレード18aの切刃18bの下端が到達したことを端部位置検出部68cが検出したとき、切削ユニット18の下降を停止させる。ここで、判定位置72について説明する。

0088

判定位置72は、切削ブレード18aの下端に対するノズル44の直線状部分44aの高さ位置の許容される範囲の下限と、切削ブレード18aの下端と、の間の距離だけ刃先検出ユニット54の本体の上端よりも低い高さ位置に設定される。この場合、刃先検出ユニット54の上端の高さ位置と、基準位置70と、の切り込み送り方向(高さ方向)における距離及び基準位置70と、判定位置72と、の該方向における距離の和は、切削ブレード18aの下端と、ノズル44と、の許容される距離の下限となる。

0089

ノズル44が適切に切削ユニット18に固定され、切削ブレード18aの下端の高さ位置と、該ノズル44の直線状部分44aと、の切り込み送り方向(高さ方向)における距離が許容される範囲に収まる場合について説明する。この場合、切削ユニット18を下降させたとき、ノズル44の直線状部分44aと、刃先検出ユニット54の本体と、が接触せず、両者間が電気的に導通しない。そのため、接触検出回路62に電流が生じず、接触検出部60が該電流を検出することはない。

0090

次に、ノズル44が適切に切削ユニット18に固定されておらず、切削ブレード18aの下端の高さ位置と、該ノズル44の直線状部分44aと、の高さ方向における距離が該許容される範囲を下回る場合について説明する。この場合、切削ユニット18を下降させたとき、ノズル44の直線状部分44aと、刃先検出ユニット54の本体と、が接触して両者間が電気的に導通する。そのため、接触検出回路62に電流が生じ、接触検出部60では、該電流が検出される。

0091

すなわち、判定位置72に切削ブレード18aの切刃18bの下端を位置付けるように切削ユニット18を下降させた際、接触検出部60が接触検出回路62の電流を検出しない場合、刃先検出ユニット54と、ノズル44と、が接触していないと判定される。その一方で、接触検出部60が接触検出回路62の電流を検出する場合、刃先検出ユニット54と、ノズル44と、が接触したと判定される。

0092

刃先検出ユニット54と、ノズル44と、が接触したと判定された場合、ノズル44が適切に固定されておらず、切削ブレード18aの切刃18bの下端に対するノズル44の相対的な高さ位置が異常であることが確認される。そこで、接触判定ステップS22を実施し、刃先検出ユニット54の上端にノズル44が接触したと判定された場合、次に、ノズル44の高さが異常であることを報知する報知ステップS23を実施する。なお、該報知ステップS23は、上述の報知ステップS14と同様である。

0093

以上に説明する通り、本実施形態に係る他の一態様に係るノズル44の高さ検出方法によると、切削装置2の使用者等による目視の確認等の方法に依らずノズル44の高さ位置の誤りの有無を確実に検出できる。

0094

なお、上記実施形態では、治具ピース66又は刃先検出ユニット54と、ノズル44と、が接触した際の電気的導通を接触検出部60により検出することで該治具ピース66又は刃先検出ユニット54と、ノズル44と、の接触を検出する場合について説明した。しかし、本発明の一態様に係るノズル高さ検査方法はこれに限定されない。すなわち、該接触は他の方法により検出されてもよい。

0095

例えば、図8(A)に示す通り、切削装置2のサブチャックテーブル8bには、ノズル高さ検査ユニットの構成要素として、弾性波を検出するAE(Acoustic Emission)センサ74が設けられてもよい。図8(A)は、基準位置設定ステップS12の他の一例を模式的に示す側面図である。ノズル高さ検査ユニットは、サブチャックテーブル8bに固定されたAEセンサ74と、該AEセンサ74に電気的に接続された接触検出部76と、を備える。

0096

基準位置設定ステップS12において、切削ユニット18を下降させた際に切削ブレード18aと、治具ピース66と、が接触すると、衝撃により弾性波が生じ、該弾性波がAEセンサ74により検出される。接触検出部76は、AEセンサ74により弾性波が検出されたときに、切削ブレード18aと、治具ピース66と、の接触を検出する。

0097

また、接触判定ステップS13では、切削ユニット18を検査位置に下降させた際にノズル44と、治具ピース66と、が接触する際に生じる弾性波がAEセンサ74により検出された場合に、両者が接触したと判定する。

0098

さらに、例えば、図8(B)に示す通り、刃先検出ユニット54には、弾性波を検出するAEセンサ74が設けられてもよい。図8(B)は、接触判定ステップS22の他の一例を模式的に示す側面図である。AEセンサ74には、接触検出部76が電気的に接続されている。接触判定ステップS22では、刃先検出ユニット54と、ノズル44と、が接触する際に生じる弾性波がAEセンサ74により検出された場合に、両者が接触したと判定される。

0099

また、上記実施形態では、ノズル44の直線状部分44aの先端と、治具ピース66と、の接触の有無を検出することにより、ノズル44の高さ方向における位置の異常の有無を判定したが、本発明の一態様はこれに限定されない。本発明の一態様では、ノズル44の直線状部分44aの基端側と、治具ピース66と、の接触の有無を検出することにより、判定を実施してもよい。

0100

さらに、接触判定ステップS13において、ノズル44の直線状部分44aの先端について切削ユニット18を下降させた際の治具ピース66との接触の有無を検出した後又は前に該直線状部分44aの基端について同様に接触の有無を検出してもよい。このように、直線状部分44aの先端及び基端の両方において切削ユニット18を下降させた際の治具ピース66との接触の有無を検出すると、ノズル44の高さ方向の位置の異常をより詳細に検出でき、また、ノズル44の傾きを評価することもできる。

0101

この場合、接触判定ステップS13では、ノズル44と、治具ピース66と、の接触の有無の検出を計2回実施する必要があり、接触判定ステップ13を実施する手間が増えて時間がかかる。そこで、ノズル44の直線状部分44aよりも長い治具ピース66を使用してもよい。すなわち、切削ユニット18を下降させる前に、ノズル44の直線状部分44aの先端及び基端の両方が該治具ピース66の上方に位置するように切削ユニット18を位置付け、その後切削ユニット18を下降させて該接触の有無を検出する。

0102

ノズル44の直線状部分44aよりも長い治具ピース66を使用すると、ノズル44と、治具ピース66と、の接触の有無の検出を一度実施するだけでノズル44の高さ方向の位置の異常をより詳細に検出でき、ノズル44の傾きを評価できる。すなわち、直線状部分44aの先端側が下方に向くようにノズル44が傾く場合と、直線状部分44aの基端側が下方に向くようにノズル44が傾く場合と、のいずれの場合においてもノズル44の高さの異常を容易に検出できる。

0103

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

0104

1被加工物
3テープ
5フレーム
7フレームユニット
2切削装置
4装置基台
6 X軸移動テーブル
8チャックテーブル
8a 保持面
8bサブチャックテーブル
10クランプ
12,24,30ガイドレール
14,28,34ボールねじ
16,28a,36パルスモータ
36a切り込み送りユニット
18切削ユニット
18a切削ブレード
18b切刃
20排水路
22支持構造
26,32移動プレート
38撮像ユニット(カメラ)
40スピンドル
42 スピンドルハウジ
44ノズル
44a直線状部分
44b 支持部
44c 給水口
46ブレードカバー
46a固定ボルト
46bねじ穴
48切削水供給部
50 表示部
52警報ランプ
54刃先検出ユニット
54a発光部
54b受光部
54c 切削ブレード進入溝
56制御ユニット
58ノズル高さ検査ユニット
60,76接触検出部
62接触検出回路
62a,62b,62c スイッチ
62d電源
64a 高さ位置
66治具ピース
68a光源
68b光電変換部
68c端部位置検出部
70基準位置
72判定位置
74AEセンサ

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