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技術 ピックアップ装置およびピックアップ方法

出願人 リンテック株式会社
発明者 杉下芳昭
出願日 2018年8月3日 (2年3ヶ月経過) 出願番号 2018-147081
公開日 2020年2月6日 (9ヶ月経過) 公開番号 2020-021915
状態 未査定
技術分野 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 ダイシング
主要キーワード 突上げ部材 検知機器 コイルヒータ 接着形態 被支持部材 真空エジェクタ 膨張性粒子 気体発生剤
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年2月6日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (3)

課題

設計の自由度が低下することを防止することができるピックアップ装置を提供すること。

解決手段

接着シートASの接着力を低下させる接着力低下手段10と、接着シートASに貼付されている被着体CPを保持する被着体保持手段20と、被着体CPを保持した被着体保持手段20と接着シートASとを相対移動させ、当該被着体CPを接着シートASから取り外す取外し手段30とを備え、接着シートASには、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該接着シートASの接着力を低下させる膨張性粒子SGが添加されており、接着力低下手段10は、被着体CPが貼付されている接着シートASの被着体貼付領域SAに、当該被着体CPの他方の面CP2側からエネルギーを付与する第1のエネルギー付与手段11を備えている。

概要

背景

従来、被着体貼付された接着シート接着力を低下させ、当該接着シートから被着体を取り外すピックアップ装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

概要

設計の自由度が低下することを防止することができるピックアップ装置を提供すること。接着シートASの接着力を低下させる接着力低下手段10と、接着シートASに貼付されている被着体CPを保持する被着体保持手段20と、被着体CPを保持した被着体保持手段20と接着シートASとを相対移動させ、当該被着体CPを接着シートASから取り外す取外し手段30とを備え、接着シートASには、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該接着シートASの接着力を低下させる膨張性粒子SGが添加されており、接着力低下手段10は、被着体CPが貼付されている接着シートASの被着体貼付領域SAに、当該被着体CPの他方の面CP2側からエネルギーを付与する第1のエネルギー付与手段11を備えている。

目的

本発明の目的は、設計の自由度が低下することを防止することができるピックアップ装置を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
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請求項1

被着体の一方の面が接着シート接着面側貼付された一体物から当該被着体を取り外すピックアップ装置において、前記接着シートの接着力を低下させる接着力低下手段と、前記接着シートに貼付されている被着体を保持する被着体保持手段と、前記被着体を保持した被着体保持手段と前記接着シートとを相対移動させ、当該被着体を前記接着シートから取り外す取外し手段とを備え、前記接着シートには、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該接着シートの接着力を低下させる膨張性粒子が添加されており、前記接着力低下手段は、前記被着体が貼付されている前記接着シートの被着体貼付領域に、当該被着体の他方の面側から前記エネルギーを付与する第1のエネルギー付与手段を備えていることを特徴とするピックアップ装置。

請求項2

前記接着シートは、前記被着体を他のものに接着可能な転着用接着剤層を有し、当該転着用接着剤層を介して前記被着体が貼付され、前記エネルギーが付与されることで、前記転着用接着剤層との接着力が低下し、前記取外し手段は、前記転着用接着剤層が貼付された前記被着体を前記接着シートから取り外すことを特徴とする請求項1に記載のピックアップ装置。

請求項3

前記第1のエネルギー付与手段は、前記被着体保持手段に内蔵されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のピックアップ装置。

請求項4

前記接着力低下手段は、前記被着体貼付領域に、前記接着シートにおける接着面の反対側の反接着面側から前記エネルギーを付与する第2のエネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のピックアップ装置。

請求項5

前記反接着面側から前記被着体を突き上げる突上手段を備え、前記第2のエネルギー付与手段は、前記突上手段に内蔵されていることを特徴とする請求項4に記載のピックアップ装置。

請求項6

被着体の一方の面が接着シートの接着面側に貼付された一体物から当該被着体を取り外すピックアップ方法において、前記接着シートの接着力を低下させる接着力低下工程と、前記接着シートに貼付されている被着体を被着体保持手段で保持する被着体保持工程と、前記被着体を保持した被着体保持手段と前記接着シートとを相対移動させ、当該被着体を前記接着シートから取り外す取外し工程とを実施し、前記接着シートには、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該接着シートの接着力を低下させる膨張性粒子が添加されており、前記接着力低下工程では、前記被着体が貼付されている前記接着シートの被着体貼付領域に、当該被着体の他方の面側から前記エネルギーを付与する第1のエネルギー付与工程を実施することを特徴とするピックアップ方法。

技術分野

0001

本発明は、ピックアップ装置およびピックアップ方法に関する。

背景技術

0002

従来、被着体貼付された接着シート接着力を低下させ、当該接着シートから被着体を取り外すピックアップ装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

先行技術

0003

特開2013−65757号公報

発明が解決しようとする課題

0004

しかしながら、特許文献1に記載された従来のピックアップ装置10(ピックアップ装置)は、粘着シート2(接着シート)における接着面の反対側の反接着面側から、当該接着シートの接着力が低下する紫外線UV(所定のエネルギー)を付与する構成なので、接着シートの反接着面側に配置する構成物制約され、設計の自由度が低下するという不都合を発生する。

0005

本発明の目的は、設計の自由度が低下することを防止することができるピックアップ装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

0006

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

発明の効果

0007

本発明によれば、一方の面側が接着シートに貼付された被着体の他方の面側から、当該接着シートの接着力が低下するエネルギーを付与し、当該被着体が貼付されている被着体貼付領域の接着力を低下させるので、接着シートの反接着面側に配置する構成物が制約されることはなく、設計の自由度が低下することを防止することができる。
また、取外し手段が、転着用接着剤層が貼付された被着体を接着シートから取り外す構成とすれば、取外し手段で取り外した被着体を即座に他のものに接着することができる。
さらに、第1のエネルギー付与手段が被着体保持手段に内蔵されていれば、装置を簡素化することができる。
また、第2のエネルギー付与手段を備えれば、接着シートの接着力をより効率的に低下させることができる。
さらに、第2のエネルギー付与手段が被着体を突き上げる突上手段に内蔵されていれば、装置を簡素化することができる。

図面の簡単な説明

0008

本発明の実施形態に係るピックアップ装置の説明図。
(A)、(B)は本発明の変形例に係るピックアップ装置の説明図。

実施例

0009

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。

0010

本発明のピックアップ装置EAは、被着体としての半導体チップ(以下、単に「チップ」ともいう)CPの一方の面CP1が接着シートASの接着面AS1側に貼付された一体物WKから当該チップCPを取り外す装置であって、接着シートASの接着力を低下させる接着力低下手段10と、接着シートASに貼付されているチップCPを保持する被着体保持手段20と、チップCPを保持した被着体保持手段20と接着シートASとを相対移動させ、当該チップCPを接着シートASから取り外す取外し手段30とを備え、一体物WKを支持する一体物支持手段40と、チップCPが貼付されるリードフレーム基板等の支持体SBを支持する支持体支持手段50との近傍に配置されている。

0011

なお、接着シートASには、図1中符号AAを付した図に示すように、所定のエネルギーとしての熱が付与されることで膨張し、当該接着シートASの接着力を低下させる膨張性粒子SGが添加されている。
また、本実施形態の接着シートASは、基材シートBSと、接着剤層ALと、チップCPを他のものとしての支持体SBに接着可能な転着用接着剤層ADとを有し、転着用接着剤層ADを介してチップCPが貼付され、熱が付与されることで、転着用接着剤層ADとの接着力が低下する。
さらに、本実施形態の接着シートASは、接着剤層ALのみに膨張性粒子SGが添加されたものが採用され、その外縁部にフレーム部材としてのリングフレームRFが貼付されて一体物WKを形成している。

0012

接着力低下手段10は、チップCPが貼付されている接着シートASの被着体貼付領域SAに、当該チップCPの他方の面CP2側から熱を付与するコイルヒータヒートパイプ加熱側等の第1のエネルギー付与手段11を備えている。

0013

被着体保持手段20は、減圧ポンプ真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な保持面21Aを有する保持部材21を備えている。なお、本実施形態の場合、第1のエネルギー付与手段11は、保持部材21に内蔵されている。

0014

取外し手段30は、左右方向に移動可能なスライダ31Aを備えた駆動機器としてのリニアモータ31と、スライダ31Aに支持され、前後方向に移動可能なスライダ32Aを備えた駆動機器としてのリニアモータ32と、スライダ32Aに支持され、上下方向に移動可能かつ延出方向(上下方向)を中心に回転可能な出力軸33Aを備えた駆動機器としての直動回転モータ33と、ブラケット34Aを介して直動回転モータ33に支持されたカメラ投影機等の撮像手段や、光学センサ超音波センサ等の各種センサ等の位置検知機器34とを備え、直動回転モータ33の出力軸33Aで保持部材21を支持している。

0015

一体物支持手段40は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な保持面41Aを有する支持テーブル41を備えている。

0016

支持体支持手段50は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって吸着保持が可能な保持面51Aを有する支持テーブル51を備えている。

0017

以上のピックアップ装置EAの動作を説明する。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機しているピックアップ装置EAに対し、当該ピックアップ装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が、接着シートASにおける接着面AS1の反対側の反接着面AS2が保持面41A側となるようにして一体物WKを一体物支持手段40上に載置するとともに、支持体SBを支持体支持手段50上に載置すると、ピックアップ装置EAが以下のピックアップ動作を行う。すなわち、一体物支持手段40および支持体支持手段50がそれぞれ図示しない減圧手段を駆動し、保持面41Aおよび51Aでの一体物WKおよび支持体SBの吸着保持を開始する。次いで、取外し手段30がリニアモータ31、32、直動回転モータ33および位置検知機器34を駆動し、位置検知機器34の検知結果を基にして、チップCPが所定の位置および所定の方向で保持部材21に保持されるように当該保持部材21を移動させ、図1二点鎖線で示すように、保持面21AをチップCPの他方の面CP2に接触させる。この際、取外し手段30は、ロードセル圧力センサ等の図示しない押圧力検知機器の検知結果を基にして、保持部材21を介してチップCPに付与する押圧力が所定の押圧力となるように、リニアモータ31、32および直動回転モータ33を駆動する。

0018

その後、接着力低下手段10が第1のエネルギー付与手段11を駆動し、チップCPの他方の面CP2側から被着体貼付領域SAに熱を付与すると、図1中符号BBを付した図に示すように、当該被着体貼付領域SAに位置する接着剤層ALに添加されている膨張性粒子SGが膨張し、当該被着体貼付領域SAに無数の凸部CVが形成される。被着体貼付領域SAに無数の凸部CVが形成されると、当該被着体貼付領域SAの転着用接着剤層ADに対する接着面積が減少し、接着シートASの転着用接着剤層ADに対する接着力が低下する。次に、取外し手段30が、転着用接着剤層ADが貼付されたチップCP(以下、「接着剤付きチップCP」という)を接着シートASから取り外す。すなわち、被着体保持手段20が図示しない減圧手段を駆動し、保持面21AでのチップCPの吸着保持を開始した後、取外し手段30が直動回転モータ33を駆動し、チップCPを吸着保持した保持部材21を接着シートASから離間させる。この際、被着体貼付領域SAの転着用接着剤層ADに対する接着力が低下しているので、取外し手段30は、接着剤付きチップCPを容易に接着シートASから取り外すことができる。

0019

そして、取外し手段30がリニアモータ31、32、直動回転モータ33および位置検知機器34を駆動し、位置検知機器34の検知結果を基にして、保持部材21で保持した接着剤付きチップCPが所定の位置および所定の方向で支持体SBに接着するように当該保持部材21を移動させ、図1中二点鎖線で示すように、転着用接着剤層ADを支持体SBの上面に接触させる。この際、取外し手段30は、図示しない押圧力検知機器の検知結果を基にして、保持部材21を介して接着剤付きチップCPに付与する押圧力が所定の押圧力となるように、リニアモータ31、32および直動回転モータ33を駆動する。チップCPが転着用接着剤層ADを介して支持体SBの上面に貼付されると、被着体保持手段20が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面21AでのチップCPの吸着保持を解除する。次いで、取外し手段30がリニアモータ31、32および直動回転モータ33を駆動し、保持部材21を初期位置に復帰させると、支持体支持手段50が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面51Aでの支持体SBの吸着保持を解除してピックアップ動作が完了する。

0020

その後、使用者または図示しない搬送手段が、チップCPが取り付けられた支持体SBを別の工程に搬送した後、新たな支持体SBを支持体支持手段50上に載置する支持体入換動作を行い、ピックアップ装置EAによるピックアップ動作と支持体入換動作とが繰り返される。次に、全てのチップCPまたは所定数のチップCPが接着シートASから取外された後、ピックアップ動作が完了すると、一体物支持手段40が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面41Aでの一体物WKの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、チップCPが取り付けられた支持体SBを別の工程に搬送するとともに、一体物WKからチップCPが取り外されたものを保持面41A上から取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。

0021

以上のような実施形態によれば、一方の面CP1側が接着シートASに貼付されたチップCPの他方の面CP2側から、当該接着シートASの接着力が低下する熱を付与し、当該チップCPが貼付されている被着体貼付領域SAの接着力を低下させるので、接着シートASの反接着面AS2側に配置する構成物が制約されることはなく、設計の自由度が低下することを防止することができる。

0022

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、被着体保持手段は、接着シートが貼付されている被着体を保持可能であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。

0023

本発明のピックアップ装置EAは、図2(A)に示すように、接着力低下手段10が、被着体貼付領域SAに、接着シートASにおける反接着面AS2側から熱を付与するコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の第2のエネルギー付与手段12を備えていてもよい。
このような第2のエネルギー付与手段12は、例えば、支持テーブル41に内蔵され、保持部材21でチップCPを保持する前段で、被着体貼付領域SAに熱を付与し、前記実施形態と同様の原理で、接着シートAS全体または、接着シートASの一部の転着用接着剤層ADに対する接着力を低下させることができる。

0024

また、本発明のピックアップ装置EAは、図2(B)に示すように、反接着面AS2側からチップCPを突き上げる突上手段60を採用し、第2のエネルギー付与手段12が突上手段60に内蔵されていてもよい。
このような突上手段60は、図2(B−1)に示すように、左右方向に移動可能なスライダ61Aを備えた駆動機器としてのリニアモータ61と、スライダ61Aに支持され、前後方向に移動可能なスライダ62Aを備えた駆動機器としてのリニアモータ62と、スライダ62Aに支持され、上下方向に移動可能な出力軸63Aを備えた駆動機器としての直動モータ63と、ブラケット64Aを介して直動モータ63に支持されたカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等の位置検知機器64と、直動モータ63の出力軸63Aに支持された突上げ部材65とを備え、当該突上げ部材65に第2のエネルギー付与手段12が内蔵されていている。
この場合、保持部材21でチップCPを保持する前段で、突上手段60がリニアモータ61、62、直動モータ63および位置検知機器64を駆動し、図2(B−2)に示すように、位置検知機器64の検知結果を基にして、突上げ部材65でチップCPを突き上げる。次いで、接着力低下手段10が第2のエネルギー付与手段12を駆動し、被着体貼付領域SAに熱を付与し、前記実施形態と同様の原理で接着シートASの転着用接着剤層ADに対する接着力を低下させる。その後は、前記実施形態と同様の動作が行われ、図2(B−2)中二点鎖線で示すように、保持面21AをチップCPの他方の面CP2に接触させた後、第1のエネルギー付与手段11で被着体貼付領域SAに熱を付与し、チップCPを接着シートASから取り外す。
以上のように、本発明のピックアップ装置EAは、接着シートASの反接着面AS2側に配置する構成物が制約されることがないので、図2(A)、(B)のような構成物の他、必要に応じて他の構成物を自由に接着シートASの反接着面AS2側に配置することができ、設計の自由度が低下することを防止することができる。

0025

接着力低下手段10は、保持部材21の外部に第1のエネルギー付与手段11が設けられていたり、突上げ部材65の外部に第2のエネルギー付与手段12が設けられていたりしてもよく、例えば、保持部材21や突上げ部材65にブラケットを介して第1のエネルギー付与手段11や第2のエネルギー付与手段12が支持されていてもよいし、第1のエネルギー付与手段11が駆動機器によって保持部材21と入れ替わるように構成し、チップCPの他方の面CP2側に当該第1のエネルギー付与手段11が配置されるようにしてもよいし、第1のエネルギー付与手段11と第2のエネルギー付与手段12とを同種のもので構成してもよいし、異なるもので構成してもよいし、第1、第2のエネルギー付与手段11、12として、1つのチップCPに対応した被着体貼付領域SA毎に熱を付与するものを採用したり、複数のチップCPに対応した被着体貼付領域SAに熱を付与するものを採用したり、被着体貼付領域SAに対して部分的に熱を付与する第1のエネルギー付与手段と一体物WKとを相対移動させ、被着体貼付領域SA全体に熱を付与したりしてもよいし、膨張性粒子SGの特性、特質性質材質組成および構成等を考慮して、被着体貼付領域SAに熱を付与する時間を任意に決定することができるし、第1、第2のエネルギー付与手段11、12として、赤外線ヒータ温水給湯器LED(Light Emitting Diode、発光ダイオードランプ高圧水銀ランプ低圧水銀ランプメタルハライドランプキセノンランプハロゲンランプ等を採用し、接着シートASの接着力を低下させてもよいし、以上に例示したものや、各種のエネルギーを出力可能な公知のエネルギー出力手段を適宜に組み合わせた第1、第2のエネルギー付与手段11、12を採用してもよいし、被着体貼付領域SAの一端から他端に向けて徐々にエネルギーを付与してもよいし、被着体貼付領域SAの中央部から外縁部に向けて徐々にエネルギーを付与してもよいし、被着体貼付領域SAの外縁部から中央部に向けて徐々にエネルギーを付与してもよい。

0026

被着体保持手段20は、チップCPを1つだけ保持可能な構成でもよいし、複数保持可能な構成でもよく、1つまたは複数保持したチップCPを取外し手段30で接着シートASから取り外してもよいし、接着シートASから取り外した1つまたは複数のチップCPを取外し手段30で支持体SBに貼付してもよい。

0027

取外し手段30は、チップCPを保持した被着体保持手段20と接着シートASとの一方の移動を規制した状態で他方を移動させたり、それら両方を移動させたりすることで、チップCPを接着シートASから取り外してもよいし、チップCPを保持した被着体保持手段20と支持体SBとの一方の移動を規制した状態で他方を移動させたり、それら両方を移動させたりすることで、チップCPを支持体SBに貼付してもよいし、位置検知機器34を備えていなくてもよいし、接着シートASから取り外したチップCPを他のものに貼付しなくてもよい。

0028

一体物支持手段40は、一体物WKを保持する保持手段を備えていなくてもよいし、本発明のピックアップ装置EAに備わっていてもよいし、ピックアップ装置EAに備わっていなくてもよく、一体物支持手段40がピックアップ装置EAに備わっていていない場合、当該ピックアップ装置EAは、前記実施形態で例示したピックアップ動作において、保持面41Aで一体物WKを吸着保持する工程等を実施しなくてもよい。

0029

支持体支持手段50は、支持体SBを保持する保持手段を備えていていなくてもよいし、本発明のピックアップ装置EAに備わっていてもよいし、本発明のピックアップ装置EAに備わっていなくてもよく、支持体支持手段50がピックアップ装置EAに備わっていていない場合、当該ピックアップ装置EAは、前記実施形態で例示したピックアップ動作において、保持面51Aで支持体SBを吸着保持する工程や、保持部材21で保持した接着剤付きチップCPを支持体SBの上面に貼付する工程等を実施しなくてもよい。

0030

突上手段60は、第2のエネルギー付与手段12を内蔵していない突上げ部材65でチップCPを突き上げてもよいし、位置検知機器64を備えていなくてもよいし、本発明のピックアップ装置EAに備わっていなくてもよい。

0031

接着シートASは、熱湯熱風等の熱、冷却された気体液体等の冷却媒体、紫外線、可視光線音波X線またはガンマ線等のあらゆる波長電磁波、振動薬品化学物質等を所定のエネルギーとし、当該所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該接着シートASの接着力を低下させる膨張性粒子SGが添加されたものが採用されてもよく、第1、第2のエネルギー付与手段11、12は、膨張性粒子SGの特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮し、熱、冷却媒体、あらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を付与して当該膨張性粒子SGを膨張させ、接着シートASの接着力を低下できればどのような構成のものでもよい。
接着シートASは、当該接着シートASを構成する基材シートBSのみに膨張性粒子SGが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ALと基材シートBSとの両方に膨張性粒子SGが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層ALと基材シートBSとの中間に1または複数の中間層が存在し、当該中間層、接着剤層ALおよび基材シートBSのうち少なくとも1つまたは少なくとも2つに膨張性粒子SGが添加されているものが採用されてもよいし、チップCPにおける回路が形成された面に貼付されていてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されていてもよいし、接着剤層ALと基材シートBSとの両方に膨張性粒子SGが添加されている場合や、中間層、接着剤層ALおよび基材シートBSのうち少なくとも2つに膨張性粒子SGが添加されている場合、それら膨張性粒子SGは、同一のものでもよいし、同一でないものでもよい。
チップCPは、一方の面および他方の面のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよい。
接着シートASは、転着用接着剤層ADを有しておらず、接着剤層ALに直接チップCPが貼付されていてもよい。この場合、接着力低下手段10が第1のエネルギー付与手段11を駆動し、チップCPの他方の面CP2側から被着体貼付領域SAに熱を付与すると、接着シートASは、チップCPとの接着力が低下するようになる。そして、取外し手段30が各駆動機器を駆動し、当該チップCPのみを接着シートASから取り外す。なお、接着シートASから取り外したチップCPを他のものに接着させる場合には、例えば、取外し手段30で搬送中のチップCPに接着剤粘着テープ等の接着手段を積層すればよい。
被着体は、例えば、半導体ウエハ硝子板等の母材に、外力が付与されることで割断される改質部や溝等の割断容易部が形成され、当該割断容易部によって区分された領域でもよい。この場合、割断容易部によって区分された領域を被着体保持手段20で保持し、取外し手段30で接着シートASから取り外す力を外力として被着体を取り外してもよい。なお、このような割断容易部は、レーザ光線、電磁波、振動、熱、薬品、化学物質等を付与し、母材の特性、特質、性質、材質、組成、構成、寸法等を変更することで、当該母材を脆弱化、粉砕化、液化または空洞化して形成してもよく、割断容易部は、例えば、X軸と平行な1本でもよいし、Y軸と平行な1本でもよいし、X軸やY軸と平行でない1本または複数でもよいし、相互に不等間隔な複数でもよいし、相互に平行または平行でない複数でもよいし、相互に交差しない複数でもよいし、相互に直交または斜交する複数でもよいし、曲線状または折線状の1本または複数でもよく、そのような割断容易部によって形成される被着体の形状は、円形楕円形三角形または四角形以上の多角形等、どのような形状でもよい。
一体物WKは、接着シートASに貼付されたチップCPが1つでもよいし、2つ以上でもよいし、チップCPが接着シートASを介してフレーム部材とは異なるもの一体化されたものでもよいし、環状または環状でないフレーム部材が貼付されていてもよいし、フレーム部材が貼付されていなくてもよい。

0032

膨張性粒子SGは、例えば、イソブタンプロパンペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願2017−73236、特開2013−159743、特開2012−167151、特開2001−123002等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開2013−47321、特開2007−254580、特開2011−212528、特開2003−261842等で開示されている膨張性粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス窒素を発生させて膨張性粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開2016−53115、特開平7−278333で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴム樹脂等でもよいし、その他、重曹炭酸水素ナトリウムベーキングパウダ等でもよい。

0033

本発明における接着シートASおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASおよび被着体は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シートASは、感圧接着性感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層ALだけの単層のもの、基材シートBSと接着剤層ALとの間に中間層を有するもの、基材シートBSの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートBSを接着剤層ALから剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品樹脂容器シリコン半導体ウエハ化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板光ディスク等の情報記録基板ガラス板鋼板陶器木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方換え、例えば、情報記載用ラベル装飾用ラベル、保護シートダイシングテープダイアタッチフィルムダイボンディングテープ記録層成樹脂シート等の任意のシート、フィルムテープ等でもよい。

0034

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器エアシリンダ油圧シリンダロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力ベルヌーイ吸着吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよい。

0035

EA…ピックアップ装置
10…接着力低下手段
11…第1のエネルギー付与手段
12…第2のエネルギー付与手段
20…被着体保持手段
30…取外し手段
60…突上手段
AD…転着用接着剤層
AS…接着シート
AS1…接着面
AS2…反接着面
CP…半導体チップ(被着体)
CP1…一方の面
CP2…他方の面
SA…被着体貼付領域
SB…支持体(他のもの)
SG…膨張性粒子
WK…一体物

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