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技術 シート貼付装置およびシート貼付方法

出願人 リンテック株式会社
発明者 杉下芳昭
出願日 2018年8月3日 (2年3ヶ月経過) 出願番号 2018-147080
公開日 2020年2月6日 (9ヶ月経過) 公開番号 2020-021914
状態 未査定
技術分野 ダイシング ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等
主要キーワード 被押圧物 剥離縁 レーザカッタ 天地反転 コイルヒータ ファンフォールド チャックアーム 接着形態
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年2月6日)のものです。
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図面 (2)

課題

装置の大型化を防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。

解決手段

一方の面WF1に第1接着シートAS1が貼付された被着体WFを支持する支持手段10と、第2接着シートAS2を供給する供給手段20と、支持手段10で支持した被着体WFの他方の面WF2に、供給手段20で供給した第2接着シートAS2を貼付する貼付手段30とを備え、第1接着シートAS1は、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該第1接着シートAS1の接着力を低下させる膨張性粒子SGが添加されており、支持手段10は、第1接着シートAS1にエネルギーを付与するエネルギー付与手段14を備えている。

概要

背景

従来、一方の面に第1接着シート貼付された被着体の他方の面に第2接着シートを貼付し、第1接着シートの接着力が低下する所定のエネルギーを付与して当該第1接着シートを剥離するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

概要

装置の大型化を防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供すること。一方の面WF1に第1接着シートAS1が貼付された被着体WFを支持する支持手段10と、第2接着シートAS2を供給する供給手段20と、支持手段10で支持した被着体WFの他方の面WF2に、供給手段20で供給した第2接着シートAS2を貼付する貼付手段30とを備え、第1接着シートAS1は、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該第1接着シートAS1の接着力を低下させる膨張性粒子SGが添加されており、支持手段10は、第1接着シートAS1にエネルギーを付与するエネルギー付与手段14を備えている。

目的

本発明の目的は、装置の大型化を防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

一方の面に第1接着シート貼付された被着体を支持する支持手段と、第2接着シートを供給する供給手段と、前記支持手段で支持した前記被着体の他方の面に、前記供給手段で供給した前記第2接着シートを貼付する貼付手段とを備え、前記第1接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該第1接着シートの接着力を低下させる膨張性粒子が添加されており、前記支持手段は、前記第1接着シートに前記エネルギーを付与するエネルギー付与手段を備えていることを特徴とするシート貼付装置

請求項2

前記支持手段は、前記被着体の外部にフレーム部材を支持し、前記貼付手段は、前記被着体および前記フレーム部材に前記第2接着シートを貼付することを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。

請求項3

前記被着体から前記第1接着シートを剥離するシート剥離手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のシート貼付装置。

請求項4

一方の面に第1接着シートが貼付された被着体を支持手段で支持する支持工程と、第2接着シートを供給する供給工程と、前記支持手段で支持した前記被着体の他方の面に、前記供給工程で供給した前記第2接着シートを貼付する貼付工程とを実施し、前記第1接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該第1接着シートの接着力を低下させる膨張性粒子が添加されており、前記支持工程では、前記支持手段によって前記第1接着シートに前記エネルギーを付与するエネルギー付与工程を実施することを特徴とするシート貼付方法

技術分野

0001

本発明は、シート貼付装置およびシート貼付方法に関する。

背景技術

0002

従来、一方の面に第1接着シート貼付された被着体の他方の面に第2接着シートを貼付し、第1接着シートの接着力が低下する所定のエネルギーを付与して当該第1接着シートを剥離するシート貼付装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

先行技術

0003

特開2000−068293号公報

発明が解決しようとする課題

0004

しかしながら、特許文献1に記載された従来のウエハ転写装置(シート貼付装置)では、保護テープP(第1接着シート)に紫外線(エネルギー)を付与する紫外線照射ユニット300(エネルギー付与手段)が単独で存在するため、装置が大型化するという不都合を発生する。

0005

本発明の目的は、装置の大型化を防止することができるシート貼付装置およびシート貼付方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

0006

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

発明の効果

0007

本発明によれば、支持手段がエネルギー付与手段を備えているので、当該エネルギー付与手段が単独で存在することがなく、装置の大型化を防止することができる。
また、貼付手段が被着体およびフレーム部材に第2接着シートを貼付する構成とすれば、被着体をフレーム部材と一体化することができる。
さらに、シート剥離手段を備えれば、第1接着シートが不要となった場合、当該第1接着シートを被着体から剥離することができる。

図面の簡単な説明

0008

(A)〜(C)は、本発明の実施形態に係るシート貼付装置の説明図。

実施例

0009

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、図1(A)に示すY軸方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。

0010

本発明のシート貼付装置EAは、一方の面WF1に第1接着シートAS1が貼付された被着体としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WFを支持する支持手段10と、第2接着シートAS2を供給する供給手段20と、支持手段10で支持したウエハWFの他方の面WF2に、供給手段20で供給した第2接着シートAS2を貼付する貼付手段30と、ウエハWFから第1接着シートAS1を剥離するシート剥離手段40とを備えている。
なお、第1接着シートAS1は、基材シートBS1と接着剤層AL1とを備え、接着剤層AL1のみに、所定のエネルギーとしての熱が付与されることで膨張し、当該第1接着シートAS1の接着力を低下させる膨張性粒子SGが添加されたものが採用され、第2接着シートAS2は、基材シートBS2と接着剤層AL2とで構成されたものが採用されている。

0011

支持手段10は、上面が保持面11Aとされた外側テーブル11と、外側テーブル11に形成された凹部11B内に支持された駆動機器としての直動モータ12と、その出力軸12Aに支持され上面が保持面13Aとされた内側テーブル13と、内側テーブル13に内蔵され、第1接着シートAS1に熱を付与するエネルギー付与手段としての加熱手段14と、保持面11A、13Aに吸着力を付与する減圧ポンプ真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)とを備えている。なお、外側テーブル11の後側縁部には、チャックアーム41Eが入り込む切欠部11Cが形成されている。また、外側テーブル11は、ウエハWFの外部にフレーム部材としてのリングフレームRFを支持可能に設けられている。

0012

供給手段20は、帯状剥離シートRLの一方の面に第2接着シートAS2が仮着された原反RSを支持する支持ローラ21と、原反RSを案内するガイドローラ22と、剥離縁23Aで剥離シートRLを折り曲げて当該剥離シートRLから第2接着シートAS2を剥離する剥離手段としての剥離板23と、駆動機器としての回動モータ24Aの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ24Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ24と、ピンチローラ24Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与して当該剥離シートRLを回収する回収手段としての回収ローラ25とを備えている。

0013

貼付手段30は、そのスライダ31Aで外側テーブル11を支持する駆動機器としてのリニアモータ31と、ウエハWFおよびリングフレームRFに第2接着シートAS2を押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ32とを備え、第2接着シートAS2を介してウエハWFとリングフレームRFとが一体化された一体物WKを形成する構成となっている。

0014

シート剥離手段40は、ウエハWFを上下反転させるウエハ反転部41と、ウエハWFから第1接着シートAS1を剥離するシート剥離部42とを備えている。
ウエハ反転部41は、駆動機器としてのリニアモータ41Aのスライダ41Bに支持された駆動機器としての回動モータ41Cと、その出力軸41Dに支持され、一体物WKを把持するチャックアーム41Eを有する駆動機器(保持手段)としてのチェックモータ41Fとを備えている。
シート剥離部42は、保持手段としての帯状の剥離用テープPTを支持する支持ローラ42Aと、剥離用テープPTを案内するガイドローラ42Bと、駆動機器としての直動モータ42Cの出力軸42Dに回転可能に支持された剥離ローラ42Eと、駆動機器としての回動モータ42Fの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ42Gとで剥離用テープPTを挟み込む駆動ローラ42Hと、ピンチローラ42Gとの間に存在する剥離用テープPTに常に所定の張力を付与して当該剥離用テープPTを回収する回収手段としての回収ローラ42Jとを備えている。

0015

以上のシート貼付装置EAの動作を説明する。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機しているシート貼付装置EAに対し、当該シート貼付装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が原反RSおよび剥離用テープPTを同図のようにセットした後、操作パネルパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、供給手段20が回動モータ24Aを駆動し、原反RSを繰り出して先頭の第2接着シートAS2の繰出方向先端部が剥離板23の剥離縁23Aで剥離シートRLから所定長さ剥離されると、回動モータ24Aの駆動を停止する。

0016

次いで、使用者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が図1(A)に示すように、リングフレームRFを保持面11A上に載置するとともに、第1接着シートAS1を下側にしてウエハWFを保持面13A上に載置すると、支持手段10が図示しない減圧手段を駆動し、保持面11A、13AでのウエハWFおよびリングフレームRFの吸着保持を開始する。その後、支持手段10が直動モータ12を駆動し、図1(A)中符号AAを付した図に示すように、ウエハWFの他方の面WF2がリングフレームRFの上面と同一平面内に位置する高さまで内側テーブル13を上昇させた後、貼付手段30がリニアモータ31を駆動し、スライダ31Aを左方へ移動させる。次に、リングフレームRFが供給手段20に対する所定の位置に到達すると、当該供給手段20が回動モータ24Aを駆動し、スライダ31Aの移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、第2接着シートAS2が剥離シートRLから剥離され、当該剥離シートRLから剥離された第2接着シートAS2は、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ32によってリングフレームRFの上面およびウエハWFの他方の面WF2に押圧されて貼付され、一体物WKが形成される。そして、次の第2接着シートAS2の繰出方向先端部が剥離板23の剥離縁23Aで剥離シートRLから所定長さ剥離されると、供給手段20が回動モータ24Aの駆動を停止する。

0017

次いで、スライダ31Aの左方への移動により、チャックアーム41Eの前方に切欠部11Cが到達すると、貼付手段30がリニアモータ31の駆動を停止する。その後、シート剥離手段40がチェックモータ41Fを駆動し、図1(B)中二点鎖線で示すように、チャックアーム41Eで一体物WKを保持した後、支持手段10が図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面11A、13Aでの一体物WKの吸着保持を解除する。次に、シート剥離手段40がリニアモータ41Aおよび回動モータ41Cを駆動し、図3(B)中二点鎖線で示すように、チャックアーム41Eで保持した一体物WKを所定高さにまで持ち上げた後、当該一体物WKを上下反転させる。そして、支持手段10が直動モータ12を駆動し、内側テーブル13を初期位置に復帰させた後、シート剥離手段40がリニアモータ41Aを駆動し、第2接着シートAS2を下側にして一体物WKを保持面11A、13A上に載置する。次いで、支持手段10が図示しない減圧手段を駆動し、保持面11A、13Aでの一体物WKの吸着保持を開始すると、シート剥離手段40がチェックモータ41Fを駆動し、チャックアーム41Eを初期位置に復帰させる。

0018

その後、貼付手段30がリニアモータ31を駆動し、スライダ31Aを左方へ移動させ、図1(A)中二点鎖線で示すように、一体物WKにおける第1接着シートAS1の左端部が剥離ローラ42Eの最下端部直下に到達すると、貼付手段30がリニアモータ31の駆動を停止する。次に、シート剥離手段40が直動モータ42Cを駆動し、剥離ローラ42Eを下降させて剥離用テープPTを第1接着シートAS1の左端部に貼付すると、貼付手段30およびシート剥離手段40がリニアモータ31および回動モータ42Fを駆動し、図3(C)に示すように、スライダ31Aを左方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用テープPTを回収ローラ42J方向へ送る。これにより、第1接着シートAS1がウエハWFから剥離され、当該第1接着シートAS1が除去された一体物WK(以下、単に「不要シート除去済み一体物WK」という)が形成されると、シート剥離手段40が直動モータ42Cを駆動し、剥離ローラ42Eを初期位置に復帰させた後、回動モータ42Fの駆動を停止する。そして、不要シート除去済み一体物WKがシート剥離手段40の左方所定位置に到達すると、貼付手段30および支持手段10がリニアモータ31および図示しない減圧手段の駆動を停止し、スライダ31Aの左方へ移動を停止するとともに、保持面11A、13Aでの不要シート除去済み一体物WKの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が不要シート除去済み一体物WKを次工程に搬送すると、貼付手段30がリニアモータ31を駆動し、スライダ31Aを初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

0019

なお、本実施形態の場合、シート貼付装置EAは、保持面13A上にウエハWFが載置されると、支持手段10が加熱手段14を駆動し、ウエハWFに貼付されている第1接着シートAS1に熱を付与する。すると、図1(A)中符号BBを付した図に示すように、第1接着シートAS1の接着剤層AL1に添加されている膨張性粒子SGが膨張し、接着剤層AL1に無数の凸部CVが形成される。接着剤層AL1に無数の凸部CVが形成されると、当該接着剤層AL1のウエハWFに対する接着面積が減少し、第1接着シートAS1のウエハWFに対する接着力が低下して、第1接着シートAS1は、ウエハWFから簡単に剥離することができるようになる。

0020

以上のようなシート貼付装置EAによれば、支持手段10が加熱手段14を備えているので、当該加熱手段14が単独で存在することがなく、装置の大型化を防止することができる。

0021

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、第2接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。

0022

支持手段10は、内側テーブル13が昇降せずに外側テーブル11が昇降したり、内側テーブル13と外側テーブル11との両方が昇降したりして、ウエハWFの上面がリングフレームRFの上面と同一平面内に位置するように構成してもよいし、内側テーブル13と外側テーブル11との両方が昇降しない構成でもよいし、内側テーブル13と外側テーブル11とに分かれていなくてもよいし、フレーム部材を支持しない構成でもよいし、保持手段が備わっていなくてもよい。
支持手段10が加熱手段14を駆動するタイミングは、例えば、保持面13A上にウエハWFが載置された後でもよいし、ウエハWFの他方の面WF2に貼付手段30で第2接着シートAS2を貼付した後でもよいし、保持面13A上にウエハWFが載置される前でもよく、シート剥離手段40で第1接着シートAS1をウエハWFから剥離する前段であればどのタイミングでもよい。
支持手段10は、加熱手段14として、コイルヒータヒートパイプ加熱側等を採用してもよいし、エネルギー付与手段として光を発光する発光源が採用された場合、当該発行源として、例えば、LED(Light Emitting Diode、発光ダイオードランプ高圧水銀ランプ低圧水銀ランプメタルハライドランプキセノンランプハロゲンランプ等何を採用したり、それらを適宜に組み合わせたものを採用したりしてもよい。

0023

供給手段20は、剥離シートRLに仮着された帯状の接着シート基材閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた所定の領域が第2接着シートAS2とされた原反RSを繰り出してもよいし、帯状の接着シート基材が剥離シートRLに仮着された原反RSを採用し、接着シート基材に閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を切断手段で形成し、その切込で仕切られた所定の領域を第2接着シートAS2としてもよいし、支持ローラ21やガイドローラ22等の各ローラの代わりに、板状部材シャフト部材等で原反RSや剥離シートRLを支持したり案内したりしてもよいし、原反RSを巻回することなく例えばファンフォールド折りにして支持してもよいし、回収手段は、巻回することなく例えばファンフォールド折りにして剥離シートRLを回収してもよいし、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよい。

0024

貼付手段30は、支持手段10を移動させずにまたは移動させつつ、押圧ローラ32を移動させ、ウエハWFの他方の面WF2に第2接着シートAS2を貼付してもよいし、供給手段20で供給された第2接着シートAS2を接着面の反対側から保持部材で保持し、保持した第2接着シートAS2をウエハWFの他方の面WF2に貼付する押圧手段としての駆動機器を備えた構成でもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、第2接着シートAS2をウエハWFの他方の面WF2に貼付してもよいし、押圧ローラ32をウエハWFに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を採用し、ウエハWFにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよいし、他の装置で押圧ローラ32および支持手段10の少なくとも一方を移動させ、第2接着シートAS2をウエハWFの他方の面WF2に貼付する場合、押圧ローラ32のみでもよい。

0025

シート剥離手段40は、一体物WKにおけるリングフレームRF、第1接着シートAS1、ウエハWFおよび、ウエハWFに貼付された第2接着シートAS2のうち少なくとも1つを保持する構成としてもよいし、一体物WKを上昇させることなく、外側テーブル11や内側テーブル13を移動させておいて当該一体物WKを上下反転させてもよいし、ウエハWFの他方の面WF2に貼付手段30で第2接着シートAS2を貼付する前に、当該ウエハWFから第1接着シートAS1を剥離してもよいし、支持手段10に支持されている構成としてもよい。
シート剥離手段40は、ウエハWFを上下反転させることなく当該ウエハWFから第1接着シートAS1を剥離可能であれば、ウエハ反転部41がなくてもよい。
シート剥離手段40は、スライダ31Aの移動を停止させることなく、剥離用テープPTを第1接着シートAS1の左端部に貼付してもよいし、剥離ローラ42Eが昇降しない構成としてもよいし、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第1接着シートAS1を保持し、当該保持部材で保持した第1接着シートAS1をウエハWFから離間させて剥離する構成としてもよいし、支持手段10に支持されている構成としてもよいし、枚葉の剥離用テープPTを第1接着シートAS1に貼付し、当該枚葉の剥離用テープPTに張力を付与してウエハWFから第1接着シートAS1を剥離する構成としてもよいし、ウエハWFを移動させずにまたは移動させつつ、自身が移動してウエハWFから第1接着シートAS1を剥離する構成としてもよいし、例えば、赤外線、紫外線、可視光線音波X線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯熱風等の接着力低減エネルギーによって、接着剤層AL1の接着力が低減するものを採用してもよい。この場合、接着力低減エネルギーを照射する接着力低減エネルギー付与手段を採用し、第1接着シートAS1をウエハWFから剥離する前段で、当該第1接着シートAS1に接着力低減エネルギーを照射するようにすればよい。
シート剥離手段40は、本発明のシート貼付装置EAに備わっていなくてもよい。

0026

第1接着シートAS1として、熱湯や熱風等の熱、冷却された気体液体等の冷却媒体、紫外線、可視光線、音波、X線またはガンマ線等のあらゆる波長の電磁波、振動薬品化学物質等を所定のエネルギーとし、当該所定のエネルギーが付与されることで膨張し、当該第1接着シートAS1の接着力を低下させる膨張性粒子SGが添加されているものが採用されてもよく、エネルギー付与手段は、膨張性粒子SGの特性、特質性質材質組成および構成等を考慮し、熱、冷却媒体、あらゆる波長の電磁波、振動、薬品、化学物質等を付与して当該膨張性粒子SGを膨張させ、第1接着シートAS1の接着力を低下できればどのような構成のものでもよい。
第1接着シートAS1は、当該第1接着シートAS1を構成する基材シートBS1のみに膨張性粒子SGが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層AL1と基材シートBS1との両方に膨張性粒子SGが添加されているものが採用されてもよいし、接着剤層AL1と基材シートBS1との中間に1または複数の中間層が存在し、当該中間層、接着剤層AL1および基材シートBS1のうち少なくとも1つまたは少なくとも2つに膨張性粒子SGが添加されているものが採用されてもよいし、ウエハWFにおける回路が形成された面に貼付されていてもよいし、回路が形成されていない面に貼付されていてもよいし、接着剤層AL1と基材シートBS1との両方に膨張性粒子SGが添加されている場合や、中間層、接着剤層AL1および基材シートBS1のうち少なくとも2つに膨張性粒子SGが添加されている場合、それら膨張性粒子SGは、同一のものでもよいし、同一でないものでもよい。
ウエハWFは、一方の面WF1および他方の面WF2のうち少なくとも一方に所定の回路が形成されていてもよいし、それら両方に回路が形成されていなくてもよいし、他方の面WF2に予めその他の接着シートが貼付されていてもよく、他方の面WF2に予めその他の接着シートが貼付されている場合、第2接着シートAS2は、当該他の接着シートを介してウエハWFに貼付されてもよいし、このような他の接着シートを適宜剥離する公知のシート剥離手段を採用してもよい。
フレーム部材は、環状でもよいし、環状でなくてもよいし、本発明のシート貼付装置EAに用いられなくてもよく、フレーム部材が用いられない場合、貼付手段30は、第2接着シートAS2をウエハWFのみに貼付すればよい。

0027

膨張性粒子SGは、例えば、イソブタンプロパンペンタンなどの加熱によって容易にガス化して膨張する物質弾性を有する殻内に内包された微粒子等が例示でき、特願2017−73236、特開2013−159743、特開2012−167151、特開2001−123002等で開示されている熱発泡性微粒子や、特開2013−47321、特開2007−254580、特開2011−212528、特開2003−261842等で開示されている膨張性粒子等、何ら限定されるものではなく、例えば、熱分解して、水、炭酸ガス窒素を発生させて膨張性粒子と類似の効果を奏する発泡剤を採用してもよいし、特開2016−53115、特開平7−278333で開示されている紫外線により気体を発生するアゾ化合物等の気体発生剤で殻を膨張させるものでもよいし、例えば、加熱によって膨張するゴム樹脂等でもよいし、その他、重曹炭酸水素ナトリウムベーキングパウダ等でもよい。

0028

本発明における第1、第2接着シートAS1、AS2および被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第1、第2接着シートAS1、AS2および被着体は、円形楕円形三角形四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、第1、第2接着シートAS1、AS2は、感圧接着性感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第1、第2接着シートAS1、AS2が採用された場合は、当該第1、第2接着シートAS1、AS2を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第1、第2接着シートAS1、AS2は、例えば、接着剤層AL1、AL2だけの単層のもの、基材シートBS1、BS2と接着剤層AL1、AL2との間に中間層を有するもの、基材シートBS1、BS2の上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートBS1、BS2を接着剤層AL1、AL2から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品樹脂容器シリコン半導体ウエハ化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板光ディスク等の情報記録基板ガラス板鋼板陶器木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第1、第2接着シートAS1、AS2は、機能的、用途的な読み方換え、例えば、情報記載用ラベル装飾用ラベル、保護シートダイシングテープダイアタッチフィルムダイボンディングテープ記録層成樹脂シート等の任意のシート、フィルムテープ等でもよい。

0029

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器エアシリンダ油圧シリンダロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気ガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤粘着シート粘着テープ)、磁力ベルヌーイ吸着吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃レーザカッタイオンビーム火力、熱、水圧電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

0030

EA…シート貼付装置
10…支持手段
14…加熱手段(エネルギー付与手段)
20…供給手段
30…貼付手段
40…シート剥離手段
AS1…第1接着シート
AS2…第2接着シート
RF…リングフレーム(フレーム部材)
SG…膨張性粒子
WF…半導体ウエハ(被着体)
WF1…一方の面
WF2…他方の面

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