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技術 シャッタ装置

出願人 日本エアーテック株式会社
発明者 豊田貴大丸山秋広
出願日 2018年7月30日 (1年10ヶ月経過) 出願番号 2018-142028
公開日 2020年2月6日 (4ヶ月経過) 公開番号 2020-020092
状態 特許登録済
技術分野 シャッタ等の閉鎖部材 面格子、雨戸枠、戸袋
主要キーワード 摺動側面 両側先端 台形板状 接ガイド 搬送用カセット ガイドレール内 接続ホース 最下降位置
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年2月6日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (5)

課題

発塵量を抑えることができるシャッタ装置を提供する。

解決手段

クリーンルーム出入口の縁部にガイドレール15を設け、シャッタ20は、シャッタ本体21とスライダ22とを備え、スライダ22は、ガイドレール15の内壁面15a,15aに沿って摺動する摺動側面23aを有するスライダ本体23と、シャッタ本体21に取り付けられる取付部24とを備え、取付部24の側面24aは、摺動側面23aよりガイドレール幅方向の内側に設けられ、ガイドレール15の開口縁15bは、側面24aに所定の間隔をもって対向配置されているので、スライダ本体23がガイドレール15に沿って摺動する際に、ガイドレール15の開口縁15bが取付部24の側面24aに接触することがない。このため、スライダ22の側面がエッジによって削り取られることがないので、発塵量を抑えることができる。

概要

背景

液晶工場等では、各工程でクリーンルーム仕切られており、ある特定の場所では、搬送用カセットに収容せず、むき出しのガラス基板が搬送されている。部屋間にはシャッタが設けられ、ロボットアームにてガラス基板の受け渡しを行う。シャッタ装置によっては塵埃や油が飛散し、ガラス基板に付着する問題が発生していた。

このようなシャッタ装置の一例として、特許文献1に記載のシャッタ装置が知られている。このシャッタ装置では、ワーク受け渡し用の開口(出入口)をロールスクリーンによって開閉するようになっている。また、当該シャッタ装置では、ロールスクリーンの幅方向の両側を昇降自在にガイドするガイドレールを立設し、当該ガイドレールに、ロールスクリーンの幅方向両端部を挿通するスリットを設けている一方、ロールスクリーンの幅方向両側先端にスリットを通してガイドレール内部に抜け止め状態としている係止突起を設け、ガイドレールへの係止突起の係止力で上記クリーンルーム内で発生している風圧でロールスクリーンがガイドレールより離脱させない構成としている。

概要

発塵量を抑えることができるシャッタ装置を提供する。クリーンルームの出入口の縁部にガイドレール15を設け、シャッタ20は、シャッタ本体21とスライダ22とを備え、スライダ22は、ガイドレール15の内壁面15a,15aに沿って摺動する摺動側面23aを有するスライダ本体23と、シャッタ本体21に取り付けられる取付部24とを備え、取付部24の側面24aは、摺動側面23aよりガイドレール幅方向の内側に設けられ、ガイドレール15の開口縁15bは、側面24aに所定の間隔をもって対向配置されているので、スライダ本体23がガイドレール15に沿って摺動する際に、ガイドレール15の開口縁15bが取付部24の側面24aに接触することがない。このため、スライダ22の側面がエッジによって削り取られることがないので、発塵量を抑えることができる。

目的

本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、発塵量を抑えることができるシャッタ装置を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

クリーンルーム出入口開閉するシャッタを有するシャッタ装置であって、前記出入口の縁部に、前記シャッタの移動をガイドする凹溝状のガイドレールが設けられ、前記シャッタは、シャッタ本体とこのシャッタ本体に取り付けられて、前記ガイドレールの内部を摺動するスライダとを備え、前記スライダは、前記ガイドレールの対向する内壁面に沿って摺動する摺動側面を有するスライダ本体と、このスライダ本体に一体的に設けられるとともに、前記シャッタ本体に取り付けられる取付部とを備え、前記取付部の側面は、前記摺動側面より前記ガイドレールの幅方向において内側に設けられ、前記ガイドレールの開口縁は、前記側面に前記幅方向に所定の間隔をもって対向配置されていることを特徴とするシャッタ装置。

請求項2

前記出入口に、前記シャッタより前側および/または後側において、着脱可能に取り付けられて、前記出入口の開口面積を調整可能な調整板を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシャッタ装置。

請求項3

前記シャッタを収納可能な収納部を備え、前記収納部の内部は外部より陰圧保持可能であることを特徴とする請求項1または2に記載のシャッタ装置。

技術分野

0001

本発明は、クリーンルーム出入口開閉するシャッタを有するシャッタ装置に関する。

背景技術

0002

液晶工場等では、各工程でクリーンルームが仕切られており、ある特定の場所では、搬送用カセットに収容せず、むき出しのガラス基板が搬送されている。部屋間にはシャッタが設けられ、ロボットアームにてガラス基板の受け渡しを行う。シャッタ装置によっては塵埃や油が飛散し、ガラス基板に付着する問題が発生していた。

0003

このようなシャッタ装置の一例として、特許文献1に記載のシャッタ装置が知られている。このシャッタ装置では、ワーク受け渡し用の開口(出入口)をロールスクリーンによって開閉するようになっている。また、当該シャッタ装置では、ロールスクリーンの幅方向の両側を昇降自在にガイドするガイドレールを立設し、当該ガイドレールに、ロールスクリーンの幅方向両端部を挿通するスリットを設けている一方、ロールスクリーンの幅方向両側先端にスリットを通してガイドレール内部に抜け止め状態としている係止突起を設け、ガイドレールへの係止突起の係止力で上記クリーンルーム内で発生している風圧でロールスクリーンがガイドレールより離脱させない構成としている。

先行技術

0004

特開2005−163368号公報

発明が解決しようとする課題

0005

しかしながら、上述したような従来のシャッタ装置では、凹溝状のガイドレールにロールスクリーンの幅方向両側に設けられた側縁帯材スライダ)が摺動自在に挿入されているので、スライダの側面は、凹溝状のガイドレールの開口縁であるエッジに接触しながら摺動することになる。このため、スライダの側面が前記エッジによって少しずつ削り取られて発塵していまい、この発塵した塵がクリーンルーム内に取り込まれる虞がある。
特に上述したような従来のシャッタ装置では、シャッタが可撓性を有するロールスクリーンで構成されているので、風圧でロールスクリーンが撓んだり、バタついたりすると、スライダの側面が前記エッジに強く衝突して、発塵量が多くなる虞がある。

0006

本発明は、前記事情に鑑みてなされたもので、発塵量を抑えることができるシャッタ装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0007

前記目的を達成するために、本発明のシャッタ装置は、クリーンルームの出入口を開閉するシャッタを有するシャッタ装置であって、
前記出入口の縁部に、前記シャッタの移動をガイドする凹溝状のガイドレールが設けられ、
前記シャッタは、シャッタ本体とこのシャッタ本体に取り付けられて、前記ガイドレールの内部を摺動するスライダとを備え、
前記スライダは、前記ガイドレールの対向する内壁面に沿って摺動する摺動側面を有するスライダ本体と、このスライダ本体に一体的に設けられるとともに、前記シャッタ本体に取り付けられる取付部とを備え、
前記取付部の側面は、前記摺動側面より前記ガイドレールの幅方向において内側に設けられ、前記ガイドレールの開口縁は、前記側面に前記幅方向に所定の間隔をもって対向配置されていることを特徴とする。

0008

本発明においては、取付部の側面が、スライダ本体の摺動側面よりガイドレールの幅方向において内側に設けられ、ガイドレールの開口縁が、前記側面に前記幅方向に所定の間隔をもって対向配置されているので、スライダ本体がガイドレールに沿って摺動する際に、ガイドレールの開口縁つまりエッジが取付部の側面に接触することがない。このため、スライダの側面がエッジによって削り取られることがないので、発塵量を抑えることができる。

0009

また、本発明の前記構成において、前記出入口に、前記シャッタより前側および/または後側において、着脱可能に取り付けられて、前記出入口の開口面積を調整可能な調整板を備えていてもよい。

0010

このような構成によれば、出入口に調整板を取り付けることによって、出入口を通してクリーンルームに搬入またはクリーンルームから搬出するワークの大きさに応じて、出入口の開口面積を調整することができる。そして、出入口をシャッタによって全開した場合でも、出入口の開口面積はワークの大きさに応じた大きさとなるので、出入口からの塵の侵入を極力抑えることができる。

0011

また、本発明に前記構成において、前記シャッタを収納可能な収納部を備え、
前記収納部の内部は外部より陰圧保持可能であってもよい。

0012

このような構成によれば、スライダ本体の摺動側面がガイドレールの内壁面に沿って摺動することで、僅かに発塵が生じても、この塵は陰圧に保持される収納部に引き込まれるので、当該塵が出入口を通してクリーンルーム内の侵入するのを防止できる。

発明の効果

0013

本発明によれば、スライダの側面がガイドレールの開口縁(エッジ)によって削り取られることがないので、発塵量を抑えることができる。

図面の簡単な説明

0014

本発明の実施の形態に係るシャッタ装置を示す正面図である。
図1におけるA−A線断面図である。
本発明の実施の形態に係るシャッタ装置を示もので、調整板およびプレートが取り付けられた状態の正面図である。
本発明の実施の形態に係るシャッタ装置をクリーンルームの開口部に嵌め込んだ状態を示す正面図である。

実施例

0015

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1は、本実施の形態の係るシャッタ装置を示す正面図、図2図1におけるA−A線断面図である。
図1に示すように、シャッタ装置10は、矩形枠状の枠体11を有しており、この枠体11が、後述するクリーンルーム1(図4参照)に設けられた開口部2に嵌め込まれて固定されるようになっている。したがって、枠体11は開口部2の開口縁部を構成しているとも言える。
クリーンルーム1にワークを出し入れする出入口は前記開口部2の略上半分によって構成されるので、枠体11の後述する横フレーム12より上側の略上半分がワークを出し入れする出入口となる。
本実施の形態では、後述するように枠体11の縦枠材11a,11aにガイドレール15を設けるが、シャッタ装置10が枠体11を有していない場合、出入口の縦方向に沿う縁部に直接ガイドレール15を設けてもよい。

0016

枠体11の上下方向略中央部には左右に延在する横フレーム12が設けられ、当該横フレーム12の両端部がそれぞれ枠体11の縦枠材11a,11aの上下方向略中央部に固定されている。横フレーム12は、枠体11の厚さ方向(図1において紙面と直交する方向)に、所定間隔をもって2本配置されている。
また、横フレーム12と枠体11の下枠材11bとの間には、縦フレーム13,13が左右に所定間隔をもって配置され、当該縦フレーム13,13の上端部は横フレーム12に固定され、下端部は下枠材11bに固定されている。また、縦フレーム13,13は枠体11の厚さ方向(図1において紙面と直交する方向)に、所定間隔をもって2本配置されている。つまり、縦フレーム13は合計で4本設けられている。

0017

また、枠体11の縦枠材11a,11aには、上下に延在するガイドレール15,15が左右に対向して設けられている。ガイドレール15は断面コ字形フレームによって凹溝状に形成されている(図2参照)。また、ガイドレール15,15はそれらの開口部が対向するように配置されたうえで、縦枠材11a,11aにネジ等によって固定されている。
また、ガイドレール15は、枠体11の厚さ方向に所定間隔をもって配置された2本の横フレーム12,12間を上下に貫通するようにして設けられ、当該ガイドレール15の上端部は、枠体11の上枠材11cに達しておらず、下端部も下枠材11bに達していない。
また、ガイドレール15は、アルミや鉄等の金属材料によって形成されている。

0018

シャッタ装置10はシャッタ20を備えている。このシャッタ20は、シャッタ本体21とこのシャッタ本体21に取り付けられて、ガイドレール15の内部を上下に摺動するスライダ22とを備えている。
シャッタ本体21は、矩形枠状の枠体21aを備えており、この枠体21aの内部には2本の縦フレーム21b,21bが左右に所定間隔をもって配置されている。縦フレーム21b,21bの上端部は枠体21aの上枠材21dに固定され、下端部は枠体21aの下枠材21eに固定されている。また、枠体21aの内部には、透光性を有する矩形板状の板状部材21cが合計で3枚嵌め込まれて固定されている。
なお、シャッタ本体21はこのような構成に限ることはなく、矩形板状のプレートによって構成してもよい。

0019

スライダ22は、図2に示すように、ガイドレール15の対向する内壁面15a,15aに沿って上下に摺動する(図2においては紙面と直交する方向に摺動する)摺動側面23aを有するスライダ本体23と、このスライダ本体23に一体的に設けられるとともに、シャッタ本体21の枠体21aに取り付けられる取付部24とを備えている。
また、スライダ22は、耐摩耗性に優れた超高分子量ポリエチレンによって形成されているが、これ以外の材料によって形成されていてもよいが、ガイドレール15より硬度が低い材料によって形成するのが望ましい。

0020

スライダ本体23は断面矩形状に形成されるとともに、上下に延在する略直方体状に形成され、その全体がガイドレール15の内部に挿入されている。スライダ本体23の外側を向く面と、ガイドレール15の底面との間には所定の隙間が設けられている。また、スライダ本体23の摺動側面23a,23aとガイドレール15の内壁面15a,15aとの間には、スライダ本体23をガイドレール15に沿って容易に上下に摺動させるための若干の隙間が設けられている。

0021

取付部24はスライダ本体23より小さい断矩形状に形成されるとともに、上下に延在する略直方体状に形成されている。また、取付部24の上下方向の長さは、スライダ本体23の上下方向の長さと等しくなっている。
取付部24の側面24aは、スライダ本体23の摺動側面23aよりガイドレール15の幅方向(図2においてX方向)において内側に設けられている。また、ガイドレール15の開口縁15bは、スライダ本体23の摺動側面23aを越えて、取付部24の側面24a側に位置しており、当該側面24aにガイドレール15の幅方向(図3においてX方向)において所定の間隔をもって対向配置されている。したがって、スライダ22がガイドレール15に沿って上下に摺動しても、ガイドレール15の開口縁(エッジ)15bは取付部24の側面24aに接触することがない。

0022

また、取付部24の側面24a,24aに対して直角に配置された取付面は、シャッタ20の枠体21aの縦枠材21fに当接固定されている。この固定は、スライダ22に、取付部24の取付面とスライダ本体23の外側を向く面に開口する貫通孔22aを設け、この貫通孔22aにボルト25を挿通して枠体21aにねじ込むことによって行えばよい。
このような構成のスライダ22は、図1に示すように、シャッタ20の縦枠材21f,21fの上下端部にそれぞれ取り付けられ、合計で4個、シャッタ20に取り付けられている。

0023

また、図1に示すように、シャッタ20は駆動装置30によって上下駆動されるようになっている。本実施の形態では駆動装置30はロボシリンダ30によって構成されている。
ロボシリンダ30は、サーボモータボールネジ、ガイドレール、スライダ等によって構成され、サーボモータによってボールネジが回転され、このボールネジに螺合しているスライダがガイドレールに沿って移動する構成となっている。

0024

本実施の形態では、シャッタ装置10の枠体11の下半分でかつ左右方向の中央部に、ロボシリンダ30が設けられている。すなわち、ロボシリンダ30のガイドレール31は上下に向けられた状態で枠体11の左右方向中央部に配置され、当該ガイドレール31の上端部が前記横フレーム12に固定され、下端部が枠体11の下枠材11bに固定されている。
また、ガイドレール31に沿って上下駆動するスライダ32には支持部材33が取り付けられている。この支持部材33はシャッタ20を下方から支持するものであり、略台形板状に形成されている。支持部材33はその長辺部を上側に向けて配置されており、この長辺部にシャッタ20の下枠材21eの左右方向中央部が固定されている。支持部材33の長辺部は、下枠材21eの約1/3の長さを有しており、この長辺部によって下枠材21eの長手方向中央部が支持されるとともに、支持部材33の中央部がスライダ32に取り付けられることで、シャッタ20は支持部材33によって下方から安定的に支持され、上下に移動可能となる。

0025

また、シャッタ装置10の枠体11の略上半分がクリーンルームにワークを出し入れする出入口となっている。すなわち、上枠材11cと縦枠材11a,11aの上端部には、帯板状の面材35が取り付けられおり、この面材35の下縁の位置が最上昇位置におけるシャッタ20の上縁の位置とほぼ一致している。そして、面材35の下縁と横フレーム12の上縁と縦枠材11a,11aの上部とで囲まれた部分がクリーンルーム1(図4参照)にワークを出し入れする出入口となっている。

0026

この出入口にシャッタ20より前側および/または後側において、着脱可能に取り付けられて、出入口の開口面積を調整可能な調整板36を備えていてもよい。
例えば、図3に示すように、調整板36は2枚備えられており、当該2枚の調整板36は左右に離間して配置されている。そして、一方の調整板36が上枠材11cの一方の端部、一方の縦枠材11aの上部および横フレーム12の一方の端部にビス等によって着脱可能に取り付けられ、他方の調整板36が上枠材11cの他方の端部、他方の縦枠材11aの上部および横フレーム12の他方の端部にビス等によって着脱可能に取り付けられている。このように、調整板36,36によって出入口の左右両側を覆うことによって、出入口の開口面積を調整できる。

0027

調整板の枚数、大きさは、調整板36の枚数、大きさに限ることはない。例えば、調整板は前記出入口の大きさの範囲内で枚数、大きさが適宜設定される。例えば、1枚の調整板によって出入口の横半分を覆うようにしてもよいし、当該出入口の上下半分を覆うようにしてもよい。また、調整板36より横寸法を長くした調整板を左右一対取り付けることによって、出入口の開口面積をさらに小さくすることができる。

0028

また、シャッタ装置10はシャッタ20を収納可能は収納部40を備えている。この収納部40は、枠体11の下半分の前後両面に矩形板状のプレート41を取り付けることによって構成されている。
すなわち、枠体11の下枠材11bと、横フレーム12と、縦枠材11a,11aの下半分と、縦フレーム13,13の前側の表面は面一となっており、この表面にプレート41が密着して貼り付けられている。また、枠体11の下枠材11bと、横フレーム12と、縦枠材11a,11aの下半分と、縦フレーム13,13の後側の表面は面一となっており、この表面にプレート41が密着して貼り付けられている。

0029

このような構成の収納部40では、上面側は開口しているが、下面側、両側面側、前面側および後面側は閉塞されている。また、収納部40の外側にはコンプレッサ42が設けられており、このコンプレッサ42の吸引口と収納部40とが接続ホース42aによって接続されている。つまり、収納部40を画成するプレート41に貫通孔が形成され、この貫通孔に接続ホース42aが気密に接続されている。したがって、コンプレッサ42を作動させて吸引口から接続ホース42aを介して収納部40内の空気を吸引することによって、収納部40の内部は外部より陰圧に保持可能となっている。

0030

本実施の形態のシャッタ装置10は、図4に示すように、クリーンルーム1を形成する正面の壁部1aに設けられた開口部2に枠体11を嵌め込んで固定することによって、当該開口部2に取り付けられる。また、収納部40を画成するプレート41の貫通孔とコンプレッサ42の吸引口とを接続ホース42aによって接続する。なお、図4では、調整板36,36を設けているが、この調整板36,36は無くてもよい。
また、壁部1aの右部には、クリーンルーム1内に作業者出入りするためのドア5が開閉可能に設けられている。

0031

そして、シャッタ装置10のシャッタ20を上下動させる場合、ロボシリンダ30によって支持部材33を上下動させることにより行う。支持部材33を最上昇位置まで上昇させることによって、クリーンルーム1の出入口が閉鎖され、この最上昇位置から支持部材33を最下降位置まで下降させて、シャッタ20を収納部40に収納することによって、クリーンルーム1の出入口が開放される。このようなシャッタ20の上下動の際は、コンプレッサ42を起動させることによって、収納部40の内部を陰圧に保持する。

0032

シャッタ20を上下動させると、シャッタ20に設けられたスライダ22がガイドレール15の内部を上下に摺動する。スライダ22は、ガイドレール15の内部を上下に摺動するスライダ本体23と、このスライダ本体23に一体的に設けられるとともに、シャッタ本体21に取り付けられる取付部24とを備えている。そして、取付部24の側面24a,24aが、スライダ本体23の摺動側面23a,23aよりガイドレール15の幅方向において内側に設けられ、ガイドレール15の開口縁15bが、前記側面24aに幅方向に所定の間隔をもって対向配置されているので、スライダ本体23がガイドレール15に沿って摺動する際に、ガイドレール15の開口縁15bつまりエッジ15bが取付部24の側面24aに接触することがない。このため、スライダ22の側面がエッジ15bによって削り取られることがないので、発塵量を抑えることができる。

0033

また、シャッタ装置10は、シャッタ20を収納可能な収納部40を備え、シャッタ20が上下動する際には、コンプレッサ42によって収納部40の内部は外部より陰圧に保持される。したがって、スライダ本体23の摺動側面23a,23aがガイドレール15の内壁面15a,15aに沿って摺動することで、僅かに発塵が生じても、この塵は陰圧に保持される収納部40に引き込まれるので、当該塵が出入口を通してクリーンルーム1内の侵入するのを防止できる。

0034

さらに、クリーンルーム1の出入口、すなわちシャッタ装置10の枠体11の略上半分に、調整板36を取り付けることによって、出入口を通してクリーンルーム1に搬入またはクリーンルーム1から搬出するワークの大きさに応じて、出入口の開口面積を調整することができる。そして、出入口をシャッタ20によって全開した場合でも、出入口の開口面積はワークの大きさに応じた大きさとなるので、出入口からの塵の侵入を極力抑えることができる。

0035

10シャッタ装置
15ガイドレール
15a内壁面
15b ガイドレールの開口縁
20シャッタ
21 シャッタ本体
22スライダ
23 スライダ本体
23a摺動側面
24取付部
24a 側面
36調整板
40収納部

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