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技術 長尺体支持装置および長尺体支持方法

出願人 リンテック株式会社
発明者 杉下芳昭
出願日 2018年6月27日 (2年5ヶ月経過) 出願番号 2018-121654
公開日 2020年1月9日 (10ヶ月経過) 公開番号 2020-003990
状態 未査定
技術分野 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 記録担体の読み取り ラベル貼付機
主要キーワード 剥離縁 レーザカッタ 楕円筒形状 天地反転 多角筒形状 発音器 コイルヒータ 品質保証期限
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2020年1月9日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (2)

課題

情報所在部と撮像手段の撮像部とが対向するように、それらを位置決めすることなく、情報を読み取ることができる長尺体支持装置を提供すること。

解決手段

長尺体支持装置20は、中空管HPの外周面HP1に長尺体RSが巻回された支持対象物SJを支持する支持手段21と、中空管HPの内周面HP2に設けられた所定の情報BCを読み取る読取手段22とを備え、読取手段22は、中空管HPの内周面HP2全周を一括で撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある情報BCを読み取る撮像手段22Aを備えている。

概要

背景

従来、中空管外周面長尺体巻回された支持対象物支持手段で支持し、中空管の内部に配置された情報を読取手段で読み取る支持装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

概要

情報所在部と撮像手段の撮像部とが対向するように、それらを位置決めすることなく、情報を読み取ることができる長尺体支持装置を提供すること。長尺体支持装置20は、中空管HPの外周面HP1に長尺体RSが巻回された支持対象物SJを支持する支持手段21と、中空管HPの内周面HP2に設けられた所定の情報BCを読み取る読取手段22とを備え、読取手段22は、中空管HPの内周面HP2全周を一括で撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある情報BCを読み取る撮像手段22Aを備えている。

目的

本発明の目的は、情報所在部と撮像手段の撮像部とが対向するように、それらを位置決めすることなく、情報を読み取ることができる長尺体支持装置および長尺体支持方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

中空管外周面長尺体巻回された支持対象物を支持する支持手段と、前記中空管の内周面に設けられた所定の情報を読み取る読取手段とを備え、前記読取手段は、前記中空管の内周面全周を一括撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある前記情報を読み取る撮像手段を備えていることを特徴とする長尺体支持装置

請求項2

前記読取手段は、前記撮像画像内にある前記情報を前記撮像手段が読み取れるように当該撮像画像を補正する画像補正手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載の長尺体支持装置。

請求項3

前記読取手段は、前記撮像手段を前記中空管の延出方向に移動させる移動手段を備えていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の長尺体支持装置。

請求項4

中空管の外周面に長尺体が巻回された支持対象物を支持する支持工程と、前記中空管の内周面に設けられた所定の情報を読み取る読取工程とを実施し、前記読取工程では、前記中空管の内周面全周を一括で撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある前記情報を読み取ることを特徴とする長尺体支持方法

技術分野

0001

本発明は、長尺体支持装置および長尺体支持方法に関する。

背景技術

0002

従来、中空管外周面に長尺体が巻回された支持対象物支持手段で支持し、中空管の内部に配置された情報を読取手段で読み取る支持装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

先行技術

0003

公表WO2004/014733号公報

発明が解決しようとする課題

0004

しかしながら、特許文献1に記載されたような従来の支持装置は、バーコード(情報)が設けられている情報所在部と、バーコードリーダ撮像手段)の撮像部とが対向するように、それらを位置決めしなければ、撮像手段が情報を読み取ることができないという不都合がある。

0005

本発明の目的は、情報所在部と撮像手段の撮像部とが対向するように、それらを位置決めすることなく、情報を読み取ることができる長尺体支持装置および長尺体支持方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

0006

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

発明の効果

0007

本発明によれば、長尺体に関する情報が中空管の内周方向のどの位置にあっても、中空管の内周面全周を一括で撮像して情報を読み取るので、情報所在部と撮像手段の撮像部とが対向するように、それらを位置決めすることなく、情報を読み取ることができる。
また、移動手段を備えれば、撮像手段の撮像部を情報所在部の近傍に移動させることで、情報を拡大して撮像でき、読取手段が容易に情報を読み取ることができる。
また、読取手段が画像補正手段を備えれば、撮像画像が変形し、撮像手段が情報を読み取れなくなることを防止することができる。

図面の簡単な説明

0008

(A)〜(C)は、本発明の一実施形態に係る長尺体支持装置の説明図。

実施例

0009

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1(A)の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。

0010

本発明の長尺体支持装置を用いた処理装置としてのシート貼付装置10は、長尺体支持装置20と、被着体としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WFに接着シートASを押圧して貼付する貼付手段30と、ウエハWFを支持して搬送するウエハ搬送手段40と、当該シート貼付装置10の全体的または部分的な動作を制御するパーソナルコンピュータシーケンサ等の制御手段50と、制御手段50の判定結果を出力するモニタパネル表示灯発音器等の報知手段60とを備えている。

0011

長尺体支持装置20は、中空管HPの外周面HP1に長尺体としての原反RSが巻回された支持対象物SJを支持する支持手段21と、中空管HPの内周面HP2に設けられた所定の情報BCを読み取る読取手段22とを備えている。

0012

本実施形態の場合、原反RSは、帯状剥離シートRLの一方の面に所定形状の接着シートASが所定の間隔を空けて仮着されたものが採用されている。
また、情報BCは、例えば、接着シートASや剥離シートRLの種類、材質、品名、コード、寸法等原反RSを識別可能な情報や、原反RSに係る諸情報等がバーコード、QRコード登録商標)、文字、図形、またはこれらを組み合わせたものでラベルRAの表面に表示され、中空管HPの内周面HP2に貼付されている。

0013

支持手段21は、それぞれが回転軸受部21Aによって貼付手段30を構成するフレーム36に支持された一対の支持ローラ21Bを備え、支持対象物SJを下方から支持する構成となっている。

0014

読取手段22は、中空管HPの内周面HP2全周を一括で撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある情報BCを読み取る撮像手段としてのカメラ22Aと、撮像画像内にある情報BCをカメラ22Aが読み取れるように当該撮像画像を補正する画像補正手段22Bと、カメラ22Aを中空管HPの延出方向(前後方向)に移動させる移動手段であって駆動機器としての直動モータ22Cとを備えている。
カメラ22Aは、第1、第2カメラ22A1、22A2を備え、各カメラ22A1、22A2は、中空管HPの内部でそれぞれの撮像領域重複する画角θ1、θ2を備えている。カメラ22Aは、各カメラ22A1、22A2の撮像領域が重複する重複領域AMの画像を処理することによって、内周面HP2全周を一括で撮像して撮像画像を形成するようになっている。

0015

貼付手段30は、原反RSを案内するガイドローラ31と、剥離シートRLから接着シートASを剥離縁32Aで剥離する剥離手段としての剥離板32と、接着シートASをウエハWFに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ33と、駆動機器としての回動モータ34Aによって駆動され、ピンチローラ34Bとで剥離シートRLを挟み込む駆動ローラ34と、図示しない駆動機器によって駆動され、ピンチローラ34Bとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与して回収する回収ローラ35と、当該貼付手段30を構成する前述の各部材を直接的または間接的に支持するフレーム36とを備えている。

0016

ウエハ搬送手段40は、駆動機器としてのリニアモータ41と、リニアモータ41のスライダ41Aに支持され、減圧ポンプ真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持可能な支持面42Aを有するテーブル42とを備えている。

0017

以上のシート貼付装置10の動作を説明する。
先ず、各部材が初期位置に配置された図1(A)中実線で示す状態のシート貼付装置10に対し、当該シート貼付装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転の信号を入力する。次いで、使用者が、図1(B)に示すように、中空管HPを支持ローラ21B上に載置した後、原反RSを引き出して当該原反RSを図1(A)に示すようにセットする。その後、読取手段22が中空管HPの内周面HP2に対向配置されると、当該読取手段22がカメラ22Aを駆動し、内周面HP2内を撮像して撮像画像を形成し、当該撮像画像内にある中空管HPの内周面HP2に設けられた情報BCを読み取り、読み取った情報BCを制御手段50に出力する。このとき、第1、第2カメラ22A1、22A2がそれぞれの撮像領域を撮像するとともに、カメラ22Aが重複領域AMの画像を処理することによって、内周面HP2全周を一括で撮像して撮像画像を形成する。

0018

次に、入力された情報BCに基づいて制御手段50が原反RSを識別し、当該原反RSがシート貼付装置10で使用するものとして適格な適格原反であるか、不適格な不適格原反であるかを判定し、その判定結果を報知手段60に出力する。ここで、入力された情報BCに基づいて、支持ローラ21B上に載置した原反RSが不適格原反であると制御手段50が判定した場合、当該制御手段50は、報知手段60を介してその旨を使用者に知らせるとともに、当該シート貼付装置10が作動しないようにインターロック掛ける。そして、支持ローラ21B上に載置した原反RSが不適格原反であることを使用者が報知手段60を介して認識すると、セットした原反RSを中空管HPに巻き取り、支持ローラ21B上に載置した支持対象物SJを当該支持ローラ21B上から取り除く。次いで、上記と同様にして、他の支持対象物SJを支持ローラ21B上に載置して原反RSをセットした後、入力された情報BCに基づいて、支持ローラ21B上に載置した原反RSが適格原反であると制御手段50が判定した場合、当該制御手段50は、報知手段60を介してその旨を使用者に知らせるとともに、当該シート貼付装置10のインターロックを解除する。

0019

その後、貼付手段30が回動モータ34Aを駆動し、原反RSを繰り出し、図1中実線で示すように、先頭の接着シートASの繰出方向先端部が剥離板32の剥離縁32Aで所定量剥離されると、回動モータ34Aの駆動を停止する。次に、使用者または多関節ロボットベルトコンベア等の図示しない搬送手段がテーブル42上の所定の位置にウエハWFを載置すると、ウエハ搬送手段40が図示しない減圧手段を駆動し、支持面42Aでの当該ウエハWFの吸着保持を開始する。そして、ウエハ搬送手段40がリニアモータ41を駆動し、テーブル42を左方に移動させ、当該テーブル42が所定の位置に到達すると、貼付手段30が回動モータ34Aを駆動し、テーブル42の移動速度に合わせて原反RSを繰り出す。これにより、図1(A)中二点鎖線で示すように、接着シートASが剥離板32で剥離シートRLから剥離され、押圧ローラ33によってウエハWFに押圧されて貼付され、次の接着シートASが剥離板32の剥離縁32Aで所定量剥離されると、貼付手段30が回動モータ34Aの駆動を停止する。

0020

その後、テーブル42が、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ33の左方の所定位置に到達すると、ウエハ搬送手段40がリニアモータ41の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、支持面42Aでの当該ウエハWFの吸着保持を解除する。次いで、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートASが貼付されたウエハWFを次工程に搬送すると、ウエハ搬送手段40がリニアモータ41を駆動し、テーブル42を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

0021

以上のような実施形態によれば、原反RSに関する情報BCが中空管HPの内周方向のどの位置にあっても、カメラ22Aで当該中空管HPの内周面HP2全周を一括して撮像して情報BCを読み取るので、情報所在部とカメラ22Aの撮像部とが対向するように、それらを位置決めすることなく、情報BCを読み取ることができる。

0022

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

0023

例えば、支持手段21は、支持ローラ21Bに代えてまたは併用して、支持対象物SJを下から支持するベルトを採用してもよい。
読取手段22は、直動モータ22Cを駆動してカメラ22Aの撮像部の位置を移動させてもよく、図1(C)に示すように、カメラ22Aの撮像部を情報所在部の近傍に移動させることで、情報BCを拡大して撮像でき、読取手段22が容易に情報BCを読み取ることができる。
読取手段22は、中空管HPの外側に設けられていてもよい。
カメラ22Aは、重複領域AMの画像を処理しなくてもよく、読取手段22は、重複領域AMの画像を処理していない撮像画像から情報BCを読み取ってもよい。
画像補正手段22Bは、例えば、レンズプリズム等の補正部材の他、撮像手段内に内蔵されたコンピュータプログラム等が例示でき、撮像画像内にある情報BCを撮像手段が読み取れない場合に採用してもよく、画像補正がなくても撮像画像内にある情報BCを撮像手段が読み取れる場合は採用しなくてもよいし、補正部材をカメラ22Aとは別に設けてもよい。

0024

貼付手段30は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハWFの下面や側面等に接着シートASを貼付するように構成してもよいし、帯状の接着シートが帯状の剥離シートRLに仮着された原反や、剥離シートRLに仮着されていない帯状の接着シートからなる原反が採用された場合、切断手段で帯状の接着シートを所定形状に切断して接着シートASを形成し、当該接着シートASを貼付してもよい。
貼付手段30の構成物は、フレーム36とは別の支持体に支持されていてもよい。

0025

ウエハ搬送手段40は、テーブル42の位置を固定しておきまたは、テーブル42を移動させつつ長尺体支持装置20および貼付手段30を移動させて接着シートASをウエハWFに貼付してもよいし、シート貼付装置10に対して他の装置でウエハWFを移動させる場合、なくてもよい。

0026

シート貼付装置10は、ウエハ搬送手段40、制御手段50および報知手段60のうち少なくとも1つが備わっていなくてもよい。
シート貼付装置10は、例えば、入力された情報BCに基づいて、支持ローラ21B上に載置している原反RSが不適格原反であると制御手段50が判定した場合、当該制御手段50は、報知手段60を介してその旨を使用者に知らせなくてもよいし、シート貼付装置10にインターロックを掛けなくてもよいし、入力された情報BCに基づいて、支持ローラ21B上に載置している原反RSが適格原反であると制御手段50が判定した場合、当該制御手段50は、報知手段60を介してその旨を使用者に知らせなくてもよい。
中空管HPは、円筒形状に限らず、楕円筒形状多角筒形状であってもよいし、紙製樹脂製、金属製等であってもよく、何ら限定されるものではない。
情報BCは、中空管HPの内周面HP2に直接印刷されたり記載されたり刻印されたりしたものであってもよいし、内周面HP2の複数箇所に設けられていてもよいし、原反RSのロットナンバー、原反RSを使用した長さ、原反RSの残りの長さ、接着シートASの品質保証期限繰出開始前後の接着シートASの残数、繰り出された接着シートASの枚数、接着シートASを最適に繰り出すことのできる推奨繰出速度、接着シートASを最適に貼付することができる推奨貼付張力や推奨押圧力や貼付温度等の接着シートASの貼付条件、接着シートASや原反RSについての相談窓口連絡先等をであってもよく、シート貼付装置10は、当該情報をモニタやパネル等の表示手段(報知手段60)に表示させてもよいし、読取手段22が読み取った情報BCの内容に基づいて、制御手段50で各駆動機器を制御してもよく、例えば、接着シートASの推奨繰出速度を基にして、回動モータ34Aの回転速度や、リニアモータ41でテーブル42を移動させる移動速度を制御したり、推奨押圧力を基にして、押圧ローラ33を昇降させる図示しない直動モータの昇降量やその出力軸に加えるトルクなどを制御したり、押圧力を制御したり、加熱手段の温度を制御してもよい。
長尺体は、帯状の剥離シートRLに所定の間隔で複数の接着シートASが仮着された接着シート原反基材接着剤層とからなる帯状の接着シート、単層または複層の紙の他、電線針金、糸、布、ロープホース鋼板樹脂板等であってもよく、何ら限定されるものではない。
本発明の長尺体支持装置を用いた処理装置としては、例えば、原反RSを巻き取る巻取装置、原反RSを検査する検査装置、原反RSを所定の長さに切断する切断装置、原反RSを使用して接着シートASとしての保護シートをウエハWFから剥離する剥離装置等、何ら限定されるものではなく、本願発明の長尺体支持装置は、それら装置における原反RSを繰り出す側の支持軸や、原反RSを巻き取る側の支持軸として採用することができる。
本発明の長尺体支持装置は、他の機構や他の部材等と組み合わせて処理装置とすることなく、単体で使用することもできる。

0027

また、本発明における接着シートASおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートASは、円形楕円形三角形四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートASが採用された場合は、当該接着シートASを加熱する適宜なコイルヒータヒートパイプ等の加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等3層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品樹脂容器シリコン半導体ウエハ化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板光ディスク等の情報記録基板ガラス板、鋼板、陶器木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品等も対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープダイアタッチフィルムダイボンディングテープ記録層成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルムテープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

0028

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、中空管の外周面に長尺体が巻回された支持対象物を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器エアシリンダ油圧シリンダロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
前記実施形態において、ローラが採用されている場合、各ローラを回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、各ローラの表面をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、各ローラを弾性変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用したり、大気ガス等のエアの吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧手段や押圧部材の押圧部をゴムや樹脂等の弾性変形が可能な部材で構成してもよいし、弾性変形しない部材で構成してもよいし、剥離手段や剥離部材が採用されている場合は、板状部材、丸棒、ローラ等で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持する構成のものが採用されている場合、メカチャックチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力接着剤粘着剤磁力ベルヌーイ吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断刃が採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃レーザカッタイオンビーム火力、熱、水圧電熱線気体液体等の吹付け等の切断部材を採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよい。

0029

20長尺体支持装置
21支持手段
22 読取手段
22Aカメラ(撮像手段)
22B画像補正手段
22C直動モータ(移動手段)
BC 情報
HP中空管
HP1外周面
HP2内周面
RS原反(長尺体)
SJ 支持対象物

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