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技術 研磨装置

出願人 株式会社東京精密
発明者 細野拓真
出願日 2018年3月13日 (2年9ヶ月経過) 出願番号 2018-045523
公開日 2019年9月19日 (1年3ヶ月経過) 公開番号 2019-155531
状態 未査定
技術分野 研削盤の構成部分、駆動、検出、制御 洗浄、機械加工
主要キーワード 略正三角形状 押圧力分布 回転軸付近 押圧領域 スライダ機構 サポート基板 空気圧制御 スピンドルシャフト
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2019年9月19日)のものです。
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図面 (9)

課題

ウェハ全面を均一に研磨することができる研磨装置を提供する。

解決手段

研磨装置1は、ウェハWの上面を研磨する研磨パッド30を有する研磨ヘッド10と、研磨パッド10を回転させるスピンドルシャフト22と、研磨ヘッド10とスピンドルシャフト22との間に介装された弾性部材14と、スピンドルシャフト22を介して研磨ヘッド10を下方に押圧する第1のエアシリンダ40と、スピンドルシャフト22の外周側に設けられて、研磨ヘッド10を下方に押圧する第2のエアシリンダ50と、を備えている。

概要

背景

半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体ウェハ(以下、「ウェハ」という)を研削した後に残存するクラッチを除去するためにウェハを研磨する研磨装置が知られている。

特許文献1記載の研磨装置は、ウェハよりも大径に形成された研磨パッドの研磨面をウェハの全面に接触させて、ウェハ及び研磨パッドを回転させながら、送り手段が研磨パッドを—Z方向に移動させることにより、ウェハの上面を研磨する研磨装置である。

概要

ウェハ全面を均一に研磨することができる研磨装置を提供する。研磨装置1は、ウェハWの上面を研磨する研磨パッド30を有する研磨ヘッド10と、研磨パッド10を回転させるスピンドルシャフト22と、研磨ヘッド10とスピンドルシャフト22との間に介装された弾性部材14と、スピンドルシャフト22を介して研磨ヘッド10を下方に押圧する第1のエアシリンダ40と、スピンドルシャフト22の外周側に設けられて、研磨ヘッド10を下方に押圧する第2のエアシリンダ50と、を備えている。

目的

本発明はこの課題を解決することを目的とする

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

ウェハ研磨装置であって、前記ウェハの上面を研磨する研磨パッドを有する研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドを回転させるスピンドルシャフトと、前記研磨ヘッドを前記スピンドルシャフトに傾斜自在に接続する傾き許容接続手段と、前記スピンドルシャフトを介して前記研磨ヘッドを下方に押圧する中央押圧手段と、前記スピンドルシャフトの外周側に設けられて、前記研磨ヘッドを下方に押圧する外側押圧手段と、を備えていることを特徴とする研磨装置。

請求項2

前記研磨ヘッドは、前記傾き許容接続手段を介して前記スピンドルシャフトに接続され、下端に前記研磨パッドが取り付けられた回転体と、前記回転体の内側に配置され、前記外側押圧手段が取り付けられた固定体と、前記回転体と固定体との間に介装されたベアリングと、を備えていることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。

請求項3

前記中央押圧手段又は前記外側押圧手段が付与する押圧力を制御する圧力制御手段をさらに備えていることを特徴とする請求項1又は2記載の研磨装置。

請求項4

前記ウェハ内の押圧力を測定する複数の測定手段をさらに備え、前記圧力制御手段は、前記測定手段の測定値に応じて前記中央押圧手段又は前記外側押圧手段が付与する押圧力を制御することを特徴とする請求項3記載の研磨装置。

請求項5

前記外側押圧手段は、平面から視て前記研磨ヘッドの回転中心及び前記ウェハの中心を結ぶ直線上に1つ設けられていることを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載の研磨装置。

請求項6

前記外側押圧手段は、平面から視て前記研磨ヘッドの回転中心及び前記ウェハの中心を結ぶ直線を挟んで対称な位置に設けられ、前記研磨ヘッドの回転中心及び前記外側押圧手段は、平面から視て正多角形頂点上に1つずつ設けられていることを特徴とする請求項1から4の何れか1項記載の研磨装置。

技術分野

0001

本発明はウェハ研磨する研磨装置に関するものである。

背景技術

0002

半導体製造分野では、シリコンウェハ等の半導体ウェハ(以下、「ウェハ」という)を研削した後に残存するクラッチを除去するためにウェハを研磨する研磨装置が知られている。

0003

特許文献1記載の研磨装置は、ウェハよりも大径に形成された研磨パッドの研磨面をウェハの全面に接触させて、ウェハ及び研磨パッドを回転させながら、送り手段が研磨パッドを—Z方向に移動させることにより、ウェハの上面を研磨する研磨装置である。

先行技術

0004

特開2015−134383号公報

発明が解決しようとする課題

0005

しかしながら、特許文献1記載の研磨装置では、研磨パッドがウェハの上面に平行に当接しない場合、例えば、ウェハからはみ出した部分が落ち込むように研磨パッドがウェハに対して傾く場合には、研磨パッドがウェハの一部のみに当接して、ウェハの研磨量にバラつきが生じる虞があるという問題があった。

0006

そこで、ウェハ全面を均一に研磨するために解決すべき技術的課題が生じてくるのであり、本発明はこの課題を解決することを目的とする。

課題を解決するための手段

0007

上記目的を達成するために、本発明に係る研磨装置は、ウェハの研磨装置であって、前記ウェハの上面を研磨する研磨パッドを有する研磨ヘッドと、前記研磨ヘッドを回転させるスピンドルシャフトと、前記研磨ヘッドを前記スピンドルシャフトに傾斜自在に接続する傾き許容接続手段と、前記スピンドルシャフトを介して前記研磨ヘッドを下方に押圧する中央押圧手段と、前記スピンドルシャフトの外周側に設けられて、前記研磨ヘッドを下方に押圧する外側押圧手段と、を備えている。

0008

この構成によれば、中央押圧手段が研磨パッドの中央を押圧するとともに、外側押圧手段がスピンドルシャフトの外周側を押圧することにより、研磨パッドがウェハの上面に追従するように傾くため、ウェハ全面に研磨パッドを当接させた状態で研磨を行うことができる。また、外側押圧手段がスピンドルシャフトの外周側を押圧することにより、研磨パッドの外周側で生じがちな加圧逃げを抑制して、研磨パッドの中央に集中しがちな押圧力分布のバラつきを緩和することができる。

0009

また、本発明に係る研磨装置は、前記研磨ヘッドは、前記傾き許容接続手段を介して前記スピンドルシャフトに接続され、下端に前記研磨パッドが取り付けられた回転体と、前記回転体の内側に配置され、前記外側押圧手段が取り付けられた固定体と、前記回転体と固定体との間に介装されたベアリングと、を備えていることが好ましい。

0010

この構成によれば、外側押圧手段の押圧力が、固定体、ベアリング、回転体の順に伝達するため、外側押圧力手段の直下において研磨パッドをウェハの上面に押し付ける押圧力を局所的に付与することができる。

0011

また、本発明に係る研磨装置は、前記中央押圧手段又は前記外側押圧手段が付与する押圧力を制御する圧力制御手段をさらに備えているが好ましい。

0012

この構成によれば、圧力制御装置が、中央押圧手段又は外側押圧手段の押圧力を調整することにより、ウェハ面内の押圧力分布のバラつきを緩和することができる。

0013

また、本発明に係る研磨装置は、前記ウェハ内の押圧力を測定する複数の測定手段をさらに備え、前記圧力制御手段は、前記測定手段の測定値に応じて前記中央押圧手段又は前記外側押圧手段が付与する押圧力を制御することが好ましい。

0014

この構成によれば、圧力制御装置が、測定手段の測定値から算出したウェハ面内の押圧力分布に基づいて中央押圧手段又は外側押圧手段の押圧力を調整することにより、ウェハ面内の押圧力分布のバラつきをさらに緩和することができる。

0015

また、本発明に係る研磨装置は、前記外側押圧手段は、平面から視て前記研磨ヘッドの回転中心及び前記ウェハの中心を結ぶ直線上に1つ設けられていることが好ましい。

0016

この構成によれば、ウェハの中心を挟んで研磨パッドの回転中心の反対側に配置された外側押圧手段がスピンドルシャフトの外周側を下方に押し付けることにより、研磨パッドがウェハに追従するように研磨ヘッドの姿勢補正されて、ウェハ全面に研磨パッドを当接させた状態で研磨を行うことができるとともに、研磨パッドの外周側の加圧逃げを抑制して押圧力分布のバラつきを緩和することができる。

0017

また、本発明に係る研磨装置は、前記外側押圧手段は、平面から視て前記研磨ヘッドの回転中心及び前記ウェハの中心を結ぶ直線を挟んで対称な位置に設けられ、前記研磨ヘッドの回転中心及び前記外側押圧手段は、平面から視て正多角形頂点上に1つずつ設けられていることが好ましい。

0018

この構成によれば、複数の外側押圧手段が研磨パッドをバランス良く押し付けることにより、研磨パッドがウェハに追従するように研磨ヘッドの姿勢がスムーズに補正されて、ウェハ全面に研磨パッドを当接させた状態で研磨を行うことができるとともに、研磨パッドの外周側の加圧逃げを抑制して押圧力分布のバラつきを緩和することができる。

発明の効果

0019

本発明は、中央押圧手段が研磨パッドの中央を押圧するとともに、外側押圧手段がスピンドルシャフトの外側を押圧することにより、研磨パッドがウェハの上面に追従するように傾くため、ウェハ全面に研磨パッドを当接させた状態で研磨を行うことができる。また、外側押圧手段がスピンドルシャフトの外周側を押圧することにより、研磨パッドの外周側で生じがちな加圧逃げを抑制して、研磨パッドの中央に集中しがちな押圧力分布のバラつきを緩和することができる。

図面の簡単な説明

0020

本発明の一実施形態に係る研磨装置を模式的に示す斜視図。
研磨装置の内部構造を模式的に示す縦断面図。
研磨ヘッドの要部を模式的に示す縦断面図。
弾性部材及び回転体の一部を示す平面図及び斜視図。
ウェハに作用する押圧領域位置関係を示す模式図。
研磨パッドが傾斜したウェハに追従して当接している状態を示す模式図。
ウェハ全面の押圧力分布の解析結果を示す図。
本発明の変形例に係る研磨装置におけるウェハに作用する押圧領域の位置関係を示す模式図。

実施例

0021

本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。なお、以下では、構成要素の数、数値、量、範囲等に言及する場合、特に明示した場合及び原理的に明らかに特定の数に限定される場合を除き、その特定の数に限定されるものではなく、特定の数以上でも以下でも構わない。

0022

また、構成要素等の形状、位置関係に言及するときは、特に明示した場合及び原理的に明らかにそうでないと考えられる場合等を除き、実質的にその形状等に近似又は類似するもの等を含む。

0023

また、図面は、特徴を分かり易くするために特徴的な部分を拡大する等して誇張する場合があり、構成要素の寸法比率等が実際と同じであるとは限らない。また、断面図では、構成要素の断面構造を分かり易くするために、一部の構成要素のハッチングを省略することがある。

0024

図1は、本発明の一実施形態に係る研磨装置1を模式的に示す斜視図である。図2は、研磨装置1の内部構造を示す模式図である。図3は、研磨ヘッド10の要部を示す断面図である。研磨装置1は、ウェハチャック2に吸着保持されたウェハWの上面を研磨して、研削加工時に発生したマイクロクラックを含むダメージ層を除去するものである。

0025

ウェハチャック2は、ウェハチャック2の中央を通る回転軸a1回りに回転可能に設けられている。ウェハチャック2は、上面にアルミナ等の多孔質材料からなる図示しない吸着体埋設されている。ウェハチャック2は、内部を通って表面に延びる図示しない管路を備えている。管路は、図示しないロータリージョイントを介して真空源圧縮空気源又は給水源に接続されている。真空源が起動すると、ウェハチャック2に載置されたウェハWがウェハチャック2に吸着保持される。また、圧縮空気源又は給水源が起動すると、ウェハWとウェハチャック2との吸着解除される。なお、ウェハチャック2には、回転軸a1を傾斜させる図示しないチルト機構を設けても構わない。

0026

ウェハWは、バッググラインドテープや、ガラス基板シリコン基板等のサポート基板マウントされた状態でウェハチャック2に吸着保持される。特に、ウェハWが薄く、大口径化するにつれて、サポート基板が用いられることが多い。

0027

研磨装置1は、ウェハチャック2の上方に設けられた研磨ヘッド10を備えている。研磨ヘッド10は、研磨スピンドル20によって回転可能に構成されている。

0028

研磨スピンドル20は、モータ21と、モータ21に接続されたスピンドルシャフト22と、スピンドルシャフト22を収容するケーシング23と、スピンドルシャフト22とケーシング23との間に介装されたベアリング24と、を備えている。スピンドルシャフト22は、モータ21によって回転軸a2を中心として回転する。なお、符号3は、研磨スピンドル20の昇降移動規制するガイドである。

0029

研磨装置1は、研磨ヘッド10を垂直方向昇降させる図示しない送り機構を備えている。送り機構は、例えば公知のボールネジスライダ機構である。送り機構は、加工開始前に研磨パッド30の研磨面31をウェハWの上面に着座させたり、加工終了後に研磨ヘッド10を所定の待機位置に退避させる。

0030

研磨ヘッド10は、回転体11と、固定体12と、ベアリング13と、を備えている。

0031

回転体11の下端には、研磨パッド30が水平に取り付けられている。研磨パッド30は、ウェハWよりも大径に形成されており、例えば、直径300mmのウェハWに対して、研磨パッド30の直径は450mmに設定される。

0032

回転体11は、断面コ字状に形成されており、スピンドルシャフト22の下端に弾性部材14を介して連結されている。固定体12は、円盤状に形成されており、ベアリング13を介して回転体11内に収容されている。これにより、スピンドルシャフト22の回転に伴い、回転体11及び弾性部材14は一体となって固定体12に対して相対的に回転する。

0033

弾性部材14は、図4に示すように、平面視で略正三角形状に形成されている。弾性部材14は、可撓性を示す形状に成形されており、好ましくは調質鋼製である。弾性部材14が、回転体11とスピンドルシャフト22との間に介装されていることにより、研磨ヘッド10のこじり方向の剛性が低下するため、研磨パッド30が垂直方向に搖動するように傾くことができる。弾性部材14は、上方接合部15と、下方接合部16と、を備えている。

0034

上方接合部15は、弾性部材14の上面に弾性部材14の各頂点付近に1つずつ設けられている。上方接合部15は、スピンドルシャフト22にそれぞれ接合される。

0035

下方接合部16は、弾性部材14の下面に弾性部材14の各辺の中央付近に1つずつ設けられている。下方接合部16は、回転体11にそれぞれ接合される。このようにして、上方接合部15及び下方接合部16は、弾性部材14の周方向に沿って交互に配置されている。

0036

研磨装置1は、中央押圧手段としての第1のエアシリンダ40と、外側押圧手段としての第2のエアシリンダ50と、を備えている。

0037

第1のエアシリンダ40は、シリンダ41がコラム4に取り付けられ、ピストン42が、ケーシング23の上面に取り付けられている。また、第1のエアシリンダ40は、回転軸a2上に配置されており、ケーシング23全体を均等に下方に押し付けるように構成されている。

0038

第2のエアシリンダ50は、固定体12の上部に2つ設けられている。具体的には、シリンダ51が、ケーシング23の側面から立設されたフランジ25の下面に取り付けられ、ピストン52が、固定体12の上面に取り付けられている。また、第2のエアシリンダ50は、平面から視て研磨ヘッド10の回転中心とウェハWの中心を結ぶ直線を挟んで対称な位置に1つずつ設けられている。また、回転軸a2と2つの第2のエアシリンダ50とが、平面から視て正三角形の頂点を形成するように配置されている。なお、第2のエアシリンダ50の配置は上述したものに限定されるものではない。

0039

なお、中央押圧手段及び外側押圧手段は、上述したような第1のエアシリンダ40及び第2のエアシリンダ50のようにシリンダ内給気された圧縮空気によってピストンが進退移動する公知の空気圧制御機器に限定されず、ウェハWに押圧力を付与できるものであれば如何なる構成であってもよく、例えばダイヤフラム又はエアバッグ等であっても構わない。

0040

研磨装置1の動作は、制御装置60によって制御される。制御装置60は、研磨装置1を構成する構成要素をそれぞれ制御するものである。制御装置60は、例えば、CPU、メモリ等により構成される。なお、制御装置60の機能は、ソフトウェアを用いて制御することにより実現されても良く、ハードウェアを用いて動作することにより実現されても良い。また、制御装置60は、第1のエアシリンダ40及び第2のエアシリンダ50の押圧力を制御する圧力制御手段としても機能する。

0041

次に、研磨装置1の動作について、図面に基づいて説明する。

0042

図5に示すように、研磨装置1は、研磨パッド30がウェハW全面を覆い、研磨パッド30とウェハWの回転方向が一致し、さらに研磨パッド30の外周とウェハWの外周とが1点で重なるようにして研磨加工を行う。これにより、ウェハW面内の速度ベクトルが一致する。また、研磨パッド30は、加工中にウェハW全面を常に覆うことにより、ウェハW全面が常に研磨パッド30に当接する。

0043

研磨加工時には、第1のエアシリンダ40及び第2のエアシリンダ50が所定の押圧力で研磨パッド30をそれぞれ下方に押圧する。具体的には、第1のエアシリンダ40による押圧力は、ケーシング23、ベアリング24、スピンドルシャフト22、弾性部材14、回転体11の順に伝達することにより、第1のエアシリンダ40の直下において研磨パッド30がウェハWの上面に押し付けられる。

0044

また、第2のエアシリンダ50による押圧力は、固定体12、ベアリング13、回転体11の順に伝達することにより、第2のエアシリンダ50の直下において研磨パッド30がウェハWの上面に押し付けられる。これにより、図5に示すように、第1のエアシリンダ40が研磨パッド30の中央を押圧し、第2のエアシリンダ50が研磨ヘッド10の回転中心と研磨パッド30の外周縁との間を押圧する。

0045

このようにして、第2のエアシリンダ50が研磨ヘッド10の回転中心から離れた場所を押圧することにより、回転体11とスピンドルシャフト22との間に介装された弾性部材14が撓み、研磨パッド30が垂直方向に搖動するように傾く。

0046

これにより、研磨パッド30のウェハWに支持されていない一部が下方に落ち込むように研磨パッド30が傾こうとしたり、図6に示すように、ウェハチャック2の回転軸a1を傾斜させた状態で研磨を行う場合であっても、研磨パッド30がウェハWに追従するように傾斜して、ウェハW全面に研磨パッド30を当接させた状態で研磨を行うことができる。

0047

また、2つの第2のエアシリンダ50が、研磨ヘッド10の回転中心とウェハWの中心を結ぶ直線を挟んで対称で、且つ回転軸a2と2つの第2のエアシリンダ50とが、平面から視て正三角形の頂点を形成するように配置されていることにより、研磨ヘッド10の姿勢をスムーズに補正することができる。

0048

また、従来のように、研磨パッド30の中央のみを加圧して研磨パッド30をウェハWに押し付ける場合には、図7(a)に示すように、ウェハWに作用する押圧力は、研磨パッド30の回転軸付近では大きい一方で、研磨パッド30の外周側では小さくなり、研磨パッド30の外周部分でいわゆる加圧逃げが生じてしまい、ウェハW面内の押圧力分布にバラつきが生じる虞があった。なお、図7(a)では、紙面右側の濃色部分が最も押圧力が大きい領域であり、紙面左側に向かう薄色部分、濃色部分の順に押圧力が小さくなっている。

0049

しかしながら、第1のエアシリンダ40で押圧しながら、第2のエアシリンダ50が研磨ヘッド10の回転中心と研磨パッド30の外周縁との間を局所的に押圧することにより、すなわち研磨パッド30を中央及び回転軸a2の外側の複数点で加圧することにより、図7(b)に示すように、研磨パッド30の外周部分での加圧逃げが抑制され、ウェハW面内の押圧力分布のバラつきを緩和することができる。

0050

なお、第1のエアシリンダ40及び第2のエアシリンダ50の押圧力は、加工開始前に予め設定された値を加工中に亘って維持するものであっても構わないし、加工中に適宜変更するものであっても構わない。

0051

例えば、加工中にウェハチャック2にウェハWに作用する押圧力を測定する複数の圧力センサを設けて、制御装置60が、各圧力センサの測定値に基づいてウェハW内の押圧力分布を算出し、第2のエアシリンダ50の押圧力を調整することにより、ウェハW面内の押圧力分布のバラつきを加工しながら緩和するものであっても構わない。なお、圧力センサとは、例えばウェハチャック2を支持するように設けられたロードセル等が考えられる。

0052

なお、上述した実施形態では、外側押圧手段として第2のエアシリンダ50を2つ設けた場合について説明したが、第2のエアシリンダ50を1つ設けた場合であっても構わない。この場合には、第2のエアシリンダ50は、図8に示すように、平面から視て研磨ヘッド10の回転中心とウェハWの中心を結ぶ直線上に設けられる。

0053

これにより、ウェハWの中心を挟んで研磨ヘッド10の回転中心の反対側に配置された第2のエアシリンダ50がスピンドルシャフト22の外周側を下方に押し付けることにより、研磨パッド30がウェハWに追従するように研磨ヘッド10の姿勢を補正することができる。

0054

上述した実施形態では、傾き許容接続手段として、回転体11とスピンドルシャフト22とを接続する弾性部材14を例に説明したが、回転体11がスピンドルシャフト22に対して傾斜することを許容するようものであればよく、例えばジンバル機構等であっても構わない。

0055

また、本発明は、本発明の精神を逸脱しない限り、上記以外にも種々の改変を為すことができ、そして、本発明が該改変されたものに及ぶことは当然である。

0056

1 ・・・研磨装置
2 ・・・ウェハチャック
3 ・・・ガイド
4 ・・・コラム
10 ・・・研磨ヘッド
11 ・・・回転体
12 ・・・固定体
13 ・・・ベアリング
14 ・・・弾性部材(傾き許容接続手段)
15 ・・・上方接合部
16 ・・・下方接合部
20 ・・・研磨スピンドル
21 ・・・モータ
22 ・・・スピンドルシャフト
23 ・・・ケーシング
24 ・・・ベアリング
30 ・・・研磨パッド
31 ・・・研磨面
40 ・・・第1のエアシリンダ(中央押圧手段)
50 ・・・第2のエアシリンダ(外側押圧手段)
60 ・・・制御装置
W ・・・ウェハ
a1 ・・・(ウェハチャックの)回転軸
a2 ・・・(研磨ヘッドの)回転軸

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