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技術 データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム

出願人 株式会社SCREENホールディングス
発明者 猶原英司西川康平
出願日 2018年2月8日 (2年4ヶ月経過) 出願番号 2018-020800
公開日 2019年8月22日 (10ヶ月経過) 公開番号 2019-140197
状態 未査定
技術分野 半導体装置の製造処理一般
主要キーワード 任意変更 アラーム値 評価対象データ アラーム数 各単位処理 稼働期間 エラー件数 低評価
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (20)

課題

系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供する。

解決手段

複数の単位処理データ各単位処理データは複数の時系列データを含む)を処理するデータ処理方法には、複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップ(S100)と、変更タイミング設定ステップ(S100)で設定されたタイミングで基準データを変更する基準データ変更ステップ(S220)とが含まれる。

概要

背景

機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量(例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧電流、温度、流量など)をセンサなどを用いて測定し、測定結果発生順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、その異常な時系列データを分析することにより、異常の発生箇所や異常の原因の特定が可能となる。また、近年、コンピュータデータ処理能力の向上が顕著である。このため、たとえデータ量が膨大であっても実用的な時間で必要な結果が得られるケースが多くなっている。このようなことからも、時系列データの分析が盛んになりつつある。

例えば、半導体製造装置では、各種のプロセスにおいて時系列データが得られる。そこで、半導体製造装置の分野においても、時系列データの分析や画面上への時系列データの表示などが行われている。

なお、本件発明に関連して、特開2017−83985号公報には、利用者が分析しやすい態様で時系列データを表示する時系列データ処理装置の発明が開示されている。その時系列データ処理装置では、複数の時系列データが複数のグループに分けられて、グループ毎の異常度および各グループ内における時系列データの異常度が算出されている。そして、グループあるいは時系列データを異常度に基づいてランキングした結果が表示部に表示される。

概要

時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供する。複数の単位処理データ各単位処理データは複数の時系列データを含む)を処理するデータ処理方法には、複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップ(S100)と、変更タイミング設定ステップ(S100)で設定されたタイミングで基準データを変更する基準データ変更ステップ(S220)とが含まれる。

目的

本発明は、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

この技術が所属する分野

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請求項1

単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップとを含むことを特徴とする、データ処理方法。

請求項2

前記基準データ変更ステップでは、単位処理データ毎に算出された評価値に基づいて複数の単位処理データについての順位付けが行われ、当該順位付けの結果に基づいて、変更後の基準データとする単位処理データが決定されることを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。

請求項3

前記基準データ変更ステップでは、前記順位付けによる順位が1位である単位処理データが、変更後の基準データに定められることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。

請求項4

前記基準データ変更ステップは、前記順位付けの結果に従って、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データをランキング形式で表示するランキング表示ステップと、前記ランキング表示ステップで表示された複数の属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データについての属性データを選択する基準データ選択ステップとを含むことを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。

請求項5

前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を指定することによって行われることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項に記載のデータ処理方法。

請求項6

前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項に記載のデータ処理方法。

請求項7

前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項6に記載のデータ処理方法。

請求項8

前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置の導入年度毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項6に記載のデータ処理方法。

請求項9

前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔をレシピ毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項6に記載のデータ処理方法。

請求項10

前記基板処理装置は、基板を処理する複数の処理ユニットを備え、前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を処理ユニット毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項6に記載のデータ処理方法。

請求項11

前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であり、前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、レシピ毎の処理回数を指定することによって行われることを特徴とする、請求項1から4までのいずれか1項に記載のデータ処理方法。

請求項12

前記基板処理装置は、前記基準データの変更指示を行う変更指示部を備え、前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定に加えて、前記変更指示部による変更指示を有効にするか否かの設定が行われ、前記変更タイミング設定ステップで前記変更指示部による変更指示を有効にする旨の設定が行われているときに前記変更指示部による変更指示が行われると、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず前記基準データが変更されることを特徴とする、請求項6から11までのいずれか1項に記載のデータ処理方法。

請求項13

単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部とを備えることを特徴とする、データ処理装置。

請求項14

前記基準データの履歴を把握することができるよう過去に基準データに定められた単位処理データを一覧表示した履歴画面を表示する履歴表示部を更に備えることを特徴とする、請求項13に記載のデータ処理装置。

請求項15

過去に基準データに定められた単位処理データに前記基準データを変更する基準データ復元部を更に備え、前記履歴画面は、一覧表示されている単位処理データのうちの任意の単位処理データを外部から選択することができるように構成され、前記基準データ復元部は、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず、前記履歴画面で選択された単位処理データに前記基準データを変更することを特徴とする、請求項14に記載のデータ処理装置。

請求項16

前記基準データ変更部は、前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを自動的に変更することを特徴とする、請求項13から15までのいずれか1項に記載のデータ処理装置。

請求項17

単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部とを備えることを特徴とする、データ処理システム。

請求項18

単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップとをコンピュータのCPUがメモリを利用して実行することを特徴とする、データ処理プログラム。

技術分野

0001

本発明は、デジタルデータ処理に関し、特に、時系列データを処理する方法に関する。

背景技術

0002

機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量(例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧電流、温度、流量など)をセンサなどを用いて測定し、測定結果発生順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、その異常な時系列データを分析することにより、異常の発生箇所や異常の原因の特定が可能となる。また、近年、コンピュータデータ処理能力の向上が顕著である。このため、たとえデータ量が膨大であっても実用的な時間で必要な結果が得られるケースが多くなっている。このようなことからも、時系列データの分析が盛んになりつつある。

0003

例えば、半導体製造装置では、各種のプロセスにおいて時系列データが得られる。そこで、半導体製造装置の分野においても、時系列データの分析や画面上への時系列データの表示などが行われている。

0004

なお、本件発明に関連して、特開2017−83985号公報には、利用者が分析しやすい態様で時系列データを表示する時系列データ処理装置の発明が開示されている。その時系列データ処理装置では、複数の時系列データが複数のグループに分けられて、グループ毎の異常度および各グループ内における時系列データの異常度が算出されている。そして、グループあるいは時系列データを異常度に基づいてランキングした結果が表示部に表示される。

先行技術

0005

特開2017−83985号公報

発明が解決しようとする課題

0006

半導体製造装置の一種である洗浄装置等の基板処理装置は、一般に、複数のチャンバ処理室)を有している。それら複数のチャンバで同じレシピが実行された場合、当該複数のチャンバで均一な結果物が得られることが好ましい。従って、1つの基板処理装置に含まれる複数のチャンバは同じような処理性能を有することが好ましい。ところが、実際には複数のチャンバ間で処理性能に差が生じている。このため、或るチャンバにおいて基板に対する処理が正常に行われているときに別のチャンバにおいて同様の処理が正常に行われていないことがある。

0007

そこで、基板処理装置の分野においても、異常の早期発見や異常の未然防止を図るため、上述したように、各種プロセスで得られた時系列データを分析することが行われつつある。ところで、同様に変化する複数の時系列データに含まれる各時系列データが異常であるか否かを判断するためには、評価対象となる各時系列データを理想的な時系列の値(データ値)を持つ時系列データと比較する必要がある。理想的な時系列の値を持つ時系列データとして、例えば、複数の時系列データの平均値で構成される時系列データを用いることが考えられる。ところが、平均値を算出する元となる複数の時系列データの中に他の値とはかけはなれた値を持つデータや異常な値を持つ多数のデータが含まれる場合、算出される平均値が必ずしも理想的な値とはならないので、異常が精度良く検出されない。

0008

そこで、本発明は、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0009

第1の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含むことを特徴とする。

0010

第2の発明は、第1の発明において、
前記基準データ変更ステップでは、単位処理データ毎に算出された評価値に基づいて複数の単位処理データについての順位付けが行われ、当該順位付けの結果に基づいて、変更後の基準データとする単位処理データが決定されることを特徴とする。

0011

第3の発明は、第2の発明において、
前記基準データ変更ステップでは、前記順位付けによる順位が1位である単位処理データが、変更後の基準データに定められることを特徴とする。

0012

第4の発明は、第2の発明において、
前記基準データ変更ステップは、
前記順位付けの結果に従って、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データをランキング形式で表示するランキング表示ステップと、
前記ランキング表示ステップで表示された複数の属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データについての属性データを選択する基準データ選択ステップ
を含むことを特徴とする。

0013

第5の発明は、第1から第4までのいずれかの発明において、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を指定することによって行われることを特徴とする。

0014

第6の発明は、第1から第5までのいずれかの発明において、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする。

0015

第7の発明は、第6の発明において、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置毎に指定することによって行われることを特徴とする。

0016

第8の発明は、第6の発明において、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置の導入年度毎に指定することによって行われることを特徴とする。

0017

第9の発明は、第6の発明において、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔をレシピ毎に指定することによって行われることを特徴とする。

0018

第10の発明は、第6の発明において、
前記基板処理装置は、基板を処理する複数の処理ユニットを備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を処理ユニット毎に指定することによって行われることを特徴とする。

0019

第11の発明は、第1から第4までのいずれかの発明において、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であり、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、レシピ毎の処理回数を指定することによって行われることを特徴とする。

0020

第12の発明は、第6から第11までのいずれかの発明において、
前記基板処理装置は、前記基準データの変更指示を行う変更指示部を備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定に加えて、前記変更指示部による変更指示を有効にするか否かの設定が行われ、
前記変更タイミング設定ステップで前記変更指示部による変更指示を有効にする旨の設定が行われているときに前記変更指示部による変更指示が行われると、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず前記基準データが変更されることを特徴とする。

0021

第13の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする。

0022

第14の発明は、第13の発明において、
前記基準データの履歴を把握することができるよう過去に基準データに定められた単位処理データを一覧表示した履歴画面を表示する履歴表示部を更に備えることを特徴とする。

0023

第15の発明は、第14の発明において、
過去に基準データに定められた単位処理データに前記基準データを変更する基準データ復元部を更に備え、
前記履歴画面は、一覧表示されている単位処理データのうちの任意の単位処理データを外部から選択することができるように構成され、
前記基準データ復元部は、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず、前記履歴画面で選択された単位処理データに前記基準データを変更することを特徴とする。

0024

第16の発明は、第13から第15までのいずれかの発明において、
前記基準データ変更部は、前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを自動的に変更することを特徴とする。

0025

第17の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備えることを特徴とする。

0026

第18の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
をコンピュータのCPUがメモリを利用して実行することを特徴とする。

発明の効果

0027

上記第1の発明によれば、それぞれが複数の時系列データを含む複数の単位処理データの中から選択される基準データを変更するタイミングを設定することが可能である。そして、その設定されたタイミングで基準データが変更される。このため、変更タイミングを適宜に設定しておくことにより、データ処理を行うシステムの現状に応じた基準データを保持することが可能となる。これにより、生成された単位処理データをシステムの現状に応じた基準データと比較することが可能となるので、処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0028

上記第2の発明および上記第3の発明によれば、理想的な時系列の値を持つ単位処理データを変更後の基準データに定めることが可能となる。

0029

上記第4の発明によれば、評価値に基づく順位付けの結果を参照しつつ任意の単位処理データを変更後の基準データとして選択することができるので、ユーザーニーズ合致した基準データの選択が可能となる。

0030

上記第5の発明によれば、ユーザーの所望する期間間隔で基準データを変更することが可能となる。

0031

上記第6から上記第11までの発明によれば、基板処理装置で実行された処理で生じた時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0032

上記第12の発明によれば、ユーザーが所望する任意のタイミングで基準データを変更することが可能となる。

0033

上記第13の発明によれば、上記第1の発明と同様の効果が得られる。

0034

上記第14の発明によれば、基準データの履歴を参照しつつ時系列データを分析することが可能となる。

0035

上記第15の発明によれば、必要に応じて過去の基準データを復元することが可能となる。

0036

上記第16の発明によれば、変更後の基準データとする単位処理データの作業者による選択が不要となるので、作業者の操作負荷が軽減される。また、作業者の操作ミスによって不適当な単位処理データが基準データに設定されることが防止される。

0037

上記第17の発明によれば、上記第1の発明と同様の効果が得られる。

0038

上記第18の発明によれば、上記第1の発明と同様の効果が得られる。

図面の簡単な説明

0039

本発明の第1の実施形態に係る基板処理システム概略構成を示す図である。
上記第1の実施形態において、基板処理装置の概略構成を示す図である。
ある1つの時系列データをグラフ化して表した図である。
上記第1の実施形態において、単位処理データについて説明するための図である。
上記第1の実施形態において、基板処理装置の制御部のハードウェア構成を示すブロック図である。
上記第1の実施形態において、時系列データDBについて説明するための図である。
上記第1の実施形態において、基準データDBについて説明するための図である。
上記第1の実施形態において、管理サーバのハードウェア構成を示すブロック図である。
上記第1の実施形態において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
上記第1の実施形態において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。
上記第1の実施形態において、変更指定日に到達しているか否かの判定について説明するための図である。
上記第1の実施形態において、変更タイミングの設定変更に伴う変更指定日の変化について説明するための図である。
上記第1の実施形態において、単位処理データ評価処理の手順を示すフローチャートである。
上記第1の実施形態において、スコアリング画面の一例を示す図である。
上記第1の実施形態において、スコアリング結果一覧画面の一例を示す図である。
上記第1の実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。
上記第1の実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。
上記第1の実施形態において、ランキング設定画面の一例を示す図である。
本発明の第2の実施形態において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
上記第2の実施形態において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。
第1の変形例において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
上記第1の変形例において、ランキング画面の一例を示す図である。
上記第1の変形例において、基準データの変更が行われる際のランキング画面の遷移を説明するための図である。
第2の変形例において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。
第3の変形例において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。
第4の変形例において、基準データ履歴画面の一例を示す図である。
第4の変形例において、期間指定画面の一例を示す図である。

実施例

0040

以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。

0041

<1.第1の実施形態>
<1.1 システムの構成>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理システム(データ処理システム)の概略構成を示す図である。この基板処理システムは、複数の基板処理装置1と、当該複数の基板処理装置1を管理する管理サーバ2とによって構成されている。複数の基板処理装置1と管理サーバ2とはLANなどの通信回線を介して互いに接続されている。なお、ここでは特に断らない限り、それぞれ「01A」,「02A」という装置番号が付された2台の基板処理装置1が設けられているものと仮定する。

0042

<1.1.1基板処理装置>
図2は、本実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を示す図である。基板処理装置1は、インデクサ部10と処理部20とを備えている。インデクサ部10は、複数枚の基板を収容可能な基板収容器カセット)を載置するための複数個の基板収容器保持部12と、基板収容器からの基板の搬出および基板収容器への基板の搬入を行うインデクサロボット14とを含んでいる。処理部20は、処理液を用いて基板の洗浄等の処理を行う複数個の処理ユニット22と、処理ユニット22への基板の搬入および処理ユニット22からの基板の搬出を行う基板搬送ロボット24とを含んでいる。処理ユニット22の数は、例えば12個である。この場合、例えば、3個の処理ユニット22を積層したタワー構造体図2に示すように基板搬送ロボット24の周囲の4箇所に設けられる。各処理ユニット22には基板に対する処理を行う空間であるチャンバが設けられており、チャンバ内で基板に処理液が供給される。また、基板処理装置1は、その内部に、マイクロコンピュータで構成される制御部100を備えている。

0043

基板に対する処理が行われる際、インデクサロボット14は、基板収容器保持部12に載置されている基板収容器から処理対象の基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部8を介して基板搬送ロボット24に渡す。基板搬送ロボット24は、インデクサロボット14から受け取った基板を対象の処理ユニット22に搬入する。基板に対する処理が終了すると、基板搬送ロボット24は、対象の処理ユニット22から基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部8を介してインデクサロボット14に渡す。インデクサロボット14は、基板搬送ロボット24から受け取った基板を対象の基板収容器に搬入する。

0044

制御部100は、インデクサ部10および処理部20に含まれている制御対象(インデクサロボット14を移動させる移動機構など)の動作を制御する。また、制御部100は、この基板処理装置1でレシピが実行されることによって得られる時系列データを蓄積して保持し、当該時系列データを用いた各種データ処理を行う。

0045

<1.1.2 時系列データ>
本実施形態に係る基板処理装置1では、各処理ユニット22における処理に関わる機器の異常や各処理ユニット22で行われた処理の異常などを検出するために、レシピが実行される都度、時系列データが取得される。本実施形態で取得される時系列データは、レシピが実行された際に各種の物理量(例えば、ノズルの流量、チャンバの内圧、チャンバの排気圧など)をセンサなどを用いて測定して測定結果を時系列に並べて得られたデータである。後述するデータ処理プログラムでは、各種の物理量はそれぞれ対応するパラメータの値として処理される。なお、1つのパラメータは1種類の物理量に対応する。

0046

図3は、ある1つの時系列データをグラフ化して表した図である。この時系列データは、1つのレシピが実行されたときに1つの処理ユニット22内のチャンバで1枚の基板に対する処理によって得られた或る物理量についてのデータである。なお、時系列データは複数の離散値で構成されるデータであるが、図3では時間的に隣接する2つのデータ値の間を直線で結んでいる。ところで、1つのレシピが実行されたときには、当該レシピが実行された処理ユニット22毎に、様々な物理量についての時系列データが得られる。そこで、以下、1つのレシピが実行されたときに1つの処理ユニット22内のチャンバで1枚の基板に対して行われる処理のことを「単位処理」といい、単位処理によって得られる一群の時系列データのことを「単位処理データ」という。1つの単位処理データには、模式的には図4に示すように、複数のパラメータについての時系列データおよび該当の単位処理データを特定するための複数の項目(例えば、処理の開始時刻・処理の終了時刻など)のデータ等からなる属性データが含まれている。なお、図4に関し、「パラメータA」,「パラメータB」,および「パラメータC」は、互いに異なる種類の物理量に対応している。

0047

機器や処理の異常を検出するためには、レシピの実行によって得られた単位処理データを、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データと比較すべきである。より詳しくは、レシピの実行によって得られた単位処理データに含まれる複数の時系列データを、それぞれ、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データに含まれる複数の時系列データと比較すべきである。そこで、本実施形態では、各基板処理装置1において、評価対象の単位処理データと比較するための単位処理データ(評価対象の単位処理データに含まれる複数の時系列データとそれぞれ比較するための複数の時系列データからなる単位処理データ)が基準データとしてレシピ毎に定められている。

0048

なお、本実施形態では、2台の基板処理装置1のそれぞれにおいて、処理ユニット22の数(チャンバの数)に関わらず、レシピ毎に基準データが定められる。しかしながら、本発明はこれに限定されず、レシピ毎かつ処理ユニット22毎に(すなわち、各レシピについて処理ユニット22毎に)基準データを定めるようにしても良い。また、本実施形態では、各レシピについて基板処理装置1毎に基準データが定められる。しかしながら、本発明はこれに限定されず、各レシピに対して2台の基板処理装置1に共通の1つの基準データを定めるようにしても良い。この場合、基準データに定める単位処理データを一方の基板処理装置1で得られた単位処理データに限定しても良いし、適宜いずれか一方の基板処理装置1で得られた単位処理データを基準データに定めるようにしても良い。

0049

<1.1.3基板処理装置の制御部の構成>
次に、基板処理装置1の制御部100の構成について説明する。図5は、基板処理装置1の制御部100のハードウェア構成を示すブロック図である。制御部100は、CPU110と主メモリ120と補助記憶装置130と表示部140と入力部150と通信制御部160とを備えている。CPU110は、与えられた命令に従い各種演算処理等を行う。主メモリ120は、実行中のプログラムやデータ等を一時的に格納する。補助記憶装置130は、電源オフされても保持されるべき各種プログラム・各種データを格納する。本実施形態においては、具体的には、後述するデータ処理を実行するためのデータ処理プログラム132が補助記憶装置130に格納されている。また、補助記憶装置130には、時系列データDB134および基準データDB136が設けられている。なお、「DB」は「database」の略である。時系列データDB134には、模式的には図6に示すように、所定期間分の単位処理データが格納されている。基準データDB136には、模式的には図7に示すように、レシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている(「レシピA」,「レシピB」,および「レシピC」は、互いに異なるレシピを表している)。表示部140は、例えば、オペレータが作業を行うための各種画面を表示する。入力部150は、例えばマウスキーボードなどであって、オペレータによる外部からの入力を受け付ける。通信制御部160は、データ送受信の制御を行う。

0050

この基板処理装置1が起動すると、データ処理プログラム132が主メモリ120に読み込まれ、その主メモリ120に読み込まれたデータ処理プログラム132をCPU110が実行する。なお、データ処理プログラム132は、例えば、CD−ROM,DVD−ROM,フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。

0051

<1.1.4管理サーバの構成>
次に、管理サーバ2の構成について説明する。図8は、管理サーバ2のハードウェア構成を示すブロック図である。管理サーバ2は、CPU210と主メモリ220と補助記憶装置230と表示部240と入力部250と通信制御部260とを備えている。CPU210,主メモリ220,補助記憶装置230,表示部240,入力部250,および通信制御部260は、それぞれ、基板処理装置1の制御部100内のCPU110,主メモリ120,補助記憶装置130,表示部140,入力部150,および通信制御部160と同じ機能を有する。但し、補助記憶装置230には、補助記憶装置130内に格納されているデータ処理プログラム132とは異なるデータ処理プログラム232が格納されている。

0052

この管理サーバ2が起動すると、データ処理プログラム232が主メモリ220に読み込まれ、その主メモリ220に読み込まれたデータ処理プログラム232をCPU210が実行する。なお、データ処理プログラム232は、例えば、CD−ROM,DVD−ROM,フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。基板処理装置1用のデータ処理プログラム132と管理サーバ2用のデータ処理プログラム232とを1つにまとめたプログラムが記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で基板処理装置1および管理サーバ2に提供されても良い。

0053

<1.2 基準データの変更に関するデータ処理方法>
本実施形態に係る基板処理システムでは、各基板処理装置1における各レシピについての基準データが、指定されたタイミングで変更される。そこで、以下、図9に示すフローチャートを参照しつつ、基準データの変更に関する処理の流れを説明する。図9では、左方に管理サーバ2の処理の流れを示し、右方に基板処理装置1の処理の流れを示している。ステップS100〜ステップS130の処理は管理サーバ2においてCPU210がデータ処理プログラム232を実行することによって実現され、ステップS200〜ステップS220の処理は基板処理装置1においてCPU110がデータ処理プログラム132を実行することによって実現される。なお、以下においては、評価対象の単位処理データのことを「評価対象データ」という。

0054

まず、管理サーバ2において、基準データの変更タイミングの設定が作業者の操作によって行われる(ステップS100)。その際、例えば図10に示すような変更タイミング設定画面70が管理サーバ2の表示部240に表示される。変更タイミング設定画面70には、設定用領域700とOKボタン78とCancelボタン79とが含まれている。OKボタン78は、設定内容確定するためのボタンである。Cancelボタン79は、設定内容を取り消すためのボタンである。

0055

変更タイミング設定画面70の設定用領域700では、「装置番号」,「導入年度」,および「処理レシピ」という3つの項目について基準データの変更タイミングの設定が可能となっている。各項目について、1または複数の設定対象が設けられる。例えば、項目「導入年度」については、「2016」および「2017」という2つの設定対象が設けられている。変更タイミングの設定は、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでの期間の長さである経過時間(すなわち、基準データを変更する時間間隔)を設定対象毎に指定することによって行われる。項目「装置番号」に着目すると、装置毎に変更タイミングを設定することが可能となっている。なお、装置番号は、基板処理装置1を一意識別するための番号である。項目「導入年度」に着目すると、導入年度毎に変更タイミングを設定することが可能となっている。なお、導入年度は、基板処理装置1をこの基板処理システムに導入した年度を意味する。項目「処理レシピ」に着目すると、レシピ毎に変更タイミングを設定することが可能となっている。

0056

図10に示すように、設定用領域700には、設定対象毎にスピンコントロールボックス71とドロップダウンリスト72とが設けられている。スピンコントロールボックス71は、設定する期間の長さを指定するためのインタフェースである。このスピンコントロールボックス71は、期間の長さを表す数値増減させることが可能なように構成されている。ドロップダウンリスト72は、設定する期間の単位を指定するためのインタフェースである。このドロップダウンリスト72で指定することのできる単位は、「年」,「月」,および「日」のいずれかである。

0057

上述したように、本実施形態では、各基板処理装置1において、レシピ毎に基準データが定められている。これを踏まえつつ、この変更タイミング設定画面70で設定された内容に基づいて基準データがどのように変更されるのかについて説明する。

0058

図10に示す例では、項目「装置番号」に関し、設定対象「01A」については経過時間が「1年」に設定されている。このような設定が行われている場合、装置番号が「01A」である基板処理装置1では、全てのレシピについて1年毎に基準データが変更される。また、図10に示す例では、項目「導入年度」に関し、設定対象「2016」については経過時間が「7日」に設定されている。このような設定が行われている場合、導入年度が2016年である基板処理装置1では、全てのレシピについて7日毎に基準データが変更される。さらに、図10に示す例では、項目「処理レシピ」に関し、設定対象「レシピA」については経過時間が「1年」に設定されている。このような設定が行われている場合、全ての基板処理装置1において、「レシピA」というレシピについての基準データが1年毎に変更される。

0059

上より図10に示す例では、例えば装置番号が「01A」であって2016年に導入された基板処理装置1における「レシピA」というレシピについての基準データは、7日毎のタイミングおよび1年毎のタイミングで変更される。また、例えば装置番号が「02A」であって2017年に導入された基板処理装置1における「レシピA」というレシピについての基準データは、2ヶ月毎のタイミング,3ヶ月毎のタイミング,および1年毎のタイミングで変更される。

0060

なお、変更タイミング設定画面70において経過時間を「0」又は「空白」に設定することを可能にして、経過時間が「0」又は「空白」に設定された設定対象については後述するステップS120の処理の際に無視されるようにしても良い。また、処理ユニット22毎に基準データを定める構成が採用されている場合には、装置毎かつ処理ユニット22毎に変更タイミングを設定することを可能にしても良い。

0061

図9に示すフローに関し、上述のように変更タイミング設定画面70を用いて基準データの変更タイミングの設定が行われた後、管理サーバ2では稼働期間カウントアップが行われる(ステップS110)。具体的には、データ処理プログラム232に稼働期間カウント用の変数(以下、「稼働期間変数」という。)CntDが用意されており、当該稼働期間変数CntDの値が1日経過する毎に「1」だけ加算される。

0062

稼働期間変数CntDの値に「1」が加算されると、各設定対象について、変更タイミング設定画面70での設定内容に基づき基準データの変更が行われるべき日(以下、便宜上「変更指定日」という。)に到達しているか否かの判定が行われる(ステップS120)。判定の結果、変更指定日に到達している設定対象が存在すれば、処理はステップS130に進む。一方、変更指定日に到達している設定対象が存在しなければ、処理はステップS110に戻る。

0063

ここで、図11を参照しつつ、変更指定日に到達しているか否かを判定する具体的な手法の一例を説明する。但し、本発明は、これに限定されない。なお、稼働期間変数CntDのカウントは変更タイミングの設定が最初に行われた日を基準日として行われるものと仮定する。ここでは、図10に示す例において、項目「導入年度」のうちの設定対象「2017」に着目する。該当の設定対象については、経過時間は「2月」に設定されている。このとき、例えば、基準日が或る年の5月3日であれば、図11に示すように、該当の設定対象についての変更指定日は5月3日から2ヶ月毎の日(7月3日,9月3日,11月3日,...)となる。この変更指定日の情報と基準日の情報とから、各変更指定日について、基準日からの経過日数を求めることができる。例えば、基準日と同じ年の9月3日については、基準日からの経過日数は123日である。このようにして基準日から各変更指定日までの経過日数を求めることができるので、当該経過日数と稼働期間変数CntDの値とを比較することによって、変更指定日に到達しているか否かを判定することができる。例えば7月3日には稼働期間変数CntDの値が「61」となるので、該当の設定対象について変更指定日に到達した旨の判定を行うことができる。

0064

ところで、変更タイミングが最初に設定された後、各設定対象について変更タイミングの設定変更が行われることもある。このような場合に変更タイミングの設定変更に伴って変更指定日がどのように変化するのかについて、図12を参照しつつ説明する。ここでは、或る設定対象について、変更タイミング(経過時間)が「8日」から「6日」に変更されたものと仮定する。また、その設定変更は、基準日から12日経過後に行われたものと仮定する。この場合、変更タイミングの設定が最初に行われた時点には、該当の設定対象についての変更指定日は基準日から8日毎の日(基準日からの経過日数が、8,16,24,...)となる。この状態において、上述したように、基準日から12日経過後に設定変更が行われる。このとき、直前に基準データの変更が行われたのは基準日から8日後であるので、例えば、図12で符号76で示すように基準日から8日後の日から6日毎の日(基準日からの経過日数が、14,20,26,...)を変更指定日に定めることができる。また、例えば、図12で符号77で示すように、設定変更が行われた日から6日毎の日(基準日からの経過日数が、18,24,30,...)を変更指定日に定めることもできる。このように、変更タイミングの設定変更が行われた場合の処理については、特に限定されず、適宜に定めたルールに従って変更指定日が変更されれば良い。

0065

図9に示すフローに関し、ステップS130では、管理サーバ2が、基準データを変更する必要のある基板処理装置1に対して、基準データの変更を指示する。このとき、項目「処理レシピ」に関する設定対象が変更指定日に到達したのであれば、該当のレシピについての基準データの変更が指示される。これに対して、項目「装置番号」あるいは項目「導入年度」に関する設定対象が変更指定日に到達したのであれば、全てのレシピについての基準データの変更が指示される。

0066

その後、管理サーバ2では、処理はステップS110に戻る。一方、基準データを変更する必要のある基板処理装置1は、管理サーバ2からの指示を受信する(ステップS200)。基準データの変更の指示を受信した基板処理装置1は、変更後の基準データとする単位処理データを決定するためのランキング処理を行う(ステップS210)。本実施形態におけるランキング処理は、基準データを変更する対象のレシピの実行によって得られた複数の単位処理データに対して3つの指標に基づき順位付けを行う一連の処理である。なお、ランキング処理についての詳しい説明は後述する。

0067

基板処理装置1では、ランキング処理の終了後、ランキング処理の結果に基づき、基準データが変更される(ステップS220)。詳しくは、基準データDB136(図7参照)に保持されている単位処理データのうち該当のレシピに対応する単位処理データが、ステップS210でのランキング処理で順位が1位となった単位処理データに書き換えられる。このようにして、ランキング処理で順位が1位となった単位処理データすなわち理想的な時系列の値を持つ単位処理データが変更後の基準データとなる。

0068

基板処理装置1では、変更指定日に到達した設定対象に対応する基準データが変更された後、処理はステップS200に戻る。すなわち、基板処理装置1は、基準データの変更の指示が管理サーバ2から送られるのを待機する状態となる。

0069

管理サーバ2および各基板処理装置1で以上のような処理が行われることにより、各基板処理装置1に保持されている各レシピについての基準データは、設定された変更タイミングに従って変更される。

0070

ところで、図10に示す例では、装置番号が「01A」であって2016年に導入された基板処理装置1における「レシピA」というレシピについての基準データに着目すると、当該基準データの変更タイミング(経過時間)として「1年」および「7日」という2つの設定がなされていることになる。このような場合、本実施形態では、当該基準データの変更は、7日毎のタイミングおよび1年毎のタイミングで行われる。しかしながら、このような場合に7日毎のタイミングのみで当該基準データの変更が行われるようにしても良い。すなわち、図10に示す例の場合、当該基準データについては、少なくとも7日毎に変更されるようにすれば良い。このように、各レシピについての基準データの変更は、少なくとも、変更タイミング設定画面70で設定された該当の変更タイミングのうちの最小のタイミングで行われれば良い。

0071

<1.3単位処理データ評価処理>
本実施形態においては、ランキング処理(複数の単位処理データの順位付け)を可能にするために、各基板処理装置1では、任意のレシピが実行される都度、当該レシピの実行によって得られた単位処理データの評価を行う単位処理データ評価処理が行われる。以下、図13に示すフローチャートを参照しつつ、この単位処理データ評価処理について説明する。なお、ここでは、1つのレシピに着目し、当該レシピのことを「着目レシピ」という。

0072

まず、基板処理装置1で着目レシピが実行されることにより、着目レシピが実行された処理ユニット22から得られた評価対象データに基づくスコアリングが行われる(ステップS310)。なお、スコアリングとは、評価対象データと基準データとの間で各パラメータの時系列データを比較してそれによって得られる結果を数値化する処理である。仮に着目レシピが8個の処理ユニット22で実行された場合、当該8個の処理ユニット22から得られる8個の評価対象データのそれぞれに基づいてスコアリングが行われる(すなわち、単位処理毎にスコアリングが行われる)ことにより、8個のスコアリング結果が得られる。スコアリングでは、複数の評価項目について「良」または「不良」の判断が行われる。その判断は、各パラメータについて、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとに基づいて得られる検査値を当該検査値に対応する閾値と比較することによって行われる(実質的には、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとを比較することによって行われる)。これに関し、検査値が閾値を超えた場合に、該当の評価項目が「不良」と判断される。なお、1つのパラメータに対して複数の評価項目が設けられていても良い。本実施形態においては、各評価対象データのスコアリング結果は、評価項目の総数分母とし不良と判断された評価項目の数を分子とする態様で表される。

0073

以下に評価項目の例を挙げる。
例1:或るパラメータに関する安定期間(図3参照)における時系列データの平均値
例2:或るパラメータに関する安定期間(図3参照)における時系列データの最大値
例3:或るパラメータに関する立ち上がり期間図3参照)の長さ
例1の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの平均値と基準データに含まれる時系列データの平均値との差”が上記検査値となる。例2の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの最大値と基準データに含まれる時系列データの最大値との差”が上記検査値となる。例3の評価項目については、該当のパラメータに関する“評価対象データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さと基準データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さとの差”が上記検査値となる。

0074

ところで、スコアリングの際に、各時系列データの正規化が行われるようにしても良い。例えば、各パラメータについて、基準データに含まれる時系列データの最大値が1、最小値が0に変換されるように、評価対象データに含まれる時系列データに線形変換が施されるようにしても良い。また、評価対象データには一般に複数のパラメータの時系列データが含まれているが、一部のパラメータの時系列データについてのみ正規化が行われるようにしても良い。なお、必要に応じて時系列データの正規化を行うことにより、後述する評価値をより好適に算出することが可能となる。

0075

スコアリングの終了後、スコアリングの結果の表示が行われる(ステップS320)。これについては、まず、スコアリングの結果の概略を示した例えば図14に示すようなスコアリング画面30が表示部140に表示される。スコアリング画面30には、処理ユニット22の数に等しい数のボタン32が設けられている。ボタン32内には、処理ユニット名表示領域321と処理枚数表示領域322とエラー数表示領域323とが設けられている。処理ユニット名表示領域321には、該当の処理ユニット22の名称が表示される。処理枚数表示領域322には、該当の処理ユニット22内のチャンバで所定期間内に処理された基板の総数が表示される。エラー数表示領域323には、発生したエラー件数が表示される。なお、エラーが発生している処理ユニット22については、符号34で示すように、エラー件数に応じた大きさの円がエラー数表示領域323に表示される。

0076

以上のようなスコアリング画面30のいずれかのボタン32が押下されると、該当の処理ユニット22で実行された単位処理のスコアリング結果を示す画面が表示される。そして、当該画面上で1つの単位処理が選択されると、その選択された単位処理に対応するレシピについてのスコアリング結果を一覧表示した例えば図15に示すようなスコアリング結果一覧画面40が表示部140に表示される。

0077

図15に示すように、スコアリング結果一覧画面40には、ボタン表示領域41と検索対象表示領域42と項目名表示領域43と結果表示領域44と期間表示領域45とが含まれている。ボタン表示領域41には、Goodボタン411とBadボタン412とが設けられている。

0078

検索対象表示領域42には、検索対象の処理ユニット22の名称および検索対象のレシピ(ここでは、着目レシピ)の名称が表示される。図15に示す例では、検索対象の処理ユニット22の名称が「Chamber3」であって検索対象のレシピの名称が「Flushing test2」であることが把握される。

0079

項目名表示領域43には、結果表示領域44に表示する内容(属性データ)の項目名が表示される。「Failed/Total」は、スコアリング結果を表す項目名である。なお、「Failed」は不良と判断された評価項目の数に相当し、「Total」は評価項目の総数に相当する。「Start time」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「End time」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Process time」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。「Alarm」は、着目レシピの実行の際に発生したアラーム数を表す項目名である。「Substrate ID」は、着目レシピによる処理を行った基板(ウエハ)を一意に識別するための番号を表す項目名である。「Recommend(Good/Bad)」は、後述する推奨度を表す項目名である。なお、「Good」は高評価の度合を表す値(以下、「Good値」という。)に相当し、「Bad」は低評価の度合を表す値(以下、「Bad値」という。)に相当する。推奨度は、これらGood値とBad値とからなる。

0080

結果表示領域44には、検索条件に合致した単位処理データの属性データ(各種情報やスコアリング結果など)が表示される。図15に示す例では、8個の単位処理データの属性データが結果表示領域44に表示されている。作業者は、結果表示領域44に表示されている属性データの中から1つの属性データ(1つの行)を選択することができる。

0081

期間表示領域45には、予め設定された検索対象期間が表示される。この検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって得られた単位処理データの属性データが、結果表示領域44に表示されている。図15に示す例では、検索対象期間が2017年7月19日の午後7時39分34秒から2017年8月19日の午後7時39分34秒までの1ヶ月間であることが把握される。

0082

ここで、ボタン表示領域41に設けられている各ボタンの機能を説明する。Goodボタン411は、結果表示領域44内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を高くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。Badボタン412は、結果表示領域44内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を低くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。なお、評価値についての説明は後述する。

0083

スコアリング結果一覧画面40の表示後、必要に応じて、各単位処理データを基準データとして推奨する度合を表す推奨度の設定(推奨設定)が行われる(ステップS330)。推奨設定は、結果表示領域44に表示されている属性データのうち設定対象の単位処理データに対応する属性データが選択されている状態でGoodボタン411あるいはBadボタン412を押下することによって行われる。その際、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましい場合には作業者はGoodボタン411を押下し、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましくない場合には作業者はBadボタン412を押下する。これに関し、スコアリング結果一覧画面40が表示された直後には、Goodボタン411およびBadボタン412は選択不可能な状態になっている。この状態で作業者が結果表示領域44に表示されているいずれかの属性データを選択すると、図16に示すように、該当の属性データが選択状態になるとともにGoodボタン411およびBadボタン412が選択可能な状態となる。この状態において作業者がGoodボタン411あるいはBadボタン412を押下することによって、Good値・Bad値の加算が行われる。例えば、図16に示す状態からBadボタン412が3回押下されると、図17に示すように、選択されている属性データのうちのBad値が「3」となる。以上のように、スコアリング結果一覧画面40は、推奨度を外部から変更することができるように構成されている。なお、Good値やBad値を具体的にどのような値にするかについては、例えば、スコアリング結果、アラーム数、該当の単位処理で得られた結果物(基板)の状態(例えば、パーティクル数欠陥数倒壊率)などを考慮して決定される。また、Goodボタン411およびBadボタン412の他に、Good値を小さくするためのボタンおよびBad値を小さくするためのボタンを設けるようにしても良い。

0084

ステップS310〜ステップS330の処理は、レシピが実行される毎に行われる。従って、基板処理装置1の稼働中、ステップS310〜ステップS330の処理は繰り返される。

0085

なお、スコアリング結果一覧画面40は基板処理装置1に含まれる制御部100の表示部140に表示されることを前提に説明したが、管理サーバ2の表示部240に基板処理装置1毎のスコアリング結果一覧画面40が表示されるようにしても良い。スコアリング画面30についても同様である。

0086

<1.4ランキング処理>
次に、ランキング処理(図9のステップS210)について説明する。上述したように、ランキング処理は、レシピの実行によって得られた複数の単位処理データに対して3つの指標に基づき順位付けを行う一連の処理である。各単位処理データの順位は、3つの指標に基づいて算出される評価値(総得点)によって決定付けられる。本実施形態においては、評価値を算出するための3つの指標値として、上述した推奨度に基づく値(以下、「推奨値」という。)と、スコアリング結果に基づく値(以下、「スコアリング結果値」という。)と、アラーム発生回数(あるいは、アラームの有無)に基づく値(以下、「アラーム値」という。)とが用いられる。評価値の具体的な求め方については後述する。ランキング処理では、評価値に基づいて検索対象期間内の複数の単位処理データの順位付けが行われる。

0087

実際にランキング処理が実行される前の適宜のタイミングで、ランキング処理の実行に必要な設定が行われる必要がある。この設定は、例えば図18に示すようなランキング設定画面50を用いて作業者の操作によって行われる。なお、各基板処理装置1でこの設定が行われるようにしても良いし、管理サーバ2でこの設定が行われるようにしても良い。図18に示すように、このランキング設定画面50には、各単位処理データの順位を決定付ける評価値を算出する際の上記3つの指標値のそれぞれの影響度寄与度)を設定するための3つのドロップダウンリスト51〜53と、OKボタン58と、Cancelボタン59とが含まれている。ドロップダウンリスト51は、推奨値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト52は、スコアリング結果値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト53は、アラーム値の影響度を設定するためのインタフェースである。OKボタン58は、設定内容を確定するためのボタンである。Cancelボタン59は、設定内容(ドロップダウンリスト51〜53を用いて設定された内容)を取り消すためのボタンである。

0088

ドロップダウンリスト51〜53については、例えば1%刻みで影響度を設定することが可能となっている。但し、5%刻みや10%刻みで影響度を設定することが可能となっていても良い。なお、評価値を算出する際の指標値として使用したくないものについては影響度を0%に設定することが可能となっている。

0089

ところで、ドロップダウンリスト51での設定値を「第1設定値」と定義し、ドロップダウンリスト52での設定値を「第2設定値」と定義し、ドロップダウンリスト53での設定値を「第3設定値」と定義すると、第1設定値と第2設定値と第3設定値との和が100%となるように自動的に値の調整が行われることが好ましい。これに関し、ランキング設定画面50の表示後に2つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われたときに残りのドロップダウンリストの値が自動的に設定されるようにすることができる。この場合、例えば、「第1設定値=50、第2設定値=30」という設定が行われたときに第3設定値が自動的に「20」に設定される。また、既に3つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われている状態でいずれか1つのドロップダウンリストの値が変更されたときに残りの2つのドロップダウンリストの値がその割合を維持したまま自動的に変更されるようにしても良い。この場合、例えば、「第1設定値=70、第2設定値=20、第3設定値=10」という設定が行われている状態で第1設定値が「55」に変更されると、自動的に、第2設定値が「30」に変更されるとともに第3設定値が「15」に変更される。

0090

なお、第1設定値と第2設定値と第3設定値との和が100%を超えるような設定を受け付けて、それらの割合を維持しつつ和が100%となるように内部的に処理するようにしても良い。また、第1設定値と第2設定値と第3設定値との和が100%を超えるような設定が行われたときに「和が100%を超えている」旨のメッセージを表示して再設定を促すようにしても良い。

0091

ランキング処理では、検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって各処理ユニット22から得られた全ての単位処理データが評価対象データとなる。まず、基準データの候補となり得るデータである各評価対象データについて、上記推奨値が求められる。Good値をCntGと表し、Bad値をCntBと表すと、推奨値V(R)は例えば次式(1)によって算出される。
V(R)=(CntG−CntB)×100/(CntG+CntB) ・・・(1)
但し、“CntG=0”かつ“CntB=0”のときには“V(R)=0”とする。

0092

次に、各評価対象データについて、上記アラーム値が求められる。アラーム値V(A)については、例えば、アラーム数が0(スコアリング結果一覧画面40では“None”と表記)であれば“V(A)=100”とされ、アラーム数が1以上であれば“V(A)=−100”とされる。

0093

次に、各評価対象データについて、上記スコアリング結果値V(S)が求められる。評価項目の総数をNtと表し、不良と判断された評価項目の数をNfと表すと、スコアリング結果値V(S)は例えば次式(2)によって算出される。
V(S)=(Nt−2×Nf)×100/Nt ・・・(2)

0094

以上のようにして推奨値V(R),アラーム値V(A),およびスコアリング結果値V(S)が求められた後、各評価対象データについて、上記評価値(総得点)の算出が行われる。ランキング設定画面50で設定されたドロップダウンリスト51〜53の値(割合)をそれぞれP1〜P3と表すと、評価値(総得点)Vtotalは次式(3)によって算出される。
Vtotal=V(R)×P1+V(S)×P2+V(A)×P3 ・・・(3)

0095

基準データの候補となり得る全ての単位処理データ(評価対象データ)についての評価値が算出された後、その算出された評価値に基づいて単位処理データの順位付けが行われる。その際、評価値の大きい単位処理データほど、順位は高くなる(順位を表す数値は小さくなる)。従って、順位が1位となる単位処理データは、評価値の最も大きな単位処理データである。このようなランキング処理の結果に基づいて、上述したように、基準データの変更(図9のステップS220)が行われる。

0096

<1.5 効果>
本実施形態によれば、それぞれが複数の時系列データを含む複数の単位処理データの中から選択される基準データを変更するタイミングを複数の項目について設定することが可能となっている。そして、各基板処理装置1において、各レシピについての基準データは、作業者によって設定されたタイミングで変更される。このため、各基板処理装置1の使用状況劣化程度等を考慮して基準データの変更タイミングを適宜に設定しておくことにより、この基板処理システムの現状に応じた基準データを保持することが可能となる。これにより、各レシピの実行によって得られた単位処理データをこの基板処理システムの現状に応じた基準データと比較することが可能となるので、基板処理装置1で実行された処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0097

また、本実施形態によれば、変更タイミング設定画面で設定されたタイミングで基準データが自動的に変更される。すなわち、変更後の基準データとする単位処理データの作業者による選択が不要である。従って、作業者による選択を要する構成に比べて作業者の操作負荷が軽減される。また、作業者の操作ミスによって不適当な単位処理データが基準データに設定されることが防止される。

0098

<2.第2の実施形態>
<2.1概要
第1の実施形態では、複数の基板処理装置1と管理サーバ2とからなる基板処理システムの形態で運用が行われることを前提としていた。しかしながら、本発明はこれに限定されない。そこで、1台の基板処理装置1単体で運用が行われる例を本発明の第2の実施形態として説明する。

0099

本実施形態における基板処理装置1の構成は、第1の実施形態における基板処理装置1の構成と同じである(図2および図5図7を参照)。但し、本実施形態における補助記憶装置130に格納されるデータ処理プログラム132は、第1の実施形態とは異なり、図19のステップS400からステップS440までの一連の処理を実行するためのプログラムである。

0100

<2.2 基準データの変更に関するデータ処理方法>
図19を参照しつつ、基準データの変更に関する処理の流れを説明する。まず、基準データの変更タイミングの設定が作業者の操作によって行われる(ステップS400)。本実施形態においては、基板処理装置1単体で運用が行われるので、ステップS400では例えば図20に示すような変更タイミング設定画面70が基板処理装置1の表示部140に表示される。図20から把握されるように、レシピ毎に基準データの変更タイミングを設定することが可能となっている。作業者は、スピンコントロールボックス71とドロップダウンリスト72とを操作して、レシピ毎に基準データの変更タイミングを設定する。

0101

基準データの変更タイミングの設定が行われた後、稼働期間のカウントアップが行われる(ステップS410)。具体的には、データ処理プログラムで用意された稼働期間変数CntDの値が1日経過する毎に「1」だけ加算される。そして、各設定対象について、変更タイミング設定画面70での設定内容に基づき変更指定日に到達しているか否かの判定が行われる(ステップS420)。判定の結果、変更指定日に到達している設定対象が存在すれば、処理はステップS430に進む。一方、変更指定日に到達している設定対象が存在しなければ、処理はステップS410に戻る。

0102

ステップS430では、第1の実施形態と同様にランキング処理が行われる。そして、当該ランキング処理の結果に基づき、基準データが変更される(ステップS440)。

0103

<2.3 効果>
本実施形態によれば、基準データの変更に関するデータ処理が基板処理装置1単体で行われる構成において、第1の実施形態と同様の効果が得られる。

0104

<3.変形例>
以下、上記各実施形態の変形例について説明する。なお、以下に記す第1〜第4の変形例は、第1の実施形態および第2の実施形態のいずれに対しても適用することができる。

0105

<3.1 第1の変形例>
上記各実施形態においては、基準データの変更が行われる際、ランキング処理で順位が1位となった単位処理データが自動的に変更後の基準データに定められていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、変更後の基準データとする単位処理データが作業者によって選択されるようにしても良い。

0106

図21は、本変形例における基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。本変形例においては、各基板処理装置1で、ランキング処理(ステップS210)の終了後、当該ランキング処理による順位付けの結果を表す例えば図22に示すようなランキング画面60が表示部140に表示される(ステップS212)。図22に示すように、複数の単位処理データのそれぞれについての属性データが、順位付けの結果に従って、ランキング形式でランキング画面60に表示されている。

0107

ランキング画面60には、ボタン表示領域61と検索対象表示領域62と項目名表示領域63と結果表示領域64と期間表示領域65とが含まれている。ボタン表示領域61には、Swapボタン611が設けられている。

0108

検索対象表示領域62には、検索対象の処理ユニット22の名称および検索対象のレシピ(ここでは、上述した着目レシピ)の名称が表示される。図22に示す例では、検索対象の処理ユニット22の名称が「Chamber3」,「Chamber4」,および「Chamber5」であって検索対象のレシピの名称が「Flushing test2」であることが把握される。スコアリング結果一覧画面40(図15参照)ではスコアリング画面30(図14参照)で選択された処理ユニット22のみが検索対象となっていたが、ランキング画面60では検索対象期間に着目レシピが実行された全ての処理ユニット22が検索対象となる。

0109

項目名表示領域63には、結果表示領域64に表示する内容(属性データ)の項目名が表示される。「Ranking」は、順位付けによる順位を表す項目名である。「Total Score」は、上記評価値(総得点)を表す項目名である。「Recommend Score」は、上記推奨値にランキング設定画面50のドロップダウンリスト51で設定された割合を乗ずることによって得られる値(V(R)×P1)を表す項目名である。「Scoring Result Score」は、上記スコアリング結果値にランキング設定画面50のドロップダウンリスト52で設定された割合を乗ずることによって得られる値(V(S)×P2)を表す項目名である。「Alarm Number Score」は、上記アラーム値にランキング設定画面50のドロップダウンリスト53で設定された割合を乗ずることによって得られる値(V(A)×P3)を表す項目名である。「Unit」は、処理ユニットを表す項目名である。「Start time」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「End time」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Process time」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。

0110

結果表示領域64には、検索条件に合致した単位処理データの属性データ(各種情報や順位付けによる順位など)が表示される。図22から把握されるように、結果表示領域64内では、単位処理データの属性データが、評価値の高いものから低いものへとソートされた状態で表示されている。従って、結果表示領域64の1行目に表示されている属性データに対応する単位処理データが、検索条件に合致した単位処理データの中で評価値の最も大きな単位処理データである。作業者は、結果表示領域64に表示されている属性データの中から1つの属性データ(1つの行)を選択することができる。なお、評価値が上位の単位処理データ(例えば、順位付けによる順位が1位から5位までの単位処理データ)の属性データのみを結果表示領域64に表示するようにしても良い。

0111

期間表示領域65には、スコアリング結果一覧画面40の期間表示領域45と同様、検索対象期間が表示される。図22に示す例では、検索対象期間が2017年7月19日の午後7時39分34秒から2017年8月19日の午後7時39分34秒までの1ヶ月間であることが把握される。

0112

ランキング画面60の表示後、変更後の基準データの選択が作業者によって行われる(ステップS214)。具体的には、作業者が、ランキング画面60の結果表示領域64に表示されている属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データに対応する属性データを選択する。これにより、ランキング画面60では、選択された属性データが選択状態になる。この状態において、作業者が、ボタン表示領域61内のSwapボタン611を押下する。これにより、着目レシピについての基準データが変更される(ステップS220)。詳しくは、基準データDB136(図7参照)に保持されている単位処理データのうち着目レシピに対応する単位処理データが、結果表示領域64内で選択状態となっている属性データに対応する単位処理データに書き換えられる。

0113

例えばランキング画面60が図22に示した状態になっているときに作業者が結果表示領域64内の1行目の属性データを選択すると、図23に示すように、1行目の属性データが選択状態になるとともにSwapボタン611が押下可能な状態となる。この状態において作業者がSwapボタン611を押下すると、着目レシピについての基準データが1行目の属性データに対応する単位処理データに変更される。

0114

本変形例によれば、評価値に基づく順位付け(ランキング処理)の結果を参照しつつ任意の単位処理データを変更後の基準データとして選択することができる。従って、順位付けによる順位が1位以外の単位処理データを基準データとして選択することもできる。このように、ユーザーのニーズに合致した基準データの選択が可能となる。

0115

<3.2 第2の変形例>
上記各実施形態においては、基準データの変更は、変更タイミング設定画面70での設定内容に基づく変更指定日に行われていた。これに関し、例えば不定期で行われるメンテナンス処理連動して基準データの変更が行われるようにするなどユーザーが所望する任意のタイミングで基準データの変更が行われるようにする機能(以下、便宜上「任意変更機能」という。)を設けるようにしても良い。以下、この任意変更機能を実現する具体的な手法の一例を説明する。

0116

本変形例においては、基板処理装置1の表示部140に、基準データの変更が望まれる時に作業者が押下するためのソフトウェアボタン(以下、「基準データ変更指示ボタン」という。)が表示される。また、本変形例における変更タイミング設定画面70の設定用領域700には、図24に示すように、任意変更機能を有効にするか否かを設定するための任意変更設定領域701が設けられる。任意変更設定領域701には2つのラジオボタン73,74が設けられ、ラジオボタン73が選択状態になっている時には任意変更機能は有効となり、ラジオボタン74が選択状態になっている時には任意変更機能は無効となる。なお、基準データ変更指示ボタンが変更指示部に相当し、ラジオボタン73を選択状態にすることが変更指示を有効にすることに相当する。

0117

任意変更機能が有効となっている時に基準データ変更指示ボタンが押下されると、基板処理装置1では、まず、ランキング処理(図9のステップS210の処理)が行われる。このランキング処理では、全てのレシピについて、レシピの実行によって得られた複数の単位処理データに対して3つの指標に基づく順位付けが行われる。そして、基板処理装置1では、各レシピについて、順位付けの結果に基づき基準データが変更される。詳しくは、各レシピについて、順位付けによる順位が1位となった単位処理データが変更後の基準データとなる。このように、任意変更機能が有効となっている時に基準データ変更指示ボタンが押下されると、変更タイミング設定画面70での設定内容に関わらず基準データが変更される。

0118

以上のような構成において、例えばメンテナンス処理が行われる毎に基準データが変更されることをユーザーが望む場合、任意変更機能を有効にした上でメンテナンス処理が行われる毎に作業者が基準データ変更指示ボタンを押下すれば良い。

0119

なお、データ処理プログラムがハードウェアボタンの押下を検知することができるのであれば、上記基準データ変更指示ボタンをソフトウェアボタンに代えてハードウェアボタンによって実現しても良い。

0120

<3.3 第3の変形例>
上記各実施形態においては、変更タイミングの設定は時間間隔(或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでの期間の長さである経過時間)を指定することによって行われていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、変更タイミングの設定を処理回数を指定することによって行うことができるようにしても良い。

0121

本変形例においては、例えば、図25に示すように、変更タイミング設定画面70の設定用領域700に変更タイミングの設定をレシピ毎に処理回数を指定することによって行うための領域702が設けられる。当該領域702には、処理回数を表す数値を増減させることが可能なように構成されたスピンコントロールボックス75が設けられる。

0122

以上のような構成において例えば図25に示したようにレシピAについての処理回数が「100」に設定されると、レシピAについての基準データは、経過時間の指定に基づく変更タイミングで変更されるのに加えて、レシピAが100回実行される毎に変更される。

0123

<3.4 第4の変形例>
上記各実施形態によれば、基準データは、作業者によって設定された変更タイミングに従って変更される。これに関し、上記各実施形態においては各レシピについての最新の基準データのみが基準データDB136に保持されているが、過去の基準データも基準データDB136に保持されるようにすることもできる。また、過去の基準データが基準データDB136とは別のデータベースに保持されるようにすることもできる。このようにして基準データの履歴を残すようにしても良い。

0124

そこで、基準データの履歴を用いて過去の基準データを現在の基準データとして復元する機能を設けるようにしても良い。例えば、各基板処理装置1(あるいは管理サーバ2)に基準データの履歴を表示するメニューを用意しておき当該メニューが選択されてレシピの指定が行われると図26に示すような基準データ履歴画面80が表示部140に表示されるようにすることができる。図26に示すように、基準データ履歴画面80には、ボタン表示領域81と項目名表示領域82と履歴表示領域83とが含まれている。ボタン表示領域81には、Swapボタン811が設けられている。項目名表示領域82には、履歴表示領域83に表示する内容(属性データ)の項目名(例えば、指定されたレシピの開始時刻を表す項目名など)が表示される。履歴表示領域83には、指定されたレシピについての過去の基準データ(過去に基準データに定められた単位処理データ)の属性データが表示される。図26に示す例では、過去の6個の基準データの属性データが履歴表示領域83に表示されている。作業者は、履歴表示領域83に表示されている属性データの中から1つの属性データ(1つの行)を選択することができる。Swapボタン811は、履歴表示領域83内で選択されている属性データに対応する過去の基準データ(過去に基準データに定められた単位処理データ)を現在の基準データとして復元するためのボタンである。

0125

基準データ履歴画面80が表示された直後には、Swapボタン811は選択不可能な状態になっている。この状態で作業者が履歴表示領域83に表示されているいずれかの属性データを選択すると、該当の属性データが選択状態になるとともにSwapボタン811が選択可能な状態となる。この状態において作業者がSwapボタン811を押下すると、変更タイミング設定画面70での設定内容に関わらず、履歴表示領域83で選択状態となっている属性データに対応する単位処理データに基準データが変更される。すなわち、履歴表示領域83で選択状態となっている属性データに対応する過去の基準データが指定されたレシピについての現在の基準データとして復元される。

0126

なお、本変形例に関連して、例えばレシピが指定された後に図27に示すような期間指定画面85を表示部140に表示して作業者による期間の指定を受け付けて、その指定された期間毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴を表示部140に表示するようにしても良い。これにより、例えば、7日毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴、1ヶ月毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴、1年毎に基準データを変更したと仮定した場合の基準データの履歴などを順に表示して、それらの結果を時系列データの分析に活用することが可能となる。

0127

1…基板処理装置
2…管理サーバ
22…処理ユニット
40…スコアリング結果一覧画面
50…ランキング設定画面
60…ランキング画面
70…変更タイミング設定画面
100…(基板処理装置の)制御部
132,232…データ処理プログラム
134…時系列データDB
136…基準データDB

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