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技術 データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム

出願人 株式会社SCREENホールディングス
発明者 猶原英司池内崇
出願日 2018年2月8日 (2年4ヶ月経過) 出願番号 2018-020798
公開日 2019年8月22日 (10ヶ月経過) 公開番号 2019-140195
状態 未査定
技術分野 半導体装置の製造処理一般
主要キーワード 従ユニット 主ユニット 各単位要素 アラーム値 評価対象データ アラーム数 各単位処理 新基準
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2019年8月22日)のものです。
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図面 (20)

課題

系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供する。

解決手段

複数の単位処理データを処理するデータ処理方法には、基準データ(単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータ)を変更する基準データ変更テップ(S300)と、基準データ変更ステップ(S300)による変更後の基準データである新基準データを基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップ(S310〜S340)とが含まれる。

概要

背景

機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量(例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧電流、温度、流量など)をセンサなどを用いて測定し、測定結果発生順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、その異常な時系列データを分析することにより、異常の発生箇所や異常の原因の特定が可能となる。また、近年、コンピュータデータ処理能力の向上が顕著である。このため、たとえデータ量が膨大であっても実用的な時間で必要な結果が得られるケースが多くなっている。このようなことからも、時系列データの分析が盛んになりつつある。

例えば、半導体製造装置では、各種のプロセスにおいて時系列データが得られる。そこで、半導体製造装置の分野においても、時系列データの分析や画面上への時系列データの表示などが行われている。

なお、本件発明に関連して、特開2017−83985号公報には、利用者が分析しやすい態様で時系列データを表示する時系列データ処理装置の発明が開示されている。その時系列データ処理装置では、複数の時系列データが複数のグループに分けられて、グループ毎の異常度および各グループ内における時系列データの異常度が算出されている。そして、グループあるいは時系列データを異常度に基づいてランキングした結果が表示部に表示される。

概要

時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供する。複数の単位処理データを処理するデータ処理方法には、基準データ(単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータ)を変更する基準データ変更テップ(S300)と、基準データ変更ステップ(S300)による変更後の基準データである新基準データを基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップ(S310〜S340)とが含まれる。

目的

本発明は、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

この技術が所属する分野

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請求項1

単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更テップと、前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップとを含むことを特徴とする、データ処理方法。

請求項2

1つの単位要素が主単位要素に定められるとともに前記主単位要素以外の単位要素が従単位要素に定められ、前記基準データ変更ステップでは、前記主単位要素についての基準データが変更され、前記基準データ展開ステップでは、前記新基準データが前記従単位要素に展開されることを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。

請求項3

前記基準データ展開ステップは、前記基準データの展開を管理するための展開管理部に前記主単位要素から前記新基準データを送信する基準データアップロードステップと、前記基準データアップロードステップで前記展開管理部に送信された新基準データを前記展開管理部から前記従単位要素に送信する基準データダウンロードステップとを含むことを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。

請求項4

前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、前記主単位要素および前記従単位要素はレシピ毎に定められることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。

請求項5

前記基準データ展開ステップは、前記基準データの展開を管理するための展開管理部に前記主単位要素から前記新基準データと基準データが変更された旨の変更通知とを送信する基準データアップロードステップと、前記展開管理部において、前記新基準データと前記変更通知とに基づいて基準データの変更があったレシピを特定し、その特定したレシピについて従単位要素に定められている単位要素を前記新基準データの展開先として特定する、展開先特定ステップと、前記展開管理部から前記展開先特定ステップで展開先として特定された単位要素に前記基準データアップロードステップで前記展開管理部に送信された新基準データと基準データの更新を指示する更新指示通知とを送信する基準データダウンロードステップと、前記従単位要素において、前記展開先特定ステップで特定されたレシピについての基準データを前記更新指示通知に基づき前記新基準データに更新する基準データ更新ステップとを含むことを特徴とする、請求項4に記載のデータ処理方法。

請求項6

評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価ステップを更に含み、前記基準データ変更ステップでは、前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて前記基準データが変更されることを特徴とする、請求項1から5までのいずれか1項に記載のデータ処理方法。

請求項7

前記単位要素は、1つの基板処理装置であることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項に記載のデータ処理方法。

請求項8

前記単位要素は、基板処理装置において基板を処理する1つの処理ユニットを含む構成体であることを特徴とする、請求項1から6までのいずれか1項に記載のデータ処理方法。

請求項9

単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理する、複数の単位要素で構成されるデータ処理システムにおけるデータ処理方法であって、前記データ処理システムは、単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた第1の基準データ格納部と前記基準データを格納する、全ての単位要素で共用される第2の基準データ格納部と、前記基準データの展開を管理するための展開管理部とを有し、前記データ処理方法は、単位要素が追加された際に当該追加された単位要素である新規単位要素の構成情報を前記新規単位要素から前記展開管理部に送信する構成情報送信ステップと、前記展開管理部において、前記新規単位要素に展開すべき基準データを前記構成情報に基づいて前記第2の基準データ格納部から取得する基準データ取得ステップと、前記基準データ取得ステップで取得された基準データを前記展開管理部から前記新規単位要素に送信する基準データ送信ステップと、前記新規単位要素において、前記基準データ送信ステップで送信された基準データを前記第1の基準データ格納部に格納する基準データ格納ステップとを含むことを特徴とする、データ処理方法。

請求項10

単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、1つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部とを備えることを特徴とする、データ処理装置。

請求項11

単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、1つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部とを備えることを特徴とする、データ処理システム。

請求項12

前記基準データ格納部に格納されている基準データを変更する基準データ変更部を更に備え、前記基準データ展開部は、前記基準データ変更部によって基準データが変更されたときに、変更後の基準データである新基準データを、基準データが変更された単位要素以外の単位要素に自動的に展開することを特徴とする、請求項11に記載のデータ処理システム。

請求項13

展開対象の基準データおよび展開先の単位要素を指定するための展開指定部を更に備え、前記基準データ展開部は、前記展開指定部によって指定された基準データを前記展開指定部によって指定された単位要素に展開することを特徴とする、請求項11に記載のデータ処理システム。

請求項14

単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップとをコンピュータのCPUがメモリを利用して実行することを特徴とする、データ処理プログラム。

技術分野

0001

本発明は、デジタルデータ処理に関し、特に、時系列データを処理する方法に関する。

背景技術

0002

機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量(例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧電流、温度、流量など)をセンサなどを用いて測定し、測定結果発生順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、その異常な時系列データを分析することにより、異常の発生箇所や異常の原因の特定が可能となる。また、近年、コンピュータデータ処理能力の向上が顕著である。このため、たとえデータ量が膨大であっても実用的な時間で必要な結果が得られるケースが多くなっている。このようなことからも、時系列データの分析が盛んになりつつある。

0003

例えば、半導体製造装置では、各種のプロセスにおいて時系列データが得られる。そこで、半導体製造装置の分野においても、時系列データの分析や画面上への時系列データの表示などが行われている。

0004

なお、本件発明に関連して、特開2017−83985号公報には、利用者が分析しやすい態様で時系列データを表示する時系列データ処理装置の発明が開示されている。その時系列データ処理装置では、複数の時系列データが複数のグループに分けられて、グループ毎の異常度および各グループ内における時系列データの異常度が算出されている。そして、グループあるいは時系列データを異常度に基づいてランキングした結果が表示部に表示される。

先行技術

0005

特開2017−83985号公報

発明が解決しようとする課題

0006

半導体製造装置の一種である洗浄装置等の基板処理装置は、一般に、複数のチャンバ処理室)を有している。それら複数のチャンバで同じレシピが実行された場合、当該複数のチャンバで均一な結果物が得られることが好ましい。従って、1つの基板処理装置に含まれる複数のチャンバは同じような処理性能を有することが好ましい。ところが、実際には複数のチャンバ間で処理性能に差が生じている。このため、或るチャンバにおいて基板に対する処理が正常に行われているときに別のチャンバにおいて同様の処理が正常に行われていないことがある。

0007

そこで、基板処理装置の分野においても、異常の早期発見や異常の未然防止を図るため、上述したように、各種プロセスで得られた時系列データを分析することが行われつつある。ところで、同様に変化する複数の時系列データに含まれる各時系列データが異常であるか否かを判断するためには、評価対象となる各時系列データを理想的な時系列の値(データ値)を持つ時系列データと比較する必要がある。理想的な時系列の値を持つ時系列データとして、例えば、複数の時系列データの平均値で構成される時系列データを用いることが考えられる。ところが、平均値を算出する元となる複数の時系列データの中に他の値とはかけはなれた値を持つデータや異常な値を持つ多数のデータが含まれる場合、算出される平均値が必ずしも理想的な値とはならないので、異常が精度良く検出されない。

0008

そこで、本発明は、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことを可能とするデータ処理方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0009

第1の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更テップと、
前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
を含むことを特徴とする。

0010

第2の発明は、第1の発明において、
1つの単位要素が主単位要素に定められるとともに前記主単位要素以外の単位要素が従単位要素に定められ、
前記基準データ変更ステップでは、前記主単位要素についての基準データが変更され、
前記基準データ展開ステップでは、前記新基準データが前記従単位要素に展開されることを特徴とする。

0011

第3の発明は、第2の発明において、
前記基準データ展開ステップは、
前記基準データの展開を管理するための展開管理部に前記主単位要素から前記新基準データを送信する基準データアップロードステップと、
前記基準データアップロードステップで前記展開管理部に送信された新基準データを前記展開管理部から前記従単位要素に送信する基準データダウンロードステップと
を含むことを特徴とする。

0012

第4の発明は、第2の発明において、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であって、
前記主単位要素および前記従単位要素はレシピ毎に定められることを特徴とする。

0013

第5の発明は、第4の発明において、
前記基準データ展開ステップは、
前記基準データの展開を管理するための展開管理部に前記主単位要素から前記新基準データと基準データが変更された旨の変更通知とを送信する基準データアップロードステップと、
前記展開管理部において、前記新基準データと前記変更通知とに基づいて基準データの変更があったレシピを特定し、その特定したレシピについて従単位要素に定められている単位要素を前記新基準データの展開先として特定する、展開先特定ステップと、
前記展開管理部から前記展開先特定ステップで展開先として特定された単位要素に前記基準データアップロードステップで前記展開管理部に送信された新基準データと基準データの更新を指示する更新指示通知とを送信する基準データダウンロードステップと、
前記従単位要素において、前記展開先特定ステップで特定されたレシピについての基準データを前記更新指示通知に基づき前記新基準データに更新する基準データ更新ステップと
を含むことを特徴とする。

0014

第6の発明は、第1から第5までのいずれかの発明において、
評価対象の単位処理データと前記基準データとに基づいて前記評価対象の単位処理データについての評価値を算出する単位処理データ評価ステップを更に含み、
前記基準データ変更ステップでは、前記単位処理データ評価ステップで算出された評価値に基づいて前記基準データが変更されることを特徴とする。

0015

第7の発明は、第1から第6までのいずれかの発明において、
前記単位要素は、1つの基板処理装置であることを特徴とする。

0016

第8の発明は、第1から第6までのいずれかの発明において、
前記単位要素は、基板処理装置において基板を処理する1つの処理ユニットを含む構成体であることを特徴とする。

0017

第9の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理する、複数の単位要素で構成されるデータ処理システムにおけるデータ処理方法であって、
前記データ処理システムは、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた第1の基準データ格納部と
前記基準データを格納する、全ての単位要素で共用される第2の基準データ格納部と、
前記基準データの展開を管理するための展開管理部と
を有し、
前記データ処理方法は、
単位要素が追加された際に当該追加された単位要素である新規単位要素の構成情報を前記新規単位要素から前記展開管理部に送信する構成情報送信ステップと、
前記展開管理部において、前記新規単位要素に展開すべき基準データを前記構成情報に基づいて前記第2の基準データ格納部から取得する基準データ取得ステップと、
前記基準データ取得ステップで取得された基準データを前記展開管理部から前記新規単位要素に送信する基準データ送信ステップと、
前記新規単位要素において、前記基準データ送信ステップで送信された基準データを前記第1の基準データ格納部に格納する基準データ格納ステップと
を含むことを特徴とする。

0018

第10の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
1つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
を備えることを特徴とする。

0019

第11の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを格納する、単位要素毎に設けられた基準データ格納部と、
1つの単位要素についての基準データ格納部に格納されている基準データを他の単位要素に展開する基準データ展開部と
を備えることを特徴とする。

0020

第12の発明は、第11の発明において、
前記基準データ格納部に格納されている基準データを変更する基準データ変更部を更に備え、
前記基準データ展開部は、前記基準データ変更部によって基準データが変更されたときに、変更後の基準データである新基準データを、基準データが変更された単位要素以外の単位要素に自動的に展開することを特徴とする。

0021

第13の発明は、第11の発明において、
展開対象の基準データおよび展開先の単位要素を指定するための展開指定部を更に備え、
前記基準データ展開部は、前記展開指定部によって指定された基準データを前記展開指定部によって指定された単位要素に展開することを特徴とする。

0022

第14の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
単位要素毎に複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データを変更する基準データ変更ステップと、
前記基準データ変更ステップによる変更後の基準データである新基準データを、前記基準データ変更ステップで基準データが変更された単位要素以外の単位要素に展開する基準データ展開ステップと
をコンピュータのCPUがメモリを利用して実行することを特徴とする。

発明の効果

0023

上記第1の発明によれば、或る単位要素についての基準データ(複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータ)に変更があったときに、変更後の基準データである新基準データを他の単位要素へと展開することができる。このため、良好な結果の単位処理データが得られていない単位要素についても、良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。このように、各単位要素での処理で得られた単位処理データを好適な基準データと比較することが可能となるので、処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0024

上記第2の発明によれば、良好な結果の単位処理データが得られる単位要素からそれ以外の単位要素へと基準データを展開することができる。これにより、各単位要素での処理で得られた単位処理データを確実に好適な基準データと比較することが可能となる。

0025

上記第3の発明によれば、上記第2の発明と同様の効果が得られる。

0026

上記第4の発明によれば、基板処理装置で実行された処理(レシピ)で生じた時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0027

上記第5の発明によれば、上記第4の発明と同様の効果が得られる。

0028

上記第6の発明によれば、基準データの変更は評価値に基づいて行われるので、各単位要素について、確実に、良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。

0029

上記第7の発明によれば、或る基板処理装置についての基準データに変更があったときに、変更後の基準データである新基準データを他の基板処理装置へと展開することができる。このため、複数の基板処理装置を用いたシステムにおいて、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0030

上記第8の発明によれば、基板処理装置内の或る処理ユニットについての基準データに変更があったときに、変更後の基準データである新基準データを他の処理ユニットへと展開することができる。このため、基板処理装置において、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0031

上記第9の発明によれば、データ処理システムに単位要素が追加されると、新規単位要素の構成情報が展開管理部に送信され、当該構成情報に基づく基準データが新規単位要素へと展開される。このため、データ処理システムに追加された新規単位要素についても、良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。このように、新規単位要素での処理で得られた単位処理データを好適な基準データと比較することが可能となるので、新規単位要素での処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0032

上記第10の発明によれば、上記第1の発明と同様の効果が得られる。

0033

上記第11の発明によれば、上記第1の発明と同様の効果が得られる。

0034

上記第12の発明によれば、基準データの展開が作業者の操作を要することなく行われるので、作業者の操作負担が軽減される。また、作業者の操作ミスによって基準データの展開が不適当に行われることが防止される。

0035

上記第13の発明によれば、必要に応じて或る単位要素から別の単位要素へと基準データを展開することが可能となる。

0036

上記第14の発明によれば、上記第1の発明と同様の効果が得られる。

図面の簡単な説明

0037

本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す図である。
ある1つの時系列データをグラフ化して表した図である。
上記第1の実施形態において、単位処理データについて説明するための図である。
上記第1の実施形態において、基板処理装置の制御部のハードウェア構成を示すブロック図である。
上記第1の実施形態において、時系列データDBについて説明するための図である。
上記第1の実施形態において、第1の基準データDBについて説明するための図である。
上記第1の実施形態において、第2の基準データDBについて説明するための図である。
上記第1の実施形態において、基準データ展開処理に関わる機能構成を示す機能ブロック図である。
上記第1の実施形態において、主ユニットにおける基準データを変更する手順を示すフローチャートである。
上記第1の実施形態において、スコアリング画面の一例を示す図である。
上記第1の実施形態において、スコアリング結果一覧画面の一例を示す図である。
上記第1の実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。
上記第1の実施形態において、推奨設定の際のスコアリング結果一覧画面の遷移を説明するための図である。
上記第1の実施形態において、ランキング設定画面の一例を示す図である。
上記第1の実施形態において、ランキング画面の一例を示す図である。
上記第1の実施形態において、基準データの変更が行われる際のランキング画面の遷移を説明するための図である。
上記第1の実施形態において、基準データの変更に関するデータ処理の手順を示すフローチャートである。
上記第1の実施形態において、変更タイミング設定画面の一例を示す図である。
上記第1の実施形態において、変更指定日に到達しているか否かの判定について説明するための図である。
上記第1の実施形態において、変更タイミングの設定変更に伴う変更指定日の変化について説明するための図である。
上記第1の実施形態における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。
上記第1の実施形態において、変更通知の送信について説明するための図である。
上記第1の実施形態において、更新指示通知の送信について説明するための図である。
本発明の第2の実施形態に係る基板処理システムの概略構成を示す図である。
上記第2の実施形態において、基板処理装置の制御部のハードウェア構成を示すブロック図である。
上記第2の実施形態において、第1の基準データDBについて説明するための図である。
上記第2の実施形態において、管理サーバのハードウェア構成を示すブロック図である。
上記第2の実施形態において、基準データ展開処理に関わる機能構成を示す機能ブロック図である。
上記第2の実施形態における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。
上記第2の実施形態において、変更通知の送信について説明するための図である。
上記第2の実施形態において、更新指示通知の送信について説明するための図である。
上記第2の実施形態において、基板処理装置が追加された際の基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。
変形例における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。
上記変形例において、基準データ選択画面の一例を示す図である。
上記変形例において、展開先選択画面の一例を示す図である。

実施例

0038

以下、添付図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。

0039

<1.第1の実施形態>
<1.1基板処理装置の構成>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を示す図である。基板処理装置1は、インデクサ部10と処理部20とを備えている。インデクサ部10は、複数枚の基板を収容可能な基板収容器カセット)を載置するための複数個の基板収容器保持部12と、基板収容器からの基板の搬出および基板収容器への基板の搬入を行うインデクサロボット14とを含んでいる。処理部20は、処理液を用いて基板の洗浄等の処理を行う複数個の処理ユニット22と、処理ユニット22への基板の搬入および処理ユニット22からの基板の搬出を行う基板搬送ロボット24とを含んでいる。処理ユニット22の数は、例えば12個である。この場合、例えば、3個の処理ユニット22を積層したタワー構造体図1に示すように基板搬送ロボット24の周囲の4箇所に設けられる。以下の説明においても処理ユニット22は12個設けられているものと仮定し、それら12個の処理ユニット22は“Chamber1”〜“Chamber12”という名称で区別されるものと仮定する。各処理ユニット22には基板に対する処理を行う空間であるチャンバが設けられており、チャンバ内で基板に処理液が供給される。また、基板処理装置1は、その内部に、マイクロコンピュータで構成される制御部100を備えている。

0040

基板に対する処理が行われる際、インデクサロボット14は、基板収容器保持部12に載置されている基板収容器から処理対象の基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部8を介して基板搬送ロボット24に渡す。基板搬送ロボット24は、インデクサロボット14から受け取った基板を対象の処理ユニット22に搬入する。基板に対する処理が終了すると、基板搬送ロボット24は、対象の処理ユニット22から基板を取り出して、当該基板を基板受け渡し部8を介してインデクサロボット14に渡す。インデクサロボット14は、基板搬送ロボット24から受け取った基板を対象の基板収容器に搬入する。

0041

制御部100は、インデクサ部10および処理部20に含まれている制御対象(インデクサロボット14を移動させる移動機構など)の動作を制御する。また、制御部100は、この基板処理装置1でレシピが実行されることによって得られる時系列データを蓄積して保持し、当該時系列データを用いた各種データ処理を行う。

0042

<1.2 時系列データおよび基準データ>
本実施形態に係る基板処理装置1では、各処理ユニット22における処理に関わる機器の異常や各処理ユニット22で行われた処理の異常などを検出するために、レシピが実行される都度、時系列データが取得される。本実施形態で取得される時系列データは、レシピが実行された際に各種の物理量(例えば、ノズルの流量、チャンバの内圧、チャンバの排気圧など)をセンサなどを用いて測定して測定結果を時系列に並べて得られたデータである。後述するデータ処理プログラムでは、各種の物理量はそれぞれ対応するパラメータの値として処理される。なお、1つのパラメータは1種類の物理量に対応する。

0043

図2は、ある1つの時系列データをグラフ化して表した図である。この時系列データは、1つのレシピが実行されたときに1つの処理ユニット22内のチャンバで1枚の基板に対する処理によって得られた或る物理量についてのデータである。なお、時系列データは複数の離散値で構成されるデータであるが、図2では時間的に隣接する2つのデータ値の間を直線で結んでいる。ところで、1つのレシピが実行されたときには、当該レシピが実行された処理ユニット22毎に、様々な物理量についての時系列データが得られる。そこで、以下、1つのレシピが実行されたときに1つの処理ユニット22内のチャンバで1枚の基板に対して行われる処理のことを「単位処理」といい、単位処理によって得られる一群の時系列データのことを「単位処理データ」という。1つの単位処理データには、模式的には図3に示すように、複数のパラメータについての時系列データおよび該当の単位処理データを特定するための複数の項目(例えば、処理の開始時刻・処理の終了時刻など)のデータ等からなる属性データが含まれている。なお、図3に関し、「パラメータA」,「パラメータB」,および「パラメータC」は、互いに異なる種類の物理量に対応している。

0044

機器や処理の異常を検出するためには、レシピの実行によって得られた単位処理データを、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データと比較すべきである。より詳しくは、レシピの実行によって得られた単位処理データに含まれる複数の時系列データを、それぞれ、処理結果として理想的なデータ値を持つ単位処理データに含まれる複数の時系列データと比較すべきである。そこで、本実施形態においては、評価対象の単位処理データと比較するための単位処理データ(評価対象の単位処理データに含まれる複数の時系列データとそれぞれ比較するための複数の時系列データからなる単位処理データ)が基準データとして処理ユニット22毎かつレシピ毎に定められている。すなわち、或る1つのレシピに着目すると、処理ユニット22毎に、当該レシピに対応する基準データが定められている。

0045

<1.3 制御部の構成>
次に、基板処理装置1の制御部100の構成について説明する。図4は、制御部100のハードウェア構成を示すブロック図である。制御部100は、CPU110と主メモリ120と補助記憶装置130と表示部140と入力部150と通信制御部160とを備えている。CPU110は、与えられた命令に従い各種演算処理等を行う。主メモリ120は、実行中のプログラムやデータ等を一時的に格納する。補助記憶装置130は、電源オフされても保持されるべき各種プログラム・各種データを格納する。本実施形態においては、具体的には、後述するデータ処理を実行するためのデータ処理プログラム132が補助記憶装置130に格納されている。また、補助記憶装置130には、時系列データDB134,第1の基準データDB136a,および第2の基準データDB136bが設けられている。なお、「DB」は「database」の略である。時系列データDB134には、模式的には図5に示すように、所定期間分の単位処理データが格納されている。第1の基準データDB136aには、模式的には図6に示すように、処理ユニット22毎かつレシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている(「レシピA」,「レシピB」,および「レシピC」は、互いに異なるレシピを表している)。第2の基準データDB136bには、模式的には図7に示すように、レシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている。なお、第1の基準データDB136aは、各処理ユニット22で行われた処理の異常等を検出する際に検査対象の単位処理データとの比較対象とすべき基準データを保持するために設けられているのに対し、第2の基準データDB136bは、後述する基準データ展開処理の際に送受信される基準データを保持するために設けられている。表示部140は、例えば、オペレータが作業を行うための各種画面を表示する。入力部150は、例えばマウスキーボードなどであって、オペレータによる外部からの入力を受け付ける。通信制御部160は、データ送受信の制御を行う。

0046

なお、DBの構成については、上述した構成には限定されない。例えば、時系列データDB134,第1の基準データDB136a,および第2の基準データDB136bに代えて1つのDBを設けてテーブルで区別するようにしても良い。また、例えば、第1の基準データDB136aを処理ユニット22毎に設けるようにしても良い。

0047

この基板処理装置1が起動すると、データ処理プログラム132が主メモリ120に読み込まれ、その主メモリ120に読み込まれたデータ処理プログラム132をCPU110が実行する。これにより、基板処理装置1は、データ処理装置として機能する。なお、データ処理プログラム132は、例えば、CD−ROM,DVD−ROM,フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。

0048

<1.4 基準データ展開処理(基準データの展開に関するデータ処理)の概要
本実施形態においては、或る処理ユニット22についての基準データをそれ以外の処理ユニット22に展開する基準データ展開処理が行われる。なお、本明細書における「基準データの展開」とは、該当の基準データの利用範囲利用対象)を拡大することを意味する。図8は、基準データ展開処理に関わる機能構成を示す機能ブロック図である。図8に示すように、基板処理装置1には、基準データ展開処理に関わる機能的な構成要素として、全体管理部170および12個の処理ユニット管理部180(1)〜180(12)が設けられている。処理ユニット管理部180(1)〜180(12)は、それぞれ、上述した12個の処理ユニット22であるChamber1〜Chamber12に対応している。全体管理部170には、基準データグローバル管理部171および基準データグローバル格納部172が含まれている。各処理ユニット管理部180(1)〜180(12)には、基準データローカル管理部181および基準データローカル格納部182が含まれている。なお、本実施形態においては、全体管理部170によって展開管理部が実現され、基準データローカル管理部181と基準データグローバル管理部171とによって基準データ展開部が実現されている。

0049

基準データローカル格納部182には、対応する処理ユニット22についての基準データが格納される。基準データローカル管理部181は、基準データローカル格納部182を用いて、対応する処理ユニット22についての基準データの管理を行う。なお、図8では処理ユニット管理部180毎に基準データローカル格納部182を図示しているが、本実施形態においては、全ての基準データローカル格納部182はDB(データベース)としては上述した1つの第1の基準データDB136a(図4参照)によって実現される。

0050

基準データグローバル格納部172には、基準データ展開処理に用いる基準データが格納される。基準データグローバル管理部171は、基準データグローバル格納部172を用いて、基準データ展開処理に用いる基準データの管理を行う。なお、基準データグローバル格納部172は上述した第2の基準データDB136b(図4参照)によって実現される。

0051

本実施形態においては、1つの処理ユニット22およびそれに対応する1つの処理ユニット管理部180によって、単位要素としての1つの構成体が実現される。そして、レシピ毎に、1つの構成体が「主」に定められ、それ以外の構成体(11個の構成体)が「従」に定められる。なお、以下、「主」に定められた構成体のことを「主ユニット」といい、「従」に定められた構成体のことを「従ユニット」という。主ユニットが主単位要素に相当し、従ユニットが従単位要素に相当する。また、便宜上、「主」に定められた構成体に含まれる処理ユニット22や処理ユニット管理部180のことを「主ユニット」という場合もあり、「従」に定められた構成体に含まれる処理ユニット22や処理ユニット管理部180のことを「従ユニット」という場合もある。基準データグローバル格納部172には、基準データに加えて、各レシピについて主ユニットおよび従ユニットを特定するための情報も格納されている。

0052

なお、主ユニットの選択(指定)については、主ユニット選択用の画面を表示部140に表示して作業者が選択できるようにしても良いし、自己測定装置を用いて得られた結果に基づいて自動的に主ユニットが選択されるようにしても良い。自己測定装置を用いる例としては、各処理ユニット22で処理された基板のエッチング量(処理前の膜厚と処理後の膜厚との差)を膜圧計で測定して測定結果に基づいて主ユニットを自動的に選択するという手法が挙げられる。

0053

基準データ展開処理では、主ユニットから従ユニットへの基準データの展開は行われるが、従ユニットから主ユニットへの基準データの展開は行われない。例えば、或るレシピについての主ユニットが処理ユニット管理部180(1)である場合、当該レシピについての基準データの展開は処理ユニット管理部180(1)から処理ユニット管理部180(2)〜180(12)へと行われる。

0054

基準データ展開処理は、主ユニットにおいて基準データの変更があったときに行われる。換言すれば、主ユニットにおける基準データの変更をトリガとして基準データ展開処理が行われる。そこで、基準データ展開処理の詳細な手順を説明する前に主ユニットにおける基準データの変更手順について説明する。

0055

<1.5主ユニットにおける基準データの変更手順>
本実施形態に係る基板処理装置1では、各レシピについての基準データを必要に応じて変更することが可能となっている。そこで、以下、1つのレシピに着目して、当該レシピについての主ユニットにおける基準データを変更する手順について説明する。図9は、主ユニットにおける基準データを変更する手順を示すフローチャートである。なお、以下においては、評価対象の単位処理データのことを「評価対象データ」という。

0056

まず、基板処理装置1で該当のレシピ(以下、「着目レシピ」という。)が実行されることにより主ユニットから得られた評価対象データに基づくスコアリングが行われる(ステップS10)。なお、スコアリングとは、評価対象データと基準データとの間で各パラメータの時系列データを比較してそれによって得られる結果を数値化する処理である。仮に着目レシピが主ユニットを含む8個の処理ユニット22で実行された場合、当該8個の処理ユニット22から得られる8個の評価対象データのそれぞれに基づいてスコアリングが行われる(すなわち、単位処理毎にスコアリングが行われる)ことにより、8個のスコアリング結果が得られる。スコアリングでは、複数の評価項目について「良」または「不良」の判断が行われる。その判断は、各パラメータについて、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとに基づいて得られる検査値を当該検査値に対応する閾値と比較することによって行われる(実質的には、評価対象データに含まれる時系列データと基準データに含まれる時系列データとを比較することによって行われる)。これに関し、検査値が閾値を超えた場合に、該当の評価項目が「不良」と判断される。なお、1つのパラメータに対して複数の評価項目が設けられていても良い。本実施形態においては、各評価対象データのスコアリング結果は、評価項目の総数分母とし不良と判断された評価項目の数を分子とする態様で表される。

0057

以下に評価項目の例を挙げる。
例1:或るパラメータに関する安定期間(図2参照)における時系列データの平均値
例2:或るパラメータに関する安定期間(図2参照)における時系列データの最大値
例3:或るパラメータに関する立ち上がり期間図2参照)の長さ
例1の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの平均値と基準データに含まれる時系列データの平均値との差”が上記検査値となる。例2の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの最大値と基準データに含まれる時系列データの最大値との差”が上記検査値となる。例3の評価項目については、該当のパラメータに関する“評価対象データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さと基準データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さとの差”が上記検査値となる。

0058

ところで、スコアリングの際に、各時系列データの正規化が行われるようにしても良い。例えば、各パラメータについて、基準データに含まれる時系列データの最大値が1、最小値が0に変換されるように、評価対象データに含まれる時系列データに線形変換が施されるようにしても良い。また、評価対象データには一般に複数のパラメータの時系列データが含まれているが、一部のパラメータの時系列データについてのみ正規化が行われるようにしても良い。なお、必要に応じて時系列データの正規化を行うことにより、後述する評価値をより好適に算出することが可能となる。

0059

スコアリングの終了後、スコアリングの結果の表示が行われる(ステップS20)。これについては、まず、スコアリングの結果の概略を示した例えば図10に示すようなスコアリング画面30が表示部140に表示される。スコアリング画面30には、処理ユニット22の数に等しい数のボタン32が設けられている。ボタン32内には、処理ユニット名表示領域321と処理枚数表示領域322とエラー数表示領域323とが設けられている。処理ユニット名表示領域321には、該当の処理ユニット22の名称が表示される。処理枚数表示領域322には、該当の処理ユニット22内のチャンバで所定期間内に処理された基板の総数が表示される。エラー数表示領域323には、発生したエラー件数が表示される。なお、エラーが発生している処理ユニット22については、符号34で示すように、エラー件数に応じた大きさの円がエラー数表示領域323に表示される。

0060

以上のようなスコアリング画面30のいずれかのボタン32が押下されると、該当の処理ユニット22で実行された単位処理のスコアリング結果を示す画面が表示される。なお、主ユニットにおける基準データの変更が行われる際には、スコアリング画面30において主ユニットに対応するボタン32が押下される。そして、ボタン32の押下後に表示された画面上で1つの単位処理が選択されると、その選択された単位処理に対応するレシピについてのスコアリング結果を一覧表示した例えば図11に示すようなスコアリング結果一覧画面40が表示部140に表示される。

0061

図11に示すように、スコアリング結果一覧画面40には、ボタン表示領域41と検索対象表示領域42と項目名表示領域43と結果表示領域44と期間表示領域45とが含まれている。ボタン表示領域41には、Goodボタン411とBadボタン412とRankingボタン413とSwapボタン414とが設けられている。

0062

検索対象表示領域42には、検索対象の処理ユニット22(ここでは、主ユニット)の名称および検索対象のレシピ(ここでは、着目レシピ)の名称が表示される。図11に示す例では、検索対象の処理ユニット22の名称が「Chamber3」であって検索対象のレシピの名称が「Flushing test2」であることが把握される。

0063

項目名表示領域43には、結果表示領域44に表示する内容(属性データ)の項目名が表示される。「Failed/Total」は、スコアリング結果を表す項目名である。なお、「Failed」は不良と判断された評価項目の数に相当し、「Total」は評価項目の総数に相当する。「Start time」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「End time」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Process time」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。「Alarm」は、着目レシピの実行の際に発生したアラーム数を表す項目名である。「Substrate ID」は、着目レシピによる処理を行った基板(ウエハ)を一意識別するための番号を表す項目名である。「Recommend(Good/Bad)」は、後述する推奨度を表す項目名である。なお、「Good」は高評価の度合を表す値(以下、「Good値」という。)に相当し、「Bad」は低評価の度合を表す値(以下、「Bad値」という。)に相当する。推奨度は、これらGood値とBad値とからなる。

0064

結果表示領域44には、検索条件合致した単位処理データの属性データ(各種情報やスコアリング結果など)が表示される。図11に示す例では、8個の単位処理データの属性データが結果表示領域44に表示されている。作業者は、結果表示領域44に表示されている属性データの中から1つの属性データ(1つの行)を選択することができる。

0065

期間表示領域45には、予め設定された検索対象期間が表示される。この検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって得られた単位処理データの属性データが、結果表示領域44に表示されている。図11に示す例では、検索対象期間が2017年7月19日の午後7時39分34秒から2017年8月19日の午後7時39分34秒までの1ヶ月間であることが把握される。

0066

ここで、ボタン表示領域41に設けられている各ボタンの機能を説明する。Goodボタン411は、結果表示領域44内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を高くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。Badボタン412は、結果表示領域44内で選択されている属性データに対応する単位処理データの評価値を低くすることが望まれるときに作業者が押下するためのボタンである。Rankingボタン413は、ランキング処理の実行を指示するためのボタンである。Swapボタン414は、結果表示領域44内で選択されている属性データに対応する単位処理データを新たな基準データに定めるためのボタンである。なお、評価値やランキング処理についての説明は後述する。

0067

スコアリング結果一覧画面40の表示後、必要に応じて、各単位処理データを基準データとして推奨する度合を表す推奨度の設定(推奨設定)が行われる(ステップS30)。推奨設定は、結果表示領域44に表示されている属性データのうち設定対象の単位処理データに対応する属性データが選択されている状態でGoodボタン411あるいはBadボタン412を押下することによって行われる。その際、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましい場合には作業者はGoodボタン411を押下し、設定対象の単位処理データが基準データとして好ましくない場合には作業者はBadボタン412を押下する。これに関し、スコアリング結果一覧画面40が表示された直後には、Goodボタン411およびBadボタン412は選択不可能な状態になっている。この状態で作業者が結果表示領域44に表示されているいずれかの属性データを選択すると、図12に示すように、該当の属性データが選択状態になるとともにGoodボタン411およびBadボタン412が選択可能な状態となる。この状態において作業者がGoodボタン411あるいはBadボタン412を押下することによって、Good値・Bad値の加算が行われる。例えば、図12に示す状態からBadボタン412が3回押下されると、図13に示すように、選択されている属性データのうちのBad値が「3」となる。以上のように、スコアリング結果一覧画面40は、推奨度を外部から変更することができるように構成されている。なお、Good値やBad値を具体的にどのような値にするかについては、例えば、スコアリング結果、アラーム数、該当の単位処理で得られた結果物(基板)の状態(例えば、パーティクル数欠陥数倒壊率)などを考慮して決定される。また、Goodボタン411およびBadボタン412の他に、Good値を小さくするためのボタンおよびBad値を小さくするためのボタンを設けるようにしても良い。

0068

ところで、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでには、通常、各レシピは複数回実行される。すなわち、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでには、通常、スコアリングは複数回実行される。従って、基準データを1回変更するための一連の処理(図9に示す一連の処理)に関し、通常、ステップS10〜ステップS30の処理は複数回繰り返される。そして、基準データの変更が望まれる時に、作業者によってスコアリング結果一覧画面40内のRankingボタン413が押下される(ステップS40)。これにより、例えば図14に示すようなランキング設定画面50が表示部140に表示される。ランキング設定画面50は、後述するランキング処理の設定を行うための画面である。

0069

ここで、ランキング処理について説明する。本実施形態におけるランキング処理は、指定されたレシピの実行によって得られた複数の単位処理データ(検索対象期間内の単位処理データ)に対して3つの指標に基づき順位付けを行って当該順位付けの結果をランキング形式で表示する一連の処理である。なお、ランキング形式とは、順位の高いデータから順位の低いデータへと順に並べた形式のことをいう。各単位処理データの順位は、3つの指標に基づいて算出される評価値(総得点)によって決定付けられる。本実施形態においては、評価値を算出するための3つの指標値として、上述した推奨度に基づく値(以下、「推奨値」という。)と、スコアリング結果に基づく値(以下、「スコアリング結果値」という。)と、アラーム発生回数(あるいは、アラームの有無)に基づく値(以下、「アラーム値」という。)とが用いられる。評価値の具体的な求め方については後述する。ランキング処理では、評価値に基づいて検索対象期間内の複数の単位処理データの順位付けが行われて、ランキング形式で各単位処理データに対応する属性データが表示される。

0070

ステップS50では、以上のようなランキング処理の実行に必要な設定がランキング設定画面50を用いて作業者の操作によって行われる。図14は、ランキング設定画面50の一例を示す図である。図14に示すように、このランキング設定画面50には、各単位処理データの順位を決定付ける評価値を算出する際の上記3つの指標値のそれぞれの影響度寄与度)を設定するための3つのドロップダウンリスト51〜53と、OKボタン58と、Cancelボタン59とが含まれている。ドロップダウンリスト51は、推奨値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト52は、スコアリング結果値の影響度を設定するためのインタフェースである。ドロップダウンリスト53は、アラーム値の影響度を設定するためのインタフェースである。OKボタン58は、設定内容に基づいてランキング処理(ステップS60〜ステップS110の処理)を実行するためのボタンである。Cancelボタン59は、設定内容(ドロップダウンリスト51〜53を用いて設定された内容)を取り消してスコアリング結果一覧画面40に戻るためのボタンである。

0071

ドロップダウンリスト51〜53については、例えば1%刻みで影響度を設定することが可能となっている。但し、5%刻みや10%刻みで影響度を設定することが可能となっていても良い。なお、評価値を算出する際の指標値として使用したくないものについては影響度を0%に設定することが可能となっている。

0072

ところで、ドロップダウンリスト51での設定値を「第1設定値」と定義し、ドロップダウンリスト52での設定値を「第2設定値」と定義し、ドロップダウンリスト53での設定値を「第3設定値」と定義すると、第1設定値と第2設定値と第3設定値との和が100%となるように自動的に値の調整が行われることが好ましい。これに関し、ランキング設定画面50の表示後に2つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われたときに残りのドロップダウンリストの値が自動的に設定されるようにすることができる。この場合、例えば、「第1設定値=50、第2設定値=30」という設定が行われたときに第3設定値が自動的に「20」に設定される。また、既に3つのドロップダウンリストに対して値の設定が行われている状態でいずれか1つのドロップダウンリストの値が変更されたときに残りの2つのドロップダウンリストの値がその割合を維持したまま自動的に変更されるようにしても良い。この場合、例えば、「第1設定値=70、第2設定値=20、第3設定値=10」という設定が行われている状態で第1設定値が「55」に変更されると、自動的に、第2設定値が「30」に変更されるとともに第3設定値が「15」に変更される。

0073

なお、第1設定値と第2設定値と第3設定値との和が100%を超えるような設定を受け付けて、それらの割合を維持しつつ和が100%となるように内部的に処理するようにしても良い。また、第1設定値と第2設定値と第3設定値との和が100%を超えるような設定が行われたときに「和が100%を超えている」旨のメッセージを表示して再設定を促すようにしても良い。

0074

3つの指標値の影響度の設定が行われた後、ランキング設定画面50のOKボタン58が押下されると、ランキング処理(ステップS60〜ステップS110の処理)が開始される。ランキング処理では、検索対象期間に着目レシピが実行されたことによって各処理ユニット22から得られた全ての単位処理データが評価対象データとなる。

0075

まず、基準データの候補となり得るデータである各評価対象データについて、上記推奨値が求められる(ステップS60)。Good値をCntGと表し、Bad値をCntBと表すと、推奨値V(R)は例えば次式(1)によって算出される。
V(R)=(CntG−CntB)×100/(CntG+CntB) ・・・(1)
但し、“CntG=0”かつ“CntB=0”のときには“V(R)=0”とする。

0076

次に、各評価対象データについて、上記アラーム値が求められる(ステップS70)。アラーム値V(A)については、例えば、アラーム数が0(スコアリング結果一覧画面40では“None”と表記)であれば“V(A)=100”とされ、アラーム数が1以上であれば“V(A)=−100”とされる。

0077

次に、各評価対象データについて、上記スコアリング結果値V(S)が求められる(ステップS80)。評価項目の総数をNtと表し、不良と判断された評価項目の数をNfと表すと、スコアリング結果値V(S)は例えば次式(2)によって算出される。
V(S)=(Nt−2×Nf)×100/Nt ・・・(2)

0078

以上のようにして推奨値V(R),アラーム値V(A),およびスコアリング結果値V(S)が求められた後、各評価対象データについて、上記評価値(総得点)の算出が行われる(ステップS90)。ステップS50で設定されたドロップダウンリスト51〜53の値(割合)をそれぞれP1〜P3と表すと、評価値(総得点)Vtotalは次式(3)によって算出される。
Vtotal=V(R)×P1+V(S)×P2+V(A)×P3 ・・・(3)

0079

基準データの候補となり得る全ての単位処理データ(評価対象データ)についての評価値が算出された後、その算出された評価値に基づいて単位処理データの順位付けが行われる(ステップS100)。その際、評価値の大きい単位処理データほど、順位は高くなる(順位を表す数値は小さくなる)。従って、順位が1位となる単位処理データは、評価値の最も大きな単位処理データである。

0080

順位付けの終了後、当該順位付けの結果を表す例えば図15に示すようなランキング画面60が表示部140に表示される(ステップS110)。図15に示すように、複数の単位処理データのそれぞれについての属性データが、順位付けの結果に従って、ランキング形式でランキング画面60に表示されている。

0081

ランキング画面60には、ボタン表示領域61と検索対象表示領域62と項目名表示領域63と結果表示領域64と期間表示領域65とが含まれている。ボタン表示領域61には、スコアリング結果一覧画面40と同様、Goodボタン411とBadボタン412とRankingボタン413とSwapボタン414とが設けられている。

0082

検索対象表示領域62には、検索対象の処理ユニット22の名称および検索対象のレシピ(ここでは、着目レシピ)の名称が表示される。図15に示す例では、検索対象の処理ユニット22の名称が「Chamber3」,「Chamber4」,および「Chamber5」であって検索対象のレシピの名称が「Flushing test2」であることが把握される。スコアリング結果一覧画面40(図11参照)ではスコアリング画面30(図10参照)で選択された処理ユニット22のみが検索対象となっていたが、ランキング画面60では検索対象期間に着目レシピが実行された全ての処理ユニット22が検索対象となる。但し、ランキング画面60についてもスコアリング画面30で選択された処理ユニット22(ここでは、主ユニット)のみを検索対象とするようにしても良い。

0083

項目名表示領域63には、結果表示領域64に表示する内容(属性データ)の項目名が表示される。「Ranking」は、順位付けによる順位を表す項目名である。「Total Score」は、上記評価値(総得点)を表す項目名である。「Recommend Score」は、上記推奨値にランキング設定画面50のドロップダウンリスト51で設定された割合を乗ずることによって得られる値(V(R)×P1)を表す項目名である。「Scoring Result Score」は、上記スコアリング結果値にランキング設定画面50のドロップダウンリスト52で設定された割合を乗ずることによって得られる値(V(S)×P2)を表す項目名である。「Alarm Number Score」は、上記アラーム値にランキング設定画面50のドロップダウンリスト53で設定された割合を乗ずることによって得られる値(V(A)×P3)を表す項目名である。「Unit」は、処理ユニットを表す項目名である。「Start time」は、着目レシピの開始時刻を表す項目名である。「End time」は、着目レシピの終了時刻を表す項目名である。「Process time」は、着目レシピの処理時間を表す項目名である。

0084

結果表示領域64には、検索条件に合致した単位処理データの属性データ(各種情報や順位付けによる順位など)が表示される。図15から把握されるように、結果表示領域64内では、単位処理データの属性データが、評価値の高いものから低いものへとソートされた状態で表示されている。従って、結果表示領域64の1行目に表示されている属性データに対応する単位処理データが、検索条件に合致した単位処理データの中で評価値の最も大きな単位処理データである。作業者は、結果表示領域64に表示されている属性データの中から1つの属性データ(1つの行)を選択することができる。

0085

期間表示領域65には、スコアリング結果一覧画面40の期間表示領域45と同様、検索対象期間が表示される。図15に示す例では、検索対象期間が2017年7月19日の午後7時39分34秒から2017年8月19日の午後7時39分34秒までの1ヶ月間であることが把握される。

0086

ランキング画面60の表示後、変更後の基準データの選択が作業者によって行われる(ステップS120)。具体的には、作業者が、ランキング画面60の結果表示領域64に表示されている属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データに対応する属性データを選択する。これにより、ランキング画面60では、選択された属性データが選択状態になる。この状態において、作業者が、ボタン表示領域61内のSwapボタン414を押下する。これにより、主ユニットに関する着目レシピについての基準データが変更される(ステップS130)。詳しくは、第1の基準データDB136a(図6参照)に保持されている主ユニットについての単位処理データのうち着目レシピに対応する単位処理データが、結果表示領域64内で選択状態となっている属性データに対応する単位処理データに書き換えられる。以上のように順位付けの結果に基づいて基準データを決定することができるので、理想的な時系列の値を持つ単位処理データを変更後の基準データに定めることができる。

0087

例えばランキング画面60が図15に示した状態になっているときに作業者が結果表示領域64内の1行目の属性データを選択すると、図16に示すように、1行目の属性データが選択状態になるとともにSwapボタン414が押下可能な状態となる。この状態において作業者がSwapボタン414を押下すると、着目レシピについての基準データが1行目の属性データに対応する単位処理データに変更される。

0088

なお、本実施形態によれば、順位付けによる順位が1位以外の単位処理データを基準データとして選択することもできる。このように、ユーザーニーズに合致した基準データの選択が可能である。

0089

上述のようにして基準データの変更が行われることにより、図9に示した一連の処理が終了する。本実施形態においては、上述のステップS10〜ステップS90によって単位処理データ評価ステップが実現されている。なお、主ユニットについての基準データの変更が行われるときにはランキング画面60の結果表示領域64に主ユニットについてのデータのみが表示されるようにしても良い。

0090

ところで、各レシピに関して、主ユニットについての基準データが予め指定されたタイミングで変更されるようにしても良い。この場合の主ユニットにおける基準データの変更手順を図17に示すフローチャートを参照しつつ説明する。なお、図17に示す一連の処理は、基板処理装置1の制御部100で行われる。

0091

まず、基準データの変更タイミングの設定が作業者の操作によって行われる(ステップS200)。その際、例えば図18に示すような変更タイミング設定画面70が表示部140に表示される。変更タイミング設定画面70には、設定用領域700とOKボタン78とCancelボタン79とが含まれている。OKボタン78は、設定内容を確定するためのボタンである。Cancelボタン79は、設定内容を取り消すためのボタンである。

0092

変更タイミング設定画面70の設定用領域700では、レシピ毎に主ユニットについての基準データの変更タイミングを設定することが可能となっている。変更タイミングの設定は、或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでの期間の長さである経過時間(すなわち、基準データを変更する時間間隔)をレシピ毎に指定することによって行われる。

0093

図18に示すように、設定用領域700には、レシピ毎にスピンコントロールボックス71とドロップダウンリスト72とが設けられている。スピンコントロールボックス71は、設定する期間の長さを指定するためのインタフェースである。このスピンコントロールボックス71は、期間の長さを表す数値を増減させることが可能なように構成されている。ドロップダウンリスト72は、設定する期間の単位を指定するためのインタフェースである。このドロップダウンリスト72で指定することのできる単位は、「年」,「月」,および「日」のいずれかである。作業者は、スピンコントロールボックス71とドロップダウンリスト72とを操作して、レシピ毎に基準データの変更タイミングを設定する。図18に示す例では、「レシピA」というレシピに関する主ユニットについての基準データは1年毎に変更され、「レシピB」というレシピに関する主ユニットについての基準データは3ヶ月毎に変更される。

0094

図17に示すフローに関し、上述のように変更タイミング設定画面70を用いて基準データの変更タイミングの設定が行われた後、制御部100では稼働期間カウントアップが行われる(ステップS210)。具体的には、データ処理プログラム132に稼働期間カウント用の変数(以下、「稼働期間変数」という。)CntDが用意されており、当該稼働期間変数CntDの値が1日経過する毎に「1」だけ加算される。

0095

稼働期間変数CntDの値に「1」が加算されると、各レシピについて、変更タイミング設定画面70での設定内容に基づき基準データの変更が行われるべき日(以下、便宜上「変更指定日」という。)に到達しているか否かの判定が行われる(ステップS220)。判定の結果、変更指定日に到達しているレシピが存在すれば、処理はステップS230に進む。一方、変更指定日に到達しているレシピが存在しなければ、処理はステップS210に戻る。

0096

ここで、図19を参照しつつ、変更指定日に到達しているか否かを判定する具体的な手法の一例を説明する。但し、本発明は、これに限定されない。なお、稼働期間変数CntDのカウントは変更タイミングの設定が最初に行われた日を基準日として行われるものと仮定する。また、変更タイミング設定画面70において或るレシピに関する経過時間が「2月」に設定されていると仮定する。このとき、例えば、基準日が或る年の5月3日であれば、図19に示すように、該当のレシピについての変更指定日は5月3日から2ヶ月毎の日(7月3日,9月3日,11月3日,...)となる。この変更指定日の情報と基準日の情報とから、各変更指定日について、基準日からの経過日数を求めることができる。例えば、基準日と同じ年の9月3日については、基準日からの経過日数は123日である。このようにして基準日から各変更指定日までの経過日数を求めることができるので、当該経過日数と稼働期間変数CntDの値とを比較することによって、変更指定日に到達しているか否かを判定することができる。例えば7月3日には稼働期間変数CntDの値が「61」となるので、該当の設定対象について変更指定日に到達した旨の判定を行うことができる。

0097

ところで、変更タイミングが最初に設定された後、各レシピについて変更タイミングの設定変更が行われることもある。このような場合に変更タイミングの設定変更に伴って変更指定日がどのように変化するのかについて、図20を参照しつつ説明する。ここでは、或るレシピについて、変更タイミング(経過時間)が「8日」から「6日」に変更されたものと仮定する。また、その設定変更は、基準日から12日経過後に行われたものと仮定する。この場合、変更タイミングの設定が最初に行われた時点には、該当のレシピについての変更指定日は基準日から8日毎の日(基準日からの経過日数が、8,16,24,...)となる。この状態において、上述したように、基準日から12日経過後に設定変更が行われる。このとき、直前に基準データの変更が行われたのは基準日から8日後であるので、例えば、図20で符号76で示すように基準日から8日後の日から6日毎の日(基準日からの経過日数が、14,20,26,...)を変更指定日に定めることができる。また、例えば、図20で符号77で示すように、設定変更が行われた日から6日毎の日(基準日からの経過日数が、18,24,30,...)を変更指定日に定めることもできる。このように、変更タイミングの設定変更が行われた場合の処理については、特に限定されず、適宜に定めたルールに従って変更指定日が変更されれば良い。

0098

図17に示すフローに関し、ステップS230では、変更後の基準データとする単位処理データを決定するために、上述したランキング処理が行われる(ステップS230)。その後、ランキング処理の結果に基づき、変更指定日に到達したレシピに関する主ユニットについての基準データが変更される(ステップS240)。詳しくは、第1の基準データDB136a(図6参照)に保持されている主ユニットについての単位処理データのうち該当のレシピに対応する単位処理データが、ステップS230でのランキング処理で順位が1位となった単位処理データに書き換えられる。

0099

以上のように、レシピ毎に主ユニットについての基準データの変更タイミングの設定を可能にして、変更タイミングに到達したレシピに関する主ユニットについての基準データをランキング処理で順位が1位となった単位処理データに自動的に書き換えるようにしても良い。

0100

<1.6 基準データ展開処理の手順>
次に、上述した内容を踏まえ、基準データ展開処理の手順について説明する。図21は、本実施形態における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。図21に示す一連の処理は、基板処理装置1において制御部100内のCPU110がデータ処理プログラム132を実行することによって実現される。

0101

まず、主ユニットにおいて、基準データの変更(基準データローカル格納部182に格納されている基準データの更新)が行われる(ステップS300)。そのステップS300での基準データの変更をトリガとして、主ユニットの基準データローカル管理部181は、基準データが変更された旨の変更通知を変更後の基準データ(以下、「新基準データ」という。)とともに全体管理部170内の基準データグローバル管理部171に送信する(ステップS310)。このように、ステップS310では、図22で符号91を付した矢印で示すように、主ユニットから全体管理部170へと、新基準データとともに変更通知が送信される。

0102

次に、全体管理部170内の基準データグローバル管理部171は、ステップS310で送られてきた変更通知および新基準データに基づいて、基準データの変更があった処理ユニット(すなわち主ユニット)22およびレシピを特定する(ステップS320)。そして、基準データグローバル管理部171は、基準データグローバル格納部172を参照して、新基準データの展開先の処理ユニット(すなわち従ユニット)22を特定する。また、基準データグローバル管理部171は、基準データグローバル格納部172に格納されている基準データのうち該当のレシピについての基準データを新基準データに変更(更新)する。

0103

次に、全体管理部170内の基準データグローバル管理部171は、ステップS320で特定された従ユニット(すなわち、新基準データの展開先の処理ユニット22)に新基準データとともに更新指示通知を送信する(ステップS330)。このように、ステップS330では、図23で符号92を付した矢印で示すように、全体管理部170から従ユニットへと、新基準データとともに更新指示通知が送信される。

0104

その後、各従ユニットにおいて、基準データローカル管理部181は、更新指示通知に基づいて、基準データローカル格納部182に格納されている基準データのうち該当のレシピについての基準データを新基準データに変更(更新)する(ステップS340)。これにより、基準データ展開処理は終了する。

0105

なお、本実施形態においては、ステップS300によって基準データ変更ステップが実現され、ステップS310〜S340によって基準データ展開ステップが実現されている。また、ステップS310によって基準データアップロードステップが実現され、ステップS320によって展開先特定ステップが実現され、ステップS330によって基準データダウンロードステップが実現され、ステップS340によって基準データ更新ステップが実現されている。

0106

<1.7 効果>
本実施形態によれば、各レシピについて処理ユニット22毎に基準データ(それぞれが複数の時系列データを含む複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータ)が定められている基板処理装置1において、或るレシピに関して主ユニットに定められた処理ユニット22で当該レシピについての基準データが変更されると、変更後の基準データが当該レシピに関して従ユニットに定められた処理ユニット22に展開される。これにより、例えば或るレシピに関して良好な結果が得られていない処理ユニット22についても、当該レシピに関して良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。このように、各処理ユニット22での処理で得られた単位処理データを好適な基準データと比較することが可能となるので、基板処理装置1で実行された処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0107

<2.第2の実施形態>
第1の実施形態では、1つの基板処理装置1内で主ユニットから従ユニットへの基準データの展開が行われていた。これに対して、本実施形態では、複数の基板処理装置1間で基準データの展開が行われる。以下、主に第1の実施形態と異なる点について説明し、第1の実施形態と同様の点については適宜説明を省略する。

0108

<2.1 システムの概略構成>
図24は、本発明の第2の実施形態に係る基板処理システム(データ処理システム)の概略構成を示す図である。この基板処理システムは、複数(n台)の基板処理装置1(1)〜1(n)と、当該複数の基板処理装置1(1)〜1(n)を管理する管理サーバ2とによって構成されている。複数の基板処理装置1と管理サーバ2とはLANなどのネットワーク(通信回線)3を介して互いに接続されている。各基板処理装置1の概略構成については第1の実施形態と同様である(図1参照)。

0109

<2.2基板処理装置の制御部の構成>
次に、基板処理装置1の制御部100の構成について説明する。図25は、基板処理装置1の制御部100のハードウェア構成を示すブロック図である。第1の実施形態においては基準データを格納するためのDBとして第1の基準データDB136aおよび第2の基準データDB136bが設けられていたが、本実施形態においては第1の基準データDB136のみが設けられる。第1の基準データDB136には、模式的には図26に示すように、レシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている。このように、本実施形態では、各基板処理装置1において、処理ユニット22の数(チャンバの数)に関わらず、レシピ毎に基準データが定められる。

0110

この基板処理装置1が起動すると、データ処理プログラム132が主メモリ120に読み込まれ、その主メモリ120に読み込まれたデータ処理プログラム132をCPU110が実行する。なお、データ処理プログラム132は、例えば、CD−ROM,DVD−ROM,フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。

0111

<2.3管理サーバの構成>
次に、管理サーバ2の構成について説明する。図27は、管理サーバ2のハードウェア構成を示すブロック図である。管理サーバ2は、CPU210と主メモリ220と補助記憶装置230と表示部240と入力部250と通信制御部260とを備えている。CPU210,主メモリ220,補助記憶装置230,表示部240,入力部250,および通信制御部260は、それぞれ、基板処理装置1の制御部100内のCPU110,主メモリ120,補助記憶装置130,表示部140,入力部150,および通信制御部160と同じ機能を有する。但し、補助記憶装置230には、補助記憶装置130内に格納されているデータ処理プログラム132とは異なるデータ処理プログラム232が格納されている。また、補助記憶装置230には、第2の基準データDB234が設けられている。このように、管理サーバ2の補助記憶装置230には、時系列データDBは設けられず、基準データ展開処理に必要な基準データを保持するための第2の基準データDB234のみが設けられる。

0112

この管理サーバ2が起動すると、データ処理プログラム232が主メモリ220に読み込まれ、その主メモリ220に読み込まれたデータ処理プログラム232をCPU210が実行する。なお、データ処理プログラム232は、例えば、CD−ROM,DVD−ROM,フラッシュメモリ等の記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で提供される。基板処理装置1用のデータ処理プログラム132と管理サーバ2用のデータ処理プログラム232とを1つにまとめたプログラムが記録媒体に記録された形態やネットワークを介したダウンロードの形態で基板処理装置1および管理サーバ2に提供されても良い。

0113

<2.4 基準データ展開処理(基準データの展開に関するデータ処理)>
本実施形態における基準データ展開処理では、或る基板処理装置1についての基準データがそれ以外の基板処理装置1に展開される。図28は、その基準データ展開処理に関わる機能構成を示す機能ブロック図である。各基板処理装置1には、基準データ展開処理に関わる機能的な構成要素として、基準データローカル管理部191および基準データローカル格納部192が設けられている。また、管理サーバ2には、基準データ展開処理に関わる機能的な構成要素として、基準データグローバル管理部271および基準データグローバル格納部272が設けられている。なお、本実施形態においては、管理サーバ2によって展開管理部が実現され、基準データローカル管理部191と基準データグローバル管理部271とによって基準データ展開部が実現されている。

0114

基準データローカル格納部192には、対応する基板処理装置1についての基準データが格納されている。基準データローカル管理部191は、基準データローカル格納部192を用いて、対応する基板処理装置1についての基準データの管理を行う。基準データグローバル格納部272には、基準データ展開処理に用いる基準データが格納される。基準データグローバル管理部271は、基準データグローバル格納部272を用いて、基準データ展開処理に用いる基準データの管理を行う。なお、基準データローカル格納部192は第1の基準データDB136(図25参照)によって実現され、基準データグローバル格納部272は第2の基準データDB234(図27参照)によって実現される。

0115

本実施形態においては、レシピ毎に、1つの基板処理装置1が「主」に定められ、それ以外の基板処理装置1が「従」に定められる。すなわち、本実施形態においては、各基板処理装置1が単位要素に相当する。なお、以下、「主」に定められた基板処理装置1のことを「主装置」といい、「従」に定められた基板処理装置1のことを「従装置」という。主装置が主単位要素に相当し、従装置が従単位要素に相当する。基準データ展開処理では、主装置から従装置への基準データの展開は行われるが、従装置から主装置への基準データの展開は行われない。例えば、或るレシピについての主装置が基板処理装置1(1)である場合、当該レシピについての基準データの展開は基板処理装置1(1)から基板処理装置1(2)〜1(n)へと行われる。

0116

基準データ展開処理は、主装置において基準データの変更があったときに行われる。換言すれば、主装置における基準データの変更をトリガとして基準データ展開処理が行われる。なお、基準データがどのようにして変更されるのかについては、第1の実施形態と同様であるので、説明を省略する。

0117

次に、上述した内容を踏まえ、基準データ展開処理の手順について説明する。図29は、本実施形態における基準データ展開処理の手順を示すフローチャートである。図29に示す一連の処理は、基板処理装置1において制御部100内のCPU110がデータ処理プログラム132を実行し、かつ、管理サーバ2内のCPU210がデータ処理プログラム232を実行することによって実現される。

0118

まず、主装置において、基準データの変更(基準データローカル格納部192に格納されている基準データの更新)が行われる(ステップS400)。そのステップS400での基準データの変更をトリガとして、主装置の基準データローカル管理部191は、基準データが変更された旨の変更通知を変更後の基準データ(新基準データ)とともに管理サーバ2内の基準データグローバル管理部271に送信する(ステップS410)。このように、ステップS410では、図30で符号93を付した矢印で示すように、主装置から管理サーバ2へと、新基準データとともに変更通知が送信される。

0119

次に、管理サーバ2内の基準データグローバル管理部271は、ステップS410で送られてきた変更通知および新基準データに基づいて、基準データの変更があった基板処理装置(すなわち主装置)1およびレシピを特定する(ステップS420)。そして、基準データグローバル管理部271は、基準データグローバル格納部272を参照して、新基準データの展開先の基板処理装置(すなわち従装置)1を特定する。また、基準データグローバル管理部271は、基準データグローバル格納部272に格納されている基準データのうち該当のレシピについての基準データを新基準データに変更(更新)する。

0120

次に、管理サーバ2内の基準データグローバル管理部271は、ステップS420で特定された従装置(すなわち、新基準データの展開先の基板処理装置1)に新基準データとともに更新指示通知を送信する(ステップS430)。このように、ステップS430では、図31で符号94を付した矢印で示すように、管理サーバ2から従装置へと、新基準データとともに更新指示通知が送信される。

0121

その後、各従装置において、基準データローカル管理部191は、更新指示通知に基づいて、基準データローカル格納部192に格納されている基準データのうち該当のレシピについての基準データを新基準データに変更(更新)する(ステップS440)。これにより、基準データ展開処理は終了する。

0122

なお、本実施形態においては、ステップS400によって基準データ変更ステップが実現され、ステップS410〜S440によって基準データ展開ステップが実現されている。また、ステップS410によって基準データアップロードステップが実現され、ステップS420によって展開先特定ステップが実現され、ステップS430によって基準データダウンロードステップが実現され、ステップS440によって基準データ更新ステップが実現されている。

0123

ところで、本実施形態においては、基板処理システムに新規に基板処理装置1が追加されたときにも基準データ展開処理が行われる。その際、追加された基板処理装置1は全てのレシピに関して従装置に定められ、レシピ毎に、主に定められている基板処理装置1(主装置)から当該追加された基板処理装置1へと基準データが展開される。以下、図32に示すフローチャートを参照しつつ、基板処理装置1が追加された際の基準データ展開処理の手順について説明する。なお、この処理についても、基板処理装置1において制御部100内のCPU110がデータ処理プログラム132を実行し、かつ、管理サーバ2内のCPU210がデータ処理プログラム232を実行することによって実現される。

0124

まず、基板処理システムに基板処理装置1が追加される(ステップS500)。より詳しくは、基板処理システムを構成するネットワーク3に1台の基板処理装置(以下、「新規追加装置」という。)が追加で接続され、新規追加装置の電源がオンされる。新規追加装置は、装置の種類を特定するための装置構成情報(例えば、チャンバのタイプ、使用する薬液のタイプ、薬液を吐出するノズルのタイプなどの情報)を管理サーバ2内の基準データグローバル管理部271に送信する(ステップS510)。このように装置構成情報を基準データグローバル管理部271に送信することにより、基板処理システム内に複数種類の基板処理装置1が混在していても、新規追加装置の種類に応じた適切な基準データが当該新規追加装置に展開される。

0125

次に、基準データグローバル管理部271は、ステップS510で送信された装置構成情報に基づいて、各レシピについての最新の基準データを基準データグローバル格納部272から取得する(ステップS520)。そして、基準データグローバル管理部271は、ステップS520で取得した基準データを新規追加装置の基準データローカル管理部191に送信する(ステップS530)。

0126

その後、新規追加装置において、基準データローカル管理部191は、ステップS530で送信された各レシピについての基準データを基準データローカル格納部192に格納する(ステップS540)。これにより、基準データ展開処理は終了する。

0127

以上のようにして、この基板処理システムに基板処理装置1が追加されると、新規追加装置での今後の処理で得られる単位処理データと(処理の異常などを検出するために)比較するためのデータとして、この基板処理システムに既に保持されている基準データが、当該新規追加装置に展開される。

0128

なお、本実施形態においては、ステップS510によって構成情報送信ステップが実現され、ステップS520によって基準データ取得ステップが実現され、ステップS530によって基準データ送信ステップが実現され、ステップS540によって基準データ格納ステップが実現されている。また、基準データローカル格納部192によって第1の基準データ格納部が実現され、基準データグローバル格納部272によって第2の基準データ格納部が実現されている。

0129

<2.5 効果>
本実施形態によれば、各レシピについて基板処理装置1毎に基準データが定められている基板処理システムにおいて、或るレシピに関して主装置に定められた基板処理装置1で当該レシピについての基準データが変更されると、変更後の基準データが当該レシピに関して従装置に定められた基板処理装置1に展開される。これにより、例えば或るレシピに関して良好な結果が得られていない基板処理装置1についても、当該レシピに関して良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。このように、各基板処理装置1での処理で得られた単位処理データを好適な基準データと比較することが可能となるので、各基板処理装置1で実行された処理の異常を精度良く検出することが可能となる。また、基板処理システムに基板処理装置1が追加された際には、装置の種類を特定するための装置構成情報が新規追加装置から管理サーバ2に送信され、当該装置構成情報に基づく最新の基準データが管理サーバ2から新規追加装置へと展開される。このように、新規追加装置についても各レシピに関して良好な結果の単位処理データを基準データとして保持することが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。

0130

<3.変形例>
上記各実施形態においては、主ユニットもしくは主装置において基準データが変更されると、変更後の基準データである新基準データが従ユニットもしくは従装置に自動的に展開されていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、基準データの展開が作業者の操作によって(すなわち手動で)行われるようにしても良い。なお、上記各実施形態のように自動的に基準データの展開が行われる装置・システムに本変形例のような手動による基準データの展開を行う機能を追加的に設けるようにしても良い。

0131

以下、図33に示すフローチャートを参照しつつ、本変形例における基準データ展開処理の手順を説明する。なお、本変形例においては、第2の実施形態と同様、1台の管理サーバ2と複数の基板処理装置1とによって1つの基板処理システム(データ処理システム)が構成されているものと仮定する。但し、第2の実施形態とは異なり、各基板処理装置1において各レシピについての基準データは処理ユニット22毎に定められているものと仮定する。

0132

本変形例においては、まず、管理サーバ2での作業者の所定の操作に基づき、展開対象の基準データを選択するための例えば図34に示すような基準データ選択画面800が管理サーバ2の表示部240に表示される(ステップS600)。図34に示すように、基準データ選択画面800には、項目名表示領域801と基準データ一覧領域802とDownloadボタン803とが含まれている。

0133

項目名表示領域801には、基準データを特定するキーとなる項目であって基準データ一覧領域802に表示される項目の名称が表示される。「Serial Number」は、基板処理装置1を一意に特定するためのシリアル番号(製造番号)を表す項目名である。「Unit」は、処理ユニット22を表す項目名である。「Process Recipe」は、レシピの名称を表す項目名である。

0134

基準データ一覧領域802には、管理サーバ2の基準データグローバル格納部272(図28参照)に格納されている基準データの一覧(基準データを特定するキーとなる項目の一覧)が表示される。図34に示す例では、基準データ一覧領域802の1行目のデータは「Flushing test1」という名称のレシピについての基準データを表しており、当該基準データはシリアル番号を「A1230001」とする基板処理装置1の「Chamber1」という名称の処理ユニット22での処理によって得られた単位処理データであることが把握される。作業者は、基準データ一覧領域802に表示されている基準データの中から1つの基準データ(1つの行)を選択することができる。

0135

Downloadボタン803は、基準データ一覧領域802で選択されている基準データの展開を指示するためのボタンである。但し、このDownloadボタン803が押下されると、基準データの展開が実際に開始される前に後述する展開先選択画面810(図35参照)が表示される。

0136

基準データ選択画面800の表示後、作業者は、基準データ一覧領域802に表示されている基準データの中から展開対象の基準データを選択する(ステップS610)。その状態において、作業者は、Downloadボタン803を押下する。これにより、展開先を選択するための例えば図35に示すような展開先選択画面810が管理サーバ2の表示部240に表示される(ステップS620)。

0137

図35に示すように、展開先選択画面810には、2つのリストボックス811および812と、OKボタン818と、Cancelボタン819とが含まれている。リストボックス811は、展開先の基板処理装置1を選択するためのインタフェースである。リストボックス812は、展開先の処理ユニット22を選択するためのインタフェースである。なお、リストボックス812には、リストボックス811で選択された基板処理装置1に設けられている処理ユニット22の一覧が表示される。OKボタン818は、選択した展開先への基準データの展開の実行を指示するためのボタンである。Cancelボタン819は、基準データの展開を中止するためのボタンである。

0138

展開先選択画面810の表示後、作業者は、リストボックス811によって展開先の基板処理装置1を選択し、さらに、リストボックス812によって展開先の処理ユニット22を選択する(ステップS630)。その状態において、作業者は、OKボタン818を押下する。これにより、管理サーバ2の基準データグローバル管理部271は、ステップS610で選択された基準データを基準データグローバル格納部272から取得する(ステップS640)。そして、基準データグローバル管理部271は、ステップS640で取得した基準データとともに更新指示通知をステップS630で選択された展開先に送信する(ステップS650)。その後、展開先において、該当のレシピについての基準データの更新が行われる(ステップS660)。

0139

以上のように、基準データの展開が作業者の操作によって(すなわち手動で)行われるようにしても良い。なお、本変形例においては、基準データ選択画面800と展開先選択画面810とによって展開先指定部が実現されている。

0140

1,1(1)〜1(n)…基板処理装置
2…管理サーバ
22…処理ユニット
40…スコアリング結果一覧画面
50…ランキング設定画面
60…ランキング画面
100…制御部
132,232…データ処理プログラム
134…時系列データDB
136,136a…第1の基準データDB
136b,234…第2の基準データDB
171,271…基準データグローバル管理部
172,272…基準データグローバル格納部
180,180(1)〜180(12)…処理ユニット管理部
181,191…基準データローカル管理部
182,192…基準データローカル格納部
800…基準データ選択画面
810…展開先選択画面

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    【課題】研磨処理後にレーザマークを構成するドット周縁に隆起部のないシリコンウェーハを製造する。【解決手段】シリコンウェーハに複数のドットを有するレーザマークを印字するレーザマーク印字工程と、シリコンウ... 詳細

  • 株式会社ダイセルの「 半導体装置製造方法」が 公開されました。( 2020/04/30)

    【課題】接着剤層を介して接合されて多層化される半導体素子間において高い接合強度を実現するのに適した半導体装置製造方法を提供する。【解決手段】本発明の半導体装置製造方法は、複数の半導体素子を含む積層構造... 詳細

  • 株式会社ダイセルの「 半導体装置製造方法および半導体装置」が 公開されました。( 2020/04/30)

    【課題】半導体素子の多層化を図るのに適した半導体装置製造方法および半導体装置を提供する。【解決手段】本発明の半導体装置製造方法は、ウエハ11と、ウエハ12/仮接着剤層13/支持基板Sの積層構造を有する... 詳細

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