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技術 切削ブレードの装着機構

出願人 株式会社ディスコ
発明者 関家一馬
出願日 2017年9月21日 (2年2ヶ月経過) 出願番号 2017-181004
公開日 2019年4月11日 (7ヶ月経過) 公開番号 2019-055445
状態 未査定
技術分野 研削盤の構成部分、駆動、検出、制御 研磨体及び研磨工具 ダイシング
主要キーワード 整流プレート 支持面側 エアーシール 防滴カバー 裏側部分 カセット支持台 エアー供給路 エアー流路
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (9)

課題

負圧の発生源を別に用意する必要がない切削ブレード装着機構を提供する。

解決手段

スピンドルの先端部に切削ブレードを装着するための切削ブレードの装着機構であって、スピンドルの先端部に装着されるブレードマウントと、ブレードマウントにエアーを供給するエアー供給ユニットと、を備え、ブレードマウントは、切削ブレードの環状の基台に設けられた貫通孔挿通される柱状のボス部と、ボス部の基端側から径方向に突出し、切削ブレードを支持する支持面を有するフランジ部と、外部からエアーが供給される供給口とエアーを排出する排出口とを接続する第1エアー流路、及びフランジ部の支持面側に開口する吸引口と第1エアー流路とを接続する第2エアー流路を有し、吸引口から作用する負圧によって切削ブレードを吸引するエジェクタ式のブレード吸引部と、を含む。

概要

背景

半導体ウェーハパッケージ基板に代表される板状の被加工物を加工するために、回転軸であるスピンドルに環状の切削ブレードを装着した切削装置が用いられている(例えば、特許文献1参照)。切削ブレードは、その両側を挟み込むブレードマウント等の装着具を介してスピンドルの先端部に装着され、ある程度まで摩耗すると交換される。

切削ブレードの交換は、通常、オペレータ手作業で実施される。この作業には、切削装置内の各種機構や装着具、切削ブレード等を傷付けないように、様々な工具が用いられる。そのため、切削ブレードの交換には、熟練したオペレータに加えて、ある程度の作業時間が必要であった。

これに対して、近年では、スピンドルに固定された装着具から切削ブレードに負圧を作用させて、この負圧により切削ブレードを吸引、固定する装着機構が提案されている(例えば、特許文献2参照)。この装着機構を用いれば、切削ブレードの両側を挟み込む従来の装着具を用いる場合に比べて、短い時間で簡単に切削ブレードを交換できる。

概要

負圧の発生源を別に用意する必要がない切削ブレードの装着機構を提供する。スピンドルの先端部に切削ブレードを装着するための切削ブレードの装着機構であって、スピンドルの先端部に装着されるブレードマウントと、ブレードマウントにエアーを供給するエアー供給ユニットと、を備え、ブレードマウントは、切削ブレードの環状の基台に設けられた貫通孔挿通される柱状のボス部と、ボス部の基端側から径方向に突出し、切削ブレードを支持する支持面を有するフランジ部と、外部からエアーが供給される供給口とエアーを排出する排出口とを接続する第1エアー流路、及びフランジ部の支持面側に開口する吸引口と第1エアー流路とを接続する第2エアー流路を有し、吸引口から作用する負圧によって切削ブレードを吸引するエジェクタ式のブレード吸引部と、を含む。

目的

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とする

効果

実績

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請求項1

被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルハウジングに回転可能に支持されるスピンドルの先端部に装着され環状の基台の外周に切り刃を有する切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、を備える切削装置の該スピンドルの該先端部に該切削ブレードを装着するための切削ブレードの装着機構であって、該スピンドルの該先端部に装着されるブレードマウントと、該ブレードマウントにエアーを供給するエアー供給ユニットと、を備え、該ブレードマウントは、該切削ブレードの該環状の基台に設けられた貫通孔挿通される柱状のボス部と、該ボス部の基端側から径方向に突出し、該切削ブレードを支持する支持面を有するフランジ部と、外部からエアーが供給される供給口と該エアーを排出する排出口とを接続する第1エアー流路、及び該フランジ部の該支持面側に開口する吸引口と該第1エアー流路とを接続する第2エアー流路を有し、該吸引口から作用する負圧によって該切削ブレードを吸引するエジェクタ式のブレード吸引部と、を含むことを特徴とする切削ブレードの装着機構。

請求項2

該エアー供給ユニットは、該スピンドルハウジングに固定され、該スピンドルとともに回転する該ブレードマウントにエアーを供給するロータリージョイントであることを特徴とする請求項1に記載の切削ブレードの装着機構。

請求項3

該スピンドルハウジングの内部には、供給されるエアーによってスピンドルを回転可能に支持し、該スピンドルハウジングと該スピンドルとの隙間から該スピンドルの該先端部側に向けて該エアーを排出するエアーベアリング部が設けられており、該ブレードマウントの該供給口には、該隙間から排出されるエアーが供給されることを特徴とする請求項1に記載の切削ブレードの装着機構。

技術分野

0001

本発明は、スピンドル切削ブレードを装着するための切削ブレードの装着機構に関する。

背景技術

0002

半導体ウェーハパッケージ基板に代表される板状の被加工物を加工するために、回転軸であるスピンドルに環状の切削ブレードを装着した切削装置が用いられている(例えば、特許文献1参照)。切削ブレードは、その両側を挟み込むブレードマウント等の装着具を介してスピンドルの先端部に装着され、ある程度まで摩耗すると交換される。

0003

切削ブレードの交換は、通常、オペレータ手作業で実施される。この作業には、切削装置内の各種機構や装着具、切削ブレード等を傷付けないように、様々な工具が用いられる。そのため、切削ブレードの交換には、熟練したオペレータに加えて、ある程度の作業時間が必要であった。

0004

これに対して、近年では、スピンドルに固定された装着具から切削ブレードに負圧を作用させて、この負圧により切削ブレードを吸引、固定する装着機構が提案されている(例えば、特許文献2参照)。この装着機構を用いれば、切削ブレードの両側を挟み込む従来の装着具を用いる場合に比べて、短い時間で簡単に切削ブレードを交換できる。

先行技術

0005

実開平5−54821号公報
特開2002−154054号公報

発明が解決しようとする課題

0006

ところで、これまでの切削装置では、例えば、スピンドル等にエアーを供給するためのエアー供給源は使用されているものの、真空ポンプのような負圧の発生源吸引源)は使用されていない。そのため、負圧によって切削ブレードを吸引、固定する上述のような装着機構を採用する場合には、新たに負圧の発生源を用意する必要があった。

0007

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、負圧の発生源を別に用意する必要がない切削ブレードの装着機構を提供することである。

課題を解決するための手段

0008

本発明の一態様によれば、被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルハウジングに回転可能に支持されるスピンドルの先端部に装着され環状の基台の外周に切り刃を有する切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、を備える切削装置の該スピンドルの該先端部に該切削ブレードを装着するための切削ブレードの装着機構であって、該スピンドルの該先端部に装着されるブレードマウントと、該ブレードマウントにエアーを供給するエアー供給ユニットと、を備え、該ブレードマウントは、該切削ブレードの該環状の基台に設けられた貫通孔挿通される柱状のボス部と、該ボス部の基端側から径方向に突出し、該切削ブレードを支持する支持面を有するフランジ部と、該エアー供給ユニットからエアーが供給される供給口と該エアーを排出する排出口とを接続する第1エアー流路、及び該フランジ部の該支持面側に開口する吸引口と該第1エアー流路とを接続する第2エアー流路を有し、該吸引口から作用する負圧によって該切削ブレードを吸引するエジェクタ式のブレード吸引部と、を含むことを特徴とする切削ブレードの装着機構が提供される。

0009

本発明の一態様において、該エアー供給ユニットは、該スピンドルハウジングに固定され、該スピンドルとともに回転する該ブレードマウントにエアーを供給するロータリージョイントでも良い。

0010

また、本発明の一態様において、該スピンドルハウジングの内部には、供給されるエアーによってスピンドルを回転可能に支持し、該スピンドルハウジングと該スピンドルとの隙間から該スピンドルの該先端部側に向けて該エアーを排出するエアーベアリング部が設けられており、該ブレードマウントの該供給口には、該隙間から排出されるエアーが供給されても良い。

発明の効果

0011

本発明の一態様に係る切削ブレードの装着機構は、エアーを供給するためのエアー供給ユニットと、エアー供給ユニットから供給されるエアーを利用して負圧を発生させるエジェクタ式のブレード吸引部を含むブレードマウントと、を備えている。よって、ブレード吸引部から発生する負圧で切削ブレードを吸引、固定できるので、負圧の発生源を別に用意する必要がない。

図面の簡単な説明

0012

切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。
切削ユニットの構成例を模式的に示す分解斜視図である。
切削ユニットに切削ブレードが装着される前の状態を模式的に示す断面図である。
切削ユニットに切削ブレードが装着された後の状態を模式的に示す断面図である。
切削ユニットが備えるスピンドル及びスピンドルハウジングの構成例を模式的に示す断面図である。
変形例に係る切削ユニットの構成例を模式的に示す分解斜視図である。
変形例に係る切削ユニットに切削ブレードが装着される前の状態を模式的に示す断面図である。
変形例に係る切削ユニットに切削ブレードが装着された後の状態を模式的に示す断面図である。

実施例

0013

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図1は、本実施形態に係る切削ブレードの装着機構(以下、装着機構)が組み込まれる切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。図1に示すように、切削装置2は、各構成要素を支持する基台4を備えている。

0014

基台4の前方の角部には、開口4aが形成されており、この開口4a内には、昇降機構(不図示)によって昇降するカセット支持台6が設けられている。カセット支持台6の上面には、複数の被加工物11を収容するためのカセット8が載せられる。なお、図1では、説明の便宜上、カセット8の輪郭のみを示している。

0015

被加工物11は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物11の表面側は、交差する複数の分割予定ラインストリート)によって複数の領域に区画されており、各領域には、IC(IntegratedCircuit)等のデバイス13が形成されている。

0016

被加工物11の裏面側には、被加工物11よりも径の大きい粘着テープダイシングテープ)15が貼付されている。粘着テープ15の外周部分は、環状のフレーム17に固定されている。被加工物11は、この粘着テープ15を介してフレーム17に支持された状態でカセット8に収容される。

0017

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料で構成される円盤状のウェーハを被加工物11としているが、被加工物11の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体セラミックス樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物として切削することもできる。また、デバイス13の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物には、デバイスが形成されていなくても良い。

0018

図1に示すように、カセット支持台6の側方には、X軸方向(前後方向、加工送り方向)に長い開口4bが形成されている。開口4b内には、ボールねじ式のX軸移動機構10と、X軸移動機構10の上部を覆う防塵防滴カバー12とが配置されている。X軸移動機構10は、X軸移動テーブル10aを備えており、このX軸移動テーブル10aをX軸方向に移動させる。

0019

X軸移動テーブル10aの上方には、被加工物11を吸引、保持するためのチャックテーブル14が配置されている。このチャックテーブル14は、モーター等の回転駆動源(不図示)に連結されており、Z軸方向(鉛直方向)に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル14は、上述したX軸移動機構10によってX軸方向に移動する(加工送り)。

0020

チャックテーブル14の上面は、被加工物11を吸引、保持するための保持面14aになっている。保持面14aは、X軸方向及びY軸方向(左右方向、割り出し送り方向)に対して概ね平行に形成され、チャックテーブル14の内部に設けられた吸引路(不図示)等を介してエジェクタ(不図示)に接続されている。また、チャックテーブル14の周囲には、被加工物11を支持する環状のフレーム17を四方から固定するための4個のクランプ16が設けられている。

0021

開口4bに隣接する領域には、上述した被加工物11をチャックテーブル14等へと搬送するための搬送ユニット(不図示)が配置されている。搬送ユニットで搬送された被加工物11は、例えば、表面側が上方に露出するようにチャックテーブル14の保持面14aに載せられる。

0022

基台4の上面には、2組の切削ユニット22を支持するための門型支持構造24が、開口4bを跨ぐように配置されている。支持構造24の前面上部には、各切削ユニット22をY軸方向及びZ軸方向に移動させる2組の切削ユニット移動機構26が設けられている。

0023

各切削ユニット移動機構26は、支持構造24の前面に配置されY軸方向に平行な一対のY軸ガイドレール28を共通に備えている。Y軸ガイドレール28には、各切削ユニット移動機構26を構成するY軸移動プレート30がスライド可能に取り付けられている。

0024

各Y軸移動プレート30の裏面側(後面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Y軸ガイドレール28に平行なY軸ボールネジ32がそれぞれ螺合されている。各Y軸ボールネジ32の一端部には、Y軸パルスモータ34が連結されている。Y軸パルスモータ34でY軸ボールネジ32を回転させれば、Y軸移動プレート30は、Y軸ガイドレール28に沿ってY軸方向に移動する。

0025

各Y軸移動プレート30の表面(前面)には、Z軸方向に平行な一対のZ軸ガイドレール36が設けられている。Z軸ガイドレール36には、Z軸移動プレート38がスライド可能に取り付けられている。

0026

各Z軸移動プレート38の裏面側(後面側)には、ナット部(不図示)が設けられており、このナット部には、Z軸ガイドレール36に平行なZ軸ボールネジ40がそれぞれ螺合されている。各Z軸ボールネジ40の一端部には、Z軸パルスモータ42が連結されている。Z軸パルスモータ42でZ軸ボールネジ40を回転させれば、Z軸移動プレート38は、Z軸ガイドレール36に沿ってZ軸方向に移動する。

0027

各Z軸移動プレート38の下部には、切削ユニット22が設けられている。この切削ユニット22は、Y軸方向に概ね平行な軸心を持つスピンドル44(図2等参照)を含んでいる。スピンドル44は、筒状に構成されたスピンドルハウジング46(図2等参照)の内側の空間に収容されている。スピンドル44の一端部(先端部)44b(図2等参照)は、スピンドルハウジング46の外部に露出しており、この一端部44bには、円環状の切削ブレード48が装着される。

0028

切削ユニット22には、エアーを供給するためのエアー供給源50と、水に代表される切削液を供給するための切削液供給源52とが接続されている。なお、このエアー供給源50は、チャックテーブル14に負圧を発生させるためのエジェクタ(不図示)にも接続される。切削ユニット22の詳細については後述する。

0029

各切削ユニット22に隣接する位置には、被加工物11等を撮像するための撮像ユニットカメラ)54が設けられている。各切削ユニット移動機構26でY軸移動プレート30をY軸方向に移動させれば、切削ユニット22及び撮像ユニット54は、Y軸方向に移動する(割り出し送り)。また、各切削ユニット移動機構26でZ軸移動プレート38をZ軸方向に移動させれば、切削ユニット22及び撮像ユニット54は、Z軸方向に移動する。

0030

支持構造24の後方には、切削ブレード48を自動で交換できるオートブレードチェンジャー56が配置されている。オートブレードチェンジャー56は、切削ユニット22に対して切削ブレード48を装着し、又は切削ユニット22から切削ブレード48を取り外すための第1ブレード着脱ユニット58、及び第2ブレード着脱ユニット60を備えている。

0031

また、オートブレードチェンジャー56は、オートブレードチェンジャー移動機構(不図示)に支持されており、後方の退避位置と前方の着脱位置との間を移動する。退避位置の近傍には、オートブレードチェンジャー56によって切削ユニット22に着脱される切削ブレード48を掛けブレードラック62が配置されている。

0032

開口4bに対して開口4aと反対側の位置には、開口4cが形成されている。開口4c内には、切削後の被加工物11等を洗浄するための洗浄ユニット64が配置されている。また、X軸移動機構10、チャックテーブル14、切削ユニット22、切削ユニット移動機構26、カメラ54、オートブレードチェンジャー56、オートブレードチェンジャー移動機構、洗浄ユニット64等の構成要素には、制御ユニット(不図示)が接続されている。各構成要素は、この制御ユニットによって制御される。

0033

図2は、切削ユニット22の構成例を模式的に示す分解斜視図である。図3は、切削ユニット22に切削ブレード48が装着される前の状態を模式的に示す断面図であり、図4は、切削ユニット22に切削ブレード48が装着された後の状態を模式的に示す断面図である。

0034

また、図5は、切削ユニット22が備えるスピンドル44及びスピンドルハウジング46の構成例を模式的に示す断面図である。図5に示すように、スピンドルハウジング46の内部(壁材の内部)には、スピンドル44の軸心に対して概ね平行なエアー供給路46aが形成されている。

0035

エアー供給路46aは、エアー供給口46bを介して外部のエアー供給源50に接続されている。また、エアー供給路46aは、第1供給路46cを介してラジアルエアーベアリング部(エアーベアリング部)66に接続されており、第2供給路46dを介してスラストエアーベアリング部(エアーベアリング部)68に接続されている。

0036

エアー供給源50からラジアルエアーベアリング部66及びスラストエアーベアリング部68に高圧のエアーを供給することで、スピンドル44は、スピンドルハウジング46の内側の空間内で浮揚した状態に保たれる。例えば、ラジアルエアーベアリング部66は、スピンドル44に対して、軸心に垂直な向きのエアーを吹き付けることで、スピンドル44の位置を軸心に垂直な方向で一定に保つ。

0037

一方で、スラストエアーベアリング部68は、スピンドル44に設けられた円盤状のスラストプレート44aに対して、スピンドル44の軸心に平行な向きのエアーを吹き付けることで、スピンドル44の位置を軸心に平行な方向で一定に保つ。ラジアルエアーベアリング部66及びスラストエアーベアリング部68によって、高速に回転するスピンドル44が安定に支持される。

0038

スピンドルハウジング46の一端(先端)側には、開口46eが設けられている。スピンドル44は、円錐台状に形成された一端部(先端部)44bがスピンドルハウジング46の外部で露出するように、開口46eに挿入されている。すなわち、スピンドル44の一端部44bは、スピンドルハウジング46の開口46eから外側に突出している。

0039

スピンドル44の他端側には、スピンドル44を回転させるための力を付与するモーター70が連結されている。モーター70は、スピンドルハウジング46の内側に固定されたステーター72と、スピンドル44と一体のローター74と、で構成されており、ステーター72とローター74との間に作用する磁力によってスピンドル44を回転させる。なお、本実施の形態では、スピンドル44とローター74とを一体に形成しているが、別々に形成されたスピンドルとローターとを連結して用いても良い。

0040

ラジアルエアーベアリング部66及びスラストエアーベアリング部68に供給されたエアーの一部は、スピンドル44の一端部44bとスピンドルハウジング46の開口46eとの隙間に相当するエアーシール部(エアーシール)76を通じて、スピンドルハウジング46の外部へと排出(噴出)される。

0041

このエアーの流れにより、スピンドル44の一端部44bとスピンドルハウジング46の開口46eとの隙間がシール(エアーシール)される。つまり、スピンドル44の一端部44bとスピンドルハウジング46の開口46eとの隙間から、スピンドル44の内側の空間に切削屑等の異物入り込んでしまうことはない。

0042

図2及び図3に示すように、スピンドルハウジング46の一端面(先端面)46fには、本実施形態に係る装着機構を構成するロータリージョイント(エアー供給ユニット)78が取り付けられている。このロータリージョイント78は、板状の基部80と、基部80の表面80a側(スピンドルハウジング46とは反対側)に突出する円筒状の収容部82と、を含む。

0043

基部80の中央部には、スピンドル44の一端部44bを通す貫通孔80bが設けられている。また、スピンドルハウジング46の一端面46fには、複数のネジ孔46gが設けられており、基部80には、このネジ孔46gに対応する複数の貫通孔80cが設けられている。そのため、貫通孔80cを通じてネジ孔46gにネジ(不図示)を締め込むことで、ロータリージョイント78をスピンドルハウジング46に固定できる。

0044

収容部82の外周側には、内側にエアー流路84aを有する管状の接続部84が配置されている。接続部84(エアー流路84a)の一端には、エアー供給源50が接続されている。また、接続部84(エアー流路84a)の他端側は、収容部82に設けられた貫通孔82aを介して、収容部82の内側の空間に接続されている。これにより、エアー供給源50のエアーを収容部82の内側の空間に供給できる。

0045

スピンドルハウジング46にロータリージョイント78が固定された状態で、スピンドル44の一端部44bには、本実施形態に係る装着機構を構成するブレードマウント86が装着される。ブレードマウント86は、円柱状のボス部88と、ボス部88の基端側から径方向外向きに突出する円盤状のフランジ部90とを含む。

0046

フランジ部90の裏面側(スピンドルハウジング46側)の中央部には、スピンドル44の一端部44bを挿入するための凹部90aが設けられている。また、ボス部88の中央部には、凹部90aに達する貫通孔88aが設けられている。更に、スピンドル44の一端部44bの端面(先端面)には、ネジ孔44cが形成されている。

0047

そのため、スピンドル44の一端部44bを凹部90aに挿入し、ブレードマウント86の貫通孔88aを通じてスピンドル44のネジ孔44cにネジ92を締め込むことで、ブレードマウント86をスピンドル44に固定できる。その結果、ブレードマウント86をスピンドル44とともに回転させることができるようになる。

0048

なお、収容部82の内側の空間の径は、フランジ部90の裏側部分90bの径よりも僅かに大きくなっており、ブレードマウント86がスピンドル44に固定されると、フランジ部90の裏側部分90bは、収容部82の内側の空間に収容される。フランジ部90の表面(スピンドルハウジング46とは反対側の面)の外周側は、切削ブレード48を支持する支持面90cになっている。この支持面90cは、スピンドル44の軸心方向から見て円環状に形成されている。

0049

切削ブレード48は、いわゆるハブブレードであり、円環状の基台94の外周部に、被加工物11を切削するための円環状の切り刃96が設けられている。切り刃96は、例えば、金属や樹脂等のボンド材結合材)に、ダイヤモンドやCBN(Cubic Boron Nitride)等の砥粒を分散させることで形成される。

0050

基台94の中央部には、ボス部88を挿入(挿通)するための貫通孔94aが形成されている。ブレードマウント86に切削ブレード48を装着する際には、図4に示すように、この貫通孔94aにボス部88を挿入するとともに、基台94の裏面側をフランジ部90の支持面90cに接触させる。

0051

図3及び図4に示すように、ブレードマウント86の内部(壁材の内部)には、エジェクタ式のブレード吸引部98が設けられている。ブレード吸引部98は、フランジ部90の裏側部分90bの外周面に開口する供給口100を含む。この供給口100は、裏側部分90bの外周面の周方向に沿う環状に形成されている。

0052

また、供給口100は、フランジ部90の裏側部分90bが収容部82の内側の空間に収容された状態で、収容部82に設けられた貫通孔82aに対応する位置に形成されている。そのため、エアー供給源50からのエアーは、貫通孔82aを通じて供給口100に供給される。なお、上述のように、供給口100は環状に形成されているので、スピンドル44とともにブレードマウント86が回転しても、供給口100へのエアーの供給が滞ることはない。

0053

供給口100は、ブレードマウント86の内部に形成される第1エアー流路102を介して、ボス部88の表面側に開口する排出口104に接続されている。ロータリージョイント78の貫通孔82aから供給口100に供給されるエアーは、第1エアー流路102を通じて排出口104からブレードマウント86の外部に排出される。

0054

第1エアー流路102の中流部には、第2エアー流路106を介して、フランジ部90の支持面90c側に開口する吸引口108が接続されている。第1エアー流路102と第2エアー流路106との接続領域Aでは、他の領域に比べて第1エアー流路102の内径が小さくなっている。そのため、第1エアー流路102を流れるエアーの流速は、接続領域Aで高められ、この接続領域Aは、ベンチュリ効果によって減圧される。

0055

これにより、第2エアー流路106内のエアーは第1エアー流路102に流れ込んで、切削ブレード48の裏面側には、吸引口108から負圧が作用する。切削ブレード48は、この負圧によってブレードマウント86に吸引、固定される。なお、接続領域Aでの第2エアー流路106の内径は、第1エアー流路102の内径よりも小さいことが望ましい。これにより、第1エアー流路102を流れるエアーは、第2エアー流路106に流れ込み難くなる。

0056

以上のように、本実施形態に係る切削ブレードの装着機構は、エアーを供給するためのロータリージョイント(エアー供給ユニット)78と、ロータリージョイント78から供給されるエアーを利用して負圧を発生させるエジェクタ式のブレード吸引部98を含むブレードマウント86と、を備えている。よって、ブレード吸引部98から発生する負圧で切削ブレード48を吸引、固定できるので、負圧の発生源を別に用意する必要がない。

0057

なお、本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、2本の第1エアー流路102、2個の排出口104、2本の第2エアー流路106、及び2個の吸引口108を設けているが、ブレード吸引部98を構成する各要素の数量、配置等に特段の制限はない。例えば、第2エアー流路106や吸引口108の数を増やしても良い。

0058

また、上記実施形態では、切削ブレード48の基台94(裏面側)がフランジ部90の支持面90cに接触するようにブレードマウント86(又は切削ブレード48)を構成しているが、切削ブレード48の切り刃96がフランジ部90の支持面90cに接触するようにブレードマウント86(又は切削ブレード48)を構成しても良い。

0059

また、上記実施形態の切削装置2は、切削ブレード48を自動で交換できるオートブレードチェンジャー56を備えているが、このオートブレードチェンジャー56を省略することもできる。更に、上記実施形態では、被加工物11の裏面側に粘着テープ15を貼付して表面側を露出させる場合について説明しているが、被加工物11の表面側に粘着テープ15を貼付して裏面側を露出させても良い。

0060

また、上記実施形態の切削装置2は、ブレードマウント86に対してエアーを供給するためのロータリージョイント78を備えているが、他のエアー供給ユニットを設けても良い。図6は、変形例に係る切削ユニット22aの構成例を模式的に示す分解斜視図である。図7は、変形例に係る切削ユニット22aに切削ブレード48が装着される前の状態を模式的に示す断面図であり、図8は、変形例に係る切削ユニット22aに切削ブレード48が装着された後の状態を模式的に示す断面図である。

0061

図6図7、及び図8に示すように、変形例に係る切削ユニット22aは、スピンドル44の一端部44bとスピンドルハウジング46の開口46eとの隙間から排出されるエアーを整流するための板状の整流プレート(エアー供給ユニット)110を備えている。なお、変形例に係る切削ユニット22aの構成要素の多くは、上記実施形態に係る切削ユニット22の構成要素と共通している。よって、共通する構成要素には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。

0062

整流プレート110の中央部には、スピンドル44の一端部44bとともに、スピンドル44の一端部44bとスピンドルハウジング46の開口46eとの隙間から排出されるエアーを通す貫通孔110aが設けられている。また、この整流プレート110には、スピンドルハウジング46の複数のネジ孔46gに対応する複数の貫通孔110bが設けられている。そのため、貫通孔110bを通じてネジ孔46gにネジ(不図示)を締め込むことで、整流プレート110をスピンドルハウジング46に固定できる。

0063

変形例に係るブレード吸引部98aは、フランジ部90の裏面側に開口する環状の供給口112を含む。この供給口112は、例えば、整流プレート110の貫通孔110aに対応する位置、大きさに形成されている。スピンドル44の一端部44bとスピンドルハウジング46の開口46eとの隙間から排出されるエアーは、整流プレート110の貫通孔110aを通じて供給口112に供給される。

0064

供給口112は、ブレードマウント86の内部に形成される第1エアー流路114を介して、ボス部88の表面側に開口する排出口116に接続されている。整流プレート110の貫通孔110aを通じて供給口112に供給されるエアーは、第1エアー流路114を通じて排出口116からブレードマウント86の外部に排出される。

0065

第1エアー流路114の中流部には、第2エアー流路118を介して、フランジ部90の支持面90c側に開口する吸引口120が接続されている。第1エアー流路114と第2エアー流路118との接続領域Aでは、他の領域に比べて第1エアー流路114の内径が小さくなっている。そのため、第1エアー流路114を流れるエアーの流速は、接続領域Aで高められ、この接続領域Aは、ベンチュリ効果によって減圧される。

0066

これにより、第2エアー流路118内のエアーは第1エアー流路114に流れ込んで、切削ブレード48の裏面側には、吸引口120から負圧が作用する。切削ブレード48は、この負圧によってブレードマウント86に吸引、固定される。なお、接続領域Aでの第2エアー流路118の内径は、第1エアー流路114の内径よりも小さいことが望ましい。これにより、第1エアー流路114を流れるエアーは、第2エアー流路118に流れ込み難くなる。

0067

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

0068

2切削装置
4基台
4a,4b,4c 開口
6カセット支持台
8カセット
10 X軸移動機構
10a X軸移動テーブル
12防塵防滴カバー
14チャックテーブル
14a 保持面
16クランプ
22,22a切削ユニット
24支持構造
26 切削ユニット移動機構
28 Y軸ガイドレール
30 Y軸移動プレート
32 Y軸ボールネジ
34 Y軸パルスモータ
36 Z軸ガイドレール
38 Z軸移動プレート
40 Z軸ボールネジ
42 Z軸パルスモータ
44スピンドル
44aスラストプレート
44b 一端部(先端部)
44cネジ孔
46スピンドルハウジング
46aエアー供給路
46bエアー供給口
46c 第1供給路
46d 第2供給路
46e 開口部
46f 一端面(先端面)
46g ネジ孔
48切削ブレード
50エアー供給源
52切削液供給源
54撮像ユニット(カメラ)
56オートブレードチェンジャー
58 第1ブレード着脱ユニット
60 第2ブレード着脱ユニット
62ブレードラック
64洗浄ユニット
66ラジアルエアーベアリング部(エアーベアリング)
68スラストエアーベアリング部(エアーベアリング)
70モーター
72ステーター
74ローター
76エアーシール部(エアーシール)
78ロータリージョイント(エアー供給ユニット)
80 基部
80a 表面
80b貫通孔
80c 貫通孔
82 収容部
82a 貫通孔
84 接続部
84aエアー流路
86ブレードマウント
88ボス部
88a 貫通孔
90フランジ部
90a 凹部
90b裏側部分
90c支持面
92ネジ
94 基台
94a 貫通孔
96切り刃
98,98a ブレード吸引部
100 供給口
102 第1エアー流路
104 排出口
106 第2エアー流路
108 吸引口
110整流プレート(エアー供給ユニット)
110a 貫通孔
110b 貫通孔
112 供給口
114 第1エアー流路
116 排出口
118 第2エアー流路
120 吸引口
A 接続領域
11被加工物
13デバイス
15粘着テープ(ダイシングテープ)
17 フレーム

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