技術 ガラス板の製造方法および製造装置

0001

本発明は、支持テーブルにガラス板を吸着固定する工程を含んだガラス板の製造方法、及び、当該方法を実行するためのガラス板の製造装置に関する。

0002

周知のように、ガラス板の製造工程では、製品サイズに切り出すためにガラス板を切断する場合が多い。切断に伴って形成されたガラス板の端面には、微小クラック等の欠陥が多数含まれるため、これらの欠陥を除去することを目的として、切断後のガラス板に対して研削加工を施す等して、端面を加工することが通例となっている。そして、特許文献１には、端面を加工する態様の一例が開示されている。

0003

同文献に開示された態様では、吸着孔（同文献では複数の吸着孔）が形成された支持テーブルにガラス板を吸着させて固定すると共に、支持テーブルから食み出したガラス板の端面に対して砥石により研削加工を施している。なお、支持テーブル上には水等の液体を供給する場合がある。例えば、支持テーブルに液体の供給口を形成し、この供給口から支持テーブル上に液体を流出させて供給する。これは、研削加工の前に支持テーブル上でガラス板の位置決めを行う際に、ガラス板を移動させやすくするためである。

0004

ところで、支持テーブルにガラス板を吸着させるには、流体の流路（配管）を通じて吸着孔と接続された真空ポンプやタンク等を備える負圧発生源を利用する場合が多い。負圧発生源は、大型であることから、製造ライン外に配置される。このような負圧発生源により、吸着孔を介して支持テーブル上のガラス板に負圧を作用させることで吸着を行う。そして、特許文献２には、ガラス板ではなく、半導体ウェーハを吸着の対象としたものではあるが、負圧発生源（同文献では真空生成源）を利用して、支持テーブルに半導体ウェーハを吸着させる態様が開示されている。

0005

特開２０１２−１１５４７号公報
特開２０１６−１７４０７４号公報

0006

しかしながら、上記のごとく、ガラス板の端面を加工するに際し、負圧発生源を利用して支持テーブルにガラス板を吸着させて固定する態様では、下記のような解決すべき問題があった。すなわち、吸着を開始させた後、ガラス板に所望の大きさ（端面の加工に支障のない大きさ）の負圧が作用するまでに不当に時間が掛かる難点があった。そのため、端面を加工するための工程のタクトタイムを短縮する観点から改善を図る必要があったのが現状である。

0007

上記の事情に鑑みなされた本発明は、負圧発生源を利用して支持テーブルにガラス板を吸着させて固定する場合に、所望の大きさの負圧がガラス板に作用するまでの時間を削減し、タクトタイムを短縮することを技術的な課題とする。

0008

上記の課題を解決するために創案された本発明に係る第一の方法は、複数の吸着孔が形成された支持テーブル上にガラス板を載置する載置工程と、流体の流路を通じて複数の吸着孔の各々と接続された負圧発生源により、複数の吸着孔を介して支持テーブルにガラス板を吸着固定する吸着固定工程とを含んだガラス板の製造方法であって、流路のうちで負圧発生源から複数の吸着孔に至る区間に、流路を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な切換機構を設け、切換機構から複数の吸着孔に至るまでに、流路を複数の分岐ヘッダーにより複数回分岐させたことに特徴付けられる。

0009

流路のうちで負圧発生源から複数の吸着孔に至る区間に切換機構を設ける場合、負圧発生源から切換機構に至る区間の流路は常に負圧となる。一方、切換機構から複数の吸着孔に至る区間の流路は、閉状態で常圧となり、開状態で負圧となる。ここで、本方法においては、切換機構から複数の吸着孔に至るまでに、流路を複数の分岐ヘッダーにより複数回分岐させている。これにより、流路を複数回分岐させた分だけ、切換機構から複数の吸着孔に至る区間の流路の長さ（負圧を発生させるべき流路の容積）を低減することに成功している。そのため、負圧発生源により、迅速に切換機構から複数の吸着孔に至る区間に負圧を発生させることが可能となり、ひいては、所望の大きさの負圧がガラス板に作用するまでの時間を削減することができる。その結果、載置工程から吸着固定工程に至る一連の工程のタクトタイムを短縮することが可能となる。

0010

上記の方法では、複数の分岐ヘッダーに、流路上で相対的に複数の吸着孔側に配置された第一分岐ヘッダーと、相対的に負圧発生源側に配置された第二分岐ヘッダーとが含まれ、複数の吸着孔の各々から第一分岐ヘッダーまでの流路長さ、及び、第一分岐ヘッダーから第二分岐ヘッダーまでの流路長さを、第二分岐ヘッダーから切換機構までの流路長さと比べて短くすることが好ましい。

0011

複数の分岐ヘッダーに、第一分岐ヘッダーと第二分岐ヘッダーとが含まれる場合、複数の吸着孔と第一分岐ヘッダーとを結ぶ流路（以下、第一流路と表記）、及び、第一分岐ヘッダーと第二分岐ヘッダーとを結ぶ流路（以下、第二流路と表記）は、いずれも第二分岐ヘッダーと切換機構とを結ぶ流路（以下、第三流路と表記）と比較して、流路の本数が多数となる。従って、多数となる第一流路および第二流路の長さを、第三流路の長さと比べて短くしておけば、切換機構から複数の吸着孔に至る区間の流路の容積を低減する上で更に有利となる。

0012

上記の方法では、ガラス板を平置き姿勢で支持テーブルに対して搬入出するための並列な複数本の搬送ベルトを設けると共に、複数本の搬送ベルトを挿通させるための並列に形成された複数の隙間により支持テーブルが複数の分割テーブルに分割され、分割テーブルの下方に第一分岐ヘッダーを配置すると共に、搬送ベルトによってガラス板を搬送可能な領域内に第二分岐ヘッダーを配置することが好ましい。

0013

ここで、第一分岐ヘッダーを分割テーブルの下方に配置すれば、複数の吸着孔と第一分岐ヘッダーを可及的に近接させることが可能である。また、搬送ベルトによってガラス板を搬送可能な領域内に第二分岐ヘッダーを配置すれば、製造（搬送）ライン内で複数の第二流路を合流させることができる。このため、上記の第一流路および第二流路の長さを短くする上で更に有利となる。ここで、「搬送ベルトによってガラス板を搬送可能な領域内に第二分岐ヘッダーを配置する」は、複数本の搬送ベルトの下方かつ支持テーブルの下方に第二分岐ヘッダーを配置する場合と、支持テーブルの下方でないが、複数本の搬送ベルトの下方に第二分岐ヘッダーを配置する場合を含む。第二流路の長さをより短くする観点では、複数本の搬送ベルトの下方かつ支持テーブルの下方に第二分岐ヘッダーを配置することがより好ましい。設備コストや配管の作業性の観点では、支持テーブルの下方でないが、複数本の搬送ベルトの下方に第二分岐ヘッダーを配置することがより好ましい。

0014

上記の方法では、切換機構を基準として、切換機構から負圧発生源側における流路の流路断面積を、切換機構から複数の吸着孔側における流路の流路断面積よりも大きくすることが好ましい。

0015

このようにすれば、切換機構から負圧発生源側においては、切換機構から複数の吸着孔側よりも流路の流路断面積を大きくした分だけ、圧力損失を小さくできるため、流路内を流れ得る流体の流量が多くなる。その結果、一層迅速に流路全域に負圧を発生させることができると共に、所望の大きさの負圧がガラス板に作用するまでの時間を一層削減することが可能となる。

0016

上記の方法では、支持テーブル上に液体を供給する液体供給手段を設け、負圧発生源が、流路と接続され、内部が負圧で維持される第一室と、第一室と通路を介して連なった第二室と、通路を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な第一開閉手段と、第二室から排液を行う経路を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な第二開閉手段とを備え、第一開閉手段を開状態とし、且つ、第二開閉手段を閉状態とした状態で、流路から第一室および通路を介して第二室に液体を流入させて貯留する貯留工程と、第一開閉手段を閉状態とし、且つ、第二開閉手段を開状態とした状態で、経路を通じて第二室に貯留された液体を排液する排液工程とを実行することが好ましい。

0017

支持テーブル上へ液体を供給すると、液体が吸着孔から流路や負圧発生源が備えるタンク等に浸入する。これに起因して、吸着固定工程を実行した際に、流路内での負圧の発生が遅れる等の不具合が生じやすい。そして、本方法においては、液体の排液のために、負圧発生源に第一室及び第二室を設けると共に、貯留工程と排液工程とを実行している。貯留工程においては、第一開閉手段を開状態とし、且つ、第二開閉手段を閉状態とすることで、流路から第一室および通路を介して第二室に液体を流入させて貯留していく。その後、排液工程においては、第一開閉手段を閉状態とし、且つ、第二開閉手段を開状態として、経路を通じて第二室に貯留された液体を排液する。このとき、第一開閉手段が閉状態とされ、流路上に位置した第一室と、通路を介して第一室と連なった第二室との両室が、通路を閉鎖した状態にある第一開閉手段で仕切られていることで、第一室によって流路等に負圧を発生させながら排液を行うことが可能となる。このように負圧発生源の機能を実行しながら排液を行えることにより、液体の浸入による不具合を防止できる。

0018

上記の方法では、複数の吸着孔側から負圧発生源側に向かって、流路の高さ位置を漸次に低下させることが好ましい。ここで、「流路の高さ位置を漸次に低下させる」とは、複数の吸着孔側から負圧発生源側に向かって、流路の高さ位置を連続的に低下させた場合のみならず、流路の一部に水平区間が含まれる場合をも含む。

0019

このようにすれば、吸着孔から流路内に浸入した液体が、重力によって複数の吸着孔側から負圧発生源側に向かって流れやすくなるため、上記の貯留工程と排液工程とを実行する上で好適となる。

0020

上記の課題を解決するために創案された本発明に係る第二の方法は、吸着孔が形成された支持テーブル上にガラス板を載置する載置工程と、流体の流路を通じて吸着孔と接続された負圧発生源により、吸着孔を介して支持テーブルにガラス板を吸着固定する吸着固定工程とを含んだガラス板の製造方法であって、流路上における吸着孔と負圧発生源との間に、流路を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な切換機構を設け、切換機構を基準として、切換機構から負圧発生源側における流路の流路断面積を、切換機構から吸着孔側における前記流路の流路断面積よりも大きくしたことに特徴付けられる。

0021

この方法によれば、流路上における吸着孔と負圧発生源との間に切換機構を設けたことで、負圧発生源から切換機構に至る区間の流路は常に負圧となる。一方、切換機構から吸着孔に至る区間の流路は、閉状態で常圧となり、開状態で負圧となる。また、切換機構から負圧発生源側においては、切換機構から吸着孔側よりも流路の流路断面積を大きくした分だけ、圧力損失を小さくできるため、流路内を流れ得る流体の流量が多くなる。このため、負圧発生源により、迅速に切換機構から吸着孔に至る区間の流路に負圧を発生させることが可能となり、所望の大きさの負圧がガラス板に作用するまでの時間をより削減することが可能となる。以上のことから、本方法によれば、載置工程から吸着固定工程に至る一連の工程のタクトタイムを短縮できる。

0022

上記の課題を解決するために創案された本発明に係る第三の方法は、吸着孔が形成された支持テーブル上に液体を供給する液体供給工程と、支持テーブル上にガラス板を載置する載置工程と、流体の流路を通じて吸着孔と接続された負圧発生源により、吸着孔を介して支持テーブルにガラス板を吸着固定する吸着固定工程とを含んだガラス板の製造方法であって、負圧発生源が、流路と接続され内部が負圧で維持される第一室と、第一室と通路を介して連なった第二室と、通路を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な第一開閉手段と、第二室から排液を行う経路を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な第二開閉手段とを備え、第一開閉手段を開状態とし、且つ、第二開閉手段を閉状態とした状態で、流路から第一室および通路を介して第二室に液体を流入させて貯留する貯留工程と、第一開閉手段を閉状態とし、且つ、第二開閉手段を開状態とした状態で、経路を通じて第二室に貯留された液体を排液する排液工程とを実行することに特徴付けられる。

0023

液体供給工程の実行に起因して、液体が吸着孔から流路や負圧発生源が備えるタンク等に浸入する。これに起因して、吸着固定工程を実行した際に、流路内における負圧の発生が遅れる等の不具合が生じやすい。そして、本方法においては、液体の排液のために、負圧発生源に第一室及び第二室を設けると共に、貯留工程と排液工程とを実行している。ここで、排液工程の実行時には、第一開閉手段が閉状態とされ、流路と接続する第一室と、通路を介して第一室と連なった第二室との両室が、通路を閉鎖した状態にある第一開閉手段で仕切られている。このため、第一室によって流路等に負圧を発生させながら排液を行うことが可能である。このように負圧発生源の機能を実行しながら排液を行えることにより、液体の浸入による負圧の発生の遅れを抑制できる。このため、所望の大きさの負圧がガラス板に作用するまでの時間を削減することが可能となる。以上のことから、本方法によれば、タクトタイムを短縮できる。

0024

上記の課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、複数の吸着孔が形成された支持テーブルと、流体の流路を通じて複数の吸着孔の各々と接続され、且つ、複数の吸着孔を介して支持テーブル上に載置されたガラス板に負圧を作用させる負圧発生源とを備えたガラス板の製造装置であって、流路のうちで負圧発生源から複数の吸着孔に至る区間に、流路を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な切換機構を設け、切換機構から複数の吸着孔に至るまでに、流路が複数の分岐ヘッダーにより複数回分岐していることに特徴付けられる。

0025

この装置によれば、上記の第一の方法と同一の作用・効果を得ることが可能である。

0026

本発明に係るガラス板の製造方法および製造装置によれば、負圧発生源を利用して支持テーブルにガラス板を吸着させて固定する場合に、所望の大きさの負圧がガラス板に作用するまでの時間を削減できるため、タクトタイムを短縮することが可能となる。

0027

本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置における流路の配管を示す配管図である。
本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置における負圧発生源の周辺を示す部分縦断側面図である。
本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置における支持テーブルの周辺を示す部分縦断正面図である。
本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置における支持テーブルの周辺を示す部分縦断側面図である。
本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造装置における負圧発生源の周辺を示す部分縦断側面図である。

0028

以下、本発明の実施形態に係るガラス板の製造方法および製造装置について、添付の図面を参照しながら説明する。

0029

＜第一実施形態＞
はじめに、本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造装置について説明する。

0030

図１に示すように、ガラス板の製造装置１（以下、単に製造装置１と表記）は、ガラス板２を吸着固定するための複数の吸着孔３ａが形成された支持テーブル３と、流体の流路４を通じて複数の吸着孔３ａの各々と接続され、且つ、複数の吸着孔３ａを介して支持テーブル３上のガラス板２に負圧を作用させる真空ポンプ５と、複数の吸着孔３ａと真空ポンプ５との間で、流路４を分岐させる第一分岐ヘッダー６および第二分岐ヘッダー７と、第二分岐ヘッダー７と真空ポンプ５との間で、流路４を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な切換機構としての第一電磁弁８と、第一電磁弁８と真空ポンプ５との間で、流路４内に浸入した液体９（図２を参照）を流路４外に排液することが可能な真空タンク１０と、第二分岐ヘッダー７と第一電磁弁８との間で流路４と接続された接続流路１１を通じて、圧縮ガスを流路４内に送るコンプレッサー１２と、接続流路１１を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な第二電磁弁１３とを備えている。なお、製造装置１において、負圧発生源は、真空ポンプ５及び真空タンク１０によって構成される。

0031

支持テーブル３は、ガラス板２を平置き姿勢で下方から支持することが可能である。この支持テーブル３は、並列に形成された複数の隙間１４を挟んで複数の分割テーブルに分割されており、各分割テーブルに複数の吸着孔３ａが形成されている。本実施形態では、合計十四の分割テーブル（図１に一部のみを図示）が存在している。以下の説明では、各分割テーブルを順番に、分割テーブルＡ，分割テーブルＢ，…，分割テーブルＮと表記する。

0032

分割テーブルＡ〜Ｎの各々には、複数の吸着孔３ａの他、各分割テーブル上に液体９（例えば、水）を流出させて供給する液体供給手段としての供給口３ｂが複数形成されている。複数の供給口３ｂの各々は、供給管１５（図１では図示省略）を通じて液体供給源（例えば、ポンプであり、図示省略）と接続されている。さらに、詳細は後述するが、複数の隙間１４の一部では、ガラス板２を支持テーブル３に対して搬入出するための搬送ベルト１６（図１では図示省略）を挿通させることが可能である。

0033

流路４は、複数の吸着孔３ａから真空タンク１０に至る全域において、円形の流路断面を有する。この流路４内は、当該流路４内に存するガス（例えば、空気）、及び、吸着孔３ａから流路４内に浸入した液体９を通過させることが可能である。流路４の高さ位置は、複数の吸着孔３ａ側から真空タンク１０側に向かって連続的に低下している。これにより、流路４内に浸入した液体９が重力により真空タンク１０（負圧発生源）側に流れるようになっている。

0034

両分岐ヘッダー６，７のうち、第一分岐ヘッダー６は、流路４上で相対的に複数の吸着孔３ａ側に配置されており、第二分岐ヘッダー７は、相対的に真空タンク１０側に配置されている。

0035

第一分岐ヘッダー６は、分割テーブルＡ〜Ｎの各々に対して一つずつが配置されている。各第一分岐ヘッダー６により分岐した複数の分岐流路４ａのそれぞれは、各分割テーブルに形成された吸着孔３ａに接続されている。つまり、一つの第一分岐ヘッダー６により形成される分岐流路４ａの数と、各分割テーブルに形成された吸着孔３ａの数とは同数となっている。

0036

第二分岐ヘッダー７は一つのみが配置されている。この第二分岐ヘッダー７により十四の分岐流路４ｂ（図１に一部のみを図示）に分岐しており、十四の分岐流路４ｂのそれぞれが第一分岐ヘッダー６に接続されている。つまり、第二分岐ヘッダー７により分岐される分岐流路４ｂの数と、第一分岐ヘッダー６の数とが同数（本実施形態では、共に十四）となっている。

0037

なお、図１では、流路４の配管についての理解を容易にするために、第一分岐ヘッダー６を、実際とは異なった配置で図示している。後述の図３及び図４を用いて詳述するが、実際には、各第一分岐ヘッダー６が各分割テーブルの下方に配置される。第二分岐ヘッダー７は、支持テーブル３の下方でない、複数本の搬送ベルト１６の下方に配置されている。なお、第一電磁弁８と、負圧発生源（真空ポンプ５及び真空タンク１０）と、コンプレッサー１２と、第二電磁弁１３とは、製造（搬送）ライン外に配置される。

0038

ここで、本実施形態では、第一分岐ヘッダー６および第二分岐ヘッダー７により、二回（二段）に亘って流路４を分岐させているが、これに限定されるものではない。本実施形態の変形例として、三回（三段）以上に亘って流路４を分岐させてもよい。

0039

第一電磁弁８は、これが開状態となれば、複数の吸着孔３ａ側から真空タンク１０側に向かって、ガスおよび液体９が第一電磁弁８を通過可能な状態となると共に、これが閉状態となれば、ガスおよび液体９が第一電磁弁８を通過不可能な状態となる。なお、第一電磁弁８が閉状態となった際には、コンプレッサー１２からの圧縮ガスについても、第一電磁弁８を通過不可能な状態となる。

0040

真空ポンプ５は常時稼働させており、真空タンク１０の内部は常に負圧で維持されている。これにより、流路４における第一電磁弁８と真空タンク１０（負圧発生源）とを結ぶ区間４ｄでは、第一電磁弁８の開閉とは無関係に、常に負圧が発生した状態となる。これに対し、流路４における第一電磁弁８と複数の吸着孔３ａとを結ぶ区間（両分岐流路４ａ，４ｂ、及び、第二分岐ヘッダー７と第一電磁弁８とを結ぶ区間４ｃ）では、支持テーブル３上にガラス板２が載置された状態で、第一電磁弁８が開状態となれば、負圧が発生した状態となり、支持テーブル３にガラス板２を吸着固定できる。一方、第一電磁弁８が閉状態となれば、負圧が発生した状態が解除され、支持テーブル３によるガラス板２の吸着固定を解除できる。

0041

第一電磁弁８を基準として、真空タンク１０側の流路断面積Ｓ１は、複数の吸着孔３ａ側の流路断面積Ｓ２よりも大きくなっている。第一電磁弁８から複数の吸着孔３ａに至る区間に負圧をより迅速に発生させる観点では、流路断面積の比（Ｓ１／Ｓ２、単位なし）を２以上とすることが好ましい。一方、設備コストの削減及び配管設置の作業性の観点では、流路断面積の比（Ｓ１／Ｓ２、単位なし）を１５以下とすることが好ましい。本実施形態では、第一電磁弁８を介して接続する２本の配管において、真空タンク１０側の配管の断面積は、複数の吸着孔３ａ側の配管の断面積よりも大きくなっている。これにより、区間４ｄの流路断面積は、区間４ｃの流路断面積よりも大きくなっている。

0042

なお、分岐流路４ａと分岐流路４ｂと区間４ｃとの間での流路断面積の大小については、第一電磁弁８に近接しているものほど、流路断面積が大きくなっている。さらに、これら三者４ａ，４ｂ，４ｃの長さについて、分岐流路４ａおよび分岐流路４ｂの長さは、共に区間４ｃの長さよりも短くなっている。そして、分岐流路４ａおよび分岐流路４ｂの長さは、共に区間４ｃの長さを基準として７５％以下の長さとすることが好ましい。一方、分岐流路４ａおよび分岐流路４ｂの長さは、共に区間４ｃの長さを基準として５％以上の長さとすることが好ましい。ここで、「分岐流路４ａ（分岐流路４ｂ）の長さ」とは、複数の分岐流路４ａ（分岐流路４ｂ）の長さが共通している場合には、その共通した長さを意味し、複数の分岐流路４ａ（分岐流路４ｂ）の長さが不揃いである場合には、最長のものの長さを意味する。

0043

第二電磁弁１３は、これが開状態となれば、コンプレッサー１２側から流路４側に向かって、圧縮ガス（例えば、圧縮空気）が第二電磁弁１３を通過可能な状態となる。そして、コンプレッサー１２から流路４内に圧縮ガスを送ることで、流路４内の気圧の上昇を速め、ガラス板２の吸着固定の解除を高速化させることが可能である。一方、第二電磁弁１３は、これが閉状態となれば、圧縮ガスが第二電磁弁１３を通過不可能な状態となる。なお、第二電磁弁１３が閉状態となった際には、流路４から接続流路１１に浸入したガスおよび液体９についても、第二電磁弁１３を通過不可能な状態となる。なお、コンプレッサー１２と第二電磁弁１３の間に内部が正圧で維持されるバッファータンクを配置してもよい。

0044

ここで、図１を含め、本実施形態の説明で参照する各図面において、白抜き矢印は、第一電磁弁８を開状態とし、且つ、第二電磁弁１３を閉状態とした状態でのガスおよび液体９の流れを表している。また、破線矢印は、当該状態でのガスのみの流れを表している。さらに、実線矢印は、当該状態での液体９のみの流れを表している。

0045

図２に示すように、真空タンク１０は、流路４と接続される第一室としての第一タンク１７と、第一タンク１７と第一通路１８を介して連なった第二室としての第二タンク１９と、第一通路１８を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な第一開閉手段としての第一弁２０と、第二タンク１９から排液を行う経路２１を開放した開状態と閉鎖した閉状態とを切換可能な第二開閉手段としての第二弁２２と、第二タンク１９に圧縮ガス、又は、大気を送ることが可能な第二通路２３を開閉させる第三弁２４と、第一タンク１７の上部と真空ポンプ５とを接続する第三通路２５とを備えている。

0046

第一タンク１７は、バッファータンクであり、真空ポンプ５の稼働に伴って第一タンク１７の内部は常に負圧で維持される。加えて、第一タンク１７は、流路４内を通過して第一タンク１７まで到達したガスと液体９との進路を振り分ける機能を有する。第一タンク１７は、自身まで到達したガスを第三通路２５に進入させることが可能であると共に、自身まで到達した液体９を第二タンク１９に連なる第一通路１８に進入させることが可能である。

0047

第二タンク１９は、第一タンク１７よりも下方に配置されている。また、第一通路１８は、第一タンク１７の底部と第二タンク１９の頂部とを接続すると共に、その高さ位置が、第一タンク１７側から第二タンク１９側に向かって連続的に低下している。これにより、第一弁２０が開状態である際に、第一タンク１７に到達した液体９を自重により第一通路１８を通過させて第二タンク１９に流入させることが可能である。

0048

通常は、第一弁２０が開状態となると共に、第二弁２２が閉状態となる。この場合、流路４内を通過して第一タンク１７まで到達した液体９が第二タンク１９に貯留される。排液時は、第一弁２０を閉状態とした後で第二弁２２を開状態とする。これにより、経路２１を通じて第二タンク１９に貯留された液体９を排液することが可能である。経路２１は、第二タンク１９の底部に接続されると共に、その高さ位置が、第二タンク１９から離反するに連れて低下している。そのため、液体９は自重により経路２１を流れていく。

0049

通常、第三弁２４は閉じた状態にある。排液時に第一弁２０を閉状態とした後で第三弁２４を開状態とし、その後、第二弁２２を開状態とすれば、第二通路２３を経由して空気等が第二タンク１９へ流入することから、液体９の排液を促進できる。

0050

図３および図４に示すように、製造装置１は、既述の構成要素に加え、ガラス板２を平置き姿勢で支持テーブル３に対して搬入出するための並列な複数本の搬送ベルト１６と、支持テーブル３に吸着固定されたガラス板２の支持テーブル３から食み出した端面２ａを加工する端面加工手段としての砥石２６とを備えている。

0051

複数本の搬送ベルト１６は、端面２ａの加工前のガラス板２をＴ１方向に沿って支持テーブル３に搬入すると共に、加工後のガラス板２をＴ２方向に沿って支持テーブル３から搬出することが可能である。このため、搬送ベルト１６の長手方向の長さは、支持テーブル３の長手方向の長さよりも長く、搬送ベルト１６は、支持テーブル３の隙間を貫通するように配置される。これら搬送ベルト１６は、駆動プーリーおよび従動プーリー（共に図示省略）に巻き掛けられると共に、昇降機構（図示省略）により、搬送面の高さ位置を上下に変更することが可能である。

0052

複数本の搬送ベルト１６は、最初に、搬送面の高さ位置を支持テーブル３よりも高くした状態でガラス板２をＴ１方向に沿って搬送する。次に、図３および図４に二点鎖線で示すように、ガラス板２が支持テーブル３の真上に到達すると、送り動作を停止すると共に、搬送面の高さ位置を漸次に降下させて支持テーブル３にガラス板２を受け渡す。受け渡し後には、図３および図４に実線で示すように、隙間１４にて端面２ａの加工が完了するまで待機する。次に、端面２ａの加工が完了すると、搬送面の高さ位置を漸次に上昇させて支持テーブル３からガラス板２を引き取る。最後に、送り動作を再開すると共に、搬送面の高さ位置を支持テーブル３よりも高くした状態でガラス板２をＴ２方向に沿って搬送する。

0053

砥石２６は、ガラス板２の平行に延びた両端面２ａ，２ａの一方の研削用と、他方の研削用とが配置されている。両砥石２６，２６の各々は、上下方向に延びる軸線を中心に回転しつつ、Ｔ３方向（Ｔ１方向およびＴ２方向とは逆方向）に移動することにより、両端面２ａ，２ａに研削加工を施す。なお、研削加工時の砥石の移動方向は、Ｔ１方向およびＴ２方向と同じ方向であってもよい。本実施形態では、両砥石２６，２６が、ガラス板２を挟んで並走しながら研削加工を行う構成とされている。

0054

なお、図示は省略しているが、製造装置１は、既述の構成要素に加え、研削加工前のガラス板２を支持テーブル３上で移動させて位置決めを行うための第一位置決め機構を備えている。第一位置決め機構は、例えば、両端面２ａ，２ａのうちの一方の端面２ａに当接させるための複数の位置決め用ピンと、他方の端面２ａに当接した状態でガラス板２を一方の端面２ａ側に押すことで、各位置決め用ピンにガラス板２の一方の端面２ａを押し付ける押付部材とを有する。この第一位置決め機構により、ガラス板２を分割テーブルＡ〜Ｎの並び方向に沿って移動させ、所望の位置に配置することが可能である。製造装置１は、ガラス板２をＴ１方向に沿って移動させることによって所望の位置に配置するため、第二位置決め機構（図示なし）をさらに備えてもよい。

0055

図３および図４に示すように、各第一分岐ヘッダー６は、各分割テーブルＡ〜Ｎの真下に配置されている。これにより、各第一分岐ヘッダー６と各分割テーブルＡ〜Ｎに形成された吸着孔３ａとを接続する分岐流路４ａが上下に延びている。また、第二分岐ヘッダー７は、支持テーブル３の真下でない、複数本の搬送ベルト１６の真下に配置される。加えて、第二分岐ヘッダー７は、各第一分岐ヘッダー６よりも下方に配置されている。

0056

次に、上記の製造装置１を用いた本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法について説明する。

0057

本実施形態に係るガラス板の製造方法では、最初に、支持テーブル３上に液体９を供給する液体供給工程を実行する。液体供給工程では、各分割テーブルに形成された複数の供給口３ｂから液体９を流出させて供給する。これにより、後の位置決め工程において、支持テーブル３上でガラス板２を移動させやすくなる。この液体供給工程の実行に伴い、一部の液体９が各分割テーブルに形成された吸着孔３ａから流路４内に浸入する。

0058

液体供給工程が完了すると、次に、支持テーブル３上にガラス板２を載置する載置工程を実行する。載置工程は、複数本の搬送ベルト１６により搬入したガラス板２（端面２ａの加工前のガラス板２）を、これら複数本の搬送ベルト１６から支持テーブル３に受け渡すことで行う。

0059

載置工程が完了すると、次に、ガラス板２を支持テーブル３上で移動させて位置決めする位置決め工程を実行する。位置決め工程の実行には、上記の第一位置決め機構を用いる。これにより、ガラス板２を分割テーブルＡ〜Ｎの並び方向に沿って移動させ、所望の位置に配置する。

0060

位置決め工程が完了すると、次に、流路４を通じて複数の吸着孔３ａの各々と接続された真空タンク１０により、複数の吸着孔３ａを介して支持テーブル３にガラス板２を吸着固定する吸着固定工程を実行する。吸着固定工程の実行は、初期状態では閉状態にある第一電磁弁８を開状態とすることで行う。なお、第二電磁弁１３については、初期状態である閉状態を維持する。

0061

第一電磁弁８を開状態とすると、流路４上の両分岐流路４ａ，４ｂ、及び、区間４ｃ内に存するガスおよび液体９が、第一電磁弁８を通過して順次に区間４ｄに流入していく。これに伴って、両分岐流路４ａ，４ｂ、及び、区間４ｃ内の気圧が次第に低下して負圧が発生すると共に、ガラス板２に負圧が作用して、支持テーブル３にガラス板２が吸着固定される。なお、本実施形態では、真空タンク１０の第一タンク１７を常に負圧で維持していることから、流路４上の区間４ｄでは、第一電磁弁８が開状態とされる以前から負圧が発生した状態となっている。

0062

区間４ｄに流入したガスおよび液体９は、区間４ｄを通過し、真空タンク１０に備わった第一タンク１７に到達する。そこで、第一タンク１７によって進路を振り分けられる。ガスは第三通路２５に進入した後、真空ポンプ５に到達する。一方、液体９は第二タンク１９に連なる第一通路１８に進入した後、下記の貯留工程と排液工程とが実行されることで、流路４外に排液される。

0063

貯留工程では、初期状態として第一弁２０を開状態とすると共に、第二弁２２を閉状態とすることで、第一通路１８を通過して空の状態の第二タンク１９に流入してくる液体９を貯留していく。排液工程では、第一弁２０を閉状態とすると共に、第二弁２２を開状態とする。これにより、経路２１を通じて第二タンク１９に貯留された液体９を排液する。なお、排液により第二タンク１９内が再び空の状態になると、第二弁２２を閉状態に復帰させた後、第一弁を開状態に復帰させる。このようにして、貯留工程と排液工程とを繰り返し実行できる状態とする。

0064

吸着固定工程の実行により、支持テーブル３にガラス板２が吸着固定された状態となると、次に、ガラス板２の支持テーブル３から食み出した端面２ａを加工する端面加工工程を実行する。端面加工工程では、ガラス板２の平行に延びた両端面２ａ，２ａに対して研削加工を施す。なお、本実施形態の変形例として、研削加工に代えて、或いは、研削加工に加えて、両端面２ａ，２ａに対して研磨加工を施してもよい。

0065

端面加工工程が完了すると、次に、支持テーブル３によるガラス板２の吸着固定を解除する吸着解除工程を実行する。吸着解除工程の実行は、第一電磁弁８を閉状態とし、且つ、第二電磁弁１３を開状態とした上で、コンプレッサー１２から流路４内に圧縮ガスを送ることで行う。

0066

圧縮ガスを流路４内に送ると、両分岐流路４ａ，４ｂ、及び、区間４ｃ内の気圧が次第に上昇して負圧が発生した状態が解除される。これにより、支持テーブル３によるガラス板２の吸着固定が解除される。

0067

なお、本実施形態では、吸着解除工程の実行に伴い、流路４内に圧縮ガスを送っているが、この限りではない。本実施形態の変形例として、圧縮ガスを送ることなく、第一電磁弁８を閉状態とするのみでも、ガラス板２の吸着固定の解除が可能である。また、本実施形態の変形例として、流路４外から取り込んだ大気を流路４内に送ることで、ガラス板２の吸着固定を解除してもよい。

0068

吸着解除工程が完了すると、最後に、複数本の搬送ベルト１６により支持テーブル３からガラス板２（端面２ａの加工後のガラス板２）を引き取ると共に、これら複数本の搬送ベルト１６による搬送に伴って、ガラス板２を更に下流側の工程に送る。

0069

次に、上記の製造装置１および製造方法による主たる作用・効果について説明する。

0070

上記の製造装置１および製造方法では、第一電磁弁８（切換機構）から複数の吸着孔３ａに至るまでに、流路４を第一分岐ヘッダー６および第二分岐ヘッダー７により複数回（二回）分岐させている。これにより、第一電磁弁８から複数の吸着孔３ａに至る区間の流路４の容積が低減されることから、真空タンク１０（負圧発生源）によって迅速に第一電磁弁８から複数の吸着孔３ａに至る区間の流路４に負圧を発生させることが可能となる。このため、所望の大きさの負圧がガラス板２に作用するまでの時間を削減することができる。その結果、端面２ａを加工するための工程のタクトタイムを短縮することが可能となる。

0071

また、第一電磁弁８から真空タンク１０側では、第一電磁弁８から複数の吸着孔３ａ側よりも流路断面積を大きくした分だけ、圧力損失を小さくできる。従って、第一電磁弁８よりも真空タンク１０側の流路４内を流れ得るガスおよび液体９の流量が多くなる。このため、より迅速に第一電磁弁８よりも複数の吸着孔３ａ側の流路４に負圧を発生させることができると共に、所望の大きさの負圧がガラス板２に作用するまでの時間を更に削減することが可能となる。

0072

加えて、負圧の発生が遅れる原因ともなる液体９を流路４内から流路４外に排液するに際して、真空タンク１０（負圧発生源）の稼働を停止させることなく排液を行うことができる。これにより、液体９の浸入による負圧の発生の遅れを抑制できる。このため、迅速に流路４全域に負圧を発生させることができると共に、所望の大きさの負圧がガラス板２に作用するまでの時間を削減することが可能となる。

0073

＜第二実施形態＞
次に、本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造装置、及び、当該装置を用いた本発明の第二実施形態に係るガラス板の製造方法について説明する。なお、第二実施形態については、上記の第一実施形態との相違点についてのみ説明する。第一実施形態との共通点については、第二実施形態の説明で参照する図面に同一の符号を付すことで重複する説明を省略する。

0074

図５に示すように、第二実施形態に係る製造装置１が、上記の第一実施形態に係る製造装置１と相違している点は、真空タンク１０の構成である。第二実施形態における真空タンク１０では、第一実施形態における真空タンク１０の第一タンク１７、第二タンク１９、及び、第一弁２０が、それぞれタンク２７の上室２７ａ、タンク２７の下室２７ｂ、及び、上室２７ａと下室２７ｂとを連続させる通路の開放および閉鎖が可能なシャッター２８に置き換わっている。

0075

第二実施形態に係る製造装置１を用いた第二実施形態に係るガラス板の製造方法についても、第一実施形態に係るガラス板の製造方法と同様にして実施が可能である。また、第二実施形態に係る製造装置１および製造方法によっても、第一実施形態に係る製造装置１および製造方法と同様の主たる作用・効果を得ることができる。

0076

１ガラス板の製造装置
２ ガラス板
２ａ 端面
３支持テーブル
３ａ吸着孔
３ｂ 供給口
４流路
４ａ分岐流路
４ｂ 分岐流路
４ｃ区間
４ｄ 区間
５真空ポンプ
６ 第一分岐ヘッダー
７ 第二分岐ヘッダー
８ 第一電磁弁
９液体
１０真空タンク
１４ 隙間
１６搬送ベルト
１７ 第一タンク
１８ 第一通路
１９ 第二タンク
２０ 第一弁
２１経路
２２ 第二弁
２６砥石
Ａ〜Ｎ 分割テーブル