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技術 切削ブレード供給装置および切削ブレードケース

出願人 株式会社ディスコ
発明者 関家一馬
出願日 2017年9月7日 (2年3ヶ月経過) 出願番号 2017-171942
公開日 2019年3月22日 (8ヶ月経過) 公開番号 2019-042909
状態 未査定
技術分野 研削盤の構成部分、駆動、検出、制御 ダイシング
主要キーワード 交換要否 案内開口 吸着片 内部斜視図 各切削ブレード 供給指示 ブレード交換 軸方向一端面
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2019年3月22日)のものです。
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図面 (8)

課題

交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共にブレード交換手段を備えた切削装置を提供する。

解決手段

切削ブレード供給装置は、複数の切削ブレードBをストックする切削ブレードストッカーと、切削ブレードストッカーから切削ブレードBを搬出し切削装置まで搬送する搬送手段と、搬送手段によって搬送された切削ブレードBを切削装置のブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、制御手段とを含む。切削ブレードストッカーは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口Oと装着口Oの外周に形成された切り刃Kとから構成された切削ブレードBを収容する切削ブレードケース16と、切削ブレードケース載置手段18とを備える。切削ブレードケース16は、切削ブレードBを重ねて収容する筒体20と、装着口Oに挿入し切り刃Kと筒体20の内壁との接触を避けるロッド22とから少なくとも構成される。

概要

背景

IC、LSI等の複数のデバイス分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハ切削装置によって個々のデバイスに分割され、分割された各デバイスは携帯電話パソコン等の電気機器に利用される。

また、切削装置の無人稼働を可能にするために切削ブレードを自動で交換できる切削装置が本出願人によって開発されている(たとえば特許文献1参照。)。

概要

交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共にブレード交換手段を備えた切削装置を提供する。切削ブレード供給装置は、複数の切削ブレードBをストックする切削ブレードストッカーと、切削ブレードストッカーから切削ブレードBを搬出し切削装置まで搬送する搬送手段と、搬送手段によって搬送された切削ブレードBを切削装置のブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、制御手段とを含む。切削ブレードストッカーは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口Oと装着口Oの外周に形成された切り刃Kとから構成された切削ブレードBを収容する切削ブレードケース16と、切削ブレードケース載置手段18とを備える。切削ブレードケース16は、切削ブレードBを重ねて収容する筒体20と、装着口Oに挿入し切り刃Kと筒体20の内壁との接触を避けるロッド22とから少なくとも構成される。

目的

本発明の課題は、交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共にブレード交換手段を備えた切削装置に切削ブレードを適宜供給できる切削ブレード供給装置、および切削ブレード供給装置への切削ブレードの補充が容易である切削ブレードケースを提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

この技術が所属する分野

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請求項1

被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、該切削手段に装着された切削ブレードを自動的に着脱するブレード交換手段と、を少なくとも備えた切削装置に切削ブレードを供給する切削ブレード供給装置であって、複数の切削ブレードをストックする切削ブレードストッカーと、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出し該切削装置まで搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを該ブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、制御手段と、を含み、該切削ブレードストッカーは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースと、該切削ブレードケースが載置される切削ブレードケース載置手段とを備え、該切削ブレードケースは、2個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成され、該制御手段は、該切削装置が必要とする切削ブレードを適宜選択して該切削装置まで該搬送手段によって搬送させる切削ブレード供給装置。

請求項2

該搬送手段は、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出する搬出部と、該搬出部によって搬出された切削ブレードを該切削装置まで搬送するベルトコンベアーと、から少なくとも構成される請求項1記載の切削ブレード供給装置。

請求項3

該受け渡し手段は、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを保持し搬出する搬出機と、該搬出機によって搬出された切削ブレードを受け取り該ブレード交換手段まで搬送するブレードラックと、から少なくとも構成される請求項1記載の切削ブレード供給装置。

請求項4

表示手段を更に備え、該制御手段は、該切削ブレードストッカーから搬出させた切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に記録し、該切削ブレードストッカーに更にストック可能な切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に該表示手段に表示させる請求項1記載の切削ブレード供給装置。

請求項5

該切削ブレードケースは、該筒体の一端部を着脱自在に閉塞する蓋壁と、該筒体の他端部を閉塞する端壁とを備え、該端壁の中央部に該ロッドが固定される請求項1記載の切削ブレード供給装置。

請求項6

中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースであって、2個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成される切削ブレードケース。

請求項7

該筒体の一端部を着脱自在に閉塞する蓋壁と、該筒体の他端部を閉塞する端壁とを備え、該端壁の中央部に該ロッドが固定される請求項6記載の切削ブレードケース。

技術分野

0001

本発明は、切削装置切削ブレードを供給する切削ブレード供給装置、および切削ブレードを収容する切削ブレードケースに関する。

背景技術

0002

IC、LSI等の複数のデバイス分割予定ラインによって区画され表面に形成されたウエーハは切削装置によって個々のデバイスに分割され、分割された各デバイスは携帯電話パソコン等の電気機器に利用される。

0003

また、切削装置の無人稼働を可能にするために切削ブレードを自動で交換できる切削装置が本出願人によって開発されている(たとえば特許文献1参照。)。

先行技術

0004

特許第4837973号公報

発明が解決しようとする課題

0005

しかし、上記特許文献1に開示された切削装置では、交換すべき切削ブレードのストックが不充分であり、長時間にわたる無人稼働が困難であるという問題がある。

0006

記事実に鑑みてなされた本発明の課題は、交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共にブレード交換手段を備えた切削装置に切削ブレードを適宜供給できる切削ブレード供給装置、および切削ブレード供給装置への切削ブレードの補充が容易である切削ブレードケースを提供することである。

課題を解決するための手段

0007

上記課題を解決するために本発明の第一の局面が提供するのは以下の切削ブレード供給装置である。すなわち、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、該切削手段に装着された切削ブレードを自動的に着脱するブレード交換手段と、を少なくとも備えた切削装置に切削ブレードを供給する切削ブレード供給装置であって、複数の切削ブレードをストックする切削ブレードストッカーと、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出し該切削装置まで搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを該ブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、制御手段と、を含み、該切削ブレードストッカーは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースと、該切削ブレードケースが載置される切削ブレードケース載置手段とを備え、該切削ブレードケースは、2個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成され、該制御手段は、該切削装置が必要とする切削ブレードを適宜選択して該切削装置まで該搬送手段によって搬送させる切削ブレード供給装置である。

0008

好ましくは、該搬送手段は、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出する搬出部と、該搬出部によって搬出された切削ブレードを該切削装置まで搬送するベルトコンベアーと、から少なくとも構成される。該受け渡し手段は、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを保持し搬出する搬出機と、該搬出機によって搬出された切削ブレードを受け取り該ブレード交換手段まで搬送するブレードラックと、から少なくとも構成されるのが好適である。表示手段を更に備え、該制御手段は、該切削ブレードストッカーから搬出させた切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に記録し、該切削ブレードストッカーに更にストック可能な切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に該表示手段に表示させるのが好都合である。該切削ブレードケースは、該筒体の一端部を着脱自在に閉塞する蓋壁と、該筒体の他端部を閉塞する端壁とを備え、該端壁の中央部に該ロッドが固定されるのが好ましい。

0009

本発明の第二の局面が提供するのは以下の切削ブレードケースである。すなわち、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースであって、2個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成される切削ブレードケースである。

0010

好ましくは、該筒体の一端部を着脱自在に閉塞する蓋壁と、該筒体の他端部を閉塞する端壁とを備え、該端壁の中央部に該ロッドが固定される。

発明の効果

0011

本発明の第一の局面が提供する切削ブレード供給装置は、被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を切削する切削ブレードを回転可能に装着した切削手段と、該保持手段と該切削手段とを相対的に加工送りする送り手段と、該切削手段に装着された切削ブレードを自動的に着脱するブレード交換手段と、を少なくとも備えた切削装置に切削ブレードを供給する切削ブレード供給装置であって、複数の切削ブレードをストックする切削ブレードストッカーと、該切削ブレードストッカーから切削ブレードを搬出し該切削装置まで搬送する搬送手段と、該搬送手段によって搬送された切削ブレードを該ブレード交換手段に受け渡す受け渡し手段と、制御手段と、を含み、該切削ブレードストッカーは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースと、該切削ブレードケースが載置される切削ブレードケース載置手段とを備え、該切削ブレードケースは、2個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成され、該制御手段は、該切削装置が必要とする切削ブレードを適宜選択して該切削装置まで該搬送手段によって搬送させるように構成されているので、交換すべき切削ブレードを充分ストックできると共に、ブレード交換手段を備えた切削装置に切削ブレードを適宜供給でき、したがって長時間にわたる切削装置の無人稼働を可能にすることができる。

0012

本発明の第二の局面が提供する切削ブレードケースは、中央に形成されスピンドルに装着される装着口と該装着口の外周に形成された切り刃とから構成された切削ブレードを収容する切削ブレードケースであって、2個以上の切削ブレードを重ねて収容する筒体と、該装着口に挿入し該切り刃と該筒体の内壁との接触を避けるロッドと、から少なくとも構成されているので、切削ブレードを複数収容した切削ブレードケースが切削ブレードストッカーの一部として用いられ得ることとなり、したがって切削ブレード供給装置への切削ブレードの補充が容易である。

図面の簡単な説明

0013

本発明に従って構成された切削ブレード供給装置及び複数台の切削装置の斜視図。
図1に示す切削ブレードストッカーの内部斜視図
(a)図2に示す切削ブレードケースに切削ブレードを収容している状態を示す斜視図、(b)切削ブレードケースに複数の切削ブレードが収容された状態を示す斜視図、(c)(b)の状態から筒体及び蓋壁を省略して示す切削ブレードケースの斜視図、(d)筒体の一端部が蓋壁によって閉塞された状態を示す斜視図。
(a)変形例の切削ブレードケースのロッドに切削ブレードを収容している状態を示す斜視図、(b)変形例の切削ブレードケースのロッドに切削ブレードを収容した後に筒体を装着している状態を示す斜視図、(c)(b)に示す状態から切削ブレードが収容されたロッド及び端壁に筒体及び蓋壁が装着された状態を示す斜視図。
図2に示す切削ブレードストッカー及び搬送手段の斜視図。
受け渡し手段及び切削装置の要部斜視図。
図6に示すスピンドルユニットの要部分解斜視図。

実施例

0014

以下、本発明に従って構成された切削ブレード供給装置及び切削ブレードケースの実施形態について図面を参照しつつ説明する。

0015

図示の実施形態では図1に示すとおり、切削ブレード供給装置2と、切削ブレード供給装置2によって切削ブレードが供給される3台の切削装置100とが図1に矢印Yで示すY方向に沿って配置されている。切削ブレード供給装置2は、複数の切削ブレードをストックする切削ブレードストッカー4(図1参照。)と、切削ブレードストッカー4から切削ブレードを搬出し切削装置100まで搬送する搬送手段6(図5参照。)と、搬送手段6によって搬送された切削ブレードを切削装置100の後述のブレード交換手段108に受け渡す受け渡し手段8(図6参照。)と、制御手段(図示していない。)とを含む。なお、図1に矢印Xで示すX方向はY方向に直交する方向であり、X方向及びY方向が規定する平面は実質上水平である。また、本明細書では図1においてX方向の紙面手前側を前方とし、X方向の紙面奥側を後方として説明する。

0016

図1から図4までを参照して切削ブレードストッカー4について説明する。図1に示すとおり、切削ブレードストッカー4は、複数の切削ブレードを内部にストック可能な直方体状の枠体10を含む。枠体10の前面には、双方に取っ手12aが付設された観音開き式の扉12が装着されており、作業員によって扉12が開放されて枠体10の内部に切削ブレードがストックされる。枠体10の上面には、切削ブレードストッカー4に更にストック可能な切削ブレードの数量や、切削ブレードストッカー4にストックされている切削ブレードの数量を切削ブレードの種類毎に表示する表示手段14が搭載されている。図2に示すとおり、枠体10の内部には、中央に形成され切削装置100の後述のスピンドル128に装着される装着口Oと装着口Oの外周に形成された切り刃Kとから構成された環状の切削ブレードBを収容する切削ブレードケース16と、切削ブレードケース16が載置される切削ブレードケース載置手段18とが設けられている。切削ブレードケース16は、2個以上の切削ブレードBを重ねて収容する円筒状の筒体20と、切削ブレードBの装着口Oに挿入し切り刃Kの周縁と筒体20の内壁との接触を避ける円柱状のロッド22と、から少なくとも構成される。図示の実施形態では図3に示すとおり、切削ブレードケース16は、筒体20の一端部(図3における上端部)を着脱自在に閉塞する円板状の蓋壁24と、筒体20の他端部(図3における下端部)を閉塞する円板状の端壁26とを備え、端壁26の中央部にロッド22が固定されている。図3に示すとおり、筒体20の他端部と端壁26の周縁部とは固定されていてもよく、あるいは、図4に示すとおり、筒体20の他端部と端壁26の周縁部とは着脱自在に構成されていてもよい。なお、図4に示す切削ブレードケース16の変形例においては、筒体20の一端部に蓋壁24が固定されている。図示の実施形態では図3に示すとおり、ロッド22の軸方向端面には被係合凹部22aが形成され、蓋壁24の片面には被係合凹部22aに係合する係合突起24aが形成されている。係合突起24aが被係合凹部22aに係合することによって、ロッド22に着脱自在に蓋壁24が装着され、筒体20の一端部が蓋壁24によって閉塞される。図示の実施形態における切削ブレード載置手段18は、Y方向に延びる載置板27から構成されている。載置板27の上面には、Y方向に間隔をおいて下方に没入する円形状の載置凹所27aが3個形成されている。載置凹所27aの直径は切削ブレードケース16の筒体20の外径に対応している。そして、切削ブレードBの種類毎に切削ブレードBが収容された切削ブレードケース16が各載置凹所27aに載置される。また、枠体10の後面は開放されており、開放された枠体10の後面から各切削ブレードケース16に収容された切削ブレードBが搬送手段6によって搬出され得るようになっている。

0017

図1及び図5を参照して搬送手段6について説明する。図示の実施形態では図5に示すとおり、搬送手段6は、切削ブレードストッカー4から切削ブレードBを搬出する搬出部28と、搬出部28によって搬出された切削ブレードBを切削装置100まで搬送するベルトコンベアー30と、から少なくとも構成される。搬出部28は、切削ブレードケース16に隣接して上下方向に延びる支柱32と、支柱32の下端に固定されたモータ34とを含む。支柱32は、モータ34によって上下方向に延びる軸線を中心として回転される。支柱32の上端には実質上水平に延びるアーム35の基端部が固定されている。アーム35の先端部には、昇降機構36を介して環状の吸着片37が昇降自在に接続されている。昇降機構36は、アーム35の先端部に固定されたハウジング38と、ハウジング38の内部に設けられたピニオンギア(図示していない。)と、ピニオンギアを回転させるモータ(図示していない。)と、ピニオンギアに噛み合うラックギア39とを有する。そしてモータによってピニオンギアが回転されると上下方向に延びるラックギア39が昇降し、これによってラックギア39の下端に接続された吸着片37が昇降される。下面に複数の吸引孔(図示していない。)が形成されている吸着片37は、流路によって吸引手段(図示していない。)に接続されている。そして、搬出部28においては、吸引手段によって吸着片37の下面に吸引力を生成することにより、切削ブレードケース16に収容された切削ブレードBを吸着片37で吸着して保持することができ、かつ、昇降機構36及びモータ34を駆動することにより、吸着片37で吸着した切削ブレードBを切削ブレードストッカー4の切削ブレードケース16から搬出し、ベルトコンベアー30まで搬送することができる。なお、搬出部28の数量は、切削ブレードストッカー4の切削ブレードケース16の数量と同じ数量でよい。あるいは、複数の切削ブレードケース16に吸着片37を位置づけることができる場合(たとえば、アーム35が水平方向に伸縮自在に構成され、かつアーム35を伸縮する伸縮手段を搬出部28が備えている場合)には、搬出部28の数量は切削ブレードケース16の数量よりも少なくてもよい。図1に示すとおり、ベルトコンベアー30は、搬出部28の後方から、切削ブレードストッカー4から最も離間している切削装置100の後方までY方向に沿って延びている。そして、ベルトコンベアー30は、搬出部28によって搬出された切削ブレードBを受け取り、3台の切削装置100の後方に選択的に切削ブレードBを搬送する。

0018

図6を参照して受け渡し手段8について説明する。図示の実施形態における受け渡し手段8は、搬送手段6によって搬送された切削ブレードBを保持し搬出する搬出機40と、搬出機40によって搬出された切削ブレードBを受け取り切削装置100のブレード交換手段108まで搬送するブレードラック42と、から少なくとも構成される。搬出機40は、搬送手段6のベルトコンベアー30を挟んで切削装置100の後方に配置されたケーシング44を含む。ケーシング44の前面(図6における手前側の面)にはL字状開口44aが形成され、L字状開口44aを通ってX方向に突出するアーム46がX方向に延びる軸線を中心として回転自在、Y方向に移動自在かつ昇降自在にケーシング44に支持されている。また、ケーシング44には、X方向に延びる軸線を中心としてアーム46を回転させる回転手段(図示していない。)と、L字状開口44aのY方向に延びる部分に沿ってアーム46をY方向に移動させるY方向移動手段(図示していない。)と、L字状開口44aの上下方向に延びる部分に沿ってアーム46を昇降させる昇降手段(図示していない。)とが設けられている。回転手段は、アーム46に連結されたモータから構成され得る。Y方向移動手段は、たとえば、ナット部が回転手段を介してアーム46に接続されY方向に延びるボールねじと、このボールねじに連結されたモータとから構成され得る。昇降手段は、たとえば、ナット部が回転手段及びY方向移動手段を介してアーム46に接続され上下方向に延びるボールねじと、このボールねじに連結されたモータとから構成され得る。また、図6に示すとおり、アーム46の先端部には円柱状の吸着片48が固定されている。軸方向一端面図6における下面)に複数の吸引孔(図示していない。)が形成されている吸着片48は、流路によって吸引手段(図示していない。)に接続されている。そして、搬出機40においては、吸引手段によって吸着片48の下面に吸引力を生成することにより、搬送手段6のベルトコンベアー30によって搬送された切削ブレードBを吸着片48で吸着して保持することができ、かつ、昇降手段、Y方向移動手段及び回転手段によってアーム46を移動及び回転させることにより、吸着片48で吸着した切削ブレードBをベルトコンベアー30から搬出することができる。

0019

図6を参照して受け渡し手段8についての説明を続ける。受け渡し手段8のブレードラック42は、搬出機40に隣接してベルトコンベアー30の上方から切削装置100のブレード交換手段108に対向する位置までX方向に延びる案内部材50と、X方向に移動自在に案内部材50に搭載された直方体状の可動片52と、可動片52をX方向に移動させるX方向移動手段54とを含む。案内部材50の上面にはX方向に延びる案内開口50aが形成されている。X方向移動手段54は、案内部材50の内部においてX方向に延びるボールねじ(図示していない。)と、このボールねじに連結されたモータ56とを有し、案内部材50の案内開口50aに沿って可動片52をX方向に移動させる。図6に示すとおり、可動片52のY方向一端面には、Y方向に突出する一対の円柱状の支持軸58が付設されている。支持軸58の直径は切削ブレードBの内径に対応しており、搬出機40によって切削ブレードBの装着口Oが支持軸58に嵌合されることにより、可動片52の支持軸58によって切削ブレードBが支持される。そして、ブレードラック42においては、可動片52をX方向移動手段54でX方向に移動させることにより、可動片52の支持軸58で支持した切削ブレードBを切削装置100のブレード交換手段108に受け渡し可能な位置まで搬送することができる。また、可動片52の支持軸58側の面には、支持軸58に沿って環状に配置された複数の吸引孔(図示していない。)が形成され、可動片52の吸引孔は流路によって吸引手段(図示していない。)に接続されている。そして、吸引手段によって可動片52のY方向一端面に吸引力を生成することにより、支持軸58で支持した切削ブレードBを吸着して保持することができ、これによって可動片52がX方向に移動している際に支持軸58からの切削ブレードBの落下を防止することができる。なお、図6には受け渡し手段8を便宜上1台だけ示しているが、後述するように図示の切削装置100はそれぞれ一対の切削手段104及び一対のブレード交換手段108を有しており、切削手段104及びブレード交換手段108の数量に対応して各切削手段104の後方に一対ずつ受け渡し手段8が設けられている。すなわち図示の実施形態では、3台の切削装置100が設けられているため、計6台の受け渡し手段8が設けられている。

0020

コンピュータから構成される切削ブレード供給装置2の制御手段は、制御プログラムに従って演算処理する中央処理装置(CPU)と、制御プログラム等を格納するリードオンリメモリ(ROM)と、演算結果等を格納する読み書き可能なランダムアクセスメモリ(RAM)とを有する。制御手段は、搬送手段6、受け渡し手段8及び表示手段14に電気的に接続されており、切削装置100が必要とする切削ブレードBを適宜選択して切削ブレードストッカー4から切削装置100の後方まで搬送手段6によって搬送させると共に、搬送手段6から切削装置100のブレード交換手段108に受け渡し手段8によって切削ブレードBを受け渡すように、搬送手段6及び受け渡し手段8の作動を制御する。切削ブレードBは種類毎に各切削ブレードケース16に収容されることから、制御手段は、搬出された切削ブレードBの数量を切削ブレードケース16毎に記録することによって、切削ブレードストッカー4から搬出された切削ブレードBの数量を切削ブレードBの種類毎に記録し、切削ブレードストッカー4に更にストック可能な切削ブレードBの数量や、切削ブレードストッカー4にストックされている切削ブレードBの数量を切削ブレードBの種類毎に算出して表示手段14に表示させる。また、切削ブレードストッカー4にストックされている切削ブレードBの数量が所定量を下回った場合は、その旨を表示手段14に表示させ、オペレーターに対して切削ブレードBの補充を喚起させるようにしてもよい。

0021

ここで、切削ブレード供給装置2によって切削ブレードBが供給される切削装置100について説明する。図示の実施形態では3台設けられている切削装置100は、それぞれ同一の構成でよく、図6に示すとおり、被加工物を保持する保持手段102と、保持手段102に保持された被加工物を切削する切削ブレードBを回転可能に装着した切削手段104と、保持手段102と切削手段104とを相対的に加工送りする送り手段106と、切削手段104に装着された切削ブレードBを自動的に着脱するブレード交換手段108と、を少なくとも備える。

0022

図6に示すとおり、保持手段102は、切削装置100の基台110にX方向に移動自在に搭載された可動板112と、可動板112の上面に固定された支柱114と、支柱114の上端に回転自在に搭載されたチャックテーブル116とを含む。上面においてウエーハ等の被加工物を吸着するように構成されているチャックテーブル116は、支柱114に内蔵されたモータ(図示していない。)によって上下方向に延びる軸線を中心として回転される。

0023

図6及び図7を参照して切削手段104について説明する。図示の実施形態では図6に示すとおり、保持手段102を跨って配置された門型支持フレーム118に一対の切削手段104が装着されている。各切削手段104は、Y方向に移動自在かつ昇降自在に支持フレーム118に支持されたスピンドルユニット120と、スピンドルユニット120をY方向に移動させる割り出し送り手段122と、スピンドルユニット120を昇降させる切り込み送り手段124とを備える。図7に示すとおり、スピンドルユニット120は、Y方向に延びる軸線を中心として回転自在にスピンドルハウジング126に支持された円柱状のスピンドル128と、スピンドル128を回転させるモータ(図示していない。)と、スピンドル128の先端部に着脱自在に固定される切削ブレードBと、スピンドル128の先端部に切削ブレードBを固定するためのナット130とを含む。また、切削手段104には、切削ブレードBの切り刃Kの摩耗の程度や欠けの有無を監視する切削ブレード監視手段(図示していない。)が装着されている。図6に示すとおり、支持フレーム118には、チャックテーブル116に保持された被加工物を撮像して切削加工すべき領域を検出するための撮像手段132がY方向に移動自在に支持されていると共に、撮像手段132をY方向に移動させる移動手段134が装着されている。

0024

図6に示すとおり、送り手段106は、基台110上においてX方向に延びるボールねじ138と、ボールねじ138に連結されたモータ140とを有する。ボールねじ138は保持手段102の可動板112に連結されている。そして送り手段106は、ボールねじ138によりモータ140の回転運動直線運動に変換して可動板112に伝達して、切削手段104に対して保持手段102をX方向に加工送りする。

0025

ブレード交換手段108は、切削手段104のスピンドル128にナット130を着脱するためのナット着脱機構142と、スピンドル128に切削ブレードBを着脱するためのブレード着脱機構144と、ナット着脱機構142及びブレード着脱機構144のX方向位置及びY方向位置を調整するための位置調整手段146とを備える。ナット着脱機構142においては、スピンドル128に固定されたナット130を緩めてスピンドル128からナット130を取り外すことができると共に、スピンドル128から取り外したナット130を把持することができるようになっている。ブレード着脱機構144は、間隔をおいて配置された一対のブレード把持手段148を有する。ブレード着脱機構144においては、一対のブレード把持手段148の一方によって、ナット130が取り外されたスピンドル128から切削ブレードBを把持して引き抜くと共に、一対のブレード把持手段148の他方によって、スピンドル128に装着すべき交換用の切削ブレードBを把持して、スピンドル128に装着させるようになっている。ナット着脱機構142及びブレード着脱機構144は、一対の切削手段104に対応して、それぞれY方向に間隔をおいて線対称に一対配置されている。なお、ブレード交換手段108の具体的な構成については、上記特許文献1に開示されている構成と実質上同一の構成でよい。

0026

切削装置100は、それぞれ自己の作業を制御すると共に、切削ブレード監視手段から出力される情報に基づいて切削ブレードBの交換要否を判定するコントローラ(図示していない。)を更に備える。コンピュータから構成される各コントローラは、保持手段102、切削手段104、送り手段106、ブレード交換手段108及び切削ブレード監視手段、並びに切削ブレード供給装置2の制御手段に電気的に接続されている。また、図1に示すとおり、切削装置100は、切削加工後の被加工物を洗浄する洗浄手段150と、被加工物を収容するカセット152と、洗浄手段150とカセット152とチャックテーブル116との間で被加工物を搬送する搬送機構154と、コントローラに加工条件等を入力するための入力手段156とが設けられている。

0027

上述したとおりの切削ブレード供給装置2の作動について説明する。切削装置100に装着されている切削ブレードBが摩耗又は欠けによって交換が必要となった際は、切削ブレードBの交換が必要な切削装置100のコントローラから、交換が必要な切削ブレードBの種類に関する情報と、交換が必要な切削ブレードBが一対の切削手段104のどちらに装着されているかに関する情報と共に、切削ブレードBの供給指示が切削ブレード供給手段2の制御手段に出力される。そうすると、切削ブレード供給装置2の制御手段は、切削装置100のコントローラから出力された情報に基づいて、切削装置100に供給すべき切削ブレードBをストックしている切削ブレードストッカー4の切削ブレードケース16を選定する。なお、切削装置100のコントローラにおいては、ブレード交換手段108のナット着脱機構142によってスピンドル128からナット130を取り外すと共に、ブレード着脱機構144の一方のブレード把持手段148によってスピンドル128から切削ブレードBを取り外すように制御する。

0028

次いで制御手段は、切削手段104に新たに装着すべき交換用の切削ブレードB(以下「交換用切削ブレードB」という。)をストックしている切削ブレードケース16から交換用切削ブレードBを搬送手段6の搬出部28によって搬出させ、ベルトコンベアー30に載置させるように制御する。図5を参照して詳述すると、まず、搬出部28のモータ34で支柱32を回転させ、交換用切削ブレードBをストックしている切削ブレードケース16の上方に吸着片37を位置づける。次いで、昇降機構36で吸着片37を下降させ、交換用切削ブレードBの上面に吸着片37の下面を密着させる。次いで、吸着片37に接続された吸引手段を作動させて吸着片37の下面に吸引力を生成し、交換用切削ブレードBの上面に吸着片37の下面を吸着させる。次いで、昇降機構36で吸着片37を上昇させる。次いで、モータ34で支柱32を回転させ、吸着片37で吸着した交換用切削ブレードBをベルトコンベアー30の上方に位置づける。次いで、昇降機構36で吸着片37を下降させ、交換用ブレードBの下面をベルトコンベアー30の上面に接触させる。そして、吸着片37に接続された吸引手段の作動を停止させて吸着片37の吸引力を解除し、ベルトコンベアー30の上面に交換用切削ブレードBを載置させる。このようにして制御手段は、切削ブレードケース16から交換用切削ブレードBを搬出部28によって搬出させ、ベルトコンベアー30に載置させる。

0029

次いで制御手段は、切削ブレードBの交換が必要な切削手段104の後方に配置された受け渡し手段8に交換用切削ブレードBを受け渡し可能な位置まで、ベルトコンベアー30によって切削ブレードBを搬送させる。

0030

次いで制御手段は、ベルトコンベアー30によって搬送された交換用切削ブレードBを受け渡し手段8の搬出機40によって搬出させ、ブレードラック42に受け渡すように制御する。詳述すると、まず、搬出機40の昇降手段でアーム46を下降させ、交換用切削ブレードBの上面に吸着片48の下面を密着させる。次いで、吸着片48に接続された吸引手段を作動させて吸着片48の下面に吸引力を生成し、交換用切削ブレードBの上面に吸着片48の下面を吸着させる。次いで、昇降手段でアーム46を上昇させると共に回転手段でアーム46を回転させ、吸着片48で吸着した交換用切削ブレードBをブレードラック42の可動片52に対面させる。このとき、可動片52の一方の支持軸58と交換用ブレードBの装着口Oとが、Y方向にみて整合するように、可動片52の位置がX方向移動手段54によって調整されている。次いで、アーム46をY方向移動手段でY方向に移動させ、可動片52の一方の支持軸58に交換用ブレードBを嵌合させる。次いで、搬出機40の吸着片48に接続された吸引手段の作動を停止させて搬出機40の吸着片48の吸引力を解除すると共に、ブレードラック42の可動片52に接続された吸引手段を作動させて可動片52の支持軸58側の端面に吸引力を生成し、可動片52の支持軸58側の端面に交換用切削ブレードBを吸着させる。これによって、ベルトコンベアー30によって搬送された交換用切削ブレードBが受け渡し手段8の搬出機40によって搬出され、ブレードラック42に受け渡される。

0031

次いで制御手段は、可動片52で保持した交換用切削ブレードBが切削装置100のブレード交換手段108に対面する位置まで、ブレードラック42のX方向移動手段54で可動片52を移動させる。次いで制御手段は、可動片52に接続された吸引手段の作動を停止させて可動片52の吸引力を解除する。次いで、ブレード着脱機構144の他方のブレード把持手段148(切削手段104から取り外した切削ブレードBを把持していない方のブレード把持手段148)によって可動片52の一方の支持軸58から交換用切削ブレードBが搬出されると共に、切削手段104に装着されていた切削ブレードBが一方のブレード把持手段148から可動片52の他方の支持軸58に受け渡される。そして、交換用切削ブレードBが切削手段104にブレード交換手段108によって装着される。一方、切削手段104から取り外された切削ブレードBは、交換用切削ブレードBとは反対の経路で切削ブレードストッカー4に搬送される。すなわち、取り外された切削ブレードBは、ブレードラック42で搬送され、次いで搬出機40によって搬送手段6のベルトコンベアー30に載置され、ベルトコンベアー30で搬送された後、搬送手段6の搬出部28によって切削ブレードストッカー4の枠体10の内部に搬送される。そして、枠体10に搬送された切削ブレードBは、切削手段104毎に分けて所定期間保管され、切削装置100においてトラブルが生じた場合などにトラブルの原因を追究する際に参照される。

0032

以上のとおり切削ブレード供給装置2においては、交換すべき切削ブレードBを切削ブレードストッカー4に充分ストックできると共に、ブレード交換手段108を備えた切削装置100に切削ブレードBを搬送手段6及び受け渡し手段8によって適宜供給でき、したがって長時間にわたる切削装置100の無人稼働を可能にすることができる。

0033

また、切削ブレードケース16は切削ブレードストッカー4の一部として用いられ得ることから、切削ブレードBを切削ブレードストッカー4に補充する際は、切削ブレードBを一枚ずつ補充する必要はなく、切削ブレードBを複数収容した切削ブレードケース16ごと切削ブレードケース載置手段18に載置すればよいので、切削ブレード供給装置2への切削ブレードBの補充が容易である。

0034

2:切削ブレード供給装置
4:切削ブレードストッカー
6:搬送手段
8:受け渡し手段
14:表示手段
16:切削ブレードケース
18:切削ブレードケース載置手段
20:筒体
22:ロッド
24:蓋壁
26:端壁
28:搬出部
30:ベルトコンベアー
40:搬出機
42:ブレードラック
100:切削装置
102:保持手段
104:切削手段
106:送り手段
108:ブレード交換手段
128:スピンドル
B:切削ブレード
O:装着口
K:切り刃

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