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技術 搬送パッド及びウエーハの搬送方法

出願人 株式会社ディスコ
発明者 中塚敦
出願日 2016年10月4日 (5年4ヶ月経過) 出願番号 2016-196281
公開日 2018年4月12日 (3年10ヶ月経過) 公開番号 2018-060881
状態 特許登録済
技術分野 特殊目的用コンベヤ ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等
主要キーワード 中央領 ポーラス部材 一定断面 エア噴出口 接触保持 円形板状 金属配管 エア供給路
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2018年4月12日)のものです。
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図面 (3)

課題

搬送パッドウエーハを搬送する場合に、搬送パッド及びエアの流れる配管経路を変更することなく、搬送パッドによるウエーハの接触保持と非接触保持とを可能にする

解決手段

保持面10bに形成され保持面10bに沿ってエアを噴出するエア噴出口100と、エア噴出口100から噴出されたエアを保持面10bの外周縁に向かって直線状に流す溝101と、を備え、溝101にエアを流すことで溝101の周囲に発生させる負圧の強弱を溝101に流すエアの流量で調整して保持面10bでウエーハを保持する搬送パッド1である。

概要

背景

半導体ウエーハ等を加工する切削装置研削装置等においては、例えば、ウエーハの加工前に、加工装置位置決め機構に載置されたウエーハを保持テーブル上に搬送したり、ウエーハの加工後に、保持テーブル上の加工が施されたウエーハをウエーハ洗浄機構スピンナーテーブルに搬送したりしている。そして、加工装置には、ウエーハを搬送する搬送パッドが配設されており、この搬送パッドは、例えば、ウエーハに接触させて吸引保持を行う保持面を備えている。この保持面は、例えば、ポーラス部材で構成されていたり、又は複数の吸引孔が形成されていたりし、真空発生装置等から構成される吸引源コンプレッサー等から構成されるエア供給源とにエアの流路切り替え可能に連通している(例えば、特許文献1参照)。

搬送パッドの保持面をウエーハに接触させた状態で、吸引源が吸引することで生み出された吸引力がエアの流路を介して保持面上に伝達されることで、搬送パッドはウエーハを吸引保持することができる。搬送パッドの保持面からウエーハを離脱させるときは、吸引源と保持面とが連通している状態をエア供給源と保持面とが連通している状態へと切り替えて、エア供給源からエアを保持面に対して供給し保持面から少量のエアを噴出させる。そして、エアの噴射圧力によって保持面とウエーハとの間の真空吸着力破壊して、ウエーハを保持面から離脱させている。

概要

搬送パッドでウエーハを搬送する場合に、搬送パッド及びエアの流れる配管経路を変更することなく、搬送パッドによるウエーハの接触保持と非接触保持とを可能にする保持面10bに形成され保持面10bに沿ってエアを噴出するエア噴出口100と、エア噴出口100から噴出されたエアを保持面10bの外周縁に向かって直線状に流す溝101と、を備え、溝101にエアを流すことで溝101の周囲に発生させる負圧の強弱を溝101に流すエアの流量で調整して保持面10bでウエーハを保持する搬送パッド1である。

目的

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

保持面でウエーハを保持する板状の搬送パッドであって、該保持面に形成され該保持面に沿ってエアを噴出するエア噴出口と、該エア噴出口から噴出されたエアを該保持面の外周縁に向かって直線状に流す溝と、を備え、該溝にエアを流すことで該溝の周囲に発生させる負圧の強弱を該溝に流すエアの流量で調整して該保持面でウエーハを保持する搬送パッド。

請求項2

請求項1記載の搬送パッドを用いたウエーハの搬送方法であって、該搬送パッドには、前記エア噴出口から噴出させ前記溝に流すエアの流量を第1のエア流量と該第1のエア流量より多い流量の第2のエア流量とに調節可能な流量調節部が接続され、該搬送パッドは、前記保持面によりウエーハを非接触で保持する時には、該第1のエア流量のエアを該溝に流し、該保持面にウエーハを接触させて該保持面によりウエーハを保持する時には、該第2のエア流量のエアを該溝に流すことで、ウエーハの非接触保持と接触保持とを選択的に行うウエーハの搬送方法。

技術分野

0001

本発明は、ウエーハを保持する板状の搬送パッド及び搬送パッドを用いたウエーハの搬送方法に関する。

背景技術

0002

半導体ウエーハ等を加工する切削装置研削装置等においては、例えば、ウエーハの加工前に、加工装置位置決め機構に載置されたウエーハを保持テーブル上に搬送したり、ウエーハの加工後に、保持テーブル上の加工が施されたウエーハをウエーハ洗浄機構スピンナーテーブルに搬送したりしている。そして、加工装置には、ウエーハを搬送する搬送パッドが配設されており、この搬送パッドは、例えば、ウエーハに接触させて吸引保持を行う保持面を備えている。この保持面は、例えば、ポーラス部材で構成されていたり、又は複数の吸引孔が形成されていたりし、真空発生装置等から構成される吸引源コンプレッサー等から構成されるエア供給源とにエアの流路切り替え可能に連通している(例えば、特許文献1参照)。

0003

搬送パッドの保持面をウエーハに接触させた状態で、吸引源が吸引することで生み出された吸引力がエアの流路を介して保持面上に伝達されることで、搬送パッドはウエーハを吸引保持することができる。搬送パッドの保持面からウエーハを離脱させるときは、吸引源と保持面とが連通している状態をエア供給源と保持面とが連通している状態へと切り替えて、エア供給源からエアを保持面に対して供給し保持面から少量のエアを噴出させる。そして、エアの噴射圧力によって保持面とウエーハとの間の真空吸着力破壊して、ウエーハを保持面から離脱させている。

先行技術

0004

特開2014−204089号公報

発明が解決しようとする課題

0005

加工装置において、搬送パッドでウエーハを非接触状態で保持したい場合には、上記の接触式で吸引保持を行う搬送パッドを、ベルヌーイ効果を利用して負圧を生み出し非接触でウエーハを吸引保持する搬送パッドに取り替える。そして、エア供給源と非接触式の搬送パッドの保持面とを連通させて、エア供給源からエアを保持面に対して供給し、保持面から所定量のエアを吹き出させ、保持面に沿ってエアを流す。このエアの流れ(例えば、旋回流)によって保持面上に負圧が発生するため、搬送パッドがウエーハを非接触で保持する。

0006

しかし、搬送パッドの取替えに伴って、接触式搬送パッドに供給すべきエアの流量(例えば、ウエーハ離脱時に搬送パッドに供給すべきエア流量)と非接触式搬送パッドに供給すべきエアの流量とは異なってくる、すなわち、非接触式搬送パッドに供給すべきエアの流量はより多くなる。そのため、搬送パッドにエアを供給する配管管径も太くする、つまり、加工装置内等を通り搬送パッドに繋がる配管経路を予め複数備えておく等して、配管経路を搬送パッドの取替えと共に変更する必要が生じてくる。しかし、搬送パッドのために複数の配管経路を備える装置構成は複雑であり、また、装置構成が大きくなってしまうという問題がある。

0007

したがって、搬送パッドでウエーハを搬送する場合においては、搬送パッド及び配管経路を変更することなく、搬送パッドによるウエーハの接触保持と非接触保持とを可能にするという課題がある。

課題を解決するための手段

0008

上記課題を解決するための本発明は、保持面でウエーハを保持する板状の搬送パッドであって、該保持面に形成され該保持面に沿ってエアを噴出するエア噴出口と、該エア噴出口から噴出されたエアを該保持面の外周縁に向かって直線状に流す溝と、を備え、該溝にエアを流すことで該溝の周囲に発生させる負圧の強弱を該溝に流すエアの流量で調整して該保持面でウエーハを保持する搬送パッドである。

0009

また、上記課題を解決するための本発明は、前記搬送パッドを用いたウエーハの搬送方法であって、該搬送パッドには、前記エア噴出口から噴出させ前記溝に流すエアの流量を第1のエア流量と該第1のエア流量より多い流量の第2のエア流量とに調節可能な流量調節部が接続され、該搬送パッドは、前記保持面によりウエーハを非接触で保持する時には、該第1のエア流量のエアを該溝に流し、該保持面にウエーハを接触させて該保持面によりウエーハを保持する時には、該第2のエア流量のエアを該溝に流すことで、ウエーハの非接触保持と接触保持とを選択的に行うウエーハの搬送方法である。

発明の効果

0010

本発明に係る搬送パッドは、保持面に形成され保持面に沿ってエアを噴出するエア噴出口と、エア噴出口から噴出されたエアを保持面の外周縁に向かって直線状に流す溝と、を備え、溝にエアを流すことで溝の周囲に発生させる負圧の強弱を溝に流すエアの流量で調整して保持面でウエーハを保持することができるため、エアの流量を調節するだけで、ウエーハの接触保持と非接触保持とを選択的に行うことができる。

0011

本発明に係るウエーハの搬送方法においては、本発明に係る搬送パッドには、エア噴出口から噴出させ溝に流すエアの流量を第1のエア流量と第1のエア流量より多い流量の第2のエア流量とに調節可能な流量調節部が接続され、搬送パッドは、保持面によりウエーハを非接触で保持する時には、第1のエア流量のエアを溝に流し、保持面にウエーハを接触させて保持面によりウエーハを保持する時には、第2のエア流量のエアを溝に流すことで、ウエーハの非接触保持と接触保持とを選択的に行うことができる。すなわち、搬送パッドでウエーハを搬送する場合において、搬送パッド及びエアの流れる配管経路を変更することなく、エアの流量を調節するだけで搬送パッドによるウエーハの接触保持と非接触保持とを選択的に行うことができる。また、搬送パッドに吸引源を接続させる必要がなくなるため、装置構成を複雑なものとしなくても済むようになる。

図面の簡単な説明

0012

保持面を上側に向けた状態の搬送パッドの一例を示す斜視図である。
搬送パッドでウエーハを搬送する状態の一例を示す斜視図である。

実施例

0013

半導体ウエーハ等を保持する図1に示す搬送パッド1は、例えば、アクリルポリカーボネート、PBT樹脂等のエンプラ又はステンレス鋼等からなり外形円板状である本体部10を備えている。図1においては上側を向いている本体部10の保持面10bは、ウエーハを保持する面となり、例えば、表面が平滑に仕上げられており、また、本体部10がウエーハに接触してしまった場合に、ウエーハを傷付けないように保持面10bの端部(稜線)には面取りが施されていてもよい。本体部10の外形は、略円形状に限定されるものではなく、円形の一部を部分的に切欠いた三角十字状等に形成されていてもよい。

0014

例えば本体部10には、保持面10bに形成され保持面10bに沿ってエアを噴出するエア噴出口100と、エア噴出口10から噴出されたエアを保持面10bの外周縁に向かって直線状に流す溝101と、を備えている。

0015

溝101は、例えば、保持面10bの中心から径方向外側に向かって3方向に均等な角度(例えば120度)で放射状に延びており、保持面10bから本体部10の厚さ方向(Z軸方向)の中間部に至る程度の深さを備えている。各溝101の幅および深さは同一寸法の一定断面を有している。なお、溝101の形成本数は、本実施形態における本数に限定されるものではなく、保持面10bに周方向に均等な間隔で4本以上放射状に形成されていてもよい。また、溝101の幅を一部だけ狭めることで、この狭められた部分で溝101内を通るエアが加速されるものとしてもよい。各溝101の一方の端101aは、保持部10の外周縁において開口しており、各溝101の他方の端101bは、保持面10bの中央に形成された各エア噴出口100と連通している。

0016

各エア噴出口100は、それぞれ保持面10bの径方向外側に向かって開口しており、各溝101の他方の端101bから一方の端101aに向かってエアを水平に噴出する。例えば、エア噴出口100の断面積は溝101の断面積よりも大きくなっており、エア噴出口100から溝101へとエアが移動する際に、エアが加速されるようになっていてもよい。また、各エア噴出口100は、本体部10の中央領域の内部から保持面10bの反対側の面であるアーム部接続面10aに向かって形成されアーム部接続面10a上で開口する接続口102と連通している。なお、本実施形態のようにエア噴出口100を保持面10bに形成するのではなく、例えば、本体部10の保持面10bに取り外し可能なノズルパッドを配設するものとし、このノズルパッドにエア噴出口100を形成するものとしてもよい。また、例えば、本体部10の外周縁には、ウエーハが本体部10の面方向に移動すること(すなわち、ウエーハの横滑り)を摩擦力又はウエーハを外周面から押さえる力によって制限するガイド部109を設けてもよい。このガイド部109は、例えば、ゴム又はスポンジ等から構成されており、本体部10の外周縁に、周方向に一定の間隔をおいて溝101の一方の端101aとずれるようにして複数(例えば120度間隔で3つ)固定される。

0017

以下に、図1、2に示す搬送パッド1を用いて本発明に係るウエーハの搬送方法を実施する場合の、搬送パッド1の動作について説明する。

0018

搬送パッド1が図2に示すウエーハWを搬送する場合には、図2に示すように、搬送パッド1は、アーム部20に接続された状態になる。すなわち、例えば、アーム部接続面10aの中央領域に連結部材21が固定され、この連結部材21を介して搬送パッド1はアーム部20の一端の下面側に固定された状態になる。アーム部20の他方の端には、移動手段3が接続されており、移動手段3は、アーム部20を水平面上において平行移動可能又は旋回移動可能にし、かつ、Z軸方向に上下動可能にしている。移動手段3は、例えば、アーム部20を空気圧によりZ軸方向に上下動させるエアシリンダや、モータによりボールネジ回動させることでアーム部20を平行移動させるボールネジ機構等から構成されている。

0019

連結部材21は、例えば、ロータリージョイント等から構成されており、アーム部20に接続されることで、アーム部20及び連結部材21の厚み方向(Z軸方向)に延びる流路21aが形成される。流路21aの一端は、搬送パッド1の接続口102に連通しており、流路21aのもう一端は、可撓性を有する樹脂チューブ又は金属配管等で構成されるエア供給路23の一端に連通する。なお、流路21a上に、流路21a内を通るエアを加速させるオリフィス孔等が形成されていてもよい。

0020

エア供給路23のもう一端には、コンプレッサー等からなるエア供給源24が連通している。また、エア供給路23上には、例えば、エア供給源24が搬送パッド1に供給しエア噴出口100から噴出させ溝101に流すエアの流量を第1のエア流量F1と第1のエア流量F1より多い流量の第2のエア流量F2とに調節可能な流量調節部25が配設されている。流量調節部25は、例えば、絞り弁であり、弁内部のエアの通過流量を把握可能にする流量計を備えている。

0021

図2に示すウエーハWは、例えば、外形が円形板状の半導体ウエーハであり、ウエーハWの表面Waには複数のデバイスが形成されており、例えば、表面Waは図示しない保護テープが貼着されて保護されている。ウエーハWの裏面Wbは、例えば研削加工等が施される被加工面となる。

0022

まず、図2に示す移動手段3が、搬送パッド1を水平方向に移動させて、図示しないウエーハカセット等に収容されているウエーハWの裏面Wbと搬送パッド1の保持面10bとが対向し、かつ、ウエーハWの裏面Wbの中心と搬送パッド1の中心とが略合致するように、搬送パッド1をウエーハWの上方に位置付ける。

0023

次いで、例えば、搬送パッド1の保持面10bとウエーハWの裏面Wbとが接触しない程度の高さ位置まで、移動手段3が搬送パッド1を−Z方向に向かって降下させ位置付ける。この状態で、エア供給源24が、所定圧力のエアをエア供給路23に供給する。例えば、流量調節部25は、流量調節部25を通過し搬送パッド1に到達しエア噴出口100から噴出し溝101を流れるエアの流量が、第2のエア流量F2となるように、弁内部が予め大きく開かれた状態になっており、エア供給源24からエア供給路23に供給されたエアは、大きく開かれた状態の流量調節部25を通過し、さらに、流路21a及び接続口102を通り、搬送パッド1のエア噴出口100から噴出する。

0024

エア噴出口100から噴射されたエアは、保持面10bに形成された各溝101内を放射方向に向かって直線状に第2のエア流量F2で流通することにより、ベルヌーイ効果によって溝101の両脇の周囲の空気が溝101内部へ引き込まれ、溝101近辺に負圧が生じ、ウエーハWに対する吸着力が生じる。ここで、各溝101の一方の端101aが保持部10の外周縁において開口しているため、エアの溝101内での流れが阻害されず、また、溝101内のエアのエア流量は、比較的大きな第2のエア流量F2となっているため、保持面10bに強力な吸着力が生じる。このようにして強力な吸着力でウエーハWを搬送パッド1の保持面10bに引きつけると、保持面10bがウエーハWに接触した状態で、搬送パッド1がウエーハWを吸着保持する。

0025

搬送パッド1が吸着保持したウエーハWを図示しない仮置きテーブルから搬出し、図2に示す保持テーブルT上まで搬送する。図2に示す保持テーブルTは、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなりウエーハWを吸引保持する保持部T1と、保持部T1を支持する枠体T2とを備える。ウエーハWの裏面Wbを吸引保持している搬送パッド1が、ウエーハWの裏面Wbが上側になるようにして、ウエーハWを保持テーブルT上に接触させる。保持部T1は図示しない吸引源に連通しており、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が保持面T1aに伝達されることで、保持テーブルTは保持面T1a上でウエーハWを吸引保持する。また、エア供給源24による搬送パッド1に対するエアの供給を停止させる。または、流量を少なくして搬送パッド1の保持面10b上の吸着力を消失させ、ウエーハWを搬送パッド1の保持面10bから離脱させる。そして、搬送パッド1が、ウエーハWを吸引保持している保持テーブルT上から退避する。

0026

裏面Wbが上側を向いた状態で保持テーブルTにより吸引保持されたウエーハWは、例えば図示しない研削手段によって、裏面Wb側から研削され所定の厚みまで薄化される。研削加工が完了したウエーハWは、保持テーブルTから搬送パッド1によって搬出される。

0027

ウエーハWを保持テーブルTから搬出するに際しては、図2に示す移動手段3が、搬送パッド1を水平方向に移動させて、保持テーブルTにより保持されているウエーハWの裏面Wbと搬送パッド1の保持面10bとが対向し、かつ、ウエーハWの裏面Wbの中心と搬送パッド1の中心とが略合致するように、搬送パッド1をウエーハWの上方に位置付ける。

0028

次いで、移動手段3が、搬送パッド1の保持面10bとウエーハWの裏面Wbとが接触しない程度の高さ位置まで、搬送パッド1を−Z方向に向かって降下させる。そして、エア供給源24が、所定圧力のエアをエア供給路23に供給する。例えば、流量調節部25は、流量調節部25を通過し搬送パッド1に到達しエア噴出口100から噴出し溝101を流れるエアの流量が、第2のエア流量F2より少ない流量の第1のエア流量F1となるように、弁内部の流路が絞られた状態に切り替えられる。そのため、エア供給源24からエア供給路23に供給されたエアは、流量調節部25を通過する際に流量が絞られ、さらに、流路21a及び接続口102を通り、搬送パッド1のエア噴出口100から噴出する。

0029

エア噴出口100から噴射されたエアは、保持面10bに形成された各溝101内を放射方向に向かって直線状に第1のエア流量F1で流通することにより、ベルヌーイ効果によって溝101の両脇の周囲の空気が溝101内部へ引き込まれ、溝101近辺に負圧が生じ、ウエーハWに対する吸着力が生じる。溝101内のエアの流量は、第2のエア流量F2より少ない流量の第1のエア流量F1に調節されているため、ウエーハWと保持面10bとの間に僅かな間隙が形成された状態、すなわち、搬送パッド1が保持面10bで非接触状態でウエーハWを吸着保持する。

0030

搬送パッド1がウエーハWを非接触で吸着保持した後、保持テーブルTによるウエーハWの吸引保持が解除される。さらに、搬送パッド1が+Z方向へと上昇することで、ウエーハWが保持テーブルTから搬出される。移動手段3によって、加工後のウエーハWを非接触で吸着保持した搬送パッド1が水平移動して、加工後のウエーハWが例えばウエーハ洗浄装置等に搬送される。

0031

このように、本発明に係る搬送パッド1は、保持面10bに形成され保持面10bに沿ってエアを噴出するエア噴出口100と、エア噴出口100から噴出されたエアを保持面10bの外周縁に向かって直線状に流す溝101と、を備え、溝101にエアを流すことで溝101の周囲に発生させる負圧の強弱を溝101に流すエアの流量で調整して保持面10bでウエーハWを保持することができるため、エアの流量を調節するだけで、ウエーハWの接触保持と非接触保持とを選択的に行うことができる。

0032

また、本発明に係るウエーハの搬送方法においては、搬送パッド1に、エア噴出口100から噴出させ溝101に流すエアの流量を第1のエア流量F1と第1のエア流量F1より多い流量の第2のエア流量F2とに調節可能な流量調節部25が接続され、搬送パッド1は、保持面10bによりウエーハWを非接触で保持する時には、第1のエア流量F1のエアを溝101に流し、保持面10bにウエーハWを接触させて保持面10bによりウエーハWを保持する時には、第2のエア流量F2のエアを溝101に流すことで、ウエーハWの非接触保持と接触保持とを選択的に行うことができる。すなわち、搬送パッド及びエアが流れる配管経路を変更することなく、エアの流量を調節するだけで搬送パッド1によるウエーハWの接触保持と非接触保持とを選択的に行うことができる。また、搬送パッド1に吸引源を接続させる必要がなくなるため、装置構成を複雑なものとしなくても済むようになる。

0033

なお、本発明に係るウエーハの搬送方法は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている搬送パッド1の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。例えば、反りが有るウエーハ又は表面に凸凹が形成されるウエーハを搬送パッド1により吸着保持する時には第2のエア流量よりも少なく保持面10bがウエーハに接触しない程度の吸着力を生み出す流量のエアを溝101に流し、非接触で吸着保持し、そのウエーハが研削された後は第1のエア流量を溝101に流し、非接触で吸着保持すると言うように、溝101に流すエア流量を変えるが非接触で保持してもよい。

0034

1:搬送パッド10:本体部 10b:保持面 10a:アーム部接続面
100:エア噴出口101:溝 101a:一方の端 101b:溝の他方の端 102:接続口 109:ガイド部
20:アーム部 21:連結部材21a:流路
23:エア供給路24:エア供給源25:流量調節部
3:移動手段
W:ウエーハWa:ウエーハの表面 Wb:ウエーハの裏面
T:保持テーブルT1:吸着部 T1a:保持面 T2:枠体

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