図面 (/)

技術 搬送ロボット

出願人 株式会社ダイヘン
発明者 山田敬也
出願日 2016年8月29日 (4年4ヶ月経過) 出願番号 2016-166404
公開日 2018年3月8日 (2年9ヶ月経過) 公開番号 2018-034211
状態 特許登録済
技術分野 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 特殊目的用コンベヤ マニプレータ
主要キーワード ガイド体側 移動部側 移動方向後方側 移動方向前方側 円弧軌道 複数巻 往復直線移動 直線移動機構
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2018年3月8日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (14)

課題

支持部と移動部とを配線で接続する必要がない搬送ロボットを提供する。

解決手段

搬送ロボットA1において、ガイド体3と、ガイド体3に対して所定の移動経路上を移動可能に支持されており、ワークを載置するためのハンドを有する移動部5A,5Bとを備えた。ガイド体3は、移動経路に沿って延び、移動経路に対して直交する方向(y方向)の磁束を発生させる磁石部33を備えている。移動部5A(5B)は、磁束に鎖交するように配置されたコイル55a(55b)を備えている。磁石部33が発生させる磁束は、移動経路に沿う方向(x方向)の位置によって変化する。

概要

背景

液晶表示パネルの製造等の分野において、ガラス基板等の薄板状のワークを搬送する際に、搬送ロボットが用いられている。搬送ロボットは、例えば液晶パネルの製造工程において、各処理室プロセスチャンバ)へのワークの搬入あるいは搬出用のロボットとして多用されている。

搬送ロボットのうち、水平直線状の移動経路に沿ってハンドを移動させるスライド式機構直線移動機構)をもつものが知られている。このようなハンドを水平直線状に移動させる搬送ロボットは、たとえば特許文献1に開示されている。特許文献1に記載された搬送ロボットは、ガイド体(支持部)に支持された直線状に延びる一対のガイドレール上に移動部を配置し、この移動部をベルト駆動機構により駆動させるように構成されている。ガイド体は、昇降可能かつ旋回可能とされている。この直線移動機構においては、移動部は、ベルト駆動機構からの駆動力を受けて、ガイド体に支持されたガイドレール上を直線移動する。移動部には、ワークを載置するためのハンドが設けられている。ハンドには該ハンド上のワークを検出する検出センサが設けられている。

検出センサと制御部とを接続する配線ガイド体側の配線と移動部側の配線とに分離されており、ハンドがガイド体に対して進出してワークを受け渡す受け渡し位置にあるときと、後退してガイド体が旋回するときの原点位置にあるときに、接続するように構成されている。したがって、ハンドが受け渡し位置にあるときと、原点位置にあるときに、ワークの有無を検出することができる。

概要

支持部と移動部とを配線で接続する必要がない搬送ロボットを提供する。搬送ロボットA1において、ガイド体3と、ガイド体3に対して所定の移動経路上を移動可能に支持されており、ワークを載置するためのハンドを有する移動部5A,5Bとを備えた。ガイド体3は、移動経路に沿って延び、移動経路に対して直交する方向(y方向)の磁束を発生させる磁石部33を備えている。移動部5A(5B)は、磁束に鎖交するように配置されたコイル55a(55b)を備えている。磁石部33が発生させる磁束は、移動経路に沿う方向(x方向)の位置によって変化する。

目的

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、支持部と移動部とを配線で接続する必要がない搬送ロボットを提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

この技術が所属する分野

ライセンス契約や譲渡などの可能性がある特許掲載中! 開放特許随時追加・更新中 詳しくはこちら

請求項1

支持部と、前記支持部に対して所定の移動経路上を移動可能に支持されており、ワークを載置するためのハンドを有する移動部と、を備えており、前記支持部は、前記移動経路に沿って延び、前記移動経路に対して直交する方向の磁束を発生させる磁石部を備え、前記移動部は、前記磁束に鎖交するように配置されたコイルを備え、前記磁石部が発生させる磁束は、前記移動経路に沿う方向の位置によって変化する、ことを特徴とする搬送ロボット

請求項2

前記移動部は、前記コイルに流れる電流整流する整流回路と、前記整流回路から出力される直流電力蓄積する蓄電手段と、をさらに備えている、請求項1に記載の搬送ロボット。

請求項3

前記磁石部は、複数の永久磁石を備えており、前記各永久磁石は、N極とS極とが前記移動経路に直交する方向を向くようにして、前記移動経路に沿う方向に並べて配置されている。請求項1または2に記載の搬送ロボット。

請求項4

前記各永久磁石は、隣接する永久磁石とはN極とS極とが互いに反対側になるように配置されている。請求項3に記載の搬送ロボット。

請求項5

前記各永久磁石は、N極とS極とが水平方向を向くようにして配置されている、請求項3または4に記載の搬送ロボット。

請求項6

前記各永久磁石は、N極とS極とが鉛直方向を向くようにして配置されている、請求項3または4に記載の搬送ロボット。

請求項7

前記支持部は水平直線状のガイドレールを備えており、前記移動部は、前記ガイドレールに支持されて移動する、請求項1ないし6のいずれかに記載の搬送ロボット。

請求項8

複数のアームをさらに備えており、前記移動部は、前記複数のアームが連動してそれぞれ回動することで、水平直線状に移動する、請求項1ないし6のいずれかに記載の搬送ロボット。

請求項9

前記移動部は、前記支持部に対して回動可能に設けられている、請求項1ないし6のいずれかに記載の搬送ロボット。

請求項10

前記移動部は、電力負荷を備えており、前記電力負荷は、前記コイルから出力される電力によって駆動される、請求項1ないし9のいずれかに記載の搬送ロボット。

請求項11

前記電力負荷は、ワークを検出する検出センサと、前記検出センサによる検出結果を送信する通信部である、請求項10に記載の搬送ロボット。

請求項12

前記電力負荷は、ワークを把持する把持機構である、請求項10に記載の搬送ロボット。

請求項13

前記移動部を複数備えている、請求項1ないし12のいずれかに記載の搬送ロボット。

技術分野

0001

本発明は、基板などのワークを搬送する搬送ロボットに関する。

背景技術

0002

液晶表示パネルの製造等の分野において、ガラス基板等の薄板状のワークを搬送する際に、搬送ロボットが用いられている。搬送ロボットは、例えば液晶パネルの製造工程において、各処理室プロセスチャンバ)へのワークの搬入あるいは搬出用のロボットとして多用されている。

0003

搬送ロボットのうち、水平直線状の移動経路に沿ってハンドを移動させるスライド式機構直線移動機構)をもつものが知られている。このようなハンドを水平直線状に移動させる搬送ロボットは、たとえば特許文献1に開示されている。特許文献1に記載された搬送ロボットは、ガイド体(支持部)に支持された直線状に延びる一対のガイドレール上に移動部を配置し、この移動部をベルト駆動機構により駆動させるように構成されている。ガイド体は、昇降可能かつ旋回可能とされている。この直線移動機構においては、移動部は、ベルト駆動機構からの駆動力を受けて、ガイド体に支持されたガイドレール上を直線移動する。移動部には、ワークを載置するためのハンドが設けられている。ハンドには該ハンド上のワークを検出する検出センサが設けられている。

0004

検出センサと制御部とを接続する配線ガイド体側の配線と移動部側の配線とに分離されており、ハンドがガイド体に対して進出してワークを受け渡す受け渡し位置にあるときと、後退してガイド体が旋回するときの原点位置にあるときに、接続するように構成されている。したがって、ハンドが受け渡し位置にあるときと、原点位置にあるときに、ワークの有無を検出することができる。

先行技術

0005

特開2014−65092号公報

発明が解決しようとする課題

0006

しかしながら、ハンドが受け渡し位置または原点位置にあるとき以外は、ワークの有無を検出できないという問題があった。また、各位置で配線が接続されるとき、各配線の端子同士が接触することでパーティクルが発生するという問題があった。一方、検出センサと制御部とを配線で常に接続した状態にすると、配線が内挿されるケーブルベア登録商標)の摺動部においてパーティクルが発生したり、あるいは摺動部が損傷するといった不都合が生じうる。また、ケーブルベア(登録商標)が搬送ロボットの旋回動作等に制約をきたす虞れもある。さらに、配線自体も、屈曲状態繰り返し変化することにより、損傷や断線等の不都合をきたす虞れがある。

0007

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、支持部と移動部とを配線で接続する必要がない搬送ロボットを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0008

本発明の第1の側面によって提供される搬送ロボットは、支持部と、前記支持部に対して所定の移動経路上を移動可能に支持されており、ワークを載置するためのハンドを有する移動部とを備えており、前記支持部は、前記移動経路に沿って延び、前記移動経路に対して直交する方向の磁束を発生させる磁石部を備え、前記移動部は、前記磁束に鎖交するように配置されたコイルを備え、前記磁石部が発生させる磁束は、前記移動経路に沿う方向の位置によって変化することを特徴とする。この構成によると、移動部が移動経路に沿って移動することで、コイルに鎖交する磁束が変化する。したがって、コイルには電磁誘導による誘導電流が流れる。これにより、支持部と移動部とを配線で接続していなくても、移動部に配置される電力負荷電力を供給することができる。

0009

本発明の好ましい実施の形態においては、前記移動部は、前記コイルに流れる電流整流する整流回路と、前記整流回路から出力される直流電力蓄積する蓄電手段とをさらに備えている。この構成によると、コイルが出力する交流電力は、整流回路によって直流電力に変換され、蓄電手段に充電される。したがって、移動部が停止していて発電されない期間にも、蓄電手段に充電された電力を供給することができる。

0010

本発明の好ましい実施の形態においては、前記磁石部は、複数の永久磁石を備えており、前記各永久磁石は、N極とS極とが前記移動経路に直交する方向を向くようにして、前記移動経路に沿う方向に並べて配置されている。この構成によると、移動経路に対して直交する方向の磁束を発生させ、当該磁束を移動経路に沿う方向の位置によって変化するようにできる。

0011

本発明の好ましい実施の形態においては、前記各永久磁石は、隣接する永久磁石とはN極とS極とが互いに反対側になるように配置されている。この構成によると、移動部が移動経路に沿って移動したときの、コイル面に鎖交する磁束の変化が大きくなる。これにより、電磁誘導による誘導起電力を大きくすることができる。

0012

本発明の好ましい実施の形態においては、前記各永久磁石は、N極とS極とが水平方向を向くようにして配置されている。この構成によると、水平方向の磁束を発生させることができる。

0013

本発明の好ましい実施の形態においては、前記各永久磁石は、N極とS極とが鉛直方向を向くようにして配置されている。この構成によると、鉛直方向の磁束を発生させることができる。

0014

本発明の好ましい実施の形態においては、前記支持部は水平直線状のガイドレールを備えており、前記移動部は、前記ガイドレールに支持されて移動する。この構成によると、移動部を水平直線状の移動経路に沿って移動させることができる。

0015

本発明の好ましい実施の形態においては、複数のアームをさらに備えており、前記移動部は、前記複数のアームが連動してそれぞれ回動することで、水平直線状に移動する。この構成によると、移動部を水平直線状の移動経路に沿って移動させることができる。

0016

本発明の好ましい実施の形態においては、前記移動部は、前記支持部に対して回動可能に設けられている。この構成によると、移動部を水平円弧状の移動経路に沿って移動させることができる。

0017

本発明の好ましい実施の形態においては、前記移動部は、電力負荷を備えており、前記電力負荷は、前記コイルから出力される電力によって駆動される。この構成によると、支持部と移動部とを配線で接続していなくても、電力負荷に電力を供給することができる。

0018

本発明の好ましい実施の形態においては、前記電力負荷は、ワークを検出する検出センサと、前記検出センサによる検出結果を送信する通信部である。この構成によると、支持部と移動部とを配線で接続していなくても、検出センサによってワークを検出することができ、通信部によって検出結果を送信することができる。

0019

本発明の好ましい実施の形態においては、前記電力負荷は、ワークを把持する把持機構である。この構成によると、支持部と移動部とを配線で接続していなくても、把持機構によってワークを把持することができる。

0020

本発明の好ましい実施の形態においては、前記移動部を複数備えている。この構成によると、移動部が1つの場合より作業効率を向上することができる。

発明の効果

0021

本発明によると、移動部が移動経路に沿って移動することで、コイルに鎖交する磁束が変化する。したがって、コイルには電磁誘導による誘導電流が流れる。これにより、支持部と移動部とを配線で接続していなくても、移動部に配置される電力負荷に電力を供給することができる。

0022

本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。

図面の簡単な説明

0023

第1実施形態に係る搬送ロボットの全体を示す斜視図である。
第1実施形態に係る搬送ロボットの平面図である。
第1実施形態に係る搬送ロボットの側面図である。
第1実施形態に係る搬送ロボットにおける電力の供給を説明するための図であり、当該搬送ロボットの概略を単純化して示す斜視図である。
磁石部とコイルとの位置関係を示す図である。
第1実施形態に係るコイルの変形例である。
第1実施形態に係る移動部の他の実施例を示す平面図である。
第2実施形態に係る搬送ロボットの概略を単純化して示した図であって、(a)は側面図であり、(b)は平面図であり、(c)は他の実施例を示す平面図である。
第3実施形態に係る搬送ロボットの概略を単純化して示した図であって、(a)は側面図であり、(b)は平面図である。
第4実施形態に係る搬送ロボットの概略を示しており、(a)は平面図であり、(b)は側面図である。
第5実施形態に係る搬送ロボットの概略を示しており、(a)は平面図であり、(b)は側面図である。
第6実施形態に係る搬送ロボットの概略を示しており、(a)は一部を省略した平面図であり、(b)は側面図である。
第7実施形態に係る搬送ロボットの概略を示しており、(a)は一部を省略した平面図であり、(b)は側面図である。

実施例

0024

以下、本発明の好ましい実施の形態を、添付図面を参照して具体的に説明する。

0025

図1図3は、第1実施形態に係る搬送ロボットA1を示している。図1は、搬送ロボットA1の全体を示す斜視図である。図2は、搬送ロボットA1の平面図である。図3は、搬送ロボットA1の側面図である。なお、図3においては、移動部5Aの位置が、図1および図2とは異なっている。

0026

搬送ロボットA1は、例えば液晶表示パネル用のガラス基板等といった薄板状のワークWを搬送するためのロボットである。本実施形態においては、搬送ロボットA1は、真空環境下でワークWの搬送を行う真空ロボットである。また、搬送ロボットA1は、2つのハンドを備えている。図1図3に示すように、搬送ロボットA1は、固定部1、旋回部2、ガイド体3、および、移動部5A,5Bを備えている。図1図3において、移動部5A,5Bが移動する方向であるx方向、水平面内でx方向と直交する方向であるy方向、および、鉛直方向であるz方向で表されるローカル座標系に基づいて説明を行う(以下の図においても同様)。当該ローカル座標系は、旋回部2を基準に設定されており、旋回部2の旋回に応じてx方向およびy方向が回転し、旋回部2の昇降に応じてz方向に平行移動する。

0027

固定部1は、床面に固定されており、旋回部2を昇降移動可能に、かつ、旋回可能に支持している。なお、固定部1は、x方向およびy方向によって規定されるxy平面に平行に移動可能であってもよい。本実施形態においては、固定部1は、有底円筒形状のアルミニウム製であり、上端部にはフランジ部が設けられている。なお、固定部1の形状、寸法、材質は限定されない。

0028

旋回部2は、中空円柱形状のアルミニウム製であり、固定部1の内部に配置されている。なお、旋回部2の形状、寸法、材質は限定されない。旋回部2は、固定部1の開口部から突出するようにして、昇降移動可能に設けられている。また、旋回部2は、固定部1に対して、z方向に延びる旋回軸Os周りに旋回可能に設けられている。旋回部2を昇降移動させるための駆動機構および旋回部2を旋回させるための駆動機構については、図示および説明を省略する。旋回部2は、旋回することでガイド体3の向きを変更して、移動部5A,5Bの移動する方向を変更する。また、旋回部2は、昇降移動することで、ガイド体3の鉛直方向の位置を変更する。

0029

ガイド体3は、アルミニウム製の平面視長矩形状の箱状とされている。なお、ガイド体3の形状、寸法、材質は限定されない。図示しないが、ガイド体3の内部には、移動部5A,5Bを各別に支持するための一対ずつのガイドレール、および、移動部5A,5Bをそれぞれ駆動するためのモータベルトなどを有する各駆動機構が設けられている。また、ガイド体3は、旋回部2に固定されており、旋回部2が旋回することで、これにともなって旋回する。また、旋回部2が昇降移動することで、これにともなって昇降移動する。本実施形態においては、ガイド体3が、本発明の「支持部」に相当する。

0030

移動部5A,5Bは、ガイド体3に対して、x方向に延びる水平直線状の移動経路GLに沿ってスライド可能に設けられている。移動部5Aは、その下部に形成された一対の支持アーム(図示なし)を備えている。当該支持アームは、ガイド体3の上面に形成されたスリット31(図1参照)を貫通しており、ガイド体3の内部に設けられた一方の一対のガイドレールに支持されるとともに、一方の駆動機構のベルトに連結されている。これにより、移動部5Aは、当該ガイドレールに沿って移動する。移動部5Bは、移動部5Aの側方迂回するように形成された一対の支持アーム51を備えている。当該支持アーム51は、ガイド体3の側面に形成されたスリット32(図3参照)を貫通しており、ガイド体3の内部に設けられた他方の一対のガイドレールに支持されるとともに、他方の駆動機構のベルトに連結されている。これにより、移動部5Bは、当該ガイドレールに沿って移動する。したがって、移動部5Aおよび移動部5Bは、互いに独立に、また、互いに接触することなく、移動することができる。

0031

移動部5Aには、ガイド体3の長手方向(x方向)に延びるのハンド53aが、一体的に設けられている。移動部5Bにも同様に、ハンド53bが、一体的に設けられている。これらハンド53a,53bは、薄板状のワークWを水平姿勢で載置するためのものであり、それぞれ2本のホーク状の保持片からなる。本実施形態においては、移動部5A,5Bは、アルミニウム製である。なお、移動部5A,5Bの形状、寸法、材質は限定されない。

0032

ハンド53a,53bの上面には、当該ハンド53a,53b上のワークWを検出するための検出センサ54(図2参照)が設けられている。本実施形態においては、図2に表れているように、検出センサ54は、ハンド53a(53b)を構成する2本の保持片の各々において、基端側に1個、先端側に1個設けられている。すなわち、本実施形態では、ハンド53a,53bには検出センサ54が4個ずつ設けられている。

0033

本実施形態において、検出センサ54は、ハンド53a(53b)上にワークWが載置されていることを検出可能なセンサである。検出センサ54は、たとえば上方に付勢されたレバー式のスイッチ部を有し、ワークWが載置されていないときにはスイッチ部が開く一方、ワークWが載置されると当該ワークWの荷重により当該スイッチ部が閉じるように構成されている。なお、検出センサ54としては、ハンド53a,53b上の所定位置にワークWが載置されていることを検出可能であれば、他の構成のものを採用してもよい。例えば、反射型フォトセンサなどであってもよい。検出センサ54によるワークWの検出信号は、図示しない通信部から図示しない制御装置に、無線通信により送信される。検出センサ54および通信部に電力を供給するための構成については後述する。

0034

図1および図2においては、移動部5A(ハンド53a)が、ガイド体3に対して進出した位置であり、ワークWの受け渡しが可能な受け渡し位置にある状態を示している。一方、図3においては、移動部5A(ハンド53a)が固定部1の上方にある所定の位置(原点位置)にある状態を示している。移動部5A,5Bは、動作をしていないときや、旋回部2が旋回を行うとき、原点位置に位置するように制御される。移動部5A,5Bは、原点位置と受け渡し位置との間で、高速往復直線移動を行い、原点位置と受け渡し位置とで停止した状態となる。なお、図1図3において、移動部5B(ハンド53b)は、原点位置に位置している。

0035

搬送ロボットA1は、旋回部2を旋回させることで移動部5A(ハンド53a)および移動部5B(ハンド53b)の移動する方向(x方向)を変更し、旋回部2を昇降移動させることで移動部5A(ハンド53a)および移動部5B(ハンド53b)の鉛直方向の位置を変更し、移動部5A(ハンド53a)および移動部5B(ハンド53b)をx方向に移動させる。搬送ロボットA1は、これらの各動作によって、プロセスチャンバへのワークの搬入およびプロセスチャンバからのワークの搬出を行う。

0036

次に、搬送ロボットA1における、検出センサ54および通信部への電力の供給について説明する。

0037

搬送ロボットA1は、ガイド体3に磁石を配置し、移動部5A,5Bに発電用のコイルを設けて、移動部5A,5Bがガイド体3に対してスライド移動することで、電磁誘導により電力を発生させる。発生した電力は蓄電手段に充電され、検出センサ54および通信部へ供給される。

0038

図4および図5は、搬送ロボットA1における電力の供給を説明するための図である。図4は、搬送ロボットA1の概略を単純化して示す斜視図である。図4においては、移動部5A、5Bを直方体形状に簡略化しており、移動部5A、5Bのz方向の位置も無視して記載している(図5図8図9においても同様)。また、ガイド体3を、一部を切り取った状態で示している。図5は、磁石部33とコイル55a,55bとの位置関係を示す図であり、(a)はz方向から見たものであり、(b)はy方向からみたものである。

0039

ガイド体3は、磁石部33を備えている。磁石部33は、複数の永久磁石が配置されたものであり、x方向に延びる直方体形状をなしている。図5に示すように、各永久磁石は、N極とS極とがy方向を向くようにして並列に、x方向に多数配置されている。また、各永久磁石は、隣接する永久磁石とはN極とS極とが互いに反対側になるように配置されている。本実施形態においては、各永久磁石をx方向に間隔を空けて配置しているが、間隔を空けずに接触させて配置しても構わない。図4に示すように、磁石部33は、ガイド体3の内部に固定されている。磁石部33は、y方向に直交する面である磁束発生面33a,33bを備えている。磁束発生面33a,33bは、y方向の磁束を発生させる面である。本実施形態においては、図4における手前側の面を磁束発生面33aとし、磁束発生面33aの反対側の面を磁束発生面33bとしている。図5(a)の磁力線破線矢印参照)で示すように、磁束発生面33a,33bにおいては、x方向に沿って、磁束の方向が交互に入れ替わっている。

0040

移動部5Aは、コイル55a、直流電源回路56、蓄電手段57、通信部58、制御部59、および、検出センサ54を備えている。直流電源回路56、蓄電手段57、通信部58および制御部59は、移動部5Aの内部に配置されている。

0041

コイル55aは、移動部5Aの下方に、コイル面が磁束発生面33aに対向するように配置されている。コイル55aは、移動部5Aの移動にともなってx方向に移動する(図5に示す実線矢印参照)。当該移動により、コイル面に鎖交する磁束が変化するので、電磁誘導によって、コイル55aには誘導電流が流れ、コイル55aの端子間には誘導起電力が発生する。磁束発生面33aの磁束はx方向に沿って方向が交互に入れ替わるので、コイル55aに鎖交する磁束およびその方向が変化し、コイル55aは、交流電力を出力する。

0042

本実施形態においては、コイル55aは、巻き線複数巻回された円筒形状のコイル(コイル面に直交する方向に積み上げるように巻き線が巻かれているコイル、いわゆるソレノイドコイル)である。なお、コイル55aの形状および巻き数は限定されない。例えば、巻き数が1のコイルであってもよい。また、例えば、図6(a)に示すように、円形渦巻き状のコイル(コイル面と同じ面上で巻き線が巻かれているコイル)としてもよい。この場合、コイル55aの厚さ(y方向の寸法)を大きくすることなく、コイル55aの誘導起電力を大きくすることができる。また、図6(b)に示すように、矩形の筒形状のコイルとしてもよいし、図6(c)に示すように、矩形の渦巻き状のコイルとしてもよい。

0043

直流電源回路56は、コイル55aから入力される交流電力を直流電力に変換して、蓄電手段57に出力する。直流電源回路56は、図示しない整流回路、平滑回路、および、DC/DCコンバータ回路を備えている。整流回路は、例えば、4つのダイオードブリッジ接続した全波整流回路であり、入力される交流電圧を整流し、直流電圧として、平滑回路に出力する。平滑回路は、整流回路から入力される直流電圧を平滑して、DC/DCコンバータ回路に出力する。DC/DCコンバータ回路は、平滑回路から入力される直流電圧を所定の電圧に変換して、蓄電手段57に出力する。なお、直流電源回路56の構成は限定されず、交流電力を直流電力に変換するものであればよい。本実施形態においては、直流電源回路56が、本発明の「整流回路」に相当する。

0044

蓄電手段57は、直流電源回路56から入力される直流電力を蓄積するものであり、本実施形態ではキャパシタである。なお、リチウムイオン電池などの二次電池としてもよい。蓄電手段57は、移動部5Aの移動により発電された電力を充電する。これにより、移動部5Aが停止していて発電されない期間にも、検出センサ54などに電力を供給することができる。蓄電手段57は、通信部58、制御部59および検出センサ54に電力を供給する。

0045

検出センサ54は、ワークWの有無を検出し、検出信号を制御部59に出力する、制御部59は、検出センサ54から入力される検出信号を、通信部58に出力して、通信部58に送信させる。通信部58は、無線通信によって、制御装置8に検出信号を送信する。

0046

制御装置8は、搬送ロボットA1の制御を行うものであり、予め設定されたプログラムと、入力される各種信号に基づいて、搬送ロボットA1の各部を動作させる。通信部58から送信されて、通信部81によって受信された検出信号は、制御部82に入力されて、制御に用いられる。制御装置8は、固定部1に内蔵されていてもよいし、固定部1にケーブルで接続されていてもよい。また、通信部81は、ガイド体3に内蔵されて、制御装置8にケーブルで接続されていてもよい。

0047

移動部5Bは、コイル55b、直流電源回路56、蓄電手段57、通信部58、制御部59、および、検出センサ54を備えている。図4においては記載を省略しているが、直流電源回路56、蓄電手段57、通信部58および制御部59は、移動部5Bの内部に配置されている。

0048

コイル55bは、移動部5Bの下方に、コイル面が磁束発生面33bに対向するように配置されている。つまり、コイル55bは、磁石部33を挟んで、コイル55aとは反対側に配置されている。なお、コイル55bもコイル面が磁束発生面33aに対向するように、すなわち、コイル55aと同じ側に配置するようにしてもよい。この場合、移動部5A,5Bの移動によって、コイル55aとコイル55bとが接触しないように配置する必要がある。コイル55bは、移動部5Bの移動にともなってx方向に移動する(図5に示す実線矢印参照)。当該移動により、コイル面に鎖交する磁束が変化するので、電磁誘導によって、コイル55bには誘導電流が流れ、コイル55bの端子間には誘導起電力が発生する。磁束発生面33bの磁束はx方向に沿って方向が交互に入れ替わるので、コイル55bに鎖交する磁束およびその方向が変化し、コイル55bは、交流電力を出力する。コイル55bは、コイル55aと同様、巻き線が複数巻回された円筒形状のコイルである。

0049

移動部5Bの直流電源回路56、蓄電手段57、通信部58、制御部59、および、検出センサ54は、移動部5Aのものと同様である。

0050

次に、本実施形態に係る搬送ロボットA1の作用および効果について説明する。

0051

本実施形態によると、移動部5A(5B)が移動経路GLに沿って移動することで、コイル55a(55b)のコイル面に鎖交する磁束が変化する。これにより、コイル55a(55b)には電磁誘導による誘導電流が流れ、コイル55a(55b)は交流電力を出力することができる。したがって、ガイド体3と移動部5A(5B)とを配線で接続していなくても、移動部5A(5B)に配置される検出センサ54などに電力を供給することができる。よって、ガイド体3と移動部5A(5B)とを配線で接続することによる不都合を解消することができる。

0052

また、本実施形態によると、コイル55a(55b)が出力する交流電力は、直流電源回路56によって直流電力に変換され、蓄電手段57に充電される。したがって、移動部5A(5B)が停止していて発電されない期間にも、検出センサ54などに電力を供給することができる。

0053

本実施形態によると、磁石部33が備える各永久磁石は、隣接する永久磁石とはN極とS極とが互いに反対側になるように配置されている。したがって、移動部5A(5B)が移動経路GLに沿って移動したときの、コイル55a(55b)のコイル面に鎖交する磁束の変化が大きくなる。これにより、電磁誘導による誘導起電力を大きくすることができる。

0054

本実施形態によると、2つの移動部5A(5B)を備えている。したがって、移動部が1つの場合より作業効率を向上することができる。

0055

なお、上記第1実施形態においては、磁石部33の磁束発生面33a(33b)の磁束の向きがx方向の位置によって変化する場合について説明したが、これに限られない。例えば、磁石部33が備える各永久磁石のN極とS極とが同じ向きになるように配置して、磁束の向きが変化しない(常に同じ向きである)ようにしてもよい。この場合でも、各永久磁石の間隔を空けていれば、移動部5A(5B)の移動によって、コイル55a(55b)のコイル面に鎖交する磁束が変化するので、コイル55a(55b)は交流電力を出力することができる。

0056

上記第1実施形態においては、磁石部33が備える磁石が永久磁石である場合について説明したが、これに限られない。磁石部33が備える磁石は、例えば電磁石であってもよい。この場合、移動部5A(5B)が移動するときだけ、磁束を発生させればよい。

0057

上記第1実施形態においては、2つの移動部5A,5Bを備えている場合について説明したが、これに限られない。移動部は1つだけであってもよいし、3つ以上備えていてもよい。多い方が、作業効率を向上することができる。一方、少ない方が、構造を簡単にすることができる。

0058

上記第1実施形態においては、ハンド53a(53b)に検出センサ54を設ける場合について説明したが、これに限られない。その他の電力負荷を設けるようにしてもよい。例えば、ハンド53a(53b)に把持機構を備えるようにしてもよい。

0059

図7は、把持機構を説明するための図であり、移動部5Aを示す平面図である。図7に示すように、把持機構は、係止部52a、当接部52b、および、図示しない駆動機構を備えている。係止部52aは、ハンド53aの上面の先端部(移動部5Aの移動方向(x方向)前方側)に、固定されており、ワークWの縁(移動部5Aの移動方向前方側の縁)を係止する。本実施形態においては、係止部52aは各ハンド53aに1つずつ設けられている。当接部52bは、ハンド53aの上面の基端部(移動部5Aの移動方向後方側)に、x方向に移動可能に設けられている。当接部52bは、駆動機構によって、ワークW側に移動させられて、ワークWの縁(係止部52aによって係止させられている縁とは反対側の縁)に当接する。本実施形態においては、当接部52bは各ハンド53aに1つずつ設けられている。駆動機構は当接部52bを移動させるものである。当接部52bは、駆動機構がオフのとき、バネなどによって、移動部5Aの移動方向後方側に移動させられている(図7の破線で示す当接部52b参照)。そして、当接部52bは、駆動機構がオンになると、移動部5Aの移動方向前方側に移動させられて、ワークWの縁に当接して、係止部52aとの間でワークWを把持する(図7実線で示す当接部52b参照)。なお、係止部52aおよび当接部52bの数、形状および配置場所は限定されない。また、把持機構は、他の構成であってもよい。例えば、静電チャックなどであってもよい。

0060

この場合でも、ガイド体3と移動部5Aとを配線で接続していなくても、蓄電手段57から把持機構(駆動機構)に電力を供給することができる。

0061

上記第1実施形態においては、蓄電手段57を備えている場合について説明したが、これに限られない。例えば、移動部5A(5B)が移動するときにのみワークWを把持すればよいのであれば、移動部5A(5B)が停止している間は電力を供給する必要がない。したがって、この場合は、蓄電手段57を備えていなくてもよい。ただし、移動部5A(5B)が停止している間も電力を供給する必要があるのであれば、蓄電手段57を備える必要がある。

0062

上記第1実施形態においては、磁石部33のy方向に直交する面が磁束発生面33a,33bである場合について説明したが、これに限られない。磁石部33のz方向に直交する面が磁束発生面33a,33bである場合について、第2実施形態として、以下に説明する。

0063

図8(a),(b)は、第2実施形態に係る搬送ロボットA2の概略を単純化して示した図である。図8(a)は側面図であり、図8(b)は平面図である。図8(a),(b)において、第1実施形態に係る搬送ロボットA1(図1図4参照)と同一または類似の要素には、同一の符号を付している。図8(a),(b)に示すように、搬送ロボットA2は、磁石部33のz方向に直交する面が磁束発生面33a,33bである点で、第1実施形態に係る搬送ロボットA1と異なる。

0064

磁石部33に配置された各永久磁石は、N極とS極とがz方向を向くようにして配置されており、磁束発生面33a,33bは、z方向の磁束を発生させる。本実施形態においては、図8(a)における上側の面を磁束発生面33aとし、磁束発生面33aの反対側の面を磁束発生面33bとしている。

0065

コイル55aは、移動部5Aの下方に、コイル面が磁束発生面33aに対向するように(つまり、水平になるように)配置されている。また、コイル55bは、移動部5Bの下方に、磁石部33の側方を迂回するようにして(図8(a)においては磁石部33の向う側(紙面裏側)に迂回している)、コイル面が磁束発生面33bに対向するように(つまり、水平になるように)配置されている。

0066

第2実施形態においても、コイル55a(55b)が移動部5A(5B)の移動にともなってx方向に移動し、当該移動に応じて、コイル55a(55b)のコイル面に鎖交する磁束が変化する。これにより、コイル55a(55b)は、電磁誘導によって、交流電力を出力することができる。したがって、第2実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。

0067

なお、コイル55bもコイル面が磁束発生面33aに対向するように、すなわち、コイル55aと同じ側に配置するようにしてもよい。この場合、移動部5A,5Bの移動によって、コイル55aとコイル55bとが接触しないように配置する必要がある。また、図8(c)に示すように、磁石部33を2つ配置して、コイル55aはコイル面が一方の磁石部33の磁束発生面33aに対向するように配置し、コイル55bはコイル面が他方の磁石部33の磁束発生面33bに対向するように配置してもよい。

0068

上記第1および第2実施形態においては、磁石部33がガイド体3の内部に配置されている場合について説明したが、これに限られない。磁石部33は、ガイド体3の外部に配置されていてもよい。磁石部33が、ガイド体3の側面に配置されている場合について、第3実施形態として、以下に説明する。

0069

図9は、第3実施形態に係る搬送ロボットA3の概略を単純化して示した図である。図9(a)は側面図であり、図9(b)は平面図である。図9において、第1実施形態に係る搬送ロボットA1(図1図4参照)と同一または類似の要素には、同一の符号を付している。図9に示すように、搬送ロボットA3は、ガイド体3の側面(y方向に直交する面)にそれぞれ磁石部33が配置されている点で、第1実施形態に係る搬送ロボットA1と異なる。

0070

一方の磁石部33は、ガイド体3の一方の側面(図9(b)における下側の面)に、磁束発生面33aがガイド体3とは反対側を向くように配置されている。他方の磁石部33は、ガイド体3の他方の側面(図9(b)における上側の面)に、磁束発生面33bがガイド体3とは反対側を向くように配置されている。

0071

コイル55aは、移動部5Aの下方に、コイル面が磁束発生面33aに対向するように配置されている。また、コイル55bは、移動部5Bの下方に、コイル面が磁束発生面33bに対向するように配置されている。

0072

第3実施形態においても、コイル55a(55b)が移動部5A(5B)の移動にともなってx方向に移動し、当該移動に応じて、コイル55a(55b)のコイル面に鎖交する磁束が変化する。これにより、コイル55a(55b)は、電磁誘導によって、交流電力を出力することができる。したがって、第3実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。

0073

なお、磁石部33をガイド体3の一方の側面にのみ配置し、コイル55aおよびコイル55bを同じ磁石部33の同じ磁束発生面33aに対向するように配置してもよい。この場合、移動部5A,5Bの移動によって、コイル55aとコイル55bとが接触しないように配置する必要がある。また、磁石部33をガイド体3の上面または下面に配置するようにしてもよい。これらの場合も、磁石部33の磁束発生面33a(33b)の向きに応じて、コイル55a(55b)を、コイル面が磁束発生面33a(33b)に対向するように配置すればよい。

0074

上記第1ないし第3実施形態においては、移動部5A,5Bがガイドレールに支持されてスライド式に直線移動する場合について説明したが、これに限られない。本発明は、例えば、複数のアームをそれぞれ回動させることで、ハンドを直線移動させる水平多関節型の搬送ロボットにも適用することができる。本発明を水平多関節型の搬送ロボットに適用した場合について、第4実施形態として、以下に説明する。

0075

図10は、第4実施形態に係る搬送ロボットA4の概略を示している。図10(a)は、搬送ロボットA4の平面図である。図10(b)は、搬送ロボットA4の側面図であり、図10(a)において右側の側面を見た図を示している。図10において、第1実施形態に係る搬送ロボットA1(図1図4参照)と同一または類似の要素には、同一の符号を付している。図10に示すように、搬送ロボットA4は、水平多関節型の搬送ロボットである点で、第1実施形態に係る搬送ロボットA1と異なる。

0076

図10に示すように、搬送ロボットA4は、固定部1、旋回部2、第1アーム6、第2アーム7、および、ハンド5を備えている。図10におけるローカル座標系は図1に示すものと同様であり、ハンド5が移動する方向をx方向としている。

0077

固定部1および旋回部2は、第1実施形態に係る固定部1および旋回部2と同様のものである。第1アーム6は、旋回部2に対して、z方向に延びる回動軸O1周りに回動可能に設けられている。第1アーム6の回動軸O1は、旋回軸Osに一致している(図10(b)参照)。第2アーム7は、第1アーム6に対して、z方向に延びる回動軸O2周りに回動可能に設けられている。回動軸O2は、第1アーム6の先端側に配置されている。ハンド5は、第2アーム7に対して、z方向に延びる回動軸O3周りに回動可能に設けられている。回動軸O3は、第2アーム7の先端側に配置されている。第1アーム6、第2アーム7およびハンド5を回動させるための駆動機構については、図示および説明を省略する。第1アーム6、第2アーム7およびハンド5がそれぞれ連動して回動することで、ハンド5は、x方向に延びる水平直線状の移動経路GLに沿って移動する(図10(a)の矢印参照)。第1アーム6、第2アーム7およびハンド5は、ある程度の強度が必要であり、軽量であることが望ましいので、本実施形態においては、いずれもアルミニウム製としている。なお、これらの形状、寸法、材質は限定されない。

0078

ハンド5は、動作をしていないときや、旋回部2が旋回するときには、旋回部2の上方の所定の位置である原点位置に位置している。図10(a)に実線で示すハンド5、第1アーム6および第2アーム7は、ハンド5が原点位置にある状態を示している。一方、図10(a)に破線で示すハンド5、第1アーム6および第2アーム7は、ハンド5がワークWの受け渡しが可能な受け渡し位置にある状態を示している。ハンド5は、原点位置と受け渡し位置との間で、高速に往復直線移動を行い、原点位置と受け渡し位置とで停止した状態となる。

0079

旋回部2の上方には、磁石部33が配置されている。磁石部33は、長手方向がハンド5の移動方向(x方向)に一致するように、旋回部2の上面に、磁石支持部34によって固定されている。磁石部33および磁石支持部34は、ハンド5、第1アーム6および第2アーム7に接触しないように配置されている。本実施形態においては、図10(b)における左側の面を磁束発生面33aとしている。なお、磁石部33の長手方向の寸法は限定されない。ハンド5の移動距離がより長い場合は、ハンド5の移動範囲に合わせて、磁石部33の長手方向の寸法を大きくしてもよい。また、検出センサ54などに供給する電力を十分まかなえるのであれば、磁石部33の長手方向の寸法をもっと短くしてもよい。

0080

ハンド5は、コイル55を備えている。コイル55は、第1実施形態に係るコイル55a(55b)と同様のものである。コイル55は、ハンド5の下方に、コイル面が磁束発生面33aに対向するように配置されている。また、図示しないが、第1実施形態と同様に、ハンド5は、直流電源回路56、蓄電手段57、通信部58、制御部59、および、検出センサ54を備えている。直流電源回路56、蓄電手段57、通信部58および制御部59は、ハンド5の内部に配置されている。検出センサ54は、ハンド5の上面に配置されている。本実施形態においては、旋回部2が本発明の「支持部」に相当し、ハンド5が、本発明の「移動部」に相当する。

0081

第4実施形態においても、コイル55がハンド5の移動にともなってx方向に移動し、当該移動に応じて、コイル55のコイル面に鎖交する磁束が変化する。これにより、コイル55は、電磁誘導によって、交流電力を出力することができる。したがって、第4実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。

0082

なお、第4実施形態においては、ハンド5を1つだけ備えている場合について説明したが、これに限られない。例えば、第1アーム6、第2アーム7およびハンド5をもう一組追加して、ハンド5を2つ備えるようにしてもよい。この場合、互いに接触しない構造にする必要がある。ハンド5を2つ備える場合は、構造が複雑になるが、作業効率を向上することができる。

0083

上記第4実施形態においては、磁石部33のy方向に直交する面が磁束発生面33aである場合について説明したが、これに限られない。磁石部33のz方向に直交する面が磁束発生面33aである場合について、第5実施形態として、以下に説明する。

0084

図11は、第5実施形態に係る搬送ロボットA5の概略を示している。図11(a)は、搬送ロボットA5の平面図である。図11(b)は、搬送ロボットA5の側面図である。図11において、第4実施形態に係る搬送ロボットA4(図10参照)と同一または類似の要素には、同一の符号を付している。図11に示すように、搬送ロボットA5は、磁石部33のz方向に直交する面が磁束発生面33aである点で、第4実施形態に係る搬送ロボットA4と異なる。

0085

磁石部33は、磁束発生面33aから、z方向の磁束を発生させる。コイル55は、ハンド5の下方に、コイル面が磁束発生面33aに対向するように(つまり、水平になるように)配置されている。

0086

第5実施形態においても、コイル55がハンド5の移動にともなってx方向に移動し、当該移動に応じて、コイル55のコイル面に鎖交する磁束が変化する。これにより、コイル55は、電磁誘導によって、交流電力を出力することができる。したがって、第5実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。

0087

上記第4および第5実施形態においては、コイル55をハンド5に配置して、コイル55をハンド5とともに直線移動させる場合について説明したが、これに限られない。例えば、コイル55を円弧軌道上を移動させる場合について、第6実施形態として、以下に説明する。

0088

図12は、第6実施形態に係る搬送ロボットA6の概略を示している。図12(a)は、搬送ロボットA6の一部(第2アーム7およびハンド5)を省略した平面図である。図12(b)は、搬送ロボットA6の側面図である。図12において、第4実施形態に係る搬送ロボットA4(図10参照)と同一または類似の要素には、同一の符号を付している。図12に示すように、搬送ロボットA6は、磁石部33が固定部1の上面に配置され、コイル55が第1アーム6の下面に配置されている点で、第4実施形態に係る搬送ロボットA4と異なる。

0089

固定部1の上面(第1アーム6に対向する面)には、固定部1の周方向の全周にわたって円弧状に延びているドーナツ状の磁石部33が配置されている。磁石部33に配置された各永久磁石は、N極とS極とがz方向を向くようにして配置されており、磁束発生面33aは、z方向の磁束を発生させる。

0090

第1アーム6の下方には、コイル55が、コイル面が磁束発生面33aに対向するように配置されている。なお、第1アーム6の下面に絶縁シートを配置し、当該絶縁シートの下面にコイル55を配置するようにしてもよい。第1アーム6が磁束を通過させる素材であれば、コイル55を第1アーム6の内部に配置するようにしてもよい。

0091

図示しないが、コイル55は、ハンド5の内部に配置された直流電源回路56に接続している。コイル55と直流電源回路56とを接続する配線は、第1アーム6および第2アーム7の内部に配置されている。なお、直流電源回路56、蓄電手段57、通信部58および制御部59を第1アーム6内に配置し、ハンドに配置された検出センサ54と直流電源回路56とを配線で接続するようにしてもよい。

0092

搬送ロボットA6は、ハンド5をx方向に移動させるとき、第1アーム6を旋回部2に対して回動軸O1周りに回動させる。また、搬送ロボットA6は、ハンド5の移動方向(x方向)を変更するとき、旋回部2を固定部1に対して旋回軸Os周りに旋回させる。このとき、第1アーム6は、旋回部2の旋回にともなって、旋回軸Os周りに回動する。つまり、これらの動作を行う場合、第1アーム6は、旋回軸Os(回動軸O1)を中心とする水平円弧状の移動経路を移動する。本実施形態においては、固定部1が本発明の「支持部」に相当し、第1アーム6が、本発明の「移動部」に相当する。

0093

第6実施形態においては、コイル55が第1アーム6の移動にともなって水平円弧状の移動経路を移動し、当該移動に応じて、コイル55のコイル面に鎖交する磁束が変化する。これにより、コイル55は、電磁誘導によって、交流電力を出力することができる。したがって、第6実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。

0094

なお、第6実施形態においては、磁石部33を、固定部1の周方向の全周にわたって延びるドーナツ状としているが、ハンド5のx方向への移動および旋回部2の旋回によっても、コイル55が位置することがない領域には、磁石部33が配置されていなくてもよい。

0095

上記第6実施形態においては、磁石部33を固定部1の上面に備えている場合について説明したが、これに限られない。例えば、磁石部33を固定部1の側面に備えるようにしてもよい。磁石部33を固定部1のフランジ部の側面に備えた場合を、第7実施形態として、以下に説明する。

0096

図13は、第7実施形態に係る搬送ロボットA7の概略を示している。図13(a)は、搬送ロボットA7の一部(第2アーム7およびハンド5)を省略した平面図である。図13(b)は、搬送ロボットA7の側面図である。図13において、第6実施形態に係る搬送ロボットA6(図12参照)と同一または類似の要素には、同一の符号を付している。図13に示すように、搬送ロボットA7は、磁石部33が固定部1のフランジ部の側面に配置されている点で、第6実施形態に係る搬送ロボットA6と異なる。

0097

磁石部33は、フランジ部の側面に、周方向に沿って、全周にわたって延びており、旋回軸Os(回動軸O1)を中心軸とする円筒形状になっている。磁石部33に配置された各永久磁石は、N極とS極とが径方向を向くようにして配置されており、外周面である磁束発生面33aは、当該径方向の磁束を発生させる。

0098

コイル55は、第1アーム6の下方に、コイル面が磁束発生面33aに対向するように配置されている。

0099

第7実施形態においても、コイル55が第1アーム6の移動にともなって水平円弧状の移動経路を移動し、当該移動に応じて、コイル55のコイル面に鎖交する磁束が変化する。これにより、コイル55は、電磁誘導によって、交流電力を出力することができる。したがって、第7実施形態においても、第1実施形態と同様の効果を奏することができる。

0100

なお、旋回部2の昇降移動によって、コイル55のコイル面に鎖交する磁束が大きく変化することを抑制するために、磁石部33のz方向の寸法を大きくしてもよい。また、コイル55のz方向の寸法を大きくしてもよい。

0101

上記第1〜7実施形態においては、搬送ロボットA1〜A7が矩形状のワークWを搬送する場合について説明したが、これに限られない。ワークWは、半導体基板などの円形状のワークであってもよい。

0102

上記第1〜7実施形態においては、搬送ロボットA1〜A7が真空環境下で使用される真空ロボットである場合について説明したが、これに限られない。本発明は、大気環境下で使用される大気ロボットにおいても適用することができる。

0103

本発明に係る搬送ロボットは、上述した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る搬送ロボットの各部の具体的な構成は、種々に設計変更自在である。

0104

A1,A2,A3,A4,A5,A6,A7:搬送ロボット
1 :固定部(支持部)
2 :旋回部(支持部)
3 :ガイド体(支持部)
31 :スリット
32 :スリット
33 :磁石部
33a,33b :磁束発生面
34 :磁石支持部
5A,5B :移動部
5 :ハンド(移動部)
51 :支持アーム
52a :係止部(把持機構)
52b :当接部(把持機構、電力負荷)
53a,53b :ハンド
54 :検出センサ(電力負荷)
55a,55b,55 :コイル
56 :直流電源回路(整流回路)
57 :蓄電手段
58 :通信部(電力負荷)
59 :制御部
6 :第1アーム(移動部)
7 :第2アーム
8 :制御装置
81 :通信部
82 :制御部
GL :移動経路
Os :旋回軸
O1,O2 :回動軸
W :ワーク

ページトップへ

この技術を出願した法人

この技術を発明した人物

ページトップへ

関連する挑戦したい社会課題

関連する公募課題

該当するデータがありません

ページトップへ

技術視点だけで見ていませんか?

この技術の活用可能性がある分野

分野別動向を把握したい方- 事業化視点で見る -

(分野番号表示ON)※整理標準化データをもとに当社作成

ページトップへ

おススメ サービス

おススメ astavisionコンテンツ

新着 最近 公開された関連が強い技術

この 技術と関連性が強い人物

関連性が強い人物一覧

この 技術と関連する社会課題

関連する挑戦したい社会課題一覧

この 技術と関連する公募課題

該当するデータがありません

astavision 新着記事

サイト情報について

本サービスは、国が公開している情報(公開特許公報、特許整理標準化データ等)を元に構成されています。出典元のデータには一部間違いやノイズがあり、情報の正確さについては保証致しかねます。また一時的に、各データの収録範囲や更新周期によって、一部の情報が正しく表示されないことがございます。当サイトの情報を元にした諸問題、不利益等について当方は何ら責任を負いかねることを予めご承知おきのほど宜しくお願い申し上げます。

主たる情報の出典

特許情報…特許整理標準化データ(XML編)、公開特許公報、特許公報、審決公報、Patent Map Guidance System データ