図面 (/)

技術 封じ込め装置

出願人 ヤマト科学株式会社
発明者 本間浩幸橘田秀政斉藤哲夫
出願日 2016年7月20日 (4年5ヶ月経過) 出願番号 2016-142156
公開日 2018年1月25日 (2年11ヶ月経過) 公開番号 2018-013278
状態 特許登録済
技術分野 ガス中の分散粒子の濾過 空気流制御部材 換気3 固体の乾燥
主要キーワード 空気給気 封じ込め装置 真空圧状態 環境気圧 真空引きライン 排気スイッチ ハザード物質 箱部材
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2018年1月25日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (16)

課題

作業者開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる封じ込め装置を提供する。

解決手段

封じ込め装置としての真空乾燥機1は、処理物MDが処理空間SP内に配置される載置部370を有する本体部2と、本体部2の開口部2Hを開閉可能に閉鎖する開閉扉3と、処理空間SPの内部の雰囲気の空気を、排気経路20を通じて本体部2の外部に排気する排気ファン16と、排気ファン16を起動させる制御部100を備え、開閉扉3が開けられる前には、制御部100は排気ファン16を起動することで、処理空間SP内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間SP内の空気が排気される。

概要

背景

封じ込め装置としての乾燥機は、槽内に加熱処理物を収容して加熱処理するのに用いられる。この種の乾燥機であるオーブンが、特許文献1に開示されている。乾燥機の槽は箱型に作られており、開閉扉を有し、槽内の雰囲気ヒータにより加熱される構造である。

作業者は、この扉を開けて槽内に加熱処理物を配置して、その後この扉を閉じて槽内の加熱処理物を加熱した後、再び扉を開けて加熱処理済みの加熱処理物を取り出すようになっている。

概要

作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる封じ込め装置を提供する。封じ込め装置としての真空乾燥機1は、処理物MDが処理空間SP内に配置される載置部370を有する本体部2と、本体部2の開口部2Hを開閉可能に閉鎖する開閉扉3と、処理空間SPの内部の雰囲気の空気を、排気経路20を通じて本体部2の外部に排気する排気ファン16と、排気ファン16を起動させる制御部100を備え、開閉扉3が開けられる前には、制御部100は排気ファン16を起動することで、処理空間SP内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間SP内の空気が排気される。

目的

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる封じ込め装置を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

この技術が所属する分野

(分野番号表示ON)※整理標準化データをもとに当社作成

ライセンス契約や譲渡などの可能性がある特許掲載中! 開放特許随時追加・更新中 詳しくはこちら

請求項1

処理物を封じ込めて処理するための封じ込め装置であって、前記処理物を収容してするための処理空間内に配置されて前記処理物が配置される載置部を有する本体部と、前記本体部を開閉可能に閉鎖する開閉扉と、前記処理空間の内部の雰囲気の空気を、排気経路を通じて前記本体部の外部に排気する排気ファンと、前記排気ファンを起動させる制御部と、を備え、前記開閉扉が開けられる前には、前記制御部が前記排気ファンを起動することで、前記処理空間内の圧力が陰圧またはゼロになるように、前記処理空間内の空気が排気されることを特徴とする封じ込め装置。

請求項2

前記開閉扉が開けられる前に前記処理空間内に飛散している物質は、前記開閉扉を開けたときには、すでに前記空気とともに前記処理空間内から排気されていることを特徴とする請求項1記載の封じ込め装置。

請求項3

前記制御部は、前記処理物を処理後に、前記排気ファンを、予め定めた所定時間動作させることを特徴とする請求項1または2に記載の封じ込め装置。

請求項4

前記処理空間内の天井部には、外部から空気を供給する空気供給部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の封じ込め装置。

請求項5

前記処理空間で前記処理物が真空状態下で加熱される真空乾燥機であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の封じ込め装置。

請求項6

前記処理空間で前記処理物が大気圧状態下で加熱される乾燥機であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の封じ込め装置。

請求項7

前記排気ファンは、HEPAフィルタを備え、使用後の前記HEPAフィルタは、バッグに収容された状態で前記排気経路から取り外されることで、前記排気経路より前記本体部内排出物が外部に飛散されない構成であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の封じ込め装置。

技術分野

0001

本発明は、例えば加熱処理物を加熱する乾燥機のような、処理物を封じ込めて処理するための封じ込め装置に関する。

背景技術

0002

封じ込め装置としての乾燥機は、槽内に加熱処理物を収容して加熱処理するのに用いられる。この種の乾燥機であるオーブンが、特許文献1に開示されている。乾燥機の槽は箱型に作られており、開閉扉を有し、槽内の雰囲気ヒータにより加熱される構造である。

0003

作業者は、この扉を開けて槽内に加熱処理物を配置して、その後この扉を閉じて槽内の加熱処理物を加熱した後、再び扉を開けて加熱処理済みの加熱処理物を取り出すようになっている。

先行技術

0004

特開2007−271126号公報

発明が解決しようとする課題

0005

ところで、特許文献1に記載の乾燥機は、再び開閉扉を開けて加熱処理した加熱処理物を取り出す際に、槽内の雰囲気には加熱処理物を加熱処理した際に発生する粉体有機溶剤等のハザード物質が含まれていることがある。作業者が開閉扉を開けた際に、このハザード物質が庫外漏れ出てしまうおそれがある。

0006

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる封じ込め装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

0007

上記課題を達成するため、請求項1に記載の封じ込め装置は、処理物を封じ込めて処理するための封じ込め装置であって、前記処理物を収容してするための処理空間内に配置されて前記処理物が配置される載置部を有する本体部と、前記本体部を開閉可能に閉鎖する開閉扉と、前記処理空間の内部の雰囲気の空気を、排気経路を通じて前記本体部の外部に排気する排気ファンと、前記排気ファンを起動させる制御部と、を備え、前記開閉扉が開けられる前には、前記制御部が前記排気ファンを起動することで、前記処理空間内の圧力が陰圧またはゼロになるように、前記処理空間内の空気が排気されることを特徴とする。

0008

請求項1の封じ込め装置では、開閉扉が開けられる前に、処理空間内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間内の空気が排気される。このため、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気の空気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができる。処理空間の雰囲気の空気に含まれる粉体や有機溶剤等の有毒物質等が作業者に曝露しない。

0009

請求項2の封じ込め装置では、前記開閉扉が開けられる前に前記処理空間内に飛散している物質は、前記開閉扉を開けたときには、すでに前記空気とともに前記処理空間内から排気されていることを特徴とする。

0010

請求項2の封じ込め装置では、開閉扉が開けられる前では、有毒物質のような物質が、処理空間内に飛散していても、作業者がこの開閉扉を開けたときには、すでにこのような物質は空気とともに排気されてしまっている。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができる。

0011

請求項3の封じ込め装置では、前記制御部は、前記処理物を処理後に、前記排気ファンを、予め定めた所定時間動作させることを特徴とする。

0012

請求項3の封じ込め装置では、制御部は、処理物を処理後に、排気ファンを予め定めた所定時間動作させるので、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。

0013

請求項4の封じ込め装置の前記処理空間内の天井部には、外部から前記下方に向けて流れる空気を供給する空気供給部が設けられていることを特徴とする。

0014

請求項4の封じ込め装置では、下方に向けて流れる空気を供給する空気供給部が、処理空間内の天井部に設けられていて、空気供給部から供給される下方に向けて流れる空気は、下方側に排気される。このため、下方に向けて流れる空気は、処理空間内に行き渡り、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。

0015

請求項5の封じ込め装置の前記処理空間で前記処理物が真空状態下で加熱される真空乾燥機であることを特徴とする。

0016

請求項5の封じ込め装置では、作業者が、真空乾燥機の開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気の空気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。

0017

請求項6の封じ込め装置では、前記処理空間で前記処理物が大気圧状態下で加熱される乾燥機であることを特徴とする。

0018

請求項6の封じ込め装置では、作業者が、乾燥機の開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気の空気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。

0019

請求項7の封じ込め装置では、前記排気ファンは、HEPAフィルタを備え、使用後の前記HEPAフィルタは、バッグに収容された状態で前記排気経路から取り外されることで、前記排気経路より前記本体部内排出物が外部に飛散されない構成であることを特徴とする。

0020

請求項7の封じ込め装置では、使用後のHEPAフィルタは、バッグに入れてから、バッグごと使用後のHEPAフィルタを排気経路から取り外すことができ、排気経路より排出物である例えば本体部内の粉体や有機溶剤等を外部に飛散させない。このため、HEPAフィルタに付着している粉体や有機溶剤等が、本体部の外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。

発明の効果

0021

本発明によれば、作業者が開閉扉を開けても、処理空間の雰囲気が外部に漏れるのを確実に防ぐことができる封じ込め装置を提供できる。

図面の簡単な説明

0022

本発明の封じ込め装置の第1実施形態である真空乾燥機を示す正面図である。
図1に示す真空乾燥機の平面図である。
図1に示す真空乾燥機の右側の側面図である。
図1に示す真空乾燥機の背面図である。
制御ボックスを示す正面図である。
真空乾燥機の系統システムを示す系統図である。
真空乾燥機の本体部内の構造例を示す図である。
真空乾燥機の動作例を示すフロー図である。
図8に続く真空乾燥機の動作例を示すフロー図である。
本発明の封じ込め装置の第2実施形態である乾燥機を示す正面図である。
図10に示す乾燥機の平面図である。
図10に示す右側の側面図である。
乾燥機の系統システムを示す系統図である。
乾燥機の本体部内の構造例を示す図である。
乾燥機の動作例を示すフロー図である。

実施例

0023

以下、図面を用いて、本発明を実施するための形態(以下、実施形態と称する)を説明する。

0024

(第1実施形態)
図1は、本発明の封じ込め装置の第1実施形態である真空乾燥機を示す正面図である。図2は、図1に示す真空乾燥機の平面図である。図3は、図1に示す真空乾燥機の右側の側面図である。図4は、図1に示す真空乾燥機の背面図である。

0025

図1ないし図4に示す真空乾燥機1は、耐熱性を有する金属により作られた箱型の槽(チャンバ)を有する加熱封じ込め装置であり、真空圧状態下で、例えば薬品等の粉体等の加熱処理物を封じ込めて加熱する機能を有する。この加熱処理物を加熱の際には、真空乾燥機1の本体部2内には、例えば粉体や有機溶剤等のハザード物質が発生することがある。

0026

図1図2に示すように、この真空乾燥機1は、本体部2と、開閉扉3と、外部機器4を有している。本体部2と開閉扉3は、箱型の密閉可能な槽を構成している。この本体部2は、上面部2A、底面部2B、左側面部2C、右側面部2D、背面部2E、そして前面部2Fを有する直方体形状の箱部材である。本体部2の内部は、真空状態で所定の温度で加熱可能な直方体形状の処理空間SPである。

0027

図1図3に示すように、底面部2Bの四隅位置には、本体部2の支持用の脚部材2Gが設けられている。図2図3に示すように、本体部2の前面部2Fには、矩形の前面開口部2Hが設けられている。開閉扉3が、この前面開口部2Hを密閉状態で閉鎖可能になっている。これにより、本体部2の処理空間SP内で加熱処理された加熱処理物から例えば粉体や有機溶剤等が発生しても、その粉体が処理空間SP内から外部には漏れ出ないようになっている。図1に示すように、開閉扉3は、耐熱ガラス窓3Gを有している。

0028

図1図2に示すように、開閉扉3の一端部3Aは、ヒンジ部材4を用いて、左側面部2Cの前端部分に対して取り付けられており、開閉扉3は、図2に示すようにヒンジ部材4を中心として、RR方向に開くことができる。開閉扉3の他端部3Bの表面には、図3に示すように開閉ハンドル5が設けられている。

0029

これにより、作業者は、図2に示す開閉ハンドル5を把持して、開閉扉3をRR方向に開けることにより、作業者は、加熱処理物を、この開口部2Hを通じて本体部2内の処理空間SP内に挿入できる。また、作業者は、処理空間SP内を真空圧状態下から大気圧状態に戻してから、処理空間SP内の排気(換気)を始めてから予め定めた所定時間を経過した後に、作業者が開閉扉3を開けることで、開口部2Hを通じて処理後の加熱処理物を取り出すことができる。

0030

図1図3に例示するように、本体部2内には、処理空間SP内に配置された加熱処理物を所定の温度で加熱するために、例えば破線で示すように、パネル状のヒータHが配置されている。このパネル状のヒータHは、例えば処理空間SPを形成する上面部、下面部、左右側面部、背面部や、必要に応じて、開閉扉3内にも配置されている。

0031

図3に示すように、本体部2の上面部2Aには、扉スイッチドアスイッチ)6が配置されている。この扉スイッチ6は、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを閉鎖している状態ではオフ信号を発生するが、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを少しでも開けた状態になるとオン信号を発生する。

0032

図1に示すように、本体部2の下部2Mには、制御ボックス7が配置されている。図5は、この制御ボックス7を示す正面図である。この制御ボックス7は、図5に拡大して例示するように、ドア開閉ランプ8と、排気ファン起動ランプ9と、排気スイッチ10を有する。

0033

図5に示すドア開閉ランプ8は、開閉扉3が閉じているか開いているかを示す。ドア開閉ランプ8は、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを閉鎖している状態を示す例えば緑色のランプ8Aと、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを開けている状態を示す例えば赤色のランプ8Bを有する。緑色のランプ8Aは、扉スイッチ6がオフ信号を発生していて安全な状態であると発光し、赤色のランプ8Bは、扉スイッチ6がオン信号を発生していて注意喚起の状態であると発光する。

0034

図1に示す排気ファン起動ランプ9は、後で説明する排気ファン16(図6を参照)が起動している時に点灯するランプである。排気スイッチ10は、作業者が後で説明する排気ファン16を起動して、本体部2内の処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気を、処理空間SPの外部に排気(換気)する際に、作業者がオン操作するためのスイッチである。

0035

図4に示すように、本体部2の背面部2Eには、真空ポンプ接続口31Aと自動バルブ32が設けられている。

0036

図2図3に示すように、本体部2の背面部2Eには、逆止弁21の付いた排気口11が設けられている。この排気口11は、例えばフレキシブルチューブ等の連結チューブ12を用いて、外部機器4の吸入口13に接続されている。

0037

図1に示すように、この外部機器4は、本体ユニット15と、排気ファン16と、排気口17を有する。本体ユニット15は、HEPAフィルタ(High Efficiency Particulate Air Filter)18を交換可能に内蔵している。本体ユニット15は、排気ファン16を内蔵しており、排気口17は本体ユニット15の下部に設けられている。このHEPAフィルタ18は、空気清浄が求められる分野で使用される高性能フィルタである。

0038

図1に示す排気ファン16が起動すると、本体部2内の処理空間SP内の例えば粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、排気口11と連結チューブ12と吸入口13を介して、本体ユニット15のHEPAフィルタ18を通る。これにより、粉体や有機溶剤等がHEPAフィルタ18により捕獲された後、クリーンな空気が排気口17から排気される。

0039

ただし、使用済みのHEPAフィルタ18には、例えば加熱処理物を加熱する際に発生する粉体や有機溶剤等が付着している。このため、使用済みのHEPAフィルタ18を交換する際には、使用済みのHEPAフィルタ18を、図示しないバッグに包み込むようにして入れた状態で、本体ユニット15内から取り外すことで、使用済みのHEPAフィルタ18に付着している粉体や有機溶剤等が、漏れ出ないようにする。これにより、真空乾燥機1を使用する際に、粉体や有機溶剤等を含む空気が外部に曝露することは無く、作業安全性がさらに向上する。

0040

次に、図6を参照して、図1から図3に示す真空乾燥機1の構造例を、さらに説明する。

0041

図6は、真空乾燥機1の系統システムを示す系統図である。

0042

図6に示すように、本体部2の排気口11に接続されている連結チューブ12から、排気口17までは、排気経路(排気ライン)20を構成している。排気口11の付近には、逆止弁21が設けられている。この逆止弁21が連結チューブ12の途中に配置されていることで、外部の空気等が、排気口17側から連結チューブ12と本体部2の排気口11を経て、処理空間SP内に逆流して入ってしまうのを、確実に防止することができる。

0043

図6に示すように、逆止弁21と自動バルブ22は、HEPAフィルタ18を介して、排気ファン16に接続されている。これにより、制御部100が。排気ファン16を起動することにより、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、本体部2の排気口11と連結チューブ12と逆止弁21を経て、矢印T方向に送られ、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、HEPAフィルタ18を通る。

0044

これにより、HEPAフィルタ18は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体や有機溶剤等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口17から、外部に排出される。

0045

一方、図6に示すように、本体部2には、排気経路20の他に、真空引き経路真空引きライン)30が設けられている。真空引き経路30は、チューブ31と、自動バルブ32と、真空ポンプ33と、逆流防止用自動バルブ34と、排気口35を有している。チューブ31Aと排気口35の間に配置されている。真空ポンプ33が作動すると、処理空間SP内の雰囲気の空気は、排気経路20を通じて、N方向に真空引きされる。これにより、処理空間SP内は所定の真空度の真空圧状態に維持される。

0046

図6に示すように、自動バルブ32と真空ポンプ33の間には、パージライン40が接続されており、このパージライン40には、逆流防止用自動バルブ34が配置されている。

0047

図6に示すように、本体部2は、外部の空気の給気部ともいうパージライン45を有する。このパージライン45には、パージ用自動バルブ46が配置されている。パージ用自動バルブ46を閉じた状態で、本体部2の処理空間SP内では、例えば処理空間SPの上部の位置から処理空間SP内の下方に向けて、下方に向けて流れる空気DA(図7を参照)として形成されて供給できるようになっている。この下方に向けて流れる空気DAは、例えばダウンフローということができる。この下方に向けて流れる空気DAは、処理空間内の空気の流れの一例であり、空気の流れは下方に限らず、任意に選択できる。

0048

図6に示すように、制御ボックス7は制御部100を有している。この制御部100は、ドア開閉ランプ8と排気ファン起動ランプ9の点灯制御を行い、排気スイッチ10のオン/オフ信号を受ける。また、制御部100は、図6に示すように、排気経路20の自動バルブ22と、真空引き経路31の自動バルブ32と、逆流防止用自動バルブ34と、パージ用自動バルブ46のそれぞれの開閉動作の制御を行う。制御部100は、換気ファンともいう排気ファン16と、真空ポンプ33のそれぞれの起動制御を行う。

0049

図6に示すように、開閉ハンドル5は、接触センサ25を有している。この接触センサ25は、作業者が開閉ハンドル5に触れると、接触信号CSを制御部100に送る。扉スイッチ6は、作業者が開閉扉3をわずかでも開けると、オン信号OSを制御部100に送る。これにより、制御部100は、開閉扉3が開いて前面開口部2Hが開放されている状態であることを、確実に認識できる。

0050

図6に示すように、制御部100は、タイマ101を有している。作業者は、このタイマ101を用いて、図6に示す排気スイッチ10を押して排気ファン16が起動して排気を開始した後にこの排気ファン16の稼働を停止させるまでの、予め定められた所定時間TMを、任意に設定することができる。

0051

ここで、予め定められた所定時間TMとは、作業者が、図6に示す排気スイッチ10を押して排気ファン16を起動することで、本体部2内の処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気を、排気通路20を通じて、処理空間SPの外部に完全に排気(換気)することができる、排気ファン16の起動時間をいう。

0052

この予め定められた所定時間TMは、図6に示す制御部100のタイマ101に記憶されている。このタイマ101は、開扉許可時間設定用のタイマともいうことができ、タイマ101は、作業者が、加熱処理物の真空加熱処理をした後に、作業者が、処理空間SP内に残っている粉体や有機溶剤等が、外に曝露しないようにした状態を確保した上で、開閉扉3を開けることができるまでの待機時間を記憶している。

0053

この所定時間TMの設定例としては、排気ファン16が、例えば本体部2内の処理空間SPの容量に対して、その容量の2倍から3倍程度の換気容量分を、排気経路20を通じて、外部に排気できる時間である。一例として、排気ファン16が、1分間当たり1・(立方メートル)排気(換気)できる能力があり、処理空間SP内の容量が2・であるとすれば、制御部100は、好ましくは排気ファン16を4分間以上起動することになる。

0054

これにより、排気ファン16は、処理空間SPの容量の2倍以上排気してHEPAフィルタ18に導くことができる。従って、HEPAフィルタ18は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体や有機溶剤等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口17から、外部に排出される。

0055

このため、処理空間SP内には、粉体や有機溶剤等が残らず、作業者が開閉扉3を開けたとしても、処理空間SP内から粉体や有機溶剤等が、例えば作業者や真空加熱機1の置かれた施設に対して曝露されるおそれが、全く無くなる。

0056

さらに、好ましくは、真空乾燥機1は、ドアロック部26を有する。このドアロック部26は、開閉扉3の開閉操作ができないようにロックして、開閉扉3が本体部2側から、不用意に開かないようにするために設けられている。このドアロック部26は、制御部100からのドア開成信号DSを受けると、解除される。これにより、開閉扉3のロックが外れて、作業者は、開閉扉3を開くことができる。

0057

また、制御部100は、真空乾燥機1のパネル状のヒータHに対して通電することで、ヒータHを発熱させて、処理空間SP内を所定の温度に設定可能である。なお、真空乾燥機1の本体部2と制御ボックス7は、商用電源Gから電源供給を受けている。

0058

図7は、図1に示す本体部2の処理空間SPの内部構造例を示す図である。

0059

図7に示すように、本体部2は、例えば直方体形状の処理空間SPを有している。本体部2の処理空間SPの上部には、空気供給部350が設けられている。処理空間SP内には、図6に示すパージライン45は、図7に示す本体部2内の空気供給部350へ、外部の空気を供給できるようになっている。このパージライン45は、外部の空気給気部の一部を構成している。

0060

この空気供給部350は、板状の部材であり、外部のパージライン45から供給された空気から下方に向けて流れる空気DAを作って、処理空間SPに供給するための複数の孔351を有する。これらの孔351は、例えば前後方向Xと左右方向Yに沿って、均等間隔マトリックス状に形成されている。これにより、下方に向けて流れる空気DAは、複数の孔351を通じて、処理空間SPの全領域に渡って、下方に向けて均等に吹出して供給することができる。

0061

しかも、図7に示すように、処理空間SP内には、1枚または複数枚の載置台370が着脱可能に配置されている。図7では、図面の簡単化のために、1枚の載置台370が配置されているが、複数枚の載置台370は、上下方向Zに沿って間隔を空けて、平行に配置できる。この載置台370は、例えば棚板状のものであり、この上には、加熱処理物MDを載せる。

0062

図7に示すように、載置台370は、複数の開口部371を有している。これらの開口部371は、貫通孔であり、例えば前後方向Xと左右方向Yに沿って、均等間隔でマトリックス状に形成されている。

0063

これにより、空気供給部350から処理空間SP内において下方に向けて供給される下方に向けて流れる空気DAは、複数の開口部371を通じて、排気空気DFとして下方に導いて、排気経路20側に排気することができる。これらの開口部371は、均等間隔でマトリックス状に形成されていることから、処理空間SPの全領域に渡って均等に供給された下方に向けて流れる空気DAの流れを阻害しないで、排気経路20側に排気することができる。

0064

次に、図8図9を参照して、上述した封じ込め装置としての真空乾燥機1の動作例を説明する。図8は、真空乾燥機1の動作例を示すフロー図であり、図9は、図8に続く真空乾燥機1の動作例を示すフロー図である。なお、図8図9に示す真空乾燥機1の動作例は、あくまで一例であり、真空乾燥機1の動作は任意に設定することができる。

0065

図8に示す真空乾燥機1の動作例は、ステップS10からステップS16を有し、このステップS16は、図9に示す続きの動作例のステップS21に続く。図9では、続きの動作例のステップS21からステップS29を有する。

0066

図9に示す真空乾燥機1の続きの動作例では、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して触れた場合の動作例(1)と、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5には触れずに、排気スイッチ10を押した場合の動作例(2)が含まれている。

0067

まず、図8に示すステップS10からステップS16を参照して、真空乾燥機1の動作を説明する。

0068

図8のステップS10に示すように、図6に示す真空乾燥機1を使用する前の状態であっては、本体部2の処理空間SP内は大気圧状態になっている。この場合には、例えば、制御部100の指令により、真空引き経路30の自動バルブ32は閉じており、パージライン45のパージ用自動バルブ46も閉じており、そして排気経路20の自動バルブ22は閉じている。

0069

ステップS11では、作業者が図6の開閉扉3を開けて、真空乾燥機1の本体部2の処理空間SP内に加熱処理物を入れて、真空圧状態下で所定の温度で加熱処理をする。この場合には、制御部100が、図6の自動バルブ32を開けて真空ポンプ33を起動して、処理空間SP内を真空引きして、真空引き後は自動バルブ32を閉じて真空ポンプ33を止める。これにより、制御部100の指令により、処理空間SP内の加熱処理物は、真空圧状態で、ヒータHにより所定の温度で加熱処理される。

0070

図8のステップS12では、処理空間SP内で、真空圧状態での加熱処理物の加熱処理作業が終わると、ステップS13に移る。そして、例えば制御部100は、真空引き経路30の自動バルブ32と、排気経路20の自動バルブ22を閉じた状態で、パージライン45のパージ用自動バルブ46は開ける。そして、制御部100は、排気経路20の自動バルブ22を開けて、ステップS14に移る。

0071

ステップS14では、処理空間SP内が、真空圧状態から大気圧状態になったら、ステップS15に移る。なお、処理空間SP内の圧力は、図6に示す圧力センサ29により検知して、圧力信号PGを制御部100に送る。

0072

ステップS15では、制御部100は、処理空間SP内が真空圧状態から大気圧状態になったら、真空引き経路30の自動バルブ32と、好ましくはパージライン45のパージ用自動バルブ46を閉じて、排気経路20の自動バルブ22を閉じた状態にする。これにより、ステップS16に示すように、処理空間SP内の加熱処理物の粉末や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を、処理空間SP内から排気する作業の準備が完了するので、次の図9に示すステップS21に移る。

0073

すでに説明したように、図9に示す真空乾燥機1の続きの動作例では、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して触れた場合の動作例(1)と、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5には触れずに、排気スイッチ10を押した場合の動作例(2)が含まれている。

0074

<作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して触れた場合の動作例(1)>
まず、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して触れた場合の動作例を、図6図9を参照して説明する。

0075

図9のステップS21では、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して触ったかどうかを、制御部100が判断する。すなわち、作業者が、手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して触ると、接触センサ25が接触信号CSを制御部100に送ることにより、制御部100は、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して触ったと判断する。

0076

ただし、この場合には、ドアロック部26が、まだ開閉扉3をロックしており、開閉扉3が本体部2側から、不用意には開かない。このため、本体部2の前面開口部2Hが不用意には開放されず、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、真空乾燥機1の外部に全く漏れ出ないようにすることができる。これにより、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、乾燥機1の外部に曝露しないようにして、作業安全性を確保している。

0077

図9のステップS21において、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して触ったと、制御部100が判断すると、図9のステップS23に移る。

0078

ステップS23では、図9の制御部100は、排気ファン16を起動して、自動バルブ22を開ける。排気ファン16を起動中は、好ましくはパージライン45のパージ用自動バルブ46は閉じており、排気経路20の自動バルブ22は開いている。真空引き経路30の真空ポンプ33の起動は不可であり、真空引き経路30の自動バルブ32は閉じている。この時には、図6の排気ファン起動ランプ9が点灯して、作業者に排気ファン16を起動していることを明示することで、作業者は、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、排気経路20を通じて排気中(換気中)であることが分かる。

0079

そして、図9のステップS24では、図6の制御部100は、排気ファン16を、予め定めた所定時間TMだけ起動する。処理空間SPの容量が2・であるとすれば、制御部100は、排気ファン16を例えば4分間以上起動することになる。

0080

これにより、開閉扉3が作業者により開けられる前には、制御部100が排気ファン16を起動することで、処理空間SP内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間SPの容量の例えば2倍以上の容量を排気する。このため、作業者が開閉扉3を開けても、処理空間の雰囲気の空気が前面開口部2Hから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができるようになる。

0081

上述した処理空間SP内の圧力がゼロは、好ましくは大気圧である。しかし、処理空間SP内の圧力がゼロは、真空乾燥機1が置かれている室内の気圧あるいは周囲の環境気圧であってもよい。また、処理空間SP内の圧力がゼロは、真空乾燥機1がクリーンルーム等の気圧が調整されている部屋に置かれている場合には、その気圧が調整されている部屋内の気圧である。

0082

処理空間SP内から排気した有毒物質等の物質を含む空気は、HEPAフィルタ18に導くことができるので、HEPAフィルタ18は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体や有機溶剤等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口17から、外部に排出される。

0083

このため、処理空間SP内には、粉体や有機溶剤等が残らず、作業者が開閉扉3を開けたとしても、作業者や真空加熱機1の置かれている施設に対して、処理空間SP内から粉体や有機溶剤等が曝露されるおそれが、全く無くなる。

0084

このように、制御部100は、タイマ101に記憶されている例えば4分間の所定時間TMだけ、排気ファン16を起動し続ける。この所定時間TMは、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、排気経路(排気ライン)20のHEPAフィルタ18に通して、処理空間SP内から排出できるのに要する排出時間以上の時間あるいはより好ましくは2倍以上の時間である。

0085

図6の制御部100は、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を、HEPAフィルタ18に通して、処理空間SP内から確実に排出できたと判断する。

0086

そして、この所定時間TMが経過すると、図6に示す制御部100は、ドアロック部26にドア開成信号DSを送る。これにより、ドアロック部26は、開閉扉3のロックを外して、作業者が開閉扉3を開くことができる状態になる。

0087

次に、図9のステップS25では、作業者が、手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して開閉扉3を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して開閉扉3を、タイマ101に記憶されている別の所定の経過時間開かない場合には、扉スイッチ6は、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ6からはオン信号OSが制御部100には送られない。

0088

従って、制御部100は、オン信号OSが所定の経過時間送られてこないと、作業者が開閉扉3を開く意思が無いとみなして、ステップS26において、タイマ101に記憶されている所定の経過時間経過後、例えば10秒後に、排気ファン16の稼働は停止して終了する。

0089

一方、図9のステップS25において、作業者が手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して開閉扉3をタイマ101に記憶されている所定の経過時間内に開いて、扉スイッチ6が、オン信号OSを制御部100に送る。この場合には、制御部100は、開閉扉3を開いたと判断して、ステップ27に移る。

0090

図9のステップS27では、制御部100は、念のために排気ファン16の稼働を継続する。そして、ステップS28においては、作業者が手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して開閉扉3を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを閉鎖すると、扉スイッチ6からはオン信号OSが制御部100には送られないことから、制御部100は、作業者が開閉扉3を実際に閉めたと判断して、ステップS29に移る。

0091

また、ステップS28において、扉スイッチ6は、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを閉鎖していないと判断すると、ステップS27に戻り、引き続き、制御部100は、念のために排気ファン16の稼働を継続する。

0092

図9のステップS29では、図6の制御部100は、排気ファン16を、タイマ101に記憶されている予め定めた所定の経過時間、例えば10秒間、排気ファン16を稼働させた後、排気ファン16の稼働を停止する。

0093

このように停止した時に、念のために、処理空間SP内の圧力をやや陰圧またはゼロに保持するようにしても良い。これにより、処理空間SP内から外部に物質等が出るのを防止できる。

0094

このようにして、図6に示す制御部100は、開閉扉3が不用意には開かないようにしていることで、真空乾燥機1の処理空間SP内から、粉体等を含む雰囲気の空気が、前面開口部2Hから外部に曝露しないように、真空乾燥機1の取り扱い上の作業安全性を確保している。

0095

また、作業者が、実際に開閉扉3を開けようとする場合には、開閉扉3を開ける前に、真空乾燥機1の処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を、HEPAフィルタ18に通して、処理空間SP内から排出できるようにする。これにより、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、開閉扉3を開けたことにより、前面開口部2Hから外部に全く曝露しないようにして、真空乾燥機1の取り扱い上の作業安全性を確保している。

0096

<作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5には触れずに、排気スイッチ10を押した場合の動作例(2)>
次に、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図6に示す開閉扉3の取手5には触れずに、先に排気スイッチ10を押した場合の動作例を、図6図9を参照して説明する。

0097

図9のステップS21において、作業者が手で図6に示す開閉扉3の取手5を触っていないと、制御部100が判断すると、図9のステップS22に移る。ステップS22では、制御部100は、作業者が、図6に示す排気スイッチ10を押したかどうかを判断する。作業者が図6に示す排気スイッチ10を押すと、排気スイッチ10は、制御部100にオン信号FSを送ることから、制御部100は排気スイッチ10が押されたと判断して、図9のステップS23に移る。

0098

ステップS23では、図9の制御部100は、排気ファン16を起動して、自動バルブ22を開ける。排気ファン16を起動中は、好ましくはパージライン45のパージ用自動バルブ46は閉じており、排気経路20の自動バルブ22は開いている。真空引き経路30の真空ポンプ33の起動は不可であり、真空引き経路30の自動バルブ32は閉じている。この時には、図6の排気ファン起動ランプ9が点灯して、作業者に排気ファン16を起動していることを明示することで、作業者は、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、排気経路20を通じて排気中(換気中)であることが分かる。

0099

そして、図9のステップS24では、上述した場合と同じように、図6の制御部100は、排気ファン16を、予め定めた所定時間TMだけ起動する。処理空間SPの容量が2・であるとすれば、制御部100は、排気ファン16を例えば4分間以上起動することになる。

0100

これにより、開閉扉3が作業者により開けられる前には、制御部100が排気ファン16を起動することで、処理空間SP内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間SPの容量の例えば2倍以上の容量を排気する。このため、作業者が開閉扉3を開けても、処理空間の雰囲気の空気が前面開口部2Hから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができるようになる。

0101

処理空間SP内から排気した有毒物質等の物質を含む空気は、HEPAフィルタ18に
通して、処理空間SP内から排出できたと判断する。

0102

そして、この所定時間TMが経過すると、図6に示す制御部100は、ドアロック部26にドア開成信号DSを送る。これにより、ドアロック部26は、開閉扉3のロックを外して、作業者が開閉扉3を開くことができる状態になる。

0103

次に、図9のステップS25では、作業者が手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して開閉扉3を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して開閉扉3を、タイマ101に記憶されている所定の経過時間開かない場合には、扉スイッチ6は、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ6からはオン信号OSが制御部100には送られない。

0104

従って、制御部100は、オン信号OSが所定の経過時間送られてこないと、作業者が開閉扉3を開く意思が無いとみなして、ステップS26において、タイマ101に記憶されている所定の経過時間経過後、例えば10秒後に、排気ファン16の稼働は停止して終了する。

0105

一方、図9のステップS25において、作業者が手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して開閉扉3をタイマ101に記憶されている所定の経過時間内に開いて、扉スイッチ6が、オン信号OSを制御部100に送る。この場合には、制御部100は、開閉扉3を開いたと判断して、ステップ27に移る。

0106

図9のステップS27では、制御部100は、念のために排気ファン16の稼働を継続する。そして、ステップS28においては、作業者が手で図6に示す開閉扉3の取手5を把持して開閉扉3を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを閉鎖すると、扉スイッチ6からはオン信号OSが制御部100には送られないことから、制御部100は、作業者が開閉扉3を実際に閉めたと判断して、ステップS29に移る。

0107

また、ステップS28において、扉スイッチ6は、開閉扉3が本体部2の前面開口部2Hを閉鎖していないと判断すると、ステップS27に戻り、引き続き、制御部100は、念のために排気ファン16の稼働を継続する。

0108

図9のステップS29では、図6の制御部100は、排気ファン16を、タイマ101に記憶されている予め定めた所定の経過時間、例えば10秒間、排気ファン16を稼働させた後、排気ファン16の稼働を停止する。

0109

真空乾燥機1では、排気ファン1は、HEPAフィルタ18を備えている。好ましくは使用後のHEPAフィルタ18は、バッグに収容され、HEPAフィルタを収容したバッグが、排気経路20から取り外されることで、排気経路20より、フィルタに付着している粉体等を外部に飛散させない構造である。

0110

特に好ましくは、使用後のHEPAフィルタ18は、収容用のバッグに入れてから、さらに回収用バッグ内に収容用のバッグごとHEPAフィルタ18を入れた状態でHEPAフィルタ18を排気経路20から取り外すことできる。このため、HEPAフィルタ18に付着している残留粉体等が、排気経路20から本体部2の外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。

0111

このように、使用後のHEPAフィルタ18は、好ましくは、収容用のバッグに入れてから、さらに回収用バッグ内には、収容用のバッグごとHEPAフィルタ18を入れた状態で、HEPAフィルタ18を排気経路20内から取り外す方式を、バッグイン・バッグアウト方式(Bagin−Bagout方式)と呼ぶことができる。

0112

上述した本発明の乾燥機の第1実施形態では、開閉扉3が開けられる前には、制御部100が排気ファン16を動作させることで、処理空間SP内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間SP内の空気が処理空間SPの外へ排気される。このため、作業者が開閉扉3を開けても、処理空間SPの雰囲気の空気が前面開口部2Hから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉3を開けることができる。処理空間SPの雰囲気の空気に含まれる粉体や有機溶剤等の有毒物質等が前面開口部2Hから作業者に曝露しない。

0113

この開閉扉3が開けられる前に処理空間SP内に飛散している物質は、開閉扉3を開けたときには、すでに物質は空気とともに処理空間SP内から排気されてしまっている。このため、このため、作業者は、安心して開閉扉3を開けることができる。

0114

(第2実施形態)
次に、本発明の封じ込め装置の第2実施形態である大気圧下で加熱する乾燥機を、説明する。

0115

図10は、本発明の乾燥機の実施形態を示す正面図である。図11は、図10に示す乾燥機の平面図である。図12は、図10に示す右側の側面図である。図13は、乾燥機の系統システムを示す系統図である。

0116

図10ないし図12に示す乾燥機1001は、例えば安定性試験装置(恒温槽)として用いられる。乾燥機1001は、例えば大気圧状態で、例えば薬品等の粉体等の加熱処理物を封じ込めて加熱する機能を有する。この加熱処理物を加熱の際には、乾燥機1001の本体部1002内には、例えば粉体や有機溶剤等のハザード物質が発生することがある。この乾燥機1001は、本体部1002と、開閉扉1003と、外部機器1004を有している。本体部1002と開閉扉1003は、箱型の密閉可能な槽を構成している。

0117

図10図11に示すように、この本体部1002は、上面部1002A、底面部1002B、左側面部1002C、右側面部1002D、背面部1002E、そして前面部1002Fを有する直方体形状の箱部材である。本体部1002の内部は、例えば大気圧状態下で、所定の温度で加熱可能な直方体形状の処理空間SPである。図3に示すように、本体部2には、空気給気部(パージライン)1033が設けられている。

0118

図10図12に示すように、底面部1002Bの四隅位置には、本体部1002の支持用の脚部材1002Gが設けられている。図11図12に示すように、本体部1002の前面部1002Fには、矩形の前面開口部1002Hが設けられている。開閉扉1003が、この前面開口部1002Hを密閉状態で閉鎖可能になっている。

0119

図10図11に示すように、開閉扉1003の一端部1003Aは、ヒンジ部材1004を用いて、左側面部1002Cの前端部分に対して取り付けられており、開閉扉1003は、ヒンジ部材1004を中心として、RR方向に開くことができる。開閉扉1003の他端部1003Bの表面には、図12に示すように開閉ハンドル1005が設けられている。

0120

これにより、作業者は、図11に示す開閉ハンドル1005を把持してRR方向に引くことで、作業者は、加熱処理物を、この開口部1002Hを通じて本体部1002内の処理空間SP内に挿入できる。また、作業者は、加熱処理物の加熱後に、処理空間SP内の排気(換気)を始めてから予め定めた所定時間を経過した後に、開閉扉1003を開けることで、処理空間SP内から開口部1002Hを通じて処理後の加熱処理物を取り出すことができる。

0121

図10から図12に例示するように、本体部1002内には、処理空間SP内に配置された加熱処理物を所定の温度で加熱するために、例えば破線で示すように、パネル状のヒータHが配置されている。このパネル状のヒータHは、例えば処理空間SPを形成する上面部、下面部、左右側面部、背面部や、必要に応じて、開閉扉1003内にも配置されている。

0122

図10図11に示すように、本体部1002の上面部1002Aには、扉スイッチ(ドアスイッチ)1006が配置されている。この扉スイッチ1006は、開閉扉1003が本体部1002の前面開口部1002Hを閉鎖している状態ではオフ信号を発生するが、開閉扉1003が本体部1002の前面開口部1002Hを少しでも開けた状態になるとオン信号を発生する。

0123

図10図13に示すように、本体部1002の上面部1002Aには、制御ボックス1007が配置されている。この制御ボックス1007は、ドア開閉ランプ1008と、排気ファン起動ランプ1009と、一時排気スイッチ1010を有する。

0124

ドア開閉ランプ1008は、開閉扉1003が閉じているか開いているかを示す。ドア開閉ランプ1008は、開閉扉1003が本体部1002の前面開口部1002Hを閉鎖している状態を示す例えば緑色のランプ1008Aと、開閉扉1003が本体部1002の前面開口部1002Hを開けている状態を示す例えば赤色のランプ1008Bを有する。緑色のランプ1008Aは、扉スイッチ1006がオフ信号を発生していて安全な状態であると発光し、赤色のランプ1008Bは、扉スイッチ1006がオン信号を発生していて注意喚起の状態であると発光するようになっている。

0125

図10に示す排気ファン起動ランプ1009は、後で説明する排気ファン1016(図13を参照)が起動している時に点灯するランプである。一時排気スイッチ1010は、作業者が後で説明する排気ファン1016を起動して、本体部1002内の処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を処理空間SPの外部に、好ましくは一時的に排気する際に、作業者がオン操作するためのスイッチである。

0126

図10図11に示すように、本体部1002の右側面部1002Dには、逆止弁付きの排気口1011が設けられている。この排気口1011は、例えばフレキシブルチューブ等の連結チューブ1012を用いて、外部機器1004の吸入口1013に接続されている。

0127

図10に示すように、この外部機器1004は、本体ユニット1015と、排気ファン1016と、排気口1017を有する。本体ユニット1015は、HEPAフィルタ1018を交換可能に内蔵している。本体ユニット1015は、排気ファン1016を内蔵しており、排気口1017は本体ユニット1015の下部に設けられている。

0128

図10に示す排気ファン1016が起動すると、本体部1002内の処理空間SP内の例えば粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、排気口1011と連結チューブ1012と吸入口1013を介して、本体ユニット1015のHEPAフィルタ1018を通る。これにより、粉体や有機溶剤等がHEPAフィルタ1018により捕獲された後、クリーンな空気が排気口1017から排気される。

0129

次に、図13に示す乾燥機1001の系統システムを参照して、図10から図12に示す乾燥機1001の構造例を、さらに説明する。

0130

図13に示すように、本体部1002の排気口1011に接続されている連結チューブ1012から、排気口1017までは、排気経路(排気ライン)1020を構成している。排気口1011の付近には、逆止弁1021と自動バルブ1070が設けられている。と自動バルブ1070は、制御部1100により制御される。

0131

この逆止弁1021が連結チューブ1012の途中に配置されていることで、外部の空気等が、排気口1017側から連結チューブ1012と本体部1002の排気口1011を経て、処理空間SP内に逆流して入ってしまうのを、確実に防止することができる。

0132

図13に示すように、逆止弁1021と自動バルブ1070は、HEPAフィルタ1018を介して、排気ファン1016に接続されている。これにより、制御部1100が排気ファン1016を起動することにより、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、本体部2の排気口1011と連結チューブ1012と逆止弁1021と自動バルブ1070を経て、矢印T方向に送られ、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気は、HEPAフィルタ1018を通る。

0133

これにより、HEPAフィルタ1018は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口1017から、外部に排出される。

0134

図13に示すように、制御ボックス1007は制御部1100を有しており、この制御部1100は、ドア開閉ランプ1008と排気ファン起動ランプ1009の点灯制御と、排気スイッチ1010のオン/オフ信号を、受ける。

0135

開閉ハンドル1005は、接触センサ1025を有している。この接触センサ1025は、作業者が開閉ハンドル1005に触れると、接触信号CSを制御部1100に送る。扉スイッチ1006は、作業者が開閉扉1003をわずかでも開けると、オン信号OSを制御部1100に送る。これにより、制御部1100は、開閉扉1003が開いて前面開口部1002Hが開放されている状態であることを、確実に認識できる。

0136

図13に示すように、制御部1100は、タイマ1101を有している。作業者は、このタイマ1101を用いて、図6に示す排気スイッチ1010を押して排気ファン1016が起動して排気を開始した後に、この排気ファン1016の稼働を停止させるまでの、予め定められた所定時間TM等を設定することができる。

0137

この予め定められた所定時間TMとは、作業者が、排気スイッチ1010を押して排気ファン1016を起動することで、本体部1002内の処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気を、排気通路1020を通じて、処理空間SPの外部に完全に排気(換気)することができる、排気ファン16の起動時間をいう。

0138

この予め定められた所定時間TMは、図13に示す制御部1100のタイマ1101に記憶されている。このタイマ1101は、作業者が、開閉扉3を開けることができる時間を示す開扉許可時間設定タイマである。

0139

この所定時間TMの設定例としては、例えば本体部2内の処理空間SPの容量の2倍から3倍程度の容量分を外部に排気できる時間である。一例として、排気ファン1016が、1分間当たり1・(立方メートル)排気できる能力があり、処理空間SPの容量が2・であるとすれば、制御部1100は、好ましくは排気ファン1016を4分間起動することになる。

0140

これにより、排気ファン1016は、処理空間SPの容量の2倍以上排気してHEPAフィルタ1018に導くことができるので、HEPAフィルタ1018は、粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気から粉体や有機溶剤等を除去することで、外部に出る空気はクリーン化される。クリーン化された空気は、排気口1017から、外部に排出される。

0141

このため、処理空間SP内には、粉体や有機溶剤等が残らず、作業者が開閉扉3を開けたとしても、処理空間SP内から粉体や有機溶剤等が曝露されるおそれが、全く無くなる。

0142

さらに、好ましくは、乾燥機1001は、ドアロック部1026を有する。このドアロック部1026は、開閉扉1003の開閉操作ができないようにロックして、開閉扉1003が本体部1002側から、不用意に開かないようにするために設けられている。このドアロック部1026は、制御部1100からのドア開成信号DSを受けると、解除される。これにより、開閉扉1003のロックが外れて、作業者は、開閉扉1003を開くことができる。

0143

また、制御部1100は、乾燥機1001のパネル状のヒータHに対して通電することで、ヒータHを発熱させて、処理空間SP内を所定の温度に設定可能である。なお、乾燥機1001の本体部1002と制御ボックス1007は、商用電源Gから電源供給を受けている。

0144

図14は、図1に示す本体部1002の処理空間SPの内部構造例を示す図である。

0145

図14に示すように、本体部1002は、例えば直方体形状の処理空間SPを有している。本体部1002の処理空間SPの上部には、空気供給部1350が設けられている。外気がパージライン1033を通じて本体部2の処理空間SP内の空気供給部1350へ供給され、空気供給部1350は、処理空間SPの上部の位置から処理空間SP内の下方に向けて、下方に向けて流れる空気DAを供給できる。

0146

この空気供給部1350は、板状の部材であり、外部から供給された空気から下方に向けて流れる空気DAを作って供給するための複数の孔1351を有する。これらの孔1351は、例えば前後方向Xと左右方向Yに沿って、均等間隔でマトリックス状に形成されている。これにより、下方に向けて流れる空気DAは、複数の孔1351を通じて、処理空間SPの全領域に渡って均等に供給することができる。この下方に向けて流れる空気DAは、例えばダウンフローということができる。この下方に向けて流れる空気DAは、処理空間内の空気の流れの一例であり、空気の流れは下方に限らず、任意に選択できる。

0147

しかも、図14に示すように、処理空間SP内には、1枚または複数枚の載置台1370が着脱可能に配置されている。図14では、図面の簡単化のために、1枚の載置台1370が配置されているが、複数枚の載置台1370は、上下方向Zに沿って間隔を空けて、平行に配置できる。この載置台1370は、例えば棚板状のものであり、この上には、加熱処理物MDを載せる。

0148

図14に示すように、載置台1370は、複数の開口部1371を有している。これらの開口部1371は、貫通孔であり、例えば前後方向Xと左右方向Yに沿って、均等間隔でマトリックス状に形成されている。これにより、空気供給部1350から処理空間SP内に供給される下方に向けて流れる空気DAは、複数の開口部1371を通じて、排気空気DFとして下方に導いて、排気経路1020側に排気することができる。これらの開口部1371は、均等間隔でマトリックス状に形成されていることから、処理空間SPの全領域に渡って均等に供給された下方に向けて流れる空気DAの流れを阻害しないで、排気経路1020側に排気することができる。

0149

次に、図15を参照して、上述した乾燥機1の動作例を説明する。図15は、乾燥機1001の動作例を示すフロー図である。図15では、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して触れた場合の動作例(1)と、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図13に示す開閉扉1003の取手1005には触れずに、排気スイッチ1010を押した場合の動作例(2)が含まれている。

0150

<作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して触れた場合の動作例(1)>
まず、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して触れた場合の動作例を、図15図13を参照して説明する。

0151

図15のステップS1では、作業者が、手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して触ったかどうかを、制御部1100が判断する。すなわち、作業者が、手で図4に示す開閉扉1003の取手1005を把持して触ると、接触センサ1025が接触信号CSを制御部1100に送ることにより、制御部1100は、作業者が、手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して触ったと判断する。

0152

ただし、この場合には、ドアロック部1026が、まだ開閉扉1003をロックしており、開閉扉1003が本体部1002側から、不用意に開かない。このため、本体部2の前面開口部2Hが不用意には開放されず、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、外部に漏れ出ない。これにより、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気が、外部に曝露しないようにして、作業安全性を確保している。

0153

図15のステップS101において、作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して触ったと、制御部1100が判断すると、図15のステップS103に移る。ステップS103では、図15の制御部1100は、自動バルブ1070を開けて、排気ファン1016を起動する。この時には、図13の排気ファン起動ランプ1009が点灯する。図13の排気ファン起動ランプ1009が点灯して、作業者に排気ファン1016を起動していることを明示することで、作業者は、処理空間SP内の粉体等を含む雰囲気の空気が排気経路1020を通じて排気中であることが分かる。

0154

そして、図15のステップS104では、図13の制御部1100は、排気ファン1016を、処理空間SPの容量が2・であるとすれば、制御部1100は、好ましくは排気ファン1016を4分間起動することになる。

0155

これにより、開閉扉3が開けられる前には、制御部1100が排気ファン1016を起動することで、処理空間SP内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間SPの容量の例えば2倍以上の容量を排気する。このため、作業者が開閉扉1003を開けても、処理空間SPの雰囲気の空気が前面開口部1002Hから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉1003を開けることができるようになる。

0156

上述した処理空間SP内の圧力がゼロは、好ましくは大気圧である。しかし、処理空間SP内の圧力がゼロは、乾燥機1001が置かれている室内の気圧あるいは周囲の環境気圧であってもよい。また、処理空間SP内の圧力がゼロは、乾燥機1001がクリーンルーム等の気圧が調整されている部屋に置かれている場合には、その気圧が調整されている部屋内の気圧である。

0157

処理空間SP内から排気した有毒物質等の物質を含む空気は、HEPAフィルタ1018に通して、処理空間SP内から排出できる。

0158

そして、この所定時間TMが経過すると、図13に示す制御部1100は、ドアロック部1026にドア開成信号DSを送る。これにより、ドアロック部1026は、開閉扉1003のロックを外して、作業者は、開閉扉1003を開くことができる状態になる。

0159

この所定時間TMは、図13に示す制御部1100のタイマ1101に予め記憶されている。この所定時間TMとは、排気ファン1016を稼働し続けることで、処理空間SP内の粉体等を含む雰囲気の空気を、排気経路(排気ライン)1020のHEPAフィルタ1018に通して、処理空間SP内から排出できるのに要する排出時間以上の時間である。

0160

次に、図15のステップS105では、作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して開閉扉1003を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して開閉扉1003を、タイマ1101に記憶されている別の所定の経過時間開かない場合には、扉スイッチ1006は、開閉扉1003が本体部1002の前面開口部1002Hを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ1006からはオン信号OSが制御部1100には送られない。

0161

従って、制御部1100は、オン信号OSが所定の経過時間送られてこないと、作業者が開閉扉1003を開く意思が無いとみなして、ステップS106において、タイマ1101に記憶されている所定の経過時間経過後、例えば10秒後、排気ファン16の稼働は停止して終了する。

0162

一方、図15のステップS105において、作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して開閉扉3をタイマ101に記憶されている所定の経過時間内に開いて、扉スイッチ1006が、オン信号OSを制御部1100に送る。この場合には、制御部1100は、開閉扉1003を開いたと判断して、ステップS107に移る。

0163

図15のステップS107では、制御部1100は、念のために排気ファン1016の稼働を継続する。そして、ステップS108においては、作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して開閉扉3を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、扉スイッチ1006は、開閉扉1003が本体部1002の前面開口部1002Hを閉鎖すると、扉スイッチ1006からはオン信号OSが制御部1100には送られないことから、制御部1100は、開閉扉103を実際に閉めたと判断して、ステップS9に移る。

0164

また、ステップS108において、扉スイッチ1006は、開閉扉1003が本体部102の前面開口部102Hを閉鎖していないと判断すると、ステップS107に戻り、引き続き、制御部1100は、念のために排気ファン1016の稼働を継続する。

0165

図15のステップS109では、図13の制御部1100は、排気ファン1016を、タイマ1101に記憶されている予め定めた所定の経過時間、例えば10秒間、排気ファン1016を稼働させた後、排気ファン1016の稼働を停止する。

0166

このようにして、図13に示す制御部1100は、開閉扉1003が不用意には開かないようにしていることで、乾燥機1001の処理空間SP内から、粉体等を含む雰囲気の空気が、前面開口部102Hから外部に曝露しないように、乾燥機1001の取り扱い上の作業安全性を確保している。

0167

また、作業者が、実際に開閉扉3を開けようとする場合には、開閉扉3を開ける前に、乾燥機1の処理空間SP内の粉体等を含む雰囲気の空気を、HEPAフィルタ1018に通して、処理空間SP内から確実に排出(換気)できるようにする。これにより、処理空間SP内の粉体等を含む雰囲気の空気が、開閉扉3を開けたことにより、前面開口部2Hから外部に曝露しないように、乾燥機1の取り扱い上の作業安全性を確保している。

0168

<作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図13に示す開閉扉3の取手5には触れずに、一時排気スイッチ1010を押した場合の動作例(2)>
次に、作業者が、開閉扉3を開けるために、手で図13に示す開閉扉3の取手5には触れずに、一時排気スイッチ1010を押した場合の動作例を、図15図13を参照して説明する。

0169

図15のステップS101において、作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を触っていないと、制御部1100が判断すると、図15のステップS102に移る。ステップS102では、制御部1100は、作業者が、図13に示す一時排気スイッチ1010を押したかどうかを判断する。作業者が図13に示す一時排気スイッチ1010を押すと、一時排気スイッチ1010は、制御部1100にオン信号FSを送ることから、制御部1100は一時排気スイッチ1010が押されたと判断して、図15のステップS103に移る。

0170

ステップS103では、図15の制御部1100は、自動バルブ1070を開けて排気ファン1016を起動する。この時には、図13の排気ファン起動ランプ1009が点灯する。

0171

そして、図15のステップS104では、図13の制御部100は、排気ファン1016を、予め定めた所定時間TMだけ起動する。所定時間TMの好ましい一例を挙げれば、排気ファン1016が、1分間当たり1・(立方メートル)排気できる能力があり、処理空間SPの容量が2・であるとすれば、制御部1100は、好ましくは排気ファン1016を4分間起動することになる。

0172

これにより、開閉扉3が開けられる前には、制御部1100が排気ファン1016を起動することで、処理空間SP内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間SPの容量の例えば2倍以上の容量を排気する。このため、作業者が開閉扉1003を開けても、処理空間の雰囲気の空気が前面開口部1002Hから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉1003を開けることができるようになる。

0173

処理空間SP内から排気した有毒物質等の物質を含む空気は、処理空間SP内の粉体や有機溶剤等を含む雰囲気の空気を、HEPAフィルタ1018に通して、処理空間SP内から排出できる。

0174

そして、この所定時間TMが経過すると、図13に示す制御部1100は、ドアロック部1026にドア開成信号DSを送る。これにより、ドアロック部1026は、開閉扉1003のロックを外して、作業者が開閉扉1003を開くことができる状態になる。

0175

次に、図15のステップS105では、作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して開閉扉1003を実際に開いたかどうかを判断する。作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して開閉扉1003を、タイマ1101に記憶されている所定の経過時間開かない場合には、扉スイッチ1006は、開閉扉1003が本体部1002の前面開口部1002Hを閉鎖している状態ではオフ状態であるので、扉スイッチ1006からはオン信号OSが制御部1100には送られない。

0176

従って、制御部1100は、オン信号OSが所定の経過時間送られてこないと、作業者が開閉扉1003を開く意思が無いとみなして、ステップS106において、タイマ1101に記憶されている所定の経過時間経過後、例えば10秒後に、排気ファン16の稼働は停止して終了する。

0177

一方、図15のステップS105において、作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して開閉扉1003をタイマ1101に記憶されている所定の経過時間内に開いて、扉スイッチ1006が、オン信号OSを制御部1100に送る。この場合には、制御部1100は、開閉扉1003を開いたと判断して、ステップS107に移る。

0178

図15のステップS107では、制御部1100は、念のために排気ファン1016の稼働を継続する。そして、ステップS108においては、作業者が手で図13に示す開閉扉1003の取手1005を把持して開閉扉1003を実際に閉めたかどうかを判断する。すなわち、扉スイッチ1006は、開閉扉1003が本体部1002の前面開口部1002Hを閉鎖すると、扉スイッチ1006からはオン信号OSが制御部1100には送られないことから、制御部1100は、開閉扉103を実際に閉めたと判断して、ステップS109に移る。

0179

また、ステップS108において、扉スイッチ106は、開閉扉1003が本体部1002の前面開口部1002Hを閉鎖していないと判断すると、ステップS107に戻り、引き続き、制御部1100は、念のために排気ファン1016の稼働を継続する。

0180

図15のステップS109では、図13の制御部1100は、排気ファン1016を、タイマ1101に記憶されている予め定めた所定の経過時間、例えば10秒間、排気ファン1016を稼働させた後、排気ファン1016の稼働を停止する。

0181

このようにして、図13に示す制御部1100は、開閉扉1003が不用意には開かないようにしていることで、乾燥機1001の処理空間SP内から、粉体等を含む雰囲気の空気が、前面開口部1002Hから外部に曝露しないように、乾燥機1001の取り扱い上の作業安全性を確保している。

0182

また、作業者が、実際に開閉扉1003を開けようとする場合には、開閉扉1003を開ける前において、乾燥機1の処理空間SP内の粉体等を含む雰囲気の空気を、HEPAフィルタ1018に通して、処理空間SP内から確実に排出(換気)できるようにする。これにより、処理空間SP内の粉体等を含む雰囲気の空気が、開閉扉1003を開けたことにより、前面開口部2Hから外部に曝露しないように、乾燥機1001の取り扱い上の作業安全性を確保している。

0183

上述した本発明の乾燥機の第2実施形態では、開閉扉1003が開けられる前には、制御部1100が排気ファン1016を動作させることで、処理空間SP内の圧力が陰圧またはゼロになるように、処理空間SP内の空気が排気される。このため、作業者が開閉扉1003を開けても、処理空間SPの雰囲気の空気が前面開口部2Hから外部に漏れるのを確実に防ぐことができる。このため、作業者は、安心して開閉扉1003を開けることができる。処理空間SPの雰囲気の空気に含まれる粉体や有機溶剤等の有毒物質等が作業者に曝露しない。

0184

開閉扉1003が開けられる前に処理空間SP内に飛散している物質は、開閉扉1003を開けたときには、すでに物質は空気とともに処理空間SP内から排気されてしまっている。このため、作業者は、安心して開閉扉を開けることができる。

0185

以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、各実施形態は一例であり、特許請求の範囲に記載される発明の範囲は、発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々変更できるものである。

0186

本発明の封じ込め装置としては、図示した大気圧下で加熱する封じ込め装置(常圧下の乾燥機)や、真空圧下で加熱する封じ込め装置(真空乾燥機)だけでなく、大気圧下や真空圧下で処理物を乾燥する恒温器定温乾燥機恒温乾燥機、恒温恒湿チャンバ等の各種の機器を含んでおり、構造や形式に限定されない。

0187

処理空間SP内における空気の流れの方向は、下向きの流れの方向に限らずに、空気の流れの方向は任意に設定することができる。

0188

1真空乾燥機(乾燥機の例)
2 本体部
2H 前面開口部(開口部)
3開閉扉
5取手
6扉スイッチ
7制御ボックス
10排気スイッチ(検知部の例)
16排気ファン
17排気口
20排気経路(排気ライン)
26扉ロック
30真空引き経路
45パージライン(空気供給部の一部)
100 制御部
350 空気供給部
351 空気供給部の孔
370 載置台
371 載置台の開口部
1001 乾燥機
DA 下方に向けて流れる空気
DF排気空気
Hヒータ
MD加熱処理物(処理物の例)
SP真空処理空間(処理空間の例)
SP 処理空間(処理空間の例)
DA 下方に向けて流れる空気(処理空間内の空気の流れの一例)
DF 排気空気

ページトップへ

この技術を出願した法人

この技術を発明した人物

ページトップへ

関連する挑戦したい社会課題

関連する公募課題

該当するデータがありません

ページトップへ

技術視点だけで見ていませんか?

この技術の活用可能性がある分野

分野別動向を把握したい方- 事業化視点で見る -

(分野番号表示ON)※整理標準化データをもとに当社作成

ページトップへ

おススメ サービス

おススメ astavisionコンテンツ

新着 最近 公開された関連が強い技術

  • 臨沂景▲いく▼家紡有限公司の「 テーブルクロスを自動的に乾燥させることができるテーブル」が 公開されました。( 2020/10/29)

    【課題】本発明は自動的に乾燥できるテーブルクロスを開示した。【解決手段】テーブルを含み、前記テーブルの上端面の表面にはテーブルクロスが設置され、前記テーブルクロスの中には断熱層が設置され、前記テーブル... 詳細

  • 浙江知瑞科技集団有限公司の「 車内傘保存箱」が 公開されました。( 2020/10/29)

    【課題】本発明は車内傘保存箱を開示した。【解決手段】傘保存箱と前記傘保存箱の中に位置している収納チャンバとを含み、前記収納チャンバの中には二枚の水受け薄膜が設置され、前記収納チャンバの上端壁には上方に... 詳細

  • 安井湘三の「 太陽追尾装置」が 公開されました。( 2020/10/29)

    【課題】 回転駆動系を用いることなく太陽の向きと高度に合わせて追従する太陽追尾機能付き架台を提供する。【解決手段】 太陽追尾機能付き架台3は、基台2に対して遮光板41を南側及び東西に配置した支持装... 詳細

この 技術と関連性が強い技術

関連性が強い 技術一覧

この 技術と関連性が強い人物

関連性が強い人物一覧

この 技術と関連する社会課題

関連する挑戦したい社会課題一覧

この 技術と関連する公募課題

該当するデータがありません

astavision 新着記事

サイト情報について

本サービスは、国が公開している情報(公開特許公報、特許整理標準化データ等)を元に構成されています。出典元のデータには一部間違いやノイズがあり、情報の正確さについては保証致しかねます。また一時的に、各データの収録範囲や更新周期によって、一部の情報が正しく表示されないことがございます。当サイトの情報を元にした諸問題、不利益等について当方は何ら責任を負いかねることを予めご承知おきのほど宜しくお願い申し上げます。

主たる情報の出典

特許情報…特許整理標準化データ(XML編)、公開特許公報、特許公報、審決公報、Patent Map Guidance System データ