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技術 測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法

出願人 日置電機株式会社
発明者 久保田雄
出願日 2016年4月1日 (4年7ヶ月経過) 出願番号 2016-074081
公開日 2017年10月12日 (3年1ヶ月経過) 公開番号 2017-187298
状態 特許登録済
技術分野 プリント板の製造 短絡、断線、漏洩,誤接続の試験 測定値の指示
主要キーワード 各測定ステップ 各測定ポイント間 測定ポイント間 カラーバー画像 測定値表示 色寄り 基準値データ 測定値データ
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2017年10月12日)のものです。
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図面 (8)

課題

被検査基板におけるどの位置の導体路にどの程度の不良が生じているかを容易に把握可能とする。

解決手段

複数の導体路が設けられた被検査基板における各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および被検査基板を対象とする測定処理によって測定された各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、各導体路の良否を特定可能に測定結果視覚的に報知する際に、各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を基準値および測定値に基づいて演算すると共に、被検査基板における各導体路の位置に応じて各導体路を示す複数の導体路像Glが配置された被検査基板像G1aの基板画像データを使用して被検査基板像G1aにおける各導体路像Glの色相明度および彩度のうちの1つを特定用の値に対応させて変更することで報知用画像G4のデータを生成し、その報知用画像G4によって各導体路についての測定結果を報知する。

概要

背景

例えば、下記の特許文献には、被検査基板についての検査を実行して検査結果を表示または印刷可能に構成されたインサーキットテスタ(インサーキットテスタによる不良データ出力表示方法)の発明が開示されている。

このインサーキットテスタでは、まず、被検査基板上に規定されている複数の測定ポイントプローブピンプロービングさせた状態で各測定ポイント間についての測定処理を実行して測定データを得る。次いで、良品基板対応箇所から吸収した基準データの値(以下、「基準値」ともいう)と、上記の測定データの値(以下、「測定値」ともいう)とを比較することにより、各測定ポイント間の良否を検査する。この場合、このインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率についての許容範囲が各測定ポイント間(各測定ステップ)毎に設定されており、測定処理と並行して充足率が許容範囲内であるか否が判別され、充足率が許容範囲を外れているときには、その測定ポイント間に不良が生じているとして検査データに追記される構成が採用されている。

また、このインサーキットテスタでは、測定処理のステップ数を示す「測定ステップ数表示欄」、測定処理に使用したプローブピンの番号を示す「ピン番号表示欄」、測定値を示す「測定値表示欄」、充足率を示す「充足率表示欄」、規定された許容範囲を示す「許容範囲表示欄」、および測定値と基準値との格差(両値の差)を示す「格差表示欄」が各測定ポイント間(各測定ステップ)毎に設けられた一覧表を上記の検査データに基づいて表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。これにより、このインサーキットテスタでは、表示または印刷された一覧表内の数値を参照することにより、いずれの測定ポイント間(いずれの測定ステップ)に不良が生じているかを特定させることが可能となっている。

概要

被検査基板におけるどの位置の導体路にどの程度の不良が生じているかを容易に把握可能とする。複数の導体路が設けられた被検査基板における各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および被検査基板を対象とする測定処理によって測定された各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、各導体路の良否を特定可能に測定結果視覚的に報知する際に、各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を基準値および測定値に基づいて演算すると共に、被検査基板における各導体路の位置に応じて各導体路を示す複数の導体路像Glが配置された被検査基板像G1aの基板画像データを使用して被検査基板像G1aにおける各導体路像Glの色相明度および彩度のうちの1つを特定用の値に対応させて変更することで報知用画像G4のデータを生成し、その報知用画像G4によって各導体路についての測定結果を報知する。

目的

本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、被検査基板におけるいずれの位置の導体路にどの程度の不良が生じているかを容易に把握させ得る測定結果報知装置測定システムおよび測定結果報知方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

複数の導体路が設けられた被検査基板における当該各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および当該被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、前記各導体路の良否を特定可能に測定結果視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、前記処理部は、前記各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記基準値および前記測定値に基づいて演算すると共に、前記被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相明度および彩度のうちの予め規定された1つを前記特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路についての測定結果を報知する測定結果報知装置。

請求項2

前記処理部は、前記予め規定された1つと前記特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを前記被検査基板像と並べて描画して前記報知用画像データを生成する請求項1記載の測定結果報知装置。

請求項3

請求項1または2記載の測定結果報知装置と、前記各導体路についての測定処理を実行して前記測定値を記録した前記測定値データを生成する測定装置とを備えて構成された測定システム

請求項4

複数の導体路が設けられた被検査基板における当該各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および当該被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、前記各導体路の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、前記各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記基準値および前記測定値に基づいて演算すると共に、前記被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つを前記特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路についての測定結果を報知する測定結果報知方法。

技術分野

0001

本発明は、被検査基板に設けられた複数の導体路についての測定結果視覚的に報知する測定結果報知装置および測定結果報知方法、並びに、そのような測定結果報知装置を備えて構成された測定システムに関するものである。

背景技術

0002

例えば、下記の特許文献には、被検査基板についての検査を実行して検査結果を表示または印刷可能に構成されたインサーキットテスタ(インサーキットテスタによる不良データ出力表示方法)の発明が開示されている。

0003

このインサーキットテスタでは、まず、被検査基板上に規定されている複数の測定ポイントプローブピンプロービングさせた状態で各測定ポイント間についての測定処理を実行して測定データを得る。次いで、良品基板対応箇所から吸収した基準データの値(以下、「基準値」ともいう)と、上記の測定データの値(以下、「測定値」ともいう)とを比較することにより、各測定ポイント間の良否を検査する。この場合、このインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率についての許容範囲が各測定ポイント間(各測定ステップ)毎に設定されており、測定処理と並行して充足率が許容範囲内であるか否が判別され、充足率が許容範囲を外れているときには、その測定ポイント間に不良が生じているとして検査データに追記される構成が採用されている。

0004

また、このインサーキットテスタでは、測定処理のステップ数を示す「測定ステップ数表示欄」、測定処理に使用したプローブピンの番号を示す「ピン番号表示欄」、測定値を示す「測定値表示欄」、充足率を示す「充足率表示欄」、規定された許容範囲を示す「許容範囲表示欄」、および測定値と基準値との格差(両値の差)を示す「格差表示欄」が各測定ポイント間(各測定ステップ)毎に設けられた一覧表を上記の検査データに基づいて表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。これにより、このインサーキットテスタでは、表示または印刷された一覧表内の数値を参照することにより、いずれの測定ポイント間(いずれの測定ステップ)に不良が生じているかを特定させることが可能となっている。

先行技術

0005

特開平3−197880号公報(第2−4頁、第1−3図)

発明が解決しようとする課題

0006

ところが、上記の特許文献に開示されているインサーキットテスタには、以下のような解決すべき課題が存在する。すなわち、上記のインサーキットテスタでは、基準値に対する測定値の充足率が許容範囲を外れている測定ポイント間(測定ステップ)を不良と判別して検査データを生成し、検査データに基づく一覧表を表示または印刷することで被検査基板についての検査結果を報知する構成が採用されている。

0007

この場合、上記のインサーキットテスタでは、一例として、「格差表示欄」内の数値(基準値と測定値との格差)が大きい順で一覧表内の各行をソートして表示・印刷する構成が採用されている。このため、上記のインサーキットテスタでは、表示・印刷された一覧表を参照させることで、被検査基板の各測定ポイント間(導体パターンビア等:以下、「導体路」ともいう)のなかで、基準値と測定値との格差が大きい導体路が何番の測定ステップ数の導体路であるか、および何番のプローブピンを使用して測定した導体路であるかを特定させることができる。

0008

しかしながら、格差が大きい導体路の測定ステップ数などを特定できたとしても、特定した測定ステップ数の導体路が、被検査基板におけるいずれの位置に設けられている導体路であるかを特定するには、被検査基板における導体路と測定ステップ数との対応関係を示す別の図面等を参照する必要がある。このため、特にこの種の装置を使用した検査に不慣れな者にとっては、不良と検査された導体路が被検査基板上のいずれの位置に設けられた導体路であるかの特定が困難となっている。したがって、被検査基板のいずれの部位にどの程度の不良が生じているかを把握するのが非常に困難となっている。

0009

また、上記のインサーキットテスタでは、多数の導体路が設けられた被検査基板の検査結果の報知に際して、不良と検査された導体路の数が多いときに、「測定ステップ数表示欄」、「ピン番号表示欄」、「測定値表示欄」、「充足率表示欄」、「許容範囲表示欄」および「格差表示欄」からなる「行」が連続して多数表示・印刷されることとなる。したがって、上記のインサーキットテスタでは、多数行に亘る数値の比較が困難であることに起因して、被検査基板にどの程度の不良が生じているかを特定するのが困難となっている。

0010

本発明は、かかる解決すべき課題に鑑みてなされたものであり、被検査基板におけるいずれの位置の導体路にどの程度の不良が生じているかを容易に把握させ得る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法を提供することを主目的とする。

課題を解決するための手段

0011

上記目的を達成すべく、請求項1記載の測定結果報知装置は、複数の導体路が設けられた被検査基板における当該各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および当該被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、前記各導体路の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する処理部を備えた測定結果報知装置であって、前記処理部は、前記各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記基準値および前記測定値に基づいて演算すると共に、前記被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相明度および彩度のうちの予め規定された1つを前記特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路についての測定結果を報知する。

0012

請求項2記載の測定結果報知装置は、請求項1記載の測定結果報知装置において、前記処理部は、前記予め規定された1つと前記特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを前記被検査基板像と並べて描画して前記報知用画像データを生成する。

0013

請求項3記載の測定システムは、請求項1または2記載の測定結果報知装置と、前記各導体路についての測定処理を実行して前記測定値を記録した前記測定値データを生成する測定装置とを備えて構成されている。

0014

請求項4記載の測定結果報知方法は、複数の導体路が設けられた被検査基板における当該各導体路毎の基準値が記録された基準値データ、および当該被検査基板を対象とする測定処理によって測定された当該各導体路毎の測定値が記録された測定値データに基づき、前記各導体路の良否を特定可能に測定結果を視覚的に報知する測定結果報知方法であって、前記各導体路の良否の程度を特定可能な特定用の値を前記基準値および前記測定値に基づいて演算すると共に、前記被検査基板における前記各導体路の位置に応じて当該各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像の基板画像データを使用して当該被検査基板像における当該各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つを前記特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した当該報知用画像データに基づいて前記各導体路についての測定結果を報知する。

発明の効果

0015

請求項1記載の測定結果報知装置、および請求項4記載の測定結果報知方法では、基準値と測定値とに基づいて各導体路毎にその良否の程度を特定可能な特定用の値を演算すると共に、被検査基板像における各導体路像の色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つを特定用の値に対応させて変更することで報知用画像データを生成し、生成した報知用画像データに基づいて各導体路についての検査結果を視覚的に報知する。また、請求項3記載の測定システムでは、上記の測定結果報知装置と、各導体路についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データを生成する測定装置とを備えて構成されている。

0016

したがって、請求項1記載の測定結果報知装置、請求項3記載の測定システム、および請求項4記載の測定結果報知方法によれば、各導体路についての測定値等が一覧表形式で表示・印刷される測定結果(検査結果)とは異なり、表示または印刷した報知用画像の被検査基板像を参照させることで、被検査基板のいずれの位置に形成された導体路が良好で、いずれの位置に形成された導体路が不良であるかを直感的に把握させることができ、しかも、各導体路像の「色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つ」の相違によって各導体路の不良度合い(良好度合い)についても直感的に把握させることができる。これにより、この種の装置を使用した検査に不慣れな者であっても、被検査基板に生じている不良の原因等を容易に特定することができる。

0017

さらに、請求項2記載の測定結果報知装置、およびそのような測定結果報知装置を備えた測定システムや、そのような測定結果報知装置において実施される測定結果報知方法によれば、色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つと特定用の値との対応関係を特定可能なカラーバーを被検査基板像と並べて描画して報知用画像データを生成することにより、被検査基板におけるいずれの位置の導体路にどの程度の不良が生じているかを一層容易に把握させることができる。

図面の簡単な説明

0018

基板検査システム100(測定装置1およびデータ処理装置2)の構成を示す構成図である。
被検査基板X(導体パターンL1,L2・・およびビアV1,V2・・)の一例について説明するための説明図である。
図2に示す被検査基板Xについての被検査基板像G1(パターン像Gl1,Gl2・・)の一例について説明するための説明図である。
被検査基板像G1の一例について説明するための説明図である。
被検査基板像G2の一例について説明するための説明図である。
検査結果を報知する報知用画像G4(被検査基板像G1aおよびカラーバーG3)の一例について説明するための説明図である。
検査結果を報知する報知用画像G4(被検査基板像G2aおよびカラーバーG3)の一例について説明するための説明図である。

実施例

0019

以下、本発明に係る測定結果報知装置、測定システムおよび測定結果報知方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

0020

図1に示す基板検査システム100は、「測定システム」の一例であって、測定装置1およびデータ処理装置2を備え、測定装置1による被検査基板Xについての測定結果に基づき、データ処理装置2において被検査基板Xの良否を特定可能に報知する構成が採用されている。この場合、被検査基板Xは、「被検査基板」の一例であって、図2に示すように、導体パターンL1,L2・・やビアV1,V2・・(以下、区別しないときには「導体パターンL」および「ビアV」ともいう)などで構成された複数の「導体路」が設けられている。

0021

測定装置1は、「測定装置」の一例であって、図1に示すように、測定用治具11、スキャナ12、測定部13、記憶部14および処理部15を備えて被検査基板X等を対象とする測定処理を実行可能に構成されている。測定用治具11は、被検査基板Xにおける各導体パターンLやビアVについての測定処理のために規定された複数のプロービングポイントPa,Pb・・(図2参照:以下、区別しないときには「プロービングポイントP」ともいう)に対してプロービング可能に植設された複数の測定用プローブ11aを備えている。

0022

スキャナ12は、処理部15の制御に従い、測定用治具11における任意の測定用プローブ11aを測定部13に接続させる。測定部13は、処理部15の制御に従い、スキャナ12によって接続される測定用プローブ11aを介して被検査基板Xの任意のプロービングポイントP,P間の電気的パラメータ(一例として、抵抗値)を測定する。

0023

記憶部14は、被検査基板Xについての測定手順検査手順)が記録された測定手順データDaや、処理部15の演算結果などを一時的に記憶する。処理部15は、測定装置1を総括的に制御する。具体的には、処理部15は、測定手順データDaに従ってスキャナ12を制御して任意の測定用プローブ11aを測定部13に接続させると共に、測定部13を制御して抵抗値の測定処理を実行させる。また、処理部15は、測定部13から出力される測定値を記録して測定値データD1(「測定値データ」の一例)を生成すると共に、生成した測定値データD1をデータ処理装置2に出力する。

0024

一方、データ処理装置2は、「測定結果報知装置」に相当し、一例として、データ処理用プログラムインストールされた汎用パーソナルコンピュータで構成されている。具体的には、データ処理装置2は、操作部21、表示部22、印刷部23、記憶部24および処理部25を備えて構成されている。操作部21は、マウスタッチパッド等のポインティングデバイスおよびキーボードなどで構成され、使用者による操作に応じた操作信号を処理部25に出力する。表示部22は、処理部25の制御に従い、後述するように測定結果の表示画面などを表示する。印刷部23は、処理部25の制御に従い、後述する測定結果などを印刷する。

0025

記憶部24は、上記のデータ処理用のプログラム、および測定装置1から出力される測定値データD1や、基準値データD0、基板画像データD2、カラーバー画像データD3および報知用画像データD4などを記憶する。この場合、基準値データD0は、「基準値データ」の一例であって、被検査基板Xにおける上記の各導体パターンLやビアV(各導体路)毎に予め規定された基準値が記録されている。この基準値データD0は、一例として、被検査基板Xの設計データ等に基づいて外部装置において生成されてデータ処理装置2の記憶部24に記憶させられる。

0026

また、基板画像データD2は、「基板画像データ」の一例であって、被検査基板Xにおける各導体パターンLの位置に応じてパターン像Gl1,Gl2・・(以下、区別しないときには「パターン像Gl」ともいう)が配置された被検査基板像G1(図3,4参照:「各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像」の一例)や、被検査基板Xにおける各ビアVの位置に応じてビア像Gv,Gv・・が配置された被検査基板像G2(図5参照:「各導体路を示す複数の導体路像が配置された被検査基板像」の他の一例)などの画像データで構成されている。

0027

具体的には、被検査基板像G1は、例えば、被検査基板Xにおける各導体パターンLのうちの図2に示す導体パターンL1〜L4については、図3に示すように、それらの形状や位置に応じてパターン像Gl1〜Gl4が描画されている。また、被検査基板像G2は、被検査基板Xにおける各ビアVの直径や位置に応じてビア像Gv,Gvが描画されている。これらの被検査基板像G1,G2の基板画像データD2は、一例として、被検査基板Xの設計データ等に基づいて外部装置において生成されてデータ処理装置2の記憶部24に記憶させられる。

0028

カラーバー画像データD3は、後述するように被検査基板像G1内の各パターン像Glや被検査基板像G2内の各ビア像Gvに対して規定される明度の範囲を特定可能なカラーバーG3(図6,7参照)の画像データ構成されている。なお、このカラーバー画像データD3のカラーバーG3と、各パターン像Glや各ビア像Gvの明度との関係については、後に詳細に説明する。報知用画像データD4は、「報知用画像データ」の一例であって、後述するように処理部25によって実行されるデータ処理によって生成される。

0029

処理部25は、データ処理装置2を総括的に制御する。この処理部25は、「処理部」の一例であって、上記のデータ処理用のプログラムに従い、基準値データD0、測定値データD1および基板画像データD2に基づいて報知用画像データD4を生成し、生成した報知用画像データD4を使用して被検査基板Xにおける各導体パターンLや各ビアVについての測定結果を表示部22に表示させたり印刷部23に印刷させたりする(「視覚的に報知する」との処理の一例)。なお、処理部25による測定結果の報知処理については、後に具体的な例を挙げて詳細に説明する。

0030

この基板検査システム100による被検査基板Xについての測定処理、およびその測定結果の報知に際しては、まず、測定装置1に被検査基板Xをセットして各導体パターンLや各ビアVなどの導体路についての抵抗値の測定処理を実行させる。なお、実際の測定装置1では、図示しない基板保持部による被検査基板Xの保持や、図示しない移動機構による測定用治具11の移動(各プロービングポイントPに対する各測定用プローブ11aのプロービング)などが行われるが、これらの動作については公知のため、これらの処理についての説明を省略する。これにより、各導体路(各導体パターンLや各ビアV)毎の測定値が記録された測定値データD1が生成される。

0031

次いで、測定装置1において生成された測定値データD1をデータ処理装置2に転送して測定結果を表示または印刷させる。具体的には、処理部25は、まず、記憶部24に記憶されている基準値データD0の値と、測定装置1から転送された測定値データD1の値とに基づき、各導体路(各導体パターンLや各ビアV)の良否の程度を特定可能な「特定用の値」を被検査基板Xの各導体路毎に演算する。より具体的には、本例のデータ処理装置2(基板検査システム100)では、一例として、測定値データD1に記録されている測定値から基準値データD0に記録されている基準値を差し引いた値を基準値で除した値(以下、この値を「相違率」ともいう)を「特定用の値」として各導体路毎にそれぞれ演算する。なお、上記の「相違率」に代えて、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値に「100」を乗じた値を「相違率」としてもよい。

0032

この場合、被検査基板Xが、表面層および裏面層の2層からなる両面基板片面基板の場合(内層の導体パターンが存在しない場合)には、測定装置1による上記の測定処理に際して、測定対象検査対象)の導体パターンLやビアV毎に測定用プローブ11aを直接プロービングして測定値を得ることができる。しかしながら、被検査基板Xが多層基板の場合には、例えば、内層の導体パターンLや、両端部のうちの少なくとも一方が内層の導体パターンLに接続されているビアVについては、それら単独の測定値を得ることができない。

0033

したがって、本例の基板検査システム100では、多層基板の被検査基板Xにおける内層の導体パターンLや、少なくとも一方の端部が内層の導体パターンLに接続されているビアVについては、測定装置1による測定処理に際して、それらを通過する「導体路」(上記のような導体パターンLやビアVと、その他の導体パターンLからなる導体路)についての抵抗値を測定しておき、その測定値を記録した測定値データD1に基づいてデータ処理装置2によって測定結果を報知する構成が採用されている。

0034

例えば、内層の導体パターンLについて、その導体パターンLを通過する複数の「導体路」が存在する場合には、各「導体路」についての相違率の平均値を、その導体パターンLの相違率とし、その導体パターンLを通過する「導体路」が1つだけの場合には、その「導体路」についての相違率を、その導体パターンLの相違率とする。また、少なくとも一方の端部(一方の端部のみ、または両方の端部)が内層の導体パターンLに接続されているビアVについて、そのビアVを通過する複数の「導体路」が存在する場合には、各「導体路」についての相違率の平均値を、そのビアVの相違率とし、そのビアVを通過する「導体路」が1つだけの場合には、その「導体路」についての相違率を、そのビアVの相違率とする。

0035

次いで、処理部25は、基板画像データD2の被検査基板像G1,G2における各パターン像Glや各ビア像Gvの明度(「色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つ」が「明度」である処理の一例)を、演算した相違率に対応させて変更する。

0036

具体的には、本例のデータ処理装置2(基板検査システム100)では、一例として、図4に示す被検査基板像G1に関して、上記の相違率が高い導体パターンLのパターン像Glほど明度を低く規定すると共に、相違率が低い導体パターンLのパターン像Glほど明度を高く規定することにより、図6に示すように、グレースケール画像の被検査基板像G1aとして再描画する。これにより、各パターン像Glの明度が、対応する導体パターンLの良否の程度(本例では、相違率)に応じて相違する基板画像データD2が生成される。

0037

また、図5に示す被検査基板像G2に関して、上記の相違率が高いビアVのビア像Gvほど明度を低く規定すると共に、相違率が低いビアVのビア像Gvほど明度を高く規定して各ビア像Gvを再描画する。この場合、本例のデータ処理装置2(基板検査システム100)では、小径のビアVを示すビア像Gvの視認を容易とするために、上記の明度の変更と並行して、各ビア像Gvを拡大して描画する構成が採用されている。具体的には、一例として、図5に示す被検査基板像G2における各ビア像Gvを、それぞれの中心を変化させることなく、例えば2倍から10倍の範囲内で予め規定された拡大率で拡大する。これにより、一例として、図7に示すようなグレースケールの被検査基板像G2aが描画されて、各ビア像Gvの明度が、対応するビアVの良否の程度(本例では、相違率)に応じて相違する基板画像データD2が生成される。

0038

続いて、処理部25は、図6に示すように、各パターン像Glの明度を変更した上記の被検査基板像G1aと、記憶部24から読み出したカラーバー画像データD3のカラーバーG3とを並べて描画する。これにより、被検査基板Xにおける各導体パターンLについての測定結果を示す報知用画像G4の報知用画像データD4が生成される。また、処理部25は、図7に示すように、各ビア像Gvの明度を変更した上記の被検査基板像G2aとカラーバーG3とを並べて描画する。これにより、被検査基板Xにおける各ビアVについての測定結果を示す報知用画像G4の報知用画像データD4が生成される。

0039

この場合、上記のカラーバー画像データD3のカラーバーG3は、「カラーバー」の一例であって、被検査基板Xについての基準値データD0や測定値データD1に基づいて算出され得る「相違率」の範囲と、各パターン像Glや各ビア像Gvに規定する明度の範囲(この例では、白色から黒色の範囲)との対応関係を特定可能に構成されている。具体的には、本例のカラーバーG3では、相違率が高いほど、低い明度(黒色寄りの明度)が対応付けられ、相違率が低いほど、高い明度(白色寄りの明度)が対応付けられていることを特定可能に構成されている。つまり、相違率が高いほど明度が漸減し、かつ相違率が低いほど明度が漸増する。

0040

次いで、処理部25は、生成した報知用画像データD4に基づき、図6に示すように、報知用画像G4(被検査基板像G1aおよびカラーバーG3)を表示部22に表示させる。これにより、被検査基板Xにおける各導体パターンLについての測定結果を示す被検査基板像G1aがカラーバーG3と並んで表示される(「測定結果を視覚的に報知する」との処理の一例)。

0041

この報知用画像G4(被検査基板像G1a)では、各導体パターンL毎の基準値データD0および測定値データD1に基づいて演算された相違率に応じて、対応するパターン像Glの明度が相違させられている。また、この報知用画像G4(被検査基板像G1a)では、各導体パターンLのパターン像Glが、被検査基板X上の実際の導体パターンLの位置に対応して描画されている。したがって、表示部22に表示された被検査基板像G1aをカラーバーG3と共に参照することにより、被検査基板Xの各部に形成された導体パターンLの良否を把握することができる。

0042

なお、表示部22への表示に代えて、報知用画像データD4を印刷部23に出力することで上記の報知用画像G4(被検査基板像G1aおよびカラーバーG3)を紙面に印刷させることもできる(「測定結果を視覚的に報知する」との処理の他の一例)。これにより、表示部22に表示された報知用画像G4を参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像G4を参照することで、被検査基板Xの各部に形成された導体パターンLの良否を把握することができる。

0043

また、処理部25は、操作部21による表示画面の切り替え操作に応じて、他の報知用画像データD4に基づき、図7に示すように、他の報知用画像G4(被検査基板像G2aおよびカラーバーG3)を表示部22に表示させる。これにより、被検査基板Xにおける各ビアVについての測定結果を示す被検査基板像G2aがカラーバーG3と並んで表示される(「測定結果を視覚的に報知する」との処理のさらに他の一例)。

0044

この報知用画像G4(被検査基板像G2a)では、各ビアV毎の基準値データD0および測定値データD1に基づいて演算された相違率に応じて、対応するビア像Gvの明度が相違させられている。また、この報知用画像G4(被検査基板像G2a)では、各ビアVのビア像Gvが、被検査基板X上の実際のビアVの位置に対応して描画されている。したがって、表示部22に表示された被検査基板像G2aをカラーバーG3と共に参照することにより、被検査基板Xの各部に形成されたビアVの良否を把握することができる。

0045

なお、表示部22への表示に代えて、報知用画像データD4を印刷部23に出力することで上記の報知用画像G4(被検査基板像G2aおよびカラーバーG3)を紙面に印刷させることもできる(「測定結果を視覚的に報知する」との処理のさらに他の一例)。これにより、表示部22に表示された報知用画像G4を参照したときと同様にして、紙面に印刷された報知用画像G4を参照することで、被検査基板Xの各部に形成されたビアVの良否を把握することができる。

0046

このように、このデータ処理装置2、よびデータ処理装置2における測定結果報知方法では、基準値(基準値データD0に記録されている値)と測定値(測定値データD1に記録されている値)とに基づいて各導体路(各導体パターンLや各ビアV)毎にその良否の程度を特定可能な「特定用の値」を演算すると共に、基板画像データD2の被検査基板像G1,G2における各導体路像(パターン像Glやビア像Gv)の色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つを「特定用の値」に対応させて変更することで報知用画像データD4を生成し、生成した報知用画像データD4に基づいて各導体路についての測定結果を視覚的に報知(表示またや印刷)する。また、この基板検査システム100では、上記のデータ処理装置2と、各導体路についての測定処理を実行して測定値を記録した測定値データD1を生成する測定装置1とを備えて構成されている。

0047

したがって、このデータ処理装置2、基板検査システム100、およびデータ処理装置2における測定結果報知方法によれば、各導体パターンLやビアVについての測定値等が一覧表形式で表示・印刷される測定結果(検査結果)とは異なり、表示または印刷した報知用画像G4の被検査基板像G1a,G2aを参照させることで、被検査基板Xのいずれの位置に形成された導体パターンLやビアVが良好な導体パターンLやビアVで、いずれの位置に形成された導体パターンLやビアVが不良のビアVであるかを直感的に把握させることができ、しかも、各パターン像Glやビア像Gvの明度の相違によって各導体パターンLやビアVの不良度合い(良好度合い)についても直感的に把握させることができる。これにより、この種の装置を使用した検査に不慣れな者であっても、被検査基板Xに生じている不良の原因等を容易に特定することができる。

0048

さらに、このデータ処理装置2、基板検査システム100、およびデータ処理装置2における測定結果報知方法によれば、「色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つ(本例では、明度)」と「特定用の値」との対応関係を特定可能なカラーバーG3を被検査基板像G1a,G2aと並べて描画して報知用画像データD4を生成することにより、被検査基板Xにおけるいずれの位置の導体パターンLやビアVにどの程度の不良が生じているかを一層容易に把握させることができる。

0049

なお、「測定結果報知装置」および「測定システム」の構成や、「測定結果報知方法」の処理内容については、上記の例に限定されない。例えば、測定値から基準値を差し引いた値を基準値で除した値、または、その値に「100」を乗じた値(相違率)を「特定用の値」として演算して報知用画像データD4を生成する例について説明したが、「特定用の値」は、上記の「相違率」に限定されない。また、「測定値を基準値で除した値(上記特許文献に開示のインサーキットテスタにおいて演算される「充足率」と同様の値)」、または、その値に「100」を乗じた値を「特定用の値」として演算して使用することができる。

0050

また、「色相、明度および彩度のうちの予め規定された1つ」の一例として、黒色の「導体路像(パターン像Glやビア像Gv)の「明度」を「特定用の値(上記の例では、相違率)」に応じて異ならせて報知用画像データD4を生成する処理を例に挙げて説明したが、黒色以外の任意の色の「導体路像」の「明度」を「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。さらに、「明度」を異ならせる処理に代えて、「導体路像」の色の「色相」または「彩度」を「特定用の値」に応じて異ならせて「報知用画像データ」を生成することもできる。

0051

また、1つの導体パターンLや、1つのビアVを1つの「導体路」として測定して測定結果を報知する例について説明したが、連続する複数の導体パターンLを1つの「導体路」としたり、連続する1つまたは複数の導体パターンLとビアVとを1つの「導体路」としたりして、これを測定して測定結果を報知する構成、方法を採用することもできる。さらに、「導体路」としての導体パターンLについての測定結果だけを報知したり、「導体路」としてのビアVについての測定結果だけを報知したりする構成および方法を採用することもできる。

0052

加えて、測定用治具11およびスキャナ12を介して被検査基板Xについての測定処理を実行する測定装置1を例に挙げて説明したが、「測定システム」における「測定装置」の構成はこれに限定されず、プローブ移動機構によって各測定用プローブを別個独立して移動させて任意のプロービングポイントにプロービングさせて「被検査基板」についての測定処理を実行可能な「測定装置」を備えて構成することもできる。

0053

100基板検査システム
1測定装置
2データ処理装置
11測定用治具
22 表示部
23印刷部
24 処理部
25 記憶部
D0基準値データ
D1測定値データ
D2基板画像データ
D3カラーバー画像データ
D4報知用画像データ
G1,G1a,G2,G2a被検査基板像
G3カラーバー
G4 報知用画像
Gl,Gl1,Gl2・・パターン像
Gvビア像
L1,L2・・導体パターン
V1,V2・・ビア
X 被検査基板

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