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図面 (2)

課題

反射率が低く、露光精度の更なる向上に対応可能な載置用部材を提供する。

解決手段

本実施形態の載置用部材は、基板の一方の主面に、載置面を有する突出部を複数備え、酸化アルミニウム質セラミックスからなり、該酸化アルミニウム質セラミックスは、コバルト、鉄、ニッケルおよびチタン酸化物を含む。前記酸化アルミニウム質セラミックスは、粒界相に、コバルトスピネル、鉄スピネルおよびニッケルスピネルの少なくともいずれかを含む。

概要

背景

液晶ディスプレイ製作用基板等の光透過性基板を製造するための露光装置では、光透過性基板の載置用部材として、光の反射を抑制して露光精度を向上させるために、着色されたセラミックスからなる低反射部材が用いられている。

このような低反射部材として、特許文献1では、明度指数が45以下であり、X線回折チャートにおいて酸化物系の化合物が最も高いピークを示すセラミックスからなり、化合物の屈折率が1.72以下である低反射部材が提案されている。

概要

反射率が低く、露光精度の更なる向上に対応可能な載置用部材を提供する。 本実施形態の載置用部材は、基板の一方の主面に、載置面を有する突出部を複数備え、酸化アルミニウム質セラミックスからなり、該酸化アルミニウム質セラミックスは、コバルト、鉄、ニッケルおよびチタンの酸化物を含む。前記酸化アルミニウム質セラミックスは、粒界相に、コバルトスピネル、鉄スピネルおよびニッケルスピネルの少なくともいずれかを含む。

目的

効果

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請求項1

基板の一方の主面に、載置面を有する突出部を複数備え、酸化アルミニウム質セラミックスからなり、該酸化アルミニウム質セラミックスは、コバルト、鉄、ニッケルおよびチタン酸化物を含むことを特徴とする載置用部材

請求項2

前記酸化アルミニウム質セラミックスは、粒界相に、コバルトスピネル、鉄スピネルおよびニッケルスピネルの少なくともいずれかを含むことを特徴とする請求項1に記載の載置用部材。

請求項3

前記酸化アルミニウム質セラミックスは、粒界相に、チタン酸アルミニウムを含むことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の載置用部材。

請求項4

前記主面は、粗さ曲線における25%の負荷長さ率と75%の負荷長さ率との間の切断レベル差(Rδc)が1.1μm以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の載置用部材。

請求項5

前記突出部の前記載置面は、粗さ曲線における25%の負荷長さ率と75%の負荷長さ率との間の切断レベル差(Rδc)が1.1μm以上であることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の載置用部材。

技術分野

0001

本開示は、半導体製造工程の露光処理で、被処理物である光透過性基板を載置するための真空チャック等、載置用部材に関するものである。

背景技術

0002

液晶ディスプレイ製作用基板等の光透過性基板を製造するための露光装置では、光透過性基板の載置用部材として、光の反射を抑制して露光精度を向上させるために、着色されたセラミックスからなる低反射部材が用いられている。

0003

このような低反射部材として、特許文献1では、明度指数が45以下であり、X線回折チャートにおいて酸化物系の化合物が最も高いピークを示すセラミックスからなり、化合物の屈折率が1.72以下である低反射部材が提案されている。

先行技術

0004

特開2015−211073号公報

発明が解決しようとする課題

0005

特許文献1で提案された低反射部材は、反射率が6.8%以上9.6%以下である。今般の露光処理で用いられる載置用部材は、露光精度の更なる向上のため、さらに反射率が低いことが求められている。

課題を解決するための手段

0006

本実施形態の載置用部材は、基板の一方の主面に、載置面を有する突出部を複数備え、酸化アルミニウム質セラミックスからなり、該酸化アルミニウム質セラミックスは、コバルト、鉄、ニッケルおよびチタンの酸化物を含むことを特徴とするものである。

発明の効果

0007

本実施形態の載置用部材は、波長域360nm〜440nmにおける反射率が低いため、露光精度の更なる向上に対応することができる。

図面の簡単な説明

0008

本実施形態の載置用部材の一例を示す斜視図である。

0009

以下、図面を参照して、本実施形態の載置用部材について詳細に説明する。

0010

図1に示す載置用部材10は、基板1の一方の主面1aに、載置面2aを有する突出部2を複数備える。そして、基板1は、厚み方向に貫通する吸引孔3を複数備えており、この吸引孔3は真空吸引装置(図示しない)に接続され、真空吸引装置で吸引孔3を介して吸引することにより、被処理物(図示しない)を吸着固定することができる。この場合、主面1aおよび被処理物によって挟まれる空間は、気体を吸引する流路となる。また、突出部2はピン状の突起であり、その載置面2aには光透過性基板等の被処理物が載置されるようになっている。そして、図1に示す形状の載置面2aに被処理物を載置することにより、平坦な面に載置するときよりも、被処理物と載置する面との間に塵埃が挟まるおそれが低減する。

0011

本実施形態の載置用部材10は、酸化アルミニウム質セラミックスからなる。ここで、酸化アルミニウム質セラミックスとは、セラミックスを構成する全成分の合計100質量%のうち、酸化アルミニウムの含有量が52質量%以上の主成分であるセラミックスのことを指す。

0012

そして、本実施形態の載置用部材10を構成する酸化アルミニウム質セラミックスは、コバルト、鉄、ニッケルおよびチタンの酸化物を含む。コバルト、鉄、ニッケルおよびチタンの酸化物は、着色成分であり、酸化アルミニウム質セラミックスの色調を暗色(黒色)にすることができるため、波長域360nm〜440nmにおける反射率(以下、この範囲内の波長域の反射率を、単に反射率と記載する場合がある。)が低くなる。それ故、本実施形態の載置用部材10は、露光精度を向上させることができる。

0013

コバルトの酸化物の含有量は、例えば、コバルト(Co)をCo3O4に換算した値で8質量%以上12質量%以下である。また、鉄の酸化物の含有量は、例えば、鉄(Fe)をFe2O3に換算した値で4質量%以上6質量%以下である。また、ニッケルの酸化物の含有量は、例えば、ニッケル(Ni)をNiOに換算した値で3質量%以上4質量%以下である。また、チタンの酸化物の含有量は、例えば、チタン(Ti)をTiO2に換算した値で1質量%以上2質量%以下である。

0014

また、酸化アルミニウム質セラミックスは、上記成分以外に、焼結助剤としての作用をなし、主に粒界相を構成する成分として、珪素マグネシウムおよびカルシウムの酸化物を含んでいてもよい。以下、珪素、マグネシウムおよびカルシウムの酸化物(SiO2、MgO、CaO)を総称して助剤成分と記載する。助剤成分の含有量は、酸化アルミニウム質セラミックスを構成する全成分の合計100質量%のうち、例えば、0.6質量%以上2質量%以下である。

0015

上述した主成分、着色成分および助剤成分の含有量は、酸化アルミニウム質セラミックスの一部を粉砕し、得られた粉体塩酸などの溶液に溶解した後、ICP(Inductively Coupled Plasma)発光分光分析装置(ICP 例えば、(株)島津製作所製(ICPS−8100))を用いて得られる金属成分の含有量からそれぞれ酸化物に換算することによって求められる。例えば、Alの含有量からAl2O3に換算し、Coの含有量からCo3O4に換算する。

0016

また、酸化アルミニウム質セラミックスは、粒界相に、コバルトスピネル、鉄スピネルおよびニッケルスピネルの少なくともいずれかを含むときには、これらのスピネルの屈折率は1.74〜1.80程度であり、酸化アルミニウムの屈折率1.77と近似しているため、反射率をより低くすることができる。コバルトスピネル、鉄スピネルおよびニッケルスピネルは、組成式不定比であってもよいが、組成式が定比であるCoAl2O4、FeAl2O4およびNiAl2O4であることが好ましい。

0017

なお、組成式がCaAl2Si2O5として示されるアノーサイトは、屈折率が1.58であり、酸化アルミニウムの屈折率との差が大きく、反射率が高くなるため、載置用部材10は、アノーサイトを含まないことがより好適である。

0018

また、酸化アルミニウム質セラミックスは、粒界相に、チタン酸アルミニウムを含むときには、酸化アルミニウムの結晶粒子の異常な粒成長を抑制することができるため、酸化アルミニウム質セラミックスの機械的強度を高くすることができる。チタン酸アルミニウムは、組成式は不定比であってもよいが、組成式が定比であるAl2TiO5であることが好ましい。

0019

コバルトスピネル、鉄スピネル、ニッケルスピネルおよびチタン酸アルミニウムは、X線回折装置(XRD)を用いて同定することができる。また、存在箇所については、粒界相について、X線マイクロアナライザー(EPMA)を用いて確認すればよい。

0020

特に、本実施形態の載置用部材10は、酸化アルミニウムが52質量%以上80質量%以下であり、コバルトスピネル、鉄スピネルおよびニッケルスピネルの含有量の合計が19質量%以上47質量%以下であり、チタン酸アルミニウムの含有量が1質量%以上5質量%以下であることが好適である。酸化アルミニウム、コバルトスピネル、鉄スピネル、ニッケルスピネルおよびチタン酸アルミニウムのそれぞれの含有量が上述した範囲を満たしているときには、低い反射率および高い機械的強度を有することができる。コバルトスピネル、鉄スピネル、ニッケルスピネルおよびチタン酸アルミニウムの含有量は、リートベルト解析によって求めればよい。

0021

また、本実施形態の載置用部材10では、主面1aは、粗さ曲線における25%の負荷長さ率と75%の負荷長さ率との間の切断レベル差(Rδc)が1.1μm以上であることが好適である。

0022

ここで、切断レベル差(Rδc)とは、JIS B0601:2001で規定されている粗さ曲線における負荷長さ率Rmr1、Rmr2にそれぞれ一致する切断レベルC(Rrm1)、C(Rrm2)の高さ方向の差である。切断レベル差(Rδc)が大きい場合、測定の対象とする表面の凹凸は大きくなり、小さい場合には、その表面の凹凸は小さくなる。切断レベル差(Rδc)が1.1μm以上であるときには、反射率を低くすることができるとともに、パーティクルの発生を抑制することができる。

0023

また、主面1aにおける切断レベル差(Rδc)は、2.22μm以下であることが好適である。主面1aにおける切断レベル差(Rδc)が2.22μm以下であるときには、主面1aに生じる凸部が急峻になりにくいため、凸部先端からパーティクルが発生しにくくなる。

0024

また、本実施形態の載置用部材10における主面1aは、二乗平均平方根粗さ(Rq)が0.82μm以上1.74μm以下であることが好適である。主面1aの二乗平均平方根粗さ(Rq)が0.82μm以上1.74μm以下であるときには、反射率を低くすることができるとともに、パーティクルの発生を抑制することができる。

0025

また、本実施形態の載置用部材10における主面1aは、算術平均粗さ(Ra)が0.65μm以上1.35μm以下であることが好適である。主面1aの算術平均粗さ(Ra)が0.65μm以上1.35μm以下であるときには、反射率をさらに低くすることができるとともに、パーティクルの発生を抑制することができる。

0026

また、本実施形態の載置用部材10における載置面2aは、粗さ曲線における25%の負荷長さ率と75%の負荷長さ率との間の切断レベル差(Rδc)が1.1μm以上であることが好適である。切断レベル差(Rδc)が1.1μm以上であるときには、反射率を低くすることができる。

0027

また、載置面2aにおける切断レベル差(Rδc)は、1.53μm以下であることが好適である。載置面2aにおける切断レベル差(Rδc)が1.53μm以下であるときには、載置面2aに生じる凸部が急峻になりにくいため、凸部先端からパーティクルが発生しにくくなるとともに、被吸着物に損傷を与えにくくなる。

0028

また、本実施形態の載置用部材10における載置面2aは、二乗平均平方根粗さ(Rq)が0.82μm以上1.74μm以下であることが好適である。載置面2aの二乗平均平方根粗さ(Rq)が0.82μm以上1.74μm以下であるときには、反射率を低くすることができるとともに、パーティクルの発生を抑制することができる。また、被処理物へ損傷を与えにくくなる。

0029

また、本実施形態の載置用部材10における載置面2aは、算術平均粗さ(Ra)が0.65μm以上1.35μm以下であることが好適である。載置面2aの算術平均粗さ(Ra)が0.65μm以上1.35μm以下であるときには、反射率をさらに低くすることができるとともに、パーティクルの発生を抑制することができる。また、被処理物へ損傷を与えにくくなる。

0030

主面1aおよび載置面2aの粗さ曲線における25%の負荷長さ率と75%の負荷長さ率との間の切断レベル差(Rδc)、二乗平均平方根粗さ(Rq)および算術平均粗さ(Ra)は、いずれもJIS B 0601:2001に準拠し、レーザー顕微鏡(例えば、(株)キーエンス社製(VK−9510))を用いて求めればよい。レーザー顕微鏡VK−9510を用いる場合、例えば、測定モードをカラー深度測定倍率を1000倍、1箇所当り測定範囲を281μm×210μm、測定ピッチを0.05μm、λs輪郭曲線フィルタを2.5μm、λc輪郭曲線フィルタを0.08mmとして求めればよい。

0031

また、本実施形態の載置用部材10では、主面1aおよび載置面2aは、CIE1976L*a*b*色空間における明度指数L*が30以下であって、クロマティクネス指数
a*,b*がいずれも−2以上2以下であることが好適である。

0032

このような範囲であると、主面1aおよび載置面2aは、波長域360nm〜440nmだけでなく、可視光線領域全般に亘って黒色系無彩色化の傾向が強くなるので、反射率を低減することができる。さらに、無彩色化の傾向が強くなることにより、色むらが抑制される。

0033

明度指数L*およびクロマティクネス指数a*,b*の値は、JIS Z 8722:2009に準拠して求めることができる。例えば、分光色差計(日本電色工業(株)製NF777またはその後継機種)を用い、測定条件としては、光源CIE標準光源D65、視野角度を2°に設定すればよい。

0034

次に、載置用部材の製造方法の一例について説明する。まず、主成分の原料である酸化アルミニウム(Al2O3)粉末と、着色成分として酸化コバルト(Co3O4)粉末、酸化鉄(Fe2O3)粉末、酸化ニッケル(NiO)粉末および酸化チタン(TiO2)粉末を準備する。また、焼結助剤として、炭酸カルシウム(CaCO3)粉末、水酸化マグネシウム(Mg(OH)2)粉末および酸化珪素(SiO2)粉末を準備する。

0035

次に、これらの粉末を所望量秤量して1次原料粉末とする。例えば、焼結助剤は、セラミック焼結体を構成する全成分100質量%のうち、カルシウムをCaOに換算、マグネシウムをMgOに換算、珪素をSiO2に換算した含有量の合計が0.6質量%以上2質量%以下となるように量する。また、着色成分は、セラミック焼結体を構成する全成分100質量%のうち、コバルトをCo3O4に換算した含有量が8質量%以上12質量%以下、鉄をFe2O3に換算した含有量が4質量%以上6質量%以下、ニッケルをNiOに換算した含有量が3質量%以上4質量%以下、チタンをTiO2に換算した含有量が1質量%以上2質量%以下となるように秤量する。そして、残部が酸化アルミニウム(Al2O3)粉末となるように秤量する。着色成分の含有量をこのような範囲とすることにより、主面および載置面のCIE1976L*a*b*色空間における明度指数L*が、3
0以下であって、クロマティクネス指数a*,b*がいずれも−2以上2以下である載置用部材とすることができる。

0036

セラミック焼結体の粒界相がコバルトスピネル、鉄スピネルおよびニッケルスピネルの少なくともいずれかを含む載置用部材を得るには、まず、酸化アルミニウム(Al2O3)粉末を分級して、平均粒径の小さい酸化アルミニウム(Al2O3)粉末を得る。そして、上述した含有量の範囲の酸化コバルト(Co3O4)粉末、酸化鉄(Fe2O3)粉末および酸化ニッケル(NiO)粉末を平均粒径の小さい酸化アルミニウム(Al2O3)粉末とともに混合して、1100℃以上1300℃以下の温度で仮焼合成した後、ボールミルなどの粉砕機を用いて所望の平均粒径となるまで粉砕した粉末を用いればよい。

0037

セラミック焼結体の粒界相がチタン酸アルミニウムを含む載置用部材を得るには、上述した含有量の範囲の酸化チタン(TiO2)粉末を混合し、1100℃以上1300℃以下の温度で仮焼合成した後、ボールミルなどの粉砕機を用いて所望の平均粒径となるまで粉砕した粉末を用いればよい。

0038

次に、1次原料粉末100質量部に対し、0.1質量部以上1質量部以下のPEG(ポリエチレングリコール)などのバインダと、100質量部の溶媒とを秤量し、1次原料粉末とともに混合・攪拌してスラリーを得る。

0039

その後、噴霧造粒装置スプレードライヤー)を用いてスラリーを噴霧造粒して顆粒を得た後、粉末プレス成形法静水圧プレス成形法(ラバープレス法)により所望形状の成形体成形する。

0040

次に、得られた成形体に必要に応じて切削加工を施し、大気酸化雰囲気中、例えば、1400℃以上1500℃以下で所望時間保持して焼成することにより、基板と、基板の一方の表面に、複数の突出部とを備えてなる載置用部材の前駆体を得ることができる。そして、得られた前駆体の基板の表面にブラスト加工を施した後、ガラスビーズセラミックビーズ等の精密研磨微粉によるショットピーニングを施すことによって本実施形態の載置用部材を構成する基板の主面とすることができる。また、得られた前駆体の突出部の頂面に順次、ブラスト加工、平面研削盤による研削加工を施した後、上述したショットピーニングを施すことによって載置用部材を構成する突出部の載置面が得られ、本実施形態の載置用部材を得ることができる。

0041

なお、主面1aの切断レベル差(Rδc)を1.1μm以上、また、載置面2aの切断レベル差(Rδc)を1.1μm以上とするには、JIS R 6001:1998の沈降試験法で規定する粒度が#500以上#1000以下の精密研磨用微粉を適宜選択して基板の一方の表面および突出部の頂面にショットピーニングを施せばよい。

0042

本発明は前述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良、組合せ等が可能である。

0043

以下、本発明の実施例を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

0044

まず、主成分の原料である酸化アルミニウム(Al2O3)粉末と、着色成分として酸化コバルト(Co3O4)粉末、酸化鉄(Fe2O3)粉末、酸化ニッケル(NiO)粉末および酸化チタン(TiO2)粉末を準備した。また、焼結助剤として、炭酸カルシウム(CaCO3)粉末、水酸化マグネシウム(Mg(OH)2)粉末および酸化珪素(S
iO2)粉末を準備した。

0045

次に、これらの粉末を所望量秤量して1次原料粉末とした。ここで、焼結助剤は、セラミック焼結体を構成する全成分100質量%のうち、カルシウムをCaOに換算、マグネシウムをMgOに換算、珪素をSiO2に換算した含有量の合計が1.3質量%となるように秤量した。また、着色成分は、セラミック焼結体を構成する全成分100質量%のうち、コバルトをCo3O4に換算した含有量が9.5質量%、鉄をFe2O3に換算した含有量が5質量%、ニッケルをNiOに換算した含有量が3.5質量%、チタンをTiO2に換算した含有量が1.5質量%となるように秤量した。そして、残部が酸化アルミニウム(Al2O3)粉末となるように秤量した。

0046

次に、この1次原料粉末100質量部に対し、0.5質量部以下のPEG(ポリエチレングリコール)などのバインダと、100質量部の溶媒とを秤量し、1次原料粉末とともに混合・攪拌してスラリーを得た。

0047

その後、噴霧造粒装置(スプレードライヤー)を用いてスラリーを噴霧造粒して顆粒を得た後、静水圧プレス成形法(ラバープレス法)により成形体を成形した。

0048

次に、得られた成形体に切削加工を施し、大気(酸化)雰囲気中、1450℃で保持して焼成することにより、基板と、基板の一方の表面に、複数の突出部とを備えてなる載置用部材の前駆体である試料No.1を得た。

0049

また、比較例として、主成分の原料である酸化アルミニウム(Al2O3)粉末と、着色成分として、炭酸マンガン(MnCO3)粉末、酸化鉄(Fe2O3)粉末、酸化クロム(Cr2O3)粉末を準備した。また、焼結助剤として、炭酸カルシウム(CaCO3)粉末、水酸化マグネシウム(Mg(OH)2)粉末および酸化珪素(SiO2)粉末を準備した。

0050

次に、これらの粉末を所望量秤量して1次原料粉末とした。ここで、焼結助剤は、セラミック焼結体を構成する全成分100質量%のうち、焼結助剤は、それぞれCaO、MgO
、SiO2換算した合計で1.5質量%となるように秤量した。また、着色成分は、セラミック焼結体を構成する全成分100質量%のうち、マンガンをMnO2換算、鉄をFe2O3換算、CrをCr2O3換算した値の合計で10質量%となるように秤量した。そして、残部が酸化アルミニウム(Al2O3)粉末となるように秤量した。

0051

次に、この1次原料粉末100質量部に対し、1質量部のPVAと、0.2質量部の分散剤と、100質量部の溶媒とを秤量し、1次原料粉末とともに混合・攪拌してスラリーを得た。

0052

その後、噴霧造粒装置(スプレードライヤー)を用いてスラリーを噴霧造粒して顆粒を得た後、静水圧プレス成形法(ラバープレス法)により成形体を成形した。

0053

次に、得られた成形体に切削加工を施し、大気(酸化)雰囲気中、1450℃で保持して焼成することにより、基板と、基板の一方の表面に、複数の突出部とを備えてなる載置用部材の前駆体である試料No.2を得た。
そして、試料No.1,2の基板の表面にブラスト加工を施して主面とした後、この主面に含まれる着色成分を構成する元素エネルギー分散X線分析装置(EDS)を用いて検出し、検出された元素を表1に元素記号で示した。

0054

また、分光測色計(コニカミノルタ製 CM−3700A)を用いて、光源をCIE標準光源D65、視野角を10°、照明径を3mm×5mmとして360〜440nmの波
長領域における主面の反射率を測定し、反射率の最大値を表1に示した。

0055

0056

表1に示す結果から、試料No.1は、コバルト、鉄、ニッケルおよびチタンの酸化物を含むセラミック焼結体からなる載置用部材であることから、主面の反射率が6.5%と低く、露光精度を向上させられることがわかった。

0057

実施例1で示した方法と同じ方法で載置用部材の前駆体を作製した。

0058

そして、この前駆体の基板の表面にブラスト加工を施した後、ガラスビーズによるショットピーニングを施すことによって載置用部材を構成する基板の主面とした。ここで、ガラスビーズの粒度およびショットピーニングを施す時間は適宜調整した。

0059

主面の粗さ曲線における25%の負荷長さ率と75%の負荷長さ率との間の切断レベル差(Rδc)は、JIS B 0601:2001に準拠し、レーザー顕微鏡((株)キーエンス社製(VK−9510))を用いて求め、その値を表2に示した。ここで、測定条件は、測定モードをカラー超深度、測定倍率を1000倍、測定範囲を281μm×210μm、測定ピッチを0.05μm、λs輪郭曲線フィルタを2.5μm、λc輪郭曲線フィルタを0.08mmとした。

0060

また、実施例1で示した方法と同じ方法により、主面の反射率を測定し、反射率の最大値を表2に示した。

0061

0062

表2に示す結果から、試料No.4〜7は、基板の主面の切断レベル差(Rδc)が1.1μm以上であることから、主面の反射率が6.2%以下と低く、露光精度を向上させられることがわかった。

0063

実施例1で示した方法と同じ方法で載置用部材の前駆体を作製した。

0064

そして、この前駆体の突出部の頂面に順次、ブラスト加工、平面研削盤による研削加工を施した後、上述したショットピーニングを施すことによって載置用部材を構成する突出部の載置面とした。ここで、ガラスビーズの粒度およびショットピーニングを施す時間は適宜調整した。

0065

載置面の粗さ曲線における25%の負荷長さ率と75%の負荷長さ率との間の切断レベル差(Rδc)は、実施例2で示した方法と同じ方法で求め、その値を表3に示した。
また、実施例1で示した方法と同じ方法により、載置面の反射率を測定し、反射率の最大値を表3に示した。

0066

実施例

0067

表3に示す結果から、試料No.9〜12は、突出部の載置面の切断レベル差(Rδc)が1.1μm以上であることから、載置面の反射率が6.2%以下と低く、露光精度を向上させられることがわかった。

0068

1基板
1a 主面
2 突出部
2a 載置面
3吸引孔
10 載置用部材

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  • 株式会社ディスコの「 保護部材形成装置」が 公開されました。( 2020/02/13)

    【課題】保護部材に気泡が入ることを抑制する。【解決手段】ウェーハWを保持するための保持テーブル52が、複数のピン55を備えている。そして、ウェーハ保持面52aが、複数のピン55の先端を含んでいる。した... 詳細

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