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技術 プローブ、プローブカード及び接触検査装置

出願人 株式会社日本マイクロニクス
発明者 葛西祐樹
出願日 2016年1月8日 (5年4ヶ月経過) 出願番号 2016-002611
公開日 2017年7月13日 (3年10ヶ月経過) 公開番号 2017-122686
状態 特許登録済
技術分野 測定用導線・探針 半導体等の試験・測定
主要キーワード 中間スペーサー 横断面形 クランプヘッド 湾曲形 複数端子 接触検査 セルフクリーニング効果 略球面
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2017年7月13日)のものです。
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図面 (11)

課題

プローブを使用して半導体集積回路通電試験等を行うに際して、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくくしてプローブの接触抵抗値の増加を低く抑え、被検査体との接触性を向上させる。

解決手段

本発明のプローブ3は、被検査体5に接触及び離間することで被検査体5の検査を行うプローブ3であって、前記プローブ3は、被検査体5に押付ける力Fを受けて弾性変形する本体部61と、前記本体部61の一端A側に位置し、被検査体5に対して接触し前記押付ける力Fを受けて滑る滑り部63と、を備え、前記滑り部63は、前記押付ける力Fの方向に対して交差する傾斜部65を有し、該傾斜部65が被検査体5に接触した状態で滑る、ように構成されている。

概要

背景

DRAM(Dynamic Random Access Memory)やSRAM(Static Random Access Memory)等の半導体メモリーに代表される半導体集積回路には突起(BUMP形状)電極を有するものがある。この種の半導体集積回路の特性を調べるために使用する従来の接触検査装置に関する文献として以下のようなものがある(特許文献1、特許文献2)。
従来の接触検査装置は前記突起電極107の表面に対してプローブ103の先端部103bが垂直にコンタクトするように構成されている。このような垂直なコンタクトを可能にするためにプローブ103の先端形状には種々の形状のものがある(図10)。

概要

プローブを使用して半導体集積回路の通電試験等を行うに際して、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくくしてプローブの接触抵抗値の増加を低く抑え、被検査体との接触性を向上させる。本発明のプローブ3は、被検査体5に接触及び離間することで被検査体5の検査を行うプローブ3であって、前記プローブ3は、被検査体5に押付ける力Fを受けて弾性変形する本体部61と、前記本体部61の一端A側に位置し、被検査体5に対して接触し前記押付ける力Fを受けて滑る滑り部63と、を備え、前記滑り部63は、前記押付ける力Fの方向に対して交差する傾斜部65を有し、該傾斜部65が被検査体5に接触した状態で滑る、ように構成されている。

目的

本発明の目的は、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくく、また被検査体との接触性を向上させることができるプローブ、該プローブを備えるプローブカード及び接触検査装置を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

被検査体に接触及び離間することで前記被検査体の検査を行うプローブであって、前記プローブは、前記被検査体に押付ける力を受けて弾性変形する本体部と、前記本体部の一端側に位置し、前記被検査体に対して接触し前記押付ける力を受けて滑る滑り部と、を備え、前記滑り部は、前記押付ける力の方向に対して交差する傾斜部を有し、該傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑る、ことを特徴とするプローブ。

請求項2

請求項1に記載されたプローブにおいて、前記傾斜部は、面状又は線状に形成されている、ことを特徴とするプローブ。

請求項3

請求項1又は2に記載されたプローブにおいて、前記本体部は二つ以上の屈曲点を有するように折れ曲がっている、ことを特徴とするプローブ。

請求項4

請求項1から3のいずれか一項に記載されたプローブにおいて、前記プローブの先端位置は該プローブの中心位置からずれている、ことを特徴とするプローブ。

請求項5

請求項1から4のいずれか一項に記載されたプローブにおいて、前記傾斜部は、前記プローブの先端位置よりもスクラブ動作方向の後方に位置する、ことを特徴とするプローブ。

請求項6

請求項1から5のいずれか一項に記載されたプローブにおいて、前記滑り部は前記本体部に片持ち梁構造で支持されている、ことを特徴とするプローブ。

請求項7

請求項6に記載されたプローブにおいて、前記滑り部と前記本体部は該プローブの先端位置を頂点とするV字形状を成している、ことを特徴とするプローブ。

請求項8

請求項1から7のいずれか一項に記載されたプローブにおいて、前記プローブの前記本体部は板状である、ことを特徴とするプローブ。

請求項9

請求項1から8のいずれか一項に記載されたプローブを備えるプローブカード

請求項10

突起電極を有する被検査体が載置される載置部と、プローブを備えるプローブカードと、前記載置部上の被検査体の前記突起電極と前記プローブカードとの相対位置を接離可能に変化させる駆動部と、を備え、前記載置部上に載置された被検査体の前記突起電極に対して、前記プローブが接触することによって通電検査を行う接触検査装置であって、前記プローブは、請求項1から8のいずれか一項に記載されたプローブである、ことを特徴とする接触検査装置。

技術分野

0001

本発明は、半導体集積回路通電試験等に用いるプローブプローブカード及び接触検査装置に関する。

背景技術

0002

DRAM(Dynamic Random Access Memory)やSRAM(Static Random Access Memory)等の半導体メモリーに代表される半導体集積回路には突起(BUMP形状)電極を有するものがある。この種の半導体集積回路の特性を調べるために使用する従来の接触検査装置に関する文献として以下のようなものがある(特許文献1、特許文献2)。
従来の接触検査装置は前記突起電極107の表面に対してプローブ103の先端部103bが垂直にコンタクトするように構成されている。このような垂直なコンタクトを可能にするためにプローブ103の先端形状には種々の形状のものがある(図10)。

先行技術

0003

特開2001−050981号公報
特開1999−326373号公報

発明が解決しようとする課題

0004

従来の接触検査装置は前述したように前記突起電極の表面に対してプローブの先端部が垂直にコンタクトする構成であった。即ち、プローブの先端が突起電極の表面に対して基本的にスクラブしない構成であった。そのため、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着し易かった。
そしてこの場合、プローブの先端部を頻繁にクリーニングして付着したコンタミネーションを除去する必要があった。このクリーニングを行わずに使用を続けた場合、該プローブの接触抵抗値が大きくなり、検査精度が低下するという問題が生じる。

0005

このような背景の下、上記特許文献1では、プローブの先端部をプローブの基端部から偏心させた位置に配置したり、プローブの途中に他の部分より細くした変形部を形成することによってスクラブを発生させるようにしたプローブが開示されている。
しかし、特許文献1に開示されているプローブでもプローブの先端部が突起電極の表面に対して垂直にコンタクトする構成が採用されているので、点接触になり易く、該プローブと突起電極の表面との接触性が不安定になる虞がある。

0006

本発明の目的は、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくく、また被検査体との接触性を向上させることができるプローブ、該プローブを備えるプローブカード及び接触検査装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

0007

上記課題を解決するため、本発明の第1の態様のプローブは、被検査体に接触及び離間することで前記被検査体の検査を行うプローブであって、前記プローブは、前記被検査体に押付ける力を受けて弾性変形する本体部と、前記本体部の一端側に位置し、前記被検査体に対して接触し前記押付ける力を受けて滑る滑り部と、を備え、前記滑り部は、前記押付ける力の方向に対して交差する傾斜部を有し、該傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑ることを特徴とする。

0008

本態様によれば、プローブは被検査体に対して接触し該被検査体に向けて押付ける力を受けて滑る滑り部を備え、更に該滑り部は、前記押付ける力の方向に対して交差する傾斜部を有し、該傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑る(スクラブする)ように構成されている。従って、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくくなり、接触検査回数を重ねてもプローブの接触抵抗値の増加を低減することができる。また、スクラブすることによってセルフクリーニング効果を期待することができる。
また、滑り部の傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑るので、被検査体との接触性を向上させることができる。特に突起電極に対して有効である。

0009

本発明の第2の態様のプローブは、第1の態様において、前記傾斜部は、面状又は線状に形成されていることを特徴とする。

0010

本態様によれば、前記傾斜部は、面状又は線状に形成されているので、従来の点接触によるプローブに比べて接触面積ないし接触長が大きくなり、被検査体との接触性を向上させることができる。
また、傾斜部が線状に形成されているプローブは、前記スクラブ動作によって被検査体の表面の酸化膜を削り易いという効果が得られる。

0011

本発明の第3の態様のプローブは、第1の態様又は第2の態様において、前記本体部は二つ以上の屈曲点を有するように折れ曲がっていることを特徴とする。

0012

本態様によれば、前記本体部は二つ以上の屈曲点を有するように折れ曲がっているので突起電極に対してプローブの滑り部を傾斜部の傾斜に沿って突起電極との最初の接触点から突起電極の外側に向けてスクラブするように動作させることを容易に実現することができる。これにより、コンタミネーションのプローブへの付着の虞を一層低減することができる。

0013

本発明の第4の態様のプローブは、第1の態様から第3の態様のいずれか一つの態様において、前記プローブの先端位置は該プローブの中心位置からずれていることを特徴とする。
ここで、「プローブの先端位置」とは、突起電極と接触するスクラブ側であって被検査体に対して非接触時において最も近い位置を意味する。
また「プローブの中心位置」とは、プローブの支持端となる基端側部分の中心であり、前記押付ける力を受けて弾性変形する本体部の支持端にかかる力の作用位置を意味する。

0014

本態様によれば、プローブの先端位置が該プローブの中心位置からずれているので、本体部に回転モーメントが作用して本体部が撓み変形する。これにより突起電極に当接するプローブの滑り部を前記外側に向けてスクラブするように動作させることを容易に実現することができる。

0015

本発明の第5の態様のプローブは、第1の態様から第4の態様のいずれか一つの態様において、前記傾斜部は、前記プローブの先端位置よりもスクラブ動作方向の後方に位置することを特徴とする。

0016

本態様によれば、本体部が後方に位置する滑り部を引っ張る状態又は押し出す状態でスクラブ動作させるので、被検査体との接触性を一層向上させることができる。

0017

本発明の第6の態様のプローブは、第1の態様から第5の態様のいずれか一つの態様において、前記滑り部は前記本体部に片持ち梁構造で支持されていることを特徴とする。

0018

本態様によれば、滑り部が本体部に片持ち梁構造で支持されているので、本体部の弾性変形が容易になり、スクラブ動作時における滑り部と被検査体との接触性を一層向上させることができる。

0019

本発明の第7の態様のプローブは、第6の態様において、前記滑り部と前記本体部は該プローブの先端位置を頂点とするV字形状を成していることを特徴とする。

0020

本態様によれば、滑り部と本体部は該プローブの先端位置を頂点とするV字形状を成しているので、被検査体の表面の酸化膜を削り易く、スクラブ動作時における被検査体との接触性を一層向上させることができる。

0021

本発明の第8の態様のプローブは、第1の態様から第7の態様のいずれか一つの態様において、前記プローブの前記本体部は板状であることを特徴とする。

0022

本態様によれば、前記プローブの前記本体部が板状であるので、本体部及び滑り部を対向する板面間の所定厚さの平面的な空間内に位置させることが可能になる。これにより、検査時に滑り部がスクラブする方向を傾斜部に沿う方向に誘導し易くなる。また、プローブ同士が検査時に干渉する虞を低減させ、該プローブの高密度実装が可能となる。

0023

本発明の第9の態様に係るプローブカードは、第1の態様から第8の態様のいずれか一つの態様のプローブを備えることを特徴とする。

0024

本態様によれば、接触検査装置におけるプローブカードとして、前記プローブの第1の態様から第8の態様の効果を得ることができる。

0025

本発明の第10の態様に係る接触検査装置は、突起電極を有する被検査体が載置される載置部と、プローブを備えるプローブカードと、前記載置部上の被検査体の前記突起電極と前記プローブカードとの相対位置を接離可能に変化させる駆動部とを備え、前記載置部上に載置された被検査体の前記突起電極に対して、前記プローブが接触することによって通電検査を行う接触検査装置であって、前記プローブは、第1の態様から第8の態様のいずれか一つの態様のプローブであることを特徴とする。

0026

本態様によれば、接触検査装置として、前記プローブの第1の態様から第8の態様に効果を得ることができる。即ち、検査時に発生するコンタミネーションがプローブの先端部に付着しにくくなり、接触検査回数を重ねてもプローブの接触抵抗値の増加を低減させることができる。
また、滑り部の傾斜部が前記被検査体に接触した状態で滑るので、被検査体との接触性を向上させることができる。

図面の簡単な説明

0027

本発明の実施形態1に係る接触検査装置を模式的に表す側断面図。
本発明の実施形態1に係るプローブカードを模式的に表す側断面図。
本発明の実施形態1に係るプローブを表す側面図。
本発明の実施形態1に係るプローブを表す正面図。
本発明の実施形態1に係るプローブの検査時のスクラブ動作を表す側面図。
本発明の実施形態2に係るプローブを表す正面図。
本発明の実施形態3に係るプローブの検査時のスクラブ動作を表す側面図
本発明のプローブの配置態様の一例を表す平面図。
本発明のプローブと従来のプローブにおける接触検査回数による接触抵抗値の推移を表すグラフである。
従来のプローブの種々の先端形状を表す説明図。

実施例

0028

以下に、本発明の実施形態に係るプローブ、プローブカード及び接触検査装置について、添付図面を参照して詳細に説明する。
尚、以下の説明では、最初に図1に基づいて本発明の実施形態1に係る接触検査装置の概要について説明する。次に図2に基づいて本発明の実施形態1の係るプローブカードの具体的構成について説明する。続いて図3から図5に基づいて本発明の実施形態1に係るプローブの具体的構成とそのスクラブ動作について説明する。更に、図9に基づいて本発明のプローブと従来のプローブにおける接触検査回数と接触抵抗値の関係を簡単に説明する。
次に、図6及び図7に基づいて本発明の実施形態1とは部分的構成を異にする実施形態2と実施形態3の二種の実施形態について説明し、続いて図8に基づいて本発明のプローブの配置態様の一例について説明する。最後に本発明の他の実施形態に係るプローブ、プローブカード及び接触検査装置について、簡単に言及する。

0029

[実施形態1](図1図5参照)
(1)接触検査装置の概要(図1参照)
本発明の実施形態1に係る接触検査装置1は、被検査部となる突起電極7を有する被検査体5が載置される載置部9と、後述する本発明の実施形態1に係るプローブ3Aを備えるプローブカード11と、前記載置部9上の被検査体5の前記突起電極7と前記プローブカード11との相対位置を接離可能に変化させる駆動部13と、を基本的に備えることによって構成されている。
そして、この接触検査装置1は、前記載置部9上に載置された被検査体5の前記突起電極7に対して、前記プローブ3Aが接触することによって通電検査を行うように構成されている。該突起電極7は略球面となる突曲面形状を成しているものが多い。

0030

具体的には、接触検査装置1は、バネ性を有する導電性のプローブ3Aを被検査体5の突起電極7に対して接触させた状態で前記バネ性を利用して適切な押圧力押圧することにより電気的な接続状態確立するように構成されている。尚、プローブ3Aに付与されるバネ性は、後述する弾性変形可能な本体部61によって生起される。
そして、この状態でプローブ3Aを通電状態にして各突起電極7の電流値電圧差等の電気的特性計測したり、被検査体5全体の動作試験を行って、当該被検査体5の良否を判定する目的で接触検査装置1は使用される。

0031

接触検査装置1の検査対象となる被検査体5としては、プリント配線基板等の電子基板半導体ウェハ或いはパッケージされたIC、LSI等の半導体チップ等が一例として挙げられる。また、プローブ3Aが直接、接触する被検査部7としては、電子基板等にマウントされた電子回路上の酸化膜に覆われた検査パターンや電極ということになり、特に本発明では突起電極7を有する被検査体5が好適な検査対象となる。

0032

また、前記プローブカード11は、バネ性を有する複数本のプローブ3Aと、これら複数本のプローブ3Aを保持するプローブヘッド15と、を備えることによって構成されている。
そして、図示の実施形態では、プローブヘッド15は、図1に表すようなカード構造12に対して直接、取り付けられるように構成されている。具体的には、クランプヘッド35とスティフナー37によって支持されたプリント基板39の一例として下面に固定リング41を使用して取り付けられたMLC(Multi Level Cell)43に、対して、下方から当該プローブヘッド15を挿し込んで取り付けられるように構成されている。尚、プローブヘッド15はこの構造に限定されないことは勿論である。

0033

また、プリント基板39は、一例としてセラミックス基板配線基板とが積層された多層構造の電子基板によって構成されており、図1中、上端に位置するプローブ3Aの他端部3cに入力端が接続されている前記MLC43の出力端に接続され、該配線路の他端が、前記プローブ3Aの先端部3bが前記突起電極7に接触し通電検査を行うことによって取得したデータに基づいて各突起電極7の電気的特性の計測と被検査体5全体の動作試験を実行し、被検査体5の良否を判定する制御部23を備えるテスター25に接続されている。

0034

(2)プローブカードの具体的構成(図2参照)
プローブカード11は、前述したようにバネ性を有する後述する本実施形態に係るプローブ3Aと、該プローブ3Aを保持するプローブヘッド15と、を備えることによって構成されている。
そして、このうちプローブヘッド15は、被検査体5の複数の突起電極7の位置に対応した複数本のプローブ3Aと、該プローブ3Aのフランジ状の基端部3aから他端部3cにかけて延びる延接部3dの上部を保持する一例としてセラミックス製の上部ガイド部51と、プローブ3Aの基端部3a寄りの延接部3dの下部を保持する、同じく一例としてセラミックス製の下部ガイド部53と、前記上部ガイド部51と下部ガイド部53との中間に配置される、一例としてシリコンゴム等によって形成される中間スペーサー52と、を備えることによって基本的に構成されている。

0035

(A)プローブの具体的構成とスクラブ動作(図3図5参照)
本発明のプローブ3は、被検査体5に接触及び離間することで前記被検査体5の検査を行う部材である。そして、前記被検査体5に押付ける力Fを受けて弾性変形する本体部61と、該本体部61の一端A側に位置し、前記被検査体5に対して接触し前記押付ける力Fを受けてスクラブ動作方向S(図5)に滑る滑り部63Aと、を備えることによって基本的に構成されている。
また、前記滑り部63Aは、前記押付ける力Fの矢印で示す方向に対して交差する傾斜部65Aを有しており、該傾斜部65Aが前記被検査体5に接触した状態でスクラブ動作方向Sに滑るように構成されている。

0036

また、本実施形態では、前記傾斜部65Aは突起電極7の表面に接触する部位が傾斜した平面によって形成されており、プローブ3Aの先端部3bの形状が該プローブ3Aの先端位置を頂点PとするV字形状に形成されている。
また、本実施形態では、本体部61の側面形状が図3及び図5に表すように二つの屈曲点Q1、Q2で屈曲方向が変わる、側面視S字形状に湾曲した形状に形成されており、該S字形状の本体部61の先端に状をした滑り部63Aが設けられていることによって、前述したV字形状のプローブ3Aの先端部3aが形成されるように構成されている。

0037

そして、前記プローブ3Aの頂点Pを通る鉛直方向に延びる直線L1は、前記プローブ3Aの中心位置Oを通る鉛直方向に延びる中心線Lから、ずれ量ΔE分、偏心した位置に存するように設けられている。
更に本実施形態では、前記傾斜部65Aが前記プローブ3Aの先端位置よりもスクラブ動作方向Sの後方に位置するように形成されている。具体的には、前記プローブ3Aの頂点Pからスクラブ動作方向Sの後方に向けて所定の角度で傾斜する上り傾斜所定長さ(一例として突起電極7が球面形状とした場合の曲率半径程度の長さ)の傾斜部65Aが形成されている。

0038

また、このようにして形成される傾斜部65Aを備える滑り部63Aは、前記本体部61によって片持ち梁構造で支持されており、更に本実施形態では、前記本体部61と滑り部63Aが一例としてほぼ一様の厚みt(図4)の板材によって形成されている。
尚、前記片持ち梁構造部の形成にあたっては、本体部61の先端部を予め長めに形成しておいて、当該本体部61の先端部を前述した形状に折り曲げて形成したり、本体部61と滑り部63Aを別々に形成しておいて本体部61の先端部に溶接又は接着によって後付けすることによって成形することが可能である。この他、所定形状の本体部61と滑り部63Aを一体に成形することも可能である。

0039

次に、このようにして構成される本実施形態に係るプローブ3Aを突起電極7に押し当てた場合に生じるプローブ3Aのスクラブ動作について説明する。
接触検査装置1の駆動部13を駆動してプローブ3Aを突起電極7に向けて相対的に接近させて行くと、図5中、仮想線で表すように、プローブ3Aの先端部3bの頂点Pが最初に突起電極7に接触する。この状態でプローブ3Aを突起電極7に向けて更に相対的に接近させて行くと、図5中、実線で表すように屈曲点Q1を下方に押し下げ、頂点Pをスクラブ動作方向Sの前方Cとなる突起電極7の外側の斜め下方に向けて移動させるように、本体部61は撓み変形する。

0040

このとき滑り部63Aは、前記頂点Pに引っ張られるようにしてスクラブ動作方向Sに移動すると共に、頂点Pを中心にして幾分、撓み変形する。そして、突起電極7の表面に接触する前記滑り部63Aの傾斜部65Aは、前記突起電極7の表面との接触位置が、前述した頂点P側から、そのスクラブ動作方向Sの後方Dに延びる該傾斜部65Aの終端に向かって徐々に滑り移動して行く。
これにより、突起電極7の表面に高硬度の材料によって形成されるプローブ3Aの先端部3bが所定の押圧力を受けて接触しながらその位置を変えて行く(滑る)ことによって、当該突起電極7の表面は良好な状態にスクラブされる。

0041

次に、図9に表す接触検査回数と接触抵抗値の関係のグラフに基づいて、本発明のプローブ3と従来のプローブについて接触検査回数による接触抵抗値の推移を比較する。
図9中の比較例1は、垂直にコンタクトするタイプでスクラブする従来のプローブを表している。また、図9中の比較例2は、同じく垂直にコンタクトするタイプで先端がバネ伸縮する従来のプローブを表している。更に、図9中の本発明品は、スクラブ動作方向Sにスライドしながらコンタクトするタイプの本発明の実施形態1に係るプローブ3Aを表している。

0042

図9から明らかなように、比較例1では接触検査回数が増加すると接触抵抗値が急激に増加することが分かる。また、比較例2では接触抵抗値の増加量は比較例1よりも小さくなるが、比較例1と同様、接触検査回数が増加すると接触抵抗値が徐々に増加する。
これに対し、本発明品では接触検査回数を重ねても小さな接触抵抗値をそのまま維持できることが分かる。これは、滑り部63Aが突起電極7の表面をスライドしながらスクラブすることでコンタクト時の接触性が良くなり、プローブ3Aの先端部3bに対するコンタミネーションの付着が低減したことによるものと考えられる。
更に、本発明ではセルフクリーニング効果も期待できるため、このような結果が得られたものと思われる。

0043

そして、このようにして構成される本実施形態に係るプローブ3A、プローブカード11及び接触検査装置1によれば、検査時に発生するコンタミネーションがプローブ3Aの先端部3bに付着しにくく、接触検査回数を重ねてもプローブ3Aの接触抵抗値の増加を低く抑えることのできるプローブ3、プローブカード11及び接触検査装置1を提供できるようになる。
更に、本実施形態ではスライドしながらスクラブ動作を行う滑り部63Aの作用で突起電極7の表面のセルフクリーニング効果が期待でき、垂直方向にコンタクトする従来のプローブよりも接触面積ないし接触長さが大きくなるから被検査体5との接触性を向上させるという効果も得られる。

0044

[実施形態2](図6参照)
実施形態2に係るプローブ3Bは、前述した実施形態1に係るプローブ3Aと基本的に同様の構成を有しており、滑り部63Bの構成のみが前記実施形態1と相違する。従って、ここでは前記実施形態1と同様の構成については説明を省略し、前記実施形態1と相違する滑り部63Bの構成とその作用に絞って説明する。
即ち、本実施形態2では、滑り部63Bの横断面形状が頂点を下方に位置させた三角形状又は図示のような菱形形状に形成されており、該滑り部63の下面側に突条によって線状の傾斜部65が形成されるように構成されている。

0045

このような滑り部63Bを備える本実施形態2に係るプローブ3Bによっても、前述した実施形態1に係るプローブ3Aと同様の作用、効果を発揮することが可能である。また、本実施形態2にあっては、前記傾斜部65Aが線状であることにより、プローブ3Bがスクラブ動作時において突起電極7の表面の酸化膜を削り易いという効果が得られるようになる。

0046

[実施形態3](図7参照)
実施形態3に係るプローブ3Cは、本体部61Cの屈曲方向が前記実施形態1に係るプローブ3Aとは逆方向になり、滑り部63Cの形状と形成方向が前記実施形態1と相違している。尚、その他の構成については前記実施形態1と同様である。
従って、ここでは、前記実施形態1と相違する本体部61Cと、滑り部63Cの構成と、そのスクラブ動作及び作用に絞って説明する。

0047

即ち、本実施形態3では、プローブ3Cの本体部61Cにおける屈曲方向が前記実施形態1に係るプローブ3Aと逆方向になっており、上方の屈曲点Q1は前記実施形態1と同様、中心線L上あるいはその近傍に位置しているが、下方の屈曲点Q2は、実施形態1において図3及び図5中、中心線Lの右側に位置していたのに対して、本実施形態では図7に表すように中心線Lの左側に位置するように構成されている。
これに伴って、実施形態1では、屈曲点Q1から屈曲点Q2に至る範囲で右方に屈曲し、屈曲点Q2から頂点Pに至る範囲で左方に屈曲するような側面視S字形湾曲形状を有していたのに対して、本実施形態3では、屈曲点Q1から屈曲点Q2に至る範囲で左方に屈曲し、屈曲点Q2から頂点Pに至る範囲で右方に屈曲する前記実施形態1とは逆方向の側面視Z字形の湾曲形状に形成されている。

0048

また、本実施形態3では、前記実施形態1のように頂点Pを境に本体部61から折り返すようにして滑り部63Aを設けるのではなく、屈曲点Q2と頂点Pとの間の本体部61Cの先端部をそのまま利用して滑り部63を設けている。
そして、本実施形態に係るプローブ3Cでは、図7中、仮想線で表す突起電極7とのコンタクトの開始状態から更に押し込まれると、図7中、実線で表すように滑り部63Cがスクラブ動作方向Sに押し出されるようにしてスライドしてスクラブ動作が実行される。

0049

このようにして構成される本実施形態の係るプローブ3Cによっても、前述した実施形態1に係るプローブ3Aと同様の作用、効果を発揮することが可能である。また、本実施形態にあっては、プローブ3Cの形状が前記実施形態1に係るプローブ3Aよりも簡単になるからプローブ3の成形が容易になってプローブ3の生産性の向上に寄与し得る。

0050

[プローブの配置態様][図1図2及び図8参照]
前述した実施形態1から実施形態3の3タイプのプローブ3は、一般に一つで使用されるのではなく、図1図2に表すように、検査する突起電極7の数や目的に応じて複数本が同時に使用される。
この場合、前記各実施形態に係るプローブ3A、3B、3Cはすべて板状の厚み方向Wにコンパクトな形状を有しているから、図8に表すように、一つの突起電極7に対して複数のプローブ3を接触させる複数端子コンタクトが可能である。従って、突起電極7のレイアウトに対応してプローブ3のレイアウトを自由に変えることが可能であり、プローブのレイアウトに自由度がある。

0051

また、図8で表すように、例えば縦横80μmピッチで突起電極7が配置され、隣接する突起電極7間の隙間が例えば40μmの高密度に突起電極7が配置された被検査体5に対するプローブ3の高密度実装も可能になる。

0052

[他の実施形態]
本発明に係るプローブ3、プローブカード11及び接触検査装置1は、以上述べたような構成を有することを基本とするものであるが、本願発明の要旨を逸脱しない範囲内の部分的構成の変更や省略等を行うことも勿論可能である。
例えば、滑り部63の横断面形状は、前述した各実施形態において採用した矩形状、三角形状、菱形形状に限らず、円形楕円形台形、その他の多角形エッジアールを付けたもの、摺接面にスクラブ動作方向Sに沿う溝を付けたもの等、種々の形状が採用可能である。

0053

また、本体部61の形状も前述した実施形態の説明の中で述べた2つの屈曲点Q1、Q2を備えた側面視S字形状ないしZ字形状のものに限らず、屈曲点Qを一つのみ備えた側面視C字形状やJ字形状あるいはL字形状のものであってもよいし、屈曲点Qを三つにして側面視W字形状にする等、種々の形状が採用可能である。

0054

1接触検査装置、3プローブ、3a基端部、3b 先端部、3c 他端部、
3d 延設部、5被検査体、 7突起電極(被検査部)、9 載置部、
11プローブカード、12カード構造、13 駆動部、
15プローブヘッド、23 制御部、25テスター、
35クランプヘッド、37スティフナー、39プリント基板、
41固定リング、43 MCL、51 上部ガイド部、
52中間スペーサー、53 下部ガイド部、61 本体部、
63滑り部、65 傾斜部、
A 一端、B 他端、F押付ける力、Sスクラブ動作方向、C 前方、
D後方、W 厚み方向、O 中心位置、P頂点、Q屈曲点、
L中心線、L1 直線、ΔE ずれ量、t 厚み

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