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技術 圧電衝撃センサー及びその製造方法

出願人 サムソンエレクトロ-メカニックスカンパニーリミテッド.
発明者 ハ、ムンスチョ、ホンイェオンチョイ、チャンハクキム、ヨンコーキム、ヒョジュン
出願日 2016年4月13日 (4年8ヶ月経過) 出願番号 2016-080307
公開日 2017年6月1日 (3年6ヶ月経過) 公開番号 2017-096908
状態 特許登録済
技術分野 加速度、衝撃の測定 圧電、電歪、磁歪装置
主要キーワード 加速度条件 中問層 センシング感度 衝撃センサー カンチレバ 切断過程 カンチレバー構造 カンチレバー形
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (11)

課題

本発明は、圧電衝撃センサー及びその製造方法に関する。

解決手段

本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーは、下部カバーと、第1及び第2圧電シートが積層された圧電素子と、上部カバーと、を含み、前記第1及び第2圧電シートは、カンチレバー部と枠部とが一体となっており、前記第1及び第2圧電シート上に、互いに対向する方向に露出するように第1及び第2内部電極がそれぞれ形成されるとともに、前記第1及び第2カンチレバー部の先端領域には、他の領域より大きい重量を有する重量提供部が形成されている形態を有する。

概要

背景

圧電衝撃センサーは、電子製品機械の異常振動または動作の原因を窮めるために用いられるものであって、近年、低騒音及び高品質が要求されるコンピューター携帯電話の開発において主に用いられている。

従来の圧電衝撃センサーは、焼成された圧電体が4方向(上下左右)からパッケージ(package)材料で囲まれた構造を有する。かかる圧電衝撃センサーは、先ず、焼成された圧電体の上下面または左右面にキャビティ(cavity)が形成された2個のパッケージ構造物中問層として接合した後、圧電体の左右面または上下面に蓋としてのパッケージをさらに接合する方法により製造されることができる。

他の製造方法として、圧電衝撃センサーは、圧電体の上下面または左右面に2個のパッケージ構造物を形成して分極し、電極の一端を切断してカンチレバー(cantilever:片持ち梁)を形成した後、最後に蓋としてのパッケージを接合することで製造されることができる。

しかし、上記のカンチレバー構造とその製造方法の場合、内部電極カンチレバー形態に製作するためには、分極後に圧電体を切断する工程が必要となる。圧電体を切断する工程を導入すると、製作工程が複雑となるだけでなく、切断時に圧電衝撃センサーの寸法エラーが多く発生し得る。

概要

本発明は、圧電衝撃センサー及びその製造方法に関する。本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーは、下部カバーと、第1及び第2圧電シートが積層された圧電素子と、上部カバーと、を含み、前記第1及び第2圧電シートは、カンチレバー部と枠部とが一体となっており、前記第1及び第2圧電シート上に、互いに対向する方向に露出するように第1及び第2内部電極がそれぞれ形成されるとともに、前記第1及び第2カンチレバー部の先端領域には、他の領域より大きい重量を有する重量提供部が形成されている形態を有する。

目的

本発明の一目的は、圧電体を切断する工程が不要であるため、製作工程を簡素化することができ、最終製品の寸法エラーを減少させることができる圧電衝撃センサー及びその製造方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
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牽制数
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請求項1

部カバーと、下上に積層された第1及び第2圧電シートを有し、前記下部カバーの上面に配置される圧電素子と、前記圧電素子の上面に配置される上部カバーと、を含み、前記第1圧電シートは、第1カンチレバー部と第1枠部とが一体となっており、前記第1カンチレバー部の上面に形成される第1内部電極、及び前記第1枠部の上面に、前記圧電素子の長さ方向の一面を介して露出するように形成される第1リード部を含み、前記第2圧電シートは、前記第1カンチレバー部及び前記第1枠部とそれぞれ上下に重なるように、第2カンチレバー部と第2枠部とが一体となっており、前記第2カンチレバー部の上面に形成される第2内部電極、前記第2枠部の上面に、前記第1リード部と対向する方向に露出するように形成される第2リード部、及び前記第2枠部の上面に、前記第2内部電極と前記第2リード部とを連結するように形成される連結部を含み、前記第1及び第2カンチレバー部の先端領域には、他の領域より大きい重量を有する重量提供部が形成されている、圧電衝撃センサー

請求項2

前記重量提供部は、前記第1及び第2カンチレバー部の他の領域に比べてその幅がより大きい形態を有する、請求項1に記載の圧電衝撃センサー。

請求項3

前記重量提供部は、前記第1及び第2カンチレバー部の他の領域とその厚さが同一である形態を有する、請求項2に記載の圧電衝撃センサー。

請求項4

前記下部カバー、前記圧電素子、及び前記上部カバーが積層されてなる積層体の長さ方向の両面に、前記第1及び第2リード部の露出した部分と接続されるようにそれぞれ形成される第1及び第2外部電極をさらに含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の圧電衝撃センサー。

請求項5

前記第1圧電シートは、前記第1枠部が中央に第1孔を有しており、前記第1カンチレバー部は、前記第1枠部から前記第1孔に向って真直ぐに延びて形成され、前記第2圧電シートは、前記第2枠部が中央に第2孔を有しており、前記第2カンチレバー部は、前記第2枠部から前記第2孔に向って真直ぐに延びて形成される、請求項1から4のいずれか一項に記載の圧電衝撃センサー。

請求項6

前記連結部が、前記第2孔の内側縁を介して露出するように形成される、請求項5に記載の圧電衝撃センサー。

請求項7

前記下部カバーの上面と前記上部カバーの下面に第1及び第2凹部が形成される、請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電衝撃センサー。

請求項8

第1及び第2内部電極をそれぞれ有する第1及び第2圧電シートを下上に積層することで圧電素子を製造する段階と、下部カバーの上面に前記圧電素子を配置する段階と、前記圧電素子の上面に上部カバーを配置する段階と、を含み、前記第1圧電シートは、第1カンチレバー部と第1枠部とを一体として形成し、前記第1カンチレバー部の上面に導電性ペーストで第1内部電極を形成し、前記第1枠部の上面に、導電性ペーストで前記第1圧電シートの長さ方向の一面を介して露出するように第1リード部を形成することで製造し、前記第2圧電シートは、第2カンチレバー部と第2枠部とを一体として形成し、前記第2カンチレバー部の上面に導電性ペーストで第2内部電極を形成し、前記第2枠部の上面に、導電性ペーストで前記第1リード部と対向する方向に露出するように第2リード部を形成し、前記第2内部電極の一端部と前記第2リード部の一端部とが連結されるように連結部を形成することで製造し、前記第1及び第2カンチレバー部の先端領域には、他の領域に比べて大きい重量を有する重量提供部を形成する、圧電衝撃センサーの製造方法。

請求項9

前記重量提供部は、前記第1及び第2カンチレバー部の他の領域に比べてその幅がより大きい形態を有する、請求項8に記載の圧電衝撃センサーの製造方法。

請求項10

前記重量提供部は、前記第1及び第2カンチレバー部の他の領域とその厚さが同一である形態を有する、請求項9に記載の圧電衝撃センサーの製造方法。

請求項11

前記下部カバー、前記圧電素子、及び前記上部カバーが積層されてなる積層体の長さ方向の両面に、前記第1及び第2リード部の露出した部分と接続されるように第1及び第2外部電極をそれぞれ形成する段階をさらに含む、請求項8から10のいずれか一項に記載の圧電衝撃センサーの製造方法。

請求項12

前記第1及び第2圧電シートにおいて、第1及び第2枠部の中央に「逆コの字」の形状の第1及び第2孔を穿孔して第1及び第2カンチレバー部をそれぞれ形成する、請求項8から11のいずれか一項に記載の圧電衝撃センサーの製造方法。

請求項13

前記連結部が、前記第2孔の内側縁を介して露出するように形成される、請求項12に記載の圧電衝撃センサーの製造方法。

請求項14

前記下部カバーの上面と前記上部カバーの下面に第1及び第2凹部が形成されている、請求項8から13のいずれか一項に記載の圧電衝撃センサーの製造方法。

技術分野

0001

本発明は、圧電衝撃センサー及びその製造方法に関する。

背景技術

0002

圧電衝撃センサーは、電子製品機械の異常振動または動作の原因を窮めるために用いられるものであって、近年、低騒音及び高品質が要求されるコンピューター携帯電話の開発において主に用いられている。

0003

従来の圧電衝撃センサーは、焼成された圧電体が4方向(上下左右)からパッケージ(package)材料で囲まれた構造を有する。かかる圧電衝撃センサーは、先ず、焼成された圧電体の上下面または左右面にキャビティ(cavity)が形成された2個のパッケージ構造物中問層として接合した後、圧電体の左右面または上下面に蓋としてのパッケージをさらに接合する方法により製造されることができる。

0004

他の製造方法として、圧電衝撃センサーは、圧電体の上下面または左右面に2個のパッケージ構造物を形成して分極し、電極の一端を切断してカンチレバー(cantilever:片持ち梁)を形成した後、最後に蓋としてのパッケージを接合することで製造されることができる。

0005

しかし、上記のカンチレバー構造とその製造方法の場合、内部電極カンチレバー形態に製作するためには、分極後に圧電体を切断する工程が必要となる。圧電体を切断する工程を導入すると、製作工程が複雑となるだけでなく、切断時に圧電衝撃センサーの寸法エラーが多く発生し得る。

先行技術

0006

韓国公開特許第2008−0018012号公報
特開2007−158457号公報

発明が解決しようとする課題

0007

本発明の一目的は、圧電体を切断する工程が不要であるため、製作工程を簡素化することができ、最終製品の寸法エラーを減少させることができる圧電衝撃センサー及びその製造方法を提供することにある。

0008

本発明の他の目的は、センシング感度が向上した圧電衝撃センサー及びその製造方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

0009

上述の課題を解決するための方法として、一例による本発明は、製作工程が簡素化され、且つセンシング感度が向上することができる圧電衝撃センサーの新規な構造を提案する。具体的に、圧電衝撃センサーは、下部カバーと、第1及び第2圧電シートが積層された圧電素子と、上部カバーと、を含み、上記第1及び第2圧電シートは、カンチレバー部と枠部とが一体となっており、上記第1及び第2圧電シート上には、互いに対向する方向に露出するように第1及び第2内部電極がそれぞれ形成されており、上記第1及び第2カンチレバー部の先端領域には、他の領域より大きい重量を有する重量提供部が形成されている形態を有する。

発明の効果

0010

本発明の一実施形態により提案される圧電衝撃センサーは、圧電素子を切断する工程を行うことなく内部電極をカンチレバー形態に製作することができるため、製作工程を簡素化して生産性を高めることができるとともに、製造された圧電衝撃センサーの寸法エラーを減少させて製品不良率を改善することができる。さらに、かかる圧電衝撃センサーは、その先端にと類似の機能を担う重量提供部を有することで、向上したセンシング感度を提供することができる。

図面の簡単な説明

0011

本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーを概略的に示した斜視図である。
図1から外部電極を分離した斜視図である。
図2の分離斜視図である。
図1の圧電衝撃センサーにおいて、圧電素子の第1圧電シートの部分を示した斜視図である。
図1の圧電衝撃センサーにおいて、圧電素子の第2圧電シートの部分を示した斜視図である。
本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーの製造方法を順に示した斜視図である。
本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーの製造方法を順に示した斜視図である。
本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーの製造方法を順に示した斜視図である。
本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーの製造方法を順に示した斜視図である。
本発明の一実施形態で採用され得る重量提供部の様々な形態を示す図である。

実施例

0012

以下では、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。したがって、図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。

0013

圧電衝撃センサー
図1は本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーを概略的に示した斜視図であり、図2図1から外部電極を分離した斜視図であり、図3図2の分離斜視図である。

0014

図1図3を参照すれば、本実施形態による圧電衝撃センサー10は、圧電素子100と、上部及び下部カバー200、300と、を含み、カンチレバー部の先端領域に他の領域より大きい重量を有する重量提供部114を形成することで、センシング感度を向上させることができる構造を有する。説明の便宜のために、図2において、圧電素子と上下部カバーを含む積層体の各面について定義すると、上記積層体の下面と上面をそれぞれ第1及び第2面1、2、長さ方向の両面を第3及び第4面3、4、幅方向の両面を第5及び第6面5、6と定義する。

0015

下部カバー300は、内部電極が形成されていない誘電体を少なくとも1層以上積層して構成することができ、必要に応じて、圧電体材料で構成することができる。その他にも、下部カバー300はエポキシなどの樹脂を用いて得ることもできる。下部カバー300は圧電素子100の下面に配置される。

0016

上部カバー200は、内部電極が形成されていない誘電体を少なくとも1層以上積層して構成することができ、必要に応じて、圧電体材料で構成することができる。上部カバー200は圧電素子の上面に配置される。この際、下部カバー300の上面には、キャビティ(cavity)形状を有する第1凹部310が形成され、上部カバー200の下面には、キャビティ(cavity)形状を有する第2凹部210が形成されることができる。この際、第1及び第2凹部310、210の長さ及び幅は、後述する圧電素子の第1及び第2内部電極より大きく形成されることができる。

0017

本実施形態において、下部及び上部カバー300、200に形成された第1及び第2凹部310、210は、圧電素子100が振動する時に、第1及び第2内部電極が自由に振動できる空間を確保する役割を担う。これにより、センサーの駆動による圧電素子100の振動時に、上部及び下部カバー200、300によって圧電素子100が破損されたり、第1及び第2内部電極の振動伝達が妨害されたりすることを防止することができる。

0018

また、上述のように、圧電素子100において、振動が発生するカンチレバー部の先端領域には相対的に重い重量提供部114が形成されており、これは、圧電素子100の振動変位をより大きくすることで、センサー10の感度を高めるためのものである。

0019

図4a図4b及び図6を参照して、圧電衝撃センサー10の詳細構成をより詳細に説明する。図4aは、図1の圧電衝撃センサーにおいて、圧電素子の第1圧電シートの部分を示した斜視図であり、図4bは、図1の圧電衝撃センサーにおいて、圧電素子の第2圧電シートの部分を示した斜視図である。また、図6は、本発明の一実施形態で採用され得る重量提供部の様々な形態を示す図である。

0020

先ず、図4a及び図4bを参照すれば、圧電素子100は、下部の第1圧電シート110と上部の第2圧電シート120が下上に重なって積層された構造を有する。本実施形態では、圧電素子100に含まれる第1及び第2内部電極141、131がカンチレバー形態を有する。

0021

第1圧電シート110は、第1枠部111と第1カンチレバー部112とが一体型からなる。このうち、第1枠部111は、中央に第1孔113を有するフレーム形状からなり、第1カンチレバー部112は、第1枠部111から第1孔113に向って真直ぐに延びて形成されることができる。

0022

そして、第1カンチレバー部112の上面に第1内部電極141が形成されており、第1枠部111の上面には、圧電素子100の長さ方向の第3面を介して露出するように第1リード部142が形成される。この際、第1内部電極141は、第1カンチレバー部112の縁を介して露出するように形成されて、センサー作動時における感度を向上させることができる。この際、第1内部電極141と第1リード部142とが連結される部位に応力が集中され、第1内部電極141の振動状態が安定して維持されることができる。

0023

図4aに示した形態のように、本実施形態は、第1カンチレバー部112の先端領域に他の領域より大きい重量を有する重量提供部114aが形成されており、第2カンチレバー部122の重量提供部114bと上下に積層された形態である。かかる重量提供部114bは、カンチレバー部の先端で錘と類似の機能を担うことができ、これにより圧電素子100の振動変位が増加することができる。相対的に大きい重量を有するために、重量提供部114aは、第1カンチレバー部112の他の領域に比べてより大きい幅を有し、且つ第1カンチレバー部112の他の領域と同一の厚さを有する形態を有することができる。

0024

このように、重量提供部114aがカンチレバー部の厚さ方向でなく幅方向に形成されることで、センシング感度を効果的に高めるとともに、圧電素子100の厚さを最小化することができる。重量提供部114aは第1カンチレバー部112と一体に形成されることができ、例えば、第1カンチレバー部112をレーザートリミングなどの方法で加工することにより得られることができる。この場合、第1及び第2カンチレバー部112、122の重量提供部114a、114bは、積層後に一回の加工により同時に形成されることもできる。また、図6(a)、(b)、(c)に図示した例のように、重量提供部114のサイズや形状は、要求されるセンシング感度などに応じて適宜変形されることができる。

0025

第2圧電シート120は第1圧電シート110と同一の材料で構成されることができるが、本発明が必ずしもこれに限定されるものではない。第2圧電シート120は、第2枠部121と第2カンチレバー部122とが一体型からなる。このうち、第2枠部121は、中央に第2孔123を有するフレーム形状からなり、第2カンチレバー部122は、第2枠部121から第2孔123に向って真直ぐに延びて形成されることができる。第2枠部121は、第1枠部111と上下に重なるように形成されることができる。

0026

また、第2カンチレバー部122の上面に第2内部電極131が形成され、第2枠部121の上面には、第1リード部142と対向する方向に露出するように第2リード部132が形成され、第2枠部121の上面には、第2内部電極131と第2リード部132とを連結するように連結部133が形成される。この際、第2内部電極131と連結部133が連結される部位に応力が集中され、第2内部電極131の振動状態が安定して維持されることができる。

0027

上述のように、第2カンチレバー部122の先端領域には他の領域より大きい重量を有する重量提供部114bが形成されており、第1カンチレバー部112の重量提供部114aと互いに積層された形態を有する。また、重量提供部114bは、第2カンチレバー部122の他の領域に比べてより大きい幅を有し、且つ第2カンチレバー部122の他の領域と同一の厚さを有する形態を有することができる。

0028

連結部133は、必要に応じて、第2孔の内側縁を介して露出するように形成されることができ、例えば、第2孔が四角形状である場合には、四角帯形状に形成されることができるが、本発明がこれに限定されるものではない。

0029

圧電素子100と上部及び下部カバー200、300が積層されてなる積層体には、第1及び第2外部電極411、412が形成される。

0030

第1及び第2外部電極411、412は、上記積層体の第3及び第4面3、4に、第1及び第2リード部142、132の露出した部分と接続されて電気的に連結されるように形成される。本実施形態は、このように第1及び第2リード部が容易に外部に露出する構造を有するため、外部電極も簡単に形成されることができる。この際、第1及び第2外部電極411、412は、必要に応じて、上記積層体の第1面1の一部、第2面2の一部、及び幅方向の第5及び第6面5、6の一部まで延びるバンド部を有することができる。

0031

また、本実施形態は、圧電素子100が第1及び第2圧電シート110、120の二重層の構造を有するため、センサーの感度をさらに向上させることができる。

0032

圧電衝撃センサーの製造方法
以下、本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーの製造方法について説明する。

0033

図5a図5dは、本発明の一実施形態による圧電衝撃センサーの製造方法を順に示した斜視図である。

0034

先ず、所定厚さの第1及び第2圧電シート110、120を製造する。第1圧電シート110は圧電材料で構成し、第1カンチレバー部112と第1枠部111とを一体として形成する。この際、第1カンチレバー部112は、第1枠部111の中央に「逆コの字」の形状と類似の形状の第1孔を穿孔して製造することができる。第1カンチレバー部112には、錘と類似の機能を担うように、幅が相対的に広い重量提供部が形成されている。但し、図5aでは、第1カンチレバー部112の重量提供部が積層前に形成された形態を説明しているが、第1及び第2カンチレバー部112、122が積層された後に加工して重量提供部を形成することもできる。また、本実施形態では、第1カンチレバー部112と重量提供部とが一体である形態、すなわち、重量提供部が第1カンチレバー部112の一部を成す形態を示しているが、この形態にのみ制限される必要はなく、第1カンチレバー部112と重量提供部は接着剤により結合されることもできる。これは、後述する第2カンチレバー部122の場合も同様である。

0035

また、第1圧電シート110は、第1カンチレバー部の上面に導電性ペースト印刷することで第1内部電極141を形成し、第1枠部111の上面に導電性ペーストを印刷することで、第1圧電シート110の長さ方向の第3面を介して露出するように第1リード部142を形成することにより製造する。

0036

第2圧電シート120は圧電材料で構成し、第2カンチレバー部122と第2枠部121とを一体として形成する。この際、第2カンチレバー部122は、第2枠部121の中央に「逆コの字」の形状と類似の形状を有する第2孔123を穿孔して製造することができる。第1カンチレバー部112と同様に、第2カンチレバー部122には、錘と類似の機能を担うように幅が相対的に広い重量提供部が形成されている。

0037

そして、第2圧電シート120は、第2カンチレバー部122の上面に導電性ペーストを印刷することで、第1内部電極141と異なる極性印加される第2内部電極131を形成し、第2枠部121の上面に導電性ペーストを印刷することで、第1リード部142と対向する方向に露出するように第2リード部132を形成し、第2枠部121の上面に導電性ペーストを印刷することで、第2内部電極131の一端部と第2リード部132の一端部とが連結されるように連結部133を形成することにより製造する。

0038

そして、第1及び第2内部電極141、131がそれぞれ形成された第1及び第2圧電シート110、120を下上に積層することで、圧電素子100を製造する。

0039

次いで、下部カバー300の上面に圧電素子100を配置する。

0040

次いで、圧電素子100の上面に上部カバー200を配置することで、積層体を完成する。この際、下部カバー300の上面と上部カバー200の下面に、第1及び第2凹部310、210を形成することができる。

0041

次いで、下部カバー300、圧電素子100、及び上部カバー200が積層された上記積層体の第3及び第4面3、4に導電性金属ペーストを塗布することで、第1及び第2リード部142、132の露出した部分とそれぞれ接続されて電気的に連結される第1及び第2外部電極411、412をそれぞれ形成する。

0042

一方、本発明の発明者らは、カンチレバー部の先端領域に形成されている重量提供部の形態による、圧電素子に及ぶ応力の変化を観察し、下記表1にシミュレーション結果を示す。下記表1において、パターン1は、重量提供部が形成されていない形態に該当し、パターン2〜4は、それぞれ図6の(a)、(b)、(c)の形態に該当する。この際、パターン2は、重量提供部の長さがカンチレバー部の25%である形態に該当し、パターン3及び4は、それぞれ50%及び75%である形態に該当する。

0043

0044

上記シミュレーション結果を検討すれば、長さに対する質量比は重量提供部の長さが長いほど大きくなり、略75%になると(パターン4)、約2倍程度になる。同一の加速度条件が印加された状態での固定端、すなわち、カンチレバー部の先端領域の反対領域最大応力は、質量比に比例する値を得ることができる。

0045

一方、従来の圧電衝撃センサーは、圧電体の上下面または左右面に2個のパッケージ構造物を形成して分極し、電極の一端を切断してカンチレバーを形成した後、最後に蓋としてのパッケージを接合することで製造する。

0046

しかし、上記の構造と製造方法の場合、内部電極を分極してカンチレバー形態に製作するためには、圧電体を切断する工程が必ず必要である。これは、製作工程を複雑にする原因となるだけでなく、切断過程で寸法散布が発生して、最終圧電衝撃センサーの寸法エラーが多く発生するという問題がある。

0047

しかし、本実施形態によれば、圧電シートの枠部とカンチレバー部とを一体に製作し、圧電シート上に導電性ペーストを印刷して内部電極を形成することで、内部電極を形成した後に圧電体を切断する工程が不要であるため、製作工程を簡素化させることができる。また、従来の切断過程で発生する寸法散布がないため、最終の圧電衝撃センサーの寸法エラーを減少させることができるという効果がある。

0048

また、カンチレバー部の先端領域に錘と類似の機能を担うことができる重量提供部を形成することで、センシング感度を高めることができる。かかる重量提供部は、カンチレバー部から幅が延びた形態に実現されるため、センサーの厚さを増加させることなく性能を向上させることができる。

0049

以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。

0050

10圧電衝撃センサー
100圧電素子
110 第1圧電シート
111 第1枠部
112 第1カンチレバー部
113 第1孔
114 重量提供部
120 第2圧電シート
121 第2枠部
122 第2カンチレバー部
123 第2孔
141 第1内部電極
142 第1リード部
131 第2内部電極
132 第2リード部
133 連結部
200 上部カバー
300 下部カバー
310 第1凹部
411、412 第1及び第2外部電極

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