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技術 注意喚起情報提供システム

出願人 東京エレクトロン株式会社
発明者 長谷部和久赤田光宇都宮由典園田主税
出願日 2015年10月27日 (5年1ヶ月経過) 出願番号 2015-210888
公開日 2017年5月18日 (3年6ヶ月経過) 公開番号 2017-084059
状態 特許登録済
技術分野 警報システム 異常警報装置 半導体装置の製造処理一般
主要キーワード 同一型式 インターロック動作 メンテナンス作業中 メンテナンスマニュアル 注意喚起信号 網膜投影 区画用 容器情報
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2017年5月18日)のものです。
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図面 (7)

課題

作業員に対して注意喚起情報を提供して、作業員の安全を確保する。

解決手段

作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システム1は、ヘッドマウントディスプレイ装置10と、ヘッドマウントディスプレイ装置10との間で信号の送受信を行う複数の送受信装置11と、ヘッドマウントディスプレイ装置10に表示する所定の情報を生成する制御装置12と、ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の位置情報を検出する位置情報検出装置と、を有する。制御装置12は、位置情報検出装置で検出した作業員の位置情報と、危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、ヘッドマウントディスプレイ装置は、当該注意喚起情報を表示する。

概要

背景

例えば半導体デバイスの製造を行うクリーンルーム内には、半導体ウェハに対して塗布現像処理を行う装置や、露光装置エッチング装置などの各種装置が設置されている。そして、これら各装置で所定の処理を実行することで、半導体デバイスが製造される。

上記の各装置間での半導体ウェハの搬送は、例えば特許文献1に示すような、半導体ウェハを収容するカセットを、作業員の頭上の空間を利用して搬送する搬送装置が用いられる。

このようなクリーンルーム内の各装置は、通常、複数台設けられており、例えば1台の装置をメンテナンスにより停止する際も、他の装置は継続して稼動している。

そのため、他装置の稼動中にメンテナンス作業を行う場合、周囲の作業員に対して注意喚起するための警告表示区画用ロープ設置等による安全対策がとられる。

概要

作業員に対して注意喚起情報を提供して、作業員の安全を確保する。作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システム1は、ヘッドマウントディスプレイ装置10と、ヘッドマウントディスプレイ装置10との間で信号の送受信を行う複数の送受信装置11と、ヘッドマウントディスプレイ装置10に表示する所定の情報を生成する制御装置12と、ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の位置情報を検出する位置情報検出装置と、を有する。制御装置12は、位置情報検出装置で検出した作業員の位置情報と、危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、ヘッドマウントディスプレイ装置は、当該注意喚起情報を表示する。

目的

本発明は、作業員に対して注意喚起情報を提供するシステムに関し、特に、半導体デバイス製造工場のクリーンルーム内における注意喚起情報を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
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請求項1

クリーンルーム内において作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システムであって、所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の位置情報を検出する位置情報検出装置と、を有し、前記制御装置は、前記位置情報検出装置で検出した作業員の位置情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴とする、注意喚起情報提供システム。

請求項2

前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の周囲を撮像する撮像装置をさらに有し、前記制御装置は、前記撮像装置で取得された画像情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴とする、請求項1に記載の注意喚起情報提供システム。

請求項3

クリーンルーム内において作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システムであって、所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の周囲を撮像する撮像装置と、を有し、前記制御装置は、前記撮像装置で取得された画像情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴とする、注意喚起情報提供システム。

請求項4

前記クリーンルーム内における危険箇所は、高温部、落下・墜落の可能性のある場所、または移動体との干渉の可能性のある場所の、少なくともいずれかであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の注意喚起情報提供システム。

請求項5

前記落下・墜落の可能性のある場所は、クリーンルーム内でグレーチングが一時的に取り外された場所であることを特徴とする、請求項4に記載の注意喚起情報提供システム。

請求項6

前記移動体は、クリーンルーム内で半導体基板を搬送する搬送装置であることを特徴とする、請求項4または5のいずれか一項に記載の注意喚起情報提供システム。

技術分野

0001

本発明は、作業員に対して注意喚起情報を提供するシステムに関し、特に、半導体デバイス製造工場クリーンルーム内における注意喚起情報を提供するシステムに関する。

背景技術

0002

例えば半導体デバイスの製造を行うクリーンルーム内には、半導体ウェハに対して塗布現像処理を行う装置や、露光装置エッチング装置などの各種装置が設置されている。そして、これら各装置で所定の処理を実行することで、半導体デバイスが製造される。

0003

上記の各装置間での半導体ウェハの搬送は、例えば特許文献1に示すような、半導体ウェハを収容するカセットを、作業員の頭上の空間を利用して搬送する搬送装置が用いられる。

0004

このようなクリーンルーム内の各装置は、通常、複数台設けられており、例えば1台の装置をメンテナンスにより停止する際も、他の装置は継続して稼動している。

0005

そのため、他装置の稼動中にメンテナンス作業を行う場合、周囲の作業員に対して注意喚起するための警告表示区画用ロープ設置等による安全対策がとられる。

先行技術

0006

特開2003−229342号公報

発明が解決しようとする課題

0007

しかしながら、上述の搬送装置のような移動体移動ルートは、各種装置の上方を通過するように設定されている場合もある。したがって、メンテナンスのために作業員が装置上部へアクセスするような場合、搬送装置がメンテナンス作業中の作業員の死角から接近したり、作業員と衝突したりする可能性があり、潜在的な危険のリスクを完全にゼロにはできないのが現状である。また、このような移動体に対する安全管理は作業中の作業員に委ねられており、作業員の死角からの移動体の接近等の事象に対して、作業員の安全を確保する手段が求められている。

0008

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、作業員に対して注意喚起情報を提供して、作業員の安全を確保することを目的としている。

課題を解決するための手段

0009

前記の目的を達成するため、本発明は、クリーンルーム内において作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システムであって、所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の位置情報を検出する位置情報検出装置と、を有し、前記制御装置は、前記位置情報検出装置からの位置情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴としている。なお、注意喚起情報とは、クリーンルーム内における高温部の位置や、落下・墜落の可能性のある場所、または移動体との干渉の可能性のある場所といった、潜在的な危険に対して注意を喚起するための情報である。

0010

本発明によれば、位置情報検出装置で検出した作業員の位置情報と危険個所の情報に基づいて生成した注意喚起情報を、制御装置からヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、ヘッドマウントディスプレイ装置の表示部に当該注意喚起情報を表示する。したがって、作業員の死角からの移動体の接近等に対して作業員の注意を喚起することで、作業員の安全を確保することができる。

0011

前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の周囲を撮像する撮像装置をさらに有し、前記制御装置は、前記撮像装置で取得された画像情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示してもよい。

0012

別の観点による本発明は、クリーンルーム内において作業員に対して注意喚起情報を提供する注意喚起情報提供システムであって、所定の情報を表示する表示部を備えたヘッドマウントディスプレイ装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置との間で信号の送受信を行う送受信装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示する所定の情報を生成する制御装置と、前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着した作業員の周囲を撮像する撮像装置と、を有し、前記制御装置は、前記撮像装置で取得された画像情報と、前記クリーンルーム内における危険箇所の情報に基づいて、注意喚起情報を生成し、前記送受信装置は、前記制御装置で生成された前記注意喚起情報を前記ヘッドマウントディスプレイ装置に送信し、前記ヘッドマウントディスプレイ装置は、前記制御装置で生成された注意喚起情報を前記表示部に表示することを特徴としている。

0013

前記クリーンルーム内における危険箇所は、高温部、落下・墜落の可能性のある場所、または移動体との干渉の可能性のある場所の、少なくともいずれかであってもよい。

0014

前記落下・墜落の可能性のある場所は、クリーンルーム内でグレーチングが一時的に取り外された場所であってもよい。

0015

前記移動体は、クリーンルーム内で半導体基板を搬送する搬送装置であってもよい。

発明の効果

0016

本発明によれば、作業員に対して注意喚起情報を提供して、作業員の安全を確保することができる。

図面の簡単な説明

0017

本実施の形態にかかる注意喚起情報提供システムの構成の概略を示すブロック図である。
作業員がヘッドマウントディスプレイ装置を装着した状態を示す説明図である。
位置検出プログラム配置情報を示す平面の説明図である。
作業員が高所作業をしている様子を示す説明図である。
作業員がヘッドマウントディスプレイ装置と撮像装置を装着した状態を示す説明図である。
撮像装置によりグレーチング床の開口部を撮像した撮像画像を示す説明図である。

実施例

0018

以下、本発明の実施の形態について説明する。図1は、本実施の形態にかかる注意喚起情報提供システム1の構成の概略を示す。なお、本明細書および図面において、実質的に同一の機能構成を有する要素においては、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

0019

注意喚起情報提供システム1は、図1に示すように、所定の情報を表示する表示部DPを備えたヘッドマウントディスプレイ装置10と、ヘッドマウントディスプレイ装置10との間で信号の送受信を行う複数の送受信装置11と、ヘッドマウントディスプレイ装置10に表示する所定の情報を生成する制御装置12を有している。各送受信装置11と制御装置12は、通信バスBを介して接続されている。通信バスBとしては、インターネット回線LAN回線などの、公知の通信手段が用いられる。なお送受信装置11は必ずしも複数設ける必要はなく、例えば1台の送受信装置11で作業員の移動範囲を全てカバーできれば、1台のみの設置であってもよい。

0020

ヘッドマウントディスプレイ装置10は、例えば図2に示すように、作業員OPが頭部に装着可能なようにゴーグル型を有している。ヘッドマウントディスプレイ装置10の表示部DPは、当該表示部DPに表示される情報と、作業員OPの視界領域の双方を認識できるように、例えば半透過型液晶ディスプレイなどが用いられる。また、ヘッドマウントディスプレイ装置10は、送受信装置11との間で信号を伝送する伝送部20と、GPS受信器21を有している。伝送部20と送受信装置11との間の通信には、例えば無線LANやBluetooth(登録商標)通信といった、公知の無線通信技術が用いられる。伝送部20から送受信装置11に送信される信号は、GPS受信器21で検出された位置情報である。送受信装置11から伝送部20に送信される信号については後述する。なお、表示部DPには、網膜直接映像投影する、網膜投影ディスプレイを採用してもよい。また、半透過型ではなく、撮像画像を投影するタイプであってもよく、ヘッドマウントディスプレイ装置10の表示部DPをどのような機器により構成するかは任意に選択できる。

0021

制御装置12は、例えばコンピュータであり、プログラム格納部30(図示せず)を有している。プログラム格納部30には、例えば位置検出プログラムPSTや、注意喚起情報生成プログラムALTといった、注意喚起情報提供システム1により作業員OPに対して注意喚起情報を提供するためのプログラムが格納されている。また、プログラム格納部30には、下記に示すクリーンルーム内の各種装置の動作を制御して、例えば半導体ウェハの処理を実行するためのプログラム(図示せず)が格納されている。なお、制御装置12は、半導体デバイス製造工場のクリーンルーム内に設置された種々の処理装置を制御するホストコンピュータであってもよいし、ホストコンピュータと通信バスBにより接続された、各種処理装置の制御部(図示せず)であってもよく、以下に説明する位置検出プログラムPSTや、注意喚起情報生成プログラムALTを動作させると共に、送受信装置11との間で所定の信号を入出力できるものであれば、その構成は任意に設定できる。

0022

位置検出プログラムPSTは、例えば図3に示すように、クリーンルームCL内に設置された塗布現像処理装置PRや露光装置EX、エッチング装置ET、半導体ウェハを収容するカセットCを、レールRAを介して各装置間で搬送する搬送装置Mといった各種装置の配置情報LOCを備えると共に、搬送装置MのようなクリーンルームCL内を移動する移動体の現在位置の情報、及びヘッドマウントディスプレイ装置10を備えた作業員OPの現在位置の情報を検出する。移動体の位置検出は、例えば移動体に設けられた発信器40や、あるいは移動体の移動を制御するプログラムからの移動指令信号に基づいて行われる。また、作業員OPの位置情報は、送受信装置11を介して制御装置12に入力されるGPS受信器21の信号に基づいて求められる。なお、本発明においてヘッドマウントディスプレイ装置10を装着した作業員OPの位置情報を検出する位置情報検出装置は、この位置検出プログラムPSTとGPS受信器21、送受信装置11といった、作業員OPの位置を特定するための機器により構成されている。また、各プログラムPST、ALTは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク(HD)、フレキシブルディスクFD)、コンパクトディスク(CD)、マグネットオプティカルデスク(MO)、メモリーカードなどのコンピュータに読み取り可能な記憶媒体Hに記録されていたものであって、その記憶媒体から制御装置12にインストールされたものであってもよい。

0023

注意喚起情報生成プログラムALTは、クリーンルーム内の危険個所についての情報を備えており、この危険個所の情報、上述の配置情報LOC、及び位置検出プログラムPSTで検出された作業員OPの位置情報等に基づいて、作業員OPに対して注意を喚起する注意喚起情報を生成する。危険個所の情報とは、作業員OPが受傷する可能性のある箇所についての情報であり、予め注意喚起情報生成プログラムALT内に登録されている。具体的な危険個所の情報としては、例えば火傷のおそれのある高温部であったり、クリーンルームCL内で一時的にグレーチング床が取り外され、落下・墜落等の可能性のある場所であったり、搬送装置Mのような移動体との干渉により受傷したりする可能性のある場所の情報であるが、危険個所の情報の内容については本実施の形態の内容に限定されるものではなく、一般的な安全管理のための必要な情報であれば任意に設定できる。

0024

注意喚起情報生成プログラムALTにおける注意喚起情報の生成にあたっては、先ず、配置情報LOCと危険個所の情報とに基づいてクリーンルーム中における危険個所の位置を特定する。そして、作業員OPの位置情報に基づいて、例えば危険個所と作業員OPとの間の距離が予め設定された所定の値より小さくなったときは、作業員OPが危険個所に近づいているものと判断して、例えば作業員OPからみた危険個所の方角、距離等の情報を生成する。そして、その情報を、送受信装置11から送信し、ヘッドマウントディスプレイ装置10の伝送部20がその情報を受信すると、注意喚起情報が表示部DPに表示される。

0025

本実施の形態にかかる注意喚起情報提供システム1は以上のように構成されている。次に、この注意喚起情報提供システム1の実際の動作について説明する。説明にあたっては、例えば図4に示すように、塗布現像処理装置PRの上部においてメンテナンス作業を行う場合や、図4の右側下方に示すように、グレーチング床FLの一部が取り外された開口部71が存在する場合を例にして説明する。

0026

制御装置12は、位置検出プログラムPSTにより、ヘッドマウントディスプレイ装置10を装着した作業員OPのクリーンルームCL内における位置情報を、連続的又は周期的に検出する。また、例えば搬送装置Mのような移動体についても、位置情報を連続的又は周期的に検出する。そして、例えば図4に示すように、塗布現像処理装置PRの上部でメンテナンス作業を行う作業員OPの後方から搬送装置Mのような移動体が接近し、作業員OPと搬送装置Mとの距離が所定の値を下回ると、制御装置12の注意喚起情報生成プログラムALTにより、搬送装置Mが接近している旨の注意喚起情報が生成される。

0027

生成された注意喚起情報は、制御装置12から送受信装置11を介して送信される。そして、ヘッドマウントディスプレイ装置10の伝送部20により当該注意喚起情報が受信されると、表示部DPに注意喚起情報が表示される。その結果、作業員OPは、この注意喚起情報により移動体の接近を認識することができ、必要な安全対策をとることができる。

0028

したがって本発明によれば、作業員OPの死角から搬送装置Mのような移動体が接近してきた場合であっても、作業員OPが当該移動体の接近を認識することができ、その結果、作業員OPの安全を確保することができる。

0029

また、例えばグレーチング床FLの一部が取り外された場合、通常は囲いロープ(図示せず)や転落防止注意喚起を行う看板(図示せず)等を設置する。しかしながら、例えば図4に示すように、塗布現像処理装置PRの上部で作業を終えた後、グレーチング床FLまで下りてくる場合のように、注意せねばならない事項が複数ある場合、作業員OPの注意力にも限界がある。

0030

そこで、例えばグレーチング床FLの一部が取り外されているような場合は、図4に示すように、発信器50を落下・墜落の可能性のある箇所の近傍に配置する。そして、位置検出プログラムPSTにより、当該発信器50の位置情報を把握すると共に、注意喚起情報生成プログラムALTにおいて危険個所であることを認識する。そして、作業員OPがこの発信器50に近づき、両者の距離が所定の値を下回ると、注意喚起情報生成プログラムALTにより注意喚起情報を生成して、ヘッドマウントディスプレイ装置10を装着する作業者に対して注意喚起を行う。したがって、かかる場合においても、作業員OPに対して注意喚起を行うことで、作業員OPの安全を確保することができる。なお、高温部のように、基本的には移動することのない危険個所についても、上述のように配置情報LOCと危険個所の情報に基づいて、クリーンルーム中における高温部の位置が特定され、グレーチング床FLの一部が取り外されているような場合と同様に、接近する作業員OPに対して注意喚起が行われる。

0031

なお、以上の実施の形態では、GPS受信器21により作業員OPの位置情報を検出したが、作業員OPの位置情報を検出する方法は本実施の形態の内容に限定されず、種々の公知の技術を用いることができる。例えば携帯電話のような移動体通信技術で用いられるように、伝送部20が複数設けられた送受信装置11のうちのどの送受信装置11と通信を行っているかに基づいて、現在の位置を算出するようにしてもよい。

0032

また、以上の実施の形態では、注意喚起情報が表示部DPに表示される場合を例に説明したが、注意喚起情報に基づく作業員OPへの注意喚起の方法は、本実施の形態の内容に限定されるものではなく、例えばヘッドマウントディスプレイ装置10にスピーカ振動子装備し、音や振動による注意喚起を併用してもよい。

0033

なお、例えば注意喚起情報を生成するきっかけとなる危険個所が搬送装置Mのような移動体である場合、作業員OPの装着しているヘッドマウントディスプレイ装置10に対して注意喚起情報を伝送するのみでなく、例えば注意喚起情報の生成をトリガーとするインターロックを制御装置12で設定するようにしてもよい。そして、搬送装置Mの移動経路上あるいは移動経路の近傍から作業員OPが退避しない場合は、インターロックにより搬送装置Mを停止するようにしてもよい。

0034

また、搬送装置Mのように、高所作業時のみ干渉の恐れがあるような箇所については、作業員OPが高所作業中であることを知らせる信号をON、OFFする切替スイッチ(図示せず)をヘッドマウントディスプレイ装置10に設け、高所作業時中であることを制御装置12に対して通知するようにしてもよい。一般にGPSによる高度の測定精度は数m程度の誤差を含むが、クリーンルーム内においける高所作業についても、概ね数m程度の高さで行われる。したがって、GPS受信器21による位置情報では、作業員OPが高所作業中であるか否かを識別できない。かかる場合、例えば位置検出プログラムPSTの配置情報LOCを三次元的に作成していたとしても、作業員OPと搬送装置Mとが同一高さにおいて接近しているのか否かを判定できず、単に地上(グレーチング床FL上)にいる作業員OPの頭上を搬送装置Mが通過するだけでもヘッドマウントディスプレイ装置10に注意喚起情報が出力されてしまったり、インターロックにより搬送装置Mが停止してしまったりすることが考えられる。この点、上述の切替スイッチを設け、例えば注意喚起情報生成プログラムALTにおいて搬送装置Mと作業員OPとの接近を判定するにあたり、切替スイッチのON、OFF状態を考慮することで、無用インターロック動作注意喚起信号の出力を防止できる。

0035

以上の実施の形態では、作業員OPが危険個所に接近した際に注意喚起情報を作業員OPに伝送したが、注意喚起情報を提供するタイミングは本実施の形態の内容に限定されない。例えば搬送装置Mのような移動体の経路上に作業員OPが位置している場合は、制御装置12からヘッドマウントディスプレイ装置10に対して搬送装置Mの経路上に位置していることを通知したり、あるいは、数十秒後に搬送装置Mが近くを通過する等、将来的に危険個所が作業員OPに接近することを通知したりしてもよい。

0036

以上の実施の形態では、例えば発信器40、50や、移動体の移動を制御するプログラムからの移動指令信号に基づいて、特に搬送装置Mのような移動体の位置やグレーチング床FLの一部が取り外されている箇所といった危険個所を把握したが、危険個所の位置を把握する方法については本実施の内容に限定されない。例えば図5に示すように、作業員OPの周囲を撮像できるように、例えば全方位を撮像可能な撮像装置60を備えたヘルメット61を、ヘッドマウントディスプレイ装置10と共に作業員OPが装着し、撮像装置60の撮像画像に基づいて危険個所の位置を把握するようにしてもよい。かかる場合、撮像装置60で取得された撮像画像の情報は、例えば伝送部20、送受信装置11を介して制御装置12に入力される。

0037

具体的には、撮像装置60で取得した撮像画像を画像解析して、移動している物体静止している物体を区別する。そして、移動している物体が作業員OPに対して近づいてくるようであれば、当該移動体をクリーンルーム内における危険箇所であると判断し、注意喚起情報生成プログラムALTにより注意喚起情報を生成して、ヘッドマウントディスプレイ装置10へ伝送する。これにより、予め注意喚起情報生成プログラムALTに危険個所の位置情報が登録されていなくても、例えば移動体の接近等に対して注意喚起情報を提供することができる。なお、撮像装置60としては、必ずしも全方位を撮像可能なものである必要はない。

0038

また、グレーチング床FLの一部が取り外されている箇所のように、危険個所が静止物である場合であっても、例えば撮像装置60を赤外線カメラにより構成することで、危険個所の判別を行うことができる。具体的には、例えば図6に示すように、グレーチング床FLの一部が取り外された箇所を撮像装置60により撮像すると、取得された撮像画像70においては、グレーチング床FLの存在しない開口部71は、赤外線反射がないため、黒で表示される(図6では、図示の都合上、白で表示している)。したがって、注意喚起情報生成プログラムALTでは、一定範囲の領域が黒表示になると、当該領域を危険個所である開口部71として認識し、注意喚起情報を生成する。そして、注意喚起情報がヘッドマウントディスプレイ装置10に伝送され、作業員OPに対して開口部71への注意喚起が行われる。なお、火傷の恐れのある高温部については、赤外線カメラにより明確に識別されるので、容易に特定可能である。

0039

なお、以上の実施の形態では、ヘッドマウントディスプレイ装置10で注意喚起情報を表示する場合を例に説明したが、ヘッドマウントディスプレイ装置10に表示する情報は、注意喚起情報に限定されるものではなく、例えば、作業員OPによるメンテナンス作業を支援するためのメンテナンスマニュアル情報であったり、例えば塗布現像処理装置PRに収容されている薬液容器(図示せず)を交換する際に、交換対象となる薬液容器を識別するための情報といった、各種の作業用の情報を表示するようにしてもよい。例えばメンテナンスマニュアル情報を表示することで、通常は片手で持っていた紙のマニュアルを持つ必要がなくなるため、両手での作業が可能となり、作業効率が向上する。また、クリーンルームCL内には上述のとおり同一型式の装置が複数設けられているので、例えば薬液容器の交換時に、誤って交換対象ではない装置の容器が交換されてしまうようなヒューマンエラーが起こりうるが、ヘッドマウントディスプレイ装置10に交換対象の容器情報を表示することで、そのようなエラーを防止できる。

0040

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。即ち、本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。

0041

本発明は、クリーンルーム内で作業員が作業を行う際に有用である。

0042

基板処理システム
30現像処理装置
31 下部反射防止膜形成装置
32レジスト塗布装置
33上部反射防止膜形成装置
40熱処理装置
41アドヒージョン装置
42周辺露光装置
151シンナー供給ノズル
170 シンナー供給装置
201フィルタ
500 制御部
P1、P2ポンプ
W ウェハ

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