図面 (/)

技術 タッチパネル装置

出願人 株式会社ディスコ
発明者 千葉慎弥鷹羽純
出願日 2015年6月16日 (5年5ヶ月経過) 出願番号 2015-120917
公開日 2017年1月5日 (3年10ヶ月経過) 公開番号 2017-004454
状態 特許登録済
技術分野 デジタル計算機のユーザインターフェイス
主要キーワード Y座標 昇降基台 X座標 下降距離 切削対象 加工条件データ 拡大領域 入力画
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2017年1月5日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (7)

課題

加工装置タッチパネル装置において、手間をかけずに、作業効率も低下させず、所望の入力欄にデータを入力する。

解決手段

複数の入力欄を表示する表示手段111と、複数の入力欄のうちオペレータがデータの入力を所望し触れた入力欄を拡大表示する拡大表示手段112と、拡大表示された入力欄から加工条件データを入力する入力手段113と、でタッチパネル装置100を構成する。

概要

背景

近年、データを入力するための入力装置として、タッチ操作パネルが主流になってきている。しかし、タッチ操作パネルは、データ入力画面上に、入力手段であるキーボードも表示するため、入力欄の表示が小さくなる。したがって、所望の入力欄とは異なる入力欄に入力してしまうなどの操作性の問題があり、また、入力欄が複数あると、入力中に入力欄を見失うという問題がある。このような問題を解決するために、例えば、選択された入力欄を拡大表示したり、所定の位置にポップアップとして表示したりする工夫がなされている(例えば、特許文献1参照)。

概要

加工装置タッチパネル装置において、手間をかけずに、作業効率も低下させず、所望の入力欄にデータを入力する。複数の入力欄を表示する表示手段111と、複数の入力欄のうちオペレータがデータの入力を所望し触れた入力欄を拡大表示する拡大表示手段112と、拡大表示された入力欄から加工条件データを入力する入力手段113と、でタッチパネル装置100を構成する。

目的

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、加工装置のタッチパネル装置において、手間をかけずに、作業効率も低下させず、所望の入力欄にデータを入力できるようにすることを目的とする

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
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請求項1

加工装置に備えるタッチパネル装置であって、複数の入力欄を表示する表示手段と、該複数の入力欄のうちオペレータがデータの入力を所望し触れた入力欄を拡大表示する拡大表示手段と、拡大表示された入力欄から加工条件データを入力する入力手段と、から構成されるタッチパネル装置。

技術分野

0001

本発明は、加工装置に搭載されるタッチパネル装置に関する。

背景技術

0002

近年、データを入力するための入力装置として、タッチ操作パネルが主流になってきている。しかし、タッチ操作パネルは、データ入力画面上に、入力手段であるキーボードも表示するため、入力欄の表示が小さくなる。したがって、所望の入力欄とは異なる入力欄に入力してしまうなどの操作性の問題があり、また、入力欄が複数あると、入力中に入力欄を見失うという問題がある。このような問題を解決するために、例えば、選択された入力欄を拡大表示したり、所定の位置にポップアップとして表示したりする工夫がなされている(例えば、特許文献1参照)。

先行技術

0003

特開2000−187544号公報

発明が解決しようとする課題

0004

しかし、ある入力欄を拡大表示すると、それに隣接する入力欄が隠れてしまい、隠れてしまったその入力欄にデータを入力したい場合は、拡大画面をいったん閉じてから、隠れていた入力欄を選択しなおす必要があり、手間がかかるという問題がある。

0005

また、オペレータは、入力欄の位置と入力項目とを結び付けて感覚的に記憶している場合が多い。そのため、ポップアップが一定の場所に表示されると、入力欄の位置から感覚的に入力項目を認識することができないため、オペレータが入力項目を確認する手間が生じ、作業効率が低下するという問題もある。

0006

さらに、入力中に入力欄を見失うことを防止するために、入力中の入力欄を色付けしたり色枠で囲んだりする工夫もなされているが、データの入力は、様々な環境の下で行われるものであり、ある電灯の下では色をはっきりと認識できない場合がある。

0007

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、加工装置のタッチパネル装置において、手間をかけずに、作業効率も低下させず、所望の入力欄にデータを入力できるようにすることを目的とする。

課題を解決するための手段

0008

本発明は、加工装置に備えるタッチパネル装置であって、複数の入力欄を表示する表示手段と、該複数の入力欄のうちオペレータがデータの入力を所望し触れた入力欄を拡大表示する拡大表示手段と、拡大表示された入力欄から加工条件データを入力する入力手段と、から構成される。

発明の効果

0009

本発明に係るタッチパネル装置では、データの入力を所望する入力欄をオペレータがタッチすると、拡大表示手段が、入力欄を含む所定の領域を拡大表示するため、誤った入力欄へのデータ入力を防止するとともに、入力中にデータ入力欄を見失うのを防止することができる。また、オペレータが入力欄の位置と入力項目とを結びつけて記憶していたとしても、拡大表示された入力欄自体の位置が動くわけではないため、元来の位置で入力することができ、感覚的に入力項目を認識することができ、作業効率が低下しない。さらに、入力欄を拡大して表示することにより、色つきの電灯等の下でも一目で入力欄を認識することができ、入力欄を見失うことがない。

図面の簡単な説明

0010

タッチパネル装置のハードウェア構成例を示すブロック図である。
タッチパネル装置が搭載される切削装置を示す斜視図である。
タッチパネル装置の機能ブロック図である。
タッチパネル装置に表示される表示画面の例を示す説明図である。
拡大鏡表示処理を示すフローチャートである。
(a)は拡大鏡が移動する前の表示画面を示す説明図である。(b)は拡大鏡が移動した後の表示画面を示す説明図である。

実施例

0011

図1は、タッチパネル装置100のハードウェア構成を示しており、CPU101と、ROM102と、RAM103と、タッチパネル104と、HDD105と、I/O106とがバス107よって接続されて構成されている。CPU101は、ROM102やRAM103に記憶されているプログラム読み出して実行し、必要に応じてRAM103に記憶されているデータを読み出したりRAM103にデータを記憶させたりする。HDD105は、ハードディスクドライブであり、HDD105には、タッチパネル104への表示処理を行うプログラム、タッチパネル104に表示させるデータ等が記録されている。I/O106は、入出力機器とのインターフェースとなるもので、種々の入出力機器との間でデータの入出力を行う。

0012

このタッチパネル装置100は、例えば図2に示す切削装置1に搭載される。この切削装置1は、チャックテーブル7に保持されたウェーハWを切削手段3a,3bによって切削加工する装置である。切削加工の条件は、タッチパネル装置100のタッチパネル104において入力することができる。

0013

この切削装置1において切削されるウェーハWは、ダイシングテープTを介してリング状のフレームFに支持される。チャックテーブル7は、ダイシングテープTを介してウェーハWを吸引保持する。また、チャックテーブル7の周囲にはフレームFを固定するクランプ部6が配設されており、フレームFは、クランプ部6によって固定される。

0014

チャックテーブル7及びクランプ部6は、切削送り手段2によってX軸方向に送られる。切削送り手段2は、X軸方向に延在するボールネジ20と、ボールネジ20と平行に配設された一対のガイドレール21と、ボールネジ20の一端に連結されたモータ22と、ボールネジ20に螺合するナットを内部に有するとともに底部がガイドレール21に摺接する移動基台24とから構成され、モータ22がボールネジ20を回動させることにより、移動基台24がガイドレール21にガイドされてX軸方向に移動する。移動基台24の上方にはチャックテーブル7及びクランプ部6を回転させる回転手段23を備え、移動基台24のX軸方向の移動にともないチャックテーブル7及び移動基台24もX軸方向に移動する。

0015

切削手段3a,3bは、回転可能な切削ブレード30と、被加工物撮像して切削すべき位置を検出する撮像手段31と、切削ブレード30に切削水を供給する切削水ノズル32とを備えている。切削手段3aを構成する切削ブレード30と切削手段3bを構成する切削ブレード(不図示)とはY軸方向に対面している。

0016

切削手段3a,3bは、それぞれが切込み送り手段5によって駆動されてZ軸方向に移動可能となっている。切込み送り手段5は、Z軸方向に延在するボールネジ50と、ボールネジ50と平行に配設された一対のガイドレール51と、ボールネジ50の一端に連結されたモータ52と、ボールネジ50に螺合するナットを内部に有するとともに側部がガイドレール51に摺接する昇降基台53とから構成され、モータ52がボールネジ50を回動させることにより、昇降基台53がガイドレール51にガイドされてZ軸方向に移動する。昇降基台53の下部には切削手段3a,3bが固定され、昇降基台53のZ軸方向の移動にともない切削手段3a,3bもZ軸方向に移動する。

0017

切削手段3a及び切削手段3aをZ軸方向に移動させる切込み送り手段5と、切削手段3b及び切削手段3bをZ軸方向に移動させる切込み送り手段5とは、それぞれがインデックス送り手段4によって駆動されてY軸方向に移動する。インデックス送り手段4は、Y軸方向に延在するボールネジ40と、ボールネジ40と平行に配設された一対のガイドレール41と、ボールネジ40の一端に連結されたモータ42と、ボールネジ40に螺合するナットを内部に有するとともに側部がガイドレール41に摺接する移動基台43とから構成され、モータ42がボールネジ40を回動させることにより、移動基台43がガイドレール41にガイドされてY軸方向に移動する。移動基台43の側部には切込み送り手段5を備え、移動基台43のY軸方向の移動にともない切込み送り手段5及び切削手段3a,3bもY軸方向に移動する。

0018

チャックテーブル7に保持されたウェーハWの切削時は、まず、撮像手段31によってその表面が撮像されて切削すべき位置が検出される。そして、検出された切削すべきストリートと切削ブレード30とのY軸方向の位置合わせが割り出し送り手段4によってなされた後、チャックテーブル7がX軸方向に移動するとともに、切込み送り手段5が切削手段3a,3bを降下させ、回転する切削ブレード30を検出されたストリートに切込ませる。1本のストリートを切削した後は、インデックス送り手段4が切削手段3a、3bをそれぞれストリート間隔ずつY軸方向にインデックス送りし、同様の切削を行う。また、一方向のストリートがすべて切削された後、チャックテーブル7を90度回転させ、同様の切削を行うと、ストリートが縦横に切削されて個々のチップに分割される。

0019

図3は、図1に示したタッチパネル装置100の機能を示したもので、タッチパネル104に複数の入力欄を表示する表示手段111と、オペレータがデータの入力を所望し触れた入力欄を拡大表示する拡大表示手段112と、拡大表示された入力欄からの入力に使用するソフトウェアキーボードを表示するとともに拡大表示された入力欄から入力された加工条件データを取り込む入力手段113とを少なくとも備えている。これらの各手段は、図1に示したHDD105に記録されたプログラムをCPU101が実行することによって実現される。

0020

切削装置1を起動すると、表示手段111が、タッチパネル104に、加工条件の入力を促す画像、例えば図4に示す入力画面120を表示する。この入力画面120は、「Device」エリア121と、「Cut setting」エリア122と、「Auto Setup」エリア123と、「Auto down」エリア124と、ソフトウェアキーボードエリア125とで構成されている。表示画面120においては、左側の列に項目名126が表示され、項目名126の右側には、各項目名に対応する数値を入力するための入力欄127が表示されている。図4の例における各入力欄127は、矩形状に表示されているが、各入力欄127の形状は、この例には限られない。なお、入力欄がタッチされていない状態では、ソフトウェアキーボードエリア125は表示されない。

0021

「Device」エリア121は、図2に示した切削装置1における切削対象の被加工物の仕様を入力するためのエリアである。例えば、項目名「No.」に対応する入力欄には、切削するデバイスの番号が入力される。また、項目名「Work size(Round)」に対応する入力欄には、図1に示したウェーハWの外周の長さが入力され、項目名「Work size(Ch1)」に対応する入力欄には、図1に示したウェーハWのCh1方向のサイズが入力され、項目名「Work size(Ch2)」に対応する入力欄には、図1に示したウェーハWのCh2方向のサイズが入力され、項目名「Work thickness」に対応する入力欄には、ウェーハWの厚さの値が入力される。

0022

「Cut setting」エリア122は、切削加工時の切削装置1の動作条件を入力するためのエリアであり、例えば、項目名「Z1 Blade height」に対応する入力欄には、図2に示した第一の切削手段3aを構成する切削ブレード30のZ軸上の高さ位置の値が入力され、項目名「Z2 Blade height」に対応する入力欄には、図2に示した第一の切削手段3bを構成する切削ブレード30のZ軸上の高さ位置の値が入力され、項目名「Feed Speed」に対応する入力欄には、図2に示した切削送り手段2によるチャックテーブル7のX軸方向の送り速度の値が入力される。

0023

「Auto Setup」エリア123は、各切削手段3a,3bのZ軸方向の基準位置自動設定(以下、「セットアップ」と称する。)の条件を入力するためのエリアであり、例えば、項目名「Interval(dis)Z1」に対応する入力欄には、切削手段3aのセットアップを行うインターバルとして切削した距離の値が入力され、項目名「Interval(line)Z1」に対応する入力欄には、切削手段3aのセットアップを行うインターバルとして切削したストリート数の値が入力される。

0024

「Auto down」エリア124は、切削加工時の各切削手段3a,3bの下降距離を入力するためのエリアであり、例えば項目名「Z1 Down length」に対応する入力欄には、切削手段3aの下降時の下降距離が入力され、項目名「Z2 Down length」に対応する入力欄には、切削手段3bの下降時の下降距離が入力される。

0025

オペレータが特定の入力欄を触れると、ソフトウェアキーボードエリア125には、各入力欄にデータを入力するためのソフトウェアキーボードが入力手段113によって表示される。例えば、数値の入力を要求する入力欄がオペレータによって選択された場合は、テンキーが表示され、アルファベットの入力を要求する入力欄がオペレータによって選択された場合は、図4に示したアルファベットキーが表示される。テンキーとアルファベットキーの双方を表示させてもよい。なお、入力手段113は、オペレータによって入力欄が選択されていないときはソフトウェアキーボードを表示させず、入力欄が選択された場合にのみソフトウェアキーボードを表示させる。

0026

オペレータが、ある入力欄127をタッチすると、図3に示した拡大表示手段112が、図4に示すように、タッチされた入力欄127を拡大表示する処理を実行する。この拡大表示の処理は、図4に示した表示画面120における拡大鏡129を表示するための処理であり、図5に示す拡大鏡表示ルーチンのフローチャートに沿って行われる。以下では、図5のフローチャートに沿って拡大表示処理を説明する。

0027

図3に示した拡大表示手段112は、いずれかの入力欄がタッチされたかどうかを常に監視している(ステップS1)。そして、オペレータによっていずれかの入力欄がタッチされると、拡大表示手段112は、まず、タッチされた入力欄の座標情報サイズ情報とを取得する(ステップS2)。この座標情報及びサイズ情報は、図1に示したRAM103にあらかじめ記憶されており、拡大表示手段112は、RAM103からその情報を読み出して認識する。座標情報は、例えば、図4の入力画面120上の横方向をX軸、縦方向をY軸とするX−Y座標系のX座標及びY座標の数値として記憶されている。また、サイズ情報は、入力欄が矩形である場合は、横方向及び縦方向の長さとして記憶されている。

0028

次に、拡大表示手段112は、タッチされた入力欄を拡大表示した場合にその拡大表示された入力欄が拡大鏡129からはみ出るか否かを判断する(ステップS3)。この判断においては、例えば、拡大鏡129の直径と、拡大表示後の入力欄のサイズとを比較する。拡大鏡129の直径は、RAM103にあらかじめ記憶されている。一方、入力欄が拡大表示された場合のサイズは、拡大表示手段112が、拡大前の入力欄の長辺の長さ(図4の例では横方向の長さ)に所定の倍率(例えば1.8倍)を乗じることによって求められる。なお、拡大鏡129の直径及び入力欄の倍率の値は、オペレータがタッチパネル104から入力して設定することもできる。また、図4の例では、拡大鏡129を円形としているが、拡大鏡129の形状は、ソフトウェアキーボード125を表示するためのスペースさえ確保されていれば、四角形などの他の形状であってもよく、また、大きさも限定されない。したがって、例えば拡大鏡が矩形である場合は、入力欄が拡大表示された後の長辺の長さと、その長辺と同一方向の拡大鏡の辺の長さとを比較し、入力欄が矩形の拡大鏡からはみ出るか否かを判断する。

0029

拡大された入力欄の長辺よりも拡大鏡129の直径の方が大きく、入力欄が拡大鏡129からはみ出るおそれがないと拡大表示手段112が判断した場合は、入力欄の中心を拡大鏡表示の中心とする(ステップS4)。なお、入力欄の中心の座標は、例えばRAM103にあらかじめ記憶された入力欄の四隅の各点の座標に基づいて求められる。

0030

一方、拡大された入力欄の長辺よりも拡大鏡129の直径の方が小さく、入力欄が拡大鏡129からはみ出るおそれがあると拡大表示手段112が判断した場合は、入力欄のカーソル位置を拡大鏡129の中心に設定する(ステップS5)。なお、入力欄のカーソル位置は、入力手段113によって認識されている。

0031

ステップS4又はステップS5の後、拡大表示手段112は、ステップS4又はステップS5において設定された位置を中心とし、その周辺の画像も含めた拡大鏡の画像を取得する。この画像には、カーソルが表示される(ステップS6)。

0032

そして、拡大表示手段112は、ステップS6で取得した画像を所定の倍率で拡大処理した拡大画像を形成し、その画像情報を、図4に示した拡大鏡129としてタッチパネル104に表示する(ステップS7)。このとき、拡大表示手段112は、タッチされた入力欄にカーソル128を表示する。なお、ステップS6において画像を取得する際には、拡大鏡の大きさや形状に応じて、入力欄のみの画像、入力欄及びそれに対応する入力項目の画像、複数の入力欄を含む画像、複数の入力欄と複数の入力項目とを含む画像など、様々な画像を適宜選択可能である。かかるバリエーションの中からどの画像を選択するかについての情報は、あらかじめRAM103等に記憶させておいてもよいし、オペレータがタッチパネル104から入力して設定できるようにしてもよい。ステップS7では、ステップS6で取得した画像、すなわち、入力欄のみを拡大した画像、入力欄及びそれに対応する入力項目を拡大した画像、複数の入力欄を拡大した画像、複数の入力欄と複数の入力項目とを拡大した画像の中から選択された画像が、拡大されて表示される。

0033

拡大表示手段112は、図4の拡大鏡129のように、拡大鏡129の中に複数の入力欄が表示されるように拡大領域を設定する。このように設定することにより、拡大表示によって隣接する入力欄が隠れてしまうのを防止することができる。

0034

なお、すでに拡大鏡129が表示されている状態で入力欄127以外がタッチされた場合は、拡大鏡129を画面上から消す処理を行う。(ステップS2)。一方、入力欄127以外がタッチされるまでは、拡大鏡129が表示された状態が維持される。

0035

拡大鏡129を動かす必要が生じた場合は、拡大表示手段112は、オペレータの操作に応じ、拡大鏡を、いったん消すことなく、所望の方向に動かすことができる。

0036

例えば、図6(a)に示す表示画面130では、「Work size(ch1)」に対応する入力欄131へのデータの入力は終了しており、「Work size(ch2)」に対応する入力欄132に対するデータの入力も終了しカーソル136が入力欄132の最後に表示されている。この状態から、次に「Work thickness」に対応する入力欄133に値を入力する際には、拡大鏡135を下方にずらしてから、データを入力する。

0037

また、「Work thickness」の下方の「Tape thickness」に対応する入力欄にデータを入力しようとする場合も、その入力欄が表示されておらず、図6(a)の拡大鏡135ではデータを入力することができないため、拡大鏡を下方に移動させる。入力欄の番号及び位置は、RAM103等にあらかじめ記憶されており、拡大鏡129の下部がタッチされると、拡大表示手段112は、次の番号の入力欄を中心とする拡大鏡を表示させることができる。かかる表示処理は、図5のフローチャートのステップS3〜S7と同様に行われる。具体的には、オペレータが拡大鏡129の下部、例えば図6(a)の拡大鏡135における入力欄132の下方の任意の位置をタッチすると、拡大鏡の中心が入力欄1つ分だけ移動し、図6(b)の表示画面140に示すように、「Work thickness」に対応する入力欄133を中心として拡大鏡145が表示される。カーソル144も、入力欄133に移動する。また、拡大鏡が移動すると、入力欄134も拡大鏡145に表示され、入力欄134も見ることができる状態となる。

0038

一方、図示していないが、オペレータが拡大鏡129の上部をタッチすると、拡大表示手段112は、拡大鏡129を上方に移動させる。この場合、拡大表示手段112は、1つ上の位置の入力欄を中心とする拡大鏡を表示させる。

0039

このように、拡大表示手段112は、拡大鏡を画面から消すことなく移動させることができるため、操作性が高く、入力すべき欄を見失うこともない。

0040

なお、上記実施形態ではタッチパネル装置を切削装置に搭載した場合を説明したが、他の加工装置に搭載することもできる。その場合は、画面表示の入力項目が変更される。

0041

100:タッチパネル装置
101:CPU 102:ROM 103:RAM 104:タッチパネル
105:HDD106:I/O 107:バス
111:表示手段 112:拡大表示手段 113:入力手段
1:切削装置
2:切削送り手段
20:ボールネジ21:ガイドレール22:モータ23:回転手段
24:移動基台
3a,3b:切削手段
30:切削ブレード31:撮像手段 32:切削水ノズル
4:インデックス送り手段
40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:モータ 43:移動基台
5:切込み送り手段
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ 53:昇降基台
6:クランプ部
7:チャックテーブル
W:ウェーハT:ダイシングテープF:フレーム
120:入力画面
121:「Device」エリア122:「Cut setting」 123:「Auto Setup」エリア
124:「Auto down」エリア 125:ソフトウェアキーボードエリア
126:項目名 127:入力欄128:カーソル129:拡大鏡
130:表示画面 131〜134:入力欄 135:拡大鏡 136:カーソル
140:表示画面 144:カーソル

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