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技術 樹脂封止システム及び樹脂封止方法

出願人 エムテックスマツムラ株式会社
発明者 高橋洋一
出願日 2015年4月24日 (5年11ヶ月経過) 出願番号 2015-089760
公開日 2016年12月8日 (4年3ヶ月経過) 公開番号 2016-207899
状態 特許登録済
技術分野 半導体または固体装置の封緘、被覆の形成 プラスチック等の成形用の型 プラスチック等の射出成形
主要キーワード ワーク供給機構 上下移動体 昇降型 上下ガイドレール 予熱ユニット 前後移動体 移動プラテン 封止対象
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (13)

課題

インデックスの短縮を図ることが可能な樹脂封止ステム及び樹脂封止方法を提供する。

解決手段

樹脂封止システム1は、上型13、下型15及び中型16a,16bを用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置10と、樹脂封止装置10に中型16a,16bを搬入可能で、かつ、樹脂封止装置10から中型16a,16bを搬出可能な中型搬送機構60とを備えている。中型搬送機構60は、中型16a,16bを保持可能な中型保持部66,68を複数有し、複数の中型保持部66,68によって複数の中型16a,16bを同時に搬送可能に構成されている。樹脂封止システム1は、中型搬送機構60により、樹脂封止装置10外に配置された装置30,40と、樹脂封止装置10との間において複数の中型16a,16bを同時に循環させるよう構成されている。

概要

背景

従来、半導体樹脂封止成形に用いられる樹脂封止ステムとして、上型下型及び中型を用いて樹脂封止成形を行う成形プレスユニットと、中型を成形プレスユニットの外に出し入れする複数の中型搬送機構と、成形プレスユニットに搬入される前の中型を予熱する中型予熱ユニットと、封止成形された被封止物及びランナーゲートを中型から分離するエジェクトプレスユニットと、中型を清掃する中型クリーニングユニットとを備えるものが知られている(特許文献1)。

特許文献1の樹脂封止システムは、複数の中型搬送機構によって、複数の中型を中型予熱ユニット、成形プレスユニット、エジェクトプレスユニット及び中型クリーニングユニットの順で互いにタイミングをずらして搬送し、この一連の動作を繰り返し行うことで、樹脂封止システム内において複数の中型を同時に循環させるよう構成されている。

概要

インデックスの短縮をることが可能な樹脂封止システム及び樹脂封止方法を提供する。樹脂封止システム1は、上型13、下型15及び中型16a,16bを用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置10と、樹脂封止装置10に中型16a,16bを搬入可能で、かつ、樹脂封止装置10から中型16a,16bを搬出可能な中型搬送機構60とを備えている。中型搬送機構60は、中型16a,16bを保持可能な中型保持部66,68を複数有し、複数の中型保持部66,68によって複数の中型16a,16bを同時に搬送可能に構成されている。樹脂封止システム1は、中型搬送機構60により、樹脂封止装置10外に配置された装置30,40と、樹脂封止装置10との間において複数の中型16a,16bを同時に循環させるよう構成されている。

目的

本発明は、インデックスの短縮を図ることが可能な樹脂封止システム及び樹脂封止方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
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牽制数
0件

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請求項1

上型下型及び中型を用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置と、前記樹脂封止装置に前記中型を搬入可能で、かつ、前記樹脂封止装置から前記中型を搬出可能な中型搬送機構とを備え、前記中型搬送機構は、前記中型を保持可能な中型保持部を複数有し、複数の前記中型保持部によって複数の前記中型を同時に搬送可能に構成されており、前記中型搬送機構により、前記樹脂封止装置外に配置された装置と、前記樹脂封止装置との間において複数の前記中型を同時に循環させるよう構成されていることを特徴とする樹脂封止ステム

請求項2

複数の前記中型保持部の少なくとも1つには、樹脂封止成形後の前記中型から分離された不要樹脂を保持する不要樹脂保持部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載の樹脂封止システム。

請求項3

前記樹脂封止装置の一方の側面側に、前記樹脂封止装置にワーク及び樹脂タブレットを供給するためのワーク・タブレット供給機構が配置されたワーク・タブレット供給領域が設けられ、前記樹脂封止装置の他方の側面側に、前記中型搬送機構により搬送される前記中型に対して予熱処理及びクリーニング処理の少なくとも一方を行うための装置が配置された中型処理領域が設けられ、前記中型搬送機構は、前記中型処理領域と前記樹脂封止装置との間を往復移動可能に構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の樹脂封止システム。

請求項4

前記中型搬送機構は、前記中型処理領域及び前記樹脂封止装置を横断して架け渡されたレール部と、前記レール部に沿って移動可能に構成され、複数の前記中型保持部を有する中型搬送本体とを備えることを特徴とする請求項3に記載の樹脂封止システム。

請求項5

前記ワーク・タブレット供給機構は、前記ワーク・タブレット供給領域及び前記樹脂封止装置を横断して架け渡されたレール部と、前記レール部に沿って移動可能に構成されたワーク・タブレット搬送本体とを備え、前記ワーク・タブレット供給機構の前記レール部は、前記中型搬送機構の前記中型搬送本体と、前記ワーク・タブレット供給機構の前記ワーク・タブレット搬送本体とが同時に前記樹脂封止装置内に進入できるよう、前記中型搬送機構の前記レール部と異なる位置に設けられていることを特徴とする請求項4に記載の樹脂封止システム。

請求項6

請求項1〜5のいずれか1項に記載の樹脂封止システムを用いて行う樹脂封止方法であって、複数の前記中型保持部のうちの一部の中型保持部によって、樹脂封止成形前の前記中型を前記樹脂封止装置に搬入させると共に、複数の前記中型保持部のうちの他の中型保持部によって、樹脂封止成形後の前記中型を前記樹脂封止装置から搬出させ、前記他の中型保持部によって搬出された前記中型に対してクリーニング処理を行った後、クリーニング後の該中型を前記一部の中型保持部に保持させることで、複数の前記中型を前記中型搬送機構により同時に循環させることを特徴とする樹脂封止方法。

技術分野

0001

本発明は、半導体樹脂封止成形に用いられる樹脂封止ステム及び樹脂封止方法に関するものである。

背景技術

0002

従来、半導体の樹脂封止成形に用いられる樹脂封止システムとして、上型下型及び中型を用いて樹脂封止成形を行う成形プレスユニットと、中型を成形プレスユニットの外に出し入れする複数の中型搬送機構と、成形プレスユニットに搬入される前の中型を予熱する中型予熱ユニットと、封止成形された被封止物及びランナーゲートを中型から分離するエジェクトプレスユニットと、中型を清掃する中型クリーニングユニットとを備えるものが知られている(特許文献1)。

0003

特許文献1の樹脂封止システムは、複数の中型搬送機構によって、複数の中型を中型予熱ユニット、成形プレスユニット、エジェクトプレスユニット及び中型クリーニングユニットの順で互いにタイミングをずらして搬送し、この一連の動作を繰り返し行うことで、樹脂封止システム内において複数の中型を同時に循環させるよう構成されている。

先行技術

0004

特許第4574059号公報

発明が解決しようとする課題

0005

しかしながら、特許文献1の樹脂封止システムは、複数の中型搬送機構によって複数の中型を搬送するものであるため、樹脂封止成形後の中型を樹脂封止成形前の中型と交換する際に、樹脂封止成形後の中型を成形プレスユニットから搬出してエジェクトプレスユニットまで搬送した後でなければ、樹脂封止成形前の中型を成形プレスユニットに搬入することができないという問題がある。このため、特許文献1の樹脂封止システムでは、インデックスの短縮を図ることが困難であるという問題がある。

0006

本発明は、インデックスの短縮を図ることが可能な樹脂封止システム及び樹脂封止方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0007

上記の目的を達成するため、本発明に係る樹脂封止システムは、上型、下型及び中型を用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置と、前記樹脂封止装置に前記中型を搬入可能で、かつ、前記樹脂封止装置から前記中型を搬出可能な中型搬送機構とを備え、前記中型搬送機構は、前記中型を保持可能な中型保持部を複数有し、複数の前記中型保持部によって複数の前記中型を同時に搬送可能に構成されており、前記中型搬送機構により、前記樹脂封止装置外に配置された装置と、前記樹脂封止装置との間において複数の前記中型を同時に循環させるよう構成されていることを特徴とする。

0008

本発明に係る樹脂封止システムにおいて、複数の前記中型保持部の少なくとも1つには、樹脂封止成形後の前記中型から分離された不要樹脂を保持する不要樹脂保持部が設けられることが好ましい。

0009

また、本発明に係る樹脂封止方法は、前記樹脂封止装置の一方の側面側に、前記樹脂封止装置にワーク及び樹脂タブレットを供給するためのワーク・タブレット供給機構が配置されたワーク・タブレット供給領域が設けられ、前記樹脂封止装置の他方の側面側に、前記中型搬送機構により搬送される前記中型に対して予熱処理及びクリーニング処理の少なくとも一方を行うための装置が配置された中型処理領域が設けられ、前記中型搬送機構は、前記中型処理領域と前記樹脂封止装置との間を往復移動可能に構成されるとしても良い。

0010

この場合において、前記中型搬送機構は、前記中型処理領域及び前記樹脂封止装置を横断して架け渡されたレール部と、前記レール部に沿って移動可能に構成され、複数の前記中型保持部を有する中型搬送本体とを備えることが好ましい。

0011

また、前記ワーク・タブレット供給機構は、前記ワーク・タブレット供給領域及び前記樹脂封止装置を横断して架け渡されたレール部と、前記レール部に沿って移動可能に構成されたワーク・タブレット搬送本体とを備え、前記ワーク・タブレット供給機構の前記レール部は、前記中型搬送機構の前記中型搬送本体と、前記ワーク・タブレット供給機構の前記ワーク・タブレット搬送本体とが同時に前記樹脂封止装置内に進入できるよう、前記中型搬送機構の前記レール部と異なる位置に設けられることが好ましい。

0012

本発明に係る樹脂封止方法は、上述した樹脂封止システムを用いて行う樹脂封止方法であって、複数の前記中型保持部のうちの一部の中型保持部によって、樹脂封止成形前の前記中型を前記樹脂封止装置に搬入させると共に、複数の前記中型保持部のうちの他の中型保持部によって、樹脂封止成形後の前記中型を前記樹脂封止装置から搬出させ、前記他の中型保持部によって搬出された前記中型に対してクリーニング処理を行った後、クリーニング後の該中型を前記一部の中型保持部に保持させることで、複数の前記中型を前記中型搬送機構により同時に循環させることを特徴とする。

発明の効果

0013

本発明によれば、インデックスの短縮を図ることが可能な樹脂封止システム及び樹脂封止方法を提供することができる。

図面の簡単な説明

0014

本発明の一実施形態に係る樹脂封止システムの概略構成を示す正面斜視図である。
本実施形態に係る樹脂封止装置の概略構成を一部省略して示す正面図である。
本実施形態に係る中型搬送機構の概略構成を一部省略して示す斜視図である。
本実施形態に係るワーク供給機構の概略構成を一部省略して示す背面斜視図である。
本実施形態に係るクリーニング装置の概略構成を示す側面図である。
本実施形態に係る樹脂封止方法の成形サイクルの開始時を示す図である。
本実施形態に係る樹脂封止方法の型開き工程及び成形済中型回収工程を示す図である。
本実施形態に係る樹脂封止方法のワーク・タブレット供給工程及び中型設置工程を示す図である。
本実施形態に係る樹脂封止方法のクリーニング工程を示す図である。
本実施形態に係る樹脂封止方法のカル廃棄工程を示す図である。
本実施形態に係る樹脂封止方法のクリーニング後中型回収工程を示す図である。
本実施形態に係る樹脂封止方法の予熱工程を示す図である。

実施例

0015

以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。

0016

本実施形態に係る樹脂封止システム1は、図1に示すように、上型13、下型15及び中型16a,16bを用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置10と、樹脂封止装置10に被封止物(ワーク)及び樹脂タブレットを供給するワーク・タブレット供給機構20と、中型16a,16bを予熱する予熱装置30と、中型16a,16bを清掃するクリーニング装置40と、ランナー及びゲート等で成形された不要樹脂(カル)等の廃棄物が廃棄される廃棄物収集部50と、樹脂封止システム1内において中型16a,16bを搬送する中型搬送機構60とを備えている。また、樹脂封止システム1は、中型搬送機構60から樹脂成形品Pを回収する成形品回収機構(図示せず)を備えている。この成形品回収機構は、種々の公知の構成を採用可能であるため、その説明を省略する。

0017

本実施形態に係る樹脂封止システム1では、樹脂封止装置10を中心として、樹脂封止装置10の一方の側面側(図1の左側)にワーク・タブレット供給機構20が配置され、樹脂封止装置10の他方の側面側(図1の右側)側に予熱装置30、クリーニング装置40、廃棄物収集部50及び成形品回収機構が配置されている。すなわち、本実施形態に係る樹脂封止システム1は、樹脂封止装置10の一方の側面側の領域が、ワーク及び樹脂タブレットの格納及び搬送を行うためのワーク・タブレット供給領域となっており、樹脂封止装置10の他方の側面側の領域が、樹脂封止装置10に搬入される前又は樹脂封止装置10から搬出された後の中型16a,16bに対して各種処理を実行するための中型処理領域となっている。そして、中型搬送機構60は、中型処理領域から樹脂封止装置10を通過してワーク・タブレット供給領域に至る範囲に亘って移動可能となるよう配置されている。

0018

これらワーク・タブレット供給機構20、予熱装置30、クリーニング装置40、廃棄物収集部50及び中型搬送機構60は、樹脂封止装置10の両側面方向に延びる長尺ベース2上に設けられており、樹脂封止装置10は、ベース2の略中央部分に形成された収容スペースに収容されている。すなわち、これらワーク・タブレット供給機構20、樹脂封止装置10、予熱装置30、クリーニング装置40及び廃棄物収集部50は、ベース2の一方の端部(図1の左端部)から他方の端部(図1の右端部)に向かって、ワーク・タブレット供給機構20→樹脂封止装置10→予熱装置30→クリーニング装置40→廃棄物収集部50の順でベース2の長手方向に沿って配置されており、中型搬送機構60は、この列と平行となるようベース2の長手方向に沿って配置されている。なお、成形品回収機構は、中型処理領域の適宜の位置に配置されている。

0019

樹脂封止装置10は、図1及び図2に示すように、床面上に載置された矩形板状の下プラテン11と、下プラテン11の四隅から上方に向けて延びる4本のタイバー10aと、4本のタイバー10aの上端部に四隅が連結された矩形板状の上プラテン12と、4本のタイバー10aが四隅を貫通し、下プラテン11及び上プラテン12の間においてタイバー10aに沿って昇降可能に設けられた矩形板状の移動プラテン14と、下プラテン11と移動プラテン14との間に設けられ、移動プラテン14を昇降させる昇降型機構18とを備えている。昇降型締機構18は、油圧式又は電動式型締シリンダや、油圧式又は電動式トグルリンク型締機構等の種々の型締機構を採用することが可能である。なお、本実施形態に係る樹脂封止装置10において、これら下プラテン11、タイバー10a、上プラテン12、移動プラテン14及び昇降型締機構18は、種々の公知の構成を採用することが可能であるため、その詳細な説明を省略する。

0020

また、樹脂封止装置10は、上プラテン12の下面に取り付けられた上型13と、移動プラテン14の上面(上型12と対向する面)に取り付けられた下型15と、上型13及び下型15と共に金型キャビティを形成可能な中型16a,16bとを更に備えている。下型15には、樹脂タブレットを収容可能な複数(本実施形態では5つ)の収容ポット(図示せず)が形成されており、この収容ポットには、それぞれ、収容ポット内に収容された樹脂タブレットを金型キャビティに向けて押し出すプランジャ(図示せず)が配置されている。また、下型15には、樹脂封止成形後に中型16a,16bを下型15から離型させるためのエジェクト機構(図示せず)が配置されている。なお、本実施形態に係る樹脂封止装置10において、これら上型13、下型15、収容ポット、プランジャ及びエジェクト機構は、公知の種々の構成を採用することが可能であるため、その詳細な説明を省略する。

0021

中型16a,16bは、複数(本実施形態では2つ)設けられ、これら複数の中型16a,16bが順番に(本実施形態では交互に)上型13と下型15との間に配置されることで、上型13、下型15及び1つの中型16a(又は16b)によって金型キャビティが形成されるよう構成されている。これら複数の中型16a,16bは、いずれも同一の構造を有している。中型16a,16bは、それぞれ、所定の厚みを有する矩形板状に形成されており、下面から上面に亘って貫通し、下型15上に載置された際に下型15の収容ポットと連通する連通孔と、上面に形成され、連通孔を介して流入した樹脂が流動するランナーと、下面に形成され、被封止物となる半導体が配置されるキャビティ部と、ランナーを流動する樹脂をキャビティ部内に流入させるゲートとが、それぞれ複数(本実施形態では5つ)ずつ形成されている。また、中型16a,16bの正面部には、クリーニング装置40の後述する一対の棒状支持部49が挿入される一対の挿入孔が形成されている。また、上型13、下型15及び中型16a,16bには、樹脂封止成形後に、ランナー及びゲート等で成形された不要樹脂(カル)と、樹脂成形品Pと、中型16a,16bとをそれぞれ分離させるためのエジェクト機構(図示せず)が適宜配置されている。なお、このエジェクト機構は、公知の種々の構成を採用することが可能であるため、その詳細な説明を省略する。

0022

以上の構成を備える中型16a,16bは、樹脂封止装置10の機体に固定されておらず、中型搬送機構60によって、樹脂封止装置10、予熱装置30及びクリーニング装置40のいずれかに予め定められた処理フローに基づいて搬送される。

0023

中型搬送機構60は、図1図3に示すように、ベース2の長手方向と平行に延び、中型処理領域及び樹脂封止装置10を横断して架け渡されたレール部62と、一対のスライダ部63,63を介してレール部62に摺動移動可能に取り付けられた中型搬送本体64と、レール部62に沿って中型搬送本体64を往復移動させる駆動部(図示せず)と、駆動部を制御する制御部(図示せず)とを備えている。駆動部は、例えばサーボモータ等の種々の公知の駆動手段を採用することができ、制御部から出力される制御信号に基づいて中型搬送本体64を駆動するよう構成されている。

0024

レール部62は、図1に示すように、ベース2の中型処理領域側の端部(図1の右端部)から樹脂封止装置10を通過してワーク・タブレット供給領域にやや進入する長さを有する長尺な板部材であり、図1及び図2に示すように、ワーク・タブレット供給機構20の後述するレール部23と前後方向にずれた位置(本実施形態では後方側の位置)かつこのレール部23よりも高い位置において、ベース2に立設された複数の支持板により支持されている。

0025

中型搬送本体64は、図3に示すように、上面部64a及び背面部64bからなる断面倒L字状に形成されており、2つの中型16a,16bを直列的に並べて保持可能な長さを長手方向に有している。中型搬送本体64は、背面部64bに、一対のスライダ部63,63が長手方向に沿って離間して取り付けられており、これら一対のスライダ部63,63がレール部62に取り付けられることにより、中型搬送本体64の長手方向がレール部62の延在方向と平行となるよう構成されている。中型搬送本体64の上面部64aの下面には、それぞれ1つの中型16a,16bを保持可能に構成された第1中型保持部66及び第2中型保持部68が、中型搬送本体64の長手方向に沿って並べて設けられている。

0026

第1中型保持部66は、図2及び図3に示すように、中型搬送本体64の長手方向の一方側に設けられており、左右一対の中型支持片67a,67bを備えている。一対の中型支持片67a,67bは、中型16a(16b)の長手方向の長さよりもやや大きい幅をおいて離間して設けられており、その下端部が互いに接近する方向に屈曲して延出することにより、これら左右一対の中型支持片67a,67b間において1つの中型16a(16b)を保持可能に構成されている。また、中型支持片67a,67bは、種々の駆動手段により、上端部を中心に回動可能、又は、互いに離間する方向に移動可能に構成されており、一対の中型支持片67a,67bの間において中型16a(16b)を保持する状態(保持状態)と、保持した中型16a(16b)を解放する状態(解放状態)との間において、変位可能に構成されている。

0027

第2中型保持部68は、中型搬送本体64の長手方向の他方側に設けられており、1つの中型16b(16a)を保持する左右一対の中型支持片69a,69bと、中型16b(16a)から分離された樹脂成形品Pを受け止める左右一対の成形品支持片70a,70bと、中型16b(16a)から分離されたカル(図示せず)を吸着させるカル吸着部(不要樹脂保持部)72とを備えている。中型支持片69a,69bは、第1中型保持部66の中型支持片67a,67bと同様の構成を有している。成形品支持片70a,70bは、それぞれL字状に形成されており、その上端が中型搬送本体64の上面部64aに連結されている。また、一対の成形品支持片70a,70bは、樹脂成形品Pの長手方向の長さよりもやや小さい幅をおいて離間して設けられており、これら一対の成形品支持片70a,70bによって中型16b(16a)から分離された樹脂成形品Pの下面を支持するよう構成されている。カル吸着部72は、フレキシブルチューブ(図示せず)を介して真空ポンプ(図示せず)と接続されており、真空ポンプの駆動によって、中型16b(16a)から分離されたカル(図示せず)を吸着させるよう構成されている。

0028

中型搬送機構60の制御部は、第1中型保持部66が予熱装置30に中型16a(16b)を設置し、予熱された中型16a(16b)を回収する位置(予熱中型設置・回収位置)と、第2中型保持部68が樹脂封止装置10内に進入し、樹脂封止成形後の中型16b(16a)を回収する位置(成形済中型回収位置)と、第1中型保持部66が樹脂封止装置10内に中型16a(16b)を設置する位置(中型設置位置)と、第2中型保持部68により保持された樹脂封止成形後の中型16b(16a)をクリーニング装置40に受け渡す位置(クリーニング位置)と、第2中型保持部68のカル吸着部72により保持されたカルを廃棄物収集部50に廃棄する位置(カル廃棄位置)と、第1中型保持部66がクリーニング後の中型16b(16a)を受け取る(クリーニング後中型回収位置)とに、予熱中型設置・回収位置→成形済中型回収位置→中型設置位置→クリーニング位置→カル廃棄位置→クリーニング後中型回収位置の順番で、適宜のタイミングで中型搬送本体64が搬送され、かつ、この動作を繰り返し実行するよう、予め定められたプログラムに基づいて駆動部を制御するよう構成されている。なお、第1中型保持部66と第2中型保持部68との間隔が、クリーニング装置40と廃棄物収集部50との間隔と概ね同じである場合には、カル廃棄位置とクリーニング後中型回収位置との間において、中型搬送本体64は移動されなくても良い(図10及び図11参照)。

0029

また、中型搬送機構60の制御部は、予熱中型設置・回収位置及び中型設置位置において、第1中型保持部66の中型支持片67a,67bにより中型16a(16b)の保持又は解放動作が行われ、成形済中型回収位置において、第2中型保持部68の中型支持片69a,69bにより中型16b(16a)の保持動作が行われると共に、カル吸着部72により中型16b(16a)から分離されたカルを保持する動作が行われ、カル廃棄位置において、カル吸着部72による吸着が解除されるよう、予め定められたプログラムに基づいて駆動部を制御するよう構成されている。

0030

ワーク・タブレット供給機構20は、図1及び図4に示すように、樹脂封止装置10内にワーク及び樹脂タブレットを搬送するワーク・タブレット搬送装置22と、ワーク・タブレット搬送装置22にワークを供給するワーク供給装置26と、ワーク・タブレット搬送装置22に樹脂タブレットを供給するタブレット供給装置28とを備えている。また、ワーク・タブレット供給機構20は、ワーク・タブレット搬送装置22、ワーク供給装置26及びタブレット供給装置28にそれぞれ設けられた駆動部(図示せず)と、各駆動部を同期して又は非同期状態で制御する制御部(図示せず)とを更に備えている。各駆動部は、例えばサーボモータ等の種々の公知の駆動手段を採用することができ、制御部から出力される制御信号に基づいて動作するよう構成されている。

0031

ワーク・タブレット搬送装置22は、図1図2及び図4に示すように、ベース2の長手方向と平行に延び、ワーク・タブレット供給領域及び樹脂封止装置10を横断して架け渡されたレール部23と、レール部23に摺動移動可能に取り付けられた一対のスライダ部24,24と、一対のスライダ部24,24に取り付けられたワーク・タブレット搬送本体25とを備えている。

0032

レール部23は、図1に示すように、ワーク・タブレット搬送本体25がワーク・タブレット供給領域内と樹脂封止装置10内との間を往復移動可能な長さを有する長尺な板部材である。このレール部23は、ワーク・タブレット搬送本体25と中型搬送機構60の中型搬送本体64とが同時に樹脂封止装置10内に進入できるよう、中型搬送機構60のレール部62と異なる位置に設けられている。具体的には、レール部23は、図1及び図2に示すように、中型搬送機構60のレール部62と前後方向にずれた位置(本実施形態では前方側の位置)かつこのレール部62よりも低い位置において、ベース2に立設された複数の支持板により支持されている。

0033

ワーク・タブレット搬送本体25は、図4に示すように、樹脂タブレットを一時的に収容可能な複数のサブポット25aと、ワークを一時的に収容可能なワーク収容部25bとを有するブロック状の部材からなり、一対のスライダ部24,24を介してレール部23に摺動移動可能に取り付けられている。サブポット25aは、樹脂封止装置10の下型15に形成された収容ポットと同数(本実施形態では5つ)形成されている。

0034

ワーク供給装置26は、ICチップ等の半導体が実装された基板リードフレーム)からなるワークを複数収容するラックと、ラックに収容されたワークを1枚ずつワーク・タブレット搬送本体25に搭載させる搭載手段とを備えており、ワーク・タブレット供給領域内に設置されている。このワーク供給装置26は、制御部によって適宜のタイミングで搭載手段を動作させることにより、ワーク・タブレット搬送本体25にワークを1枚ずつ搭載するよう構成されている。

0035

タブレット供給装置28は、基板をモールド加工(樹脂封止成形)するための樹脂タブレットを多数収容するタブレット収容器(図示せず)と、タブレット収容器内の樹脂タブレットを摘み出してワーク・タブレット搬送本体25まで搬送し、樹脂タブレットをワーク・タブレット搬送本体25に搭載させる搭載手段28aとを備えており、ワーク・タブレット供給領域内に設置されている。タブレット収容器は、ベース2よりも下方に配置された容器であり、複数の樹脂タブレットを整列して収容可能に構成されている。搭載手段28aは、上下方向に沿って延びる一対のレール28b,28cに沿って昇降可能に構成されており、降下位置において、タブレット収容器から複数(本実施形態では5つ)の樹脂タブレットを摘み出し可能で、かつ、上昇位置において、摘み出した樹脂タブレットをワーク・タブレット搬送本体25のサブポット25aにそれぞれ搭載させることが可能に構成されている。

0036

以上の構成を備えるワーク・タブレット供給機構20は、ワーク・タブレット供給領域内と樹脂封止装置10内との間においてワーク・タブレット搬送本体25を往復移動させることが可能で、かつ、ワーク・タブレット供給領域内においてワーク及び樹脂タブレットが搭載されたワーク・タブレット搬送本体25を樹脂封止装置10内に移動させ、ワーク・タブレット搬送本体25により搬送された樹脂タブレットを下型15に形成された収容ポットにそれぞれ投下させると共に、下型15の所定の位置にワークを載置させることが可能に構成されている。

0037

予熱装置30は、図1に示すように、中型搬送機構60の中型搬送本体64の第1中型保持部66に保持された中型16a(16b)を載置可能な載置面を有し、この載置面に載置された中型16a(16b)を加熱する加熱体32と、加熱体32を昇降可能に支持する昇降移動部34とを備えている。この予熱装置30は、昇降移動部34によって加熱体32が上昇された位置において中型16a(16b)を加熱し、中型16a(16b)の加熱が完了した後に、昇降移動部34によって加熱体32が退避位置まで下降するよう構成されている。

0038

クリーニング装置40は、図1及び図5に示すように、1つの中型16b(16a)を清掃するクリーニング装置本体42と、中型搬送機構60の中型搬送本体64の第2中型保持部68とクリーニング装置本体42との間において中型16b(16a)を搬送する搬送部44とを備えている。なお、クリーニング装置本体42は、例えばブラッシングにより中型16b(16a)をクリーニングする構成や、吸引手段によって中型16b(16a)をクリーニングする構成等の種々の公知のクリーニング手段を採用することができるため、その説明を省略する。

0039

搬送部44は、図1及び図5に示すように、中型16b(16a)に対して接近又は離間する方向に移動可能な前後移動体46と、中型16b(16a)を上下方向に沿って搬送することが可能な上下移動体48とを備えている。具体的には、搬送部44は、ベース2の長手方向と直交する方向に延びるようベース2上に設置された一対の前後ガイドレール45と、前後ガイドレール45に沿って移動可能に構成された前後移動体46と、上下方向に沿って延びるよう前後移動体46に設けられた一対の上下ガイドレール47と、上下ガイドレール47に沿って移動可能に構成された上下移動体48とを備えている。上下移動体48は、中型16b(16a)の正面に形成された一対の挿入孔に係合可能な一対の棒状支持部49を有している。

0040

この搬送部44は、上下移動体48が上昇した状態において、前後移動体46を中型搬送機構60の中型搬送本体64の第2中型保持部68に保持された中型16b(16a)に接近させることで、上下移動体48の棒状支持部49を中型16b(16a)の挿入孔に挿入して係合させることが可能に構成されている。また、搬送部44は、上下移動体48の棒状支持部49が中型16b(16a)の挿入孔と係合した状態において、上下移動体48を僅かに上昇させて第2中型保持部68から中型16b(16a)を離間させ、その後、前後移動体46を後退移動(第2中型保持部68から離間する方向に移動)させることにより、第2中型保持部68から中型16b(16a)を取り出すことが可能に構成されている。さらに、搬送部44は、中型16b(16a)を取り出した状態において、上下移動体48を下降させ、その後、前後移動体46を前進移動(クリーニング装置本体42に接近する方向に移動)させることにより、中型16b(16a)をクリーニング装置本体42内に挿入することが可能に構成されている。また、搬送部44は、以上の動作と逆の動作を行うことにより、クリーニング後の中型16b(16a)を第1中型保持部66に受け渡すことが可能に構成されている。

0041

廃棄物収集部50は、図1に示すように、カルを収集する収集容器52と、収集容器52の上部に設けられ、第2中型保持部68のカル吸着部72から投下されたカルを収集容器52に向けて導くガイド部材54とを備えている。

0042

次に、本実施形態に係る樹脂封止システム1の動作、すなわち、本実施形態に係る樹脂封止システム1を用いて行う樹脂封止方法について、図6図12を用いて説明する。なお、以下の樹脂封止システム1の動作は、予め記憶部に記憶されたプログラムに基づいて、各構成要素が駆動制御されることにより実行される。

0043

図6には、一方の中型(以下、「第2中型16b」と称呼する)を用いて樹脂封止装置10内において樹脂封止成形が実行され、かつ、他方の中型(以下、「第1中型16a」と称呼する)が予熱装置30において予熱されている状態が図示されている。この状態において、中型搬送機構60の中型搬送本体64は、予熱された第1中型16aを第1中型保持部66によって回収可能な位置(予熱中型設置・回収位置)に位置している。また、ワーク・タブレット供給機構20のワーク・タブレット搬送本体25には、ワーク供給装置26及びタブレット供給装置28からワーク及び樹脂タブレットが供給されている。以下、この図6の状態を成形サイクルの開始時として、その後の動作について説明する。

0044

所定のキュア時間が経過した後、樹脂封止装置10が型開きされ、第2中型16bのエジェクト機構によって、カル、樹脂成形品P及び第2中型16bがそれぞれ分離されると共に、下型15のエジェクト機構によって、第2中型16bが下型15から離型される(型開き工程)。また、予熱装置30の加熱体32が退避位置まで下降する。この状態において、中型搬送機構60の中型搬送本体64は、予熱された第1中型16aを第1中型保持部66によって保持したまま、第2中型保持部68が樹脂封止装置10内に位置するまで、レール部62に沿って移動する。この際、第1中型16aを保持する第1中型保持部66は、樹脂封止装置10を通過してワーク・タブレット供給領域内に進入する。そして、中型搬送本体64がこの成形済中型回収位置に位置している状態において、図7に示すように、第2中型保持部68の中型支持片69a,69bによって第2中型16bを把持し、回収する。また、第2中型保持部68の成形品支持片70a,70bによって樹脂成形品Pを保持すると共に、カル吸着部72によってカルを保持する(成形済中型回収工程)。

0045

第2中型保持部68によって第2中型16b、樹脂成形品P及びカルが回収された後、種々の公知の構成により、上型13及び下型15がクリーニングされる。その後、図8に示すように、樹脂封止装置10に対するワーク及び樹脂タブレットの供給と、第1中型16aを樹脂封止装置10内に設置する動作が並行して実行される。具体的には、型開き状態の樹脂封止装置10内にワーク・タブレット供給機構20のワーク・タブレット搬送本体25が進入し、下型15に形成された収容ポットに樹脂タブレットを供給すると共に、下型15の所定の位置にワークを載置させる(ワーク・タブレット供給工程)。また、これと並行して、ワーク・タブレット供給領域内に進入していた第1中型保持部66が樹脂封止装置10内に再度進入するよう、中型搬送機構60の中型搬送本体64がレール部62に沿って移動する。そして、ワーク及び樹脂タブレットの供給が完了し、ワーク・タブレット搬送本体25がワーク・タブレット供給領域内に退避した後に、第1中型保持部66による第1中型16aの把持を解除し、下型15上に第1中型16aを設置する(中型設置工程)。

0046

樹脂封止装置10内に第1中型16aが設置された後、図9に示すように、第2中型保持部68がクリーニング装置40に対応する位置(クリーニング位置)に至るまで、中型搬送機構60の中型搬送本体64がレール部62に沿って移動する。そして、クリーニング位置において、第2中型16bがクリーニング装置40に受け渡され、クリーニング装置40によってクリーニングされる(クリーニング工程)。また、図示しない成形品回収機構によって、樹脂成形品Pが回収される。さらに、中型搬送本体64が樹脂封止装置10内から退避した後、樹脂封止装置10が型締され、上型13、下型15及び第1中型16aを用いて樹脂封止成形が実行される。

0047

第2中型16b及び樹脂成形品Pがクリーニング装置40及び成形品回収機構にそれぞれ受け渡された後、図10に示すように、第2中型保持部68が廃棄物収集部50に対応する位置(カル廃棄位置)に至るまで、中型搬送機構60の中型搬送本体64がレール部62に沿って移動する。そして、この状態において第2中型保持部68のカル吸着部72による吸引を停止し、カル吸着部72により保持されたカルを廃棄物収集部50のガイド部材54を介して収集容器52内に落下させる(カル廃棄工程)。これにより、第2中型16bから除去されたカルが廃棄物収集部50に廃棄される。

0048

カルが廃棄物収集部50に廃棄された後、図11に示すように、クリーニング装置40によってクリーニングされた第2中型16bが第1中型保持部66に受け渡される(クリーニング後中型回収工程)。なお、本実施形態に係る樹脂封止システム1では、第1中型保持部66と第2中型保持部68との間隔が、クリーニング装置40と廃棄物収集部50との間隔と概ね同じであるため、カル廃棄位置とクリーニング後中型回収位置において、中型搬送本体64の位置は同じとなる。このため、カル廃棄工程からクリーニング後中型回収工程への移行時に中型搬送本体64は移動しない。一方、カル廃棄位置とクリーニング後中型回収位置において中型搬送本体64の位置が異なる場合には、カル廃棄工程後、クリーニング後中型回収工程前に、第1中型保持部66がクリーニング装置40に対応する位置(クリーニング位置)に至るまで、中型搬送機構60の中型搬送本体64がレール部62に沿って移動する動作が行われる。

0049

第2中型16bが第1中型保持部66に受け渡された後、図12に示すように、第1中型保持部66が予熱装置30に対応する位置(予熱中型設置・回収位置)に至るまで、中型搬送機構60の中型搬送本体64がレール部62に沿って移動する。この移動の際、図示しない公知の検査手段によってクリーニング後の第2中型16bが検査され、クリーニングが不十分である場合には、中型搬送本体64の移動が停止されると共に、エラー音報知されるとしても良い。そして、第1中型保持部66が予熱中型設置・回収位置に至った状態において、予熱装置30の加熱体32が上昇し、第2中型16bを予熱する(予熱工程)。また、ワーク・タブレット供給機構20のワーク・タブレット搬送本体25には、ワーク供給装置26及びタブレット供給装置28からワーク及び樹脂タブレットが供給される。

0050

以上の工程により、図6に示す成形サイクルの開始時の状態に対して、第1中型16aと第2中型16bとが置き換わった状態となる。したがって、以降、第1中型16aと第2中型16bとを適宜読み替えて、上述した工程を繰り返し実施することにより、樹脂封止システム1内において第1中型16a及び第2中型16bを同時に循環させ、樹脂成形品Pを連続して成形することができる。

0051

以上説明したとおり、本実施形態に係る樹脂封止システム1は、上型13、下型15及び中型16a,16bを用いて樹脂封止成形を行う樹脂封止装置10と、樹脂封止装置10に中型16a,16bを搬入可能で、かつ、樹脂封止装置10から中型16a,16bを搬出可能な中型搬送機構60とを備え、中型搬送機構60が、中型16a,16bを保持可能な中型保持部66,68を複数有し、複数の中型保持部66,68によって複数の中型16a,16bを同時に搬送可能に構成されており、中型搬送機構60により、樹脂封止装置10外に配置された装置30,40と、樹脂封止装置10との間において複数の中型16a,16bを同時に循環させるよう構成されている。

0052

そして、本実施形態に係る樹脂封止システム1は、このように、単一の中型搬送機構60に設けられた複数の中型保持部66,68によって複数の中型16a,16bを同時に搬送するものであるため、中型搬送機構60が樹脂封止装置10内に進入する一度の動作において、一方の中型保持部68(66)によって樹脂封止成形後の中型16b(16a)を樹脂封止装置10から取り出す処理と、他方の中型保持部66(68)によって樹脂封止成形前の中型16a(16b)を樹脂封止装置10に配置する処理とを連続して行うことが可能となる。また、樹脂封止装置10において中型16a(16b)を用いて樹脂封止成形が実行されている間に、樹脂封止装置10から取り出した中型16b(16a)を樹脂封止装置10外に配置された装置30,40によってクリーニングや予熱等の各種処理を実行し、樹脂封止成形後に、再度中型搬送機構60を樹脂封止装置10内に進入させて、中型16a,16bを交換することが可能となる。このような本実施形態に係る樹脂封止システム1によれば、樹脂封止装置10に導入する中型16a,16bの交換作業を効率的かつ短時間で実行することができると共に、樹脂封止装置10において樹脂封止成形が実行されている間に、樹脂成形品Pの取り出しや中型16a,16bのクリーニングや予熱等の各種処理を並行して実行することができるため、インデックスの短縮を図ることが可能である。

0053

また、本実施形態に係る樹脂封止システム1は、ワーク・タブレット供給機構20のレール部23が、ワーク・タブレット搬送本体25と中型搬送機構60の中型搬送本体64とが同時に樹脂封止装置10内に進入できるよう、中型搬送機構60のレール部62と異なる位置に設けられている。このような本実施形態に係る樹脂封止システム1によれば、中型搬送機構60の中型搬送本体64による中型16a,16bの交換作業と、ワーク・タブレット供給機構20のワーク・タブレット搬送本体25によるワーク及び樹脂タブレットの供給作業とを同時に並行して実行することが可能となるため、より一層インデックスの短縮を図ることが可能である。

0054

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は、上述した実施形態に記載の範囲には限定されない。上記各実施形態には、多様な変更又は改良を加えることが可能である。

0055

例えば、上述した実施形態では、樹脂封止システム1が予熱装置30、クリーニング装置40、廃棄物収集部50及び成形品回収機構を備えるものとして説明したが、これに限定されるものではない。樹脂封止システムは、樹脂封止装置及び中型搬送機構を備え、中型搬送機構によって樹脂封止装置と樹脂封止装置外に配置された装置との間において複数の中型を同時に循環させるよう構成されたものであれば、種々の構成を採用することができる。

0056

また、上述した実施形態では、樹脂封止装置10を中心として、樹脂封止装置10の一方の側面側の領域がワーク・タブレット供給領域であり、他方の側面側の領域が中型処理領域であるものとして説明したが、これに限定されず、ワーク・タブレット供給領域と中型処理領域との配置関係は、適宜変更することが可能である。また、上述した実施形態では、ワーク・タブレット供給機構20、樹脂封止装置10、予熱装置30、クリーニング装置40及び廃棄物収集部50がベース2の長手方向に沿って並べて配置されるものとして説明したが、これに限定されず、これらの構成の配置箇所は、適宜変更することが可能である。

0057

さらに、上述した実施形態では、5つの半導体が並列して実装された基板(リードフレーム)をワーク(封止対象)としていることから、下型15の収容ポットと、中型16a,16bの連通孔、ランナー、キャビティ部及びゲートと、ワーク・タブレット搬送本体25のサブポット25aとがそれぞれ5つ形成されるとしたが、これに限定されず、これらの数は、封止対象とする基板(リードフレーム)に付設される半導体の数に対応して適宜変更される。

0058

またさらに、上述した実施形態では、中型搬送機構60に2つの中型保持部(第1中型保持部66及び第2中型保持部68)が設けられ、2つの中型を樹脂封止システム内において同時に循環させるものとして説明したが、これに限定されず、中型保持部が3つ以上設けられ、3つ以上の中型を樹脂封止システム内において同時に循環させる構成としても良い。

0059

また、上述した実施形態では、第1中型保持部66及び第2中型保持部68が、それぞれ左右一対の中型支持片67a,67b,69a,69bによって中型16a,16bを挟み込んで保持するものとして説明したが、これに限定されず、例えば真空吸着により保持する構成等、種々の保持手段を採用することができる。

0060

1樹脂封止システム、10樹脂封止装置、13上型、15下型、16a 第1中型(中型)、16b 第2中型(中型)、20 ワーク・タブレット供給機構、23レール部、25 ワーク・タブレット搬送本体、30予熱装置、40クリーニング装置、60 中型搬送機構、62 レール部、64 中型搬送本体、66 第1中型保持部(中型保持部)、68 第2中型保持部(中型保持部)、72カル吸着部(不要樹脂保持部)

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