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技術 光干渉断層計測装置

出願人 株式会社ティーワイテクノ山形県
発明者 工藤美紀子高橋義行橋本智明今野俊介阿部泰
出願日 2015年3月3日 (5年0ヶ月経過) 出願番号 2015-041200
公開日 2016年9月5日 (3年6ヶ月経過) 公開番号 2016-161437
状態 特許登録済
技術分野 光学的手段による材料の調査、分析 光学的手段による測長計器
主要キーワード 光ファイバーカプラ 空間伝播光 フラット研磨 干渉効率 特定位 単一波長光源 先端側端面 光干渉断層装置
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (4)

課題

光ファイバーの長さを変えても非測定光と測定光の光路長を同一に調整可能な光干渉断層計測装置を提供する。

解決手段

光干渉断層計測装置は、少なくとも低コヒーレント光を含む光源と、前記光源から発する低コヒーレンス光を導く測定光路及び非測定光路の2本の光路を備える干渉計と、を備え、前記非測定光路は、光ファイバーのみからなって空間伝播光路を含まない光路であるとともに、該光路の先端側端面反射鏡が形成されてなる光干渉断層計測装置であって、前記測定光路は、前記光源が発する前記低コヒーレンス光を被測定物投射するために前記光ファイバーの端面に接続されるコリメートレンズと、前記光ファイバーの端面から前記被測定物までの所定長の空間伝播光路上に置いた投射光学手段と前記コリメートレンズとの間の空間伝播光路の長さを変更可能な光路長変更手段とを有するように構成される。

概要

背景

被測定物光断層画像を取得するOCT(Optical Coherence Tomography)技術は、被測定物象の奥行き方向の構造を非侵襲かつ高分解能で検出することができることから、様々な分野で実用化されている。

OCT装置で光断層画像報を収集するためには、SLD(Super Luminescent Diode)と呼ばれる光源から出力される光ビームを被測定物に照射し、その反射光受光可能な光干渉断層計測装置が必要である。

例えば、特許文献1に記載された光干渉断層計測装置では、光源を出て光ファイバーを通ってハーフミラー入射する入射光は、ハーフミラーで非測定光参照光)と測定光に分離される。分離された非測定光は、光ファイバーを通って光ファイバーの端面で反射して光ファイバーを通ってハーフミラーに再入射する。

一方、ハーフミラーで分離された測定光は、光ファイバーを通って被測定物の表面で反射され、再びハーフミラーに入射する。ハーフミラーに再入射したそれぞれの反射光はハーフミラー上で干渉して、2本の干渉光を生ずる。一つの干渉光は光検出器に向かい、他方の干渉光は光源に向かう。

ハーフミラーで干渉光が発生するためには、非測定光が光ファイバーの端面で反射して光ファイバーを通ってハーフミラーに再入射するまでの復路の光路長と、反射光が被測定物の表面で反射して光ファイバーを通ってハーフミラーに再入射するまでの復路の光路長とを同一にする必要がある。また、干渉光の発生には、非測定光と測定光の復路の光路長の同一性の他に、非測定光と測定光の往路の光路長の同一性が必要である。なお、非測定光と測定光の往路と復路が異なる経路を有した干渉計の場合も、往路と復路の夫々の光路長の同一性が必要となる。このため、特許文献1に記載された光干渉断層計測装置には、それぞれの光路の光路長を可変可能な圧電ファイバー可変装置が設けられている。

この圧電ファイバー長可変装置は、長尺(例えば、数十メートル)の光ファイバーを円筒形圧電素子に多数回巻き付け、圧電素子に設けられた電極電圧印加して、円筒形の圧電素子の直径を変化させて、光ファイバーに張力を与えて光ファイバーの長さを変化させる。

概要

光ファイバーの長さを変えても非測定光と測定光の光路長を同一に調整可能な光干渉断層計測装置を提供する。光干渉断層計測装置は、少なくとも低コヒーレント光を含む光源と、前記光源から発する低コヒーレンス光を導く測定光路及び非測定光路の2本の光路を備える干渉計と、を備え、前記非測定光路は、光ファイバーのみからなって空間伝播光路を含まない光路であるとともに、該光路の先端側端面反射鏡が形成されてなる光干渉断層計測装置であって、前記測定光路は、前記光源が発する前記低コヒーレンス光を被測定物に投射するために前記光ファイバーの端面に接続されるコリメートレンズと、前記光ファイバーの端面から前記被測定物までの所定長の空間伝播光路上に置いた投射光学手段と前記コリメートレンズとの間の空間伝播光路の長さを変更可能な光路長変更手段とを有するように構成される。

目的

本発明の少なくとも幾つかの実施形態は、光ファイバーの長さを変えても非測定光と測定光の光路長を同一に調整可能な光干渉断層計測装置を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

少なくとも低コヒーレント光を含む光源と、前記光源から発する低コヒーレンス光を導く測定光路及び非測定光路の2本の光路を備える干渉計と、を備え、前記非測定光路は、光ファイバーのみからなって空間伝播光路を含まない光路であるとともに、該光路の先端側端面反射鏡が形成されてなる光干渉断層計測装置であって、前記測定光路は、前記光源が発する前記低コヒーレンス光を被測定物投射するために前記光ファイバーの端面に接続されるコリメートレンズと、前記光ファイバーの端面から前記被測定物までの所定長の空間伝播光路上に置いた投射光学手段と前記コリメートレンズとの間の空間伝播光路の長さを変更可能な光路長変更手段とを有することを特徴とする光干渉断層計測装置。

請求項2

前記光路長変更手段は、前記光ファイバーの端面から前記被測定物までの所定長の空間伝播光路に沿って前記コリメートレンズを移動させるレンズ移動手段を有することを特徴とする請求項1に記載の光干渉断層計測装置。

請求項3

前記光路長変更手段は、前記光ファイバーの端面から前記被測定物までの所定長の空間伝播光路が通る空間と異なる屈折率を有した材料で形成されて、前記投射光学手段と前記コリメートレンズとの間の空間伝播光路上に配置されたプリズムと、前記プリズムを前記空間伝播光路に対して接近及び離反可能に移動させるプリズム移動手段と、を有することを特徴とする請求項1に記載の光干渉断層計測装置。

請求項4

前記コリメートレンズと前記投射光学手段との間の空間伝播光路上に、前記低コヒーレンス光が前記光ファイバーを通る際の光ファイバーの屈折率と、前記低コヒーレンス光が前記空間伝播光路を通る際の該空間伝播光路の屈折率との相違に起因して生じる低コヒーレンス光の分散を補償するための光分散補償部材が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の光干渉断層計測装置。

請求項5

前記プリズムは、前記低コヒーレンス光が前記光ファイバーを通る際の該光ファイバーの屈折率と、前記低コヒーレンス光が前記空間伝播光路を通る際の該空間伝播光路の屈折率との相違に起因して生じる低コヒーレンス光の分散を補償可能な部材で形成されていることを特徴とする請求項3に記載の光干渉断層計測装置。

技術分野

0001

本開示は、被測定物低コヒーレント光照射して得られる反射光を用いて被測定物の光断層画像を生成する際に用いられる光干渉断層計測装置に関する。

背景技術

0002

被測定物の光断層画像を取得するOCT(Optical Coherence Tomography)技術は、被測定物象の奥行き方向の構造を非侵襲かつ高分解能で検出することができることから、様々な分野で実用化されている。

0003

OCT装置で光断層画像報を収集するためには、SLD(Super Luminescent Diode)と呼ばれる光源から出力される光ビームを被測定物に照射し、その反射光を受光可能な光干渉断層計測装置が必要である。

0004

例えば、特許文献1に記載された光干渉断層計測装置では、光源を出て光ファイバーを通ってハーフミラー入射する入射光は、ハーフミラーで非測定光参照光)と測定光に分離される。分離された非測定光は、光ファイバーを通って光ファイバーの端面で反射して光ファイバーを通ってハーフミラーに再入射する。

0005

一方、ハーフミラーで分離された測定光は、光ファイバーを通って被測定物の表面で反射され、再びハーフミラーに入射する。ハーフミラーに再入射したそれぞれの反射光はハーフミラー上で干渉して、2本の干渉光を生ずる。一つの干渉光は光検出器に向かい、他方の干渉光は光源に向かう。

0006

ハーフミラーで干渉光が発生するためには、非測定光が光ファイバーの端面で反射して光ファイバーを通ってハーフミラーに再入射するまでの復路の光路長と、反射光が被測定物の表面で反射して光ファイバーを通ってハーフミラーに再入射するまでの復路の光路長とを同一にする必要がある。また、干渉光の発生には、非測定光と測定光の復路の光路長の同一性の他に、非測定光と測定光の往路の光路長の同一性が必要である。なお、非測定光と測定光の往路と復路が異なる経路を有した干渉計の場合も、往路と復路の夫々の光路長の同一性が必要となる。このため、特許文献1に記載された光干渉断層計測装置には、それぞれの光路の光路長を可変可能な圧電ファイバー可変装置が設けられている。

0007

この圧電ファイバー長可変装置は、長尺(例えば、数十メートル)の光ファイバーを円筒形圧電素子に多数回巻き付け、圧電素子に設けられた電極電圧印加して、円筒形の圧電素子の直径を変化させて、光ファイバーに張力を与えて光ファイバーの長さを変化させる。

先行技術

0008

特開2003−185416

発明が解決しようとする課題

0009

圧電ファイバー長可変装置の円筒形の圧電素子に巻回された光ファイバーは数十メートルあるが、光ファイバーの伸びは、10mあたり1mm程度である。このため、光ファイバーが数十メートルである場合には、2〜3mm程度しか伸びない。また、光ファイバーは、長尺になると、温度や湿度振動の影響を受け易くなるので、光ファイバーの長さを必要最小限にする必要性がある。干渉計と被測定物との間の距離を保つ必要があることから、干渉計の非測定光と測定光の光路長さはいずれも10cm以上が望ましい。そこで、干渉計の非測定光と測定光の光路長さを最大10mとすると、特許文献1に記載の圧電ファイバー長可変装置を備える光干渉断層装置では、非測定光と測定光の光路長を同一にすることができなくなる。

0010

上述の事情に鑑みて、本発明の少なくとも幾つかの実施形態は、光ファイバーの長さを変えても非測定光と測定光の光路長を同一に調整可能な光干渉断層計測装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0011

本発明の幾つかの実施形態に係わる光干渉断層計測装置は、
少なくとも低コヒーレント光を含む光源と、前記光源から発する低コヒーレンス光を導く測定光路及び非測定光路の2本の光路を備える干渉計と、を備え、前記非測定光路は、光ファイバーのみからなって空間伝播光路を含まない光路であるとともに、該光路の先端側端面反射鏡が形成されてなる光干渉断層計測装置であって、
前記測定光路は、前記光源が発する前記低コヒーレンス光を被測定物に投射するために前記光ファイバーの端面に接続されるコリメートレンズと、前記光ファイバーの端面から前記被測定物までの所定長の空間伝播光路上に置いた投射光学手段と前記コリメートレンズとの間の空間伝播光路の長さを変更可能な光路長変更手段とを有するように構成される。

0012

上記光干渉断層計測装置によれば、非測定光路は、光ファイバーのみからなる光路であるとともに、光路の先端側端面に反射鏡が形成されているので、非測定光路の長さを変更することができない。一方、光ファイバーの端面から被測定物までの所定長の空間伝播光路上に置いた投射光学手段とコリメートレンズとの間の空間伝播光路の長さを光路長変更手段によって変更することができるので、非測定光路の光路長に応じて測定光路の光路長を変更して測定光路を非測定光路の光路長と同一長さに調整することができる。よって、光ファイバーの長さを短縮化しても非測定光路と測定光路の光路長を同一に調整可能な光干渉断層計測装置を実現できる。

0013

また、幾つかの実施形態では、
前記光路長変更手段は、前記光ファイバーの端面から前記被測定物までの所定長の空間伝播光路に沿って前記コリメートレンズを移動させるレンズ移動手段を有するように構成される。

0014

この場合、コリメートレンズはレンズ移動手段によって空間伝播光路に沿って移動可能であるので、コリメートレンズの移動量に制限はない。測定光路を形成する光ファイバーの長さを短くしても、コリメートレンズの移動量を調整することで、測定光路の光路長と非測定光路の光路長とを同一長さに容易に調整することができる。

0015

また、幾つかの実施形態では、
前記光路長変更手段は、前記光ファイバーの端面から前記被測定物までの所定長の空間伝播光路が通る空間と異なる屈折率を有した材料で形成されて、前記投射光学手段と前記コリメートレンズとの間の空間伝播光路上に配置されたプリズムと、前記プリズムを前記空間伝播光路に対して接近及び離反可能に移動させるプリズム移動手段と、を有するように構成される。

0016

この場合、光路長変更手段は、光ファイバーの端面から被測定物までの所定長の空間伝播光路が通る空間と異なる屈折率を有した材料で形成されて、投射光学手段とコリメートレンズとの間の空間伝播光路上に配置されたプリズムと、プリズムを空間伝播光路に対して接近及び離反可能に移動させるプリズム移動手段と、を有して構成されるので、プリズム移動手段によってプリズムを移動させることで、プリズム内を通過する低コヒーレンス光の光路長を容易に変化させることができる。

0017

また、幾つかの実施形態では、
前記コリメートレンズと前記投射光学手段との間の空間伝播光路上に、前記低コヒーレンス光が前記光ファイバーを通る際の光ファイバーの屈折率と、前記低コヒーレンス光が前記空間伝播光路を通る際の該空間伝播光路の屈折率との相違に起因して生じる低コヒーレンス光の分散を補償するための光分散補償部材が設けられているように構成される。

0018

この場合、光は通過する材料によって波長ごとの伝播速度の違いによる群速度分散が生じる。このため、従来、測定光路と非測定光路では、空気、光ファイバー、レンズウィンドウに使われるガラス樹脂などを同じ距離にしてバランスして構成する方法をとるか、分散が同等になるような材料を経路に挿入する方法で「分散補償」という調整を行う場合がある。これにより空間分解能(深さ方向分解能)を改善することができる。しかしながら、本願の実施形態の非測定光路は光ファイバーの先端側端面に反射鏡が形成されているので、分散補償が困難であるが、測定光路では、投射光学手段とコリメートレンズとの間の空間伝播光路があるので、「分散補償」が可能である。そこで、コリメートレンズと投射光学手段との間の空間伝播光路上に光分散補償部材を設けることで、測定光路を通る光の分散補償を行って、光路長の変化をキャンセルして空間分解能(深さ方向分解能)を改善することができる。

0019

また、幾つかの実施形態では、
前記プリズムは、前記低コヒーレンス光が前記光ファイバーを通る際の該光ファイバーの屈折率と、前記低コヒーレンス光が前記空間伝播光路を通る際の該空間伝播光路の屈折率との相違に起因して生じる低コヒーレンス光の分散を補償可能な部材で形成されている。

0020

この場合、プリズムが低コヒーレンス光の分散を補償可能な部材で形成されることで、測定光路長を変更可能であるとともに、測定光路を通る光の分散補償が行われて空間分解能(深さ方向分解能)を改善することができる。

発明の効果

0021

本発明の少なくとも幾つかの実施形態によれば、光ファイバーの長さを変えても非測定光と測定光の光路長を同一に調整可能な光干渉断層計測装置を提供することができる。

図面の簡単な説明

0022

本発明の一実施形態に係わる光干渉断層計測装置の概略構成図である。
同図(a)はコリメートレンズと対物レンズとの間の空間伝播光路上に板状の分散補償部材を設けた場合の干渉計の部分構成図を示し、同図(b)はコリメートレンズと対物レンズとの間の空間伝播光路上に2枚のプリズムからなる分散補償部材を設けた場合の干渉計の部分構成図を示す。
本発明の他の実施形態に係わるコリメートレンズと対物レンズとの間の空間伝播光路上に分散補償機能を備えるプリズムを設けた場合の干渉計の部分構成図を示す。

実施例

0023

以下、添付図面に従って本発明の光干渉断層計測装置の実施形態について、図1図3を参照しながら説明する。なお、この実施形態に記載されている構成部品材質、形状、その相対的配置等は、本発明の範囲をこれに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。

0024

光干渉断層計測装置1は、図1に示すように、光源3と、光源3から発する低コヒーレンス光を導く測定光路L1及び非測定光路L2の2本の光路を備える干渉計10とを備える。干渉計10は、光分岐合流部11と、光強度検出器13と、コリメートレンズ15と、光走査用ミラー17と、対物レンズ19とを有してなる。コリメートレンズ15、光走査用ミラー17、対物レンズ19は、プローブヘッド25に設けられている。

0025

プローブヘッド25は、内部が中空な箱状に形成されたヘッド本体部26と、ヘッド本体部26の側壁に取り付けられてコリメートレンズ15を移動可能に保持するレンズ移動支持部29とを有してなる。ヘッド本体部26内には、光走査用ミラー17と対物レンズ19が設けられている。レンズ移動支持部29は、コリメートレンズ15を移動可能に嵌合する孔部29aを有して筒状に形成されている。レンズ移動支持部29の側壁部には止めねじ31が螺合して設けられている。コリメートレンズ15は、孔部29aに挿入された状態で測定光路L1に沿って(孔部29aの軸心方向に沿って)移動可能であり、孔部29aの任意位置で止めねじ31を介してレンズ移動支持部29に固定される。なお、レンズ移動支持部29は、モータ等のアクチュエータボールネジ機構による精密な送り動作を用いてレンズ移動支持部29に対してコリメートレンズ15を移動自在に設けてもよい。

0026

光源3と光分岐合流部11は光ファイバーK1を介して接続されている。光分岐合流部11では、光源3からの光を分岐して、それぞれの光を測定光路L1及び非測定光路L2の2本の光路に導く。非測定光路L2は、光ファイバーK2のみからなって空間伝播光路を含まない光路であり、光ファイバーK2の先端側端面には反射鏡K2aが形成されている。反射鏡K2aは、光ファイバー切断面での端面反射を大きくするために、光ファイバーK2の端面をフラット研磨したフラット研磨面が形成されている。なお、反射鏡K2aは、フラット研磨面よりも端面反射が小さくなる球面加工するPC(Physical contact)研磨面や、PC研磨面よりも端面反射がさらに小さくなる斜研磨するAPC(Angled physical contact)研磨面でもよい。また、反射鏡K2aは、光ファイバー切断面に小型ミラーMを接触又は接着して形成されたものでもよい。

0027

測定光路L1は、光分岐合流部11とコリメートレンズ15とを繋ぐ光ファイバーK3と光ファイバーK3の端面から被測定物40の表面までの所定長の空間伝播光路L3からなる。この空間伝播光路L3には、コリメートレンズ15、光走査用ミラー17、対物レンズ19が配設されている。

0028

ここで、光源3を出た光は光分岐合流部11で2本の光に分けられ、その一方の光は被測定物40へ照射され、他方の光は光ファイバーK2の反射鏡K2aへ照射される。そして、それぞれの対応する光は被測定物40および反射鏡K2aで反射され、それぞれの反射光が光分岐合流部11で再度合流して干渉される。コリメートレンズ15はレンズ移動支持部29のレンズ移動支持部29に移動自在に設けているので、コリメートレンズ15を移動させることで測定光路L1の光路長を変更することができる。

0029

このコリメートレンズ15の位置を、被測定物40からの反射光の光軸方向に移動させ、非測定光路L2と測定光路L1の光路長が同一になるように被測定物40からの反射光の光路長を変更することにより、被測定物40からの反射光と反射鏡K2aからの反射光の干渉波形計測・記録する。光の強度は、光強度検出器13で検出することができる。

0030

また、被測定物40からの反射光の強度は一般的に弱いため、プローブヘッド25のヘッド本体部26内に設けられた対物レンズ19は、このような集光部(対物レンズ19)に光を集光して焦点を形成し、その焦点位置付近に被測定物40からの反射が生じるように設定されている。このような手段を採用することにより、焦点付近に入射光を集中させるとともに、いろいろな角度に散乱反射される被測定物40からの反射光を対物レンズ19で集光して干渉計10で利用することができる。また、乱反射面や傾いた面からも被測定物40の反射光が得られ、干渉信号を得ることが可能となる。さらに、干渉最大点で焦点を結ぶように調整することで、焦点位置での干渉効率が最大となり、空間的な分解能を高めることができる。

0031

コリメートレンズ15は、高精度の平行光を作るための光学系を構成してなる。このため、光ファイバーK3から出る光を平行光にして光走査用ミラー17を介して対物レンズ19に導くことができる。

0032

光分岐合流部11は、少なくとも低コヒーレント光を含む光源3からの光線を2本の光線に分岐するものであり、例えば、光ビームスプリッタ光ファイバーカプラ等が例として挙げられる。光ビームスプリッタは、プレート型またはキューブ型のいずれを用いてもよい。特に、光軸のシフトがなく使用が容易であるという点からはキューブ型が、重量・価格の点からはプレート型が好ましい。光線の分岐する角度は特に定めないが、好ましくは90度である。

0033

光源3は、低コヒーレント光を含む光源である。このため、従来の単一波長光源を用いたマイケルソン光干渉と異なり、低コヒーレント光を含む光源は、コヒーレンス長が短い(ローカルピークを数回繰り返し、そのピーク値がある点を中心に前後では減衰する)ので、絶対位置の計測を容易に行うことができる。本発明でいう低コヒーレント光源とは、特定の幅の波長帯を含む光源で、空間干渉可能距離が短いものをいう。具体的には、SLD(Super Luminescent Diode)、超短パルスレーザLED、白熱電球キセノンランプメタルハライドランプが挙げられる。この中でもSLDは小型、低価格であり、光ファイバーへの結合効率も高く、良好な平行光線コリメート光)に変換することが容易である点から好ましい。

0034

このように、光干渉断層計測装置1の非測定光路L2は、光ファイバーK2のみからな光路であるとともに、光ファイバーK2の先端側端面に反射鏡K2aが形成されているので、非測定光路L2の長さを変更することができない。一方、光ファイバーK3の端面から被測定物40の表面(または被測定物40内部の特定位置)までの所定長の空間伝播光路L3上に置いた対物レンズ19とコリメートレンズ15との間の空間伝播光路の長さをコリメートレンズ15の移動によって変更することができるので、非測定光路L2の光路長に応じて測定光路L1の光路長を変更して測定光路L1を非測定光路L2の光路長と同一長さに調整することができる。よって、光ファイバーK2、K3の長さを短縮化しても非測定光路L2と測定光路L1の光路長を同一に調整可能な光干渉断層計測装置1を実現できる。

0035

また、コリメートレンズ15は、プローブヘッド25のヘッド本体部26内を移動自在に挿入されているので、ヘッド本体部26の長さを長くすれば、コリメートレンズ15の移動量を容易に増大することができるので、コリメートレンズ15の移動量に制限はない。このため、測定光路L1を形成する光ファイバーK3の長さを短くしても、コリメートレンズ15の移動量を調整することで、測定光路L1の光路長と非測定光路L2の光路長とを同一長さに容易に調整することができる。

0036

なお、図2(a)に示すように、コリメートレンズ15と対物レンズ19(図1参照)との間の空間伝播光路L3上に、分散補償部材45を配置してもよい。この分散補償部材45は、低コヒーレンス光が光ファイバーK3を通る際の光ファイバーK3の屈折率と、低コヒーレンス光が空間伝播光路L3を通る際の空間伝播光路L3の屈折率との相違によって生じる低コヒーレンス光の分散のアンバランスに起因する測定光路L1の波長毎の光路長の変化をキャンセルして空間分解能(深さ方向分解能)を改善する。分散補償部材45は、板状に形成され、光路長の変化量に対応した厚さw、w'、w''の分散補償部材45が使用される。

0037

また、分散補償部材45は、図2(b)に示すように、空間伝播光路L3上に2つのプリズム46を接触した状態で対向配置するとともに、それぞれのプリズム46をプリズム移動機構部50を介して互いに摺動可能に支持することで、これらのプリズム46を通る空間伝播光路L3の長さを変更することができる。よって、異なる厚さを有した分散補償部材45を複数用意する場合と比較して、低コヒーレンス光の分散のアンバランスに起因する測定光路L1の光路長の変化をより容易にキャンセルすることができる。

0038

また、図3に示すように、光ファイバーK3の端面から被測定物40の表面までの所定長の空間伝播光路L3が通る空間Aと異なる屈折率を有した材料で形成されて、対物レンズ19とコリメートレンズ15との間の空間伝播光路L3上にプリズム49を配置してもよい。この場合、プリズム49はプリズム移動機構部51を介して空間伝播光路L3に対して接近及び離反可能に構成される。

0039

プリズム移動機構部51によってプリズム49を移動させることで、プリズム49内を通る低コヒーレンス光の光路長を容易に変化させることができる。本実施形態では、コリメートレンズ15はヘッド本体部26に固定されている。なお、コリメートレンズ15は、前述したように、レンズ移動支持部29に対して移動可能に設けられてもよい。このようにすると、測定光路L1の光路長の変更量をより大きくすることができる。

0040

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない範囲での種々の変更が可能である。例えば、上述した各種実施形態を適宜組み合わせてもよい。

0041

1光干渉断層計測装置
3光源
10干渉計
11光分岐合流部
13光強度検出器
15コリメートレンズ
19対物レンズ(投射光学手段)
25プローブヘッド
26ヘッド本体部
29レンズ移動支持部(光路長変更手段、レンズ移動手段)
31止めねじ
40被測定物
45、47分散補償部材
46、49プリズム
50、51プリズム移動機構部(プリズム移動手段)
A 空間
K1、K2、K3光ファイバー
K2a反射鏡
L1測定光路
L2 非測定光路
M 小型ミラー

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    【課題】レーザー光を走査して2次元的なガス分布を取得するガス検知システムにおいて、効率良く高精度にガスを測定する。【解決手段】投光部(11)と、受光部(12)と、測定方位を偏向して測定点を移動させる偏... 詳細

  • 株式会社島津製作所の「 分析システム」が 公開されました。( 2019/09/12)

    【課題】作業性を向上できる分析システムを提供する。【解決手段】分析システム1において自動補正の処理を行う場合には、ユーザは、表示部32に表示される表示画面を確認しながら、自動補正のためのボタンを選択す... 詳細

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