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技術 X線受光装置およびこれを備えたX線検査装置

出願人 松定プレシジョン株式会社
発明者 松田定好
出願日 2015年6月2日 (5年7ヶ月経過) 出願番号 2015-112564
公開日 2016年8月12日 (4年4ヶ月経過) 公開番号 2016-145793
状態 特許登録済
技術分野 放射線を利用した材料分析
主要キーワード 一次元カメラ 二次元カメラ 入力蛍光面 エリアカメラ X線照射装置 ラインカメラ X線ラインセンサ テーブル制御
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (10)

課題

感度を向上することのできるX線受光装置およびこれを備えたX線検査装置を提供する。

解決手段

X線受光装置10は、被検査物を透過したX線を受光するX線受光装置である。X線受光装置10は、被検査物を透過したX線を可視光線に変換し、変換後の可視光線の強度を増倍させて出力するイメージインテンシファイア20と、イメージインテンシファイア20から出力された可視光線を集束させる光学レンズ30と、光学レンズ30で集束された可視光線の一次元方向の強度分布を検出する検出部40とを備える。

概要

背景

X線検査装置は、被検査物破壊せずに検査する装置として知られている。一般的に、X線検査装置は、被検査物を搬送するベルトコンベアなどの搬送部と、搬送路を挟むように配置されたX線発生装置およびX線受光装置とを備えている。X線発生装置はX線を発生し、搬送部によって搬送される被検査物に照射する。被検査物に照射されたX線は、被検査物を透過し、X線受光装置であるエリアカメラ撮影される。X線検査装置は、エリアカメラで撮影した画像に基づいて被検査物の内部を検査する。

なお、下記特許文献1および2には、従来のX線受光装置が開示されている。下記特許文献1には、現像ローラ現像ギャップ感光体ドラムとを透過した透過X線を、対向する図示しないシンチレータに照射する技術が開示されている。透過X線はシンチレータによって発光し、発光した光はイメージインテンシファイアを用いて増幅される。増幅された光は、撮像装置によって画像データとして取得される。この画像データから現像ギャップ長が測定される。

下記特許文献2には、X線の入射により蛍光を発生する材料からなる光変換部材と、蛍光を導く光ファイバ束と、光ファイバ束の端部からの出射光を増強する光増強手段と、光増強手段からの出射光を撮像する撮像手段を備えたX線ラインセンサが開示されている。

概要

感度を向上することのできるX線受光装置およびこれを備えたX線検査装置を提供する。X線受光装置10は、被検査物を透過したX線を受光するX線受光装置である。X線受光装置10は、被検査物を透過したX線を可視光線に変換し、変換後の可視光線の強度を増倍させて出力するイメージインテンシファイア20と、イメージインテンシファイア20から出力された可視光線を集束させる光学レンズ30と、光学レンズ30で集束された可視光線の一次元方向の強度分布を検出する検出部40とを備える。

目的

本発明は、上記課題を解決するためのものであり、その目的は、感度を向上することのできるX線受光装置およびこれを備えたX線検査装置を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
0件

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請求項1

被検査物を透過したX線受光するX線受光装置であって、前記被検査物を透過したX線を可視光線に変換し、変換後の可視光線の強度を増倍させて出力する可視光線出力部と、前記可視光線出力部から出力された可視光線を集束させる光学レンズと、前記光学レンズで集束された可視光線の一次元方向の強度分布を検出する検出部とを備えた、X線受光装置。

請求項2

前記可視光線出力部は、X線を蛍光に変換する入力蛍光部と、前記入力蛍光部により変換された蛍光を光電子に変換する光電部と、前記光電部によって変換された光電子を加速および集束する加速集束部と、前記加速集束部によって加速および集束された前記光電子の衝突によって蛍光を放出する出力蛍光部とを含む、請求項1に記載のX線受光装置。

請求項3

前記検出部は、前記一次元方向に沿って1列のみに配列した複数の受光素子を含む、請求項1または2に記載のX線受光装置。

請求項4

前記検出部は、前記光学レンズで集束された可視光線を前記一次元方向の可視光線に規制する検出部スリットと、可視光線の二次元の強度分布を検出可能なエリアセンサであって、前記検出部スリットにより規制された可視光線を検出するエリアセンサとを含む、請求項1または2に記載のX線受光装置。

請求項5

前記検出部は、複数列に配列した複数の受光素子を含み、列方向に配置された受光素子での受光光量を積算することにより、前記光学レンズで集束された可視光線の前記一次元方向の強度分布を検出する積算部をさらに備えた、請求項1または2に記載のX線受光装置。

請求項6

前記被検査物を透過したX線の一の部分を前記可視光線出力部に入力させ、前記被検査物を透過したX線の他の部分から前記可視光線出力部を遮蔽するX線遮蔽部をさらに備え、前記X線遮蔽部は、前記可視光線出力部における前記被検査物を透過したX線の入力位置を変更可能である、請求項1〜5のいずれかに記載のX線受光装置。

請求項7

前記検出部における可視光線の検出位置は、前記可視光線出力部に対して移動する、請求項6に記載のX線受光装置。

請求項8

前記X線遮蔽部は、X線を遮蔽する遮蔽部と、第1の方向に延在し、X線を透過する透過部とを含み、前記透過部は、前記可視光線出力部に対して前記第1の方向と直交する第2の方向に移動する、請求項6または7に記載のX線受光装置。

請求項9

前記検出部における可視光線の検出位置は、前記第2の方向に移動する、請求項8に記載のX線の受光位置

請求項10

前記被検査物に対してX線を照射するX線照射装置と、請求項1〜9のいずれかに記載のX線受光装置とを備えた、X線検査装置

技術分野

0001

本発明は、X線受光装置およびこれを備えたX線検査装置に関する。より特定的には、本発明は、被検査物を透過したX線を受光するX線受光装置およびこれを備えたX線検査装置に関する。

背景技術

0002

X線検査装置は、被検査物を破壊せずに検査する装置として知られている。一般的に、X線検査装置は、被検査物を搬送するベルトコンベアなどの搬送部と、搬送路を挟むように配置されたX線発生装置およびX線受光装置とを備えている。X線発生装置はX線を発生し、搬送部によって搬送される被検査物に照射する。被検査物に照射されたX線は、被検査物を透過し、X線受光装置であるエリアカメラ撮影される。X線検査装置は、エリアカメラで撮影した画像に基づいて被検査物の内部を検査する。

0003

なお、下記特許文献1および2には、従来のX線受光装置が開示されている。下記特許文献1には、現像ローラ現像ギャップ感光体ドラムとを透過した透過X線を、対向する図示しないシンチレータに照射する技術が開示されている。透過X線はシンチレータによって発光し、発光した光はイメージインテンシファイアを用いて増幅される。増幅された光は、撮像装置によって画像データとして取得される。この画像データから現像ギャップ長が測定される。

0004

下記特許文献2には、X線の入射により蛍光を発生する材料からなる光変換部材と、蛍光を導く光ファイバ束と、光ファイバ束の端部からの出射光を増強する光増強手段と、光増強手段からの出射光を撮像する撮像手段を備えたX線ラインセンサが開示されている。

先行技術

0005

特開2008−165064号公報
特開2012−172993号公報

発明が解決しようとする課題

0006

従来のX線受光装置には、高速で移動する被検査物からのX線を受光する場合に、撮影した画像に被検査物の残像が発生するという問題があった。この問題を回避するために、X線受光装置として、エリアカメラではなくラインカメラを用いる方法が考えられる。ラインカメラは、一次元方向のみのX線の強度分布を検出するものである。ラインカメラを用いる方法によれば、一次元方向のX線の強度分布を出力することができ、残像の発生を防止することができる。

0007

一方で、ラインカメラを用いる方法では、エリアカメラの場合と比較して受光するX線の量が少なくなるため、X線受光装置の感度が低下するという問題が生じていた。

0008

X線受光装置の感度を向上する方法として、X線発生装置で発生するX線の強度を大きくする方法がある。しかし、X線発生装置の消費電力が増加するなどの問題が生じるため、この方法には限界がある。

0009

本発明は、上記課題を解決するためのものであり、その目的は、感度を向上することのできるX線受光装置およびこれを備えたX線検査装置を提供することである。

課題を解決するための手段

0010

本発明の一の局面に従うX線受光装置は、被検査物を透過したX線を受光するX線受光装置であって、被検査物を透過したX線を可視光線に変換し、変換後の可視光線の強度を増倍させて出力する可視光線出力部と、可視光線出力部から出力された可視光線を集束させる光学レンズと、光学レンズで集束された可視光線の一次元方向の強度分布を検出する検出部とを備える。

0011

上記X線受光装置において好ましくは、可視光線出力部は、X線を蛍光に変換する入力蛍光部と、入力蛍光部により変換された蛍光を光電子に変換する光電部と、光電部によって変換された光電子を加速および集束する加速集束部と、加速集束部によって加速および集束された光電子の衝突によって蛍光を放出する出力蛍光部とを含む。

0012

上記X線受光装置において好ましくは、検出部は、一次元方向に沿って1列のみに配列した複数の受光素子を含む。

0013

上記X線受光装置において好ましくは、検出部は、光学レンズで集束された可視光線を一次元方向の可視光線に規制するスリットと、可視光線の二次元の強度分布を検出可能なエリアセンサであって、スリットにより規制された可視光線を検出するエリアセンサとを含む。

0014

上記X線受光装置において好ましくは、検出部は、複数列に配列した複数の受光素子を含み、列方向に配置された受光素子での受光光量を積算することにより、光学レンズで集束された可視光線の一次元方向の強度分布を検出する積算部をさらに備える。

0015

上記X線受光装置において好ましくは、被検査物を透過したX線の一の部分を可視光線出力部に入力させ、被検査物を透過したX線の他の部分から可視光線出力部を遮蔽するX線遮蔽部をさらに備え、X線遮蔽部は、可視光線出力部における被検査物を透過したX線の入力位置を変更可能である。

0016

上記X線受光装置において好ましくは、検出部における可視光線の検出位置は、可視光線出力部に対して移動する。

0017

上記X線受光装置において好ましくは、X線遮蔽部は、X線を遮蔽する遮蔽部と、第1の方向に延在し、X線を透過する透過部とを含み、透過部は、可視光線出力部に対して第1の方向と直交する第2の方向に移動する。

0018

上記X線受光装置において好ましくは、検出部における可視光線の検出位置は、第2の方向に移動する。

0019

本発明の他の局面に従うX線検査装置は、被検査物に対してX線を照射するX線照射装置と、上記のいずれかのX線受光装置とを備える。

発明の効果

0020

本発明によれば、感度を向上することのできるX線受光装置およびこれを備えたX線検査装置を提供することができる。

図面の簡単な説明

0021

本発明の一実施の形態におけるX線検査装置1の構成を模式的に示す断面図である。
本発明の一実施の形態におけるX線受光装置10の構成を模式的に示す断面図である。
検出部40で検出されるy軸方向の光強度分布を模式的に示す図である。
本発明の一実施の形態における検出部40の構成の第1の例を模式的に示す斜視図である。
本発明の一実施の形態における検出部40の構成の第2の例を模式的に示す斜視図である。
本発明の一実施の形態における検出部40の構成の第3の例を模式的に示す斜視図である。
本発明の一実施の形態における第3の例の検出部40の出力結果から得られるy軸方向の光強度分布を模式的に示す図である。
本発明の一実施の形態におけるX線受光装置10の変形例の第1の状態の構成を模式的に示す断面図である。
本発明の一実施の形態におけるX線受光装置10の変形例の第2の状態の構成を模式的に示す断面図である。

実施例

0022

以下、本発明の一実施の形態について、図面に基づいて説明する。

0023

[X線検査装置の概略的な構成]

0024

始めに、本発明の一実施の形態におけるX線検査装置の概略的な構成について説明する。

0025

図1は、本発明の一実施の形態におけるX線検査装置1の構成を模式的に示す断面図である。なお、x軸、y軸、およびz軸は互いに直交しているものとする。

0026

図1を参照して、本実施の形態のX線検査装置1は、照射位置P1を通過したワークWK(被検査物の一例)の部分にX線を照射し、照射位置P1を通過したワークWKの部分を透過したX線に基づいてワークWKを検査するものである。X線検査装置1は、X線受光装置10と、搬送部60と、X線照射装置70と、制御部80などを備えている。

0027

X線照射装置70は、その内部でX線を発生し、矢印AR2で示すように、発生したX線を照射位置P1を通過したワークWKの部分に対して照射する。X線照射装置70は、ターゲットX線発生源)で反射したX線を利用する反射型のものであってもよいし、ターゲットを透過したX線を利用する透過型のものであってもよい。

0028

搬送部60は、テーブル61上に配置されたワークWKを、矢印AR1で示す方向に搬送する。搬送部60は、たとえばベルトコンベアなどよりなっている。

0029

X線受光装置10は、矢印AR3で示すように、ワークWKを透過したX線を受光し、受光したX線の強度を示す信号を制御部80に送信する。

0030

制御部80は、X線受光装置10、搬送部60、およびX線照射装置70の各々と電気的に接続されており、X線検査装置1全体の制御を行う。制御部80は、X線発生制御部81と、テーブル制御部82と、画像生成部83とを含んでいる。

0031

X線発生制御部81は、X線照射装置70に印加する電圧などを制御することにより、X線照射装置70から発生するX線を制御する。

0032

テーブル制御部82は、搬送部60によるテーブル61の移動を制御する。またテーブル制御部82は、X線受光装置10における透過部50b(X線遮蔽部50)および検出部40における可視光線の検出位置の各々を移動する。

0033

画像生成部83は、X線受光装置10から受信した信号に基づいて、ワークのX線画像を生成する。また画像生成部83は、X線受光装置10に印加する電圧、タイミング、クロックなどを制御する。

0034

ワークWKの位置は、時間経過とともに矢印AR1で示す方向に移動するので、ワークWKにおけるX線が透過する位置もまた、時間経過とともに矢印AR1で示す方向に移動する。従ってX線検査装置1は、時間経過とともに、ワークWKにおける矢印AR1に沿った異なる位置を検査することができる。

0035

なお、本明細書では、テーブル61の移動方向(矢印AR1で示す方向)をx軸の正の方向としている。X線受光装置10で受光するX線の進行方向(矢印AR3で示す方向)をz軸の正の方向としている。x軸とz軸とは互いに直交している。さらに、x軸およびz軸の各々に対して直角な方向(紙面に対して垂直な方向)をy軸方向としている。

0036

図2は、本発明の一実施の形態におけるX線受光装置10の構成を模式的に示す断面図である。

0037

図2を参照して、X線受光装置10は、イメージインテンシファイア20(可視光線出力部の一例)と、光学レンズ30と、検出部40とを含んでいる。イメージインテンシファイア20、光学レンズ30、および検出部40の各々は、X線の進行方向に沿ってワークWKから離れる方向(矢印AR3で示すz軸の正の方向)に沿ってこの順序で配置されている。

0038

イメージインテンシファイア20は、ワークWKを透過したX線を可視光線に変換し、変換後の可視光線の強度を増倍させて出力する。

0039

光学レンズ30は、凸レンズであり、イメージインテンシファイア20から出力された可視光線を集束させる。

0040

検出部40は、受光した光のy軸に沿った一次元方向の光強度分布を検出する一次元カメラ(ラインカメラ)である。検出部40は、光学レンズ30で集束された可視光線を受光し、受光強度に応じた信号を制御部80に送信する。

0041

イメージインテンシファイア20は、以下の構成を有していることが好ましい。

0042

イメージインテンシファイア20は、入力蛍光面21(入力蛍光部の一例)と、光電面22(光電部の一例)と、集束電極23と、陽極24と、出力蛍光面25(出力蛍光部の一例)と、筐体26と、集束電源27と、加速電源28とを含んでいる。集束電極23、陽極24、集束電源27、および加速電源28は加速集束部を構成し、静電レンズ系として機能する。

0043

筐体26は、減圧された中空部を有している。筐体26の内部には、入力蛍光面21、光電面22、集束電極23、陽極24、および出力蛍光面25が配置されている。光電面22は、入力蛍光面21よりもワークWKから離れた側(z軸の正方向の側)において、入力蛍光面21と近接して配置されている。出力蛍光面25は、光電面22よりもワークWKから離れた側(z軸の正方向の側)において、光電面22と大きな間隔を空けて配置されている。入力蛍光面21、光電面22、および出力蛍光面25の各々は、x軸方向に延在している。集束電極23は、たとえば円筒形状を有しており、z軸方向に延在している。集束電極23は、光電面22と出力蛍光面25との間に配置されている。陽極24は、出力蛍光面25の近傍に配置されている。陽極24は、たとえば円筒形状を有しており、z軸方向に延在している。出力蛍光面25は、陽極24の内部に配置されている。集束電源27は、光電面22と集束電極23との間に電圧を印加する。加速電源28は、光電面22と陽極24との間に電圧を印加する。

0044

続いて、本発明の一実施の形態におけるX線受光装置の動作について説明する。

0045

ワークWKを透過したX線は、矢印AR3で示すように、イメージインテンシファイア20に入射する。イメージインテンシファイア20に入射したX線は、入力蛍光面21によって可視光線(蛍光)に変換される。入力蛍光面21により変換された可視光線は、光電面22によって光電子に変換される。光電面22によって変換された光電子は、集束電極23、陽極24、集束電源27、および加速電源28によって加速および集束される。加速および集束された光電子は、出力蛍光面25に衝突し、出力蛍光面25によって可視光線(蛍光)としてイメージインテンシファイア20の外部に放出(出力)される。イメージインテンシファイア20から出力される可視光線は、イメージインテンシファイア20に入射するX線の強度に対応した強度を有している。イメージインテンシファイア20から出力された可視光線は、光学レンズ30によって集束され、検出部40に入射する。検出部40では、光学レンズ30によって集束された可視光線のうち、y軸に沿った一次元方向の光強度分布が検出され、検出した光強度分布に応じた信号が制御部80に送信される。

0046

図3は、検出部40で検出されるy軸方向の光強度分布を模式的に示す図である。図3(a)は、時刻t=t1において検出された光強度分布であり、図3(b)は、時刻t=t2(t1とt2とは異なる時刻である)において検出された光強度分布である。

0047

図3(a)を参照して、時刻t=1において検出された光強度分布は、y軸方向に沿って均一になっている。この場合制御部80は、時刻t=1にX線の照射位置P1を通過したワークWKの部分には、異常が無いものと判断する。

0048

図3(b)を参照して、時刻t=2において検出された光強度分布は、時刻t=1において検出された光強度分布とは異なるものになっており、y軸方向に沿って均一ではなくなっている。この場合制御部80は、時刻t=2にX線の照射位置P1を通過したワークWKの部分には、何らかの異常があるものと判断する。

0049

本実施の形態によれば、検出部40が可視光線の一次元方向の光強度分布を検出するものであるので、残像の発生を抑止することができる。また、検出部40が可視光線の一次元方向の光強度分布を検出するものであることに由来するX線受光装置の感度の低下を、
イメージインテンシファイア20および光学レンズ30によって構成されるX線の増倍機構によって抑止することができる。その結果、ワークWKが高速に移動する場合であっても、残像無しに高精密な画像(強度分布)を取得することができる。さらに、X線照射装置70としてマイクロフォーカスX線源などの低出力のX線源を用いた場合でも、X線受光装置10が高い感度を有するので、十分な感度を有する画像を得ることができる。

0050

次に、本発明の一実施の形態における検出部の構成の具体例について説明する。

0051

図4は、本発明の一実施の形態における検出部40の構成の第1の例を模式的に示す斜視図である。

0052

図4を参照して、本例における検出部40は、複数の受光素子41と、基板42とを含んでいる。複数の受光素子41の各々は、基板42上に配置されている。複数の受光素子41の各々は、y軸に沿った一次元方向に沿って1列のみに配列している。

0053

本例のように検出部40を構成した場合には、簡易な構成により、受光した光の一次元方向の強度分布を検出することができる。

0054

図5は、本発明の一実施の形態における検出部40の構成の第2の例を模式的に示す斜視図である。

0055

図5を参照して、本例における検出部40は、複数の受光素子41と、基板42と、スリット43とを含んでいる。複数の受光素子41および基板42は、二次元カメラ(エリアカメラ)を構成している。複数の受光素子41の各々は、基板42上に配置されている。複数の受光素子41の各々は、x軸方向およびy軸方向の各々に二次元的に配列している。複数の受光素子41および基板42は、可視光線の二次元の強度分布を検出可能である。

0056

スリット43は、複数の受光素子41および基板42よりもz軸の負の側(イメージインテンシファイア20に近い側)に配置されている。スリット43は、光学レンズで集束された可視光線をy軸に沿った一次元方向の可視光線に規制する。スリット43は、可視光遮光する遮光部43aと、可視光線の少なくとも一部を透過する透過部43bとを含んでいる。透過部43bは、y軸方向に沿って延在している。透過部43bは、複数の受光素子41が配置されているエリアの一部とz軸方向で重なる位置に設けられている。透過部43bはたとえば切欠きである。光学レンズ30によって集束された可視光線は、スリット43により規制され、複数の受光素子41のうち一列のみの受光素子41で受光される。

0057

本例のように検出部40を構成した場合には、二次元カメラを用いて、受光した光の一次元方向の強度分布を検出することができる。

0058

図6は、本発明の一実施の形態における検出部40の構成の第3の例を模式的に示す斜視図である。

0059

図6を参照して、本例における検出部40は、TDI(Time Delay Integration)カメラであり、複数の受光素子41と、基板42とを含んでいる。複数の受光素子41の各々は、基板42上に配置されている。複数の受光素子41の各々は、x軸方向およびy軸方向の各々に二次元的に配列している。複数の受光素子41の各々は、x軸方向に沿って5つの列を構成している。5つの列の各々は、y軸方向に延在している。なお、図6では複数の受光素子41が5つの列を構成している場合について示したが、複数の受光素子41が構成する列の数は任意である。複数の受光素子41が構成する列の数は、たとえば100列以上または200列以上まで増加されてもよい。

0060

図7は、本発明の一実施の形態における第3の例の検出部40の出力結果から得られるy軸方向の光強度分布を模式的に示す図である。

0061

図6および図7を参照して、本例の場合には、x軸方向に配列した5つの受光素子41a、41b、41c、41d、および41eの各々は、ワークWKにおける同一の部分から受光した光を受光する。画像生成部83(積算部の一例)は、ワークWKにおける同一の部分から、受光素子41aの列の受光素子、受光素子41bの列の受光素子、受光素子41cの列の受光素子、受光素子41dの列の受光素子、および受光素子41eの列の受光素子の各々での受光光量を積算することにより、受光した光のy軸に沿った一次元方向の強度分布を検出する。その結果、受光した光の強度を増加して検出することができ、X線受光装置10の感度を向上することができる。

0062

ところで、図2に示すX線受光装置10の構成において、イメージインテンシファイア20に入力するX線のうち、可視光線として検出部40で実際に検出されるのは(イメージインテンシファイア20で実際に使用される視野領域は)、わずか一部であり、大部分のX線は、可視光線として検出部40で検出されない(受光素子41に入力しない)。そこで、図8および図9に示す変形例のように、検出部40で可視光線として検出されないX線がイメージインテンシファイア20に入力するのを抑止してもよい。

0063

図8および図9は、本発明の一実施の形態におけるX線受光装置10の変形例の構成を模式的に示す断面図である。なお、図8および図9における線CLは、イメージインテンシファイア20および光学レンズ30のx軸方向の中央部を示している。

0064

図8を参照して、本変形例におけるX線受光装置10は、X線遮蔽部50をさらに備えている。X線遮蔽部(X線遮蔽スリット)50は、イメージインテンシファイア20よりもワークWKに近い側に配置されている。X線遮蔽部50は、ワークWKを透過したX線の一の部分をイメージインテンシファイア20に入力させ、ワークWKを透過したX線の他の部分からイメージインテンシファイア20を遮蔽する。X線遮蔽部50は、X線を遮蔽する遮蔽部50aと、X線を透過する透過部50bとを含んでいる。遮蔽部50aは、たとえば鉛などよりなっている。透過部50bは、たとえば切欠きである。透過部50bはy軸方向に延在している。透過部50bは、X線遮蔽部50自体を移動することにより、x軸方向に移動可能となっている。これにより、X線遮蔽部50は、イメージインテンシファイア20におけるワークWKを透過したX線の入力位置をx軸方向に変更可能である。

0065

図8では、透過部50bが線CLよりも矢印AR11で示す方向に移動されている。これにより、ワークWKを透過したX線の一の部分は、入力蛍光面21における線CLよりも左寄りの位置に入力し、他の部分は遮蔽部50aによって遮られる。入力蛍光面21から発生した光電子は、出力蛍光面25における線CLよりも右寄りの位置に衝突し、出力蛍光面25から出力された可視光線は、線CLよりも右寄りの位置で検出部40に入力する。

0066

検出部40における可視光線の検出位置は、可視光線の検出量が増加するように、イメージインテンシファイア20に対して移動可能であってもよい。図8の場合には、検出部40における可視光線の検出位置は、出力蛍光面25から出力された可視光線が入力する位置に合わせて、矢印AR22で示す方向(x軸方向)に移動されてもよい。

0067

図9では、透過部50bが線CLよりも矢印AR12で示す方向に移動されている。これにより、ワークWKを透過したX線の一の部分は、入力蛍光面21における線CLよりも右寄りの位置に入力し、他の部分は遮蔽部50aによって遮られる。入力蛍光面21から発生した光電子は、出力蛍光面25における線CLよりも左寄りの位置に衝突し、出力蛍光面25から出力された可視光線は、線CLよりも左寄りの位置で検出部40に入力する。検出部40における可視光線の検出位置は、出力蛍光面25から出力された可視光線が入力する位置に合わせて、矢印AR21で示す方向(x軸方向)に移動されてもよい。

0068

透過部50b(X線遮蔽部50)の位置および検出部40における可視光線の検出位置の各々は、所要のタイミングで変更される。透過部50bの位置および検出部40における可視光線の検出位置は、手動で移動されてもよいし、図示しない移動機構などを用いて自動的に移動されてもよい。

0069

図4に示す検出部40の構成および図6に示す検出部40の構成では、基板42を移動することにより、検出部40における可視光線の検出位置を移動可能である。図5に示す検出部40の構成では、スリット43を移動することにより、検出部40における可視光線の検出位置(可視光線が入射する受光素子41の位置(処理位置))を移動可能である。矢印AR21およびAR22は、図4図6の各々にも示されている。

0070

イメージインテンシファイア20は、長時間の使用により劣化することがある。

0071

具体的には、イメージインテンシファイア20の出力面を覆う、ガラスなどよりなるカバーが、出力蛍光面25から発生する蛍光によって劣化し、色に変色する(ブラウン化)。特に同じ形状の被検査物に対してX線を照射し続けた場合、カバーにおける蛍光が照射される場所が固定され、カバーにおける特定の場所のみが変色することがある。これは、カバーに含まれる点欠陥に蛍光が吸収されることに起因するものと推測される。その結果、別の形状の被検査物に対してX線を照射した場合、カバーの変色により、被検査物を正しく観察(検査)することができないことがあった。

0072

また、光電面22から発生した電子は、20keV〜25keVという高電圧で加速され、出力蛍光面25に衝突する。このため、出力蛍光面25は、長時間の使用により変質し、変色することがある。さらに、入力蛍光面21も長時間の使用により変質し、変色することがある。蛍光面の変質および変色は、イメージインテンシファイア20の焼き付きの原因となる。

0073

本変形例によれば、検出部40で可視光線として検出されないX線が、X線遮蔽部50によって遮蔽される。これにより、イメージインテンシファイア20への不要なX線の入力を抑止することができ、イメージインテンシファイア20の劣化を抑止することができる。また、透過部50b(X線遮蔽部50)を所要のタイミングで移動することにより、カバー、出力蛍光面25、および入力蛍光面21の各々における劣化の少ない領域を用いてX線を可視光線に変換することができる。その結果、イメージインテンシファイア20の長寿命化を図ることができる。

0074

上述の実施の形態は、互いに組み合わせることができる。

0075

上述の実施の形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

0076

1X線検査装置
10X線受光装置
20イメージインテンシファイア
21入力蛍光面
22光電面
23集束電極
24陽極
25 出力蛍光面
26筐体
27集束電源
28加速電源
30光学レンズ
40 検出部
41,41a,41b,41c,41d,41e受光素子
42基板
43スリット
43a,50a遮光部
43b,50b 透過部
50X線遮蔽部
60 搬送部
61 テーブル
70X線照射装置
80 制御部
81 X線発生制御部
82テーブル制御部
83画像生成部
P1照射位置
CL イメージインテンシファイアおよび光学レンズのx軸方向の中央部を示す線
WK ワーク

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