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技術 非接触搬送装置

出願人 株式会社IHI
発明者 石橋希遠和田芳幸平田賢輔大橋塁
出願日 2014年4月8日 (6年2ヶ月経過) 出願番号 2014-079428
公開日 2015年11月12日 (4年7ヶ月経過) 公開番号 2015-199162
状態 拒絶査定
技術分野 マニプレータ
主要キーワード 細板材 非接触装置 吸盤内 低真空域 各導入孔 吸引保持力 有蓋円筒形 横断面円形状
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (8)

課題

ベルヌーイチャック非接触チャック)の数を増加させることなく、薄板状ワークの搬送を安定して行えるようにした非接触搬送装置を提供する。

解決手段

周縁部に非製品品質エリアを有し、非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置である。薄板状ワークを保持する保持手段と、保持手段を移動させることで薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備える。保持手段は、吸着力によって薄板状ワークの製品品質エリアを非接触で保持する非接触チャックと、薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の非製品品質エリアを保持する保持部と、を有する。

概要

背景

近年、例えば厚さが1mm以下の極薄ガラス樹脂シートなどが、様々な製品に用いられている。このようなガラスや樹脂シートなどの薄板状ワークでは、異物の付着などによる汚染の防止が必要となっており、したがってこれを搬送する際には、特にその中央部に設けられた製品品質エリアについては非接触で搬送することが要求されている。

このように非接触で板状(薄板状)のワークを搬送する搬送装置として、保持ハンドを有し、この保持ハンドの全域ベルヌーイチャック非接触チャック)を配置した非接触搬送装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

概要

ベルヌーイチャック(非接触チャック)の数を増加させることなく、薄板状ワークの搬送を安定して行えるようにした非接触搬送装置を提供する。周縁部に非製品品質エリアを有し、非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置である。薄板状ワークを保持する保持手段と、保持手段を移動させることで薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備える。保持手段は、吸着力によって薄板状ワークの製品品質エリアを非接触で保持する非接触チャックと、薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の非製品品質エリアを保持する保持部と、を有する。

目的

本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ベルヌーイチャック(非接触チャック)の数を増加させることなく、薄板状ワークの搬送を安定して行えるようにした非接触搬送装置を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
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牽制数
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請求項1

周縁部に非製品品質エリアを有し、該非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、前記製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置であって、前記薄板状ワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させることで前記薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備え、前記保持手段は、吸着力によって前記薄板状ワークの前記製品品質エリアを非接触で保持する非接触チャックと、前記薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の前記非製品品質エリアを保持する保持部と、を有することを特徴とする非接触搬送装置。

請求項2

前記保持部は、吸盤型の吸着パッドからなることを特徴とする請求項1記載の非接触搬送装置。

請求項3

前記薄板状ワークが矩形状であり、前記搬送手段は前記薄板状ワークの長辺方向あるいは短辺方向に沿って搬送するように構成され、前記保持部は、前記薄板状ワークの搬送方向に延在する辺の周縁部を保持するように構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の非接触搬送装置。

技術分野

0001

本発明は、非接触搬送装置に関する。

背景技術

0002

近年、例えば厚さが1mm以下の極薄ガラス樹脂シートなどが、様々な製品に用いられている。このようなガラスや樹脂シートなどの薄板状ワークでは、異物の付着などによる汚染の防止が必要となっており、したがってこれを搬送する際には、特にその中央部に設けられた製品品質エリアについては非接触で搬送することが要求されている。

0003

このように非接触で板状(薄板状)のワークを搬送する搬送装置として、保持ハンドを有し、この保持ハンドの全域ベルヌーイチャック非接触チャック)を配置した非接触搬送装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。

先行技術

0004

特開2009−28862号公報

発明が解決しようとする課題

0005

ところで、前記特許文献1の非接触装置では、特にワークが大判化した場合、中央部が自重で大きく撓み、撓んだ部位が搬送路周辺部などを擦ることで損傷してしまうおそれがあるため、ベルヌーイチャックの数を増やす必要がある。しかしながら、ベルヌーイチャックの数を増やすと、その調整が難しくなる。すなわち、ベルヌーイチャックはその吸着面を全て同一水平面に調整する必要があるが、このような調整は数が増加するに連れて難しくなる。
また、ベルヌーイチャックだけでワークを保持し、搬送した場合、搬送時の水平方向加速度によってワークの搬送位置が安定せず、ワークを予め決めた位置に搬送し配置するのが困難になる。

0006

本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ベルヌーイチャック(非接触チャック)の数を増加させることなく、薄板状ワークの搬送を安定して行えるようにした非接触搬送装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

0007

本発明の非接触搬送装置は、周縁部に非製品品質エリアを有し、該非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、前記製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置であって、前記薄板状ワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させることで前記薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備え、前記保持手段は、吸着力によって前記薄板状ワークの前記製品品質エリアを非接触で保持する非接触チャックと、前記薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の前記非製品品質エリアを保持する保持部と、を有することを特徴とする。

0008

また、前記非接触搬送装置において、前記保持部は、吸盤型の吸着パッドからなることが好ましい。

0009

また、前記非接触搬送装置においては、前記薄板状ワークが矩形状であり、前記搬送手段は前記薄板状ワークの長辺方向あるいは短辺方向に沿って搬送するように構成され、前記保持部は、前記薄板状ワークの搬送方向に延在する辺の周縁部を保持するように構成されていることが好ましい。

発明の効果

0010

本発明の非接触搬送装置によれば、保持手段が、吸着力によって薄板状ワークの製品品質エリアを非接触で保持する非接触チャックと、薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の非製品品質エリアを保持する保持部と、を有しているので、保持部によって非製品品質エリアを直接保持することで薄板状ワークを容易に、かつ確実に保持することができるとともに、非接触チャックによって製品品質エリアを保持することで薄板状ワークの中央部の撓みを防止することができる。また、保持部によって薄板状ワークを直接保持することで搬送時の水平方向加速度に影響されることなく、薄板状ワークを安定して搬送することができ、したがって薄板状ワークを予め決めた位置に確実に配置することができる。よって、薄板状ワークの搬送を安定して行うことができる。

図面の簡単な説明

0011

本発明の非接触搬送装置の一実施形態を示す平面図である。
本発明の非接触搬送装置の一実施形態を示す側面図である。
昇降機構部を除いた保持機構部の平面図である。
(a)は非接触チャックの縦断面図であり、(b)は(a)のA−A線矢視断面図である。
クランプ部材の側面図である。
本発明の非接触搬送装置の変形例を示す平面図である。
(a)〜(e)はクランプ部材の動作説明図である。

実施例

0012

以下、図面を参照して本発明の非接触搬送装置を詳しく説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
図1は本発明の非接触搬送装置の一実施形態を示す平面図、図2図1に示した非接触搬送装置の側面図であり、これらの図において符号1は非接触搬送装置である。

0013

この非接触搬送装置1は、例えば厚さが1mm以下の極薄のガラスや樹脂シートなどからなる薄板状ワークW(図1中に二点鎖線で示す)を非接触状態で搬送する装置である。ただし、ここで言う「非接触」とは、薄板状ワークWに対して完全に非接触という意味ではなく、薄板状ワークWの製品品質エリアに対しては非接触である、という意味である。すなわち、通常、薄板状ワークWはその周縁部に幅5mm〜10mm程度の枠状の非製品品質エリアを有し、該非製品品質エリアに囲まれた内側に製品品質エリアを有している。したがって、最終的に製品に組み込まれる際には、薄板状ワークWは周縁部の非製品品質エリアが切り落とされて製品品質エリアのみが製品に組み込まれる。このような製品品質エリアは、異物の付着などによる汚染があると良品として採用されないことから、このような汚染の防止が重要となり、したがって製品品質エリアを直接保持しない搬送装置が必要になっている。

0014

本実施形態の非接触搬送装置1は、このように薄板状ワークWの製品品質エリアを直接保持することなく、幅5mm〜10mm程度の枠状の非製品品質エリアのみを保持部によって直接保持し、製品品質エリアについては非接触チャックによって非接触で保持して搬送する装置である。薄板状ワークWは、本実施形態では厚さ1mm以下の矩形状のもので、特に大判のもの、例えば短辺が500mm〜1500mm程度、長辺が800mm〜2000mm程度のものである。ただし、このようなサイズより小さいものや大きいものも、本発明の非接触搬送装置1の搬送対象となる。

0015

図1図2に示すように非接触搬送装置1は、前記薄板状ワークWを昇降可能に保持する保持機構部2(保持手段)と、保持機構部2を移動させることでこの保持機構部2に保持された薄板状ワークWを所定方向に搬送する搬送機構部3(搬送手段)と、を備えて構成されている。

0016

搬送機構部3は、保持機構部2を移動可能に懸架し、案内するガイドレール4と、サーボモータからなる駆動源5とを備えている。ガイドレール4は、その一方の側面に保持機構部2を移動可能に懸架するレール部4aを有したもので、その一端側がコンベア等の移送装置C(図1参照)によって移送されてくる薄板状ワークWの受け渡し位置の直上に配置され、他端側が薄板状ワークWの搬送先の直上に配置されている。駆動源5には、その回転軸ベルト等の連結部材(図示せず)が連結されており、この連結部材は、ガイドレール4に懸架された前記保持機構部2に連結している。このような構成によって駆動源5は、駆動して回転軸を回転させることにより、保持機構部2をガイドレール4に沿って搬送するようになっている。

0017

保持機構部2は、ガイドレール4の前記レール部4aに移動可能に取り付けられた昇降機構部6と、図2に示すように昇降機構部6に昇降可能に懸架された保持基板7と、この保持基板7の下面側に取り付けられた一対の第1支持バー8a、第1支持バー8aと、該第1支持バー8aに取付部材9aを介して取り付けられた複数の第2支持バー8bと、該第2支持バー8bに取付部材9bを介して取り付けられた吸着パッド10(保持部)および非接触チャック11と、を備えて構成されている。

0018

昇降機構部6は、前記駆動源5の連結部材に連結されてガイドレール4のレール部4aに沿って移動するように構成されたもので、複数のエアシリンダー(図示せず)を有し、これらの駆動によって保持基板7を所定のストロークで昇降させるようになっている。すなわち、下降した際に、前記吸着パッド10や非接触チャック11が薄板状ワークWに対して予め設定された高さ位置となるように、昇降機構部6はその昇降のストロークが設定されている。

0019

保持基板7は、昇降機構部6を除いた保持機構部2の平面図である図3に示すように矩形状の金属板であり、前記昇降機構部6のエアシリンダーに連結し、これの作動に伴って昇降するようになっている。なお、図1に示すようにこの保持基板7は、薄板状ワークWの中心部の直上に位置するように配置されている。そして、後述するようにこの薄板状ワークWを保持し上昇させて搬送する際には、保持基板7は薄板状ワークWの中心部の直上に位置した状態を維持して、搬送機構部3に搬送されるようになっている。

0020

一対の第1支持バー8a、第1支持バー8aは、保持基板7の両端部、本実施形態ではその長辺側の側端部に固定されたもので、図1に示すように前記ガイドレール4の長さ方向に沿って配置されている。これら第1支持バー8a、第1支持バー8aは、例えば鋼材など高強度の金属材によって形成されており、その長さが薄板状ワークWの長辺の長さにほぼ等しい長さに形成されている。

0021

第2支持バー8bは、図2に示すように取付部材9aを介して第1支持バー8aの下側に取り付けられたもので、図3に示すように矩形状の保持基板7に対してその長辺方向及び短辺方向にそれぞれ配置されている。すなわち、第2支持バー8bは格子状に組まれた状態で保持基板7の下方に配置され、これによって薄板状ワークWのほぼ全域をカバーするように形成配置されている。これら第2支持バー8bも、例えば鋼材など高強度の金属材によって形成されている。

0022

これら第2支持バー8bには、前述したように取付部材9bを介して吸着パッド10が取り付けられ、さらに非接触チャック11が取り付けられている。取付部材9bは、第2支持バー8bに螺子止め等によって固定された金具であり、その下端部に吸着パッド10を保持固定している。

0023

吸着パッド10(保持部)は、本実施形態では図1図3に示すように、薄板状ワークWの相対向する長辺の周縁部(非製品品質エリア)に対応する位置にて、取付部材9bを介してそれぞれ第2支持バー8bに取り付けられている。すなわち、本実施形態では薄板状ワークWの相対向する長辺に対応する位置に、それぞれ1個ずつ、合計2個の吸着パッド10が相対向して取り付けられ、配置されている。薄板状ワークWの長辺は、本実施形態では前記搬送機構部3のガイドレール4の長さ方向に沿って、すなわち搬送機構部3による搬送方向に沿って位置させられている。なお、吸着パッド10の数やその配置は、図1図3の例に限定されることなく、任意に設定することができる。例えば、薄板状ワークWの四隅に対応する位置に、それぞれ1個ずつ、合計4個の吸着パッド10を配置してもよい。

0024

これら吸着パッド10は、面で吸着する一般的な吸盤型のパッド、すなわちお椀型や皿型、さらにはベローズ式などのゴム樹脂からなる各種タイプの吸盤からなっている。本実施形態では、この吸着パッド10は吸着時における吸着面が長円形になっており、その短径が薄板状ワークWの非製品品質エリアの幅に相当する5mm〜10mm程度より短くなっている。これにより、吸着パッド10は吸着時において薄板状ワークWの非製品品質エリアを直接吸着保持し、製品品質エリアには接触しないようになっている。

0025

なお、この吸着パッド10は、例えばフレキシブルチューブ(図示せず)を介して真空ポンプ等の負圧発生手段(図示せず)に接続されている。これにより、吸着パッド10は負圧発生手段によって吸盤内が低真空の負圧とされ、この負圧力によって吸盤の開口面全体で面吸着するようになっている。

0026

非接触チャック11は、吸着力によって非接触で保持するもので、このような非接触チャック11としては、例えばベルヌーイ効果によって負圧を発現し、該負圧による吸着力によって薄板状ワークWを非接触で保持するように構成されたベルヌーイチャックが挙げられる。本実施形態では、非接触チャック11としてこのベルヌーイチャックが用いられる。この非接触チャック11(ベルヌーイチャック)は、非接触チャック11の縦断面図である図4(a)、および図4(a)のA−A線矢視断面図である図4(b)に示すように、有蓋円筒形状のチャック本体12を有して構成されている。このチャック本体12には、その内部に横断面円形状噴出凹部13が形成されており、さらに側壁には噴出凹部13の内壁面に沿うように空気を導入する一対の導入孔14が形成されている。

0027

一対の導入孔14には、フレキシブルチューブ(図示せず)を介して送気装置等の給気源(図示せず)が接続されており、この給気源から空気が給気され、図4(b)に示すように各導入孔14から空気が噴出凹部13の内壁面に沿って同じ旋回方向に噴出されるようになっている。このようにして一対の導入孔14から空気が噴出されると、この空気によって旋回流が形成される。

0028

この旋回流は、図4(a)に示すようにチャック本体12と薄板状ワークWとの間のクリアランス(隙間)から大気中に放出される。その際、この旋回流によってチャック本体12と薄板状ワークWとの間にエアクッションが形成される。また、噴き出された旋回流がチャック本体12の側周面側に向かうことにより、ベルヌーイ効果によって旋回流の内部、すなわちチャック本体12の中心部に低真空域が形成される。これによってチャック本体12は、低真空の負圧を発現し、該負圧によって吸着力(吸引力)を発揮することにより、エアクッションを介して薄板状ワークWを非接触で吸着保持(吸引保持)する。

0029

このような非接触チャック11は、図1図3に示すように特に薄板状ワークWの中央部の製品品質エリアに対応する位置にて、それぞれ第2支持バー8bに直接、あるいは図示しない取付部材を介して取り付けられている。すなわち、本実施形態では薄板状ワークWの中央部(製品品質エリア)に対応する位置に、縦横6個ずつ、合計36個の非接触チャック11が取り付けられ、配置されている。

0030

ただし、非接触チャック11の数は薄板状ワークWの大きさに応じて適宜に設定され、配置される。その際、従来のベルヌーイチャック(非接触チャック11)のみで薄板状ワークWを非接触に吸着保持する場合、吸着不足によって薄板状ワークWを落下しないように充分な数のベルヌーイチャックを配置する必要があるが、本実施形態では前述したように薄板状ワークWの非製品品質エリアを吸着パッド10で保持しているため、非接触チャック11の配置数を比較的少ない数に抑えることができる。

0031

次に、このような構成からなる非接触搬送装置1の動作について説明する。
まず、図1に示すように移送装置Cによって薄板状ワークWが非接触搬送装置1の直下に移送されて来る。本実施形態では、移送装置Cの移送方向と非接触搬送装置1の搬送方向とは直交するように構成されている。なお、移送装置Cは薄板状ワークWを浮上させて移送するもので、したがって薄板状ワークWの下面に対しても、非接触で移送するようになっている。

0032

このようにして薄板状ワークWが非接触搬送装置1の直下に移送されて来ると、非接触搬送装置1は搬送機構部3によって保持機構部2を薄板状ワークWの直上に移動させる。保持機構部2の移動およびその位置決めは、図示しない制御装置によるシーケンスによってサーボモータからなる駆動源5が駆動することで自動的になされる。これにより、保持機構部2は予め規定された位置に到達する。

0033

また、保持機構部2を予め規定された位置に到達させる前に、あるいは到達させた後、吸着パッド10に接続する負圧発生手段を作動させるとともに、非接触チャック11に接続する給気源から空気の給気を行う。これにより、吸着パッド10に吸着保持力を発揮させ、かつ、非接触チャック11に吸引保持力(吸着保持力)を発揮させる。

0034

このようにして保持機構部2が予め規定された位置に到達すると、図1に示すように吸着パッド10が薄板状ワークWの非製品品質エリアの直上に位置し、非接触チャック11が薄板状ワークWの製品品質エリアの直上に位置するようになる。そして、駆動源5の駆動が停止し、昇降機構部6によって保持機構部2が下降させられる。なお、昇降機構部6による保持機構部2の下降ストロークも、予め設定されている。

0035

このようにして保持機構部2を下降させると、吸着パッド10は薄板状ワークWの非製品品質エリアに当接してこれを直接吸着保持する。また、非接触チャック11は、薄板状ワークWの製品品質エリアに近接してこれを非接触で吸引保持する。
そして、このようにして吸着パッド10、非接触チャック11で対応する箇所を吸着保持あるいは吸引保持したら、昇降機構部6によって保持機構部2を上昇させる。これにより、薄板状ワークWを移送装置C上から上昇させる。

0036

その際、薄板状ワークWの中央部である製品品質エリアを複数の非接触チャック11によって吸引保持しているので、薄板状ワークWの中央部が自重で撓むのを防止することができる。また、非接触チャック11による吸引保持力だけでは薄板状ワークWを保持する力が充分でなくても、薄板状ワークWの非製品品質エリアを吸着パッド10によって吸着保持しているので、薄板状ワークWを確実に持ち上げて保持することができ、したがってこれが落下するのを回避することができる。

0037

次いで、搬送機構部3を駆動することにより、薄板状ワークWをガイドレール4に沿って搬送する。また、目的位置まで搬送したら、昇降機構部6によって保持機構部2を下降させ、その後、吸着パッド10に接続する負圧発生手段の作動を停止するとともに、非接触チャック11に接続する給気源からの空気の給気を停止することで、これら吸着パッド10、非接触チャック11による薄板状ワークWの保持を解除する。そして、その状態で昇降機構部6によって保持機構部2を上昇させることで、薄板状ワークWの搬送を終了する。

0038

本実施形態の非接触搬送装置1にあっては、保持機構部2が非接触チャック11と吸着パッド10とを有しているので、吸着パッド10によって非製品品質エリアを直接保持することで薄板状ワークWを容易に、かつ確実に保持することができるとともに、非接触チャック11によって製品品質エリアを保持することで薄板状ワークWの中央部の撓みを防止することができる。また、吸着パッド10によって薄板状ワークWを直接保持することで搬送時の水平方向加速度に影響されることなく、薄板状ワークWを安定して搬送することができ、したがって薄板状ワークWを予め決めた位置に確実に配置することができる。よって、非接触チャック11(ベルヌーイチャック)の個数を増やすことなく、薄板状ワークWの搬送を安定して行うことができる。

0039

また、保持機構部2(保持手段)における保持部として吸着パッド10を用いているので、簡易な構成で薄板状ワークWの非製品品質エリアを確実に保持することができる。
また、吸着パッド10が、薄板状ワークWの搬送方向に延在する辺の周縁部を保持するように構成されているので、図1に示したように移送装置Cの移送方向と非接触搬送装置1の搬送方向とが直交する場合にも、移送装置Cで移送されてきた薄板状ワークWの周縁部を容易に保持することができる。また、吸着パッド10に接続するフレキシブルチューブなどがガイドレール4などに干渉するのを回避することができる。

0040

なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、前記実施形態では非接触チャック11として、チャック本体12内に旋回流を形成し、この旋回流によって負圧を発現し、吸着力を発揮するタイプのものを用いたが、例えば旋回流を形成するのに代えて放射流を形成し、この放射流によって負圧を発現し、吸着力を発揮するタイプのものなど、吸着力によって薄板状ワークの製品品質エリアを非接触で保持することが可能な種々のタイプのものを、本発明における非接触チャックとして使用することができる。

0041

また、前記実施形態では薄板状ワークWの非製品品質エリアを保持する保持部として吸着パッド10を用いたが、このような吸着パッド10に代えて、クランプ部材を用いてもよい。クランプ部材としては、例えば図5に示す構造のものが用いられる。

0042

図5はクランプ部材20の側面図であり、このクランプ部材20は、下板21と上板22とを有し、これら下板21と上板22とをエアシリンダーによって接離可能に形成したものである。すなわち、クランプ部材20は2種類のエアシリンダーを有しており、第1のエアシリンダーは下板21を昇降動作させるように構成され、第2のエアシリンダーは下板21を水平動作させるように構成されている。このような構成によって下板21は、上板22側に水平移動させられることで互いの先端部が平面視して重なるようになっており、さらに上板22側に上昇させられることで、薄板状ワークWの非製品品質エリアを把持するようになっている。なお、このようなクランプ部材20は、非接触搬送装置の変形例を示す平面図である図6に示すように、一対の第1支持バー8a、第1支持バー8aの端部に取付板19を介して取り付けられる。

0043

前記の下板21、上板22は、前記第1支持バー8aと直交する方向に延在する細板材によって形成されている。これら下板21、上板22は、薄板状ワークWの非製品品質エリアを把持する部位となるため、その長さ方向の全体で保持力を均一に発揮できるよう、強度の高い鋼材等の金属材で形成されている。また、本例では、図6に示すように薄板状ワークWの短辺の長さを二等分する長さより少し短い長さに形成されている。これにより、隣り合うクランプ部材20、クランプ部材20間において、それぞれの下板21、上板22が互いに干渉しないようになっている。また、隣り合う一対のクランプ部材20、クランプ部材20により、薄板状ワークWの短辺のほぼ全域を保持するようになっている。

0044

また、これら下板21、上板22の内面、すなわち図5に示すように下板21の上面と上板22の下面には、薄板状ワークWの非製品品質エリアを直接把持するそれぞれの先端部に、把持部材23a(把持部材23b)が取り付けられている。把持部材23a(把持部材23b)は、ゴムや軟質樹脂などの弾性が顕著な高分子材料であるエラストマーからなるもので、比較的大きな摩擦係数を有する。このようなエラストマーのうち、例えばフッ素ゴムが、耐薬品性耐熱性などに優れるなど化学的に安定であり、汚染するおそれがないことなどから、把持部材23a(把持部材23b)として好適に用いられる。

0045

このような構成のクランプ部材20を保持部として有した非接触装置でも、図1に示した非接触搬送装置1と同様にして薄板状ワークWを非接触で搬送することができる。
すなわち、移送装置Cによって薄板状ワークWが非接触搬送装置1の直下に移送されて来る。その際、本例でも移送装置Cの移送方向と非接触搬送装置の搬送方向とは直交するように構成されている。また、移送装置Cは、その幅が矩形状の薄板状ワークWの長辺の長さより僅かに短く形成されている。したがって薄板状ワークWは、その両方の短辺側が、ほぼ非製品品質エリアの幅に対応する長さ分、すなわち5mm〜10mm程度、移送装置Cから外側にはみ出て移送されて来る。なお、移送装置Cは前述したように薄板状ワークWを浮上させ、したがって薄板状ワークWの下面に対して非接触で移送するようになっている。

0046

このようにして薄板状ワークWが非接触搬送装置1の直下に移送されて来ると、非接触搬送装置は搬送機構部3によって保持機構部2を薄板状ワークWの直上に移動させる。保持機構部2の移動およびその位置決めは、図示しない制御装置によるシーケンスによってサーボモータからなる駆動源5が駆動することで自動的になされる。これにより、保持機構部2は予め規定された位置に到達する。

0047

このようにして保持機構部2が予め規定された位置に到達すると、図1に示すようにクランプ部材20が薄板状ワークWの非製品品質エリアの直上に位置し、非接触チャック11が薄板状ワークWの製品品質エリアの直上に位置するようになる。そして、駆動源5の駆動が停止し、昇降機構部6によって保持機構部2が下降させられる。その際、クランプ部材20は、図7(a)に示すようにその上板22の把持部材23aが薄板状ワークWの短辺側の周縁部、すなわち非製品品質エリアの直上に位置するように設定されている。また、下板21は、前記した第2のエアシリンダーにより、上板22に対して水平方向に離間した位置に移動させられている。したがって、下板21は平面視して薄板状ワークWの外方に位置させられている。

0048

このようにしてクランプ部材20が図7(a)に示した位置に到達し、昇降機構部6によって保持機構部2が下降させられると、続いて前記した第1のエアシリンダーにより、下板21が上板22より下側に下降する。これにより、図7(b)に示すように上板22は、その把持部材23aを薄板状ワークWの、移送装置Cからはみ出た非製品品質エリアの上面に当接または近接させ、一方、下板21は、薄板状ワークWの外方でかつ下方に位置させられる。

0049

このようにして保持機構部2を下降させたら、図7(c)に示すように前記した第2のエアシリンダーによって下板21を上板22側に水平移動させ、その把持部材23bを薄板状ワークWの、移送装置Cからはみ出た非製品品質エリアの下面の直下に位置させる。これにより、下板21の把持部材23bは上板22の把持部材23aと平面視して重なるようになる。

0050

続いて、図7(d)に示すように前記した第1のエアシリンダーによって下板21を上板22側に上昇させ、把持部材23bを薄板状ワークWの非製品品質エリアの下面に当接させる。そして、把持部材23bによって薄板状ワークWの非製品品質エリアを押圧することにより、上板22の把持部材23aと下板21の把持部材23bとの間に薄板状ワークWの非製品品質エリアを把持し、挟持する。一方、非接触チャック11は、図1に示した非接触搬送装置1の場合と同様に作動し、薄板状ワークWの製品品質エリアを非接触で吸引保持(吸着保持)する。

0051

このようにしてクランプ部材20の把持部材23a、把持部材23b間に薄板状ワークWの非製品品質エリアを挟持(把持)し、さらに非接触チャック11で薄板状ワークWの製品品質エリアを吸引保持したら、図7(e)に示すように昇降機構部6によって保持機構部2を上昇させる。これにより、図7(e)中に実線で示すように薄板状ワークWを移送装置C上から上昇させる。

0052

その際、クランプ部材20によって非製品品質エリアを直接保持することにより、薄板状ワークWを容易に、かつ確実に保持することができる。また、非接触チャック11によって製品品質エリアを保持するので、薄板状ワークWの中央部の撓みを防止することができる。また、クランプ部材20によって薄板状ワークWを直接保持することで搬送時の水平方向加速度に影響されることなく、薄板状ワークWを安定して搬送することができ、したがって薄板状ワークWを予め決めた位置に確実に配置することができる。
よって、本例の非接触搬送装置にあっても、非接触チャック11(ベルヌーイチャック)の個数を増やすことなく、薄板状ワークWの搬送を安定して行うことができる。

0053

1…非接触搬送装置、2…保持機構部(保持手段)、3…搬送機構部(搬送手段)、
8a…第1支持バー、8b…第2支持バー、10…吸着パッド(保持部)、
11…非接触チャック、20…クランプ部材(保持部)、C…移送装置、
W…薄板状ワーク

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