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技術 レゾルバのステータ及びレゾルバ

出願人 日本航空電子工業株式会社
発明者 山本浩嗣
出願日 2013年7月4日 (6年9ヶ月経過) 出願番号 2013-140634
公開日 2015年1月22日 (5年3ヶ月経過) 公開番号 2015-015810
状態 特許登録済
技術分野 感知要素の出力の伝達及び変換 特殊な電動機、発電機
主要キーワード 各分割カバー 深座ぐり 角丸長方形 分割カバー 一カバー 一部透視図 ポッティング処理 長円柱
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2015年1月22日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (11)

課題

ステータが大径であっても生産性、性能に優れたステータを得られるようにする。

解決手段

ティース11を有する環状のコア10と、その一部を覆うインシュレータ20と、ティース11に巻き付けられた巻線と、巻線、渡り線を覆うカバーを有するレゾルバのステータにおいて、インシュレータ20は巻線部21と渡り線部22と防護壁23と島部24,25を備え、島部24,25にはインシュレータ20の周方向に長い断面形状を有するボス31と、ボス31と連結されて位置決め凸部32が形成されている。各分割カバー40は突出部43,44を有し、突出部43,44に穴45が形成されている。分割カバー40は穴45の内周面に形成された位置決め凹部47が位置決め凸部32と嵌合され、防護壁23と位置決め凸部32との間に側壁42が挟み込まれて位置決めされ、穴45に挿通されたボス31の先端が溶融されて島部24,25に溶着固定される。

概要

背景

図10はこの種のカバー具備するレゾルバステータの従来例として、特許文献1に記載されている構成を示したものである。図10中、1は輪状ステータ体であり、この輪状ステータ体1の内方に突出して形成された複数の磁極2には、第1、第2輪状絶縁板3,4を介してステータ巻線5が巻回されている。輪状ステータ体1の両面には、樹脂ポッティング処理6又は接着によって第1、第2輪状巻線カバー7,8が取り付けられ、これら第1、第2輪状巻線カバー7,8によってステータ巻線5は覆われている。

概要

ステータが大径であっても生産性、性能に優れたステータを得られるようにする。ティース11を有する環状のコア10と、その一部を覆うインシュレータ20と、ティース11に巻き付けられた巻線と、巻線、渡り線を覆うカバーを有するレゾルバのステータにおいて、インシュレータ20は巻線部21と渡り線部22と防護壁23と島部24,25を備え、島部24,25にはインシュレータ20の周方向に長い断面形状を有するボス31と、ボス31と連結されて位置決め凸部32が形成されている。各分割カバー40は突出部43,44を有し、突出部43,44に穴45が形成されている。分割カバー40は穴45の内周面に形成された位置決め凹部47が位置決め凸部32と嵌合され、防護壁23と位置決め凸部32との間に側壁42が挟み込まれて位置決めされ、穴45に挿通されたボス31の先端が溶融されて島部24,25に溶着固定される。

目的

この発明の目的はこのような状況に鑑み、大型のレゾルバであってもカバーを高精度で歩留まりよく作製できるようにし、かつカバーの取り付けも容易として、生産性及び性能に優れたステータを提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
0件

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請求項1

複数のティース内周面もしくは外周面周方向に配列されて突出形成されている環状のコアと、前記コアの一部を覆う環状のインシュレータと、前記インシュレータを介して前記ティースに巻き付けられた巻線と、前記巻線及びその延長渡り線を覆うカバーとを有するレゾルバステータであって、前記インシュレータは、前記巻線が巻き付けられる巻線部と、前記渡り線が配置される環状の渡り線部と、前記渡り線部の前記巻線部とは反対側に設けられた防護壁と、前記防護壁の前記渡り線部とは反対側に周方向に配列されて突出形成された複数の島部とを備え、前記島部には前記インシュレータの周方向に長い断面形状を有するボスが形成され、さらに前記ボスより低い位置決め凸部が前記ボスの前記防護壁側の側面の一部と連結されて前記島部に形成されており、前記カバーは周方向に分割された複数の分割カバーよりなり、前記各分割カバーは前記島部に対応する突出部を有し、前記突出部には穴が形成されており、前記各分割カバーは、前記穴の内周面に形成された位置決め凹部が前記位置決め凸部と嵌合され、前記防護壁と前記位置決め凸部との間に側壁が挟み込まれて位置決めされ、前記穴に挿通された前記ボスの先端が溶融されて前記島部に溶着固定されていることを特徴とするレゾルバのステータ。

請求項2

請求項1記載のレゾルバのステータにおいて、前記穴のまわりに前記溶融されたボスが充填溶着される凹部が形成されていることを特徴とするレゾルバのステータ。

請求項3

請求項2記載のレゾルバのステータにおいて、前記凹部はさら座ぐり形状をなすものとされていることを特徴とするレゾルバのステータ。

請求項4

請求項1乃至3記載のいずれかのレゾルバのステータにおいて、前記溶着固定は超音波溶着によることを特徴とするレゾルバのステータ。

請求項5

請求項1乃至4記載のいずれかのステータを有することを特徴とするレゾルバ。

技術分野

0001

この発明は回転角を検出するレゾルバに関し、特にその巻線部及び渡り線部を保護するカバーを有するステータの構造に関する。

背景技術

0002

図10はこの種のカバーを具備するレゾルバのステータの従来例として、特許文献1に記載されている構成を示したものである。図10中、1は輪状ステータ体であり、この輪状ステータ体1の内方に突出して形成された複数の磁極2には、第1、第2輪状絶縁板3,4を介してステータ巻線5が巻回されている。輪状ステータ体1の両面には、樹脂ポッティング処理6又は接着によって第1、第2輪状巻線カバー7,8が取り付けられ、これら第1、第2輪状巻線カバー7,8によってステータ巻線5は覆われている。

先行技術

0003

特開2003−209946号公報

発明が解決しようとする課題

0004

ところで、レゾルバは従来より各種サーボ機構において使用されているが、近年においてはハイブリッド車などへのアプリケーションのために、外径が例えばφ250mm程度といった従来より大型のレゾルバが必要とされる状況が生じている。

0005

このような大型のレゾルバでは、ステータがカバーを備える構成の場合、カバーも大型(大径)となるが、カバーは一般に薄さが要求されるものであって、薄い大径のカバーを一部品で構成することは生産性や性能面で問題が生じていた。

0006

即ち、カバーは一般に樹脂製とされるが、大径のカバーを反りや凹凸のない十分な平面度歩留まりよく作製することは容易ではなく、そのような反りや凹凸のあるカバーを取り付けることはカバー取り付けによる反力内部応力)がステータ内に生じることになり、性能や強度、寿命に悪影響を及ぼす要因となる。

0007

この発明の目的はこのような状況に鑑み、大型のレゾルバであってもカバーを高精度で歩留まりよく作製できるようにし、かつカバーの取り付けも容易として、生産性及び性能に優れたステータを提供することにある。

課題を解決するための手段

0008

請求項1の発明によれば、複数のティース内周面もしくは外周面周方向に配列されて突出形成されている環状のコアと、コアの一部を覆う環状のインシュレータと、インシュレータを介してティースに巻き付けられた巻線と、巻線及びその延長の渡り線を覆うカバーとを有するレゾルバのステータにおいて、インシュレータは巻線が巻き付けられる巻線部と、渡り線が配置される環状の渡り線部と、渡り線部の巻線部とは反対側に設けられた防護壁と、防護壁の渡り線部とは反対側に周方向に配列されて突出形成された複数の島部とを備え、島部にはインシュレータの周方向に長い断面形状を有するボスが形成され、さらにボスより低い位置決め凸部がボスの防護壁側の側面の一部と連結されて島部に形成され、カバーは周方向に分割された複数の分割カバーよりなり、各分割カバーは島部に対応する突出部を有し、突出部には穴が形成され、各分割カバーは前記穴の内周面に形成された位置決め凹部が前記位置決め凸部と嵌合され、前記防護壁と前記位置決め凸部との間に側壁が挟み込まれて位置決めされ、前記穴に挿通された前記ボスの先端が溶融されて前記島部に溶着固定されているものとされる。

0009

請求項2の発明では請求項1の発明において、前記穴のまわりに溶融されたボスが充填溶着される凹部が形成されているものとされる。

0010

請求項3の発明では請求項2の発明において、前記凹部はさら座ぐり形状をなすものとされる。

0011

請求項4の発明では請求項1乃至3のいずれかの発明において、溶着固定は超音波溶着によるものとされる。

0012

請求項5の発明によれば、レゾルバは請求項1乃至4記載のいずれかのステータを有するものとされる。

発明の効果

0013

この発明によれば、カバーを分割し、複数の分割カバーによって巻線及び渡り線を覆うカバーを構成するものとなっている。よって、ステータが大径であっても平面度に優れた高精度のカバーを歩留まりよく作製することができ、カバー取り付けによりステータ内に性能や強度、寿命等に悪影響を及ぼす内部応力が生じるといった問題も発生しない。

0014

また、カバーを分割したことにより、分割カバーの溶着固定時に不安定となり、倒れるといった問題が新たに顕在化するが、この発明ではそのような倒れを防止することができるものとなっており、溶着固定を容易に行えるものとなっている。

0015

加えて、溶着固定に使用するボスをインシュレータの周方向に長い断面形状を有するものとして断面積を大とし、さらに位置決め凸部をボスに連結して設けているため、ボスの強度が向上し、溶着時にボスが座屈するといった現象の発生を回避することができる。

0016

これらの点でこの発明によれば、カバーを備える大径のステータであっても生産性及び性能に優れたステータを得ることができる。

図面の簡単な説明

0017

この発明によるステータの一実施例を示す平面図。
コアとインシュレータがインサート成形によって一体化された状態を示す平面図。
コアとインシュレータがインサート成形によって一体化された状態を示す斜視図。
Aは図2のA部部分拡大図、Bは図3のB部部分拡大図。
Aは図1に示したステータにおける第1の分割カバーを示す平面図、Bはその正面図、Cはその底面図、DはBのGG線拡大断面図、EはDのH部部分拡大図、FはCのJ部部分拡大図。
Aは図5に示したカバーの上方から見た斜視図、Bは図5に示したカバーの下方から見た斜視図、Cは図5に示したカバーの突出部の上方から見た部分拡大斜視図、Dは図5に示したカバーの突出部の下方から見た部分拡大斜視図。
Aは図1に示したステータにおける分割カバーの取り付けを説明するための図、Bは図1に示したステータにおける分割カバーの取り付けを説明するための一部透視図とした図。
図1に示したステータにおける分割カバーの取り付けを説明するための図。
図1に示したステータとロータとよりなるレゾルバの平面図。
ステータの従来構成例を示す断面図。

実施例

0018

この発明の実施形態を図面を参照して実施例により説明する。

0019

図1はこの発明によるレゾルバのステータの一実施例の構成を示したものであり、ステータ100はコア10とインシュレータ20と巻線(図1では隠れて見えない)と7つの第1の分割カバー40と第2の分割カバー50とによって構成されている。なお、ハーネスの図示は省略している。

0020

図2〜6はコア10、インシュレータ20及び第1の分割カバー40の詳細を示したものであり、まず、これら図2〜6を参照して各部の構成を説明する。

0021

磁性材よりなるコア10は図3に示したように環状をなし、その内周面には複数のティース11が周方向に等角間隔で配列されて突出形成されている。ティース11はこの例では12°間隔で30個形成されている。

0022

インシュレータ20はインサート成形によりコア10と一体化される。図2及び図3はコア10とインシュレータ20がインサート成形によって一体化された状態を示したものであり、図4はその要部詳細を示したものである。

0023

インシュレータ20は図2,3に示したようにコア10の一部を覆う環状をなし、この例ではコア10の内周側においてコア10の表裏両面を覆うように形成されている。インシュレータ20は巻線部21と渡り線部22と防護壁23と島部24,25とハーネス取り付け部26とを備えている。インシュレータ20の構成材料には例えばナイロンが使用される。

0024

巻線部21は各ティース11の回りを囲むように設けられており、この巻線部21に巻線(励磁巻線検出巻線)が巻き付けられる。なお、各ティース11の内端面(ロータと対向する先端面)は露出されている。

0025

渡り線部22は巻線部21に続いてコア10の表面10a及び裏面10bにそれぞれ設けられている。各巻線部21の外周側に位置して環状をなす渡り線部22は巻線の延長である渡り線を配置するための部分であり、基本的には一方の渡り線部22(この例ではコア10の表面10a側の渡り線部22)が渡り線配置に使用される。

0026

コア10の表面10a側の渡り線部22には各巻線部21(各ティース11)に対応して図4A,Bに示したように長円柱状の渡りボス27が突出形成され、さらに渡りボス27を周方向に挟んで2本の円柱状の渡りボス28が突出形成されている。また、隣接する巻線部21間にそれぞれ位置するように略半円柱状をなす渡りボス29が突出形成されている。これら渡りボス27〜29は渡り線の引っ掛けや位置決めに使用される。

0027

防護壁23は渡り線部22の外周(巻線部21とは反対側)に設けられている。防護壁23は突条をなし、渡り線部22を囲むように形成されている。防護壁23は巻線部21に巻き付けられた巻線に塗布、含浸されるワニスが外周に流れ出すのを防止すると共に、渡り線の外側へのはみ出しを防止し、渡り線を保護する機能を有する。

0028

島部24,25は防護壁23の外周(渡り線部22とは反対側)にコア10と接し、径方向に突出されて形成されている。島部24は島部25より周方向の長さが大とされ、90°間隔で周方向に配列されて形成されている。図2,3では隠れて見えないが、コア10の裏面10b側には4つの島部24が設けられている。一方、コア10の表面10a側においては島部24は3つとされ、島部24が欠落した部分にはハーネス取り付け部26が形成されている。ハーネス取り付け部26はコア10の外周より突出するように形成されている。なお、ハーネス取り付け部26の詳細説明はこの例では省略する。

0029

島部25は周方向において島部24を挟むように形成されている。環状をなすインシュレータ20を、島部24がそれぞれ円弧の中央に位置するように中心角90°の4つの領域に分けた場合、コア10の表面10aのハーネス取り付け部26が位置する領域を除いて、コア10の表面10a及び裏面10bの各領域には1つの島部24と2つの島部25が存在している。島部25は中心角90°の円弧の両端にそれぞれ位置されている。なお、ハーネス取り付け部26が位置するコア10の表面10aの領域の中心角90°の円弧の両端にも島部25がそれぞれ形成されている。

0030

各島部25には環状をなすインシュレータ20の周方向に長い断面形状を有するボス31が形成されている。ボス31はこの例では図4に示したように断面形状が長円形角丸長方形)をなす長円柱形状をなすものとされている。各島部25には、さらに位置決め凸部32が形成されている。位置決め凸部32は四角柱状をなし、ボス31の防護壁23側の側面の一部と連結されて形成されている。位置決め凸部32はボス31より高さが低く、周方向の長さはボス31より短かいものとされ、ボス31の防護壁23側の側面の中央から突出した形態となっている。

0031

一方、各島部24にも島部25と同様にボス31と位置決め凸部32が形成されている。なお、ハーネス取り付け部26の幅方向両端には図2,3に示したようにボス31がそれぞれ形成されている。

0032

分割カバー40は図5,6に示したように中心角90°の円弧状をなす天板部41と、天板部41の外周に設けられた側壁42と、側壁42の外周に径方向に突出して設けられた突出部43,44とよりなる。突出部43は分割カバー40の周方向中央に位置し、突出部44は分割カバー40の周方向両端にそれぞれ位置されている。これら突出部43,44はインシュレータ20を中心角90°で分けた領域に存在する島部24及び2つの島部25の位置、大きさとそれぞれ対応するように形成されている。

0033

突出部43,44には長円形をなす穴45がそれぞれ貫通形成されている。穴45はインシュレータ20のボス31と対応して形成されている。突出部43,44の上面側において各穴45のまわりには図5E,図6Cに示したようにさら座ぐり形状をなす凹部46が形成されている。また、側壁42側において穴45の内周面には図5E,図6Dに示したように位置決め凹部47が形成されている。位置決め凹部47はインシュレータ20の位置決め凸部32と対応して形成されている。

0034

一方、分割カバー50は図1に示したような形状を有するものとされ、中心角90°の円弧状をなす天板部51と、天板部51の外周に設けられた側壁52と、側壁52の外周に径方向に突出して設けられた突出部53と、ハーネスカバー部54とよりなる。突出部53は分割カバー50の周方向両端にそれぞれ位置し、これら突出部53の間にハーネスカバー部54が形成されている。

0035

突出部53はインシュレータ20のハーネス取り付け部26が位置する中心角90°の領域に存在する島部25の位置、大きさと対応するように形成されており、分割カバー40の突出部44と同じ構成を有するものとされる。即ち、突出部53には図1では隠れて見えないが、分割カバー40の突出部44の凹部46を備えた穴45及び位置決め凹部47と同じ凹部を備えた穴と位置決め凹部が形成されている。

0036

ハーネスカバー部54はインシュレータ20のハーネス取り付け部26と対応し、天板部51の外周側から径方向に突出して形成されており、ハーネス取り付け部26を蓋する形状を有する。ハーネスカバー部54の幅方向両端にはハーネス取り付け部26のボス31と対応して、図1では隠れて見えないが、凹部を備えた穴がそれぞれ形成されている。この凹部を備えた穴は分割カバー40の突出部44の凹部46を備えた穴45と同じ形状とされている。

0037

上述したように、この例では各ティース11に巻き付けられる巻線及びその延長の渡り線を覆うカバーを一部品で構成するのではなく、周方向に分割した分割カバー40,50によって構成するものとなっている。周方向の分割数は4であり、コア10の表面10a側のカバーは3つの分割カバー40と1つの分割カバー50によって構成され、コア10の裏面10b側のカバーは4つの分割カバー40によって構成されている。これら分割カバー40,50は樹脂製とされ、構成材料はこの例ではインシュレータ20と同様、ナイロンとされる。

0038

分割カバー40,50の取り付けは溶着固定によって行われ、分割カバー40は突出部43,44においてインシュレータ20の島部24,25に位置決め固定される。また、分割カバー50は突出部53がインシュレータ20の島部25に位置決め固定され、ハーネスカバー部54がインシュレータ20のハーネス取り付け部26に固定される。

0039

図7及び図8は分割カバー40の突出部44がインシュレータ20の島部25に位置決め固定される様子を示したものである。なお、図7,8では巻線や渡り線の図示は省略している。

0040

図7に示したように突出部44に形成されている位置決め凹部47は島部25に形成されている位置決め凸部32に嵌合されて位置決めされ、島部25に形成されているボス31は突出部44の穴45に挿通される。この際、分割カバー40の側壁42はインシュレータ20の防護壁23と位置決め凸部32との間に挟み込まれるものとなっている。

0041

溶着固定は例えば超音波溶着によって行われ、ボス31の先端が超音波印加により溶融され、溶融されたボス31が図8に示したように穴45のまわりに形成されている凹部46に充填溶着されることによって突出部44は島部45に固定される。溶融固定されたボス31の上面は凹部46内に位置し、突出部44の上面より突出するようなバリは発生しない。

0042

分割カバー40の突出部43も突出部44と同様、位置決め凹部47がインシュレータ20の島部24の位置決め凸部32に嵌合されて位置決めされ、穴45に挿通された島部24のボス31の先端が超音波印加により溶融され、溶融されたボス31が穴45のまわりの凹部46に充填溶着されることによって島部24に固定される。この部分においても分割カバー40の側壁42はインシュレータ20の防護壁23と位置決め凸部32との間に挟み込まれる。

0043

分割カバー40は上記のように3箇所で位置決めされると共に3箇所で側壁42がインシュレータ20に挟み込まれ、3つのボス31によって固定されるものとなっており、コア10の表面10a側に3つ、裏面10b側に4つ取り付けられる。

0044

分割カバー50の突出部53も分割カバー40の突出部44と同様に位置決めされて固定され、側壁52はインシュレータ20の防護壁23と位置決め凸部32との間に挟み込まれる。ハーネスカバー部54は幅方向両端の穴にハーネス取り付け部26のボス31が挿通され、ボス31の先端が超音波印加により溶融され、溶融されたボス31が穴のまわりの凹部に充填溶着されることによってハーネス取り付け部26に固定される。

0045

分割カバー50は上記のように2箇所で位置決めされると共に2箇所で側壁52がインシュレータ20に挟み込まれ、4つのボス31によって固定されるものとなっている。

0046

上述したように、分割カバー40,50は位置決め凹部がインシュレータ20の位置決め凸部32に嵌合されて位置決めされるものとなっているが、嵌合による内部応力の発生や変形を回避すべく、嵌合状態はわずかに隙間があるものとなっている。よって、特に分割カバー40においては、その形状によってインシュレータ20上に載置した際、倒れるような力が発生するため、位置決め凸部32との嵌合だけでは倒れてしまうといった状況が生じるが、この例では側壁42がインシュレータ20に挟み込まれる構造となっているため、そのような倒れを防止することができるものとなっている。従って、分割カバー40をインシュレータ20上に載置した際、分割カバー40は倒れることなく(動くことなく)、良好に位置決めされるため、溶着固定を治具等を用いることはなく、良好に行うことができる。なお、分割カバー50はその形状からインシュレータ20上に載置した際、倒れるといったことは生じにくい。

0047

以上説明したように、この例ではカバーを環状の単一部品で構成するのではなく、周方向に分割した分割カバーによって構成するものとなっている。よって、レゾルバが大型であり、大径の(大きな)カバーが必要とされる場合であっても、環状の単一カバーを作製する場合と比べ、反りや凹凸のない良好な平面度を得やすく、歩留まりよくカバーを作製することができる。

0048

また、歩留まりよく、十分な平面度を有するカバーを作製することができるため、カバー取り付けによってステータ内に内部応力が生じるといった問題も回避することができる。

0049

さらに、環状のカバーであれば、インシュレータ上に載置しても不安定ではなく、そのまま溶着固定することができたのに対し、カバーを分割したことによって不安定となり、インシュレータ上に載置した際に倒れるといった問題が新たに生じるものの、上述したような構成を採用したことにより、そのような倒れも防止することができる。

0050

加えて、溶着固定に使用するボスを単なる円柱形状ではなく、長円柱形状とし、断面積を大としたことにより、ボスの強度、耐久性が向上し、また仮に溶着時の印加荷重が大きくなったとしてもボスの根元が先に溶け出すといったいわゆる座屈現象を回避することができ、これにより溶着固定時の条件管理が容易となる。なお、ボスの根元に位置決め凸部が連結して設けられているため、この点でも溶着固定強度の低下を招く恐れがあるボスの座屈が防止される。

0051

よって、これらの点で、大型のレゾルバであっても、生産性及び性能に優れたステータを提供することができる。

0052

上述した実施例ではボス31が挿通される穴のまわりに形成されている凹部はさら座ぐり形状をなすものとしているが、これに限らず、例えば深座ぐり形状としてもよい。

0053

また、ボス31は上述した例では長円柱形状とし、インシュレータの周方向に長い長円形の断面形状を有するものとしているが、これに限らず、断面形状を長方形としてもよく、また断面形状をインシュレータの周に沿うような円弧形状としてもよい。いずれにしてもインシュレータの周方向に長くして断面積を増大させる。これにより、例えばレゾルバの取り付け時等において、ステータ(コア)の外周側の部分を有効に使用することが可能となる。

0054

カバーの分割数は4とし、4つの分割カバーによって環状のカバーを構成しているが、カバーの分割数は4に限定されるものではない。

0055

分割カバーの溶着固定には超音波溶着に限らず、熱溶着等も用いることができる。但し、熱溶着等に比べ、超音波溶着は接続界面をより高いエネルギー消滅させて一体化固定することができる点で優れている。

0056

図9図1に示したステータ100にロータ200が組み込まれてなるレゾルバの構成を示したものであり、ロータ200が取り付けられる回転シャフトの図示は省略している。レゾルバはこのようにロータ200がステータ100の内周側に配置されるものに限らず、ティースがステータのコアの外周に形成され、ロータがステータの外周に配置されるものであっても、この発明を適用することができる。

0057

1輪状ステータ体2磁極
3 第1輪状絶縁板4 第2輪状絶縁板
5ステータ巻線6ポッティング処理
7 第1輪状巻線カバー8 第2輪状巻線カバー
10コア10a 表面
10b 裏面 11ティース
20インシュレータ21巻線部
22渡り線部 23防護壁
24,25島部26ハーネス取り付け部
27,28,29渡りボス31 ボス
32位置決め凸部 40分割カバー
41天板部 42側壁
43,44 突出部 45 穴
46 凹部 47 位置決め凹部
50 分割カバー 51 天板部
52 側壁 53 突出部
54ハーネスカバー部 100ステータ
200 ロータ

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    【課題】プラズマ密度の面内均一性を高めつつ、RF応答性も高めることができる静電チャックを提供する。【解決手段】第1主面と第2主面とを有するセラミック誘電体基板と、ベースプレートと、セラミック誘電体基板... 詳細

  • 株式会社デンソーの「 回転検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置」が 公開されました。( 2020/02/13)

    【課題】絶対角の演算を適切に実施可能な回転検出装置、および、これを用いた電動パワーステアリング装置を提供する。【解決手段】ECU10は、複数のセンサ部130、230と、制御部170、270と、を備える... 詳細

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