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技術 液滴吐出装置

出願人 三星ディスプレイ株式會社
発明者 辛慧媛
出願日 2013年12月9日 (6年2ヶ月経過) 出願番号 2013-254129
公開日 2014年7月10日 (5年7ヶ月経過) 公開番号 2014-128789
状態 特許登録済
技術分野 塗布装置2(吐出、流下) 塗布装置3(一般、その他)
主要キーワード 物流費 リニアモーションガイド 提供ユニット 液滴乾 ディスプレイパネル製造装置 ギアモジュール 線形運動 整列マーク
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (14)

課題

液滴吐出装置を提供する。

解決手段

ステージ摺動部と、ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板が載置される第1ステージと、ステージ摺動部に設けられ、メイン基板が載置される第2ステージと、ステージ摺動部から離隔して設けられてテスト基板に有機物液滴を吐出した後、有機物液滴のパターン検査して吐出される有機物液滴のパターンを修正し、メイン基板に吐出するパターニング部と、を備える液滴吐出装置。

概要

背景

移動性基盤とする電子機器幅広く使われている。移動用電子機器には、携帯電話のような小型電子機器以外にも、最近ではタブレットPCが広く使われている。

このような移動型電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージまたは映像などの視覚情報をユーザに提供するためにディスプレイ装置を含む。最近、ディスプレイ装置を駆動するためのその他の部品が小型化するにつれて、ディスプレイ装置が電子機器で占める比重が段々と増加しつつあり、扁平な状態で所定の角度を持つように曲げられる構造も開発されている。

一方、前記のようなディスプレイ装置は、その内部に発光部を持つディスプレイパネルを備える。この時、ディスプレイパネルは多様な形態に形成され、多様な製造方法で製造される。

かかるディスプレイパネルには、多様な層が形成される時に多様な工程が使われる。特に、ディスプレイパネルの多様な層のうち有機物を使う場合、プリンティング工程により有機物を積層するか、または構造物を形成する。この時、一般的にプリンティング技法では、有機物液滴を吐出して多様な層または構造物を形成する。特に、前記のようなプリンティング技法では、有機物液滴のパターンをどのように形成するかによって、ディスプレイパネルの解像度などの因子を定められるため、予めテスト基板に有機物液滴をパターニングした後、メイン基板にパターニングすることが一般的である。

概要

液滴吐出装置を提供する。ステージ摺動部と、ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板が載置される第1ステージと、ステージ摺動部に設けられ、メイン基板が載置される第2ステージと、ステージ摺動部から離隔して設けられてテスト基板に有機物液滴を吐出した後、有機物液滴のパターンを検査して吐出される有機物液滴のパターンを修正し、メイン基板に吐出するパターニング部と、を備える液滴吐出装置。

目的

このような移動型電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージまたは映像などの視覚情報をユーザに提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

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請求項1

ステージ摺動部と、前記ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板が載置される第1ステージと、前記ステージ摺動部に設けられ、メイン基板が載置される第2ステージと、前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、前記有機物液滴のパターン検査して吐出される前記有機物液滴のパターンを修正し、前記メイン基板に吐出するパターニング部と、を備える液滴吐出装置

請求項2

前記第1ステージに設けられ、前記テスト基板を前記第1ステージから離隔させるテスト基板昇降ユニットをさらに備える請求項1に記載の液滴吐出装置。

請求項3

前記テスト基板を、前記第1ステージにローディングさせ、もしくは前記第1ステージからアンローディングさせ、または前記メイン基板を、前記第2ステージにローディングさせ、もしくは前記第2ステージからアンローディングさせる基板提供ユニットをさらに備える請求項1または2のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項4

前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴を乾燥させる液滴乾ユニットをさらに備える請求項1〜3のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項5

前記液滴乾燥ユニットと対向して配され、前記テスト基板が載置される第3ステージをさらに備える請求項4に記載の液滴吐出装置。

請求項6

前記パターニング部は、前記ステージ摺動部から一定間隔離隔して配され、前記ステージ摺動部の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレームと、前記メインフレームに設けられ、前記テスト基板または前記メイン基板に前記有機物液滴を吐出する液滴吐出部と、を備える請求項1〜5のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項7

前記パターニング部は、前記メインフレームに設けられ、前記液滴吐出部から前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備える請求項6に記載の液滴吐出装置。

請求項8

前記パターニング部は、前記メインフレーム及び前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備える請求項6または7のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項9

前記パターン分析部の下面に配され、前記有機物液滴のパターンが形成された前記テスト基板が載置される第4ステージをさらに備える請求項8に記載の液滴吐出装置。

請求項10

前記第1ステージには、整列マークが形成された請求項1〜9のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項11

前記第1ステージ内部に設けられ、前記第1ステージの表面温度を制御するテスト基板加熱ユニットをさらに備える請求項1〜10のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項12

前記第1ステージと前記第2ステージとは、互いに離隔して設けられるか、または連結されるように設けられる請求項1〜11のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項13

ステージ摺動部と、前記ステージ摺動部に設けられ、テスト基板及びメイン基板が載置される第2ステージと、前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、前記有機物液滴のパターンを検査し、吐出される前記有機物液滴のパターンを修正して前記メイン基板に吐出するパターニング部と、を備える液滴吐出装置。

請求項14

前記第2ステージは、前記テスト基板が載置されるテスト基板載置部を備える請求項13に記載の液滴吐出装置。

請求項15

前記テスト基板載置部は、前記テスト基板を加熱して前記有機物液滴を硬化させるテスト基板加熱ユニットを備える請求項14に記載の液滴吐出装置。

請求項16

前記第2ステージに設けられ、前記テスト基板を前記第2ステージから離隔させるテスト基板昇降ユニットをさらに備える請求項13〜15のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項17

前記ステージ摺動部の長手方向に移動自在に設けられ、前記テスト基板を前記第2ステージにローディングし、または前記テスト基板を前記第2ステージからアンローディングさせる基板提供ユニットをさらに備える請求項13〜16のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項18

前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴を乾燥させる液滴乾燥ユニットをさらに備える請求項13〜17のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項19

前記液滴乾燥ユニットと対向して配され、前記テスト基板が載置される第3ステージをさらに備える請求項18に記載の液滴吐出装置。

請求項20

前記パターニング部は、前記ステージ摺動部から一定間隔離隔して配され、前記ステージ摺動部の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレームと、前記メインフレームに設けられ、前記テスト基板または前記メイン基板に前記有機物液滴を吐出する液滴吐出部と、を備える請求項13〜19のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項21

前記パターニング部は、前記メインフレームに設けられ、前記液滴吐出部から前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備える請求項20に記載の液滴吐出装置。

請求項22

前記パターニング部は、前記メインフレーム及び前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備える請求項20または21のいずれかに記載の液滴吐出装置。

請求項23

前記パターン分析部の下面に配され、前記有機物液滴のパターンが形成された前記テスト基板が載置される第4ステージをさらに備える請求項22に記載の液滴吐出装置。

請求項24

前記第2ステージには、整列マークが形成された請求項13〜23のいずれかに記載の液滴吐出装置。

技術分野

0001

本発明は液滴吐出装置係り、さらに詳細には、ディスプレイパネル製造装置の液滴吐出装置に関する。

背景技術

0002

移動性基盤とする電子機器幅広く使われている。移動用電子機器には、携帯電話のような小型電子機器以外にも、最近ではタブレットPCが広く使われている。

0003

このような移動型電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージまたは映像などの視覚情報をユーザに提供するためにディスプレイ装置を含む。最近、ディスプレイ装置を駆動するためのその他の部品が小型化するにつれて、ディスプレイ装置が電子機器で占める比重が段々と増加しつつあり、扁平な状態で所定の角度を持つように曲げられる構造も開発されている。

0004

一方、前記のようなディスプレイ装置は、その内部に発光部を持つディスプレイパネルを備える。この時、ディスプレイパネルは多様な形態に形成され、多様な製造方法で製造される。

0005

かかるディスプレイパネルには、多様な層が形成される時に多様な工程が使われる。特に、ディスプレイパネルの多様な層のうち有機物を使う場合、プリンティング工程により有機物を積層するか、または構造物を形成する。この時、一般的にプリンティング技法では、有機物液滴を吐出して多様な層または構造物を形成する。特に、前記のようなプリンティング技法では、有機物液滴のパターンをどのように形成するかによって、ディスプレイパネルの解像度などの因子を定められるため、予めテスト基板に有機物液滴をパターニングした後、メイン基板にパターニングすることが一般的である。

発明が解決しようとする課題

0006

しかし、一般的に前記のようにテスト基板に有機物液滴をパターニングする場合、メイン基板の製造工程中に行うものではなく、別途の空間で行われる。

0007

そこで、本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的とするところは、有機物液滴の精密な吐出をすることが可能な、新規かつ改良された液滴吐出装置を提供することにある。

課題を解決するための手段

0008

上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、ステージ摺動部と、前記ステージ摺動部に摺動自在に設けられ、テスト基板が載置される第1ステージと、前記ステージ摺動部に設けられ、メイン基板が載置される第2ステージと、前記ステージ摺動部から離隔して設けられて前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、前記有機物液滴のパターンを検査して吐出される前記有機物液滴のパターンを修正し、前記メイン基板に吐出するパターニング部と、を備える液滴吐出装置を提供する。

0009

また、前記第1ステージに設けられ、前記テスト基板を前記第1ステージから離隔させるテスト基板昇降ユニットをさらに備えてもよい。

0010

また、前記テスト基板を、前記第1ステージにローディングさせ、もしくは前記第1ステージからアンローディングさせ、または前記メイン基板を、前記第2ステージにローディングさせ、もしくは前記第2ステージからアンローディングさせる基板提供ユニットをさらに備えてもよい。

0011

また、前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴を乾燥させる液滴乾ユニットをさらに備えてもよい。

0012

また、前記液滴乾燥ユニットと対向して配され、前記テスト基板が載置される第3ステージをさらに備えてもよい。

0013

また、前記パターニング部は、前記ステージ摺動部から一定間隔離隔して配され、前記ステージ摺動部の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレームと、前記メインフレームに設けられ、前記テスト基板または前記メイン基板に前記有機物液滴を吐出する液滴吐出部と、を備えてもよい。

0014

また、前記パターニング部は、前記メインフレームに設けられ、前記液滴吐出部から前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備えてもよい。

0015

また、前記パターニング部は、前記メインフレーム及び前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備えてもよい。

0016

また、前記パターン分析部の下面に配され、前記有機物液滴のパターンが形成された前記テスト基板が載置される第4ステージをさらに備えてもよい。

0017

また、前記第1ステージには、整列マークが形成されてもよい。

0018

また、前記第1ステージ内部に設けられ、前記第1ステージの表面温度を制御するテスト基板加熱ユニットをさらに備えてもよい。

0019

また、前記第1ステージと前記第2ステージとは、互いに離隔して設けられるか、または連結されるように設けられてもよい。

0020

また、上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、ステージ摺動部と、前記ステージ摺動部に設けられ、テスト基板及びメイン基板が載置される第2ステージと、前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に有機物液滴を吐出した後、前記有機物液滴のパターンを検査し、吐出される前記有機物液滴のパターンを修正して前記メイン基板に吐出するパターニング部と、を備える液滴吐出装置を提供する。

0021

また、前記第2ステージは、前記テスト基板が載置されるテスト基板載置部を備えてもよい。

0022

また、前記テスト基板載置部は、前記テスト基板を加熱して前記有機物液滴を硬化させるテスト基板加熱ユニットを備えてもよい。

0023

また、前記第2ステージに設けられ、前記テスト基板を前記第2ステージから離隔させるテスト基板昇降ユニットをさらに備えてもよい。

0024

また、前記ステージ摺動部の長手方向に移動自在に設けられ、前記テスト基板を前記第2ステージにローディングし、または前記テスト基板を前記第2ステージからアンローディングさせる基板提供ユニットをさらに備えてもよい。

0025

また、前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴を乾燥させる液滴乾燥ユニットをさらに備えてもよい。

0026

また、前記液滴乾燥ユニットと対向して配され、前記テスト基板が載置される第3ステージをさらに備えてもよい。

0027

また、前記パターニング部は、前記ステージ摺動部から一定間隔離隔して配され、前記ステージ摺動部の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレームと、前記メインフレームに設けられ、前記テスト基板または前記メイン基板に前記有機物液滴を吐出する液滴吐出部と、を備えてもよい。

0028

また、前記パターニング部は、前記メインフレームに設けられ、前記液滴吐出部から前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備えてもよい。

0029

また、前記パターニング部は、前記メインフレーム及び前記ステージ摺動部から離隔して設けられ、前記テスト基板に吐出された前記有機物液滴のパターンを分析するパターン分析部をさらに備えてもよい。

0030

また、前記パターン分析部の下面に配され、前記有機物液滴のパターンが形成された前記テスト基板が載置される第4ステージをさらに備えてもよい。

0031

また、前記第2ステージには、整列マークが形成されてもよい。

発明の効果

0032

以上説明したように本発明によれば、有機物液滴の精密な吐出をすることが可能となる。

図面の簡単な説明

0033

本発明の第1実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。
図1に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。
図1に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。
図1に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。
図1に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。
図1に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。
図1に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。
図1に示されたディスプレイパネル製造装置によりディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。
本発明の第2実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。
本発明の第3実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。
本発明の第4実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。
本発明の第5実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。
本発明の第6実施形態によるディスプレイパネル製造装置を示す概念図である。

実施例

0034

以下に添付図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について詳細に説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複説明を省略する。

0035

本発明は、添付した図面と共に詳細に後述される実施形態を参照すれば明らかになる。しかし、本発明は以下で開示される実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で具現され、但し、本実施形態は、本発明の開示を完全にし、当業者に発明の範疇を完全に知らせるために提供されるものであり、本発明は請求項の範疇によって定義されるだけである。一方、本明細書で使われた用語は、実施形態を説明するためのものであり、本発明を制限しようとするものではない。本明細書で、単数型は文言で特に言及しない限り複数型も含む。明細書で使われる“含む(comprises、comprising)”は、該言及された構成要素、段階、動作及び/または素子において、一つ以上の他の構成要素、段階、動作及び/または素子の存在または追加を排除しない。第1、第2などの用語は、多様な構成要素の説明に使われるが、構成要素は用語によって限定されてはならない。用語は一つの構成要素を他の構成要素から区別する目的のみで使われる。

0036

図1は、本発明の第1実施形態によるディスプレイパネル製造装置100を示す概念図である。図2は、図1に示されたディスプレイパネル製造装置100を通じてディスプレイパネルを製造する順序を示す概念図である。

0037

図1及び図2を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置100は、ステージ摺動部110を備える。この時、ステージ摺動部110には、後述する第1ステージ120または第2ステージ130が摺動自在に設けられる。特に、ステージ摺動部110は、リニアモーションガイド(LM guide)を備える。

0038

一方、ディスプレイパネル製造装置100は、ステージ摺動部110に摺動自在に設けられ、テスト基板Tが載置される第1ステージ120を備える。この時、第1ステージ120には、テスト基板Tを整列するために整列マーク151が形成される。

0039

また、ディスプレイパネル製造装置100は、ステージ摺動部110に設けられ、メイン基板Mが載置される第2ステージ130を備える。この時、第1ステージ120及び第2ステージ130のうち少なくとも一つは、ステージ摺動部110に対し線形運動するように設けられる。

0040

ディスプレイパネル製造装置100は、ステージ摺動部110から離隔して設けられ、テスト基板Tに有機物液滴Oを吐出するパターニング部140を備える。この時、パターニング部140は、テスト基板Tに吐出された有機物液滴Oのパターンを検査した後、有機物液滴Oのパターンを修正した後でメイン基板Mに吐出する。

0041

特にパターニング部140は、ステージ摺動部110から一定間隔離隔して配され、ステージ摺動部110の長手方向及び長手方向と垂直方向に移動自在に設けられるメインフレーム141を備える。この時、メインフレーム141は、外部に固設される固定フレーム(図示せず)上に前記のように移動自在に設けられる。

0042

また、パターニング部140は、メインフレーム141に設けられ、テスト基板Tまたはメイン基板Mに有機物液滴Oを吐出する液滴吐出部142を備える。特に、パターニング部140は、メインフレーム141に設けられ、液滴吐出部142からテスト基板Tに吐出された有機物液滴Oのパターンを分析するパターン分析部143を備える。この時、パターン分析部143は、カメラなどを備えて有機物液滴Oのパターンを撮影するか、またはセンサーを備えて有機物液滴Oのパターンを感知する。

0043

一方、ディスプレイパネル製造装置100は、第1ステージ120に設けられてテスト基板Tを第1ステージ120から離隔させるテスト基板昇降ユニット150を備える。この時、テスト基板昇降ユニット150は複数備えられ、複数のテスト基板昇降ユニット150は、互いに一定間隔を維持するように第1ステージ120に設けられる。また、テスト基板昇降ユニット150は、油圧または空圧で作動するシリンダーを備え、シャフトギアモジュールモータなどを通じてテスト基板Tを昇降させる構成も可能である。

0044

ディスプレイパネル製造装置100は、ステージ摺動部110から一定間隔離隔して設けられる基板提供ユニット160を備える。この時、基板提供ユニット160は、テスト基板Tを第1ステージ120にローディングし、またはテスト基板Tを第1ステージ120からアンローディングする。また、基板提供ユニット160は、メイン基板Mを第2ステージ130にローディングし、またはメイン基板Mを第2ステージ130からアンローディングする。

0045

前記のような基板提供ユニット160は、多様な形態に形成されることができる。例えば、基板提供ユニット160はロボットアーム形態に形成されることができる。特に基板提供ユニット160がロボットアーム形態に形成される場合、一部が回転自在に形成されてテスト基板Tまたはメイン基板Mをローディングまたはアンローディングする。

0046

基板提供ユニット160は、第1ステージ120の位置または第2ステージ130の位置によって線形運動自在に設けられる。この時、基板提供ユニット160は、上記固定フレームに線形運動自在に設けられる。

0047

また、基板提供ユニット160は、ステージ摺動部110から離隔して設けられる液滴乾燥ユニット170を備える。この時、液滴乾燥ユニット170は、ステージ摺動部110上から離隔して設けられる。また、液滴乾燥ユニット170は、テスト基板Tに吐出された有機物液滴Oを乾燥させる。具体的には、液滴乾燥ユニット170は、移動自在に設けられてテスト基板Tに有機物液滴Oが吐出された後、テスト基板Tと接触して真空状態を維持させ、熱を加えて有機物液滴Oを乾燥させる。

0048

次に、図2A及び図2Bを参考にして前記のように形成されるディスプレイパネル製造装置100の作動方法を説明する。先ず、テスト基板T及びメイン基板Mをそれぞれ第1ステージ120及び第2ステージ130にそれぞれ整列できる。

0049

この時、テスト基板Tは、基板提供ユニット160によって第1ステージ120に提供される。特に、基板提供ユニット160は、整列マーク151に対応するようにテスト基板Tを第1ステージ120に載置させる。前記のような場合、基板提供ユニット160の作動によってある程度精密度保証されるため、テスト基板Tは、整列マーク151と対応するように第1ステージ120に載置される。

0050

また、前記のように基板提供ユニット160を通じてテスト基板Tをローディングする場合、テスト基板昇降ユニット150は、上昇してテスト基板Tを支持する。この時、テスト基板昇降ユニット150は、テスト基板Tが載置されれば、下降してテスト基板Tを第1ステージ120に載置させる。

0051

図2Cを参考にすれば、パターニング部140を通じて、有機物液滴Oをテスト基板Tに吐出する。特に液滴吐出部142は、有機物液滴Oをテスト基板T上に吐出する。この時、有機物液滴Oを形成する有機物は、ディスプレイパネルの製造時に使われるすべての有機物を含む。具体的に、有機物は、画素定義膜を形成する有機物、パッシベーション層を形成する有機物、有機発光層を形成する有機物などのように、ディスプレイパネルの製造時に使うすべての有機物を含む。

0052

一方、前記のように有機物液滴Oを吐出し、有機物液滴Oのパターンをテスト基板T上に形成した後、図2Dのように、第1ステージ120を移動して液滴乾燥ユニット170の下面に配置させる。この時、第1ステージ120は、ステージ摺動部110を摺動して移動できる。特に第1ステージ120は、多様な駆動装置によって移動する。例えば、前記駆動装置は、モータ、シリンダーなどを備えることで第1ステージ120を移動させる。

0053

前記の過程が完了すれば、図2Eのように、液滴乾燥ユニット170は、下降してテスト基板Tと接触する。この時、テスト基板Tは、液滴乾燥ユニット170と接触せず、液滴乾燥ユニット170の内部に完全に挿入されることもできる。但し、以下では説明の便宜のために、液滴乾燥ユニット170とテスト基板Tとが接触する場合を中心として詳細に説明する。

0054

液滴乾燥ユニット170とテスト基板Tとが接触すれば、液滴乾燥ユニット170は、テスト基板Tと接触する部分の環境を真空状態に維持させる。また、液滴乾燥ユニット170は、テスト基板Tと接触する部分に熱を加え、テスト基板T上の有機物液滴Oのパターンを硬化させる。特に液滴乾燥ユニット170は、前記のようにテスト基板T上に有機物液滴Oのパターンを硬化させることで、有機物液滴Oのパターンを自然に乾燥させるのに必要な時間を短縮することで作業時間を短縮する。

0055

一方、前記のようにテスト基板T上の有機物液滴Oのパターンが硬化された後、液滴乾燥ユニット170を上昇させて液滴乾燥ユニット170とテスト基板Tとを分離できる。また、前記の過程が完了すれば、第1ステージ120を再び移送させる。この時、第1ステージ120は、ステージ摺動部110を摺動してパターニング部140の下面に再び位置する。

0056

前記のように第1ステージ120が位置すれば、図2Fのように、メインフレーム141をステージ摺動部110の長手方向と垂直方向に移動させ、パターン分析部143をテスト基板T上に配置させる。

0057

パターン分析部143は、テスト基板Tの有機物液滴Oのパターンを分析する。この時、パターン分析部143は、有機物液滴Oのパターンを撮影した後、既定の有機物液滴Oのパターンと比べることで、テスト基板T上の有機物液滴Oのパターンを分析する。

0058

前記のように分析した有機物液滴Oのパターンに基づいて、パターン分析部143は、液滴吐出部142で吐出される有機物液滴Oのパターンを修正する。具体的に、パターン分析部143は、既定の有機物液滴Oのパターンと、吐出されて形成される有機物液滴Oのパターンとを互いに比べた後、有機物液滴Oの吐出速度、吐出量吐出位置などを修正する。

0059

前記のように、テスト基板T上の有機物液滴Oのパターン分析が完了すれば、図2Gのように、テスト基板昇降ユニット150を通じてテスト基板Tを第1ステージ120から分離させる。この時、テスト基板昇降ユニット150の作動が完了すれば、基板提供ユニット160を通じてテスト基板Tをアンローディングして外部に引き出す。

0060

前記の過程が完了すれば、パターニング部140を移送させる。具体的に、メインフレーム141は、ステージ摺動部110の長手方向に線形運動して液滴吐出部142をメイン基板M上に位置させる。この時、液滴吐出部142は複数備えられ、複数の液滴吐出部142は、互いに一定間隔離隔して配される。特に、複数の液滴吐出部142は、それぞれメインフレーム141に固定され、移動自在に設けられることもできる。具体的に、複数の液滴吐出部142は、ディスプレイパネルの製造時に必要な有機物液滴Oのパターンによって多様に配される。

0061

一方、前記のようにパターニング部140の位置が整列されれば、液滴吐出部142を通じてメイン基板M上に有機物液滴Oを吐出してディスプレイパネルを製造できる。この時、ディスプレイパネルの製造方法は一般的な方法と類似しているため、詳細な説明は略する。

0062

したがって、ディスプレイパネル製造装置100は、別途にテスト基板Tを外部でテストした後でメイン基板Mに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置100は、メイン基板Mの製造と同じ条件でテスト基板Tのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させることができる。

0063

図3は、本発明の第2実施形態によるディスプレイパネル製造装置200を示す概念図である。

0064

図3を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置200は、ステージ摺動部210、第1ステージ220、第2ステージ230、パターニング部240、テスト基板昇降ユニット250、基板提供ユニット260及び液滴乾燥ユニット270を備える。この時、ステージ摺動部210、第1ステージ220、第2ステージ230、テスト基板昇降ユニット250、基板提供ユニット260及び液滴乾燥ユニット270は、前記図1及び図2で説明したステージ摺動部110、第1ステージ120、第2ステージ130、テスト基板昇降ユニット150、基板提供ユニット160及び液滴乾燥ユニット170と類似しているため、詳細な説明は略する。

0065

一方、パターニング部240は、メインフレーム241、液滴吐出部242及びパターン分析部243を備える。この時、メインフレーム241及び液滴吐出部242は、前記図1及び図2で説明したメインフレーム141及び液滴吐出部142と同一であるため、詳細な説明は略する。

0066

パターニング部240は、前述したようにパターン分析部243を備える。この時、パターン分析部243は、メインフレーム241及びステージ摺動部210から離隔して設けられる。具体的に、パターン分析部243は、上記固定フレームに固設される。この時、パターン分析部243は、前述したように、テスト基板Tに吐出された有機物液滴Oのパターンを分析する。

0067

ディスプレイパネル製造装置200は、パターン分析部243の下面に配され、テスト基板Tが載置される第4ステージ290を備える。この時、第4ステージ290は、第1ステージ220で有機物液滴Oのパターンが形成された後、基板提供ユニット260を通じて移送されたテスト基板Tが載置される。また、第4ステージ290は、第1ステージ220と一直線上に配され、第1ステージ220と第4ステージ290との間には基板提供ユニット260が配される。

0068

一方、ディスプレイパネル製造装置200の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的に、基板提供ユニット260を通じて、テスト基板Tを第1ステージ220上にローディングする。この時、テスト基板昇降ユニット250が昇降した後でテスト基板Tが載置されれば、下降してテスト基板Tを第1ステージ220上に載置させる。

0069

前記の過程が完了すれば、液滴吐出部242から有機物液滴Oをテスト基板T上に吐出し、第1ステージ220が移動してテスト基板Tを液滴乾燥ユニット270の下面に配置させる。この時、液滴乾燥ユニット270は、前述したものと類似してテスト基板T上の有機物液滴Oを乾燥させる。

0070

一方、前記のように有機物液滴Oの乾燥が完了すれば、テスト基板Tを第1ステージ220から第4ステージ290に移送させる。この時、テスト基板Tを移送させる方法は多様である。例えば、第1ステージ220を移送させた後、基板提供ユニット260を通じて第4ステージ290に移送させる。また、第1ステージ220の位置を固定させた後、基板提供ユニット260を通じてテスト基板Tをアンローディングした後、基板提供ユニット260を移送させてテスト基板Tを第4ステージ290に移送させることもできる。但し、以下では、説明の便宜のために、第1ステージ220が移送された後、テスト基板Tを第1ステージ220から第4ステージ290に移送させる方法を中心として詳細に説明する。

0071

具体的には、テスト基板T上の有機物液滴Oの乾燥が完了すれば、第1ステージ220は再び原位置に移動する。この時、テスト基板昇降ユニット250が作動してテスト基板Tを第1ステージ220から離隔させた後、基板提供ユニット260は、テスト基板Tを第4ステージ290に移送させる。

0072

一方、前記のようにテスト基板Tが第4ステージ290に載置されれば、パターン分析部243では有機物液滴Oのパターンを検査する。この時、パターン分析部243の検査方法は、前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。

0073

前記のように有機物液滴Oのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部242から吐出される有機物液滴Oを調節するように液滴吐出部242を制御する。この時、有機物液滴Oの調節方法及び調節因子は前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム241は、メイン基板M上に位置でき、液滴吐出部242は、修正された有機物液滴Oのパターンをメイン基板M上に吐出できる。

0074

したがって、ディスプレイパネル製造装置200は、別途にテスト基板Tを外部でテストした後でメイン基板Mに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置200は、メイン基板Mの製造と同じ条件でテスト基板Tのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させる。

0075

図4は、本発明の第3実施形態によるディスプレイパネル製造装置300を示す概念図である。

0076

図4を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置300は、ステージ摺動部310、第1ステージ320、第2ステージ330、第4ステージ390、パターニング部340、テスト基板昇降ユニット350、基板提供ユニット360及び液滴乾燥ユニット370を備える。この時、ステージ摺動部310、第1ステージ320、第2ステージ330、第4ステージ390、テスト基板昇降ユニット350、基板提供ユニット360及び液滴乾燥ユニット370は、前記の図3で説明したステージ摺動部210、第1ステージ220、第2ステージ230、第4ステージ290、テスト基板昇降ユニット250、基板提供ユニット260及び液滴乾燥ユニット270と類似しているため、詳細な説明は略する。

0077

一方、パターニング部340は、メインフレーム341、液滴吐出部342及びパターン分析部343を備える。この時、メインフレーム341、液滴吐出部342及びパターン分析部343は、前記の図3で説明したメインフレーム241、液滴吐出部242及びパターン分析部243と同一であるため、詳細な説明は略する。

0078

ディスプレイパネル製造装置300は、液滴乾燥ユニット370と対向して配され、テスト基板Tが載置される第3ステージ380を備える。この時、第3ステージ380は、液滴乾燥ユニット370がテスト基板Tを乾燥させる時、テスト基板Tが載置されて支持する。また、前記のように第3ステージ380が設けられる場合、液滴乾燥ユニット370はステージ摺動部310上に配されるものではなく、第3ステージ380と対向して配される。また、前記のように第3ステージ380及び液滴乾燥ユニット370が配される場合、第3ステージ380及び液滴乾燥ユニット370は、ステージ摺動部310、第1ステージ320、第2ステージ330などと別途の空間に設けられてもよい。

0079

一方、ディスプレイパネル製造装置300の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的には、基板提供ユニット360を通じて、テスト基板Tを第1ステージ320上にローディングする。この時、テスト基板昇降ユニット350が昇降した後テスト基板Tが載置されれば、下降してテスト基板Tを第1ステージ320上に載置させる。

0080

前記の過程が完了すれば、液滴吐出部342からテスト基板T上に有機物液滴Oを吐出する。また、第1ステージ320上のテスト基板Tへの有機物液滴Oの吐出が完了すれば、テスト基板昇降ユニット350はテスト基板Tを上昇させる。この時、基板提供ユニット360は、テスト基板昇降ユニット350上のテスト基板Tをローディングし、第1ステージ320から第3ステージ380にテスト基板Tを移動させる。

0081

第3ステージ380にテスト基板Tが移動すれば、液滴乾燥ユニット370が下降してテスト基板Tを乾燥させる。この時、液滴乾燥ユニット370がテスト基板Tを乾燥させる場合は前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。

0082

一方、前記のように有機物液滴Oの乾燥が完了すれば、テスト基板Tを第3ステージ380から第4ステージ390に移送させる。この時、テスト基板Tを移送させる方法は多様である。例えば、第3ステージ380を移送させた後、基板提供ユニット360を通じて第4ステージ390に移送させる。また、第3ステージ380の位置を固定させた後、基板提供ユニット360を通じてテスト基板Tをアンローディングした後、基板提供ユニット360を移送させてテスト基板Tを第4ステージ390に移送させることもできる。但し、以下では説明の便宜のために、基板提供ユニット360がテスト基板Tを第3ステージ380から第4ステージ390に移送させる方法を中心として詳細に説明する。

0083

具体的に、テスト基板T上の有機物液滴Oの乾燥が完了すれば、基板提供ユニット360を通じてテスト基板Tを、第3ステージ380から第4ステージ390に移送させる。この時、第3ステージ380及び第4ステージ390上には、テスト基板昇降ユニット350と類似した構造物を通じてテスト基板Tを昇降させる。

0084

一方、前記のようにテスト基板Tが第4ステージ390に載置されれば、パターン分析部343では有機物液滴Oのパターンを検査できる。この時、パターン分析部343の検査方法は、前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。

0085

前記のように有機物液滴Oのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部342から吐出される有機物液滴Oを調節するように液滴吐出部342を制御する。この時、有機物液滴Oの調節方法及び調節因子は、前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム341はメイン基板M上に位置でき、液滴吐出部342は、修正された有機物液滴Oのパターンをメイン基板M上に吐出する。

0086

したがって、ディスプレイパネル製造装置300は、別途にテスト基板Tを外部でテストした後でメイン基板Mに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置300は、メイン基板Mの製造と同じ条件でテスト基板Tのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減することができる。

0087

特に、ディスプレイパネル製造装置300は、テスト基板Tを乾燥させるための液滴乾燥ユニット370を別途に形成することで、テスト基板Tの乾燥によるメイン基板Mの工程に影響を及ぼす因子を除去できる。

0088

図5は、本発明の第4実施形態によるディスプレイパネル製造装置400を示す概念図である。

0089

図5を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置400は、ステージ摺動部410、第1ステージ420、第2ステージ430、パターニング部440、テスト基板昇降ユニット450及び基板提供ユニット460を備える。この時、ステージ摺動部410、第1ステージ420、テスト基板昇降ユニット450及び基板提供ユニット460は、前記図1及び図2で説明したステージ摺動部110、第1ステージ120、テスト基板昇降ユニット150及び基板提供ユニット160と類似しているため、詳細な説明は略する。

0090

この時、第1ステージ420と第2ステージ430とは、互いに隣接して設けられる。具体的に、第1ステージ420と第2ステージ430とは、互いに連結されるように設けられ、第1ステージ420と第2ステージ430とは、互いに一体に形成されてもよい。

0091

一方、パターニング部440は、メインフレーム441、液滴吐出部442及びパターン分析部443を備える。この時、パターニング部440は、前記図1及び図2で説明したメインフレーム141、液滴吐出部142及びパターン分析部143を備える。また、パターニング部440は、前記図3及び図4で説明したメインフレーム241、液滴吐出部242及びパターン分析部243を備える。但し、以下では、説明の便宜のために、パターニング部440が、前記図1及び図2で説明したメインフレーム141、液滴吐出部142及びパターン分析部143を備える場合を中心として詳細に説明し、メインフレーム441、液滴吐出部442及びパターン分析部443は、前記図1及び図2で説明したものと同一であるため、詳細な説明は略する。

0092

ディスプレイパネル製造装置400は、第1ステージ420の内部に設けられて第1ステージ420の表面温度を制御するテスト基板加熱ユニット421を備える。特に、テスト基板加熱ユニット421は、第1ステージ420内部に設けられる熱線ヒーターなどの加熱装置を備える。この時、前記図1及び図2で説明したように、ディスプレイパネル製造装置400は、別途の液滴乾燥ユニット170を備えないこともある。

0093

また、ディスプレイパネル製造装置400は、第3ステージ(図示せず)及び第4ステージ(図示せず)を備えることもできる。この時、前記第3ステージ及び前記第4ステージは、前記図3及び図4で説明したものと同一または類似して形成される。但し、以下では説明の便宜のために前記第3ステージと前記第4ステージが別に備えられる場合ではなく、第1ステージ420及び第2ステージ430だけ備える場合を中心として詳細に説明する。

0094

一方、ディスプレイパネル製造装置400の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的に、基板提供ユニット460を通じてテスト基板Tを第1ステージ420上にローディングする。この時、テスト基板昇降ユニット450が昇降した後でテスト基板Tが載置されれば、下降してテスト基板Tを第1ステージ420上に載置させる。

0095

前記の過程が完了すれば、テスト基板T上に液滴吐出部442を通じて有機物液滴Oを吐出する。また、第1ステージ420上のテスト基板Tへの有機物液滴Oの吐出が完了すれば、テスト基板加熱ユニット421を通じて第1ステージ420上のテスト基板Tを加熱できる。前記のような加熱により、テスト基板T上の有機物液滴Oは乾燥されて硬化する。

0096

前記のようにテスト基板T上の有機物液滴Oを乾燥させた後、パターン分析部443を通じて有機物液滴Oのパターンを分析する。この時、パターン分析部443の検査方法は、前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。

0097

前記の過程が完了すれば、メインフレーム441をステージ摺動部410の長手方向に線形運動させて、液滴吐出部442をメイン基板M上に配する。

0098

この時、前記のように有機物液滴Oのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部442から吐出される有機物液滴Oを調節するように液滴吐出部442を制御する。有機物液滴Oの調節方法及び調節因子は、前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム441は、メイン基板M上に位置でき、液滴吐出部442は、修正された有機物液滴Oのパターンをメイン基板M上に吐出する。

0099

したがって、ディスプレイパネル製造装置400は、別途にテスト基板Tを外部でテストした後でメイン基板Mに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置400は、メイン基板Mの製造と同じ条件でテスト基板Tのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させることができる。

0100

図6は、本発明の第5実施形態によるディスプレイパネル製造装置500を示す概念図である。

0101

図6を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置500は、ステージ摺動部510、第2ステージ530、パターニング部540、テスト基板昇降ユニット(図示せず)、液滴乾燥ユニット570及び基板提供ユニット560を備える。この時、ステージ摺動部510、第2ステージ530、前記テスト基板昇降ユニット、液滴乾燥ユニット570及び基板提供ユニット560は、前記図1及び図2で説明したステージ摺動部110、第2ステージ130、テスト基板昇降ユニット150、液滴乾燥ユニット170及び基板提供ユニット160と類似しているため、詳細な説明は略する。

0102

一方、パターニング部540は、メインフレーム541、液滴吐出部542及びパターン分析部543を備える。この時、パターニング部540は、前記図1及び図2で説明したメインフレーム141、液滴吐出部142及びパターン分析部143を備える。また、パターニング部540は、前記図3及び図4で説明したメインフレーム241、液滴吐出部242及びパターン分析部243を備える。但し、以下では、説明の便宜のために、パターニング部540が、前記図1及び図2で説明したメインフレーム141、液滴吐出部142及びパターン分析部143を備える場合を中心として詳細に説明し、メインフレーム541、液滴吐出部542及びパターン分析部543は、前記図1及び図2で説明したものと同一であるため、詳細な説明は略する。

0103

また、ディスプレイパネル製造装置500は、第3ステージ(図示せず)及び第4ステージ(図示せず)を備えることもできる。この時、前記第3ステージ及び前記第4ステージは、前記図3及び図4で説明したものと同一または類似して形成される。但し、以下では、説明の便宜のために、前記第3ステージ及び前記第4ステージが別途に備えられる場合ではなく、第2ステージ530のみ備える場合を中心として詳細に説明する。

0104

第2ステージ530上には、テスト基板Tを整列するための整列マーク(図示せず)が形成される。この時、前記整列マークは、前記図1及び図2で説明した第1ステージ120上に形成される整列マーク151と同一または類似して形成されて作動するため、詳細な説明は略する。

0105

一方、ディスプレイパネル製造装置500の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的に、基板提供ユニット560を通じて、テスト基板Tを第2ステージ530上にローディングする。この時、前記テスト基板昇降ユニットが昇降した後でテスト基板Tが載置されれば、下降してテスト基板Tを第2ステージ530上に載置させる。

0106

前記の過程が完了すれば、テスト基板T上に、液滴吐出部542を通じて有機物液滴Oを吐出する。また、第2ステージ530上のテスト基板Tへの有機物液滴Oの吐出が完了すれば、第2ステージ530をステージ摺動部510の長手方向で線形運動させ、液滴乾燥ユニット570の下面にテスト基板Tを位置させる。この時、液滴乾燥ユニット570は、前記図1及び図2で説明したように下降し、テスト基板T上の有機物液滴Oを乾燥させて硬化させる。

0107

前記のようにテスト基板T上の有機物液滴Oを乾燥させた後、パターン分析部543を通じて有機物液滴Oのパターンを分析する。この時、パターン分析部543の検査方法は、前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。

0108

前記の過程が完了すれば、基板提供ユニット560は、テスト基板Tを第2ステージ530上でアンローディングした後、第2ステージ530上にメイン基板Mをローディングする。

0109

前記の過程が完了すれば、メインフレーム541をステージ摺動部510の長手方向に線形運動させて、液滴吐出部542をメイン基板M上に配する。

0110

この時、前記のように有機物液滴Oのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部542から吐出される有機物液滴Oを調節するように液滴吐出部542を制御する。有機物液滴Oの調節方法及び調節因子は、前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム541は、メイン基板M上に位置し、液滴吐出部542は、修正された有機物液滴Oのパターンをメイン基板M上に吐出する。

0111

したがって、ディスプレイパネル製造装置500は、別途にテスト基板Tを外部でテストした後でメイン基板Mに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置500は、メイン基板Mの製造と同じ条件でテスト基板Tのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させることができる。

0112

図7は、本発明の第6実施形態によるディスプレイパネル製造装置600を示す概念図である。

0113

図7を参考にすれば、ディスプレイパネル製造装置600は、ステージ摺動部610、第2ステージ630、パターニング部640、テスト基板昇降ユニット(図示せず)及び基板提供ユニット660を備える。この時、ステージ摺動部610、第2ステージ630、前記テスト基板昇降ユニット及び基板提供ユニット660は、前記図6で説明したステージ摺動部510、第2ステージ530、前記テスト基板昇降ユニット及び基板提供ユニット560と類似しているため、詳細な説明は略する。

0114

一方、パターニング部640は、メインフレーム641、液滴吐出部642及びパターン分析部643を備える。この時、パターニング部640は、前記図1及び図2で説明したメインフレーム141、液滴吐出部142及びパターン分析部143を備えてもよい。また、パターニング部640は、前記図3及び図4で説明したメインフレーム241、液滴吐出部242及びパターン分析部243を備えてもよい。但し、以下では説明の便宜のために、パターニング部640が、前記図1及び図2で説明したメインフレーム141、液滴吐出部142及びパターン分析部143を備える場合を中心として詳細に説明し、メインフレーム641、液滴吐出部642及びパターン分析部643は、前記図1及び図2で説明したものと同一であるため、詳細な説明は略する。

0115

また、ディスプレイパネル製造装置600は、第3ステージ(図示せず)及び第4ステージ(図示せず)を備えることもできる。この時、前記第3ステージ及び前記第4ステージは、前記図3及び図4で説明したものと同一または類似して形成される。但し、以下では、説明の便宜のために、前記第3ステージと前記第4ステージとが別途に備えられる場合ではなく、第2ステージ630のみ備える場合を中心として詳細に説明する。

0116

第2ステージ630は、テスト基板Tが載置されるテスト基板載置部631が形成される。この時、テスト基板載置部631は、テスト基板Tを加熱して有機物液滴Oを硬化させるテスト基板加熱ユニット632を備える。特に、テスト基板加熱ユニット632はプレート状に形成され、熱線やヒーターなどの加熱装置を備えてもよい。

0117

一方、ディスプレイパネル製造装置600の作動方法を説明すれば、前述したものと類似して行われる。具体的には、基板提供ユニット660を通じて、テスト基板Tを第2ステージ630上にローディングする。この時、テスト基板Tは、第2ステージ630上のテスト基板載置部631に載置させる。特に、テスト基板載置部631には前記テスト基板昇降ユニットが設けられ、前記テスト基板昇降ユニットが昇降してからテスト基板Tが載置された後、下降してテスト基板Tを第2ステージ630上に載置させる。

0118

前記の過程が完了すれば、テスト基板T上に液滴吐出部642を通じて有機物液滴Oを吐出する。また、第2ステージ630上のテスト基板Tに有機物液滴Oの吐出が完了すれば、テスト基板加熱ユニット632が作動してテスト基板T上の有機物液滴Oを乾燥させて硬化させる。

0119

前記のようにテスト基板T上の有機物液滴Oを乾燥させた後、パターン分析部643を通じて有機物液滴Oのパターンを分析する。この時、パターン分析部643の検査方法は前述したものと類似して行われるため、詳細な説明は略する。

0120

前記の過程が完了すれば、基板提供ユニット660は、テスト基板Tを第2ステージ630上からアンローディングした後、第2ステージ630上にメイン基板Mをローディングする。この時、前記テスト基板昇降ユニットが作動してテスト基板載置部631からテスト基板Tを分離する。

0121

前記の過程が完了すれば、メインフレーム641をステージ摺動部610の長手方向に線形運動させて液滴吐出部642をメイン基板M上に配する。

0122

この時、前記のように有機物液滴Oのパターンを分析した後、前記の結果に基づいて液滴吐出部642から吐出される有機物液滴Oを調節するように液滴吐出部642を制御する。有機物液滴Oの調節方法及び調節因子は、前述したものと類似しているため、詳細な説明は略する。この時、メインフレーム641はメイン基板M上に位置でき、液滴吐出部642は、修正された有機物液滴Oのパターンをメイン基板M上に吐出する。

0123

したがって、ディスプレイパネル製造装置600は、別途にテスト基板Tを外部でテストした後でメイン基板Mに適用しなくてもよいため、物流費及び製造時間を低減できる。また、ディスプレイパネル製造装置600は、メイン基板Mの製造と同じ条件でテスト基板Tのテストができるため、正確な検査が可能であり、フィードバックにより検査結果をすぐ適用できるため、ディスプレイパネルの精密な製造が可能であり、不良率を低減させることができる。

0124

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる例に限定されない。本発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、これらについても、当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

0125

本発明は、ディスプレイパネル製造装置関連の技術分野に好適に適用可能である。

0126

100、200、300、400、500、600ディスプレイパネル製造装置
110、210、310、410、510、610ステージ摺動部
130、230、330、430、530、630 第2ステージ
140、240、340、440、540、640パターニング部
141、241、341、441、541、641メインフレーム
142、242、342、442、542、642液滴吐出部
143、243、343、443、543、643 パターニング部
160、260、360、460、560、660基板提供ユニット

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