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技術 液体吐出装置

出願人 ブラザー工業株式会社
発明者 原光一郎
出願日 2012年3月13日 (8年9ヶ月経過) 出願番号 2012-056238
公開日 2013年9月26日 (7年3ヶ月経過) 公開番号 2013-188931
状態 特許登録済
技術分野 インクジェット(インク供給、その他) インクジェット(粒子形成、飛翔制御)
主要キーワード 次共振モード 厚みの分布 圧力付与 次振動モード ディセンダ 電圧印加装置 セラミックス層 電流検出装置
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (11)

課題

ノズル間の液体吐出特性のばらつきを抑制する。

解決手段

圧力室10内のインクに圧力を付与するための圧力付与部22aは、紙送り方向に沿って千鳥状に配列された列を形成しており、このような圧力付与部22aの列が、走査方向に4列に配列されている。共振周波数を検出するための検査部22b1〜22b3のうち、検査部22b1、22b2は、圧力付与部22aの各列の紙送り方向に関する両端部及び略中央部から、走査方向の両側にずれた位置にそれぞれ配置されており、紙送り方向に沿って配列されている。検査部22b3は、圧力付与部22aの列の紙送り方向に関する両側に配置されており、走査方向に沿って配列されている。また、複数のダミー電極48a〜48cが、検査部22b1、22b2検査用電極46及びパッド47と、紙送り方向に並んでいる。

概要

背景

特許文献1には、2列のノズル列からなるノズル列群と、6列のノズル列からなるノズル列群とを含むインク流路が形成されたキャビティユニットと、キャビティユニットの上面に配置された3つの圧電層、及び、最も上側の圧電層を上下から挟むように配置された電極とを有する圧電アクチュエータと、を備えたインクジェットヘッドが記載されている。また、圧電アクチュエータにおいて、上述の2つのノズル列群が互いに間隔をあけて配置されており、これらの間に、検査用電極パターンが形成されている。そして、検査用電極パターンを用いて圧電層の静電容量を測定し、測定した静電容量に応じて、電極に付与する駆動電位を決定している。

概要

ノズル間の液体吐出特性のばらつきを抑制する。圧力室10内のインクに圧力を付与するための圧力付与部22aは、紙送り方向に沿って千鳥状に配列された列を形成しており、このような圧力付与部22aの列が、走査方向に4列に配列されている。共振周波数を検出するための検査部22b1〜22b3のうち、検査部22b1、22b2は、圧力付与部22aの各列の紙送り方向に関する両端部及び略中央部から、走査方向の両側にずれた位置にそれぞれ配置されており、紙送り方向に沿って配列されている。検査部22b3は、圧力付与部22aの列の紙送り方向に関する両側に配置されており、走査方向に沿って配列されている。また、複数のダミー電極48a〜48cが、検査部22b1、22b2検査用電極46及びパッド47と、紙送り方向に並んでいる。

目的

本発明の目的は、複数のノズル間での液体の吐出特性のばらつきを抑制することが可能な液体吐出装置を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

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請求項1

複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する、一方向に沿って配列された複数の圧力室と、を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備え、前記流路ユニットには、前記複数の圧力室とは別に、前記複数のノズルとは連通しない複数の検査用空間が設けられており、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間を覆う第1の層と、圧電材料からなり、前記第1の層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間にまたがって連続的に延びた第2の層と、前記第2の層の前記複数の圧力室と重なる部分に設けられた複数の駆動電極と、前記第2の層の前記複数の検査用空間と重なる部分に設けられた複数の検査用電極と、前記複数の検査用電極とそれぞれ導通した、前記検査用電極に電圧印加するプローブを接触させるための複数のパッドと、前記複数の圧力室と重なる部分であって、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の圧力付与部と、前記複数の検査用空間と重なる部分であって、共振周波数を検出するための複数の検査部と、を有し、前記複数の検査部が、前記複数の圧力付与部から、前記一方向と直交する直交方向にずれた位置に設けられており、前記一方向に沿って配列されていることを特徴とする液体吐出装置

請求項2

複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する、一方向に沿って配列された複数の圧力室と、を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間を覆う第1の層と、圧電材料からなり、前記第1の層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間にまたがって連続的に延びた第2の層と、前記第2の層の前記複数の圧力室と重なる部分に設けられた複数の駆動電極と、前記複数の駆動電極のうち、少なくとも2以上の駆動電極とそれぞれ導通した、当該駆動電極に電圧を印加するプローブを接触させるための複数のパッドと、前記複数の圧力室と重なる部分であって、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の圧力付与部と、前記複数の圧力付与部のうち、前記パッドと導通した前記駆動電極を含む前記圧力付与部によって形成された、共振周波数を検出するための複数の検査部と、を有し、前記複数の検査部が、前記一方向に沿って配列されていることを特徴とする液体吐出装置。

請求項3

前記第1の層と前記第2の層とが接着剤によって接合されており、前記複数の検査部が、前記圧電アクチュエータにおいて、前記一方向に対称に配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体吐出装置。

請求項4

前記第1の層と前記第2の層とが接着剤によって接合されており、前記複数の検査部が、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列の、前記一方向における両端部に対応して設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液体吐出装置。

請求項5

前記複数の検査部が、さらに、前記圧力室列の前記一方向における中央部に対応して設けられていることを特徴とする請求項4に記載の液体吐出装置。

請求項6

前記パッドの面積が、前記駆動電極の面積よりも大きいことを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の液体吐出装置。

請求項7

前記第2の層には、前記駆動電極及び前記検査用電極とは別に、電圧が印加されないダミー電極が設けられており、前記複数のダミー電極は、前記複数の検査用電極、及び、前記複数のパッドの少なくともいずれか一方と、前記一方向に沿って並んでいることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の液体吐出装置。

請求項8

前記複数の検査部は、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列のある偏った部分に位置する前記圧力付与部に対応して設けられ、前記複数のパッドよりも面積が小さい前記ダミー電極が複数設けられ、これら複数のダミー電極が、前記複数のパッドと前記一方向に沿って配列されていることを特徴とする請求項7に記載の液体吐出装置。

請求項9

前記ダミー電極が複数設けられ、これら複数のダミー電極が、前記一方向に沿って等間隔に配列されていることを特徴とする請求項7又は8に記載の液体吐出装置。

請求項10

前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列が、前記一方向と直交する直交方向に沿って複数配列されており、前記複数の検査部が、さらに、前記複数の圧力付与部の列の前記一方向に関する両側に設けられており、前記直交方向に沿って配列されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の液体吐出装置。

請求項11

前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見た前記検査用空間の形状が円形であることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の液体吐出装置。

請求項12

前記検査部の形状が前記圧力付与部の形状と同じであることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の液体吐出装置。

技術分野

0001

本発明は、ノズルから液体吐出する液体吐出装置に関する。

背景技術

0002

特許文献1には、2列のノズル列からなるノズル列群と、6列のノズル列からなるノズル列群とを含むインク流路が形成されたキャビティユニットと、キャビティユニットの上面に配置された3つの圧電層、及び、最も上側の圧電層を上下から挟むように配置された電極とを有する圧電アクチュエータと、を備えたインクジェットヘッドが記載されている。また、圧電アクチュエータにおいて、上述の2つのノズル列群が互いに間隔をあけて配置されており、これらの間に、検査用電極パターンが形成されている。そして、検査用電極パターンを用いて圧電層の静電容量を測定し、測定した静電容量に応じて、電極に付与する駆動電位を決定している。

先行技術

0003

特開2010−155407号公報

発明が解決しようとする課題

0004

ここで、特許文献1の圧電アクチュエータでは、3つの圧電層の部分毎の厚みのばらつきなどによって、部分毎に厚みがばらついてしまう。そして、圧電アクチュエータの厚みが部分毎にばらついていると、全ての電極に対して同じ駆動電位を付与して圧電アクチュエータを駆動すると、ノズルの間でインク吐出特性にばらつきが生じてしまう。

0005

特許文献1では、上述したように、2つのノズル列群の間に設けた検査用電極パターンなどを用いて測定した静電容量に基づいて、圧電アクチュエータの駆動電極に付与する駆動電位を決定している。しかしながら、2つのノズル列群の間には上記静電容量を検出するための構成が1つ設けられているだけであるので、圧電層の部分毎の静電容量のばらつき、つまり、圧電アクチュエータの部分毎の厚みのばらつきを検出することはできない。そのため、複数の圧電アクチュエータの間では、駆動電位を異ならせることができるものの、1つの圧電アクチュエータにおいては、全ての電極に同じ駆動電位が付与されることとなり、ノズル間でのインクの吐出特性のばらつきを抑えることはできない。

0006

本発明の目的は、複数のノズル間での液体の吐出特性のばらつきを抑制することが可能な液体吐出装置を提供することである。

課題を解決するための手段

0007

第1の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する、一方向に沿って配列された複数の圧力室と、を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備え、前記流路ユニットには、前記複数の圧力室とは別に、前記複数のノズルとは連通しない複数の検査用空間が設けられており、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間を覆う第1の層と、圧電材料からなり、前記第1の層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間にまたがって連続的に延びた第2の層と、前記第2の層の前記複数の圧力室と重なる部分に設けられた複数の駆動電極と、前記第2の層の前記複数の検査用空間と重なる部分に設けられた複数の検査用電極と、前記複数の検査用電極とそれぞれ導通した、前記検査用電極に電圧印加するプローブを接触させるための複数のパッドと、前記複数の圧力室と重なる部分であって、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の圧力付与部と、前記複数の検査用空間と重なる部分であって、共振周波数を検出するための複数の検査部と、を有し、前記複数の検査部が、前記複数の圧力付与部から、前記一方向と直交する直交方向にずれた位置に設けられており、前記一方向に沿って配列されていることを特徴とする。

0008

第2の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズルと、前記複数のノズルに連通する、一方向に沿って配列された複数の圧力室と、を有する流路ユニットと、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与する圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間を覆う第1の層と、圧電材料からなり、前記第1の層の前記流路ユニットと反対側の面に、前記複数の圧力室及び前記複数の検査用空間にまたがって連続的に延びた第2の層と、前記第2の層の前記複数の圧力室と重なる部分に設けられた複数の駆動電極と、前記複数の駆動電極のうち、少なくとも2以上の駆動電極とそれぞれ導通した、当該駆動電極に電圧を印加するプローブを接触させるための複数のパッドと、前記複数の圧力室と重なる部分であって、前記複数の圧力室内の液体に圧力を付与するための複数の圧力付与部と、前記複数の圧力付与部のうち、前記パッドと導通した前記駆動電極を含む前記圧力付与部によって形成された、共振周波数を検出するための複数の検査部と、を有し、前記複数の検査部が、前記一方向に沿って配列されていることを特徴とする。

0009

これらの発明によると、圧力室と同じく一方向に沿って配列された複数の検査部の共振周波数に応じて、駆動電極に付与する駆動電位などを決定することにより、複数のノズル間での液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

0010

また、第2の発明では、複数の圧力付与部のうち一部の圧力付与部が検査部を兼ねているため、別途専用の検査部を設ける場合に比べて、装置を小型化することができる。

0011

第3の発明に係る液体吐出装置は、第1又は第2の発明に係る液体吐出装置において、前記第1の層と前記第2の層とが接着剤によって接合されており、前記複数の検査部が、前記圧電アクチュエータにおいて、前記一方向に対称に配置されていることを特徴とする。

0012

本発明によると、圧電アクチュエータにおいて、検査用電極が一方向に対称に配置されるため、第1の層と第2の層とを接合する際の加熱で、第1、第2の層が、第2の層とパッドや検査用電極との線膨張係数の差によって反ってしまうのを抑制することができる。

0013

第4の発明に係る液体吐出装置は、第1〜第3のいずれか発明に係る液体吐出装置において、前記第1の層と前記第2の層とが接着剤によって接合されており、前記複数の検査部が、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列の、前記一方向における両端部に対応して設けられていることを特徴とする。

0014

第1の層と第2の層とを接着剤で接合する場合、接合面に空気を挟みこまないようにするために、接合面の中央部に接着剤を塗布し、接合する部材を互いに押し付けることによって塗布した接着剤を接合面全体に広げて接合を行うことがある。この場合、接合面の端部には、最後に接着剤が到達することとなるため接着剤が行き届きにくく、当該端部における接着剤の厚みにばらつきが生じやすい。そのため、一方向に関する両端側の圧力付与部に対応するノズルでは液体の吐出特性にばらつきが生じやすい。

0015

これに対して、本発明では、少なくとも、一方向に沿って配列された圧力付与部の列の、一方向における両端部に対応して検査部が設けられているため、これらの検査部の共振周波数に応じて、駆動電位などを決定することにより、一方向に関する両端側の圧力付与部に対応するノズルからの液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

0016

第5の発明に係る液体吐出装置は、第4の発明に係る液体吐出装置において、前記複数の検査部が、さらに、前記圧力室列の前記一方向における中央部に対応して設けられていることを特徴とする。

0017

本発明によると、圧力付与部の列の一方向に関する略中央部に対応してさらに検査部が設けられているため、これらの検査部の共振周波数に応じて駆動電位などを決定することにより、一方向に関する両端側の圧力付与部に対応するノズルと、中央部側の圧力付与部に対応するノズルとの間での液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

0018

第6の発明に係る液体吐出装置は、第1〜第5のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記パッドの面積が、前記駆動電極の面積よりも大きいことを特徴とする。

0019

本発明によると、パッドの面積が駆動電極の面積よりも大きいので、プローブを容易にパッドに接触させることができる。

0020

第7の発明に係る液体吐出装置は、第1〜第6のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記第2の層には、前記駆動電極及び前記検査用電極とは別に、電圧が印加されないダミー電極が設けられており、前記複数のダミー電極は、前記複数の検査用電極、及び、前記複数のパッドの少なくともいずれか一方と、前記一方向に沿って並んでいることを特徴とする。

0021

本発明によると、圧電層に、検査用電極及びパッドの少なくともいずれか一方と、一方向に沿って並ぶダミー電極が設けられているため、第2の層とパッドや検査用電極との線膨張係数の差による、第1、第2の層の反りを抑制することができる。

0022

第8の発明に係る液体吐出装置は、第7の発明に係る液体吐出装置において、前記複数の検査部は、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列のある偏った部分に位置する前記圧力付与部に対応して設けられ、前記複数のパッドよりも面積が小さい前記ダミー電極が複数設けられ、これら複数のダミー電極が、前記複数のパッドと前記一方向に沿って配列されていることを特徴とする。

0023

仮に、圧力付与部の列から一方向にずれた領域の全域にわたって検査部が配置されているとすると、面積の大きいパッドが、第2の層の圧力付与部の列の全長にわたる領域に配置されることとなる。この場合には、第2の層とパッドとの線膨張係数の差による、第1、第2の層の反りが発生しやすい。さらに、このような場合には、第2の層のパッドの間の領域などにダミー電極を設けたとしても、第1、第2の層の反りを十分に抑制することができない虞がある。

0024

これに対して、本発明では、圧力付与部の列のある偏った部分に位置する圧力付与部に対応して検査部が設けられているため、上述の場合に比べて、第1、第2の層に反りが発生しにくい。さらに、パッドよりも面積の小さいダミー電極がパッドと一方向に沿って並んでいるため、第1、第2の層の反りを確実に抑制することができる。

0025

第9の発明に係る液体吐出装置は、第7又は第8の発明に係る液体吐出装置において、前記ダミー電極が複数設けられ、これら複数のダミー電極が、前記一方向に沿って等間隔に配列されていることを特徴とする。

0026

本発明によると、検査用電極とダミー電極、及び、パッドとダミー電極の少なくとも一方が、一方向に沿って均等に並ぶため、第2の層とパッドや検査用電極との線膨張係数の差による第1、第2の層の反りを抑制することができる。

0027

第10の発明に係る液体吐出装置は、第1〜第9のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記一方向に沿って配列された前記圧力付与部の列が、前記一方向と直交する直交方向に沿って複数配列されており、前記複数の検査部が、さらに、前記複数の圧力付与部の列の前記一方向に関する両側に設けられており、前記直交方向に沿って配列されていることを特徴とする。

0028

本発明によると、圧力付与部の列の一方向に関する両側の第2領域に、直交方向に配列された複数の検査部を設けられているため、圧力付与部の列が複数設けられている場合でも、これらの検査部の共振周波数に応じて駆動電位などを決定することにより、異なる圧力付与部の列に対応するノズルの間での、液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

0029

第11の発明に係る液体吐出装置は、第1〜第10のいずれかの発明に係る液体吐出装置において、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとの積層方向から見た前記検査用空間の形状が円形であることを特徴とする。

0030

本発明によると、検査用電極に印加する電圧の周波数を変化させたときに、出力される電流ピークが鋭くなる。したがって、検査部の共振周波数を検出しやすい。

0031

第12の発明に係る液体吐出装置は、第1〜第10の発明に係る液体吐出装置において、前記検査部の形状が前記圧力付与部の形状と同じであることを特徴とする。

0032

本発明によると、検査部の共振周波数と圧力付与部の共振周波数とがほぼ同じになる。したがって、検査部の共振周波数を検出し、その共振周波数に応じて駆動電位などを決定することにより、ノズルからの液体の吐出特性のばらつきを確実に抑制することができる。

発明の効果

0033

本発明によれば、複数の検査部の共振周波数に応じて、駆動電極に付与する駆動電位などを決定することにより、複数のノズル間での液体の吐出特性のばらつきを抑制することができる。

図面の簡単な説明

0034

第1実施形態に係るプリンタ概略構成図である。
図1のインクジェットヘッドの平面図である。
図2部分拡大図である。
図3のIV−IV線断面図である。
プリンタの製造手順を示す工程図である。
検査部の共振周波数を検出するときの状態を示す図である。
電極に印加する電圧の周波数と出力される電流値との関係を示す図である。
第2実施形態の図3相当の図である。
変形例1の図3相当の図である。
変形例2の図3相当の図である。

実施例

0035

[第1実施形態]
以下、本発明の好適な第1実施形態について説明する。

0036

図1に示すように、第1実施形態に係るプリンタ1は、キャリッジ2、インクジェットヘッド3、用紙搬送ローラ4などを備えている。キャリッジ2は、ガイドバー5に沿って走査方向に往復移動する。インクジェットヘッド3はキャリッジ2に搭載されており、その下面に形成された複数のノズル15(図2参照)からインクを吐出する。用紙搬送ローラ4は、記録用紙Pを走査方向と直交する紙送り方向に搬送する。

0037

そして、プリンタ1においては、用紙搬送ローラ4によって紙送り方向に搬送される記録用紙Pに、キャリッジ2とともに走査方向に往復移動するインクジェットヘッド3からインクを吐出することによって、記録用紙Pに印刷を行う。また、印刷が完了した記録用紙Pは、用紙搬送ローラ4によって排出される。

0038

次に、インクジェットヘッド3について説明する。インクジェットヘッド3は、図2図3に示すように、ノズル15や後述の圧力室10などのインク流路が形成された流路ユニット21と、圧力室10内のインクに圧力を付与するための圧電アクチュエータ22とを備えている。

0039

流路ユニット21は、4枚のプレート31〜34が、上からこの順に積層された状態で、接着剤により互いに接合されることによって形成されている。ここで、プレート31〜34のうち、最も下側のプレート34を除く3枚のプレート31〜33はステンレスなどの金属材料などからなる。また、プレート34は合成樹脂材料からなる。あるいは、プレート34もプレート31〜33と同じ金属材料からなるものであってもよい。

0040

プレート31には、複数の圧力室10が形成されている。圧力室10は走査方向を長手方向とする略長方形の平面形状を有している。また、複数の圧力室10は、紙送り方向に沿って千鳥状に配列されることによって圧力室列9を形成しており、プレート31には、このような圧力室列9が走査方向に4つ配列されている。

0041

また、プレート31には、略円形の平面形状を有する複数の検査用空間17a〜17cが形成されている。検査用空間17aは、各圧力室列9の紙送り方向に関する両端部から、走査方向の両側にずれた位置にそれぞれ3つずつ形成されており、紙送り方向に沿って配列されている。検査用空間17bは、各圧力室列9の紙送り方向に関する略中央部から、走査方向の両側にずれた位置にそれぞれ1つずつ形成されており、検査用空間17aと紙送り方向に配列されている。検査用空間17cは、4つの圧力室列9の紙送り方向に関する両側に8つずつ形成されており、走査方向に配列されている。

0042

プレート32には、圧力室10の長手方向の一方及び他方の端部と重なる部分に、それぞれ、略円形の貫通孔12、13aが形成されている。プレート33には、マニホールド流路11が形成されている。マニホールド流路11は、各圧力室列9において複数の圧力室10が千鳥状に配列されているのに対応して、各圧力室列9の走査方向の一方側に配置された圧力室10の貫通孔12側の略半分、及び、他方側に配置された圧力室10の貫通孔12側の略半分とそれぞれ重なるように、各圧力室列9に対して紙送り方向に2列に延びている。また、マニホールド流路11には、その基端部に連通するインク供給口8からインクが供給される。また、プレート33には、貫通孔13aと重なる部分に略円形の貫通孔13bが形成されている。プレート34には、貫通孔13bと重なる部分にノズル15が形成されている。

0043

そして、以上のような流路ユニット21においては、マニホールド流路11が貫通孔12を介して複数の圧力室10と連通しており、各圧力室10は、対応する貫通孔13a、13bによって形成されるディセンダ流路13を介してノズル15に連通している。これにより、流路ユニット21には、マニホールド流路11と、マニホールド流路11の出口から圧力室10を経てノズル15に至る複数の個別インク流路が形成されている。なお、検査用空間17a〜17cは、これらのインク流路とは連通しない独立した空間となっている。

0044

圧電アクチュエータ22は、インク分離層41、セラミックス層42、圧電層43、共通電極44、複数の個別電極45、複数の検査用電極46、複数のパッド47、複数のダミー電極48a〜48cなどを備えている。

0045

インク分離層41は、ステンレスなどの金属材料からなる板状の部材で、圧力室10及び検査用空間17a〜17cを覆うように、接着剤によってプレート31の上面に接合されている。インク分離層41は、圧力室10内のインクがセラミックス層42に接触しないようにするためのものである。セラミックス層42は、チタン酸鉛ジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、インク分離層41の上面に接着剤26によって接合されている。圧電層43は、セラミックス層42と同様の圧電材料からなり、セラミックス層42の上面に配置されている。また、セラミックス層42及び圧電層43は、複数の圧力室10及び複数の検査用空間17a〜17cにまたがって連続的に延びている。

0046

なお、セラミックス層42は、圧電層43とは異なり、圧電材料以外の材料によって構成されていてもよい。また、互いに積層されたインク分離層41及びセラミックス層42の代わりに1つの部材、あるいは互いに積層された3以上の部材が配置されていてもよい。

0047

ここで、インクジェットヘッド3では、プレート31〜34の間や、プレート31とインク分離層41との間にも接着剤が存在しているが、図4では、図面をわかりやすくするために、上述の接着剤26以外の接着剤については、図示を省略している。

0048

共通電極44は、セラミックス層42と圧電層43との間に形成されており、そのほぼ全域にわたって延びている。共通電極44は、圧電層43に形成されたスルーホール39を介して圧電層43の上面に形成された表面電極38に引き出されている。表面電極38には、図示しない配線部材を介して図示しないドライバICが接続されており、共通電極44は、ドライバICにより、常にグランド電位に保持されている。

0049

複数の個別電極45は、圧力室10よりも一回り小さい略長方形の平面形状を有しており、圧電層43の上面の複数の圧力室10の略中央部と重なる部分に配置されている。また、個別電極45は、走査方向に関するノズル15と反対側に、圧力室10と対向しない位置まで延びており、その先端部が接続端子45aとなっている。接続端子45aには図示しない配線部材を介してドライバICが接続されている。そして、個別電極45には、ドライバICにより、グランド電位及び駆動電位のいずれかが選択的に付与される。

0050

複数の検査用電極46は、検査用空間17a〜17cよりも一回り小さい略円形の平面形状を有しており、圧電層43の上面の検査用空間17a〜17cの略中央部と重なる部分に配置されている。

0051

ここで、共通電極44、複数の個別電極45及び複数の検査用電極46がこのように配置されているのに対応して、圧電層43の、個別電極45と共通電極44とに挟まれた部分、及び、検査用電極46と共通電極44とに挟まれた部分は、その厚み方向に分極されている。

0052

複数のパッド47は、紙送り方向に関する長さが個別電極よりも長くなった略長方形の平面形状を有しており、個別電極45よりも面積が大きくなっている。複数のパッド47は、複数の検査用電極46に対応して設けられており、対応する検査用電極46と走査方向に隣接して配置されている。そして、互いに対応する検査用電極46とパッド47とは、圧電層43の上面に形成された導通部49を介して互いに導通している。

0053

ダミー電極48aは、検査用電極46とほぼ同じ略円形の平面形状を有しており、圧電層43の上面の、検査用電極46の紙送り方向に関する両側の部分に配置されている。ダミー電極48bは、紙送り方向に関する長さがパッド47よりも短い略長方形の平面形状を有している。ダミー電極48bは、圧電層43の上面のパッド47の紙送り方向に関する両側の部分にそれぞれ配置されている。

0054

ダミー電極48cは、走査方向に関する長さがダミー電極48bよりも短い略長方形の平面形状を有している。ダミー電極48cは、圧電層43の上面の、検査用空間17aに対応する検査用電極46及びパッド47と、検査用空間17bに対応する検査用電極46及びパッド47との間の部分に配置されており、紙送り方向に配列されている。また、ダミー電極48cは、走査方向に2列に配列されており、一方の列を形成するダミー電極48cが、検査用電極46及びダミー電極48aと紙送り方向に並んでおり、もう一方の列を形成するダミー電極48cが、パッド47及びダミー電極48bと紙送り方向に並んでいる。

0055

ここで、ダミー電極48a〜48cは、他の電極や配線などとは接続されておらず、個別電極45や検査用電極46とは異なり、電圧が印加されることはない。

0056

そして、以上のような構成の圧電アクチュエータ22は、複数の圧力室10と重なる部分が、それぞれ、対応する圧力室10内のインクに圧力を付与するための圧力付与部22aとなっている。そして、複数の圧力付与部22aは、複数の圧力室10と同様に、紙送り方向に千鳥状に配列されることによってそれぞれ形成されており、走査方向に配列された4つの圧力付与部22aの列を形成している。

0057

また、圧電アクチュエータ22は、検査用空間17a〜17cと重なる部分が、それぞれ、検査部22b1〜22b3となっている。これにより、検査部22b1、22b2は、それぞれ、圧力付与部22aの列の紙送り方向に関する両端部及び略中央部から、走査方向に関する両側にずれた位置に配置され、紙送り方向に沿って配列されている。また、検査部22b3は、4つの圧力付与部22aの列の紙送り方向に関する両側に配置され、走査方向に沿って配列されている。

0058

そして、検査部22b1〜22b3がこのように配置されることにより、検査部22b1〜22b3は、圧電アクチュエータ22の紙送り方向に関する中心に位置し、且つ、走査方向に延びた直線Lに関して対称に配置されている。すなわち、検査部22b1〜22b3は、圧電アクチュエータ22において、紙送り方向に対称に配置されている。さらに、ダミー電極48a〜48cも、直線Lに関して対称に配置されている。

0059

ここで、インクジェットヘッド3において、圧電アクチュエータ22を駆動してノズル15からインクを吐出させる方法について説明する。圧電アクチュエータ22においては、予め、ドライバICにより、全ての個別電極45がグランド電位に保持されている。あるノズル15からインクを吐出させる際には、対応する個別電極45の電位を駆動電位に切り換える。すると、圧電層43の当該個別電極45と共通電極44とに挟まれた部分に電圧が印加され、圧電層のこの部分に分極方向と平行な電界が発生する。そして、この電界により、圧電層43のこの部分は、分極方向と直交する水平方向に収縮し、インク分離層41、セラミックス層42及び圧電層43の圧力室10と重なる部分が全体として圧力室10側に凸となるように変形して、圧力室10の容積が減少する。これにより、圧力室10内のインクの圧力が上昇し、圧力室10に連通するノズル15からインクが吐出される。

0060

次に、プリンタ1の製造方法について図5フローチャートを用いて説明する。プリンタ1を製造するには、図5に示すように、まず、インクジェットヘッド3を製造する(ステップS101、以下、単にS101などとする)。

0061

このとき、これらの部材のうちある2つの部材を接合する場合に、接合面の略中央部に接着剤を塗布するとともに、これら2つの部材を互いに押し付けることによって、塗布した接着剤を接合面全体に広げる。これにより、これら2つの部材を接合した後に、接合面に空気が残留してしまうのを防止することができる。

0062

続いて、複数の検査部22b1〜22b3の共振周波数を検出する(S102)。具体的には、例えば、図6に示すように、共通電極44に電流検出装置61を接続するとともに、検査用電極46に対応するパッド47に、電圧印加装置62に接続されたプローブ63を接触させる。そして、電圧印加装置62により、プローブ63からパッド47及び導通部49を介して検査用電極46に電圧を印加するとともに、その周波数を順次変化させ、共通電極44から出力される電流値Ieを検出する。

0063

このとき、図7に示すように、検査用電極46に印加された電圧の周波数が検査部22b1〜22b3の共振周波数となったときに、当該周波数が検査部22b1〜22b3の共振周波数以外の周波数であるときよりも、共通電極44から出力される電流値Ieが極端に大きくなる。このことを利用して、電流値Ieのピークが得られたときに、検査用電極46に印加された電圧の周波数を、検査部22b1〜22b3の共振周波数として検出する。

0064

ここで、圧力付与部22aについても、上述したのと同様、図7に示すように、個別電極45に印加された電圧の周波数が圧力付与部22aの共振周波数となったときに、当該周波数が圧力付与部22aの共振周波数以外の周波数であるときよりも、共通電極44から出力される電流値Idが極端に大きくなる。

0065

一方、第1実施形態では、検査用空間17a〜17cは圧力室10と平面形状が異なっているため、検査部22b1〜22b3の共振周波数は、圧力付与部22aの共振周波数とは異なっている。より詳細には、例えば、図7に示すように、検査部22b1〜22b3の1次振動モードにおける共振周波数Fe1が、圧力付与部22aの1次振動モードにおける共振周波数Fd1と、2次振動モードにおける共振周波数Fd2のほぼ中間の周波数となっている。そして、第1実施形態では、検査部22b1〜22b3の共振周波数として1次振動モードでの共振周波数Fe1を検出する。

0066

次に、複数の検査部22b1〜22b3の共振周波数Fe1が、所定範囲Rに収まっているか否かをそれぞれ判定する(S103)。そして、いずれかの検査部22b1〜22b3の共振周波数Fe1が上記所定範囲Rから外れている場合には(S103:NO)、圧電アクチュエータ22が不良品であるとして、当該圧電アクチュエータ22を有するインクジェットヘッド3を破棄し、又は、当該インクジェットヘッド3を分解してリサイクルするための工程に送り(S104)、フローを終了する。

0067

一方、全ての検査部22b1〜22b3の共振周波数Fe1が、上記所定範囲Rに収まっている場合には(S103:YES)、共振周波数Fe1に応じて、複数の個別電極45に付与する駆動電位を個別に決定する(S105)。

0068

そして、この後、インクジェットヘッド3にドライバICを取り付ける、インクジェットヘッド3をキャリッジ2に組み付けるなど、プリンタ1の製造のための以降の製造工程に進み(S106)、プリンタ1の完成によってフローを終了する。

0069

以上に説明した第1実施形態によると、検査部22b1〜22b3の共振周波数Fe1は、検査部22b1〜22b3の厚みと相関関係にある。また、検査部22b1、22b2は、圧力付与部22aの列から走査方向の両側にずれた位置に紙送り方向に沿って配列されている。したがって、検査部22b1〜22b3の共振周波数Fe1を検出し、検出した共振周波数Fe1に応じて複数の個別電極45に付与する駆動電位を決定することにより、複数のノズル15からのインクの吐出特性のばらつきを抑制することができる。

0070

また、インクジェットヘッド3を製造する際に、上述したように、接合面の中央部に接着剤を塗布し、接合する2つの部材を互いに押し付けることによって塗布した接着剤を接合面全体に広げてこれら2つの部材の接合を行う場合、接合面の端部には、最後に接着剤が到達することとなるため、接着剤が行き届きにくい。そのため、当該端部における接着剤の厚みにばらつきが生じやすく、紙送り方向に関する両端側の圧力付与部22aに対応するノズル15は、中央部側の圧力付与部22aに対応するノズル15よりもインクの吐出特性にばらつきが生じやすい。

0071

これに対して、第1実施形態では、圧力付与部22aの列の、紙送り方向に関する両端部から走査方向に関する両側にずれた位置に、それぞれ、紙送り方向に配列された検査部22b1が設けられている。これにより、検査部22b1の共振周波数に応じて紙送り方向に関する両端側の圧力付与部22aの駆動電位を決定することにより、これらの圧力付与部22aに対応する複数のノズル15からのインクの吐出特性のばらつきを確実に抑制することができる。

0072

また、第1実施形態では、圧力付与部22aの列の、紙送り方向に関する略中央部から走査方向に関する両側にずれた位置に、さらに検査部22b2が設けられている。圧電アクチュエータ22には、上述の通り、紙送り方向に関する両端側と中央部側とで接着剤26の厚みに大きな差ができる。これに対して、第1実施形態では、検査部22b1に加えて、圧力付与部22aの列の紙送り方向に関する中央部から走査方向に関する両側にずれた位置に検査部22b2が設けられている。したがって、検査部22b1、22b2の共振周波数に応じて、圧力付与部22aに対する駆動電位を決定することにより、紙送り方向に関する両端側のノズル15と中央部側ノズ15との間におけるインクの吐出特性のばらつきを抑制することができる。

0073

また、第1実施形態では、各圧力付与部22aの列に対して、検査部22b1、22b2が設けられている。さらに、4つの圧力付与部22aの列の紙送り方向に関する両側に、走査方向に沿って配列された検査部22b3が設けられている。したがって、検査部22b1〜22b3の共振周波数に応じて、各圧力付与部22aに対する駆動電位を決定することにより、互いに異なる圧力付与部22aに対応するノズル15の間においても、インクの吐出特性のばらつきを抑制することができる。

0074

また、第1実施形態では、検査部22b1〜22b3の平面形状が略円形であるので、検査用電極46に印加する電圧の周波数を変化させたときに共通電極44から出力される電流値Ieピークが鋭くなる。したがって、共振周波数を検出しやすい。

0075

また、第1実施形態では、パッド47の面積が、個別電極45の面積よりも大きくなっているので、プローブ63を容易にパッド47に接触させることができる。

0076

また、圧電アクチュエータ22では、圧電層43と、その上面に形成された個別電極45、検査用電極46及びパッド47との間には線膨張係数の差がある。そのため、仮に、圧電層43の上面にダミー電極48a〜48cが配置されていないとすると、圧電層43とセラミックス層42とを接着剤で接合する際の加熱により、圧電層43、及び、圧電層43と接合されたインク分離層41及びセラミックス層42は、上記線膨張係数の差によって反ってしまう虞がある。

0077

これに対して、第1実施形態では、圧電層43の上面の検査用電極46の紙送り方向に関する両側の領域にダミー電極48aが配置されている。また、圧電層43の上面のパッド47の紙送り方向に関する両側の領域にダミー電極48bが配置されている。また、圧電層43の上面の検査部22b1に対応する検査用電極46及びパッド47と、検査部22b2に対応する検査用電極46及びパッド47との間に、紙送り方向に沿って2列に配列された複数のダミー電極48cが形成されている。すなわち、圧電層43の上面には、その全域にわたって均等に、個別電極45、検査用電極46、パッド47及びダミー電極48a〜48cのいずれかが配置されている。したがって、上記線膨張係数の差によるインク分離層41、セラミックス層42及び圧電層の反りを抑制することができる。

0078

さらに、第1実施形態では、検査用電極46とダミー電極48a、48c、及び、パッド47とダミー電極48b、48cとが、それぞれ、紙送り方向にほぼ等間隔に配列されている。したがって、圧電層43の上面にはその全域にわたってきわめて均等に、個別電極45、検査用電極46、パッド47及びダミー電極48a〜48cのいずれかが配置される。したがって、上記インク分離層41、セラミックス層42及び圧電層43の反りを確実に抑制することができる。

0079

加えて、第1実施形態では、検査用電極46、パッド47及びダミー電極48a〜48cが、直線Lに関して対称に配置されているため、上記線膨張係数の差によって圧電層43に加わる応力が、直線Lに関して対称に加わることとなる。したがって、直線Lを挟んだ両側の部分の間に応力の偏りがなく、上記インク分離層41、セラミックス層42及び圧電層43の反りを確実に抑制することができる。

0080

また、第1実施形態では、以上のように、圧力付与部22aの列から走査方向に関する両側にずれた領域のうち、紙送り方向に関する両端部及び略中央部に対応する領域にのみ検査部22b1、22b2が配置されているなど、複数の検査部22b1〜22b3は圧電アクチュエータ22において偏って配置されている。すなわち、検査用電極46やパッド47は、圧電層43の上面の偏った領域に配置されている。そして、ダミー電極48a〜48cが、圧電層43の検査用電極46やパッド47が形成されていない領域に配置されることで、圧電層43の上面の全域にわたって均等に、個別電極45、検査用電極46、パッド47及びダミー電極48a〜48cのいずれかが配置されている。

0081

ここで、第1実施形態とは異なり、圧力付与部22aの列の両側の領域に、その全域にわたって、紙送り方向に配列された複数の検査部を設けることが考えられる。この場合でも、圧電層43の上面の全域にわたって均等に、個別電極45、検査用電極46及びパッド47のいずれかが配置される。しかしながら、この場合には、圧電層43の上面に個別電極45よりも面積の大きいパッド47が多数配置されることとなるため、上記インク分離層41、セラミックス層42及び圧電層43の反りが発生しやすくなってしまう。また、この場合には、圧電層43の上面のパッド47の間の領域などにさらにダミー電極を設けたとしても、上記インク分離層41、セラミックス層42及び圧電層43の反りを十分に抑制することができない虞がある。

0082

これに対して、第1実施形態では、上述の通り、検査用電極46やパッド47が、圧電層43の上面の偏った領域に配置されている。そして、圧電層43の上面のパッド47の間の部分に、パッド47よりも面積の小さいダミー電極48b、48cが配置されている。したがって、上記インク分離層41、セラミックス層42及び圧電層43の反りを確実に抑制することができる。

0083

なお、第1実施形態では、インク分離層41とセラミックス層42とを合わせたものが、本発明に係る第1の層に相当する。また、圧電層43が本発明に係る第2の層に相当し、個別電極45と、共通電極44の個別電極45と重なる部分が本発明に係る駆動電極に相当する。また、走査方向が本発明に係る一方向に相当し、紙送り方向が本発明に係る直交方向に相当する。

0084

[第2実施形態]
次に、本発明の好適な第2実施形態について説明する。ただし、第2実施形態は、第1実施形態と一部が異なっているだけであるので、以下では、第1実施形態と異なっている部分を中心に説明し、第1実施形態と同様の構成については、適宜その説明を省略する。

0085

第2実施形態に係るインクジェットヘッド103では、図8に示すように、検査用空間17a〜17c、検査部22b1〜22b3、ダミー電極48a、及び、ダミー電極48aと紙送り方向に並ぶダミー電極48cが設けられていない。また、個別電極45とパッド47とが、導通部71を介して導通している。

0086

そして、第2実施形態では、上述の第1実施形態のS102の工程において、パッド47及び導通部71を介して個別電極45に電圧を印加し、当該電圧の周波数を変化させることによって、圧力付与部22aの1次共振モードにおける共振周波数Fd1(図6参照)を検出する。そして、S105において、S102で検出した圧力付与部22aの共振周波数Fd1に応じて、複数の個別電極45に付与する駆動電位を個別に決定する。

0087

複数の圧力付与部22aの共振周波数Fd1は、圧力付与部22aの厚みに対応したものとなる。また、各圧力付与部22aの列において、共振周波数が検出される圧力付与部22aとそれ以外の圧力付与部22aとは紙送り方向に沿って配列されている。したがって、第2実施形態では、複数の圧力付与部22aの共振周波数Fd1に応じて、個別電極45に付与する駆動電位を決定することにより、複数のノズル15からのインクの吐出特性のばらつきを抑制することができる。

0088

また、第2実施形態では、複数の圧力付与部22aのうちの一部が共振周波数を検出するための検査部を兼ねているため、圧力付与部22aとは別に検査部を設ける必要がなく、インクジェットヘッド103を小型化することができる。

0089

また、第2実施形態においても、圧電層43の上面に、パッド47と紙送り方向に並ぶダミー電極48b、48cが形成されていることにより、第1実施形態と同様、上記線膨張係数の差によるインク分離層41、セラミックス層42及び圧電層43の反りを抑制することができる。

0090

次に、第1、第2実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、第1、第2実施形態と同様の構成については、適宜その説明を省略する。

0091

第1実施形態では、圧電層43の上面に、3種類のダミー電極48a〜48cが形成されていたが、これには限られない。一変形例(変形例1)では、図9に示すように、ダミー電極48a、48bに代わって、ダミー電極48a、48bが配置されていた領域にまたがるように走査方向に延びたダミー電極48dが形成されている。また、走査方向に2列に配列されたダミー電極48cに代わって、2列のダミー電極48cが配置されていた領域にまたがるように走査方向に延びたダミー電極48eが形成されている。そして、ダミー電極48d、48eは、検査用電極46及びパッド47のいずれとも紙送り方向に並んでいる。この場合でも、第1実施形態と同様、上記線膨張係数の差によるインク分離層41、セラミックス層42及び圧電層43の反りを抑制することができる。

0092

また、第1実施形態では、検査用電極46とダミー電極48a、48cとが紙送り方向にほぼ等間隔に配列され、第1、第2実施形態では、パッド47とダミー電極48b、48cとが、紙送り方向にほぼ等間隔に配列されていたが、これには限られない。すなわち、検査用電極46及びダミー電極48a、48cの配列間隔や、パッド47及びダミー電極48b、48cの配列間隔は不均一であってもよい。

0093

また、第1実施形態では、ダミー電極が、検査用電極46及びパッド47のいずれとも紙送り方向に並ぶように配置されていたが、これには限られない。例えば、ダミー電極48a〜48cのうち、検査用電極46と紙送り方向に並ぶダミー電極48a、48cのみが設けられていてもよい。あるいは、ダミー電極48a〜48cのうち、パッド47と紙送り方向に並ぶダミー電極48b、48cのみが設けられていてもよい。

0094

また、第1、第2実施形態では、パッド47と紙送り方向に並ぶダミー電極48b、48cの面積が、パッド47の面積よりも小さくなっていたが、これには限られない。すなわち、ダミー電極48b、48cの面積は、パッド47の面積と同程度、あるいは、パッド47の面積よりも大きくてもよい。

0095

これらの場合でも、圧電層43の上面にダミー電極48a〜48cが形成されていない場合に比べれば、上記線膨張係数の差によるインク分離層41、セラミックス層42及び圧電層43の反りを抑制することができる

0096

また、以上の例では、圧電層43の上面にダミー電極が形成されていたが、ダミー電極は形成されていなくてもよい。

0097

また、第1実施形態では、検査部22b1〜22b3が略円形の平面形状を有するものであったが、これには限られない。別の一変形例(変形例2)では、図10に示すように、流路ユニット21のプレート31に形成された検査用空間81の平面形状が、圧力室10とほぼ同じ略矩形となっている。なお、図10の検査用空間81は検査用空間17aに対応するものであるが、検査用空間17b、17cに対応する検査用空間も同様の形状となっている。また、これに対応して、検査用電極82の平面形状が、個別電極45とほぼ同じ略矩形となっている。すなわち、検査部の平面形状が、圧力付与部22aの平面形状とほぼ同じとなっている。なお、変形例2では、検査用電極82の形状に対応して、ダミー電極48a、48cの形状が第1実施形態とは異なっている。

0098

この場合には、圧力付与部22aの共振周波数と、検査部22b1〜22b3の共振周波数とが、ほぼ同じになる。したがって、検査部22b1〜22b3の共振周波数を検出し、検出した共振周波数に応じて駆動電位を決定することにより、ノズル15からの液体の吐出特性を確実に抑制することができる。

0099

さらには、検査部22b1〜22b3の平面形状は、円形であることや、圧力付与部22aの平面形状と同じであることにも限られず、例えば、正方形など、円形及び圧力付与部22aの平面形状のいずれとも異なる形状であってもよい。

0100

また、第1実施形態では、圧電アクチュエータ22に、検査部22b1〜22b3が設けられていたが、検査部の配置はこれには限られない。

0101

例えば、検査部22b3は設けられていなくてもよい。この場合には、圧電アクチュエータ22の紙送り方向に関する両端部に、検査部22b3を配置するための領域を設けなくてもよいので、圧電アクチュエータ22を小型化することができる。

0102

なお、検査部22b3がないと、異なる圧力室列9に対応するノズル15の間で、インクの吐出特性にばらつきが生じてしまう虞がある。しかしながら、検査部22b1、22b2の共振周波数に応じて個別電極45に付与する駆動電位を決定することにより、1つの圧力室列9に対応する複数のノズル15の間におけるインクの吐出特性のばらつきを抑制することはできる。

0103

ここで、例えば、プリンタ1では、キャリッジ2とともに走査方向に移動するインクジェットヘッド3からインクを吐出して記録用紙Pにインクを着弾させた後、用紙搬送ローラ4により記録用紙Pを紙送り方向に配列されたノズル15の列の長さだけ搬送するといった動作(以下、単位記録動作とする)を繰り返し行って印刷を行うことがある。

0104

この場合、印刷された画像においては、連続する2回の単位記録動作によって記録された部分の境界に、紙送り方向に関する一方の端に位置するノズル15から吐出されたインクによって形成されたドットと、他方の端に位置するノズル15から吐出されたインクによって形成されたドットとが、紙送り方向に隣接して並ぶことになる。

0105

これらのノズル15に対応する圧力付与部22aは大きく離れているため、これらの圧力付与部22aの間の厚みの差は大きく、これらの圧力付与部22aの個別電極45に同じの駆動電位を付与すると、印刷される画像の上記境界部分にムラが生じ、画質が大きく低下してしまう。したがって、印刷される画像の画質の低下を抑えるためには、1つの圧力室列9に対応する複数のノズル15の間では、インクの吐出特性のばらつきを十分に抑制する必要がある。

0106

これに対して、当該画像においては、紙送り方向に関して同じ位置にあるノズル15から吐出されたインクにより形成されるドットが走査方向に並ぶ。一方、紙送り方向に関して同じ位置にあるノズル15に対応する圧力付与部22a同士は互いに近い位置にあるため、これらの圧力付与部22aの間には、それほど大きな厚みのばらつきはない。すなわち、駆動電極45に同じ駆動電位を付与しても、異なる圧力付与部22aの列に対応するノズル15のうち、紙送り方向に関する位置が同じとなるノズル15の間では、それほど大きなインクの吐出特性のばらつきは生じない。

0107

したがって、検査部22b3がなく、検査部22b1、22b2の共振周波数に応じて個別電極45に付与する駆動電位を決定しても、印刷される画像の画質はそれほど大きくは低下しない。

0108

また、検査部22b1、22b2は、一部の圧力付与部22aの列に対してのみ設けられていてもよい。紙送り方向における圧電アクチュエータ22の厚みの分布は、走査方向の位置によらず似たような傾向となる。したがって、一部の圧力付与部22aの列に対してのみ設けられた検査部22b1、22b2の共振周波数に応じて、全ての圧力付与部22aに対する駆動電位を決定することにより、各圧力室列9に対応する複数のノズル15の間での、インクの特性のばらつきを抑制することができる。

0109

また、圧力付与部22aの列に対応して設けられる検査部の位置は、以上に説明したものには限られない。例えば、検査部22b2は設けられていなくてもよい。接着剤によりインクジェットヘッド3を構成する部材同士を接合する場合には、上述の通り、圧電アクチュエータ22の厚みのばらつきは、その端部においては生じやすく、中央部においては生じにくい。したがって、紙送り方向に関する両端部の圧力付与部22aについては検査部22b1の共振周波数に応じて駆動電位を決定し、中央部の圧力付与部22aについては駆動電位を設計上決まる駆動電位とするなどしても、複数のノズル15からのインクの吐出特性のばらつきをある程度抑えることができる。

0110

また、検査部は、圧力付与部22aに沿って紙送り方向に配列されるように複数設けられていれば、各圧力付与部22aの列から走査方向の両側にずれた領域のうち、上述したのとは異なる領域に設けられていてもよい。また、紙送り方向に配列された複数の検査部が、各圧力付与部22aの列から走査方向の両側にずれた領域の全域にわたって配置されていてもよい。また、圧力付与部22aに対応して設けられる検査部は、圧力付与部22aの列から走査方向に関する一方側にずれた領域にのみ設けられていてもよい。

0111

また、以上の例では、セラミックス層42及び圧電層43が、全ての圧力室10及び検査用空間17a〜17cにまたがって延びていたが、これには限られない。例えば、インク分離層41の上面に、セラミックス層42及び圧電層43が、各圧力室列9に対して個別に設けられていてもよい。

0112

また、以上の例では、検査部の共振周波数に応じて駆動電位を決定することによって、ノズル15からのインクの吐出特性のばらつきを抑制したが、これには限られない。例えば、駆動電位を決定する代わりに、駆動信号波形を決定するなどしてもよい。

0113

また、以上では、複数のノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに本発明を適用した例について説明したが、これには限られない。複数のノズルからインク以外の液体を吐出する液体吐出装置に本発明を適用することも可能である。

0114

10圧力室
15ノズル
17a〜17c検査用空間
21流路ユニット
22圧電アクチュエータ
22a圧力付与部
22b1〜22b3検査部
41インク分離層
42セラミックス層
43圧電層
45 個別電極
46検査用電極
47パッド
48a〜48e ダミー電極

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