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図面 (3)

課題

効率の高い被検査対象検査方法を提供する。

解決手段

被検査対象の検査方法では、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、一の被検査対象列よりも撮像装置の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列において第2の方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する評価工程とを並行して行う。

概要

背景

従来、プラズマディスプレイなどにおいて、ガラス基板の上に複数の電極マトリクス状に配された基板が使用されている。この複数の電極の形状に欠陥があると、プラズマディスプレイなどの特性が劣化する。このため、プラズマディスプレイなどの製造工程においては、ガラス基板上の複数の電極の形状などを被検査対象とした、いわゆる隣接比較法による検査が行われている。このような検査においては、複数の電極の画像を撮像装置で取得した後、取得された電極の画像のうち、隣り合っているかまたは離れて並んでいる電極の画像同士を比較して、電極の欠陥の有無を検査する(例えば、特許文献1などを参照)。

概要

効率の高い被検査対象の検査方法を提供する。被検査対象の検査方法では、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、一の被検査対象列よりも撮像装置の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列において第2の方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する評価工程とを並行して行う。

目的

本発明は、効率の高い被検査対象の検査方法を提供することを主な目的とする

効果

実績

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請求項1

第1及び第2の方向に沿ってマトリクス状に配された複数の被検査対象検査方法であって、撮像装置を前記複数の被検査対象に対して前記第1の方向に沿って相対的に走査させながら、前記第2の方向に沿って配された複数の被検査対象からなる被検査対象列ごとに、前記被検査対象の画像を取得していく工程と、一の被検査対象の画像と、前記第2の方向において前記一の被検査対象と並ぶ被検査対象の画像とを比較することにより前記被検査対象の検査を行う評価工程と、を備え、一の前記被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、前記一の被検査対象列よりも前記撮像装置の前記複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、前記一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、前記一の被検査対象列において前記第2の方向に並ぶ前記被検査対象の前記取得された画像同士を比較する評価工程とを並行して行う、被検査対象の検査方法。

請求項2

取得した前記複数の被検査対象の画像を用いて、前記第1の方向に並ぶ前記被検査対象の画像同士を比較する工程をさらに備える、請求項1に記載の被検査対象の検査方法。

請求項3

前記一の被検査対象列よりも前記撮像装置の前記複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、取得した前記複数の被検査対象の画像を用いて、前記第1の方向に並ぶ前記被検査対象の画像同士を比較する工程を並行して行う、請求項2に記載の被検査対象の検査方法。

請求項4

前記評価工程において、ある前記被検査対象の画像を用いて、当該画像に対して第2の方向の一方側に並んでいる前記被検査対象の画像と比較していく工程と、ある前記被検査対象の画像を用いて、当該画像に対して第2の方向の他方側に並んでいる前記被検査対象の画像と比較していく工程との両方を行う、請求項1〜3のいずれか一項に記載の被検査対象の検査方法。

請求項5

前記マトリクス状に配された複数の被検査対象の少なくともひとつの角部に位置する被検査対象の画像を直接検査する、請求項1〜4のいずれか一項に記載の被検査対象の検査方法。

技術分野

0001

本発明は、被検査対象検査方法に関する。

背景技術

0002

従来、プラズマディスプレイなどにおいて、ガラス基板の上に複数の電極マトリクス状に配された基板が使用されている。この複数の電極の形状に欠陥があると、プラズマディスプレイなどの特性が劣化する。このため、プラズマディスプレイなどの製造工程においては、ガラス基板上の複数の電極の形状などを被検査対象とした、いわゆる隣接比較法による検査が行われている。このような検査においては、複数の電極の画像を撮像装置で取得した後、取得された電極の画像のうち、隣り合っているかまたは離れて並んでいる電極の画像同士を比較して、電極の欠陥の有無を検査する(例えば、特許文献1などを参照)。

先行技術

0003

特開2000−19063号公報

発明が解決しようとする課題

0004

近年、上記のような被検査対象の検査の効率を高めたいという要望がある。

0005

本発明は、効率の高い被検査対象の検査方法を提供することを主な目的とする。

課題を解決するための手段

0006

本発明の被検査対象の検査方法は、第1及び第2の方向に沿ってマトリクス状に配された複数の被検査対象の検査方法である。被検査対象の検査方法は、撮像装置を複数の被検査対象に対して第1の方向に沿って相対的に走査させながら、第2の方向に沿って配された複数の被検査対象からなる被検査対象列ごとに、被検査対象の画像を取得していく工程と、一の被検査対象の画像と、第2の方向において一の被検査対象と並ぶ被検査対象の画像とを比較することにより被検査対象の検査を行う評価工程とを備える。一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、一の被検査対象列よりも撮像装置の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列において第2の方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する評価工程とを並行して行う。

0007

取得した複数の被検査対象の画像を用いて、第1の方向に並ぶ被検査対象の画像同士を比較する工程をさらに備えることが好ましい。

0008

一の被検査対象列よりも撮像装置の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、取得した複数の被検査対象の画像を用いて、第1の方向に並ぶ被検査対象の画像同士を比較する工程を並行して行うことが好ましい。

0009

評価工程において、ある被検査対象の画像を用いて、当該画像に対して第2の方向の一方側に並んでいる被検査対象の画像と比較していく工程と、ある被検査対象の画像を用いて、当該画像に対して第2の方向の他方側に並んでいる被検査対象の画像と比較していく工程との両方を行うことが好ましい。

0010

マトリクス状に配された複数の被検査対象の少なくともひとつの角部に位置する被検査対象の画像を直接検査することが好ましい。

発明の効果

0011

本発明によれば、効率の高い被検査対象の検査方法を提供することができる。

図面の簡単な説明

0012

本発明の一実施形態に係る被検査対象の検査方法を説明するための模式図である。
本発明の一実施形態に係る被検査対象の検査方法を説明するための模式図である。

実施例

0013

以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、以下の実施形態は単なる例示である。本発明は、以下の実施形態に何ら限定されない。

0014

また、実施形態などにおいて参照する各図面において、実質的に同一の機能を有する部材は同一の符号で参照することとする。また、実施形態等において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。図面相互間においても、物体の寸法比率などが異なる場合がある。具体的な物体の寸法比率などは、以下の説明を参酌して判断されるべきである。

0015

図1は、本実施形態に係る被検査対象の検査方法を説明するための模式図である。本実施形態では、例えば、プラズマディスプレイのガラス基板の上に配された複数の電極などの検査方法について、図1を主として参照しながら説明する。

0016

図1に示されるように、被検査対象物11は、基板10と、基板10の上に配された複数の被検査対象S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55とを備えている。複数の被検査対象S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55は、x軸方向及びy軸方向に沿ってマトリクス状に配されている。複数の被検査対象S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55は、x軸方向に沿って配された複数の被検査対象列L1a,L2a,L3a,L4a,L5aを含む。被検査対象列L1aは、y軸方向に沿って配された複数の被検査対象S11〜S15を含む。被検査対象列L2aは、y軸方向に沿って配された複数の被検査対象S21〜S25を含む。被検査対象列L3aは、y軸方向に沿って配された複数の被検査対象S31〜S35を含む。被検査対象列L4aは、y軸方向に沿って配された複数の被検査対象S41〜S45を含む。被検査対象列L5aは、y軸方向に沿って配された複数の被検査対象S51〜S55を含む。

0017

なお、本実施形態においては、被検査対象S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55は、それぞれ、パターニングされた電極である。ここでは、具体的には、被検査対象S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55の位置精度及び形状精度を検査する工程について説明する。

0018

画像取得工程)
まず、画像取得工程を行う。具体的には、画像取得工程において、撮像装置3を複数の被検査対象S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55に対してx軸方向に相対的に走査させながら、被検査対象列L1a,L2a,L3a,L4a,L5a毎に、被検査対象S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55の画像を取得していく。

0019

より具体的には、まず、制御部1は、まず撮像装置3を被検査対象列L1aの上に位置させる。次に、制御部1は、撮像装置3に被検査対象列L1aに含まれる被検査対象S11〜S15のそれぞれの画像を取得させ、撮像装置3から出力させる。制御部1は、撮像装置3に被検査対象S11〜S15のそれぞれの画像を一度に取得させてもよい。また、制御部1は、撮像装置3に被検査対象S11〜S15の各画像を例えばy軸方向に沿って順番に取得させてもよい。本実施形態では、さらに詳細には、制御部1は、撮像装置3に設けられた撮像素子をy軸方向に走査させながら、撮像素子に、被検査対象S11,S12,S13,S14及びS15の画像をこの順番で撮像させていく。制御部1は、出力された被検査対象S11〜S15の画像を記憶部2に記憶させる。

0020

次に、制御部1は、撮像装置3を、被検査対象列L1aに対してx軸方向のx1側に位置する被検査対象列L2aの上に移動させる。次に、制御部1は、撮像装置3に、被検査対象列L2aに含まれる被検査対象S21〜S25のそれぞれの画像を取得させ、撮像装置3から出力させる。制御部1は、出力された被検査対象列L2aに含まれる被検査対象S21〜S25の画像を記憶部2に記憶させる。

0021

以下同様に、制御部1は、撮像装置3の移動、撮像装置3による被検査対象列L3a、L4a、L5aに含まれる被検査対象S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55の画像撮影、及び記憶部2による画像データの記憶を行う。

0022

(第1の評価工程)
また、制御部1は、第1の評価工程を行う。第1の評価工程において、制御部1は、一の被検査対象の画像と、y軸方向において、その一の被検査対象と並ぶ被検査対象の画像とを比較することにより、被検査対象の検査を行う。具体的には、制御部1は、まず、一の被検査対象の画像データと、その一の被検査対象と並ぶ被検査対象の画像とを記憶部2から読み出す。次に、制御部1は、それらの画像を比較する。制御部1は、両画像において被検査対象が実質的に同一の形状寸法を有しているか否かについて判断することにより、被検査対象の検査を行う。例えば、複数の被検査対象に形状寸法が異なるものがなく、すべてが良品である場合は、制御部1は、両画像において被検査対象が実質的に同一の形状寸法を有していると常に判断することとなる。複数の被検査対象に不良が含まれている場合は、制御部1は、両画像において被検査対象が実質的に同一の形状寸法を有していないと判断する場合がある。このように判断された箇所には不良が存在する可能性が高い。従って、この第1の評価工程を行うことにより、複数の被検査対象に不良が含まれているか否か、不良が含まれている場合に、不良が存在する場所の見当をつけることができる。ここで、y軸方向において、一の被検査対象と並ぶ被検査対象には、y軸方向において、一の被検査対象と隣接する被検査対象だけでなく、一の被検査対象と隣接せずに離れて並んでいる被検査対象も含んでいる。

0023

より具体的には、制御部1は、第1の評価工程を被検査対象列L1a〜L5a毎に行う。即ち、まず、制御部1は、第1の被検査対象列L1aに対して第1の評価工程を行う。詳細には、制御部1は、まず、被検査対象S11の画像データと、y軸方向において被検査対象S11に隣り合っている被検査対象S12の画像データとを記憶部2から読み出す。次に、制御部1は、読み出した両画像において被検査対象の形状寸法の異同を判断し、その結果を記憶部2に対して出力する。次に、制御部1は、被検査対象S12の画像データと、被検査対象S13の画像データとを記憶部2から読み出し、比較することにより、被検査対象S12と被検査対象S13との形状寸法の異同を判断し、その結果を記憶部2に対して出力する。同様にして、制御部1は、被検査対象S13と被検査対象S14との異同、被検査対象S14と被検査対象S15との異同を判断し、結果を記憶部2に対して出力する。同様にして、制御部1は、第2〜5の被検査対象列L2a〜L5aのそれぞれに対して第1の評価工程を行う。

0024

以下、図1に示す例を用いて、第1の評価工程についてさらに詳細に説明する。

0025

本実施形態では、第1の被検査対象列L1aに含まれる被検査対象S11〜S15の中で被検査対象S13のみが不良となっている。このため、制御部1は、被検査対象S12と被検査対象S13とを比較したときと、被検査対象S13と被検査対象S14とを比較したときとに、形状寸法が異なっていると判断する。この結果から、制御部1は、被検査対象S13が不良である可能性が高いと判断する。

0026

第2の被検査対象列L2aには、不良となる被検査対象は含まれていない。従って、制御部1は、第2の被検査対象列L2aの評価においては、形状寸法が異なっているという判断をすることがなく、制御部1は、第2の被検査対象列L2aには不良が含まれていないものと判断する。

0027

第3の被検査対象列L3aでは、被検査対象S32,S33,S34が不良となっている。このため、制御部1は、被検査対象S31と被検査対象S32とを比較したとき、被検査対象S34と被検査対象S35とを比較したときに、形状寸法が異なっていると判断する。この結果から、制御部1は、被検査対象S32〜S34が不良である可能性が高いと判断する。

0028

第4の被検査対象列L4aと第5の被検査対象列L5aとのそれぞれには、不良となる被検査対象は含まれていない。従って、制御部1は、第4の被検査対象列L4aと第5の被検査対象列L5aとのそれぞれの評価においては、形状寸法が異なっているという判断をすることがなく、制御部1は、第4の被検査対象列L4aと第5の被検査対象列L5aとのそれぞれには不良が含まれていないものと判断する。

0029

以上の結果から、被検査対象物11において不良である可能性が高い被検査対象は、被検査対象S13、被検査対象S32〜S34であると判断される。従って、これら4つの被検査対象S13、S32〜S34を直接検査により再度検査することによって、不良である被検査対象を特定することができる。

0030

なお、マトリクス状に配された複数の被検査対象S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55のいくつかについては、基準となる被検査対象を有さない場合がある。第1の評価工程においては、最もy1側に位置している被検査対象S11,S21,S31,S41,S51は、他の基準となる被検査対象と比較されない。従って、4つの被検査対象S13、S32〜S34に加えて、被検査対象S11,S21,S31,S41,S51についても、直接検査を行うことが好ましい。また、マトリクス状に配された複数の被検査対象の少なくともひとつの角部に位置する被検査対象の画像は、直接検査することが好ましい。例えば、図2に示されるように、角部10aに位置する被検査対象S11に欠陥がある場合、制御部1による検査が正しくされないため、被検査対象S11を直接検査することが好ましい。

0031

なお、直接検査とは、直接目視したり、顕微鏡などを用いて観察したりすることにより、他と比較することなく、画像を直接的に検査することをいう。

0032

本実施形態では、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、その一の被検査対象列よりも撮像装置3の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向(x軸方向)の下流側(x1側)に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列においてy軸方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する第1の評価工程とを並行して行う。即ち、一の被検査対象列に対する第1の評価工程と、その一の被検査対象列に対して撮像装置3の相対的な走査方向の下流側に位置する他の被検査対象列に対する画像取得工程とを並行して行う。

0033

具体的には、第2の被検査対象列L2aに対する画像取得工程と、第1の被検査対象列L1aに対する第1の評価工程とを並行して行う。第3の被検査対象列L3aに対する画像取得工程と、第2の被検査対象列L2aに対する第1の評価工程とを並行して行う。第4の被検査対象列L4aに対する画像取得工程と、第3の被検査対象列L3aに対する第1の評価工程とを並行して行う。第5の被検査対象列L5aに対する画像取得工程と、第4の被検査対象列L4aに対する第1の評価工程とを並行して行う。従って、本実施形態の被検査対象の検査方法は、効率が高い。

0034

なお、第1の評価工程において、ある被検査対象の画像を、その被検査対象のy1側に位置する被検査対象の画像と、y2側に位置する被検査対象の画像との両方と比較するようにしてもよい。そのようにすることにより、被検査対象の検査精度を高めることができる。

0035

(第2の評価工程)
また、画像取得工程と第1の評価工程とを行った後に、下記の第2の評価工程をさらに行うことが好ましい。第2の評価工程では、制御部1は、画像取得工程において取得した複数の被検査対象S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55の画像を用いて、x軸方向に並ぶ被検査対象の画像を比較する。ここで、x軸方向に並ぶ被検査対象には、x軸方向に隣接する被検査対象だけでなく、x軸方向に隣接せずに離れて並んでいる被検査対象も含む。

0036

具体的には、制御部1は、まず、第1の被検査対象行L1bに対して第2の評価工程を行う。すなわち、制御部1は、第1の被検査対象行L1bにおいてx軸方向に並ぶ被検査対象の画像同士を比較する。より具体的には、制御部1は、記憶部2から被検査対象S11の画像と、被検査対象S11とx軸方向に隣接する被検査対象S21の画像とを読み出す。次に、制御部1は、被検査対象S21の画像を、被検査対象S11の画像と比較することにより、被検査対象S21の形状寸法が被検査対象S11の形状寸法と実質的に同じであるか否かを判断する。次に、制御部1は、被検査対象S31の画像を、被検査対象S21の画像と比較することにより、被検査対象S31の形状寸法が被検査対象S21の形状寸法と実質的に同じかを判断する。同様にして、制御部1は、被検査対象S41の形状寸法が被検査対象S31の形状寸法と同じであるか否か、被検査対象S51の形状寸法が被検査対象S41の形状寸法と同じであるか否かを判断する。その後、同様にして、制御部1は、被検査対象行L2b、L3b、L4b、L5bに対して第2の評価工程を順に行っていく。このような第2の評価工程を、第1の評価工程に加えて行うことにより、第1の評価工程においては、評価されなかった被検査対象S21,S31,S41,S51の検査も行うことができる。このように、取得した複数の被検査対象列における被検査対象の画像を用いて、x軸方向に隣り合う被検査対象の画像同士を比較する工程をさらに備えることが好ましい。これにより、被検査対象の検査精度を高めることができる。

0037

なお、第2の評価工程において、ある被検査対象の画像を、その被検査対象のx1側に位置する被検査対象の画像と、x2側に位置する被検査対象の画像との両方と比較するようにしてもよい。そのようにすることにより、被検査対象の検査精度を高めることができる。

0038

また、本実施形態では、画像取得工程と第1の評価工程とを行った後に第2の評価工程を行う例について説明したが、必ずしもこの順番ではなくてもよい。例えば、第1の評価工程と第2の評価工程の順番を入れ替えてもよい。

0039

また、本実施形態では、被検査対象の一つを含む一のy軸方向に沿った被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得した後に、その一の被検査対象列よりも撮像装置3の複数の被検査対象に対する相対的な走査方向(x軸方向)の下流側(x1側)に位置する他の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を取得する工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列においてy軸方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する第1の評価工程と、一の被検査対象列に含まれる複数の被検査対象の画像を用いて、一の被検査対象列において第1の方向に並ぶ被検査対象の取得された画像同士を比較する第2の評価工程とを並行して行う。このように、第1の評価工程に加え、第2の評価工程を並行して行うことによって、本実施形態の被検査対象の検査方法では、さらに被検査対象の検査効率が高くなる。

0040

1…制御部
2…記憶部
3…撮像装置
10…基板
10a…角部
11…被検査対象物
S11〜S15、S21〜S25、S31〜S35、S41〜S45、S51〜S55…被検査対象
L1a,L2a,L3a,L4a,L5a…被検査対象列
L1b,L2b,L3b,L4b,L5b…被検査対象行

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