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図面 (3)

課題

ウェハにおける外縁領域上の所定位置を適切に判別できるように、ウェハに再接着層を積層可能な積層装置を提供すること。

解決手段

積層装置1は、ウェハWFに再接着層AD1を塗布する塗布手段3と、塗布手段3から塗布される再接着層AD1がウェハWFの外縁領域WF1に直接塗布されることを防止するマスク手段4とを備える。

概要

背景

従来、半導体ウェハ(以下「ウェハ」と称す場合がある)に流動体である液状樹脂を塗布する構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。
この特許文献1の構成では、スロットの長さがウェハの直径と同等以上のスロットダイを用いて、チャックテーブルに保持されたウェハを移動させるとともに、スロットダイから液状樹脂を排出することで、ウェハの被塗布面上に液状樹脂を塗布する。

概要

ウェハにおける外縁領域上の所定位置を適切に判別できるように、ウェハに再接着層を積層可能な積層装置を提供すること。積層装置1は、ウェハWFに再接着層AD1を塗布する塗布手段3と、塗布手段3から塗布される再接着層AD1がウェハWFの外縁領域WF1に直接塗布されることを防止するマスク手段4とを備える。

目的

本発明の目的は、板状部材における外縁領域上の所定位置を適切に判別できるように、板状部材に流動体を積層可能な積層装置および積層方法を提供する

効果

実績

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請求項1

板状部材流動体を積層する積層装置であって、前記板状部材に流動体を塗布する塗布手段と、前記塗布手段で塗布される流動体が前記板状部材の外縁領域直接塗布されることを防止するマスク手段とを備えることを特徴とする積層装置。

請求項2

前記板状部材における前記外縁領域よりも内側に塗布された流動体を当該板状部材の外側に引き伸ばす引伸手段を備えることを特徴とする請求項1に記載の積層装置。

請求項3

前記塗布手段は、前記板状部材に前記流動体を塗布するときに前記外縁領域側の端部の塗布量が他の領域よりも多くなるように、前記流動体を塗布可能に構成されていることを特徴とする請求項2に記載の積層装置。

請求項4

前記板状部材に塗布された流動体のうち前記引伸手段で引き伸ばされた部分を固形化する固形化手段を備えることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の積層装置。

請求項5

前記板状部材に塗布された流動体の流動性活性化可能な流動活性化手段を備えることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の積層装置。

請求項6

板状部材に流動体を積層する積層方法であって、前記板状部材の外縁領域に前記流動体が直接塗布されることを防止するマスク手段を配置し、前記板状部材に前記流動体を塗布することを特徴とする積層方法。

技術分野

0001

本発明は、積層装置および積層方法に関する。

背景技術

0002

従来、半導体ウェハ(以下「ウェハ」と称す場合がある)に流動体である液状樹脂を塗布する構成が知られている(例えば、特許文献1参照)。
この特許文献1の構成では、スロットの長さがウェハの直径と同等以上のスロットダイを用いて、チャックテーブルに保持されたウェハを移動させるとともに、スロットダイから液状樹脂を排出することで、ウェハの被塗布面上に液状樹脂を塗布する。

先行技術

0003

特開2008−259934号公報

発明が解決しようとする課題

0004

しかしながら、特許文献1のような構成では、ウェハに設けられたVノッチ半導体結晶方位を表すV字状の切欠き)を覆うように、液状樹脂が塗布されてしまう。このため、ダイアタッチフィルムに用いるような透明でない液状樹脂を塗布する場合には、撮像手段による画像のマッチング等によってVノッチを判別することができず、適切にアライメントできないという不具合が発生する。

0005

本発明の目的は、板状部材における外縁領域上の所定位置を適切に判別できるように、板状部材に流動体を積層可能な積層装置および積層方法を提供することにある。

課題を解決するための手段

0006

前記目的を達成するために、本発明の積層装置は、板状部材に流動体を積層する積層装置であって、前記板状部材に流動体を塗布する塗布手段と、前記塗布手段で塗布される流動体が前記板状部材の外縁領域に直接塗布されることを防止するマスク手段とを備える、という構成を採用している。

0007

この際、本発明の積層装置では、前記板状部材における前記外縁領域よりも内側に塗布された流動体を当該板状部材の外側に引き伸ばす引伸手段を備える、ことが好ましい。
また、本発明の積層装置では、前記塗布手段は、前記板状部材に前記流動体を塗布するときに前記外縁領域側の端部の塗布量が他の領域よりも多くなるように、前記流動体を塗布可能に構成されている、ことが好ましい。
さらに、本発明の積層装置では、前記板状部材に塗布された流動体のうち前記引伸手段で引き伸ばされた部分を固形化する固形化手段を備える、ことが好ましい。
また、本発明の積層装置では、前記板状部材に塗布された流動体の流動性活性化可能な流動活性化手段を備える、ことが好ましい。

0008

一方、本発明の積層方法は、板状部材に流動体を積層する積層方法であって、前記板状部材の外縁領域に前記流動体が直接塗布されることを防止するマスク手段を配置し、前記板状部材に前記流動体を塗布する、という構成を採用している。

発明の効果

0009

以上のような本発明によれば、板状部材の外縁領域に流動体が塗布されることをマスク手段が防止するため、外縁領域にVノッチのような判別に用いられる部位が設けられている板状部材に、ダイアタッチフィルムに用いられるような透明でない流動体を積層する場合であっても、当該判別に用いられる部位に流動体が積層されることがなく、外縁領域上の所定位置を適切に判別でき、例えば、撮像手段による画像のマッチング等によってVノッチを判別することができず、適切にアライメントできないという不具合を解消できる。

0010

この際、板状部材の外縁領域よりも内側に塗布された流動体を当該板状部材の外側に引き伸ばす引伸手段を設ければ、外縁領域に当該外縁領域の内側よりも薄く流動体を設けることができる。このため、板状部材全体をほぼ覆うように流動体が設けられることとなり、流動体を介してシートを板状部材に押圧して貼付する場合には、流動体を介さずにシートが押圧される部分がなくなり、板状部材におけるほぼ全域押圧力を一定にすることができ、板状部材が割れることを防止できる。また、外縁領域の流動体の厚さを内側の領域よりも薄くすることができ、判別に用いられる部位に流動体が積層された場合であっても、外縁領域上の所定位置を適切に判別できる。
また、板状部材の外縁領域側の端部の塗布量が他の領域よりも多くなるように流動体を塗布すれば、当該塗布量が多い部分の流動体を外縁領域に引き伸ばすことができ、外縁領域の内側における流動体の厚さの均一性が損なわれることを防止できる。
さらに、引伸手段で引き伸ばされた部分を固形化する固形化手段を設ければ、引き伸ばされた流動体が板状部材からはみ出す前に流動体を固形化し、当該流動体のはみ出しを抑制することができる。
また、板状部材に塗布された流動体の流動性を活性化可能な流動活性化手段を設ければ、例えば、遠心力で流動体を引き伸ばす場合には活性化しない場合と比べて回転数を低くすることができ、エアで流動体を引き伸ばす場合にはエアの風速を遅くすることができ、いずれの場合であっても流動体の厚さを精密に制御できる。

図面の簡単な説明

0011

本発明の実施形態に係る積層装置の側面図。
(A),(B),(C)は、積層装置の動作説明図。

実施例

0012

以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各図においては、本発明の内容を理解しやすくするために各構成の形状や配置状態誇張して示している。
本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を基準としている。
図1および図2において、積層装置1は、流動体としての再接着層AD1を板状部材としてのウェハWFに積層するものであり、この再接着層AD1が積層されたウェハWFは、図示しない搬送装置シート貼付装置8に搬送される。再接着層AD1としては、流動化させること可能なものであれば、特に限定されることはないが、ダイアタッチフィルムに使用されるような、熱可塑性熱重合性などを有する透明でないものを用いる。なお、本実施形態では、冷却されたときに固形化可能な特性を有する再接着層AD1を適用した場合について説明する。
また、再接着層とは、当該再接着層を介して板状部材に貼付したシートを再接着層から剥離した後に、当該再接着層を介して板状部材を他のものに接着することができるものを意味する。
そして、積層装置1は、ウェハWFを回転可能に保持する回転保持部2と、回転保持部2が保持するウェハWFに再接着層AD1を塗布する塗布手段3と、再接着層AD1がウェハWFの外縁領域WF1に直接塗布されることを防止するマスク手段4と、再接着層AD1の流動性を活性化可能な流動活性化手段5と、再接着層AD1の側方から当該再接着層AD1を固形化する固形化手段としての外側固形化手段6と、再接着層AD1に対向する位置から当該再接着層AD1を固形化する内側固形化手段7とを備え、パーソナルコンピュータシーケンサ等の制御手段10によってその全体的な動作が制御されるように構成されている。

0013

回転保持部2は、減圧ポンプ真空エジェクタ等の図示しない吸着保持手段によってウェハWFを吸着保持可能であるとともに、駆動機器としての回動モータ21によって高速回転可能なスピンテーブル22を備え、図示しない保持部移動手段によって図1中左右方向に移動可能に設けられている。回転保持部2は、流動化した再接着層AD1が積層されたウェハWFを回転させることで、遠心力によって再接着層AD1を外側に引き伸ばす引伸手段としても機能する。
塗布手段3は、図示しない移動手段によって図1中左右方向に移動可能に設けられて図1中紙面直交方向に延びる保持部31と、図示しない再接着剤供給手段から供給される再接着剤ADを霧状にしてウェハWFに噴き付けることでウェハWF上に再接着層AD1を塗布する噴霧手段32とを備える。
噴霧手段32としては、ウェハWFの上面全体に再接着剤ADを噴き付け可能な構成であれば特に限定されることはなく、保持部31が右方向へ移動するに伴って、再接着剤ADの噴き付け範囲紙面直交方向に広げたり狭めたりすることができる構成とされ、ウェハWFのみに再接着剤ADを噴き付けることができるものとなっている。例えば、ウェハWFよりも小さい円形多角形噴霧口を有する噴霧手段32を紙面直交方向に移動可能に設け、当該噴霧手段32の移動範囲を調整する構成としてもよいし、紙面直交方向に延びる長円状や長方形状の噴霧口を有する噴霧手段32を固定して、当該噴霧口の開口範囲を調整する構成としてもよい。

0014

マスク手段4は、開口部がウェハWFの外形よりも小さい円環状に形成されており、当該開口部の内縁41がウェハWFの外縁領域WF1よりも内側に位置するように、ウェハWFの上方に所定間隔離れて設けられている。ここで、外縁領域WF1とは、図2(A)に符号AAで示すように、ウェハWFの外縁を含む例えば幅寸法LWが3mmの円環状の領域であり、当該外縁領域WF1には、回路が設けられていない。
流動活性化手段5は、再接着層AD1を加熱することで流動化するヒータであり、スピンテーブル22内におけるウェハWFの外縁領域WF1の下方に円環状に設けられている。
外側固形化手段6および内側固形化手段7は、再接着層AD1を冷却することで固形化するものであり、再接着層AD1を冷却可能であれば特に限定されるものではないが、ペルティエ効果を利用した冷却装置や、フロンを利用した冷却装置を適用することができる。
外側固形化手段6は、マスク手段4とスピンテーブル22との間において、ウェハWFを囲む円環状に設けられている。内側固形化手段7は、直動モータ71の出力軸72の先端で保持されており、ウェハWFの上方において昇降可能に設けられている。

0015

シート貼付装置8は、シートSTが所定間隔帯状剥離シートRL上に擬似接着などにより仮着された原反RSを支持する支持ローラ83と、剥離シートRLを折り返してシートSTを剥離シートRLから剥離する剥離板84と、剥離シートRLを回収する回収ローラ85と、繰り出されたシートSTをウェハWFに押圧して再接着層AD1を介して貼付する押圧手段86と、ウェハWFを吸着保持可能なテーブル87と、テーブル87の下面にスライダ88が固定された駆動機器としての単軸ロボット89とを備える。

0016

以上の積層装置1において、ウェハWFに再接着層AD1を積層する手順としては、まず、図2(A)に示すように、ウェハWFが載置された回転保持部2が内側固形化手段7の下方に到達して、ウェハWFの外縁領域WF1上にマスク手段4が位置したことが図示しないセンサに検出されると、制御手段10は、塗布手段3の噴霧手段32から再接着剤ADを噴霧して外縁領域WF1よりも内側に塗布する。再接着剤ADを塗布するとき、噴霧手段32は、外縁領域WF1よりも内側において円形状に塗布するとともに、当該円形状の外縁領域WF1側の端部の塗布量が他の領域よりも多くなるように塗布することで、図2(A)において実線および二点鎖線で示すように、外縁領域WF1側の端部である円環状の再接着層外側部AD11が当該再接着層外側部AD11の内側の領域である再接着層内側部AD10よりも厚い再接着層AD1を積層する。このように再接着剤ADを塗布することによって、符号AAに示すように、VノッチWFVに再接着層AD1が積層されることがない。また、再接着層外側部AD11を再接着層内側部AD10よりも厚く形成しておくことで、当該再接着層外側部AD11を構成する再接着剤ADによって後述する再接着層引伸部AD12を形成することができ、再接着層引伸部AD12の形成によって再接着層内側部AD10の厚さの均一性が損なわれることを防止できる。

0017

次いで、制御手段10は、流動活性化手段5によって再接着層AD1を加熱して流動化することで再接着層AD1を外側に引き伸ばしやすくした後、流動活性化手段5による加熱を停止するとともに、図2(B)に示すように、スピンテーブル22の回転駆動に伴いウェハWFを回転させる。このウェハWFを回転させたときの遠心力によって、再接着層AD1の再接着層外側部AD11を外側に引き伸ばして、符号ABに示すように、再接着層内側部AD10の外側に当該再接着層内側部AD10よりも薄く、かつ、外側に向かうに従って徐々に薄くなる再接着層引伸部AD12を形成する。ここで、当該符号ABにおいて、再接着層引伸部AD12の外縁をウェハWFの外縁よりも内側に図示しているが、本発明の内容を理解しやすくするために誇張して図示したものであり、実際は、再接着層引伸部AD12の外縁はウェハWFの外縁と重なっている場合がある。この再接着層引伸部AD12は、遠心力によって外側に引き伸ばされるときに、外側に向かうに従って薄くなることと、その表面張力によってVノッチWFVの2つの斜辺部WFV1,WFV2に沿って2つに分かれるようになるので、当該VノッチWFVが再接着層AD1に覆われ、アライメント装置等の撮像手段のマッチングや、光学センサ等のオンオフ動作においてVノッチWFVを判別できなくなるという不具合を防止できる。さらに、再接着層AD1を流動化してから引き伸ばすため、流動化させない場合と比べてスピンテーブル22の回転数を低くすることができ、再接着層AD1の厚さを精密に制御できる。
また、制御手段10は、スピンテーブル22の回転駆動開始とほぼ同じタイミングで外側固形化手段6の駆動を開始して再接着層引伸部AD12を側方から固形化することで、流動化した再接着層AD1が引き伸ばされすぎて再接着層引伸部AD12がウェハWFからはみ出てしまうことを防止する。

0018

そして、制御手段10は、外側固形化手段6を停止した後、図2(C)に示すように、内側固形化手段7を下降させて駆動することで再接着層内側部AD10を固形化することで、再接着層AD1全体を固形化する。
この後、再接着層AD1が積層されたウェハWFが図示しない搬送装置でテーブル87上に載置された後、シート貼付装置8は、単軸ロボット89を駆動してテーブル87を左方向に搬送し、当該テーブル87が所定の位置に達したことが図示しないセンサに検出されると、テーブル87の搬送に同期させてシートSTを繰り出し、押圧手段82がシートSTをウェハWFに押圧して貼付する。
このとき、外縁領域WF1をほぼ覆うような再接着層引伸部AD12と再接着層内側部AD10とを設けているため、ウェハWFの全域にわたって再接着層AD1を介してシートSTが押圧されることとなり、当該全域にわたって押圧力がほぼ一定となり、ウェハWFが割れることを防止できる。一方で、再接着層引伸部AD12を設けずに再接着層内側部AD10のみを設ける場合には、ウェハWFの外縁領域WF1とシートSTとの間に隙間が形成されることとなり、外縁領域WF1には再接着層AD1を介さずにシートSTが押圧されることとなり、当該外縁領域WF1における押圧力が他の部分と比べて大きくなり、ウェハWFが割れる可能性が高くなる。

0019

以上のような実施形態によれば、ウェハWFの外縁領域WF1に再接着層AD1が塗布されることをマスク手段4が防止するため、VノッチWFVが設けられているウェハWFに透明でない再接着層AD1を積層する場合であっても、VノッチWFVに再接着層AD1が積層されることがなく、アライメント装置においてVノッチWFVを適切に判別できる。

0020

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

0021

例えば、塗布手段3の代わりに、図2(A)に二点鎖線で示すような塗布手段3Aを用いてもよい。塗布手段3Aは、保持部31と、再接着剤ADを滴下する滴下手段32Aとを備え、スピンテーブル22上に載置されたウェハWF上に滴下手段32Aで再接着剤ADを滴下し、回動モータ21でスピンテーブル22を回転させて再接着剤ADを遠心力で広げることで、再接着層内側部AD10および再接着層引伸部AD12を有する再接着層AD1を形成する。

0022

また、本発明の固形化手段としては、再接着層AD1の固形化特性に応じた固形化エネルギーを発するものを採用することができ、例えば、再接着層AD1が冷却固形化タイプの場合、ペルティエ効果やフロン等を利用した冷却装置や自然風送風する送風装置、加熱固形化タイプの場合、コイルヒータ赤外線を利用した熱風送風装置エネルギー線固形化タイプの場合、紫外線照射する紫外線照射装置マイクロ波を照射するマイクロ波照射装置等が例示できる。つまり、再接着層AD1を固形化可能なものであれば特に限定されることはない。
さらに、本発明の流動活性化手段としては、再接着層AD1の特性に応じた流動化エネルギーを発するものを採用することができ、例えば、再接着層AD1が冷却流動化タイプの場合、ペルティエ効果やフロン等を利用した冷却装置や自然風を送風する送風装置、加熱流動化タイプの場合、コイルヒータや赤外線を利用した熱風送風装置、エネルギー線流動化タイプの場合、紫外線を照射する紫外線照射装置やマイクロ波を照射するマイクロ波照射装置等が例示できる。つまり、再接着剤ADを流動化させることが可能なものであれば特に限定されることはない。
また、本発明の引伸手段としては、再接着層外側部AD11を引き伸ばすことが可能なものであれば特に限定されることがなく、エアを噴出するエア噴出装置へらなどのスクイーズ部材を適用してもよい。

0023

また、本発明におけるシートSTの種別や材質などは、特に限定されず、例えば、シートSTに接着剤層が設けられた2層構造の所謂接着シートや、シートST接着剤層との間に中間層を有するものや、他の層を有する等3層以上のものでもよい。また、半導体ウェハは、シリコン半導体ウェハ化合物半導体ウェハ等が例示でき、このような半導体ウェハに貼付するシートは、保護シートダイシングテープ、ダイアタッチフィルムに限らず、その他の任意のシート、フィルムテープ等、任意の用途、形状のシート等が適用できる。さらに、板状部材が光ディスク基板であって、接着シートが記録層を構成する樹脂層を有したものであってもよい。以上のように、板状部材としては、ガラス板鋼板樹脂板、基板等や、その他の部材のみならず、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。

0024

また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器エアシリンダ油圧シリンダロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。

0025

1…積層装置
3,3A…塗布手段(引伸手段)
4…マスク手段
5…流動活性化手段
6…外側固形化手段(固形化手段)
AD1…再接着層(流動体)
WF…ウェハ(板状部材)

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