図面 (/)

技術 投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法

出願人 カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
発明者 マルティンエントレスシュティークビーリンク
出願日 2012年5月18日 (8年7ヶ月経過) 出願番号 2012-128371
公開日 2012年12月10日 (8年0ヶ月経過) 公開番号 2012-244184
状態 特許登録済
技術分野 ホトレジスト感材への露光・位置合せ 半導体の露光(電子、イオン線露光を除く) レンズ系 半導体の露光(電子、イオン線露光を除く)
主要キーワード 担持板 事前定義値 線状物体 評価変数 事前判断 構造変数 鏡面対称性 外乱変数
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2012年12月10日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (15)

課題

瞳ファセット視野ファセット割り当てる方法を提供する。

解決手段

照明光部分ビームに対する照明チャンネルの定義のために投影露光装置照明光学ユニット瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法。最初に、少なくとも1つの照明パラメータ識別される。次に、可能な照明チャンネルを評価する評価関数事前定義される。これに、評価変数を計算する段階が続く。評価ターゲット範囲を達成する評価変数を有する照明チャンネルが事前選択される。少なくとも1つの外乱変数及びこの外乱変数への照明関数依存性が識別される。外乱変数は、事前定義された外乱変数変動範囲で変更され、評価変数の変動が評価関数に基づいて計算される。変動範囲全体において評価ターゲット範囲に留まる、変更された評価変数を有する照明チャンネルが選択される。

概要

背景

視野ファセットミラー及び瞳ファセットミラーを含む照明光学ユニットを含む投影露光装置は、WO 2009/132 756 A1、DE 10 2006 059 024 A1、DE 10 2006 036 064 A1、WO 2010/037 453 A1、DE 10 2008 042 876 A、DE 10 2008 001 511 A1、DE 10 2008 002 749 A1、及びDE 10 2009 045 694 A1から公知である。

多くの場合に、投影露光装置の照明光学ユニットの視野ファセットミラー及び瞳ファセットミラーは、各場合に数百個のファセットを有する。N個の視野ファセット及びN個の瞳ファセットを有する照明光学ユニットの場合には、理論上、瞳ファセットへの視野ファセットの割り当てに対する候補数はN!で変化する。ファセットミラーのファセット数が増大する時に、この割り当て候補数は、急激に大きくなる。

概要

瞳ファセットを視野ファセットに割り当てる方法を提供する。照明光部分ビームに対する照明チャンネルの定義のために投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法。最初に、少なくとも1つの照明パラメータ識別される。次に、可能な照明チャンネルを評価する評価関数事前定義される。これに、評価変数を計算する段階が続く。評価ターゲット範囲を達成する評価変数を有する照明チャンネルが事前選択される。少なくとも1つの外乱変数及びこの外乱変数への照明関数依存性が識別される。外乱変数は、事前定義された外乱変数変動範囲で変更され、評価変数の変動が評価関数に基づいて計算される。変動範囲全体において評価ターゲット範囲に留まる、変更された評価変数を有する照明チャンネルが選択される。

目的

本発明の目的は、最適化される照明パラメータに基づいて、視野ファセットへの瞳ファセットの割り当ての再現可能な選択及び従って照明光学ユニットの照明チャンネルの再現可能な事前判断保証する冒頭に示した種類の割り当て方法を提供する

効果

実績

技術文献被引用数
2件
牽制数
1件

この技術が所属する分野

ライセンス契約や譲渡などの可能性がある特許掲載中! 開放特許随時追加・更新中 詳しくはこちら

請求項1

光源(2)から進行して視野ファセット(7)においてかつ本方法を用いて割り当てられる瞳ファセット(11)において照明光学ユニット(23;37)によって照明される物体視野(18)に向けて反射される照明光(3)の部分ビームに対する照明チャンネルの定義のために投影露光装置(1)の照明光学ユニット(23;37)の瞳ファセットミラー(10)の瞳ファセット(11)を照明光学ユニット(23;37)の視野ファセットミラー(6)の視野ファセット(7)に割り当てる方法であって、物体視野(18)の照明を評価することができる少なくとも1つの照明パラメータ識別する段階(26)と、前記選択された照明パラメータに依存して前記照明光(3)の前記部分ビームを案内するための可能な照明チャンネル、すなわち、前記視野ファセット(7)のうちのちょうど1つと前記瞳ファセット(11)のうちのちょうど1つとの可能な組合せを評価するための照明チャンネル依存の評価関数事前定義する段階(27)と、前記評価関数の結果としての評価変数評価ターゲット範囲を事前定義する段階(28)と、前記評価ターゲット範囲内に留まる評価変数を有する照明チャンネルを選択する段階(34)と、を含むことを特徴とする方法。

請求項2

前記評価ターゲット範囲を事前定義した後の以下の段階、すなわち、前記物体視野(18)の照明に影響を及ぼす少なくとも1つの外乱変数を識別する段階(31)と、前記少なくとも1つの外乱変数への前記評価関数の依存性を識別する段階(32)と、事前定義された外乱変数変動範囲で前記事前選択された照明チャンネルに対する前記外乱変数を変更し(33)、前記評価関数に基づいて前記評価変数のそれぞれ続く変動を計算する段階と、前記変動範囲全体において前記評価ターゲット範囲内に留まる、変更された評価変数を有する照明チャンネルを選択する段階(34)と、によって特徴づけられる請求項1に記載の方法。

請求項3

それぞれ考慮される前記照明チャンネルに対する均一照明からの前記照明光(3)による前記視野ファセット(7)の照明の強度の偏差が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の方法。

請求項4

考慮される前記照明チャンネルの前記視野ファセット(7)上に入射する前記照明光(3)のその部分ビームの他の光学構成要素による遮蔽(36)が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項3に記載の方法。

請求項5

考慮される前記照明チャンネルの前記視野ファセット(7)及び/又は前記瞳ファセット(11)上の前記照明光(3)の前記部分ビームの入射角が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の方法。

請求項6

考慮される前記照明チャンネルの前記瞳ファセット(11)と前記物体視野(18)との間に位置する光学構成要素(12から14;38)のチャンネル依存の反射率が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の方法。

請求項7

考慮される前記照明チャンネルの前記瞳ファセット(11)上の光源像の形状が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の方法。

請求項8

考慮される前記照明チャンネルの前記視野ファセット(7)の前記物体視野(18)内への結像の結像スケールが、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の方法。

請求項9

考慮される前記照明チャンネルの前記視野ファセット(7)の前記物体視野(18)内への結像を記述する結像収差が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の方法。

請求項10

対称性変数が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の方法。

請求項11

迷光変数が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の方法。

請求項12

前記物体視野(18)に配置された物体(17)の結像される構造幅が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の方法。

請求項13

前記視野ファセットミラー(6)の場所における前記光源(2)の遠視野内の視野ファセット(7)の位置が、前記評価関数に組み込まれることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の方法。

技術分野

0001

本発明は、光源から進行し、視野ファセット及び本方法を用いて割り当てられた瞳ファセットにおいて照明光学ユニットによって照明される物体視野に向けて反射される照明光部分ビームに対する照明チャンネルの定義のために投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法に関する。

背景技術

0002

視野ファセットミラー及び瞳ファセットミラーを含む照明光学ユニットを含む投影露光装置は、WO 2009/132 756 A1、DE 10 2006 059 024 A1、DE 10 2006 036 064 A1、WO 2010/037 453 A1、DE 10 2008 042 876 A、DE 10 2008 001 511 A1、DE 10 2008 002 749 A1、及びDE 10 2009 045 694 A1から公知である。

0003

多くの場合に、投影露光装置の照明光学ユニットの視野ファセットミラー及び瞳ファセットミラーは、各場合に数百個のファセットを有する。N個の視野ファセット及びN個の瞳ファセットを有する照明光学ユニットの場合には、理論上、瞳ファセットへの視野ファセットの割り当てに対する候補数はN!で変化する。ファセットミラーのファセット数が増大する時に、この割り当て候補数は、急激に大きくなる。

先行技術

0004

WO 2009/132 756 A1
DE 10 2006 059 024 A1
DE 10 2006 036 064 A1
WO 2010/037 453 A1
DE 10 2008 042 876 A
DE 10 2008 001 511 A1
DE 10 2008 002 749 A1
DE 10 2009 045 694 A1
US 6 859 515 B2
EP 1 225 481 A2
US 6,658,084 B2
US 7.196,841 B2
DE 103 29 141 A1

発明が解決しようとする課題

0005

本発明の目的は、最適化される照明パラメータに基づいて、視野ファセットへの瞳ファセットの割り当ての再現可能な選択及び従って照明光学ユニットの照明チャンネルの再現可能な事前判断保証する冒頭に示した種類の割り当て方法を提供することである。

課題を解決するための手段

0006

本発明により、この目的は、請求項1に明記した段階を含む方法を用いて達成される。

0007

本発明により、重要なことは、考慮される照明パラメータに対する個々の照明チャンネルを通じて案内されるビームの特性の影響が組み込まれる適切な評価関数を指定することであることが認識された。この割り当て方法は、視野ファセット及び瞳ファセットを有する照明光学ユニットの全ての照明チャンネルの識別されて最適化された照明パラメータによる割り当てを可能にする。本方法は、それぞれの照明タスクに柔軟に適応することができる。この適応は、考慮される照明パラメータを選択し、予め判断される評価関数を選択し、例えば、重み付け項を挿入することによって評価関数を適応させ、評価ターゲット範囲を事前定義することによって行うことができる。

0008

請求項2に記載の割り当て方法は、事前定義された外乱に基づいて、評価される照明チャンネルに関するこの評価変数の安定性を更に考慮する。そのような割り当て方法は、視野ファセット及び瞳ファセットを有する照明光学ユニットの全ての照明チャンネルの最適化された安定性による割り当てを可能にする。更に、この適応は、それぞれ使用される外乱変数を選択して適応させ、外乱変数変動範囲を事前定義することによって行われる。

0009

評価変数は、照明チャンネルの実際の選択の前に、事前定義された評価関数に基づいて可能な照明チャンネルのうちの少なくとも選択された照明チャンネルに対して事前計算することができる。このようにして、照明チャンネルの可能なターゲット構成事前選択を低い計算の複雑さしか伴わずに行うことができる。冒頭からの不適切な構成を特に事前選択を使用することによって除外することができる。例示的に割り当て方法中に最初に特定の対称特性を有する構成が評価関数に基づいて検査されるように、一例として対称性の考慮を事前選択に組み込むことができる。そのような構成は、特に、外乱変数変動のための開始構成として使用することができる。

0010

請求項3に記載の評価関数は、特に、物体視野にわたって事前定義された強度分布によってチャンネル割り当てを事前定義することを可能にする。

0011

請求項4に記載の評価関数を事前定義する段階は、特に、割り当てによって決定される異なるファセット傾斜角の結果として生じる可能性がある互いに隣接する視野ファセットによる遮蔽を考慮することができる。

0012

請求項5に記載の評価関数は、ファセット上の照明光の好ましくない反射率低減入射角が回避されるという効果を有する。

0013

異なる照明位置の間で切り換えることができるファセットが設けられる場合に限り、ファセット切り換え行程を評価関数に組み込むことができる。

0014

請求項6に記載の評価関数を使用すると、照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの下流に配置された光学構成要素の反射率の系統的な影響を記録することができる。

0015

請求項7に記載の評価関数の場合に組み込まれる光源像の形状は、瞳ファセット上の光源像、すなわち、光源の像のサイズ又は形状、瞳ファセット上の光源像の位置、又はそうでなければ瞳ファセット上の光源像のエネルギ重心位置とすることができる。

0016

請求項8及び請求項9に記載の評価関数に組み込まれる結像変数は、それぞれの結像変数が考慮に入れられて最適化されるチャンネル割り当てを事前定義する可能性をもたらす。評価関数に組み込まれる可能な結像収差は、歪曲、像回転、像遮蔽、物体平面からのファセット像の偏位デフォーカス)、又はそうでなければ結像の焦点深度とすることができる。

0017

請求項10に記載の対称性変数評価関数は、考慮される照明チャンネル及びそれに対して補完的な照明チャンネルの事前選択時に、両方の照明チャンネルによる物体視野照明の重ね合わせが評価ターゲット範囲に収まるような補完的照明チャンネルが存在する場合に、評価ターゲット範囲自体から外れる照明チャンネルが事前選択に含まれるように事前定義することができる。そのような対称的又は補完的な視野プロフィールの例は、例えば、同一強度及び補完的視野プロフィールを有する照明チャンネル対の点対称配列に対するファセット割り当ての調査の結果として、又は瞳中心の回りに互いに対して極座標で90度だけ回転されて配置され、特に、補完的プロフィールを有する照明チャンネル対の存在に関する調査時に生じる。

0018

請求項11に記載の迷光変数は、例えば、一方で視野ファセット間の近傍関係、他方で瞳ファセット間の近傍関係として表すことができる。この場合、隣接する視野ファセットと隣接する瞳ファセットの両方によって形成され、かつその時に近接する照明チャンネルのプロフィールに起因する迷光によって脅かされる照明チャンネルは、こうして回避することができる。

0019

請求項12及び請求項13に記載の評価関数は、対応する照明タスクに十分に適応させることができる。

0020

図面を参照して本発明の例示的な実施形態を以下により詳細に説明する。

図面の簡単な説明

0021

マイクロリソグラフィのための投影露光装置を照明光学ユニットに関して子午断面内に略示する図である。
図1に記載の投影露光装置の照明光学ユニットの視野ファセットミラーのファセット配列の平面図である。
図1に記載の投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーのファセット配列の平面図である。
視野ファセットミラーの更に別の実施形態のファセット配列を図2と類似の図に示す図である。
視野ファセットミラーの更に別の実施形態のファセット配列を図2と類似の図に示す図である。
照明光の部分ビームに対する照明チャンネルの定義のためにEUVリソグラフィのための投影露光装置の照明光学ユニットの瞳ファセットミラーの瞳ファセットを照明光学ユニットの視野ファセットミラーの視野ファセットに割り当てる方法の概略的な流れ図である。
図2に記載の実施形態における視野ファセットミラーの長手ファセット辺にわたって互いに直接に接合する互いに対して傾斜された2つの隣接する視野ファセットの斜視図である。
長手ファセット辺の間に隙間が残るように配置された図7に記載の2つの視野ファセットを示す図である。
照明チャンネルの定義のために互いに対してそれぞれ割り当てられた2つの瞳ファセット及び視野ファセットを含む照明光学ユニットの視野ファセットミラーを左にかつ瞳ファセットミラーを右に非常に概略的に示す図である。
投影露光装置の照明光学ユニットの更に別の実施形態を図1と類似の図に示す図である。
図1に記載の照明光学ユニットの正確に1つの視野ファセット及び正確に1つの瞳ファセットを含む照明チャンネルに沿った中間焦点と物体視野の間の光線誘導図1に対応する側面図に示す非常に概略的かつ正確な縮尺のものではない図である。
EUV部分ビームが照明チャンネルを通じて印加される図11に記載の瞳ファセットの物体視野の場所XIIから見た図である。
EUV部分ビームが照明チャンネルを通じて印加される図11に記載の瞳ファセットの物体視野の場所XIIIから見た図である。
EUV部分ビームが照明チャンネルを通じて印加される図11に記載の瞳ファセットの物体視野の場所XIVから見た図である。

実施例

0022

マイクロリソグラフィのための投影露光装置1は、微細構造又はナノ構造電子半導体構成要素を生成するように機能する。光源2は、照明に使用され、例えば、5nmと30nmの間の波長範囲EUV放射線を放出する。光源2は、GDPP(ガス放電生成プラズマ)光源又はLLP(レーザ生成プラズマ)光源とすることができる。シンクロトロンに基づく放射線源を光源2に使用することができる。当業者は、そのような光源に関する情報を例えばUS 6 859 515 B2に見出すことができる。投影露光装置1内では、照明及び結像に対してEUV照明光又は照明放射線3が使用される。EUV照明光3は、光源2の下流で最初に例えば従来技術で公知の多殻構成を有する入れ子式コレクター又は代替的に楕円体形状のコレクターとすることができるコレクター4を通過する。対応するコレクターは、EP 1 225 481 A2から公知である。コレクター4の下流では、EUV照明光3は、最初に、望ましくない放射線又は粒子部分からEUV照明光3を分離するために使用することができる中間焦点面5を通過する。中間焦点面5を通過した後に、EUV照明光3は、最初に視野ファセットミラー6上に入射する。

0023

位置関係表現を容易にするために、各場合に図面内に直交広域xyz座標系を示している。図1では、x軸は、作図面と垂直に作図面から現れるように延びている。y軸は、図1の右に向けて延びている。z軸は、図1の上方に延びている。

0024

以下の図では、投影露光装置1の個々の光学構成要素における位置関係の説明を容易にするために、各場合に直交局所xyz又はxy座標系を同様に使用する。それぞれの局所xy座標は、別途説明しない限り、光学構成要素のそれぞれの主配列平面、例えば、反射平面に張られる。広域xyz座標系のx軸と局所xyz又はxy座標系のx軸とは互いと平行に延びている。局所xyz又はxy座標系のそれぞれのy軸は、広域xyz座標系のy軸に対してそれぞれの光学構成要素のx軸回りの傾斜角に対応する角度にある。

0025

図2は、視野ファセットミラー6の視野ファセット7のファセット配列を例示的に示している。視野ファセット7は矩形であり、各場合に同じx/yアスペクト比を有する。x/yアスペクト比は、例えば、12/5、25/4、又は104/8とすることができる。

0026

視野ファセット7は、視野ファセットミラー6の反射面を事前定義し、各々が6つから8つの視野ファセット群8a、8bから構成される4つの列にグループ分けされる。視野ファセット群8aの各々は、7つの視野ファセット7を有する。2つの中央の視野ファセット列の2つの付加的な周辺視野ファセット群8bの各々は、4つの視野ファセット7を有する。2つの中央ファセット列の間、及び第3のファセット行と第4のファセット行の間に、視野ファセットミラー6のファセット配列は、視野ファセットミラー6がコレクター4の保持スポークによって遮蔽される隙間9を有する。

0027

視野ファセットミラー6における反射の後に、個々の視野ファセット7に割り当てられた光線束又は部分ビームに分割されたEUV照明光3は、瞳ファセットミラー10上に入射する。

0028

視野ファセットミラー6の視野ファセット7は、複数の照明傾斜位置の間で傾斜させることができ、それによってそれぞれの視野ファセット7によって反射される照明光3のビーム経路をその方向に関して変更することができ、従って、瞳ファセットミラー10上で反射される照明光3の入射点を変更することを可能にする。異なる照明傾斜位置の間で変位させることができる対応する視野ファセットは、US 6,658,084 B2及びUS 7.196,841 B2から公知である。

0029

図3は、瞳ファセットミラー10の丸い瞳ファセット11の例示的なファセット配列を示している。瞳ファセット11は、その1つが別のそれの内側にある複数のファセットリングに中心の周りに配置される。視野ファセット7のうちの1つによって反射されるEUV照明光3の各部分ビームには、視野ファセット7のうちの1つ及び瞳ファセット11のうちの1つを含む入射を受けるそれぞれのファセット対が、EUV照明光3の関連付けられる部分ビームに対する物体視野照明チャンネルを事前定義するように、少なくとも1つの瞳ファセット11が割り当てられる。視野ファセット7への瞳ファセット11のチャンネル別割り当ては、投影露光装置1による望ましい照明に依存する方式で行われる。

0030

視野ファセットミラー6は、数百個の視野ファセット7、例えば、300個の視野ファセット7を有する。瞳ファセットミラー10は、視野ファセット7の個数と少なくとも等しい個数の瞳ファセット11を有する。

0031

瞳ファセットミラー10(図1を参照されたい)及び3つのEUVミラー12、13、14から構成される下流の伝達光学ユニット15を用いて、視野ファセット7は、投影露光装置1の物体平面16に結像される。EUVミラー14は、かすめ入射のためのミラー(かすめ入射ミラー)として具現化される。物体平面16内には、下流にあって投影露光装置1の投影光学ユニット19の物体視野18と一致する照明視野の形態にある照明領域をEUV照明光3によって照明するレチクル17が配置される。物体視野照明チャンネルは、物体視野18内で重ね合わされる。EUV照明光3は、レチクル17から反射される。

0032

投影光学ユニット19は、物体平面16の物体視野18を像平面21の像視野20に結像する。この像平面21内には、投影露光中に投影露光装置1を用いて露光される感光層担持するウェーハ22が配置される。投影露光中に、レチクル17とウェーハ22の両方は、y方向に同期方式走査される。投影露光装置1は、スキャナとして具現化される。以下では走査方向は、物体変位方向とも表す。

0033

視野ファセットミラー6、瞳ファセットミラー10、及び伝達光学ユニット15のミラー12から14は、投影露光装置1の照明光学ユニット23の一部である。投影光学ユニット19と共に、照明光学ユニット23は、投影露光装置1の照明系を形成する。

0034

視野ファセットミラー6は、照明光学ユニット23の第1のファセットミラーを構成する。視野ファセット7は、照明光学ユニット23の第1のファセットを構成する。

0035

瞳ファセットミラー10は、照明光学ユニット23の第2のファセットミラーを構成する。瞳ファセット11は、照明光学ユニット23の第2のファセットを構成する。

0036

図4は、視野ファセットミラー6の更に別の実施形態を示している。図2に記載の視野ファセットミラー6を参照して上述したものに対応する構成要素は同じ参照番号を伴い、構成要素が図2に記載の視野ファセットミラー6の構成要素とは異なる場合に限って説明を行う。図4に記載の視野ファセットミラー6は、湾曲視野ファセット7を含む視野ファセット配列を有する。これらの視野ファセット7は、各々が複数の視野ファセット群8を有する合計で5つの列で配置される。視野ファセット配列は、視野ファセットミラー6の担持板24の円形境界内に内接する。

0037

図4に記載の実施形態の視野ファセット7は、全て同じ面積を有し、図2に記載の実施形態に視野ファセット7のx/yアスペクト比に対応するx方向の幅とy方向の高さとの同じ比を有する。

0038

図5は、視野ファセットミラー6の更に別の実施形態を示している。図2及び図4に記載の視野ファセットミラー6を参照して上述したものに対応する構成要素は同じ参照番号を伴い、構成要素が図2及び図4に記載の視野ファセットミラー6の構成要素とは異なる場合に限って説明を行う。図5に記載の視野ファセットミラー6もまた、湾曲視野ファセット7を有する視野ファセット配列を有する。この視野ファセット7は、各々が複数の視野ファセット群8a、8b、8cを有する合計で5つの列で配置される。この視野ファセット配列は、図4に記載の視野ファセット7の配列と類似の方式で、図5に記載の視野ファセットミラー6の担持板24の円形境界内に内接する。ここでもまた、図5に記載の視野ファセットミラー6は、x軸と平行に延びる中央隙間9を有し、この隙間において、図5に記載の視野ファセットミラー6は、コレクター4の保持スポークによって遮蔽される。更に、図5に記載の視野ファセットミラー6の視野ファセット7が内部に配置される2つの照明区画の境界は、視野ファセットミラー6の中心に向けて視野ファセット群8cを有する中央ファセット列の領域内で視野ファセットミラー6が中心で遮蔽される更に別の円形遮蔽面25によって定義される。全体として、図5に記載の視野ファセットミラー6の視野ファセット7は、第1に担持板24の境界により、第2に隙間9の境界によって事前定義された2つのほぼ円セグメント形の照明区画内に詰め込まれる。

0039

図6を参照して、照明光3の部分ビームに対するそれぞれの照明チャンネルの定義のために投影露光装置1の照明光学ユニット23の瞳ファセットミラー10のそれぞれの瞳ファセット11を照明光学ユニット23の視野ファセットミラー6の視野ファセットのうちのそれぞれの1つに割り当てる方法の説明を以下に提供する。光源2から進行して照明チャンネルを通じて案内される照明光3の部分ビームは、視野ファセットミラー6が有する割り当てられた視野ファセット7において、次いで、本方法を用いて割り当てられた瞳ファセットミラー10の瞳ファセット11において照明光学ユニット23によって照明される物体視野18に向けて反射される。

0040

割り当て方法の関連では、最初に、物体視野18の照明を特徴付けることができる少なくとも1つの照明パラメータが識別段階26において識別される。例示的に、照明の均一性テレセントリック性、又は楕円率を照明パラメータとして使用することができる。均一性、テレセントリック性、及び楕円率というこれらの照明パラメータの定義は、例えば、WO 2009/132 756 A1及びDE 10 2006 059 024 A1に見出される。代替的に、照明される物体視野18の像視野への結像中に照明によって達成することができる構造分解能を照明パラメータとして使用することができる。テレセントリック性又は楕円率の代わりに、例えば、像視野にわたる結像構造の線幅変化を照明パラメータとして使用することができる。

0041

結像構造変数は、臨界寸法(CD)とすることができる。物体構造像変数は、投影光学ユニットを用いて像視野に結像される一般的な基準構造の像平面内での距離値の大きさである。物体構造像変数の一例は、いわゆる「ピッチ」、すなわち、像視野内の2つの隣接する線の間の距離である。構造像変数変化(ΔCD)は、線状物体構造が結像される場合には、結像光の強度が基板又はウェーハ上の感光層を現像するのに必要とされるレジスト閾値強度を超える線幅変化とすることができる。この線幅、すなわち、結像構造変数は、視野高さにわたって2つの隣接する線の間の距離とは独立して、すなわち、更に別の物体構造変数の例としての物体構造のピッチとは独立して変化する可能性がある。

0042

識別段階26は、最初に、それぞれの露光タスクに対する物体視野18の照明から作られる要件性質を取得する段階を含む。この露光タスクに基づいて、物体視野18にわたって特に均一な強度分布が望ましいとすることができる。この場合、均一性は、識別段階26において識別される照明パラメータである。代替的に、例えば、投影露光装置1を用いたウェーハ22の複数回の露光中に重ね合わせ要件を制御可能にするために、事前定義されたテレセントリック値を設定することを必要とする場合がある。この場合、テレセントリック性は、識別段階26における照明パラメータとして識別される。相応に同じことは、物体視野18にわたって特定の重みの照明角度分布が望ましい場合に適用される。この場合、楕円率が、識別段階26において物体視野18の照明を特徴付ける照明パラメータとして選択される。代替的又は追加的に、結像することができる線幅、焦点深度、及び/又は視野ファセット7の物体平面16内への結像のデフォーカスを照明パラメータとして使用することができる。

0043

識別段階26の後に、識別された照明パラメータに基づいて、可能な照明チャンネルを評価するための照明チャンネル依存照明関数が事前定義段階27で事前定義される。従って、段階27において事前定義された評価関数の結果は、段階26で識別された照明パラメータと相関する。従って、評価関数は、視野ファセット7のうちの1つと瞳ファセット11のうちの1つとの可能な組合せであり、それによって定義される照明チャンネルを通じて照明光3の部分ビームを案内するための可能な組合せの評価を可能にする。

0044

それぞれ評価される照明チャンネルの以下の特徴を事前定義段階27において事前定義される評価関数内に組み込むことができる。
−照明光3による視野ファセット7の場合によって不均一な照明。この場合、それぞれ考慮される照明チャンネルにおいて均一な照明強度からの照明光3による視野ファセット7の照明強度の偏差を評価関数に組み込むことができる。
−視野ファセット7の遮蔽、取りわけ、例えば、特に2つの隣接する視野ファセット7が大幅に異なる傾斜位置に傾斜された場合に、隣接する視野ファセットによる視野ファセット7の一方の一部の遮蔽(図7及び図8に関連しての下記の説明も参照されたい)。
−評価される照明チャンネルのファセット7、11上への照明光3の入射角に依存する照明光3に対するファセット7、11の反射率。従って、考慮される照明チャンネルのファセット7、11上への照明光3のそれぞれの部分ビームの入射角を評価関数に組み込むことができる。
−評価される照明チャンネルに依存するファセットミラー6、10の下流に置かれた伝達光学ユニット15の反射率。
−視野ファセットのスポット像又は局所幾何学的瞳収差。この場合、スポット像という用語は、ちょうど1つの照明チャンネルに沿ってちょうど瞳ファセット上に案内される部分ビームの形状及び強度分布を表し、これに対しては下記で更に説明する。
−照明チャンネル依存の結像スケール、すなわち、第1にx方向と平行であり、第2にy方向と平行である第1に評価される照明チャンネルの視野ファセット7の寸法と第2に物体平面16内のこの視野ファセット7の像の寸法との比。
−例えば、ミラー14上のかすめ入射、及び瞳ファセットミラー10の位置と、投影光学ユニット19の入射瞳又は入射瞳像との間の偏位に起因してもたらされる効果の結果として物体平面16内への視野ファセット7の結像の照明チャンネル依存の歪曲のパラメータ化
−構造像変数の照明チャンネル依存の変化、すなわち、例えば、結像線幅変化。この線幅変化は、結像される線の異なるプロフィールに対して異なって査定することができる。例示的に、物体側で互いから同じ距離の位置にある水平及び垂直に延びる構造線の結像線幅の間の差のサイズを記録することができる。代替的又は追加的に、結像される対角に延びる物体線の構造変数変化、すなわち、例えば、線幅変化を評価関数と考えるか、又はその一部と考えることができる。
−光源2の照明チャンネル依存の効果、例えば、変動する遮蔽により、物体視野18への視野ファセット7の不完全な結像により、又は光源2の放射方向に依存する光源2の変動する放射重心によってもたらされる例えば光源2の放射の照明チャンネル依存の不均一性

0045

結像光学ユニットによって導入される結像収差に加えて、物体視野18への視野ファセット7の不完全な結像が、光源2が点光源ではないことからもたらされる可能性がある。従って、それによって最終的に物体平面16内の縁部においてぼけた視野ファセット7の像が常にもたらされる。この結像の品質は、それぞれの照明チャンネルへの視野ファセット7及び瞳ファセット11の割り当てに依存する。特定の割り当ては、他の割り当てよりも品質的に良好な結像をもたらす。更に、点光源又は球面光源ではない光源の場合には、これらの視野ファセット7の中で異なる視野ファセットは、光源2を異なる形状で見る。

0046

視野ファセットミラーと物体平面の間の伝達光学ユニットの歪曲効果の結果としての評価関数を用いるパラメータ化可能な収差寄与は、WO 2010/037 453 A1に例示的に解説されている。同様に照明チャンネル依存とすることができ、評価関数に組み込むことができる瞳効果は、例えば、DE 10 2006 059 024 Aに説明されている。

0047

割り当て方法の文脈では、評価関数の結果を表す評価変数の評価ターゲット範囲は、更に別の事前定義段階28において事前定義される。従って、評価される照明チャンネルに関連付けられたペアリング(視野ファセット、瞳ファセット)が評価関数に組み込まれ、それに依存して評価変数が評価関数を用いて識別される。事前定義段階28は、評価される照明チャンネルの構成が更なる選択に含まれるために達成すべきであるこの評価変数のターゲット範囲を指定する段階を含む。

0048

割り当て方法の文脈では、次に、任意的計算段階29において、可能な照明チャンネルのうちの少なくとも選択された照明チャンネルに対して、評価変数が評価関数への挿入によって計算される。

0049

同様に任意的な事前選択段階30では、段階28において事前定義された評価ターゲット範囲を達成する、段階29において計算された評価変数を有する照明チャンネル、すなわち、瞳ファセット11に対する視野ファセット7のペアリングが事前選択される。

0050

割り当て方法の識別段階31は、照明光学ユニットによるか又は照明光学ユニット及び光源を含む照明系による物体視野18の照明に影響を及ぼす少なくとも1つの外乱変数を識別する段階を含む。

0051

例として、光源2のx方向、y方向、又はz方向の位置変化を外乱変数として選択することができる。光源2の光源変数の変化を外乱変数として使用することができる。例えば、LPP光源とGDPP光源の間の光源2の種類の変化を外乱変数として使用することができる。更に、例えば、照明光3をもたらす構成要素の反射層の使用時間に関するシミュレートされた寿命効果を外乱変数として使用することができる。照明光学ユニット23のシミュレートされたエージングの結果として生じる迷光の増大を外乱変数として使用することができる。更に、照明に使用されない照明光3の評価される照明チャンネルの瞳ファセット11への印加及び従って瞳ファセット11の付加的な加熱を外乱変数として使用することができる。

0052

外乱変数識別段階31の後に、識別された少なくとも1つの外乱変数への評価関数の依存性が、更に別の識別段階32において識別される。

0053

次に、変更段階33は、事前選択された照明チャンネルに対して識別された外乱変数を事前定義された外乱変数変動範囲で変化させる段階、及びそれに従う評価変数の変動を評価関数及び識別段階32において識別された依存性を用いて計算する段階を含む。

0054

割り当て方法を完了させる選択段階34は、全体の外乱変数変動範囲で評価ターゲット範囲に留まる変動を受けた評価変数を有する照明チャンネルを選択する段階を含む。

0055

段階27から34を含む割り当て方法は、視野ファセットミラー6の事前定義された個数の視野ファセット7に、瞳ファセットミラー10のそれぞれ依然として空いている瞳ファセット11が割り当てられるまで繰り返される。割り当て方法の結果は、全ての複数の割り当てが割り当て方法の段階27から34内の評価基準を満たす場合には、各場合に他の瞳ファセット11への視野ファセット7のこれらの複数の割り当てとすることができる。

0056

次に、選択段階34の結果に基づいて、視野ファセット7の傾斜照明位置が調節され、選択された照明チャンネルを通じて割り当てられた瞳ファセット11が相応に調節される。視野ファセットミラー6及び瞳ファセットミラー10は、それぞれの傾斜照明位置を考慮して、剛性構成要素、すなわち、アクチュエータ手段によって傾斜させることができないファセット7、11を有するものとして装備することができる。代替的に、図の説明の最初に上述したように、選択した照明チャンネルの微調節、及び/又は選択段階34の選択の範囲で可能な異なる照明チャンネルの間及び従って視野ファセット−瞳ファセット割り当ての間の変動が、特に異なる照明幾何学構成を事前定義することによって可能であるように、ファセットミラー6、10をアクチュエータ手段によって傾斜可能であるように設計することができる。

0057

割り当て方法を用いた照明チャンネルの選択は、「模擬焼き鈍しアルゴリズムを利用することができる。この場合、このアルゴリズムは、特定の照明チャンネルで始まり、変更段階33において外乱変数を変化させ、それに従う評価変数の変動を計算する。その後に、照明光3の部分ビームの誘導に関して最初に用いた照明チャンネルから殆ど異ならない更に別の照明チャンネルは、例えば2つの視野ファセット7がこれらに割り当てられた瞳ファセット11を入れ替えることにより、評価に向けて選択することができる。次に、その後にもたらされる照明チャンネルの全てに対して変更段階33が再度実施される。割り当て方法の評価基準が満たされた場合には、加えられた変更、すなわち、視野ファセット7のうちの2つの特定の視野ファセットに割り当てられた瞳ファセットの交換受け入れられる。そのような変更段階に基づいて、変更段階33による外乱変数の変動が逐次適用されることを考慮しながら評価変数が最適化される。

0058

以下では、割り当て方法を実施する開始時の対応する照明チャンネルを通じた個々の瞳ファセット11への個々の視野ファセット7の割り当てを開始割り当て又はそうでなければ初期割り当てとも表す。

0059

割り当て方法の開始時の全ての照明チャンネルの開始割り当ての選択時又は変更段階の事前定義の後に、対称性の考慮が影響を及ぼすことができる。例示的に、開始割り当ては、光源2による互いに補完的な視野ファセット入射強度プロフィールを有する視野ファセット7の対を考慮することができる。視野ファセット7のそのような対は、瞳ファセット11のうちで隣接する瞳ファセット上に入射することができる。これに関連して、補完的な視野プロフィールは、物体視野18にわたる視野依存性を最小にすることができるように、視野ファセット像が物体視野18内で重ね合わされる場合に互いに補償する。

0060

この場合、評価変数の最適値検索という流れの中での照明チャンネルの割り当て変更は、補完的な視野プロフィールを有するファセットの対応するペアリングが維持されるようにのみ実施される。外乱変数の変更は、例えば、光源2の変更の場合でさえも望ましい補完性が維持されることを保証する。

0061

割り当て方法を用いて最適化される照明チャンネルの開始割り当ては、照明チャンネルの点対称配列から進めることができ、従って、割り当てられた照明チャンネルは、一方で視野ファセットミラー6の担持板、他方で瞳ファセットミラー10の担持板の中心の回りの事前定義角度φの回転によって互いに併合される。この場合にも、割り当て変更は、対称性が維持されるように実施される。従って、点対称性は、評価関数に組み込まれるパラメータを構成する。

0062

開始割り当ては、例えば、光源2による同じ入射強度プロフィールを有し、かつ瞳内で互いに対して極座標で90度だけ回転されて配置された割り当て瞳ファセット11を有する視野ファセットの極座標で90度だけ回転された位置を有することができる。各場合に、そのような視野ファセットのうちの2つを開始割り当てに存在させることができ、その割り当て瞳ファセットは、瞳内で互いに対して極座標で90度だけ回転されて配置される。開始割り当てとして使用することができ、同じ強度プロフィールを有する視野ファセットに互いに対して極座標で90度だけ回転されて配置された4つの瞳ファセットが割り当てられる別の割り当て方式は、DE 10 2006 036 064 A1に説明されている。

0063

開始割り当ては、図1に記載の照明光学ユニット23のこの図の作図面、すなわち、子午平面に関する鏡面対称を考慮することができる。例えば、DE 103 29 141 A1による照明光学ユニットの設計における更に別の平面に関して少なくとも近似的に同様に鏡面対称である照明光学ユニット23の別の設計では、この対応する更に別の鏡面対称性は、初期チャンネル割り当てを事前定義する時に考慮することができる。

0064

割り当て方法の開始以前に照明チャンネルの初期割り当てに対して選択することができる対毎の割り当ての更に別の例は、例えば、WO 2009/132 756 A1に説明されている。

0065

代替的に、割り当て方法の開始時の瞳ファセット11への視野ファセット7の割り当ては、視野ファセット7のうちの隣接する視野ファセットが、隣接しない瞳ファセット11、すなわち、事前定義された個数の更に別の瞳ファセット11によって互いから分離された瞳ファセット11を照明するように構成することができる。そのような開始割り当ては、照明チャンネルが全体的に近接するプロフィールを有し、それによって一方の照明チャンネルに沿って案内される照明光が他方の照明チャンネル内に不適切に散乱する場合にもたらされる可能性がある迷光を最小にする。従って、迷光基準も、評価関数に組み込まれる基準とすることができる。

0066

例えば、模擬焼き鈍し最適化方法の文脈においてチャンネル割り当てを変更する時に、照明チャンネルの適切な初期割り当てを選択するか又は方式を事前定義することに関連する更に別の基準は、個々のファセット7、11上の入射角の最小化、又は少なくとも2つの照明傾斜位置の間で変位させることができる個々のファセット7、11の使用の場合の切り換え行程の最小化である。

0067

割り当て方法の開始時に照明チャンネルの初期割り当てを事前定義する時に、視野ファセット7が配置される区画の縁部、例えば、担持板24の縁部に隣接する視野ファセット7を特に考慮することができる。これらの周辺視野ファセット7では、開始割り当てにおいて許される割り当て瞳ファセット11の選択を例えば瞳ファセット11のうちの許容瞳ファセットのリストの事前判断によって制限することができる。この選択は、瞳ファセット11及び下流の伝達光学ユニット15による周辺視野ファセット7の結像が望ましくない結像収差を被らないように、特に望ましくない回転又は変位を被らないように行うことができる。

0068

視野ファセットミラー6上の視野ファセット7の配列の適切な設計は、外乱変数の中からの特定の外乱変数の評価関数に対する影響を変更し、特に、低減することを可能にする。これを「隣接する視野ファセット7を遮蔽する」外乱変数に関する図7及び図8を参照して以下により詳細に説明する。

0069

図7は、以下で71及び72で表す2つの隣接する視野ファセット7を斜視図に示している。2つの視野ファセット71、72は、y軸と平行な傾斜軸35の回りに互いに対して傾斜され、その結果、対応する照明チャンネルを通じて瞳ファセット11のうちの事前定義された瞳ファセットを割り当てるための対応する照明傾斜位置を取る。図7に記載の2つに視野ファセット71、72の配列の場合には、これらの視野ファセットは、反射ファセット面のそれぞれの長辺の上で互いに直接に接合する。傾斜軸35の回りの2つの視野ファセット71、72の異なる傾斜に起因して、視野ファセット72の反射面上への照明光3の相応に傾斜した入射を仮定すると、視野ファセット72の反射面の短辺の一方の領域内にy軸に沿って、図7ではdで表す最大広がりを有する三角形遮光領域36がもたらされる。

0070

図8は、図7に対応する傾斜軸35の回りの傾斜配列にある2つの視野ファセット71、72を示しており、この傾斜配列は、2つの視野ファセット71、72の反射面がy軸に沿って互いからdという距離の位置にあるということにおいてのみ図7に記載の配列とは異なる。従って、図7にあるものと同じ照明光3の入射角を仮定すると、図8に記載の配列の場合には、視野ファセット71は、ファセット72を遮蔽しない。

0071

変更段階33において評価関数を計算する時に、視野ファセット7の特定の対の相応に分離した配列を仮定すると、隣接する視野ファセットに関して存在する距離に起因して、視野ファセット傾斜角における比較的大きい相対差の場合であっても、視野ファセット7のうちの特定の視野ファセットが、視野ファセット7のうちの隣接する視野ファセットに関して厳密にいかなる遮蔽ももたらさないことを考慮することができる。

0072

照明チャンネルの初期割り当てを選択する時には、更に、y軸と平行な傾斜軸の回りの隣接する視野ファセット7の傾斜における大きい差を可能な限り回避することを考慮することができる。これは、図9を参照して以下に解説する。図9は、視野ファセットミラー6及び瞳ファセットミラー10の更に別の実施形態を非常に概略的に示している。視野ファセット7のうちの2つ、すなわち、視野ファセット71、72及び瞳ファセット11のうちの2つ、すなわち、瞳ファセット111及び112を同じ種類の対応するハッチング強調表示している。2つの視野ファセット71、72の傾斜調節は、視野ファセット71が瞳ファセット111に、かつ視野ファセット72が瞳ファセット112にそれぞれの照明チャンネルを通じて割り当てられるようなものである。2つの瞳ファセット111、112は、ほぼ同じx座標を有するので、2つの照明チャンネル(71、111)及び(72、112)のこの割り当てを提供するために、2つの視野ファセット71、72は、y軸と平行なこれらの視野ファセットのそれぞれの傾斜軸35の回りに同じ傾斜角だけ良好な近似で傾斜される。従って、傾斜軸35の回りの傾斜における比較的大きい差の場合に存在することになる2つの隣接する視野ファセット71、72の間の判別可能な遮蔽は、図9に記載の初期割り当ての場合は発生しない。

0073

視野ファセット7の物体平面16への結像の収差の影響を低減するために、投影光学ユニット19の入射瞳に対応し、すなわち、入射瞳に一致するか又はそれに対して共役な平面内の瞳ファセットミラー10の配列を最適化することができる。これは、図10を参照して以下により詳細に説明する。図10は、投影露光装置1において照明光学ユニット23の代わりに使用することができる照明光学ユニットの変形37を示している。照明光学ユニット23を参照して上述したものに対応する照明光学ユニット37の構成要素には同じ参照符号を伴い、再度詳細には解説しない。

0074

照明光学ユニット37は、楕円体ミラーとして具現化されたコレクター4を有する。照明光3のビーム経路内で瞳ファセットミラー10の下流にある伝達光学ユニット38は、照明光学ユニット37の場合には、照明光学ユニット23のミラー14に同等のかすめ入射ミラーを唯一のミラーとして有する。

0075

図10に記載の投影露光装置1の場合は投影光学ユニット19をより詳細に例示しており、投影光学ユニット19は、物体視野18と像視野20の間の結像ビーム経路順序で6つのEUVミラーM1、M2、M3、M4、M5、及びM6を有する。

0076

照明光学ユニット37の場合には、瞳ファセットミラー10は、鏡像反転の結果として投影光学ユニット19の入射瞳平面40から生じる瞳平面39内に位置する。瞳ファセットミラー10は、鏡像反転の結果として生じる瞳平面39内に正確に配置される。この場合、鏡像反転は、物体平面16において達成され、伝達光学ユニット38のかすめ入射ミラーによる折り返しが考慮される。

0077

投影光学ユニット19の入射瞳に対する平面近似廃棄される場合には、入射瞳の形状において、図10に41で表す球面がもたらされる。図10ではこの球面入射瞳41の鏡像を42に示している。

0078

瞳ファセットミラー10の変形は、瞳ファセット11がその上に配置された瞳ファセットミラー10の担持板が、球面瞳面42の曲率に正確に従うように凹に湾曲させることができる。この場合、1つの同じ瞳ファセット11が物体視野18の1つの特定の場所において物体視野18の別の場所に対して異なる照明角度出現するという効果を有することになる物体視野18上の位置に依存する瞳ファセットミラー上の特定の場所の歪曲を回避することができる。それによって特にテレセントリック性及び楕円率の照明パラメータに対する事前定義値準拠することが容易になる。相応に湾曲したファセットミラーは、DE 10 2008 042 876 Aによる視野ファセットミラーの例から公知である。

0079

考慮される照明チャンネルの瞳ファセット11と物体視野18の間に位置する光学構成要素のチャンネル依存の反射率を評価関数に組み込むことができる。照明光学ユニット23の場合には、これらの光学構成要素は、ミラー12から14である。照明光学ユニット37の場合には、この光学構成要素は、伝達光学ユニット38のミラーである。

0080

考慮される照明チャンネルの瞳ファセット11上の光源像の形状を評価関数に組み込むことができる。考慮される照明チャンネルの視野ファセットの結像の結像スケールを評価関数に組み込むことができる。

0081

考慮される照明チャンネルの視野ファセット7の物体視野18への結像を表す変数を評価関数に組み込むことができる。この変数は、特に、結像収差、例えば、歪曲、結像傾斜、像遮蔽、物体平面16からの視野ファセット像の偏位、投影光学ユニット19の入射瞳、又はこの入射瞳に対応する平面、特に、共役平面からの考慮される照明チャンネルの瞳ファセット11の偏位(デフォーカス)、又は結像の焦点深度を含む。

0082

対称性変数、迷光変数、物体視野18に配置された物体の結像される線幅、又は考慮される照明チャンネルの視野ファセット7の視野ファセットミラー6の場所における光源2の遠視野内の位置を評価関数に組み込むことができる。

0083

視野ファセットのスポット像を割り当て方法で予め判断される評価関数が基づくことができる特徴として上述した。この特徴を図11から図14を参照して以下により詳細に説明する。

0084

図11は、中間焦点面5内に位置する中間焦点と物体視野18の間のEUV照明光3のEUV部分ビーム43のビーム経路を視線方向に関して図1に記載の側面図に対応する非常に概略的な図に示している。3つのEUV照明光線44、45、46の進路が示されている。光線44及び46は、EUV部分ビーム43の周辺光線を構成する。光線45は、EUV部分ビーム43の中心光線又は主光線を構成する。図11には、EUV部分ビーム43の進路を物体視野18の上流の更に別のEUVミラー12から14抜きで表している。更に、例示している単一の視野ファセット7、例示している単一の瞳ファセット11、及び物体視野18に関するサイズ関係又は距離関係のいずれも正確な縮尺のものではない。

0085

EUV部分ビーム43のビーム経路に沿って、中間焦点は、視野ファセット7における反射の後、かつ瞳ファセット11における反射の前に中間焦点像47に結像される。中間焦点像47は、瞳ファセット11における反射の前のEUV部分ビーム43のビーム経路に位置するので、光線44から46は、瞳ファセット11上で異なる場所48、49、50において入射し、これらをスポットとも表す。スポット48から50における反射の後に、光線44から46は、物体視野18上の異なる場所51、52、53に、すなわち、光線44及び46は周辺に、かつ光線45は中心に入射する。

0086

図12は、物体視野18の場所51から見た瞳ファセット11を示している。この場所51から見たスポット48は、瞳ファセット11の中心に対して左に向けて、すなわち、負のx方向にオフセットされる。

0087

図13は、物体視野18の中心の場所52から見た瞳ファセット11を示している。この図では、スポット49、すなわち、光線45が瞳ファセット11上に入射する場所は中心に位置する。

0088

図14は、物体視野18の周辺の場所53から見た瞳ファセット11を示している。この図では、スポット50は、瞳ファセット11の中心に対して右に向けて、すなわち、正のx方向にオフセットされる。

0089

光源2又は中間焦点の瞳ファセット11上への結像が完全ではないことに起因して、物体視野18上で考慮される場所に基づいて、それぞれ考慮される瞳ファセット11から発する僅かに偏向する照明方向がもたらされる。

0090

図11から図14を参照して明らかにした瞳ファセット11における反射の前のEUV部分ビーム43のビーム経路内での中間焦点の結像という原因に加えて、物体視野18上の異なる点から見た瞳ファセット上のスポットが瞳ファセット11上に異なって位置するということに関する他の原因も存在する可能性がある。物体視野18上のそれぞれのスポット像は、照明光学ユニット23の光学設計の幾何学的分析によって正確に判断することができる。特定の瞳ファセット11への特定の視野ファセット7の各割り当ては、スポット像が割り当て方法の事前定義段階27において事前定義される評価関数における特徴として適切であるような異なるスポット像変動をもたらす。

0091

割り当て方法の結果として、視野ファセット7の不均一な照明は、図11から図14を参照して上述したスポット像の変位の補償に使用され、瞳ファセットへの視野ファセットの割り当てをもたらすことができる。全ての瞳ファセット上のスポット像の重ね合わせの結果として生じる照明角度分布の幾何学的変位は、照明チャンネルを通じて案内される個々のEUV部分ビーム43の強度の対応する適応によって補償することができる。個々の部分光線の方向とその強度との積、又は距離と強度との積もテレセントリック値に組み込まれるので、上述の補償は、テレセントリック性の補償に同等である。

ページトップへ

この技術を出願した法人

この技術を発明した人物

ページトップへ

関連する挑戦したい社会課題

関連する公募課題

ページトップへ

技術視点だけで見ていませんか?

この技術の活用可能性がある分野

分野別動向を把握したい方- 事業化視点で見る -

ページトップへ

おススメ サービス

おススメ astavisionコンテンツ

新着 最近 公開された関連が強い技術

  • ダイキン工業株式会社の「 ウェハーカップ」が 公開されました。( 2020/10/29)

    【課題】摩擦帯電および剥離帯電が起こりにくいウェハーカップを提供すること。【解決手段】テトラフルオロエチレン単位とフルオロ(アルキルビニルエーテル)単位とを含有する共重合体を含むウェハーカップであって... 詳細

  • 株式会社ニコンの「 変倍光学系、光学機器および変倍光学系の製造方法」が 公開されました。( 2020/10/29)

    【課題】変倍時の収差変動を有効に抑制する変倍光学系、光学機器、および変倍光学系の製造方法を提供する。【解決手段】カメラ等の光学機器に用いられる変倍光学系を、物体側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ... 詳細

  • 東京エレクトロン株式会社の「 塗布膜形成方法及び塗布膜形成装置」が 公開されました。( 2020/10/29)

    【課題】基板に塗布膜を形成するにあたり、当該基板の側端面における前記塗布膜の形成を適切に行う。【解決手段】基板上に塗布膜を形成する塗布膜形成方法であって、前記基板を回転させながら、前記基板の全面に前記... 詳細

この 技術と関連性が強い人物

関連性が強い人物一覧

この 技術と関連する社会課題

関連する挑戦したい社会課題一覧

この 技術と関連する公募課題

関連する公募課題一覧

astavision 新着記事

サイト情報について

本サービスは、国が公開している情報(公開特許公報、特許整理標準化データ等)を元に構成されています。出典元のデータには一部間違いやノイズがあり、情報の正確さについては保証致しかねます。また一時的に、各データの収録範囲や更新周期によって、一部の情報が正しく表示されないことがございます。当サイトの情報を元にした諸問題、不利益等について当方は何ら責任を負いかねることを予めご承知おきのほど宜しくお願い申し上げます。

主たる情報の出典

特許情報…特許整理標準化データ(XML編)、公開特許公報、特許公報、審決公報、Patent Map Guidance System データ