図面 (/)

技術 マスク

出願人 株式会社ボンマーク
発明者 相沢政一中村昌敬
出願日 2011年7月12日 (9年5ヶ月経過) 出願番号 2011-154059
公開日 2011年10月13日 (9年2ヶ月経過) 公開番号 2011-201321
状態 特許登録済
技術分野 印刷版及びその材料
主要キーワード 菱形構造 同一開口面積 ハニカム構造状 変形孔 補助孔 左右両隣 正規形状 メッシュ形成
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2011年10月13日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (16)

課題

強度の高いメッシュで、メッシュが形成された部分に均一にインクペーストを塗布できるメッシュを用いて製造されたマスクを得る。

解決手段

矩形領域の中央部に菱形の孔が形成され、矩形領域の端部に菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が形成されたメッシュを有するマスクであって、矩形領域の角を除く端部に、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成され、矩形領域の角に、菱形の一辺と、矩形領域を成す2つの辺の一部を直交する二辺とし、矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成され、ホームベース状の五角形の孔は線対称の形状となるように配置されており、ダイヤモンド状の五角形の孔は矩形領域の対角線上に対となるように配置される。

概要

背景

めっきにより形成され、印刷パターン開口を有する層と、めっきにより形成され、メッシュパターン開口を有する層とが積層された2層構造マスクがある。特に、2層構造のマスクにおいて、印刷パターン開口の縁と重なる部分に、メッシュパターン開口を形成する網が鋭角でつながらないようにしたマスクがある(特許文献1参照)。これにより、印刷時に、印刷パターン開口の縁と重なる部分に形成されたメッシュパターン開口にインクペースト詰まり固まってしまうことを防止している。また、ハニカム構造状に複数の孔が形成されたメッシュがある(特許文献2参照)。

概要

強度の高いメッシュで、メッシュが形成された部分に均一にインクペーストを塗布できるメッシュを用いて製造されたマスクを得る。矩形領域の中央部に菱形の孔が形成され、矩形領域の端部に菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が形成されたメッシュを有するマスクであって、矩形領域の角を除く端部に、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成され、矩形領域の角に、菱形の一辺と、矩形領域を成す2つの辺の一部を直交する二辺とし、矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成され、ホームベース状の五角形の孔は線対称の形状となるように配置されており、ダイヤモンド状の五角形の孔は矩形領域の対角線上に対となるように配置される。

目的

本発明は、強度の高いメッシュであって、メッシュが形成された部分に均一にインクペーストを塗布することを可能とするメッシュを用いて製造されたマスクを提供する

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
0件

この技術が所属する分野

ライセンス契約や譲渡などの可能性がある特許掲載中! 開放特許随時追加・更新中 詳しくはこちら

請求項1

所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部(周辺部)には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有するマスクであって、前記矩形領域の角(四隅)を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す2つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されマスク。

請求項2

前記矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、ホームベース状の下側の三角形の高さとホームベース状の上側の長方形の高さとの比率を2:1としたことを特徴とする請求項1記載のマスク。

請求項3

所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部(周辺部)には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有するマスクであって、前記矩形領域の角(四隅)を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す2つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、前記矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されていることを特徴とするマスク。

請求項4

所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部(周辺部)には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有するマスクであって、前記矩形領域の角(四隅)を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す2つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、前記矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されており、前記矩形領域の中央部に形成された菱形の孔の面積と前記矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔の面積とを互いに同一面積とし、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔の面積を前記菱形の孔及び前記ホームベース状の五角形の孔の面積よりも小さくしたことを特徴とするマスク。

請求項5

所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部(周辺部)には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有する層と、このメッシュを有する層の一面に重ねて設けられ印刷開口を有する印刷パターン層を備えた2層構造マスクであって、前記印刷パターン開口用のメッシュを有する層は、前記矩形領域の角(四隅)を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す2つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、前記矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されていることを特徴とする2層構造マスク。

請求項6

所定の矩形領域の中央部には菱形の孔が規則的に形成され、前記矩形領域の端部(周辺部)には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有する層と、このメッシュを有する層の一面に重ねて設けられ印刷開口を有する印刷パターン層を備えた2層構造マスクであって、前記印刷パターン開口用のメッシュを有する層は、前記矩形領域の角(四隅)を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、前記矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す2つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、前記各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、前記矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されており、前記矩形領域の中央部に形成された菱形の孔の面積と前記矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔の面積とを互いに同一面積とし、前記矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔の面積を前記菱形の孔及び前記ホームベース状の五角形の孔の面積よりも小さくしたことを特徴とする2層構造マスク。

請求項7

所定の矩形領域の中央部に規則的に形成される菱形は、正方形を45度傾けた図形の菱形としたことを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれかに記載のマスク又は2層構造マスク。

技術分野

0001

本発明は、マスクに関する。

背景技術

0002

めっきにより形成され、印刷パターン開口を有する層と、めっきにより形成され、メッシュパターン開口を有する層とが積層された2層構造のマスクがある。特に、2層構造のマスクにおいて、印刷パターン開口の縁と重なる部分に、メッシュパターン開口を形成する網が鋭角でつながらないようにしたマスクがある(特許文献1参照)。これにより、印刷時に、印刷パターン開口の縁と重なる部分に形成されたメッシュパターン開口にインクペースト詰まり固まってしまうことを防止している。また、ハニカム構造状に複数の孔が形成されたメッシュがある(特許文献2参照)。

先行技術

0003

特開2006−347099号公報
特開平8−52951号公報

発明が解決しようとする課題

0004

従来のメッシュには、メッシュ形成領域の端部に形成された孔の形状、サイズを他の部分(他の端部)に形成された孔の形状、サイズとの関係から制御して製造されたものはない。そのため、従来のメッシュでは、端部におけるインクペーストの透過量は、他の部分におけるインクペーストの透過量とは異なる。したがって、例えば、従来のメッシュを用いたマスクで印刷を行った場合、メッシュが形成された部分の端部に、他の部分と均一にインクペーストを塗布することができない。
また、メッシュ形成領域の端部におけるインクペーストの透過量を制御するため、端部に形成された孔の形状を、他の部分に形成された孔との規則性を無視して変形すると、メッシュの強度が低下する虞がある。

0005

本発明は、強度の高いメッシュであって、メッシュが形成された部分に均一にインクペーストを塗布することを可能とするメッシュを用いて製造されたマスクを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0006

この発明に係るマスクは、所定の矩形領域の中央部には正方形を45度傾けた図形の菱形の孔が規則的に形成され、矩形領域の端部(周辺部)には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有するマスクであって、矩形領域の角(四隅)を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す2つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されていることを特徴とする。

0007

また、矩形領域の中央部に形成された菱形の孔の面積と矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔の面積とを互いに同一面積とし、矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔の面積を菱形の孔及びホームベース状の五角形の孔の面積よりも小さくしたことを特徴とする。

0008

また、この発明に係る2層構造マスクは、所定の矩形領域の中央部には正方形を45度傾けた図形の菱形の孔が規則的に形成され、矩形領域の端部(周辺部)には菱形の一部の辺と矩形領域を成す辺の一部とを含む五角形の孔が規則的に形成された印刷パターン開口用のメッシュを有する層と、このメッシュを有する層の一面に重ねて設けられ印刷開口を有する印刷パターン層を備えた2層構造マスクであって、印刷パターン開口用のメッシュを有する層は、矩形領域の角(四隅)を除く端部には、菱形の二辺と、矩形領域を成す辺の一部を一辺とし、かつ矩形領域を成す辺と平行な対向する二辺とからなるホームベース状の五角形の孔が形成されており、矩形領域の角には、菱形の一辺と、矩形領域を成す2つの辺の一部を直交する二辺とし、かつ矩形領域を成す二辺とそれぞれ平行な二辺とからなるダイヤモンド状の五角形の孔が形成されており、各孔の間には所定の幅のリブが形成されており、矩形領域の角(四隅)を除く端部に形成されたホームベース状の五角形の孔は、対向する端部に形成されたホームベース状の五角形の孔と線対称の形状となるように配置されており、矩形領域の角に形成されたダイヤモンド状の五角形の孔は、矩形領域の対角線上に対となるように配置されていることを特徴とする。

発明の効果

0009

本発明に係るマスクは、矩形領域の中央部には同一形状の菱形の孔が規則的に形成されており、中央部に均一にインクペーストを塗布することができる。また、本発明に係るマスクは、矩形領域の角を除く端部には対向する端部に形成された五角形の孔と対称形状の五角形の孔が形成されており、対向する端部間で均一にインクペーストを塗布することができる。さらに、本発明に係るマスクは、端部まで規則的に孔が形成されているため、強度が弱い部分がない。

図面の簡単な説明

0010

実施の形態1に係るメッシュ3の開口形状を示す図。
実施の形態1に係るメッシュパターン作成装置100の機能を示す機能ブロック図。
実施の形態1に係るメッシュパターンデータ作成処理の流れを示すフローチャート
菱形の幅の計算の説明図。
菱形を並べる処理の説明図。
端部に形成された多角形と隣の菱形とを併合する処理の説明図。
図形の面積を調整する処理の説明図。
リブ14の幅を調整する処理の説明図。
菱形を並べる処理の他の例の説明図。
菱形を移動する処理の説明図。
印刷パターン開口51部分にメッシュを有する1層構造のマスクを製造する処理の説明図。
印刷パターン開口51部分にメッシュを有する1層構造のマスクを示す図。
メッシュを有する層と、印刷パターン開口51を有する樹脂層とを有する2層構造のマスクを製造する処理の説明図。
メッシュを有する層と、印刷パターン開口51を有する金属層とを有する2層構造のメタルマスクを製造する処理の説明図。
メッシュパターン作成装置100のハードウェア構成の一例を示す図。

実施例

0011

実施の形態1.
この実施の形態では、所定の矩形領域10に辺の長さ(幅)S5が同一の複数の菱形(正規形状の図形の一例)の孔31が形成されたメッシュ3について説明する。

0012

図1は、この実施の形態に係るメッシュ3の開口形状を示す図である。
図1に示すように、この実施の形態に係るメッシュ3は、指定されたX×Yの矩形領域10に、複数の辺の長さ(幅)S5が同一の菱形の孔31が規則的に形成されている。矩形領域10の中央部には菱形の孔31が形成され、矩形領域10の端部(周辺部)には菱形の孔31を形成する菱形の一部の辺と矩形領域10を成す辺の一部とにより多角形(変形形状の図形の一例)の孔32,33が形成されている。矩形領域10の角(四隅)を除く端部には、矩形領域10を成す辺の一部を一辺とする五角形の孔32が形成されている。矩形領域10の角には、矩形領域10を成す2つの辺の一部を一辺とする五角形の孔33が形成されている。各孔31,32,33の間には所定の幅のリブ14が形成されている。
矩形領域10の端部に形成された多角形の孔32,33は、対向する端部に形成された多角形の孔32,33と線対称の形状である。特に、矩形領域10の角を除く縦方向の端部に形成された五角形の孔32の開口面積は、菱形の孔31の開口面積と同一である。
以上のように、この実施の形態に係るメッシュ3は、矩形領域10の中央部には複数の同一の菱形の孔31が形成されているため、矩形領域10の中央部全体に均一にインクペーストを塗布することができる。また、矩形領域10の角を除く縦方向の端部には、菱形の孔31と同一開口面積の五角形の孔32が形成されているため、矩形領域10の中央部とともに均一にインクペーストを塗布することができる。
また、この実施の形態に係るメッシュ3は、規則的に孔が形成されているため強度が高い。

0013

次に、この実施の形態に係るメッシュ3のメッシュパターンデータの作成方法について説明する。
図2は、メッシュパターンデータを作成するメッシュパターン作成装置100の機能を示す機能ブロック図である。図3は、メッシュパターンデータの作成処理の流れを示すフローチャートである。
メッシュパターン作成装置100は、データ入力部101、計算部102、敷詰部103、併合部104、調整部105、データ生成部106を備える。メッシュパターン作成装置100は以下のように動作することで、メッシュパターンデータを作成する。
<S31:データ入力ステップ
データ入力部101は、矩形領域10の縦方向、横方向の幅(X,Yの長さ)と、菱形の孔31の最低サイズと、リブ14の幅と、加工限界値とを入力データとして入力して記憶装置に記憶する。
なお、以下の説明では、菱形を正方形を45度傾けた図形とする。そして、菱形の孔31のサイズは菱形の一辺の長さ(図1のS4)で表す。ここでは、菱形を正方形を45度傾けた図形としたため、入力された菱形の一辺の長さS4から菱形の幅(対角線の長さ,図1のS5)を計算することができる。つまり、入力された一辺の長さS4の約1.41倍が菱形の幅S5となる。
また、菱形の孔31の最低サイズを入力せず、単位面積(例えば、1インチ)当たりに形成したい孔の最大数メッシュ数)を入力してもよい。この場合、入力されたメッシュ数とリブ14の幅とから、菱形の孔31の最低サイズ(一辺の長さS4)を計算することができる。
<S32:計算ステップ
計算部102は、指定された幅のリブ14を間に挟みながら矩形領域10の縦方向に並べると丁度収まる所定の菱形の幅S5であって、指定された幅以上で指定された幅に最も近い菱形の幅S5を処理装置により計算する。
つまり、図4に示すように、計算部102は、矩形領域10の上の端部を成す辺に接する菱形から始まって、指定された幅のリブ14を間に挟みながら同じ幅の菱形を並べて、矩形領域10の下の端部を成す辺に接する菱形で終わる菱形の幅S5を計算する。特に、計算部102は、データ入力ステップで入力された菱形の幅以上で入力された幅に最も近い幅S5を計算する。
<S33:敷詰ステップ
敷詰部103は、計算ステップで計算した幅の菱形を矩形領域10を覆うように間にリブ14を挟みながら処理装置により規則的に並べる。
例えば、図5に示すように矩形領域10の左右中央から順に多角形と菱形とを並べる。つまり、まず、図5(a)に示すように、矩形領域10の左右の中心と、菱形の左右の中心とが一致するように、計算ステップで計算した幅S5の菱形の列であって、縦方向に丁度収まる菱形の列を並べる。縦方向に丁度収まる菱形の列とは、矩形領域10の上の端部を成す辺に接する幅S5の菱形から始まって、指定された幅のリブ14を間に挟みながら幅S5の菱形を並べて、矩形領域10の下の端部を成す辺に接する幅S5菱形で終わる列である。次に、図5(b)に示すように、三角形を両端に有する列を、先に並べた菱形の列の左右両隣に指定された幅のリブ14を間に挟んで並べる。三角形を両端に有する列とは、矩形領域10の上の端部を成す辺の一部を一辺とする縦方向の幅が幅S5の1/2からリブ14の幅Lの1/2を引いた幅である三角形から始まって、指定された幅のリブ14を間に挟みながら幅S5の菱形を並べて、矩形領域10の下の端部を成す辺を一辺とする縦方向の幅が幅S5の1/2からリブ14の幅Lの1/2を引いた幅であるの三角形で終わる列である。そして、図5(c)に示すように、矩形領域10全体を覆うまで、菱形の列と三角形を両端に有する列とを交互に並べる。
<S34:併合ステップ>
併合部104は、矩形領域10の横方向の端部に形成された多角形が加工限界値未満の場合には、多角形と隣接する菱形又は台形と多角形とを処理装置により併合する。
例えば、図6に示すように、横方向の端部に形成された多角形をその隣の菱形及び多角形(三角形)と併合する。つまり、図6(a)に示すように、横方向の端部に形成された多角形が小さく、加工限界値未満の場合、まず横方向の端部に形成された多角形を削除する。次に、その隣の菱形及び多角形(三角形)の縦方向の頂点から矩形領域10の縦方向の端部を成す辺と平行な辺を矩形領域10の横方向の端部まで伸ばす。そして、図6(b)に示すように、上記隣の菱形及び多角形(三角形)の辺と矩形領域10の横方向の端部を成す辺とから大きい多角形(五角形及び台形)を形成する。
なお、図6では、横方向の端部に形成された多角形の隣の列は、菱形及び多角形(三角形)からなる列であった。しかし、上記隣の列は、菱形のみが形成された列の場合もある。この場合も上記と同様に、まず横方向の端部に形成された多角形を削除する。次に、その隣の菱形の縦方向の頂点から矩形領域10の縦方向の端部を成す辺と平行な辺を矩形領域10の横方向の端部まで伸ばす。そして、上記隣の菱形の辺と矩形領域10の横方向の端部を成す辺とから大きい多角形(五角形)を形成すればよい。
<S35:面積調整ステップ
調整部105は、横方向の端部を除く縦方向の端部に形成された多角形(三角形)の面積が、菱形の面積と同一の面積となるように処理装置により調整する。
例えば、図7(a)に示す状態であった場合に、図7(b)に示すように、縦方向の端部に形成された菱形の横方向の端点から矩形領域10の縦方向の端部へ垂線を引き、五角形を形成する。次に、図7(c)に示すように、各菱形と横方向の端部の五角形とを縦方向に伸長する。さらに、菱形と五角形とが伸長された分だけ、縦方向の端部に形成された五角形を縮小する。そして、縮小された五角形の面積を拡大された菱形の面積と同一にする。
<S36:リブ調整ステップ>
調整部105は、さらに、五角形と五角形の間に形成された幅の広いリブ14を、データ入力ステップで指定された幅のリブ14に処理装置により調整する。
図8(a)に示すように、五角形と五角形の間に形成されたリブ14の幅L8は、菱形と菱形、又は菱形と五角形との間に形成されたリブ14の幅L7(指定されたリブ14の幅)よりも広い。そこで、図8(b)に示すように、調整部105は、五角形の面積を広げることにより、五角形と五角形の間に形成されたリブ14の幅L7を指定されたリブ14の幅L7にする。また、端部に形成された五角形の面積を広げたため、端部に形成された五角形は、菱形と同一面積でなくなってしまう。そこで、菱形を拡大するとともに、端部に形成された五角形を縮小して、角を除く、端部に形成された五角形の面積を菱形と同一面積にする。
<S37:データ生成ステップ
データ生成部106は、併合ステップ(S34)及びリブ調整ステップ(S36)で調整した菱形と五角形とを孔とするメッシュパターンデータを生成して記憶装置に記憶する。
このメッシュパターンデータに基づき、メッシュ3を製造することで、図1に示すようなメッシュ3を製造することができる。メッシュ3の製造方法については後の実施の形態において説明する。

0014

上記説明において、敷詰ステップ(S33)では、横方向の中央から順に多角形と菱形とを並べた。しかし、図9に示すように、矩形領域10の端(図9では左端)から順に菱形を並べてもよい。まず、図9(a)に示すように、矩形領域10の左の端部に、計算ステップ(S32)で計算した菱形と同一面積の五角形であって、縦方向の幅が計算ステップで計算した幅S5である五角形を中央部に有し、縦方向の幅が幅S5の1/2からリブ14の幅Lの1/2を引いた幅である台形を両端部に有する列を並べる。次に、図9(b)に示すように、先に並べた列の隣に、菱形の列をリブ14を間に挟んで並べる。次に、図9(c)に示すように、上記菱形の列の隣に、三角形を両端に有する列をリブ14を間に挟んで並べる。そして、図9(d)に示すように、三角形を両端に有する列と、菱形の列とを交互にリブ14を間に挟んで並べる処理を、矩形領域10全体を覆うまで続ける。
このように、左側から順に菱形を並べた場合、横方向の端部に形成された多角形が線対称の形状にならない場合がある。この場合には、調整部105は、矩形領域10を成す辺と敷詰ステップで並べた菱形の一部の辺とから構成された多角形が、対向する端部の多角形と対称となるように処理装置により調整する形状調整ステップを敷詰ステップ(S33)又は併合ステップ(S34)の後に実行する。
例えば、図10に示すように、調整部105は、菱形と多角形とを横方向へずらすことにより、横方向に形成された多角形を線対称となるように調整する。つまり、図10(a)に示すように、敷詰ステップで並べられた横方向の端部の多角形が非対称であるとする。すなわち、図10(a)では、左の端部の多角形の方が、右の端部の多角形よりも小さい。そこで、菱形と多角形とを右へずらす。そして、図10(b)に示すように、横方向の端部の多角形が線対称とする。

0015

なお、敷詰ステップ(S33)での菱形の敷き詰め方法は、上述した方法に限られず、どのような方法であっても構わない。しかし、上述した方法でない場合には、横方向の端部だけでなく、縦方向の端部に形成された多角形が、対向する端部に形成された多角形と線対称でない可能性がある。縦方向の端部に形成された多角形が、対向する端部に形成された多角形と線対称でない場合には、敷詰ステップ(S33)又は併合ステップ(S34)の後で線対称となるように調整する必要がある。

0016

また、上記説明では、1つの矩形領域に、その矩形領域に合ったメッシュパターンを生成することを説明した。しかし、データ入力ステップ(S31)で複数の矩形領域を有する領域データ(例えば、ガーバーデータ)を入力し、計算ステップ(S32)以下の処理(メッシュパターン生成ステップ)で、領域データが有する複数の矩形領域の各矩形領域について、その矩形領域に合った(適した)メッシュパターンデータを生成するとしてもよい。ここで、矩形領域の縦方向、横方向の幅(X,Yの長さ)は、矩形領域毎に異なっていてもよい。
なお、領域データは、各矩形領域の縦方向、横方向の幅(X,Yの長さ)と、各矩形領域の位置(例えば、中心の座標)との情報を有する。つまり、データ入力ステップ(S31)でデータ入力部101は、領域データが入力されれば、領域データから各矩形領域の縦方向、横方向の幅(X,Yの長さ)を取得することができる。また、データ生成ステップ(S37)でデータ生成部106は、各矩形領域の位置の情報に基づき、各矩形領域を配置することができる。つまり、データ生成部106は、所定の位置に配置した複数の矩形領域の各矩形領域について、その矩形領域に合ったメッシュパターンデータを生成することができる。データ生成部106は、例えば、各矩形領域が印刷パターンを示す場合には、複数の印刷パターン開口の各印刷パターン開口部分について、その印刷パターン開口部分に合ったメッシュパターンデータを生成することができる。

0017

実施の形態2.
この実施の形態では、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータが示すメッシュパターンを印刷パターン開口51部分に有するマスク50を製造する方法について説明する。また、製造したメッシュの層と、印刷パターン開口を有する層とを有する2層構造のマスクを製造する方法について説明する。

0018

まず、図11に基づき、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータが示す菱形構造等のメッシュパターンを印刷パターン開口51部分に有するマスク50を製造する方法について説明する。
初めに、図11(a)に示すように、基材41を準備する。基材41の材質は例えばSUS(ステンレス鋼,Stainless Used Steel)、鉄板アルミニウム等の導電性基材を用いる事ができる。または、導電性皮膜が形成された非導電性基材でもよく、例えば、ガラスにNi,Cr、ITO(Indium Tin Oxide)膜等の導電性物質蒸着した基材でもよい。そして、図11(b)に示すように、基材41上にレジスト42をラミネートする。
次に、印刷パターン開口51部分に、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータを紫外線レーザー照射する直描機に入力する。そして、メッシュパターンデータが示すメッシュパターンを直描機を用いてレジスト42に直接描画する。つまり、メッシュパターンデータが示すメッシュパターン部分を露光する。そして、現像する。すると、図11(c)に示すように、メッシュパターンに対応する開口となる位置にのみレジスト42が残る。
次に、図11(d)に示すように、レジスト42が形成された領域を除いて、基材41の上にメッシュパターン形状の金属層43をニッケル等のめっきにより形成する。つまり、メッシュパターンに対応する開口となる位置に残されたレジスト42以外の部分に金属層43を形成するため、金属層43はメッシュパターンに対応する開口を有することになる。
そして、図11(e)に示すように、レジスト42を剥離し、金属層43を基材41から剥がす。これにより、印刷パターン開口51部分にリブ14を挟んで複数のメッシュパターンに対応する開口を有するマスク50が金属層43により形成される。つまり、印刷パターン開口51部分に、図1に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有するマスク50が製造される。
なお、上記説明では、直描機を用いてレジスト42を露光した。しかし、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータが示すメッシュパターンを有するパターンフィルムを作成して、作成したパターンフィルム、ガラス活版等を用いてレジスト42を露光してもよい。
また、複数の矩形領域を有する領域データを入力してメッシュパターンデータを生成した場合、複数の矩形領域の各矩形領域を印刷パターン開口51として、印刷パターン開口51部分に、図1に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有するマスク50を製造することができる。つまり、複数の印刷パターン開口51を有するマスク50であって、各印刷パターン開口51部分にメッシュを有するマスク50を製造する場合には、予め各印刷パターン開口51を矩形領域とした領域データを入力としてメッシュパターンデータを生成すれば、各印刷パターン開口51部分に、その印刷パターン開口51に合ったメッシュパターンを有するマスク50を製造することができる。

0019

図12は、印刷パターン開口51部分に、図11に基づき説明した製造方法により製造されたメッシュを備えるマスク50を示す図である。図12(a)は、マスク50の断面図(図12(b)のA−A’断面図)であり、印刷パターン開口51部分には本来メッシュパターンが形成をされている訳であるが形状が複雑になるため、図示を省略してある。図12(b)は、図12(a)のD方向から見た図である。図12(c)は、図36(b)の複数の印刷パターン開口51のうちのある1つの印刷パターン開口51部分に形成されたメッシュの一例を示す図である。
マスク50には、複数の印刷パターン開口51が形成されている。各印刷パターン開口51には、図12(c)に示すように、図11に基づき説明した製造方法により製造されたメッシュが形成されている。つまり、印刷パターン開口51それぞれに、図1に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有するメッシュが形成されている。
マスク50の厚さ(板厚)が薄い場合、印刷パターン開口51に強度がなく、印刷パターン開口51部分から破損する虞がある。そこで、上述したように、印刷パターン部分にメッシュを持たせ、印刷パターン部分の強度を高めている。特に、上記実施の形態で説明したメッシュパターンは、ハニカム構造状等に規則的に孔が形成されているためメッシュの強度が高い。そのため、上記実施の形態で説明したメッシュパターンのメッシュを印刷パターン部分に形成することにより、マスク50の印刷パターン部分の強度も特に高くなる。なお、図12では、印刷パターンを矩形で示しているが、印刷パターンは完全な矩形でなくてもよい。つまり、角の部分に丸みを持った略矩形であってもよい。角の部分に丸みを持たせることにより、印刷パターンの角部分負荷が集中し、角部分から破損することを防止できる。

0020

次に、図13に基づき、メッシュを有する複数の印刷パターン開口51が形成された層(マスク50)と、メッシュが形成された印刷パターン開口51に重なるように形成されたメッシュ無しの印刷開口49を有する樹脂層とを有する2層構造のマスクを製造する方法について説明する。図13(a)は、マスク50の断面図であり、印刷パターン開口51部分には本来メッシュパターンが形成をされている訳であるが形状が複雑になるため、図示を省略してある。
図13(a)、図13(b)に示すように、製造したメッシュ(金属層43)を有する層(マスク50)を紗張りする。図13(b)は、図13(a)のE方向から見た図である。スクリーン枠45に取り付けられた開口のある紗46の開口内周囲にマスク50の外周囲が接着剤等でワーク側(印刷面側)に取り付けられ、紗46の張力によりマスク50が外方向(スクリーン枠45方向)へ張られた状態とする。図13(b)において、紗46とマスク50とはのりしろ47部分で接着されている。すなわち、マスク50をコンビネーション44(紗張りされた枠)に接合する。
次に、図13(c)に示すように、コンビネーション44に接合したマスク50に感光性樹脂48を塗布して乾燥又は硬化する。次に、印刷パターンを直描機を用いて、乾燥又は硬化した感光性樹脂48に描画する。この場合もパターンフィルムを用いて露光してもよい。そして、現像すると、図13(d)に示すように、乾燥又は硬化した感光性樹脂48にメッシュ無しの印刷開口49が形成される。なお、印刷開口49は、マスク50のメッシュが形成された印刷パターン開口51部分に重なるように形成する。
これにより、印刷パターン開口51部分にリブ14を挟んで複数のメッシュパターンに対応する開口を有する層(マスク50)と、マスク50の上面にメッシュ無しの印刷開口49を有する樹脂層48とを備える2層構造のマスクが製造される。つまり、図1に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有する印刷パターン開口51を有する層(マスク50)と、印刷開口49を有する樹脂層48とを有する2層構造のマスクが製造される。
なお、マスク50を紗張りする場合、マスク50を紗46のワーク側ではなく、図13(e)に示すようにマスク50をインク側(スキージ側)に接着し、紗46の内周囲をマスク50と感光性樹脂48とで挟んでも構わない。

0021

マスクの製造工程において、メッシュが紗張りされる。紗張りされるとメッシュには外方向へ引っ張る力が加わる。ここで、上記実施の形態で作成したメッシュパターンデータから製造されたメッシュは、メッシュパターンがハニカム構造状等に規則的に形成されているため、引っ張る力に対する強度が強い。したがって、紗張りされた場合であっても、メッシュが破れることがない。

0022

次に、図14に基づき、メッシュを有する複数の印刷パターン開口51が形成された層(マスク50)と、メッシュ無しの印刷開口49を有する金属層とを有する2層構造のメタルマスクを製造する方法について説明する。
まず、図11(a)から(d)までに示すように、レジスト42が形成された領域を除いて、基材41の上にメッシュパターン形状の金属層43をニッケル等のめっきにより形成する。続いて、図14(a)に示すように、レジスト42を剥離する。次に、図14(b)に示すように、製造したメッシュ(金属層43)を有する層(マスク50)の上にレジスト52を形成する。次に、印刷パターンを直描機を用いて、レジスト52に描画する。この場合もパターンフィルムを用いて露光してもよい。そして、現像すると、図14(c)に示すように、レジスト52が印刷開口49となる部分に形成される。次に、図14(d)に示すように、レジスト52が形成された部分を除き、マスク50の上に、金属層53を形成する。そして、図14(e)に示すように、レジスト52を剥離し、基材から剥がす。
これにより、印刷パターン開口51部分にリブ14を挟んで複数のメッシュパターンに対応する開口を有する複数の印刷パターン開口51を有する層と、メッシュ無しの印刷開口49を有する金属層53とを有する2層構造のメタルマスクが製造される。つまり、図1に示すようなメッシュパターンに対応する開口を有する印刷パターン開口51を有する層(マスク50)と、メッシュ無しの印刷開口49を有する金属層53とを有する2層構造のメタルマスクが製造される。
なお、印刷開口49は、マスク50のメッシュが形成された印刷パターン開口51部分に重なるように形成する。
また、上記マスクの製造方法は一例であり、他の方法によりマスクを製造してもよい。

0023

以上で説明したメッシュやマスクは、スクリーン印刷用のメッシュやマスクだけでなく、ボール搭載用のマスク、バンプ形成用のマスク、等に用いることができる。

0024

つまり、以上の実施の形態に係るメッシュは、所定の領域の中央部において、規則的に配列された同一形状の正規孔(菱形の孔)と、上記所定の領域内の周辺部において、上記正規孔と形状が異なるが同一面積の変形孔(端部に形成された多角形の孔)とを備えることを特徴とする。
言い換えると、以上の実施の形態に係るメッシュは、所定の領域の中央部において、同一形状の正規孔(菱形の孔)を規則的に配列する正規孔形成部(正規孔を形成するリブ14)と、上記所定の領域内の周辺部において、上記正規孔と形状が異なるが同一面積の変形孔を形成する変形孔形成部(変形孔を形成するリブ14)とを備えることを特徴とする。

0025

また、以上の実施の形態に係るメッシュは、所定の領域に複数の孔を有するメッシュが形成されたメッシュにおいて、上記所定の領域の辺を辺の一部とする孔と、
上記所定の領域の辺を辺の一部としない孔との面積が同一であることを特徴とする。

0026

次に、上記実施の形態におけるメッシュパターン作成装置100のハードウェア構成について説明する。
図15は、メッシュパターン作成装置100のハードウェア構成の一例を示す図である。
図15に示すように、メッシュパターン作成装置100は、プログラムを実行するCPU911(Central・Processing・Unit、中央処理装置、処理装置、演算装置マイクロプロセッサマイクロコンピュータプロセッサともいう)を備えている。CPU911は、バス912を介してROM913、RAM914、LCD901(Liquid Crystal Display)、キーボード902(K/B)、通信ボード915、磁気ディスク装置920と接続され、これらのハードウェアデバイスを制御する。磁気ディスク装置920の代わりに、光ディスク装置メモリカード読み書き装置などの記憶装置でもよい。

0027

ROM913、磁気ディスク装置920は、不揮発性メモリの一例である。RAM914は、揮発性メモリの一例である。ROM913とRAM914と磁気ディスク装置920とは、記憶装置(メモリ)の一例である。また、キーボード902、通信ボード915は、入力装置の一例である。また、通信ボード915は、通信装置の一例である。さらに、LCD901は、表示装置の一例である。

0028

磁気ディスク装置920又はROM913などには、オペレーティングシステム921(OS)、ウィンドウシステム922、プログラム群923、ファイル群924が記憶されている。プログラム群923のプログラムは、CPU911、オペレーティングシステム921、ウィンドウシステム922により実行される。

0029

プログラム群923には、上記の説明において「データ入力部101」、「計算部102」、「敷詰部103」、「併合部104」、「調整部105」、「データ生成部106」、「変形部107」、「補助孔形成部108」等として説明した機能を実行するソフトウェアやプログラムやその他のプログラムが記憶されている。プログラムは、CPU911により読み出され実行される。
ファイル群924には、上記の説明において「矩形領域10の縦方向、横方向の幅」、「菱形の孔31の最低サイズ」、「リブ14の幅」、「加工限界値」等の情報やデータや信号値変数値パラメータが、「ファイル」や「データベース」の各項目として記憶される。「ファイル」や「データベース」は、ディスクやメモリなどの記録媒体に記憶される。ディスクやメモリなどの記憶媒体に記憶された情報やデータや信号値や変数値やパラメータは、読み書き回路を介してCPU911によりメインメモリキャッシュメモリに読み出され、抽出・検索・参照・比較・演算・計算・処理・出力・印刷・表示などのCPU911の動作に用いられる。抽出・検索・参照・比較・演算・計算・処理・出力・印刷・表示のCPU911の動作の間、情報やデータや信号値や変数値やパラメータは、メインメモリやキャッシュメモリやバッファメモリに一時的に記憶される。
また、上記の説明におけるフローチャートの矢印の部分は主としてデータや信号の入出力を示し、データや信号値は、RAM914のメモリ、その他光ディスク等の記録媒体に記録される。また、データや信号は、バス912や信号線ケーブルその他の伝送媒体によりオンライン伝送される。

0030

また、上記の説明において「〜部」として説明するものは、「〜回路」、「〜装置」、「〜機器」、「〜手段」、「〜機能」であってもよく、また、「〜ステップ」、「〜手順」、「〜処理」であってもよい。また、「〜装置」として説明するものは、「〜回路」、「〜装置」、「〜機器」、「〜手段」、「〜機能」であってもよく、また、「〜ステップ」、「〜手順」、「〜処理」であってもよい。さらに、「〜処理」として説明するものは「〜ステップ」であっても構わない。すなわち、「〜部」として説明するものは、ROM913に記憶されたファームウェアで実現されていても構わない。或いは、ソフトウェアのみ、或いは、素子デバイス基板配線などのハードウェアのみ、或いは、ソフトウェアとハードウェアとの組み合わせ、さらには、ファームウェアとの組み合わせで実施されても構わない。ファームウェアとソフトウェアは、プログラムとして、ROM913等の記録媒体に記憶される。プログラムはCPU911により読み出され、CPU911により実行される。すなわち、プログラムは、上記で述べた「〜部」としてコンピュータ等を機能させるものである。あるいは、上記で述べた「〜部」の手順や方法をコンピュータ等に実行させるものである。

0031

3メッシュ、10矩形領域、14リブ、15 第1の列、16 第2の列、31菱形の孔、32,33五角形の孔、41基材、42,52レジスト、43,53金属層、44コンビネーション、45スクリーン枠、46 紗、47 のりしろ、48感光性樹脂、50マスク、51印刷パターン開口、100メッシュパターン作成装置、101データ入力部、102 計算部、103 敷詰部、104併合部、105 調整部、106データ生成部、107 変形部、108補助孔形成部。

ページトップへ

この技術を出願した法人

この技術を発明した人物

ページトップへ

関連する挑戦したい社会課題

関連する公募課題

該当するデータがありません

ページトップへ

おススメ サービス

おススメ astavisionコンテンツ

新着 最近 公開された関連が強い技術

この 技術と関連性が強い人物

関連性が強い人物一覧

この 技術と関連する社会課題

関連する挑戦したい社会課題一覧

この 技術と関連する公募課題

該当するデータがありません

astavision 新着記事

サイト情報について

本サービスは、国が公開している情報(公開特許公報、特許整理標準化データ等)を元に構成されています。出典元のデータには一部間違いやノイズがあり、情報の正確さについては保証致しかねます。また一時的に、各データの収録範囲や更新周期によって、一部の情報が正しく表示されないことがございます。当サイトの情報を元にした諸問題、不利益等について当方は何ら責任を負いかねることを予めご承知おきのほど宜しくお願い申し上げます。

主たる情報の出典

特許情報…特許整理標準化データ(XML編)、公開特許公報、特許公報、審決公報、Patent Map Guidance System データ