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課題

搬送システムにおいて、搬送車走行を好適に制御し、効率的な搬送を可能とする。

解決手段

搬送システムは、軌道(100)と、軌道上を夫々走行する複数の搬送車(200)と、被搬送物(400)を保管する複数の保管棚(500)と、複数の搬送車に対して、被搬送物を搬送するように搬送指示を行う搬送指示手段(320)と、搬送指示に先立って、一の搬送車を搬送元に呼び込むと共に搬送指示が行われるまで待機状態にさせる搬送予告手段(310)と、待機状態とされた一の搬送車から所定距離の範囲内への他の搬送車の進入を検出する進入検出手段(330)と、進入から搬送指示が行われるまでの残り期間が所定期間より長いか否かの判定を行う判定手段(360)と、残り期間が所定期間より長い場合に、待機状態を解除するように一の搬送車を制御する制御手段(370)とを備える。

概要

背景

この種の搬送システムとして、複数の搬送車軌道上を走行することによって、被搬送物を搬送するというものがある。搬送車は、被搬送物の保管場所である搬送元において被搬送物を積載し、搬送先まで被搬送物を搬送するように制御される。この際、搬送システムは、予め搬送車を搬送元に呼寄せる指示(搬送予告)を行う場合がある(例えば、特許文献1参照)。

上述したような搬送予告を行う搬送システムでは、例えば搬送車を搬送元に呼び寄せるという指示と、実際に搬送先まで被搬送物を運ぶという指示が、システムを制御するコントローラ等によって、別々に(即ち、ある程度の期間をおいて)行われる。これにより、例えば搬送元から出庫された被搬送物が搬送車に積載されるまでの期間を短縮することが可能とされる。即ち、搬送元における無駄な待機時間を低減することで、システムの稼働率を向上させることが可能とされる。

特開2002−110766号公報

概要

搬送システムにおいて、搬送車の走行を好適に制御し、効率的な搬送を可能とする。搬送システムは、軌道(100)と、軌道上を夫々走行する複数の搬送車(200)と、被搬送物(400)を保管する複数の保管棚(500)と、複数の搬送車に対して、被搬送物を搬送するように搬送指示を行う搬送指示手段(320)と、搬送指示に先立って、一の搬送車を搬送元に呼び込むと共に搬送指示が行われるまで待機状態にさせる搬送予告手段(310)と、待機状態とされた一の搬送車から所定距離の範囲内への他の搬送車の進入を検出する進入検出手段(330)と、進入から搬送指示が行われるまでの残り期間が所定期間より長いか否かの判定を行う判定手段(360)と、残り期間が所定期間より長い場合に、待機状態を解除するように一の搬送車を制御する制御手段(370)とを備える。

目的

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、効率的に搬送を行うことが可能な搬送システムを提供することを課題とする。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
0件

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請求項1

軌道と、該軌道上を夫々走行する複数の搬送車と、前記軌道に沿って設けられており、被搬送物保管する複数の保管棚と、前記複数の搬送車に対して、搬送元である一の保管棚から搬送先である他の保管棚へ被搬送物を搬送するように搬送指示を行う搬送指示手段と、前記搬送指示に先立って、前記複数の搬送車のうち一の搬送車を前記搬送元に呼び込むと共に、前記搬送指示が行われるまで前記一の搬送車を前記搬送元で待機状態にさせる搬送予告手段と、前記待機状態とされた前記一の搬送車から所定距離の範囲内への他の搬送車の進入を検出する進入検出手段と、前記進入から前記搬送指示が行われるまでの残り期間が所定期間より長いか否かの判定を行う判定手段と、前記判定において、前記残り期間が前記所定期間より長いとされた場合に、前記待機状態を解除するように前記一の搬送車を制御する制御手段とを備えることを特徴とする搬送システム

請求項2

前記他の搬送車が前記被搬送物を積載していることを検出する積載検出手段を更に備え、前記搬送予告手段は、前記他の搬送車が前記被搬送物を積載しており、且つ前記一の搬送車の前記待機状態が解除された場合に、前記他の搬送車以外の第3の搬送車を前記搬送元に呼び込むと共に、前記搬送指示が行われるまで前記第3の搬送車を前記搬送元で待機状態にさせることを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。

請求項3

前記他の搬送車が前記被搬送物を積載していることを検出する積載検出手段を更に備え、前記搬送予告手段は、前記他の搬送車が前記被搬送物を積載しておらず、且つ前記一の搬送車の前記待機状態が解除された場合に、前記他の搬送車を前記搬送元に呼び込むと共に、前記搬送指示が行われるまで前記他の搬送車を前記搬送元で前記待機状態にさせることを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。

請求項4

前記待機状態とされた前記他の搬送車が、前記一の搬送車に係る搬送指示以外の他の搬送指示を受けていることを検出する搬送検出手段を更に備え、前記搬送指示手段は、前記他の搬送車が前記他の搬送指示を受けている場合に、前記一の搬送車に前記他の搬送指示を行うことを特徴とする請求項3に記載の搬送システム。

請求項5

前記所定期間は、前記待機状態を解除された前記一の搬送車が前記軌道を1周する期間に基づいて設定されることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の搬送システム。

請求項6

前記所定期間は、前記複数の保管棚の各々について設定されることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の搬送システム。

技術分野

0001

本発明は、例えば半導体装置製造用の各種基板等が収容された容器等の被搬送物を、軌道上で搬送する搬送システムの技術分野に関する。

背景技術

0002

この種の搬送システムとして、複数の搬送車が軌道上を走行することによって、被搬送物を搬送するというものがある。搬送車は、被搬送物の保管場所である搬送元において被搬送物を積載し、搬送先まで被搬送物を搬送するように制御される。この際、搬送システムは、予め搬送車を搬送元に呼寄せる指示(搬送予告)を行う場合がある(例えば、特許文献1参照)。

0003

上述したような搬送予告を行う搬送システムでは、例えば搬送車を搬送元に呼び寄せるという指示と、実際に搬送先まで被搬送物を運ぶという指示が、システムを制御するコントローラ等によって、別々に(即ち、ある程度の期間をおいて)行われる。これにより、例えば搬送元から出庫された被搬送物が搬送車に積載されるまでの期間を短縮することが可能とされる。即ち、搬送元における無駄な待機時間を低減することで、システムの稼働率を向上させることが可能とされる。

0004

特開2002−110766号公報

発明が解決しようとする課題

0005

しかしながら、上述した技術では、搬送元に呼び寄せられた搬送車は、搬送先まで被搬送物を運ぶという指示が出されるまで、搬送元で待機せざるを得ない。このため、搬送元で待機している(即ち、軌道上に停止している)搬送車が、他の搬送車の走行を阻害してしまうおそれがある。即ち、上述した技術には、搬送元に待機する搬送車の存在によって、搬送効率が低下してしまうおそれがあるという技術的問題点がある。

0006

本発明は、例えば上述した問題点に鑑みなされたものであり、効率的に搬送を行うことが可能な搬送システムを提供することを課題とする。

課題を解決するための手段

0007

本発明の搬送システムは上記課題を解決するために、軌道と、該軌道上を夫々走行する複数の搬送車と、前記軌道に沿って設けられており、被搬送物を保管する複数の保管棚と、前記複数の搬送車に対して、搬送元である一の保管棚から搬送先である他の保管棚へ被搬送物を搬送するように搬送指示を行う搬送指示手段と、前記搬送指示に先立って、前記複数の搬送車のうち一の搬送車を前記搬送元に呼び込むと共に、前記搬送指示が行われるまで前記一の搬送車を前記搬送元で待機状態にさせる搬送予告手段と、前記待機状態とされた前記一の搬送車から所定距離の範囲内への他の搬送車の進入を検出する進入検出手段と、前記進入から前記搬送指示が行われるまでの残り期間が所定期間より長いか否かの判定を行う判定手段と、前記判定において、前記残り期間が前記所定期間より長いとされた場合に、前記待機状態を解除するように前記一の搬送車を制御する制御手段とを備える。

0008

本発明の搬送システムによれば、その動作時には、例えば天井に敷設されたレール等の軌道上を走行する、ビークル、OHT(Overhead Hoist Transport)等の搬送車によって、FOUP(Front Opening Unified Pod)等の被搬送物が搬送される。搬送車は、軌道に沿って設けられた複数の保管棚間で被搬送物を搬送する。

0009

本発明に係る「保管棚」は、被搬送物を保管するだけの単なる保管場所、即ち狭義の保管棚を意味してもよい。或いは、例えば被搬送物に対する各種作業を実行可能な作業ステーション処理装置、更に、入庫する箇所と出庫する箇所とが異なる被搬送物を多少の距離だけ搬送或いは移送する機能を併せ持つ装置や機構であってもよく、即ち、講義の保管棚を意味してもよい。言い換えれば、本発明に係る「保管棚」とは、軌道上の搬送車との間で、被搬送物を移載可能である(即ち、荷揚又は荷下しのうち少なくとも一方が可能である)限り、その形状、形態、機能について制限されない、装置、手段、機構、或いは部材を意味する。

0010

本発明では、搬送指示手段から各搬送車に対する搬送指示が行われることで、搬送車による被搬送物の搬送が実行される。具体的には、搬送指示手段は、搬送元である一の保管棚と搬送先である他の保管棚とを各搬送車へ伝えることによって搬送指示を行う。搬送指示を受けた搬送車は、搬送元である一の保管棚に保管されていた被搬送物を積載し、搬送先である他の保管棚まで軌道上を走行する。続いて、搬送車は搬送先である他の保管棚に被搬送物を荷下ろしする。このような動作を複数の搬送車が夫々行うことにより、被搬送物の搬送が行われる。尚、搬送指示を受けていない搬送車は、典型的には、軌道上を巡回している。即ち、搬送を行っていない搬送車も、軌道上を夫々走行し続けている。

0011

本発明では更に、上述した搬送指示手段による搬送指示に先立ち、搬送予告手段によって、複数の搬送車のうち一の搬送車(即ち、搬送指示の対象となる搬送車)が搬送元に呼び込まれると共に、搬送指示が行われるまで搬送元で待機状態にさせられる(以下、このような搬送予告手段によって行われる動作を、適宜「搬送予告」と称する)。尚、「待機状態」とは、走行を停止した状態を意味しており、一の搬送車は、搬送元である保管棚から被搬送物を積載できるような位置に停止して、搬送指示が行われるのを待つ。一の搬送車が搬送元で待機していることにより、搬送指示を受けた際に、速やかに搬送元から被搬送物を積載することが可能となる。

0012

一の搬送車が搬送元で待機状態とされている場合には、進入検出手段によって、待機状態とされた一の搬送車から所定距離の範囲内への他の搬送車の進入が検出される。尚、ここでの「所定距離」とは、待機状態とされた一の搬送車によって他の搬送車の走行が阻害されてしまうおそれがあるような距離であり、搬送車の走行速度等に応じて予め設定されている。進入検出手段は、例えば他の搬送車を物理的に検出するセンサのようなものであってもよいし、複数の搬送車の位置をシステム上で夫々管理することで、電子的に他の搬送車の進入を検出するようなものであってもよい。

0013

他の搬送車の進入が検出されると、判定手段により、進入から搬送指示が行われるまでの残り期間が所定期間より長いか否かの判定が行われる。尚、ここでの「所定期間」とは、後述する制御手段が一の搬送車の待機状態を解除するか否かの閾値となる値であり、軌道のレイアウト等に応じて予め設定されている。或いは、リアルタイムで設定されてもよい。搬送予告から搬送指示が行われるまでの期間は、例えば「搬送予告から30秒後」、「搬送予告から30秒以内」、「搬送予告から30程度」などのように予め設定されている。よって、進入から搬送指示が行われるまでの残り期間は、搬送予告から進入までの期間を用いて求めることができる。

0014

搬送指示までの残り期間が所定期間より長いとされた場合、制御手段により、搬送予告を受けた一の搬送車が待機状態を解除するように制御される。即ち、搬送元で待機状態とされていた一の搬送車は、搬送指示を受けることなく走行を再開する。待機状態を解除された一の搬送車は、典型的には、軌道上を巡回しながら、次の搬送予告や搬送指示を待つ状態となる。尚、搬送予告を受けていた一の搬送車に対する搬送指示は、接近してきた他の搬送車やそれ以外の搬送車に対して行われることになる。

0015

ここで仮に、待機状態が解除されないとすると、待機状態である一の搬送車によって他の搬送車の走行が阻害されてしまうことになる。即ち、軌道上で停止している一の搬送車が、走行中の他の搬送車に対する障害物となってしまうおそれがある。また、搬送指示までの残り期間が所定期間より短い場合に、待機状態が解除されてしまうと、搬送予告を受けていた一の搬送車に対する搬送指示を他の搬送車等に行わせることで、却って搬送効率が低下してしまうおそれがある。

0016

しかるに本発明では特に、上述したように、待機状態である一の搬送車に対して他の搬送車が所定距離の範囲内にまで近付いており、搬送指示までの期間が所定期間より長い場合に、搬送予告を受けていた一の搬送車の待機状態が解除される。よって、一の搬送車の待機状態が解除されることによる搬送効率の低下を抑制しつつ、他の搬送車の走行が阻害されてしまうことを防止することができる。即ち、一の搬送車を待機状態のままとして、他の搬送車の走行を停止させる場合と、一の搬送車の待機状態を解除して、他の搬送車の走行を優先させる場合とで、どちらが効率的に搬送を行うことができるかを適切に選択できる。

0017

以上説明したように、本発明の搬送システムによれば、複数の搬送車を夫々好適に走行させ、効率的に搬送を行うことが可能である。

0018

本発明の搬送システムの他の態様では、前記他の搬送車が前記被搬送物を積載していることを検出する積載検出手段を更に備え、前記搬送予告手段は、前記他の搬送車が前記被搬送物を積載しており、且つ前記一の搬送車の前記待機状態が解除された場合に、前記他の搬送車以外の第3の搬送車を前記搬送元に呼び込むと共に、前記搬送指示が行われるまで前記第3の搬送車を前記搬送元で待機状態にさせる。

0019

この態様によれば、待機状態である一の搬送車から所定距離の範囲内への他の搬送車の進入が検出されると、積載検出手段によって、進入した他の搬送車が被搬送物を積載しているか否かが検出される。

0020

ここで本態様では、他の搬送車が被搬送物を積載しており、且つ搬送予告を受けた一の搬送車の待機状態が制御手段によって解除された場合に、搬送予告手段によって、他の搬送車以外の第3の搬送車が搬送元に呼び込まれると共に、搬送指示が行われるまで第3の搬送車が搬送元で待機状態とされる。即ち、待機状態を解除された一の搬送車に代えて、第3の搬送車が搬送予告を受けた状態とされる。

0021

尚、第3の搬送車は、典型的には、一の搬送車及び他の搬送車以外の搬送車であって、搬送元に最も近い位置を巡回している(即ち、搬送中でない)搬送車が選ばれる。但し、適当な搬送車が存在しないような場合には、待機状態を解除された一の搬送車が第3の搬送車とされてもよい。即ち、一の搬送車が再び待機していた搬送元に戻ってきて待機状態とされてもよい。

0022

上述の場合には、搬送予告を受けた一の搬送車に対して行われるはずであった搬送指示を、第3の搬送車が受けることになる。よって、搬送予告を受けた一の搬送車の待機状態を解除した場合であっても、搬送指示に対して速やかに対応することが可能となる。従って、より効率的に被搬送物を搬送することが可能である。

0023

本発明の搬送システムの一態様では、前記他の搬送車が前記被搬送物を積載していることを検出する積載検出手段を更に備え、前記搬送予告手段は、前記他の搬送車が前記被搬送物を積載しておらず、且つ前記一の搬送車の前記待機状態が解除された場合に、前記他の搬送車を前記搬送元に呼び込むと共に、前記搬送指示が行われるまで前記他の搬送車を前記搬送元で前記待機状態にさせる。

0024

この態様によれば、待機状態である一の搬送車から所定距離の範囲内への他の搬送車の進入が検出されると、積載検出手段によって、進入した他の搬送車が被搬送物を積載しているか否かが検出される。

0025

ここで本態様では、他の搬送車が被搬送物を積載しておらず、且つ搬送予告を受けた一の搬送車の待機状態が制御手段によって解除された場合に、搬送予告手段によって、他の搬送車が搬送元に呼び込まれると共に、他の搬送車が搬送元で待機状態とされる。即ち、待機状態を解除された一の搬送車に代えて、進入した他の搬送車が搬送予告を受けた状態とされる。

0026

上述の場合には、搬送予告を受けた一の搬送車に対して行われるはずであった搬送指示を、他の搬送車が受けることになる。よって、搬送予告を受けた一の搬送車の待機状態を解除した場合であっても、搬送指示に対して速やかに対応することが可能となる。特に、他の搬送車は搬送元から所定距離の範囲内を走行中であるため、搬送元に呼び込むのに多くの時間を要しない。従って、より効率的に被搬送物を搬送することが可能である。

0027

上述した他の搬送車を待機状態とする態様では、前記待機状態とされた前記他の搬送車が、前記一の搬送車に係る搬送指示以外の他の搬送指示を受けていることを検出する搬送検出手段を更に備え、前記搬送指示手段は、前記他の搬送車が前記他の搬送指示を受けている場合に、前記一の搬送車に前記他の搬送指示を行う。

0028

この態様によれば、一の搬送車に代えて他の搬送車が待機状態とされると、搬送検出手段によって、他の搬送車が一の搬送車に係る搬送指示以外の他の搬送指示を受けているか否かが検出される。ここで、「一の搬送車に係る搬送指示」とは、一の搬送車に対して行われる予定の搬送指示を指している。つまり、ここでの「他の搬送指示」とは、一の搬送車に対して行われる予定の搬送指示以外の搬送指示を意味する。また、他の搬送指示は、搬送予告であっても構わない。即ち、搬送検出手段は、一の搬送車に対して行われる予定の搬送指示以外の搬送指示、又は一の搬送車に対して行われた搬送予告以外の搬送予告を、他の搬送車が受けているか否かを検出する。

0029

ここで本態様では、待機状態とされた他の搬送車が他の搬送指示を受けている場合(例えば、搬送指示を受けた後、搬送元へ被搬送物を積載に向かっている場合)に、搬送指示手段によって、待機状態を解除された一の搬送車に対して、他の搬送車が受けていた他の搬送指示が行われる。一の搬送車に他の搬送指示が行われると、一の搬送車は、待機状態とされた他の搬送車に代えて、他の搬送指示に応じた搬送を開始する。つまり、ここでの一の搬送車及び他の搬送車は、互いにその役割交換した状態となる。よって、一の搬送車が他の搬送車の走行を阻害してしまうことを防止できると共に、好適に搬送指示に対応することが可能となる。従って、より効率的に被搬送物を搬送することが可能である。

0030

本発明の搬送システムの他の態様では、前記所定期間は、前記待機状態を解除された前記一の搬送車が前記軌道を1周する期間に基づいて設定される。

0031

この態様によれば、一の搬送車の待機状態を解除するか否かの閾値となる所定期間が、仮に待機状態を解除された場合において、一の搬送車が軌道を1周する期間に基づいて設定される。尚、ここでの「1周する期間」とは、一の搬送車が再び待機していた搬送元に戻ってくるまでの期間を意味しており、典型的には、軌道上の最短距離を走行する場合を想定して設定される。つまり、所定期間は軌道のレイアウトに基づいて予め設定される。或いは、待機状態を解除された際の軌道上の搬送車の走行状況(例えば、特定の区間における搬送車の混み具合)等を加味してリアルタイムに設定されるようにしてもよい。

0032

一の搬送車の待機状態が解除されると、一の搬送車に行われる予定であった搬送指示は、他の搬送車等に行われることとなる。しかしながら、適当な搬送車が存在しない場合には、一の搬送車が軌道を1周して再び搬送元へと戻る方が、搬送効率がよいこともある。このような際に、上述したように所定期間を設定すれば、一の搬送車を待機状態のままとして、他の搬送車等に対して搬送指示を行わせる場合と、一の搬送車の待機状態を解除して、一の搬送車を再び搬送元へ呼び込む場合とで、どちらが効率的に搬送を行うことができるかを適切に選択できる。従って、より効率的に被搬送物を搬送することが可能となる。

0033

本発明の搬送システムの他の態様では、前記所定期間は、前記複数の保管棚の各々について設定される。

0034

この態様によれば、一の搬送車の待機状態を解除するか否かの閾値となる所定期間が、複数の保管棚の各々について別々に設定される。尚、一の保管棚における所定期間は、一の保管棚が搬送元となる場合の搬送指示に対応するものとして設定される。

0035

上述したように所定期間が設定されることにより、保管棚毎に、異なる条件で一の搬送車の待機状態を解除するかの判断を下すことができる。よって、例えば軌道における保管棚の位置等に応じて、より適切な判断を下すことができる。従って、より効率的に被搬送物を搬送することが可能となる。

0036

本発明の作用及び他の利得は次に説明する発明を実施するための最良の形態から明らかにされる。

発明を実施するための最良の形態

0037

以下では、本発明の実施形態について図を参照しつつ説明する。

0038

先ず、本実施形態に係る搬送システムの全体構成について、図1を参照して説明する。ここに図1は、本実施形態に係る搬送システムの全体構成を概略的に示す上面図であり、図2は、ビークルの具体的な構成を示す斜視図である。

0039

図1において、第1実施形態に係る搬送システムは、軌道100と、複数のビークル200と、コントローラ300と、複数のステーション500とを備えて構成されている。

0040

軌道100は、例えば天井に敷設されており、アルミニウムステンレス等の金属から構成される。尚、ここでは説明の便宜上、軌道100の構成を極めて簡単なものとして図示しているが、実際の軌道100は、例えば分岐箇所において複数の分岐経路分岐されるような複雑な構成とされてもよい。

0041

ビークル200は、本発明の「搬送車」の一例であり、軌道100に沿って夫々走行することで、半導体基板等の被搬送物を搬送する。ビークル200は、例えばリニアモータ動力として、軌道100上を走行する。また、ビークル200の各々には識別番号が付与されており、例えば、後述するコントローラ300等によって、どのビークル200が、軌道100上におけるどの位置を走行中であるかを識別することが可能である。尚、ここではビークル200を3台しか図示していないが、典型的には、より多く(例えば数十台、或いは数百台)のビークル200が軌道100上に備えられる。

0042

図2において、ビークル200は、軌道100に吊下げられる形で取り付けられている。ビークル200によって、被搬送物であるFOUP400を移載する際には、ビークル本体220から、グリップ部240がステーション500上に配置されているFOUP400を把持できる位置まで下降する。グリップ部240は、複数のベルト230を介してビークル本体220と接続されており、ベルト230を巻き出し、或いは巻き取ることによって上昇及び下降が可能とされている。FOUP400がグリップ部240に把持されると、グリップ部240及び把持されたFOUP400がビークル本体220の位置まで上昇され、その後にビークル200の走行が開始される。

0043

図1戻り、コントローラ300は、例えばメモリ演算回路等を含んで構成されており、システム全体の動作を管理して制御するコントロールユニットである。コントローラ300は、搬送予告部310と、搬送指示部320と、進入検出部330と、積載検出部340と、搬送検出部350と、判定部360と、制御部370とを有している。

0044

搬送予告部310は、本発明の「搬送予告手段」の一例であり、搬送元となるステーション500にビークルを呼び込み待機させる。搬送予告部310は、例えば無線や、軌道100に設けられた配線等を介して、軌道100上を走行するビークル200を夫々制御する。

0045

搬送指示部320は、本発明の「搬送指示手段」の一例であり、複数のビークル200に対して、搬送元となるステーション500から搬送先のステーション500にFOUP400を搬送するように搬送指示を行う。搬送指示部310は、搬送予告部310と同様に、例えば無線や、軌道100に設けられた配線等を介して、軌道100上を走行するビークル200を夫々制御する。

0046

進入検出部330は、本発明の「進入検出手段」の一例であり、搬送予告によって待機状態とされたビークル200から所定距離の範囲内に、他のビークル200が進入したことを検出する。進入検出部330は、例えば複数のビークル200の位置を夫々管理することで、ビークル200間の距離を検出し、他のビークルの進入を電子的に検出する。或いは検出部330は、複数のビークル200の各々に取り付けられたセンサ等であっても構わない。

0047

積載検出部340は。本発明の「積載検出手段」の一例であり、ビークル200がFOUP400を積載しているか否かを検出する。積載検出部340は、ビークル200が積載動作を行ったか否かによってFOUP400を積載しているか否かを検出するようなものであってもよいし、FOUP400を物理的に検出するセンサのようなものであってもよい。

0048

搬送検出部350は、本発明の「搬送検出手段」の一例であり、ビークル200が搬送指示又は搬送予告を受けている状態であるか否かを検出する。尚、以下では、ビークル200が搬送指示又は搬送予告を受けている状態を、適宜「搬送中」と称する。

0049

判定部360は、本発明の「判定手段」の一例であり、進入から搬送指示が行われるまでの残り期間が所定期間より長いか否かの判定を行う。所定期間は、例えば判定手段が有するメモリ等に予め記憶されている。

0050

制御部370は、本発明の「制御手段」の一例であり、判定部360による判定において、進入から搬送指示が行われるまでの残り期間が所定期間より長いとされた場合に、搬送予告を受けて待機中のビークル200の待機状態を解除する。待機状態を解除されたビークル200は、走行を開始し、他の搬送予告や搬送指示が行われるのを待つ。

0051

ステーション500は、本発明の「保管棚」の一例であり、軌道100に沿って複数設けられている。ステーション500は、図2に示したように、FOUP400を保管する単なるのようなものであってもよいし、FOUPに対する各種作業を行う装置等を備えた作業ステーションのようなものであってもよい。

0052

次に、本実施形態に係る搬送システムの動作について図3から図10を参照して説明する。ここに図3は、本実施形態に係る搬送システムの全体的な動作の流れを示すフローチャートであり、図4は、渋滞時の搬送システムの一例を示す上面図である。

0053

図3において、本実施形態に係る搬送システムの動作時には、先ず搬送予告部310(図1参照)が、一のビークル200に対して搬送予告を行う(ステップS11)。搬送予告は、例えば搬送指示において搬送元となるステーション500の近くを巡回中であるビークル200に対して行われる。尚、搬送予告は必ずしも全ての搬送作業に対して行われなくともよい。即ち、搬送予告が行われずに搬送指示が行われる場合があってもよい。具体的には、搬送元となるステーション500に極めて近い位置にビークル200が存在している場合であれば、搬送予告を行わずとも効率的な搬送作業が行える。搬送予告を受けたビークル200は、搬送元となるステーション500に呼び込まれ(ステップS12)、搬送指示が行われるまで呼び込まれたステーション500で待機させられる(ステップS13)。即ち、搬送指示が行われた際に、速やかにFOUP400を積載できるような状態とされる。

0054

搬送予告後には、搬送指示部320(図2参照)が、搬送予告を行ったビークル200に対して、搬送指示を行う。具体的には、搬送指示部320は、ビークルに対して、搬送元となるステーション500及び搬送先となるステーション500を伝達する。搬送元で待機していたビークル200は搬送指示に従い、搬送元であるステーション500に保管されているFOUP400を積載する(ステップS15)。FOUP400を積載したビークル200は、搬送先であるステーション500まで走行し(ステップS16)、FOUP400を荷下ろしする。

0055

上述したような一連の処理が各ビークル200に対して夫々行われることにより、被搬送物であるFOUP400が各ステーション間で搬送される。本実施形態に係る搬送システムでは、搬送予告によって、ビークル200が搬送元となるステーション500に呼び込まれているため、効率的に搬送が行える。但し、搬送予告は、搬送指示の前に必要とされるものではない。即ち、搬送予告が行われずに、直接搬送指示が行われる場合があってもよい。

0056

図4において、例えばビークル200aに対して、搬送元となるステーション500aで待機するように搬送予告が行われたとすると、ビークル200aは、ステーション500aにおいて搬送指示が行われるまで待機する(即ち、停止する)。ここで仮に、後続のビークル200b及ビークル200c等が、比較的ビークル200aの近くを走行していたとすると、ビークル200b及びビークル200cは、待機しているビークル200aによって走行を阻害されてしまう。このように、ビークル200の各々に対する走行が阻害されてしまうことにより、軌道100上でビークル200が渋滞し、搬送効率が低下してしまうおそれがある。

0057

本実施形態では特に、上述したような場合に、所定の条件に基づいて搬送予告を受けたビークルの待機状態を解除することで、搬送効率の低下を防止可能とされている。以下では、本実施形態に係る搬送システムに特有の動作及びその作用について、図5から図10を参照して詳細に説明する。ここに図5は、実施形態に係る搬送システムの追い出しに係る動作の流れを示すフローチャートである。また図6は、搬送予告を受けたビークルと他のビークルとの位置関係を示す上面図であり、図7は、追い出しの閾値となる所定期間を示す概念図である。図8から図10は夫々、追い出されたビークルの動作を他の搬送車の動作と共に示す上面図である。尚、図6及び図8から図10では、説明の便宜上、図1に示した複数のステーション500のうち、説明に必要となるステーション500のみを図示している。

0058

図5において、搬送予告によって一のビークル200が待機状態とされると(図3のステップS13参照)、進入検出部330(図1参照)は、待機状態とされた一のビークル200から所定距離の範囲内への他のビークル200の進入を検出する(ステップS21)。この検出は、典型的には、一のビークル200に対する搬送指示が行われるまで連続して行われる。

0059

図6に示すように、例えば搬送予告を受けたビークル200aが、ステーション500aで待機状態とされているとする。この場合、進入検出部330は、ビークル200aから所定距離Lの範囲内に進入してきたビークル200bを検出する。尚、所定距離Lは、例えばビークル200の速度や軌道100のレイアウト等に応じて予め設定されている。以下では、この図6の例を用いて説明を進める。

0060

図5に戻り、ビークル200bの進入が検出されると(ステップS21:YES)、判定部360(図1参照)は、進入から搬送指示が行われるまでの残り期間が所定期間より長いか否かを判定する(ステップS22)。尚、搬送予告から搬送指示が行われるまでの期間は、予め設定されている。

0061

図7に示すように、搬送予告から約30秒後に搬送指示が行われるように設定されているとすると、例えば所定期間Tは5秒とされる。この場合、例えばビークル200bの進入が搬送予告から15秒後だとすると、残り期間>所定期間Tとなり、ビークル200bの進入が搬送予告の28秒後だとすると、残り期間<所定期間Tとなる。所定期間Tは、ステーション500毎に設定されている。

0062

再び図5に戻り、残り期間が所定期間Tより短いと判定された場合には(ステップS22:NO)、進入したビークル200bの走行が一時停止される(ステップS23)。即ち、ビークル200bは、ビークル200aに搬送指示が行われ、走行を開始するのを待つ状態とされる。但し、上述した所定距離Lが比較的長く設定されており、ビークル200bがビークル200aに衝突してしまうことを回避できるような場合であれば、ビークル200bは走行を停止せずともよい。

0063

他方で、残り期間が所定期間Tより長いと判定された場合には(ステップS22:YES)、搬送予告を受けているビークル200aの待機状態が解除され、ステーション500aから追い出される(ステップS24)。即ち、ビークル200aは、搬送予告を受けていない状態とされ、走行を開始する。これにより、ビークル200bの走行がビークル200aによって阻害されてしまうことを防止できる。

0064

続いて、積載検出部340(図1参照)は、進入したビークル200bがFOUP400を積載しているか否かを検出する(ステップS25)。ここで、ビークル200bがFOUP400を積載していることが検出された場合(ステップS25:YES)、図8に示すように、追い出されたビークル200aに代えて、ビークル200bがステーション500aに呼び込まれ(ステップS26)、搬送指示が行われるまで待機状態とされる(ステップS27)。即ち、ビークル200bが、ビークル200aに代えて搬送予告を受けている状態とされる。よって、ビークル200aの待機状態を解除した場合であっても、ビークル200bによって、搬送指示に対して速やかに対応することが可能となる。従って、効率的に搬送を行うことが可能となる。

0065

他方で、ビークル200bがFOUP400を積載していることが検出されない場合(ステップS25:NO)、図9に示すように、追い出されたビークル200aに代えて、最寄りの巡回ビークル200cがステーション500aに呼び込まれ(ステップS28)、搬送指示が行われるまで待機状態とされる(ステップS29)。即ち、ビークル200cが、ビークル200aに代えて搬送予告を受けている状態とされる。よって、ビークル200bがFOUP400を積載しており、ビークル200aの搬送予告を受け継ぐことができない場合であっても、ビークル200cによって、搬送指示に対して速やかに対応することが可能となる。従って、効率的に搬送を行うことが可能となる。

0066

尚、ビークル200cが図に示すような場所に存在しない又は搬送中であるなどして、最寄りの巡回ビークルが存在しない場合には、追い出されたビークル200aが再びステーション500aに呼び込まれるようにしてもよい。即ち、ビークル200aが軌道100を1周して、ステーション500aに戻ってくるようにしてもよい。このような場合を考慮して、上述した所定期間Tを、ビークル200aが軌道100上を1周するような期間に基づいて設定すれば、より適切にビークル200aの追い出しを判断することができる。

0067

図5に戻り、進入したビークル200bが搬送予告を受けている状態とされた場合は、搬送検出部350(図1参照)によって、ビークル200bが搬送中であったか否かが検出される(ステップS30)。即ち、FOUP400を積載している状態ではないが、他のステーション500に向かっている状態とされているか否かが検出される。ビークル200bが搬送中で合った場合、ビークル200bに行われるはずであった搬送指示は、追い出したビークル200aに行われる(ステップS31)。

0068

図10に示すように、例えばビークル200bが搬送予告を受けてステーション500eに呼び込まれていたとすると、ビークル200bに代えて、追い出されたビークル200aがステーション500eに呼び込まれる。即ち、ステーション500eを搬送元とする搬送指示は、ビークル200aに行われる。このように、ビークル200a及びビークル200bが互いの役割を交換するように制御されれば、搬送効率が低下してしまうことを効果的に防止することができる。

0069

以上説明したように、本実施形態に係る搬送システムによれば、ビークル200aを待機状態のままとする場合と、ビークル200aの待機状態を解除する場合とで、どちらが効率的に搬送を行うことができるかを適切に選択しつつ、搬送を行うことができる。従って、効率的に搬送を行うことが可能である。

0070

本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う搬送システムもまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。

図面の簡単な説明

0071

実施形態に係る搬送システムの全体構成を概略的に示す上面図である。
ビークルの具体的な構成を示す斜視図である。
実施形態に係る搬送システムの全体的な動作の流れを示すフローチャートである。
渋滞時の搬送システムの一例を示す上面図である。
実施形態に係る搬送システムの追い出しに係る動作の流れを示すフローチャートである。
搬送予告を受けたビークルと他のビークルとの位置関係を示す上面図である。
追い出しの閾値となる所定期間を示す概念図である。
追い出されたビークルの動作を他の搬送車の動作と共に示す上面図(その1)である。
追い出されたビークルの動作を他の搬送車の動作と共に示す上面図(その2)である。
追い出されたビークルの動作を他の搬送車の動作と共に示す上面図(その3)である。

符号の説明

0072

100…軌道、110…目的地点、200…ビークル、220…ビークル本体、230…ベルト、240…グリップ部、300…コントローラ、310…搬送予告部、320…搬送指示部、330…進入検出部、340…積載検出部、350…搬送検出部、360…判定部、370…制御部、400…FOUP、500…ステーション

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