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技術 導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置

出願人 新光電気工業株式会社
発明者 田中和男飯田清明坂口秀明町田伸之
出願日 2008年12月15日 (10年7ヶ月経過) 出願番号 2008-318840
公開日 2009年11月12日 (9年8ヶ月経過) 公開番号 2009-267353
状態 特許登録済
技術分野 ボンディング 印刷回路に対する電気部品等の電気的接続 バンプ電極
主要キーワード 巻出し巻 付着除去 ダブルボール 当接機構 接パッド 巻出しローラ 銅コアボール 更新機構
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2009年11月12日)のものです。
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図面 (20)

課題

導電性ボール飛散することなく、余剰な導電性ボールを確実に除去できる導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置を提供する。

解決手段

パッド27を有する基板上に、パッド27に対応した複数の貫通部12Aを有するマスク12を配置し、マスク12の上から導電性ボール38を載置した後、パッド27上に直接載置されなかった導電性ボール38を除去する方法において、導電性ボール38を付着させるシート部材82をマスク12に当接する当接工程を有し、シート部材82に導電性ボール38を付着させて導電性ボール38を除去する。

概要

背景

LSI(Large Scale Integration)、LCD(Liquid Crystal Display)等の半導体デバイス実装基板フリップチップ実装する際に、導電性金属からなる微小粒子を、半導体デバイスの電極パッドと実装基板の電極パッドとの間に挟んで、加熱圧着することにより、電気的な接続が行われている。この微小粒子としては、半田などの導電性ボールが用いられている。

このような導電性ボールを用いてパッド間の接続を行うためには、加熱圧着の前に、意図して配列された全てのパッドの上に導電性ボールを一つずつ載置する必要がある。そこで、パッドの配列通りに載置するために、パッドと同一の配列を有するマスクの上から、パッド上に載置するのに十分な数の導電性ボールを落下させる方法が広く行われている。

上記のようなマスクを使用して導電性ボールを落下させる載置方法は簡便な方法であるが、マスク上に余剰の導電性ボールが載置されることとなる。図1に、マスクの上に余剰の導電性ボールが載置されている様子を示す。配線基板18の上面に形成されたパッド27に載置するために、マスク12を通して導電性ボール38を落下させた結果、マスク12の上に導電性ボールが載置された箇所と、直接パッド27に載置された導電性ボールの上にさらに一個の導電性ボールが載置された箇所が発生している。

従って、載置後、版離れ前にマスク上の余剰の導電性ボールを除去する必要が生ずる。もし除去が不十分なまま版離れすると、パッドの上に導電性ボールが二つ重なった箇所(ダブルボール)が発生し、パッド間の短絡不良の原因となるからである。図2に、版離れ後にダブルボールが発生している様子を示す。

このような余剰の導電性ボールの除去方法としては、ブラシを使用する方法とエアブローを使用する方法がある。

ブラシを使用する方法であるが、ブラシを用いて導電性ボールを移動して除去する方法である。特許文献1には、導電繊維植毛されたブラシ状のスキージを用いて導電性ボールを移動させる方法が開示されている。また特許文献2には、複数のスウィープ部材多重に配置されたスキージを用いて導電性ボールを移動させる方法の例が開示されている。さらに特許文献3には、マスクの表面に繊維状のスウィープ部材が当接し、変形しながら移動することにより、導電性ボールを移動させる方法の例が開示されている。

また、エアブローを使用する方法であるが、エアブローにより噴出されるエアの力を駆動力として導電性ボールを移動させる方法である。特許文献2には、エアーノズルを配したヘッドを用いて、導電性ボールを移動させる方法の例が開示されている。さらに特許文献3には、マスクに対して斜め上方から空気を噴出して導電性ボールを吹払う方式の除去用ヘッドを用いて導電性ボールを除去する方法の例が開示されている。
特開平9−148332号公報
特開2006−19741号公報
特開2006−173195号公報

概要

導電性ボールが飛散することなく、余剰な導電性ボールを確実に除去できる導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置を提供する。パッド27を有する基板上に、パッド27に対応した複数の貫通部12Aを有するマスク12を配置し、マスク12の上から導電性ボール38を載置した後、パッド27上に直接載置されなかった導電性ボール38を除去する方法において、導電性ボール38を付着させるシート部材82をマスク12に当接する当接工程を有し、シート部材82に導電性ボール38を付着させて導電性ボール38を除去する。

目的

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、導電性ボールを飛散させることがなく、余剰な導電性ボールを確実に除去するための導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置を提供することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
1件

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請求項1

複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクを配置し、前記マスクの上から導電性ボールを載置した後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、導電性ボールを付着させるシート部材当接機構を用いて前記マスクに当接する当接工程を有し、前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする導電性ボール除去方法。

請求項2

前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、前記当接工程は、前記当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項1記載の導電性ボール除去方法。

請求項3

前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接工程は、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項1記載の導電性ボール除去方法。

請求項4

前記当接部は、中空の部材を含むことを特徴とする請求項2又は3記載の導電性ボール除去方法。

請求項5

前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含むことを特徴とする請求項2又は3記載の導電性ボール除去方法。

請求項6

前記当接工程は、前記当接機構が風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項1記載の導電性ボール除去方法。

請求項7

前記当接工程は、前記当接機構が弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項1記載の導電性ボール除去方法。

請求項8

複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクを配置し、前記マスクの上から導電性ボールを載置した後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、導電性ボールを付着させるシート部材を該シート部材の自重により前記マスクに当接する当接工程を有し、前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする導電性ボール除去方法。

請求項9

更に、前記シート部材を前記マスク上で移動させる移動工程を有することを特徴とする請求項1乃至8何れか一項に記載の導電性ボール除去方法。

請求項10

更に、前記マスクに当接される前記シート部材の当接面を前記シート部材の移動する速度に対応して更新する更新工程を有することを特徴とする請求項1乃至9何れか一項に記載の導電性ボール除去方法。

請求項11

複数のパッドを有する基板に設けられたマスクに残る導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、当接機構を用いて、シート部材を、該シート部材と前記マスクの対向する距離が前記導電性ボールの直径よりも小さくなるように前記マスクに近接させるか、又は前記マスクに当接させる当接工程を有し、前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする導電性ボール除去方法。

請求項12

複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置する載置工程と、導電性ボールを付着させるシート部材を当接機構を用いて前記マスクに当接する当接工程とを有し、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを前記シート部材に付着して除去し、直接前記パッド上に導電性ボールを載置することを特徴とする導電性ボール載置方法。

請求項13

前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、前記当接工程は、前記当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項12記載の導電性ボール載置方法。

請求項14

前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接工程は、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項12記載の導電性ボール載置方法。

請求項15

前記当接部は、中空の部材を含むことを特徴とする請求項13又は14記載の導電性ボール載置方法。

請求項16

前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含むことを特徴とする請求項13又は14記載の導電性ボール載置方法。

請求項17

前記当接工程は、前記当接機構が風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項12記載の導電性ボール載置方法。

請求項18

前記当接工程は、前記当接機構が弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項12記載の導電性ボール載置方法。

請求項19

複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置する載置工程と、導電性ボールを付着させるシート部材を該シート部材の自重により前記マスクに当接する当接工程とを有し、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを前記シート部材に付着して除去し、直接前記パッド上に導電性ボールを載置することを特徴とする導電性ボール載置方法。

請求項20

複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールが載置された後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去装置において、導電性ボールを付着させるシート部材と、前記シート部材を前記マスクに当接する当接機構とを有することを特徴とする導電性ボール除去装置。

請求項21

前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、該当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項20記載の導電性ボール除去装置。

請求項22

前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項20記載の導電性ボール除去装置。

請求項23

前記当接部は、中空の部材を含むことを特徴とする請求項21又は22記載の導電性ボール除去装置。

請求項24

前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含むことを特徴とする請求項21又は22記載の導電性ボール除去装置。

請求項25

前記当接機構は、風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項20記載の導電性ボール除去装置。

請求項26

前記当接機構は、弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項20記載の導電性ボール除去装置。

請求項27

複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールが載置された後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去装置において、自重により前記マスクに当接され、導電性ボールを付着させるシート部材を有することを特徴とする導電性ボール除去装置。

請求項28

前記当接機構は、前記シート部材が前記マスクに当接した状態で、前記マスクに当接される前記シート部材の当接面の延在方向に直交して摺動する首振機構を有することを特徴とする請求項20記載の導電性ボール除去装置。

請求項29

前記シート部材が前記マスクに当接された状態で、前記シート部材を前記マスクの上で移動させる移動機構を有することを特徴とする請求項20乃至28何れか一項に記載の導電性ボール除去装置。

請求項30

前記マスクに当接される前記シート部材の当接面を前記シート部材が移動される速度に対応して更新する更新機構を有することを特徴とする請求項20乃至29何れか一項に記載の導電性ボール除去装置。

請求項31

前記当接機構を複数有することを特徴とする請求項20乃至30何れか一項に記載の導電性ボール除去装置。

請求項32

基板上の複数のパッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクと、前記マスクの上から導電性ボールを載置する載置機構と、導電性ボールを付着させるシート部材と、前記シート部材を前記マスクに当接する当接機構とを有し、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールが前記シート部材に付着されて除去され、直接前記パッド上に導電性ボールが載置されることを特徴とする導電性ボール載置装置

請求項33

前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、該当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項32記載の導電性ボール載置装置。

請求項34

前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項32記載の導電性ボール載置装置。

請求項35

前記当接部は、中空の部材を含むことを特徴とする請求項33又は34記載の導電性ボール載置装置。

請求項36

前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含むことを特徴とする請求項33又は34記載の導電性ボール載置装置。

請求項37

前記当接機構は、風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項32記載の導電性ボール載置装置。

請求項38

前記当接機構は、弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする請求項32記載の導電性ボール載置装置。

請求項39

基板上の複数のパッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクと、前記マスクの上から導電性ボールを載置する載置機構と、導電性ボールを付着させるシート部材とを有し、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールが、自重により前記マスクに当接される前記シート部材に付着されて除去され、直接前記パッド上に導電性ボールが載置されることを特徴とする導電性ボール載置装置。

技術分野

0001

本発明は、導電性ボール除去方法導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置係り、特に複数のパッドを有する配線基板又はシリコンウェハ等の半導体基板上に、複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置した後、パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置に関する。

背景技術

0002

LSI(Large Scale Integration)、LCD(Liquid Crystal Display)等の半導体デバイス実装基板フリップチップ実装する際に、導電性金属からなる微小粒子を、半導体デバイスの電極パッドと実装基板の電極パッドとの間に挟んで、加熱圧着することにより、電気的な接続が行われている。この微小粒子としては、半田などの導電性ボールが用いられている。

0003

このような導電性ボールを用いてパッド間の接続を行うためには、加熱圧着の前に、意図して配列された全てのパッドの上に導電性ボールを一つずつ載置する必要がある。そこで、パッドの配列通りに載置するために、パッドと同一の配列を有するマスクの上から、パッド上に載置するのに十分な数の導電性ボールを落下させる方法が広く行われている。

0004

上記のようなマスクを使用して導電性ボールを落下させる載置方法は簡便な方法であるが、マスク上に余剰の導電性ボールが載置されることとなる。図1に、マスクの上に余剰の導電性ボールが載置されている様子を示す。配線基板18の上面に形成されたパッド27に載置するために、マスク12を通して導電性ボール38を落下させた結果、マスク12の上に導電性ボールが載置された箇所と、直接パッド27に載置された導電性ボールの上にさらに一個の導電性ボールが載置された箇所が発生している。

0005

従って、載置後、版離れ前にマスク上の余剰の導電性ボールを除去する必要が生ずる。もし除去が不十分なまま版離れすると、パッドの上に導電性ボールが二つ重なった箇所(ダブルボール)が発生し、パッド間の短絡不良の原因となるからである。図2に、版離れ後にダブルボールが発生している様子を示す。

0006

このような余剰の導電性ボールの除去方法としては、ブラシを使用する方法とエアブローを使用する方法がある。

0007

ブラシを使用する方法であるが、ブラシを用いて導電性ボールを移動して除去する方法である。特許文献1には、導電繊維植毛されたブラシ状のスキージを用いて導電性ボールを移動させる方法が開示されている。また特許文献2には、複数のスウィープ部材多重に配置されたスキージを用いて導電性ボールを移動させる方法の例が開示されている。さらに特許文献3には、マスクの表面に繊維状のスウィープ部材が当接し、変形しながら移動することにより、導電性ボールを移動させる方法の例が開示されている。

0008

また、エアブローを使用する方法であるが、エアブローにより噴出されるエアの力を駆動力として導電性ボールを移動させる方法である。特許文献2には、エアーノズルを配したヘッドを用いて、導電性ボールを移動させる方法の例が開示されている。さらに特許文献3には、マスクに対して斜め上方から空気を噴出して導電性ボールを吹払う方式の除去用ヘッドを用いて導電性ボールを除去する方法の例が開示されている。
特開平9−148332号公報
特開2006−19741号公報
特開2006−173195号公報

発明が解決しようとする課題

0009

ところが、従来用いられてきた導電性ボールの除去方法には、以下のような問題があった。

0010

ブラシを使用する方法には、ブラシを連続して使用した時に導電性ボールがブラシ内に入り込み除去が十分にできない、という問題があった。ブラシを連続して使用すると、植毛の中に導電性ボールが入って抜けなくなり、その後の導電性ボールの除去が困難になり、また一度植毛の中に入った導電性ボールが、既に除去が済んだ領域に落ちることがあり、確実な除去ができなくなる。

0011

また、エアブローを使用する方法には、エアにより導電性ボールが飛散するといった問題があった。飛散すると、既に除去が済んだ領域にボールが戻ることがあり、確実な除去ができなくなる。

0012

さらに、マスクを押し付ける力が大きいと、基板のパッドに塗布されたフラックスがマスクに付着し、導電性ボールを除去した後に、別の配線基板に導電性ボールを載置することができなくなる。

0013

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、導電性ボールを飛散させることがなく、余剰な導電性ボールを確実に除去するための導電性ボール除去方法、導電性ボール載置方法、導電性ボール除去装置及び導電性ボール載置装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0014

上記の課題を解決するために本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴とするものである。

0015

本発明は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクを配置し、前記マスクの上から導電性ボールを載置した後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、
導電性ボールを付着させるシート部材当接機構を用いて前記マスクに当接する当接工程を有し、
前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする。

0016

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、
前記当接工程は、前記当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

0017

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、
前記当接工程は、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

0018

また、上記発明において、
前記当接部は、中空の部材を含んでもよい。

0019

また、上記発明において、
前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含んでもよい。

0020

また、上記発明において、
前記当接工程は、前記当接機構が風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

0021

また、上記発明において、
前記当接工程は、前記当接機構が弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

0022

また、本発明は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクを配置し、前記マスクの上から導電性ボールを載置した後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、
導電性ボールを付着させるシート部材を該シート部材の自重により前記マスクに当接する当接工程を有し、
前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする。

0023

また、上記発明において、
更に、前記シート部材を前記マスク上で移動させる移動工程を有してもよい。

0024

また、上記発明において、
更に、前記マスクに当接される前記シート部材の当接面を前記シート部材の移動する速度に対応して更新する更新工程を有してもよい。

0025

なお、ここで当接とは近接の意味も含み、シート部材をマスクに接触させなくても近づけるだけでよいものとする。

0026

また、本発明は、
複数のパッドを有する基板に設けられたマスクに残る導電性ボールを除去する導電性ボール除去方法において、
当接機構を用いて、シート部材を、該シート部材と前記マスクの対向する距離が前記導電性ボールの直径よりも小さくなるように前記マスクに近接させるか、又は前記マスクに当接させる当接工程を有し、
前記シート部材に前記導電性ボールを付着させて前記導電性ボールを除去することを特徴とする。

0027

また、本発明の導電性ボール載置方法は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置する載置工程と、
導電性ボールを付着させるシート部材を当接機構を用いて前記マスクに当接する当接工程とを有し、
前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを前記シート部材に付着して除去し、直接前記パッド上に導電性ボールを載置することを特徴とする。

0028

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、
前記当接工程は、前記当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

0029

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、
前記当接工程は、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

0030

また、上記発明において、
前記当接部は、中空の部材を含んでもよい。

0031

また、上記発明において、
前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含んでもよい。

0032

また、上記発明において、
前記当接工程は、前記当接機構が風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

0033

また、上記発明において、
前記当接工程は、前記当接機構が弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

0034

また、本発明の導電性ボール載置方法は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールを載置する載置工程と、
導電性ボールを付着させるシート部材を該シート部材の自重により前記マスクに当接する当接工程とを有し、
前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを前記シート部材に付着して除去し、直接前記パッド上に導電性ボールを載置することを特徴とする。

0035

また、本発明は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールが載置された後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去装置において、
導電性ボールを付着させるシート部材と、
前記シート部材を前記マスクに当接する当接機構とを有することを特徴とする。

0036

また、本発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、該当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

0037

また、本発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

0038

また、本発明において、
前記当接部は、中空の部材を含んでもよい。

0039

また、本発明において、
前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含んでもよい。

0040

また、上記発明において、
前記当接機構は、風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

0041

また、上記発明において、
前記当接機構は、弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

0042

また、本発明は、
複数のパッドを有する基板上に、前記パッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクの上から導電性ボールが載置された後、前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールを除去する導電性ボール除去装置において、
自重により前記マスクに当接され、導電性ボールを付着させるシート部材を有することを特徴とする。

0043

また、上記発明において、
前記当接機構は、前記シート部材が前記マスクに当接した状態で、前記マスクに当接される前記シート部材の当接面の延在方向に直交して摺動する首振機構を有してもよい。

0044

また、上記発明において、
前記シート部材が前記マスクに当接された状態で、前記シート部材を前記マスクの上で移動させる移動機構を有してもよい。

0045

また、上記発明において、
前記マスクに当接される前記シート部材の当接面を前記シート部材が移動される速度に対応して更新する更新機構を有してもよい。

0046

また、上記発明において、
前記当接機構を複数有してもよい。

0047

また、本発明は、
基板上の複数のパッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクと、
前記マスクの上から導電性ボールを載置する載置機構と、
導電性ボールを付着させるシート部材と、
前記シート部材を前記マスクに当接する当接機構とを有し、
前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールが前記シート部材に付着されて除去され、直接前記パッド上に導電性ボールが載置されることを特徴とする導電性ボール載置装置を提供するものである。

0048

また、本発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部を備え、該当接部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

0049

また、本発明において、
前記当接機構は、前記シート部材を前記マスクに当接する当接部と、該当接部を支持し、該当接部と一体で上下動可能な支持部とを備え、前記当接部及び前記支持部の自重により前記シート部材を前記マスクに当接してもよい。

0050

また、本発明において、
前記当接部は、中空の部材を含んでもよい。

0051

また、本発明において、
前記当接部は、弾性力を有する弾性部材を含んでもよい。

0052

また、上記発明において、
前記当接機構は、風圧により前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

0053

また、上記発明において、
前記当接機構は、弾性力を有する弾性部材を介して前記シート部材に付勢し、前記シート部材を前記マスクに当接することを特徴とする。

0054

また、本発明は、
基板上の複数のパッドに対応した複数の貫通孔を有するマスクと、
前記マスクの上から導電性ボールを載置する載置機構と、
導電性ボールを付着させるシート部材とを有し、
前記パッド上に直接載置されなかった導電性ボールが、自重により前記マスクに当接される前記シート部材に付着されて除去され、直接前記パッド上に導電性ボールが載置されることを特徴とする導電性ボール載置装置を提供するものである。

発明の効果

0055

本発明によれば、導電性ボールを飛散させることがなく、余剰な導電性ボールを確実に除去することができる。

発明を実施するための最良の形態

0056

次に、本発明を実施するための最良の形態について図面と共に説明する。

0057

(第1の実施の形態)
図3を用いて、本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去装置を説明する。図3は、導電性ボール除去装置80を説明する図であり、マスク12の上方に配置された当接機構84がシート部材82をマスク12に当接し、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38を除去している状態を模式的に示している。また、図3において、Z,Z方向は鉛直方向、X,X方向はZ,Z方向と直交する方向をそれぞれ示している。

0058

図3を参照するに、第1の実施の形態の導電性ボール除去装置80は、シート部材82と、当接機構84と、移動機構90と、更新機構92とから構成され、ステージ11上に保持された配線基板18及び配線基板18上に固定されたマスク12の上に設けられている。

0059

始めに、ステージ11により保持される配線基板18の構成について説明する。配線基板18は、フリップチップ等に用いられる配線基板であり、基板本体23と、パッド27と、ソルダーレジスト29と、粘着材35とを有する。基板本体23の材料としては、例えば、ガラスエポキシ樹脂を用いることができる。パッド27は、基板本体23の上面23Aに設けられている。パッド27には、粘着材35を介して、配線基板18の外部接続端子となる1つの導電性ボール38が載置される。導電性ボール38は、例えば、半田ボール銅コアボール樹脂コアボールを用いることができる。銅コアボールとは、銅からなるコアボールに半田を被覆したものである。樹脂コアボールとは、樹脂からなるコアボールに半田を被覆したものである。また、導電性ボール38の直径は、例えば、10〜100μmとすることができる。ソルダーレジスト29は、基板本体23の上面23Aに設けられており、パッド27を露出する開口部29Aを有する。粘着材35は、開口部29Aに露出されたパッド27上に設けられている。粘着材35は、導電性ボール38をパッド27上に仮固定するためのものである。粘着材35としては、例えば、フラックスやはんだペースト等を用いることができる。なお、配線基板18は、電子回路が形成されたウェハ等の半導体基板でも良い。

0060

上記構成とされた配線基板18は、粘着材35が形成された複数のパッド27が導電性ボール除去装置80と対向するように、ステージ11に保持されている。

0061

ステージ11は、配線基板18を保持するためのものである。マスク12は、ソルダーレジスト29に形成されたレジスト膜41を介して、配線基板18上に固定されている。マスク12は、複数の貫通部12Aを有する。貫通部12Aは、パッド27の形成位置に対応する部分のマスク12を貫通するように形成されている。貫通部12Aの直径R1は、1つの導電性ボール38のみが通過可能な大きさ(導電性ボール38の直径R2よりも少し大きい大きさ)とされている。具体的には、導電性ボール38の直径R2が100μmの場合、マスク12の貫通部12Aの直径R1は、例えば、120μmとすることができる。また、マスク12の材料としては、例えば、金属を用いることができる。なお、レジスト膜41を形成せず、配線基板18上にマスク12を直接配置してもよい。

0062

シート部材82は、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38を除去するためのものである。シート部材82としては、布、紙等の繊維、あるいはPET等のフィルム粘着フィルムが用いられ、マスク12に当接される面に静電気による付着力、繊維によりからめ取る作用、あるいは粘着力を有する。シート部材82がマスク12に当接されると、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38が、シート部材82の有する静電気に伴う付着力により付着される。シート部材82としては、例えば、ヤング率0.1〜100MPa、厚さ50〜500μmの布を用いることができる。

0063

当接機構84は、シート部材82をマスク12に当接させるためのものである。当接機構84は、スキージ86、シリンダ88からなる。スキージ86は、シート部材82をマスク12に当接させるための部材である。図4に、スキージ86の斜視図を示す。図4に示すように、スキージ86は、一方向に沿って長く、それと直交する方向に沿って短い板状の形状を有しており、シート部材82を帯状の当接面76を以ってマスク12に当接することができる形状を有している。スキージ86としては、例えば、ヤング率30〜300GPa、厚さ0.05〜20mm、長さ100〜300mmのメタルスキージが用いられる。シリンダ88は、スキージ86がマスク12と当接するときの圧力、あるいはある一定の間隔をもって近接する場合の高さを制御するためのものである。シリンダ88としては、例えば、エアシリンダが用いられる。

0064

図5は、スキージ86が、シート部材82を当接面76においてマスク12に当接する様子を示している。ここで、当接とは一般に接触させることを意味するが、本発明において、当接とは近接の意味も含み、シート部材82をマスク12に接触させなくても近づけるだけでよいものとする。シート部材82をマスク12に接触させなくても、シート部材82とマスク12の対向する距離D1が導電性ボール38の直径R2より小さくなれば、パッド27に直接載置されずマスク12の表面に載置された導電性ボール38をシート部材82に付着させ除去することが可能であるからである。ただし、パッド27に直接載置された導電性ボール38の上に載置された導電性ボール38(ダブルボール)の上面は、マスク12の表面に載置された導電性ボール38より若干低い高さH1にある。従って、D1はD1<H1の範囲で固定され、シリンダ88により制御される。

0065

このような当接機構84を用いることにより、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38をシート部材82に付着させるか、又はマスク12の周縁部に移動させることができる。

0066

移動機構90は、シート部材82をマスク12に当接させたままマスク12上を移動させるためのものである。図3に示すように、ステージ11に平行して移動するための台車72、レール74からなる。移動機構90には、当接機構84のシリンダ88が固定されており、当接機構84のスキージ86をマスク12に当接させたままマスク12上を移動させることができる。

0067

このような移動機構90を用いることにより、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38をシート部材82に付着させる工程をマスク12の全面にわたって行うことができる。

0068

更新機構92は、マスク12に当接されるシート部材82の当接面76をシート部材82の移動する速度に応じて更新するためのものである。図3に示すように、更新機構92は、モータ回転駆動される巻出しローラ94、巻取りローラ96からなる。シート部材82は、ロール状になって巻出しローラ94に装填されている。シート部材82が当接機構84によりマスク12に当接された状態で、移動機構90によりマスク12上を移動する場合、巻出しローラ94、巻取りローラ96が移動機構90の移動する速度V1に応じて回転し、シート部材82がスキージ86を速度V2で通過するようにシート部材82を供給巻取りする。即ち、マスク12に当接するシート部材82の当接面76は、速度V2で更新される。結果として、巻出しローラ94から巻出されたシート部材82は、当接面76でマスク12上に当接し、導電性ボール38が付着した後、巻取りローラ96に巻取られる。

0069

ここで、V2>V1の場合、シート部材82は、当接面76を更新しながらマスク12に当接する。一方、V2<V1の場合、マスク12上での移動にシート部材82の更新が追いつかず、一度導電性ボール38が付着した当接面76に再び別の導電性ボール38が当接することになり、導電性ボール38の付着除去を確実に行うことができなくなる。従って、V2はV1より大きくなるように設定される。

0070

このような更新機構92を用いることによって、シート部材82がマスク12に当接する当接面76を、当接機構84のマスク12の上での移動速度V1に応じて更新することができ、常に付着力の保持された状態でマスク12に当接することができる。従って、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38の除去を逃したり、一度シート部材82に付着された導電性ボール38をマスク12の上に再び落とすことがなく、除去を確実に行うことができる。

0071

図6図10は、本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去装置を用いた導電性ボール除去方法を説明するための工程図である。図6図10において、先に説明した図3に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。

0072

図6図10を参照して、本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去方法について説明する。

0073

始めに、図6に示すのは、マスク12の上からパッド27に導電性ボール38を載置する工程が終わった後の配線基板18の上の導電性ボール38の状態である。複数のパッド27の全てにそれぞれ1つの導電性ボール38が載置されているが、マスク12の上には余剰の導電性ボール38が存在する。また、パッド27に載置された導電性ボール38の上面の高さは、マスク12の上面の高さより若干低いため、マスク12の上面からマスク12の貫通部12Aに嵌合し、既に載置された導電性ボール38の上に二重に導電性ボール38が載置された状態(ダブルボール)となるものもある。

0074

次に、図7に示す工程では、マスク12とシート部材82とが対向するように配置され、シート部材82、当接機構84、移動機構90、更新機構92、を具備する導電性ボール除去装置80において、当接機構84を用い、シート部材82をマスク12に当接する。具体的には、当接機構84を構成するシリンダ88を用いて、当接機構84のスキージ86をマスク12に近づけ、図5で示されたある距離D1で対向するように保持する。

0075

次に、図8に示す工程では、導電性ボール除去装置80の移動機構90により、D1の距離でマスク12と当接されたシート部材82が、移動速度V1でマスク12の上を移動させられる。具体的には、移動機構90を構成する台車72、レール74により、移動機構90が移動させられる。

0076

さらに、図9に示す工程では、導電性ボール除去装置80が、移動機構90により移動速度V1で移動させられるのに加え、導電性ボール除去装置80の更新機構92により、シート部材82がマスク12に当接させられる当接面76が、更新速度V2で更新され、余剰の導電性ボール38が順次除去される。具体的には、V2をV1より大きくする。その結果、一度シート部材82に付着された導電性ボール38をマスク12の上に再び落とすことがなく、導電性ボール38の除去ができる。

0077

最後に、図10は、導電性ボール除去装置80による導電性ボール38の除去工程が全て終了した直後の状態を示す工程図である。余剰の導電性ボール38が全てシート部材82によって付着され、巻取りローラ96に巻き取られて除去され、マスク12の上には、直接パッド27上に載置された導電性ボール38だけが残っている。配線基板18の全面において導電性ボール38の除去を行った後、導電性ボール除去装置80の当接機構84のシリンダ88を用いて、シート部材82はマスク12から離間される。

0078

以上述べたように、本実施の形態の導電性ボール除去装置によれば、導電性ボール38を付着するシート部材82をマスク12に当接しながら、移動機構90および更新機構92を用いて、シート部材82のマスク12に当接する当接面76を更新しながらマスク12上を移動することにより、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38をマスク12から確実に除去することができる。あるいは、導電性ボール38が載置された配線基板18を取りはずしてから、導電性ボール38を除去してもよい。

0079

なお、本実施の形態では、シート部材82として静電気による付着力を有する布を用いる場合を例に挙げて説明したが、導電性ボール38を付着させることができるならば、静電気以外の力も用いることができる。また、シート部材82は、ロール状に巻出し巻取りが可能であるならば、紙等の、布以外の繊維あるいはフィルムを使用することができる。

0080

(第1の実施の形態の第1の変形例)
次に、図11を参照し、第1の実施の形態の第1の変形例について説明する。

0081

本変形例に係る導電性ボール除去装置は、第1の実施の形態において、シート部材82として薄い部材を用いるところ、本変形例においては、より厚い部材を用いるか、より柔らかい材料を用いるかによって、シート部材82に柔軟性を付与することが、第1の実施の形態と異なる。

0082

具体的には、シート部材82として、第1の実施の形態において、ヤング率0.1〜100MPa、厚さ50〜500μmの布を用いるところ、本変形例では、ヤング率0.1〜1.0MPa、厚さ0.1〜1mmの布を用いる。例えば、厚さ0.5mmのフェルト(ヤング率0.5MPa)が挙げられる。配線基板18の各層の厚みが生産工程のばらつきで異なり、一部凹凸が存在するような場合、シート部材82に柔軟性を付与することにより、図11に示すように、凹凸に追従することができるようになる。

0083

このように、本変形例によれば、シート部材82に柔軟性を付与することにより、配線基板18に凹凸が存在し、又は配線基板18に反りが存在した場合でも、シート部材82とマスク12が確実に当接し、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38を除去する工程において生産性を向上させることができる。

0084

図11においては、判りやすいように、配線基板18の凹凸等を誇張して示している。

0085

また、本変形例においては、シート部材82の厚さを厚くすると同時に柔らかい材料に替えた例を示したが、厚さ又は柔らかさの一方だけを変化させても、同様の効果が得られる。

0086

(第1の実施の形態の第2の変形例)
次に、図12を参照し、第1の実施の形態の第2の変形例について説明する。

0087

本変形例に係る導電性ボール除去装置は、第1の実施の形態において、スキージ86として硬い部材を用いるところ、本変形例においては、より薄い部材を用いるか、より柔らかい材料を用いるかによって、スキージ86に柔軟性を付与することが、第1の実施の形態と異なる。

0088

具体的には、スキージ86として、第1の実施の形態において、ヤング率30〜300GPa、厚さ0.05〜20mmのメタルスキージを用いるところ、本変形例では、ヤング率5〜500MPa、厚さ0.01〜20mmの樹脂スキージを用いる。例えば、厚さ5mmのシリコンラバースキージ(ヤング率30MPa)が用いられる。配線基板18の各層の厚みが生産工程のばらつきで異なり、一部凹凸が存在するような場合、スキージ86に柔軟性を付与することにより、図12に示すように、凹凸に追従することができるようになる。

0089

このように、本変形例によれば、スキージ86に柔軟性を付与することにより、配線基板18に凹凸が存在し、又は配線基板18に反りが存在した場合でも、シート部材82とマスク12が確実に当接し、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38を除去する工程において生産性を向上させることができる。

0090

なお、本変形例においては、スキージ86の厚さを薄くすると同時に柔らかい材料に替えた例を示したが、厚さ又は柔らかさの一方だけを変化させても、同様の効果が得られる。

0091

(第1の実施の形態の第3の変形例)
次に、図13を参照し、第1の実施の形態の第3の変形例について説明する。

0092

本変形例に係る導電性ボール除去装置は、第1の実施の形態において、移動機構90の進行方向に直交して長手方向を有する一体のスキージ86を用いるところ、本実施例においては、長手方向に長さを分割し、短いスキージ86を複数個設け、スキージ86の各々に首振機構78を設けたことが、第1の実施の形態と異なる。

0093

具体的には、スキージ86として、第1の実施の形態において、長さ100〜300mmのスキージを用いるところ、本実施例では、長さ5〜50mmのスキージを複数個配設した構造のものを用いる。例えば、長さ10mmのスキージを5mmの間隔で隣接して配設して用いる構造が挙げられる。配線基板18の各層の厚みが生産工程のばらつきで異なり、一部凹凸が存在するような場合、複数のスキージ86を用いることにより、図13に示すように、凹凸に追従することができる。

0094

さらに、図13に示すように、複数のスキージ86の上部に首振機構78を設けることができる。首振機構78は、シート部材82がマスク12に当接した状態で、マスク12に当接されるシート部材82の当接面76の延在方向に直交して摺動するものである。このような首振機構78を設けることにより、配線基板18に細かな凹凸が存在しても、その周辺でスキージ86が摺動して自由に動くことができ、より確実に配線基板18の凹凸に追従することができる。

0095

このように、本変形例によれば、スキージ86を複数個設け、首振機構78を設けることにより、配線基板18に凹凸が存在し、又は配線基板18に反りが存在した場合でも、シート部材82とマスク12が確実に当接し、パッド27に直接載置されなかった導電性ボール38を除去する工程において生産性を向上させることができる。更に、延在方向に平行に傾くようにしてもよい。

0096

なお、本変形例においては、スキージ86を分割して複数設けると同時に首振機構78を設けた例を示したが、スキージ86を複数設けること又は首振機構78を設けることの一方だけを実施しても、同様の効果が得られる。

0097

(第1の実施の形態の第4の変形例)
次に、図21を参照し、第1の実施の形態の第4の変形例について説明する。

0098

本変形例に係る導電性ボール除去装置80Aは、第1の実施の形態において、当接機構84がスキージ86をシート部材82に当接するところ、本変形例においては、当接機構84Aが空気を噴出し、その風圧によってシート部材82を当接することが、第1の実施の形態と異なる。

0099

具体的には、第1の実施の形態において、当接機構84として、スキージ86、シリンダ88を用い、スキージ86としてメタルスキージを用い、シリンダ88としてエアシリンダを用いるところ、本変形例では、当接機構84Aとして、エアノズル86A、シリンダ88を用いる。シリンダ88として、第1の実施の形態と同様に、例えば、エアシリンダを用いることができる。エアノズル86Aは、エアノズル86Aの先端からシート部材82に向けて空気を吹付け、シート部材82に吹付けられた空気の風圧によってシート部材82をマスク12に当接するための部材である。図22に、エアノズル86Aの斜視図を示す。図22に示すように、エアノズル86Aの底面は、一方向に沿って長く、それと直交する方向に沿って短い帯状の形状を有する。またエアノズル86Aの底面には、空気を噴出する複数のオリフィス87が穿設されている。例えば、100mm×6mmの帯状の底面を有するエアノズルであって、0.9mm×0.9mmの正方形の断面形状を有するオリフィス87が、32個等間隔で一列に並んで穿設されたものを用いることができる。

0100

図23は、エアノズル86Aから噴出された空気の風圧によって、シート部材82が当接面76においてマスク12に当接される様子を示している。第1の実施の形態において説明したように、導電性ボール38を除去するためのシート部材82のマスク12への当接とは近接の意味も含み、シート部材82をマスク12に接触させなくても近づけるだけでよい。シート部材82をマスク12に接触させなくても、シート部材82とマスク12の対向する距離D1が、マスク12の上面とダブルボールとして載置された導電性ボール38の上面との距離H1よりも小さくなるように制御されればよい。従って、D1は、シリンダ88の高さ及びエアノズル86Aから噴出される空気の圧力を調整することによって、D1<H1の範囲になるように制御される。

0101

ここで、シート部材82を強い力でマスク12に当接させた場合、マスク12が強く押されて配線基板18に当接し、配線基板18に塗布された粘着材35がマスク12に付着し、マスク12の貫通部12Aを閉塞するため、マスク12を用いて別の配線基板18に導電性ボール38を載置することができない。

0102

しかし、エアノズル86Aを用いて空気を噴出し、シート部材82を風圧でマスク12に当接させることによって、シート部材82を弱い力でマスク12に当接させることができ、マスク12の貫通部12Aを粘着材35で閉塞することがなく、マスク12を用いて別の配線基板18に導電性ボール38を載置するときに、確実に導電性ボール38を載置することができる。

0103

また、本変形例に係る導電性ボール除去装置80Aを用いた導電性ボール除去方法は、当接機構84Aとして、エアノズル86A、シリンダ88を用いること以外は、図6図10に示される本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去方法と同一である。

0104

以上、本変形例によれば、シート部材82をエアノズル86Aから噴出される空気の風圧によってマスク12に当接させることにより、マスク12を強く当接してマスク12の貫通部12Aを配線基板18に塗布された粘着材35で閉塞させることがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0105

(第1の実施の形態の第5の変形例)
次に、図24を参照し、第1の実施の形態の第5の変形例について説明する。

0106

本変形例に係る導電性ボール除去装置80Bは、第1の実施の形態において、当接機構84がスキージ86をシート部材82に当接するところ、本変形例においては、シート部材82が自重によってマスク12に当接されることが、第1の実施の形態と異なる。

0107

具体的には、第1の実施の形態において、当接機構84として、スキージ86、シリンダ88を用い、スキージ86としてメタルスキージを用い、シリンダ88としてエアシリンダを用いるところ、本変形例では、当接機構を用いず、シート部材82は、自重によって垂下し、マスク82に当接される。本変形例においても、シート部材82とマスク12の対向する距離D1は、マスク12の上面とダブルボールとして載置された導電性ボール38の上面との距離H1よりも小さくなるように制御される。D1の制御は、特に限定されるものではないが、例えば巻取りローラ96及び巻出しローラ94を上下に移動させることによって行うことができる。

0108

ここで、シート部材82を強い力でマスク12に当接させた場合、マスク12が強く押されて配線基板18に当接し、配線基板18に塗布された粘着材35がマスク12に付着し、マスク12の貫通部12Aを閉塞してしまうため、マスク12を用いて別の配線基板18に導電性ボール38を載置することができない。

0109

一方、本変形例によれば、自重によってシート部材82をマスク12へ当接することにより、シート部材82を弱い力でマスク12に当接させることができ、マスク12を強く当接してマスク12の貫通部12Aを配線基板18に塗布された粘着材35で閉塞させることがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0110

また、本変形例に係る導電性ボール除去装置80Bを用いた導電性ボール除去方法は、当接機構84を用いず、シート部材82が自重によって自身をマスク12に当接すること以外は、図6図10に示される本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去方法と同一である。

0111

(第1の実施の形態の第6の変形例)
次に、図25を参照し、第1の実施の形態の第6の変形例について説明する。

0112

本変形例に係る導電性ボール除去装置80Cは、第1の実施の形態において、当接機構84がスキージ86をシート部材82に当接するところ、本変形例においては、当接機構84Cが弾性力を有する弾性部材を介してシート部材82に付勢し、シート部材82をマスク12に当接することが、第1の実施の形態と異なる。

0113

具体的には、第1の実施の形態において、当接機構84として、スキージ86、シリンダ88を用い、スキージ86としてメタルスキージを用い、シリンダ88としてエアシリンダを用いるところ、本変形例では、スキージ86の代わりに、弾性力を有する弾性部材であるスポンジ86Cを用いる。スポンジ86Cは、マスク12への当接面が、一方向に沿って長く、それと直交する方向に沿って短い矩形状の形状を有し、アームを介してシリンダ88に接続される。スポンジ86Cは、シート部材82をマスク12に当接させるための部材である。

0114

スポンジ86Cのマスク12への当接面76は、例えば100mm×20mmの矩形状の面である。また、スポンジ86Cの材質は、例えばポリウレタンメラミン樹脂ゴム等を用いることができる。

0115

図26は、スポンジ86Cによって、シート部材82が当接面76においてマスク12に当接される様子を示している。本変形例においても、シート部材82とマスク12の対向する距離D1は、マスク12の上面とダブルボールとして載置された導電性ボール38の上面との距離H1よりも小さくなるように制御される。

0116

ここで、シート部材82を強い力でマスク12に当接させた場合、マスク12が強く押されて配線基板18に当接し、配線基板18に塗布された粘着材35がマスク12に付着し、マスク12の貫通部12Aを閉塞してしまうため、マスク12を用いて別の配線基板18に導電性ボール38を載置することができない。

0117

一方、本変形例によれば、スポンジ86Cによってシート部材82をマスク12へ当接することにより、シート部材82を弱い力でマスク12に当接させることができ、マスク12を強く当接してマスク12の貫通部12Aを配線基板18に塗布された粘着材35で閉塞させることがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0118

また、本変形例に係る導電性ボール除去装置80Cを用いた導電性ボール除去方法は、スキージ86の代わりに、弾性力を有する弾性部材であるスポンジ86Cを用いること以外は、図6図10に示される本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去方法と同一である。

0119

なお、本変形例において、弾性力を有する弾性部材としてスポンジ86Cを用い、スポンジ86Cをシート部材82に当接し、シート部材82をマスク12へ当接するが、弾性力を有する弾性部材であればよく、特にスポンジ86Cに限定されるものではない。

0120

(第1の実施の形態の第7の変形例)
次に、図30を参照し、第1の実施の形態の第7の変形例について説明する。

0121

本変形例に係る導電性ボール除去装置80Dは、第1の実施の形態において、当接機構がシリンダ88によってスキージ86の位置を制御するところ、本変形例においては、当接機構84Dが、シート部材をマスクに当接する当接部を備え、当接部の自重によりシート部材をマスクに当接することが、第1の実施の形態と異なる。

0122

当接部の自重が大きい場合は、シリンダ、バネ等により自重を軽減する機構を設けてもよい。

0123

図30を参照するに、本変形例の導電性ボール除去装置80Dは、シート部材82と、当接機構84Dと、移動機構90と、更新機構92とから構成され、ステージ11上に保持された配線基板18及び配線基板18上に固定されたマスク12の上に設けられている。

0124

シート部材82、移動機構90、更新機構92、ステージ11、配線基板18は、第1の実施の形態と同様である。また、マスク12が、ソルダーレジスト29に形成されたレジスト膜41を介して、配線基板18上に固定され、複数の貫通部12Aを有することは、第1の実施の形態と同様である。さらに、貫通部12Aが、パッド27の形成位置に対応する部分のマスク12を貫通するように形成されており、貫通部12Aの直径R1が、1つの導電性ボール38のみが通過可能な大きさ(導電性ボール38の直径R2よりも少し大きい大きさ)とされていることも、第1の実施の形態と同様である。

0125

また、当接機構84Dは、スキージ86D、スキージ支持部88D、保持部89A、腕部89Bを有する。

0126

スキージ86Dは、第1の実施の形態と同様に、シート部材82をマスク12に当接させるための部材である。スキージ86Dは、本発明における当接部に相当し、スキージ支持部88Dは、本発明における支持部に相当する。

0127

スキージ86Dの外形は、第1の実施の形態において図4を用いて説明したスキージ86の外形と同様であり、一方向に沿って長く、それと直交する方向に沿って短い板状の形状を有している。自重でシート部材82をマスク12に当接する力を小さくするために、第1の実施の形態の第2の変形例において説明したヤング率5〜500MPa、厚さ0.01〜20mmの樹脂スキージが用いられる。本変形例では、一例として、厚さ5mmのシリコンラバースキージ(ヤング率30MPa)が用いられる。また、図30の一部断面に示すように、スキージ86Dは、自重でシート部材82をマスク12に当接する力を小さくするために、中空の部材よりなる。

0128

スキージ支持部88Dは、スキージ86Dを支持し、スキージ86Dと一体で上下動が可能な部分である。保持部89Aは、移動機構90に固定されており、スキージ86D及びスキージ支持部88Dを一体で上下動可能に保持する。保持部89Aとして、スキージ支持部88Dが上下動可能なベアリング又はローラ等が移動機構90の下方に腕部89Bを介して固定されてなる部材を用いることができる。図30には、保持部89Aとしてベアリングを用いた例を示す。

0129

すなわち、スキージ支持部88Dは、保持部89A及び移動機構90の何れにも拘束されず上下動可能である。従って、一体として構成されるスキージ86D及びスキージ支持部88Dは、スキージ86D及びスキージ支持部88Dの自重で下方に一体で移動し、シート部材82の上方からシート部材82をスキージ86D及びスキージ支持部88Dの自重に等しい下向きの力で付勢する。それによって、スキージ86Dは、シート部材82をマスク12に当接する。また、シート部材82をマスク12に当接する力を弱くするために、図30の一部断面に示すように、スキージ支持部88Dも、中空の部材よりなる。

0130

ここで、シート部材82をマスク12に当接する力が弱いことによる効果を、図31を用いて説明する。図31は、マスクに当接する力が強い場合に、粘着材がマスクに付着している状態を模式的に示す図である。マスク12に当接する力が強い場合、マスク12が配線基板18に押し付けられ、パッド27のフラックス等よりなる粘着材35がマスク12に付着する。すると、図31に示すように、マスク12の貫通部12Aに粘着材35が付着して貫通部12Aを閉塞してしまい、その後連続して導電性ボール38を除去する作業を行うことができなくなってしまう。

0131

一方、本変形例のように、シリンダを用いず、中空のスキージ86D及び中空のスキージ支持部88Dを用いることにより、シート部材82をマスク12に当接する力を弱くすることができる。その結果、マスク12が配線基板18に押し付けられる力も弱くなる。従って、マスク12を強く当接してマスク12の貫通部12Aを配線基板18に塗布されたフラックス等の粘着材35で閉塞させることがない。そのため、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0132

なお、本変形例では、当接部として中空のスキージを用いるが、スキージの自重が軽くなるのであれば、例えば軽量の樹脂等を用いてもよく、特に中空のスキージに限定されるものではない。また、スキージ支持部についても、スキージ支持部の自重が軽くなるのであれば、例えば軽量の樹脂等を用いてもよく、特に中空のスキージ支持部に限定されるものではない。

0133

(第1の実施の形態の第8の変形例)
次に、図32を参照し、第1の実施の形態の第8の変形例について説明する。

0134

本変形例に係る導電性ボール除去装置80Eは、第1の実施の形態の第7の変形例において、当接部として中空のスキージ86Dを用いるところ、本変形例においては、当接部としてスポンジ86Eを用いることが、第1の実施の形態と異なる。

0135

図32を参照するに、本変形例の導電性ボール除去装置80Eは、シート部材82と、当接機構84Eと、移動機構90と、更新機構92とから構成され、ステージ11上に保持された配線基板18及び配線基板18上に固定されたマスク12の上に設けられている。

0136

シート部材82、移動機構90、更新機構92、ステージ11、配線基板18、マスク12は、第1の実施の形態の第7の変形例と同様である。

0137

また、当接機構84Eは、スポンジ86E、スポンジ支持部88E、保持部89A、腕部89Bを有する。スポンジ86Eは、本発明における当接部に相当し、スポンジ支持部88Eは、本発明における支持部に相当する。

0138

スポンジ支持部88Eが、スポンジ86Eを支持し、スポンジ86Eと一体で上下動可能な部分であること、またスポンジ支持部88Eが、移動機構90の下方に腕部89Bを介して固定されるベアリング又はローラ等よりなる保持部89Aにより保持されることは、第1の実施の形態の第7の変形例と同様である。

0139

一方、本変形例では、第1の実施の形態の第7の変形例におけるスキージの代わりに、スポンジ86Eを用いる。スキージの代わりに、スポンジ86Eを用いるのは、第1の実施の形態の第6の変形例と同様である。従って、例えばスポンジ86Eのマスク12への当接面76は、例えば100mm×20mmの矩形状の面である。また、スポンジ86Eの材質は、例えばポリウレタン、メラミン樹脂、ゴム等を用いることができる。

0140

本変形例によれば、スキージよりもやわらかいスポンジ86Eによってシート部材82をマスク12に当接することにより、シート部材82を弱い力でマスク12に当接することができる。その結果、第1の実施の形態の第7の変形例と同様に、マスク12を強く当接してマスク12の貫通部12Aを配線基板18に塗布されたフラックス等の粘着材35で閉塞させることがない。従って、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0141

なお、本変形例では、当接部としてスポンジを用いるが、スポンジの自重が軽くなるのであれば、例えば中空のスポンジを用いてもよい。

0142

(第1の実施の形態の第9の変形例)
次に、図33を参照し、第1の実施の形態の第9の変形例について説明する。

0143

本変形例に係る導電性ボール除去装置80Fは、第1の実施の形態の第8の変形例において、スポンジ86Eがスポンジ支持部88Eと一体で上下動可能に設けられるところ、本変形例においては、スポンジ支持部を有さず、スポンジ86Fは他の何れの部材からも支持されずにシート部材12に自重で載ることが、第1の実施の形態の第8の変形例と異なる。

0144

図33を参照するに、本変形例の導電性ボール除去装置80Fは、シート部材82と、当接機構84Fと、移動機構90と、更新機構92とから構成され、ステージ11上に保持された配線基板18及び配線基板18上に固定されたマスク12の上に設けられている。

0145

シート部材82、移動機構90、更新機構92、ステージ11、配線基板18、マスク12は、第1の実施の形態の第8の変形例と同様である。

0146

一方、当接機構84Fは、スポンジ支持部を備えず、スポンジ86Fのみを備える。スポンジ86Fは、図33紙面に垂直な方向に沿って長く、図33の紙面に平行な断面が略円形円筒形状の部材である。

0147

また、スポンジの材質として、例えばポリウレタン、メラミン樹脂、ゴム等を用いることができるのは、第1の実施の形態の第8の変形例と同様である。このような柔らかい材質を用いることにより、基板の凹凸を吸収しながら広い面積でシート部材82に接触し、シート部材82に弱い力でマスク12に当接することができる。

0148

以上のように、円筒形状のスポンジ86Fを用いることにより、シート部材82を下方に付勢する力はスポンジ86Fの自重のみとなり、シート部材82をマスク12に当接する力を弱くすることができる。その結果、マスク12が配線基板18に押し付けられる力も弱くなる。従って、第1の実施の形態の第8の変形例と同様に、マスク12を強く当接してマスク12の貫通部12Aを配線基板18に塗布されたフラックス等の粘着材35で閉塞させることがない。そのため、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0149

なお、本変形例では、スポンジ86Fは、独立してあるが、スポンジ86Fが略自重に等しい下向きの力でシート部材82に付勢できればよく、移動機構90、巻出しローラ94、巻取りローラ96の何れかから細い紐状の部材によって支持されてもよい。

0150

(第2の実施の形態)
図14を用いて、本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置装置を説明する。本実施の形態に係る導電性ボール載置装置110は、導電性ボール載置機構130と、第1の実施の形態で説明した導電性ボール除去装置80とを組合せた構成となっており、第1の実施の形態とは、導電性ボール載置機構130を有するところが異なる。従って、第1の実施の形態との違いである導電性ボール載置機構130を中心に説明する。

0151

図14は、導電性ボール載置装置110を説明する図であり、マスク12の上方に配置された導電性ボール載置機構130からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させ、パッド27に直接載置されない余剰の導電性ボール38を導電性ボール除去装置80で除去する様子を模式的に示している。また、図14において、Z,Z方向は鉛直方向、X,X方向はZ,Z方向と直交する方向をそれぞれ示している。なお、以下の説明に用いる図14乃至20に示した構成のうち、第1の実施の形態で説明した導電性ボール除去装置80の図3に示した構成と対応する構成については、先に説明した構成と同一符号を付して、その説明を省略する。

0152

図14を参照するに、導電性ボール載置装置110は、導電性ボール載置機構130と、導電性ボール除去装置80とから構成され、ステージ11上に保持された配線基板18及び配線基板18上に固定されたマスク12の上に設けられている。

0153

導電性ボール載置機構130は、導電性ボール収容装置13と、板体14と、からなる。導電性ボール収容装置13は、複数の導電性ボール38を収容しており、マスク12の上方に配置されている。

0154

板体14は、導電性ボール収容体13の下端部を覆うように、導電性ボール収容体13に設けられている。板体14は、板体14とマスク12との間にマスク12上に落下した導電性ボール38が挟まらないように、マスク12の上方に離間した位置に配置されている。導電性ボール38の直径R2が100μmの場合、板体14とマスク12との間の距離D2は、例えば、1mm〜10mmとすることができる。板体14は、1つの導電性ボール38が通過可能な大きさとされた複数の貫通部43を有する。導電性ボール38の直径R2が100μmの場合、貫通部43の直径R3は、例えば、105μm〜110μmとすることができる。

0155

板体14は、一度に多くの導電性ボール38がマスク12上に落下しないように、マスク12上に落下させる導電性ボール38の数を調整するためのものである。板体14の厚さM1は、例えば、80μmとすることができる。また、板体の材料としては、例えば、金属を用いることができる。

0156

このように、マスク12上に落下した導電性ボール38が板体14とマスク12との間に挟まらないように、マスク12から離間した位置に導電性ボール収容体13及び板体14を配置することにより、例えば、配線基板18に反りが存在した場合でも、導電性ボール収容体13及び板材14とマスク12とが接触したり、導電性ボール収容体13及び板体14とマスク12との間に導電性ボール38が挟まれたりすることがなくなるため、複数のパッド27に導電性ボール38を載置する工程における生産性を向上させることができる。

0157

こうして、マスク12上に落下した複数の導電性ボール38のうち、マスク12の貫通部12Aに入った導電性ボール38のみが粘着材35が形成されたパッド27上に載置される。

0158

一方、直接パッド27に載置されず、マスク12の上又はダブルボールとなってパッド27に載置されている導電性ボール38は、導電性ボール除去装置80によって、配線基板18上から除去される。導電性ボール除去装置80は、第1の実施の形態で説明した導電性ボール除去装置80をそのまま用いるものである。従って、図3に示す構造体と同一構成部分には、先に説明した構成と同一符号を付して、その説明を省略する。

0159

このような導電性ボール除去装置80を設けることにより、マスク12に落下した複数の導電性ボール38のうち、粘着材35が形成されたパッド27上に載置されなかった導電性ボール38を除去することができる。

0160

図15図20は、本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法を説明するための工程図である。図15図20において、先に説明した図3に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。また、図19図20において、Cは配線基板18を切断する位置(以下、「切断位置C」とする)を示している。

0161

図15図20を参照して、本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置方法について説明する。

0162

始めに、図15に示す工程では、周知の手法により、複数のパッド27に粘着材35が設けられた配線基板18を形成する。

0163

次いで、図16に示す工程では、ソルダーレジスト29上にレジスト膜41を形成し、その後、このレジスト膜41を介して、配線基板18上に複数の貫通部12Aを有したマスク12を固定する。このとき、マスク12は、貫通部12Aがパッド27上に形成された粘着材35を露出するように配置する。

0164

次いで、図17に示す工程では、マスク12と板体14とが対向するように、図17に示す構造体をステージ11上に固定する。導電性ボール載置装置110の説明で述べた通り、マスク12上に落下される複数の導電性ボール38がマスク12と板体14との間に挟まれないように、板体14とマスク12との間の距離D2は、例えば、1mm〜10mmとすることができる。

0165

次いで、図18に示す工程では、板体14とマスク12とが対向する状態で、複数の導電性ボール38を収容した導電性ボール収容体13を移動させた後、導電性ボール収容体13を振動させて、板体14の複数の貫通部43から複数の導電性ボール38をマスク12上に落下させて、粘着材35が形成された複数のパッド27上にそれぞれ1つの導電性ボール38を載置する。

0166

次いで、マスク12上に残った余分な導電性ボール38を導電性ボール除去装置80により除去する。この導電性ボール除去装置80による導電性ボール除去方法は、第1の実施の形態で説明した図6図10の工程を行うため、ここではその詳細な説明を省略する。シート部材82を当接機構84によりマスク12に当接させ、移動機構90によりシート部材82の当接面76をマスク12上で移動させ、同時に更新機構92によりシート部材82の当接面76を更新することにより、余剰な導電性ボール38を確実に除去することができる。

0167

また、導電性ボール除去装置80による導電性ボール除去は、導電性ボール載置機構130による導電性ボール載置と並行して行ってもよい。導電性ボール除去と導電性ボール載置とを並行して行うことにより、導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるため、生産性を向上させることができる。

0168

以上の方法により、全てのパッド27上に各々一個の導電性ボール38を載置することができる。

0169

次いで、図19に示す工程では、マスク12が固定された配線基板18をステージ11から取り外し複数の導電性ボール38が載置された配線基板18からレジスト膜41及びマスク12を除去する。その後、導電性ボール38を溶融させて、パッド27に導電性ボール38を接合させた後、粘着材35を洗浄により除去する。

0170

次いで、図20に示す工程では、ダイサーにより、複数の導電性ボール38が接合された配線基板18を切断位置Cに沿って切断する。これにより、導電性ボール38を備えた複数の配線基板18が製造される。

0171

本実施の形態の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール載置機構130から導電性ボール38をマスク12上に落下させ、シート部材82を更新させながら移動させる導電性ボール除去装置80を用いることにより、配線基板全面にわたって、余剰の導電性ボール38を除去することができる。また、配線基板18に反りが存在した場合でも、導電性ボール載置機構130又は導電性ボール除去装置80とマスク12とが接触したり、導電性ボール載置機構130又は導電性ボール除去装置80とマスク12との間に導電性ボール38が挟まれたりすることがなくなるため、複数のパッド27に導電性ボール38を載置する工程における生産性を向上させることができる。

0172

(第2の実施の形態の第1の変形例)
次に、図27を参照し、第2の実施の形態の第1の変形例について説明する。

0173

本変形例に係る導電性ボール載置装置110Aは、第2の実施の形態において、第1の実施の形態に係る導電性ボール除去装置80を用いるところ、本変形例においては、第1の実施の形態の第4の変形例に係る導電性ボール除去装置80Aを用いることが、第2の実施の形態と異なる。

0174

図27は、導電性ボール載置装置110Aを説明する図であり、マスク12の上方に配置された導電性ボール載置機構130からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させ、パッド27に直接載置されない余剰の導電性ボール38を導電性ボール除去装置80Aで除去する様子を模式的に示している。また、図27において、Z,Z方向は鉛直方向、X,X方向はZ,Z方向と直交する方向をそれぞれ示している。

0175

図27を参照するに、導電性ボール載置装置110Aは、導電性ボール載置機構130と、導電性ボール除去装置80Aとから構成され、ステージ11上に保持された配線基板18及び配線基板18上に固定されたマスク12の上に設けられている。

0176

本変形例において、導電性ボール載置機構130の構造及び導電性ボール38の載置の機能は、第2の実施の形態と同一である。

0177

一方、マスク12の上又はダブルボールとなってパッド27に載置されている導電性ボール38は、導電性ボール除去装置80Aによって、配線基板18上から除去される。導電性ボール除去装置80Aは、第1の実施の形態の第4の変形例で説明した導電性ボール除去装置80Aをそのまま用いる。

0178

このような導電性ボール除去装置80Aを設けることにより、パッド27上に載置されなかった導電性ボール38を確実に除去することができる。また、エアノズル86Aによってシート部材82が弱い力でマスク12へ当接されるため、マスク12を強く当接することによってマスク12に粘着材35が付着し、貫通部12Aが閉塞することがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0179

また、本変形例に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法は、図15図20に示される本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置装置110を用いた導電性ボール載置方法と同一である。

0180

ただし、図18に示す工程で複数のパッド27上にそれぞれ1つの導電性ボール38を載置した後、マスク12上に残った余分な導電性ボール38を除去する工程を、導電性ボール除去装置80Aを用いて行う。即ち、第1の実施の形態に示される図6図10の工程を行うところ、図6図10における導電性ボール除去装置80の代わりに導電性ボール除去装置80Aを用いる。導電性ボール除去装置80Aの導電性ボール38を除去する機能は、導電性ボール除去装置80と同様であり、余剰な導電性ボール38を確実に除去することができる。

0181

また、導電性ボール除去装置80Aによる導電性ボール除去を、導電性ボール載置機構130による導電性ボール載置と並行して行うことができ、それによって導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるのは、第2の実施の形態と同様である。

0182

以上の方法により、全てのパッド27上に各々一個の導電性ボール38を載置することができる。

0183

その後、図19及び図20に示す工程は、第2の実施の形態と同一である。

0184

本変形例の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール除去装置80Aを用いることにより、配線基板18全面にわたって、余剰の導電性ボール38を除去することができる。エアノズル86Aによってシート部材82が弱い力でマスク12へ当接されるため、マスク12を強く当接することによってマスク12に粘着材35が付着し、貫通部12Aが閉塞することがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。従って、複数のパッド27に導電性ボール38を載置する工程における生産性を向上させることができる。

0185

(第2の実施の形態の第2の変形例)
次に、図28を参照し、第2の実施の形態の第2の変形例について説明する。

0186

本変形例に係る導電性ボール載置装置110Bは、第2の実施の形態において、第1の実施の形態に係る導電性ボール除去装置80を用いるところ、本変形例においては、第1の実施の形態の第5の変形例に係る導電性ボール除去装置80Bを用いることが、第2の実施の形態と異なる。

0187

図28は、導電性ボール載置装置110Bを説明する図であり、マスク12の上方に配置された導電性ボール載置機構130からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させ、パッド27に直接載置されない余剰の導電性ボール38を導電性ボール除去装置80Bで除去する様子を模式的に示している。また、図28において、Z,Z方向は鉛直方向、X,X方向はZ,Z方向と直交する方向をそれぞれ示している。

0188

図28を参照するに、導電性ボール載置装置110Bは、導電性ボール載置機構130と、導電性ボール除去装置80Bとから構成され、ステージ11上に保持された配線基板18及び配線基板18上に固定されたマスク12の上に設けられている。

0189

本変形例において、導電性ボール載置機構130の構造及び導電性ボール38の載置の機能は、第2の実施の形態と同一である。

0190

一方、マスク12の上又はダブルボールとなってパッド27に載置されている導電性ボール38は、導電性ボール除去装置80Bによって、配線基板18上から除去される。導電性ボール除去装置80Bは、第1の実施の形態の第5の変形例で説明した導電性ボール除去装置80Bをそのまま用いる。

0191

このような導電性ボール除去装置80Bを設けることにより、パッド27上に載置されなかった導電性ボール38を確実に除去することができる。また、自重によってシート部材82が弱い力でマスク12へ当接されるため、マスク12を強く当接することによってマスク12に粘着材35が付着し、貫通部12Aが閉塞することがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0192

また、本変形例に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法は、図15図20に示される本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置装置110を用いた導電性ボール載置方法と同一である。

0193

ただし、図18に示す工程で複数のパッド27上にそれぞれ1つの導電性ボール38を載置した後、マスク12上に残った余分な導電性ボール38を除去する工程を、導電性ボール除去装置80Bを用いて行う。即ち、第1の実施の形態に示される図6図10の工程を行うところ、図6図10における導電性ボール除去装置80の代わりに導電性ボール除去装置80Bを用いる。導電性ボール除去装置80Bの導電性ボール38を除去する機能は、導電性ボール除去装置80と同様であり、余剰な導電性ボール38を確実に除去することができる。

0194

また、導電性ボール除去装置80Bによる導電性ボール除去を、導電性ボール載置機構130による導電性ボール載置と並行して行うことができ、それによって導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるのは、第2の実施の形態と同様である。

0195

以上の方法により、全てのパッド27上に各々一個の導電性ボール38を載置することができる。

0196

その後、図19及び図20に示す工程は、第2の実施の形態と同一である。

0197

本変形例の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール除去装置80Bを用いることにより、配線基板18全面にわたって、余剰の導電性ボール38を除去することができる。自重によってシート部材82が弱い力でマスク12へ当接されるため、マスク12を強く当接することによってマスク12に粘着材35が付着し、貫通部12Aが閉塞することがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。従って、複数のパッド27に導電性ボール38を載置する工程における生産性を向上させることができる。

0198

(第2の実施の形態の第3の変形例)
次に、図29を参照し、第2の実施の形態の第3の変形例について説明する。

0199

本変形例に係る導電性ボール載置装置110Cは、第2の実施の形態において、第1の実施の形態に係る導電性ボール除去装置80を用いるところ、本変形例においては、第1の実施の形態の第6の変形例に係る導電性ボール除去装置80Cを用いることが、第2の実施の形態と異なる。

0200

図29は、導電性ボール載置装置110Cを説明する図であり、マスク12の上方に配置された導電性ボール載置機構130からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させ、パッド27に直接載置されない余剰の導電性ボール38を導電性ボール除去装置80Cで除去する様子を模式的に示している。また、図29において、Z,Z方向は鉛直方向、X,X方向はZ,Z方向と直交する方向をそれぞれ示している。

0201

図29を参照するに、導電性ボール載置装置110Cは、導電性ボール載置機構130と、導電性ボール除去装置80Cとから構成され、ステージ11上に保持された配線基板18及び配線基板18上に固定されたマスク12の上に設けられている。

0202

本変形例において、導電性ボール載置機構130の構造及び導電性ボール38の載置の機能は、第2の実施の形態と同一である。

0203

一方、マスク12の上又はダブルボールとなってパッド27に載置されている導電性ボール38は、導電性ボール除去装置80Cによって、配線基板18上から除去される。導電性ボール除去装置80Cは、第1の実施の形態の第6の変形例で説明した導電性ボール除去装置80Cをそのまま用いる。

0204

このような導電性ボール除去装置80Cを設けることにより、パッド27上に載置されなかった導電性ボール38を確実に除去することができる。また、スポンジ86Cによってシート部材82が弱い力でマスク12へ当接されるため、マスク12を強く当接することによってマスク12に粘着材35が付着し、貫通部12Aが閉塞することがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0205

また、本変形例に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法は、図15図20に示される本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置装置110を用いた導電性ボール載置方法と同一である。

0206

ただし、図18に示す工程で複数のパッド27上にそれぞれ1つの導電性ボール38を載置した後、マスク12上に残った余分な導電性ボール38を除去する工程を、導電性ボール除去装置80Cを用いて行う。即ち、第1の実施の形態に示される図6図10の工程を行うところ、図6図10における導電性ボール除去装置80の代わりに導電性ボール除去装置80Cを用いる。導電性ボール除去装置80Cの導電性ボール38を除去する機能は、導電性ボール除去装置80と同様であり、余剰な導電性ボール38を確実に除去することができる。

0207

また、導電性ボール除去装置80Cによる導電性ボール除去を、導電性ボール載置機構130による導電性ボール載置と並行して行うことができ、それによって導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるのは、第2の実施の形態と同様である。

0208

以上の方法により、全てのパッド27上に各々一個の導電性ボール38を載置することができる。

0209

その後、図19及び図20に示す工程は、第2の実施の形態と同一である。

0210

本変形例の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール除去装置80Cを用いることにより、配線基板18全面にわたって、余剰の導電性ボール38を除去することができる。スポンジ86Cによってシート部材82が弱い力でマスク12へ当接されるため、マスク12を強く当接することによってマスク12に粘着材35が付着し、貫通部12Aが閉塞することがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。従って、複数のパッド27に導電性ボール38を載置する工程における生産性を向上させることができる。

0211

(第2の実施の形態の第4の変形例)
次に、図34を参照し、第2の実施の形態の第4の変形例について説明する。

0212

本変形例に係る導電性ボール載置装置110Dは、第2の実施の形態において、第1の実施の形態に係る導電性ボール除去装置80を用いるところ、本変形例においては、第1の実施の形態の第7の変形例に係る導電性ボール除去装置80Dを用いることが、第2の実施の形態と異なる。

0213

図34は、導電性ボール載置装置110Dを説明する図であり、マスク12の上方に配置された導電性ボール載置機構130からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させ、パッド27に直接載置されない余剰の導電性ボール38を導電性ボール除去装置80Dで除去する様子を模式的に示している。また、図34において、Z,Z方向は鉛直方向、X,X方向はZ,Z方向と直交する方向をそれぞれ示している。

0214

図34を参照するに、導電性ボール載置装置110Dは、導電性ボール載置機構130と、導電性ボール除去装置80Dとから構成され、ステージ11上に保持された配線基板18及び配線基板18上に固定されたマスク12の上に設けられている。

0215

本変形例において、導電性ボール載置機構130の構造及び導電性ボール38の載置の機能は、第2の実施の形態と同様である。

0216

一方、マスク12の上又はダブルボールとなってパッド27に載置されている導電性ボール38は、導電性ボール除去装置80Dによって、配線基板18上から除去される。導電性ボール除去装置80Dは、第1の実施の形態の第7の変形例で説明した導電性ボール除去装置80Dをそのまま用いる。

0217

このような導電性ボール除去装置80Dを設けることにより、パッド27上に載置されなかった導電性ボール38を確実に除去することができる。また、中空のスキージ86Dによってシート部材82が弱い力でマスク12へ当接されるため、マスク12を強く当接することによってマスク12に粘着材35が付着し、貫通部12Aが閉塞することがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。

0218

また、本変形例に係る導電性ボール載置装置を用いた導電性ボール載置方法は、図15図20に示される本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置装置110を用いた導電性ボール載置方法と同一である。

0219

ただし、図18に示す工程で複数のパッド27上にそれぞれ1つの導電性ボール38を載置した後、マスク12上に残った余分な導電性ボール38を除去する工程を、導電性ボール除去装置80Dを用いて行う。即ち、第1の実施の形態に示される図6図10の工程を行うところ、図6図10における導電性ボール除去装置80の代わりに導電性ボール除去装置80Dを用いる。導電性ボール除去装置80Dの導電性ボール38を除去する機能は、導電性ボール除去装置80と同様であり、余剰な導電性ボール38を確実に除去することができる。

0220

また、導電性ボール除去装置80Dによる導電性ボール除去を、導電性ボール載置機構130による導電性ボール載置と並行して行うことができ、それによって導電性ボール除去及び導電性ボール載置に要する時間を短縮することが可能となるのは、第2の実施の形態と同様である。

0221

以上の方法により、全てのパッド27上に各々一個の導電性ボール38を載置することができる。

0222

その後、図19及び図20に示す工程は、第2の実施の形態と同様である。

0223

本変形例の導電性ボールの載置方法によれば、導電性ボール除去装置80Dを用いることにより、配線基板18から余剰の導電性ボール38を除去することができる。中空のスキージ86Dによってシート部材82が弱い力でマスク12へ当接されるため、マスク12を強く当接することによってマスク12に粘着材35が付着し、貫通部12Aが閉塞することがなく、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。従って、複数のパッド27に導電性ボール38を載置する工程における生産性を向上させることができる。

0224

なお、本変形例において、第1の実施の形態の第7の変形例に係る導電性ボール除去装置80Dに代え、第1の実施の形態の第8の変形例に係る導電性ボール除去装置80E又は第1の実施の形態の第9の変形例に係る導電性ボール除去装置80Fを用いることもできる。導電性ボール除去装置80E、80Fを用いる場合の導電性ボール載置装置をそれぞれ110E、110Fとし、導電性ボール載置装置110E、110Fを、図35図36を用いて説明する。

0225

図35は、導電性ボール載置装置110Eを説明する図であり、マスク12の上方に配置された導電性ボール載置機構130からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させ、パッド27に直接載置されない余剰の導電性ボール38を導電性ボール除去装置80Eで除去する様子を模式的に示している。図36は、導電性ボール載置装置110Fを説明する図であり、マスク12の上方に配置された導電性ボール載置機構130からマスク12上に複数の導電性ボール38を落下させ、パッド27に直接載置されない余剰の導電性ボール38を導電性ボール除去装置80Fで除去する様子を模式的に示している。また、図35図36において、Z,Z方向は鉛直方向、X,X方向はZ,Z方向と直交する方向をそれぞれ示している。

0226

導電性ボール除去装置80E、80Fを用いる場合においては、導電性ボール除去装置80Dを用いる場合の中空のスキージ86Dに代え、スポンジ86E、86Fを用いてシート部材82をマスク12に当接する。スポンジ86E、86Fによってシート部材82が弱い力でマスク12へ当接されるため、マスク12を強く当接することによってマスク12に粘着材35が付着し、貫通部12Aが閉塞することがない。そのため、導電性ボール38を除去した後に、別の配線基板18に確実に導電性ボール38を載置することができる。従って、導電性ボール除去装置80E、80Fを用いる場合においても、複数のパッド27に導電性ボール38を載置する工程における生産性を向上させることができる。

0227

以上、本発明の好ましい実施の形態について記述したが、本発明はかかる特定の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。

0228

また、パッドが下向きになるように基板を設置し、その下にボール除去装置80を配置してもよい。

図面の簡単な説明

0229

従来の導電性ボール載置方法における導電性ボール載置後の状態を表す断面図である。
従来の導電性ボール載置方法における導電性ボール載置後の状態を表す断面図である。
本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、当接機構を構成するスキージの斜視図である。
本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。
本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図(その1)である。
本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図(その2)である。
本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図(その3)である。
本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図(その4)である。
本発明の第1の実施の形態に係る導電性ボール除去方法を説明するための工程図(その5)である。
本発明の第1の実施の形態の第1の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。
本発明の第1の実施の形態の第2の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。
本発明の第1の実施の形態の第3の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、当接機構を構成するスキージがマスクに当接している様子を示す斜視図である。
本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図(その1)である。
本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図(その2)である。
本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図(その3)である。
本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図(その4)である。
本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図(その5)である。
本発明の第2の実施の形態に係る導電性ボール載置方法を説明するための工程図(その6)である。
本発明の第1の実施の形態の第4の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第1の実施の形態の第4の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、当接機構を構成するエアノズルの斜視図である。
本発明の第1の実施の形態の第4の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。
本発明の第1の実施の形態の第5の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第1の実施の形態の第6の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第1の実施の形態の第6の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、シート部材がマスクに当接される当接面付近の拡大図である。
本発明の第2の実施の形態の第1の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第2の実施の形態の第2の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第2の実施の形態の第3の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第1の実施の形態の第7の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第1の実施の形態の第7の変形例に係る導電性ボール除去装置を説明するための図であり、マスクに当接する力が強い場合に、粘着材がマスクに付着している状態を模式的に示す図である。
本発明の第1の実施の形態の第8の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第1の実施の形態の第9の変形例に係る導電性ボール除去装置が導電性ボールを除去する様子を模式的に示す図である。
本発明の第2の実施の形態の第4の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図(その1)である。
本発明の第2の実施の形態の第4の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図(その2)である。
本発明の第2の実施の形態の第4の変形例に係る導電性ボール載置装置が導電性ボールを載置及び除去する様子を模式的に示す図(その3)である。

符号の説明

0230

11ステージ
12マスク
12A 貫通部
13導電性ボール収容体
14板体
18配線基板
23基板本体
23A 上面
27パッド
29ソルダーレジスト
29A 開口部
35粘着材
38導電性ボール
41レジスト膜
43 貫通部
72台車
74レール
76 当接面
78 首振機構
80、80A、80B、80C、80D、80E、80F導電性ボール除去装置
82シート部材
84、84A、84C、84D、84E、84F当接機構
86、86Dスキージ
86Aエアノズル
86C、86E、86Fスポンジ
87オリフィス
88シリンダ
88D スキージ支持部
88E スポンジ支持部
89A 保持部
89B 腕部
90移動機構
92更新機構
94巻出しローラ
96巻取りローラ
110、110A、110B、110C、110D、110E、110F 導電性ボール載置装置
130 導電性ボール載置機構

C 切断位置
D1、D2 距離
M1 厚さ
R1、R2、R3 直径

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