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技術 基板処理システム及びデータ検索方法

出願人 株式会社日立国際電気
発明者 越巻寿朗
出願日 2008年2月15日 (13年10ヶ月経過) 出願番号 2008-033987
公開日 2008年11月20日 (13年1ヶ月経過) 公開番号 2008-283169
状態 特許登録済
技術分野 総合的工場管理 検索装置 半導体装置の製造処理一般
主要キーワード 画面表示パターン データ蓄積エリア 表示項目毎 データ取得応答 共通装置 ガス流量情報 搬出開口 温度モニタ値
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2008年11月20日)のものです。
また、この項目は機械的に抽出しているため、正しく解析できていない場合があります

図面 (17)

課題

装置やGUI端末が増加しても群管理装置内でのデータ検索処理負荷を増大させず、GUI端末におけるデータ検索と表示を迅速に行う。

解決手段

装置2より送信されるデータは群管理装置3によってグループ毎分類される。このため、GUI端末4によって例えば温度情報を表示する場合は、表示項目の1項目毎に検索条件に温度情報グループを設定し種別温度設定値温度モニタ値を設定して、これらを群管理装置3に渡す。群管理装置3は、GUI端末4より取得した複数の表示項目の検索条件を参照し、同一条件の表示項目を検索項目として1つの項目にまとめる。これにより、群管理装置3内に蓄積されているデータに対してグループ単位での要求によってデータの取得が可能となり、装置データ検索件数の削減を行うことができる。

概要

背景

従来より、群管理装置においては、それぞれの半導体製造装置より送信されるデータを各半導体製造装置単位で群管理装置の内部にある半導体製造装置データ蓄積エリア蓄積している。そして、群管理装置は、定期的に発生する各GUI(Graphical User Interface)端末(つまり、各操作端末)から送信される表示対象の半導体製造装置のデータ取得要求にしたがって、該当する半導体製造装置のデータをそのまま半導体製造装置データ蓄積エリアより検索して、その結果を該当するGUI端末に送信している。このような機能を備える群管理装置を用いることにより、例えば、基板処理を行うときのレシピ不整合や不良ロットの発生を未然に防止することができる(例えば、特許文献1参照)。

図14は、一般的な群管理装置(群管理システム)のデータの流れを示す概念図である。つまり、この図は、従来の群管理装置におけるGUI端末からの表示データ取得要求に対するデータ検索時のデータの流れを示し、具体的にはGUI端末に表示する半導体製造装置のデータ取得の流れを示している。図14において、実線の矢印は半導体製造装置1のデータの流れを示し、破線は半導体製造装置2のデータの流れを示し、鎖線は半導体製造装置nのデータの流れを示している。尚、以下の説明では、SEMI標準規格E120に定義される共通装置モデル(CEM[Common Equipment Model])の仕様準拠したインタフェースを持つ半導体製造装置を単に装置ということがある。
特開2006−73845号公報

概要

装置やGUI端末が増加しても群管理装置内でのデータ検索処理負荷を増大させず、GUI端末におけるデータ検索と表示を迅速に行う。 装置2より送信されるデータは群管理装置3によってグループ毎分類される。このため、GUI端末4によって例えば温度情報を表示する場合は、表示項目の1項目毎に検索条件に温度情報グループを設定し種別温度設定値温度モニタ値を設定して、これらを群管理装置3に渡す。群管理装置3は、GUI端末4より取得した複数の表示項目の検索条件を参照し、同一条件の表示項目を検索項目として1つの項目にまとめる。これにより、群管理装置3内に蓄積されているデータに対してグループ単位での要求によってデータの取得が可能となり、装置データ検索件数の削減を行うことができる。

目的

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、半導体製造装置などの基板処理装置やGUI端末の台数が増加しても群管理装置内でのデータ検索処理の負荷を増大させないようにして、データ検索を迅速に行って必要なデータをGUI端末に確実に表示させることができる基板処理システムを提供することを目的とする。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
0件

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請求項1

基板を処理する複数の基板処理装置と、前記各基板処理装置を管理する群管理装置と、前記群管理装置と接続時に前記基板処理装置毎に各々のテーブルに分類された表示項目検索条件種別を規定したデータ取得要求フォーマットを作成し、前記群管理装置へ送信する複数の操作端末とを備えた基板処理システム

請求項2

前記群管理装置は、前記複数の操作端末のそれぞれより取得した前記データ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目における種別をマージしてマージテーブルを作成することを特徴とする請求項1記載の基板処理システム。

請求項3

前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報であるデータ取得要求フォーマットとをまとめてマージデータ管理テーブルを作成する群管理装置とを備えたことを特徴とする請求項2記載の基板処理システム。

請求項4

前記群管理装置が、基板処理装置のデータを蓄積するデータ蓄積エリアと、前記作成されたマージテーブルを用い、対象とする前記データ蓄積エリアを前記取得要求フォーマットから取得した検索条件と種別により検索し、検索した結果をデータ検索結果格納テーブルに格納し、前記データ検索結果格納テーブルと前記マージデータ管理テーブルの内容を照合して、前記操作端末にデータを送信するための操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信する請求項3記載の基板処理システム。

請求項5

前記群管理装置は、定期的に前記データ蓄積エリアを検索し、前記操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信することを特徴とする請求項4記載の基板処理システム。

請求項6

前記操作端末からのデータ取得要求は、前記操作端末における操作画面切り換え操作で発生することを特徴とする請求項2記載の基板処理システム。

請求項7

基板を処理する複数の基板処理装置と、電源を入れたときに前記基板処理装置毎に各々のテーブルに分類された表示項目の検索条件と種別を規定したデータ取得要求フォーマットを作成する複数の操作端末と、前記複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目における種別をマージしてマージテーブルを作成する群管理装置とを備えたことを特徴とする基板処理システム。

請求項8

前記群管理装置は、前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報とをまとめてマージデータ管理テーブルを作成することを特徴とする請求項7記載の基板処理システム。

請求項9

表示対象の操作端末に表示する表示項目毎に検索条件とデータ種別フォーマット化されたデータ取得要求フォーマットを送信し、該データ取得要求フォーマットに基づいて、同一の検索条件で検索される各表示項目におけるデータ種別をマージしてマージテーブルを作成し、該マージテーブルを用い検索対象となるデータを検索するデータ検索方法

請求項10

前記マージテーブルを用い検索対象となるデータを検索した結果を第一の検索結果格納テーブルに格納し、前記第一の検索結果格納テーブルと前記データ取得要求フォーマットと前記マージテーブルをマージしたマージデータ管理テーブルとを照合して、データを送信するための第二の検索結果格納テーブルを作成し、該第二の検索結果格納テーブルの内容を該当する前記操作端末に送信する請求項9記載のデータ検索方法。

技術分野

0001

本発明は、群管理装置によって半導体製造装置などの複数の基板処理装置の情報を一元管理する基板処理システムに関し、特に、群管理装置で取り扱われるデータを効率的に検索する基板処理システム及びデータ検索方法に関する。

背景技術

0002

従来より、群管理装置においては、それぞれの半導体製造装置より送信されるデータを各半導体製造装置単位で群管理装置の内部にある半導体製造装置データ蓄積エリア蓄積している。そして、群管理装置は、定期的に発生する各GUI(Graphical User Interface)端末(つまり、各操作端末)から送信される表示対象の半導体製造装置のデータ取得要求にしたがって、該当する半導体製造装置のデータをそのまま半導体製造装置データ蓄積エリアより検索して、その結果を該当するGUI端末に送信している。このような機能を備える群管理装置を用いることにより、例えば、基板処理を行うときのレシピ不整合や不良ロットの発生を未然に防止することができる(例えば、特許文献1参照)。

0003

図14は、一般的な群管理装置(群管理システム)のデータの流れを示す概念図である。つまり、この図は、従来の群管理装置におけるGUI端末からの表示データ取得要求に対するデータ検索時のデータの流れを示し、具体的にはGUI端末に表示する半導体製造装置のデータ取得の流れを示している。図14において、実線の矢印は半導体製造装置1のデータの流れを示し、破線は半導体製造装置2のデータの流れを示し、鎖線は半導体製造装置nのデータの流れを示している。尚、以下の説明では、SEMI標準規格E120に定義される共通装置モデル(CEM[Common Equipment Model])の仕様準拠したインタフェースを持つ半導体製造装置を単に装置ということがある。
特開2006−73845号公報

発明が解決しようとする課題

0004

しかしながら、前記図14の群管理装置のデータの流れに示すように、n台の装置とn台のGUI端末との間でデータのやりとりを行うと、群管理装置内において負荷集中状態が発生する。すなわち、GUI端末からの表示対象の装置データ取得要求時において、GUI端末に表示する装置データの項目数が多くなったり、GUI端末で表示される装置の台数及びGUI端末の台数が増加したりすると、群管理装置内でのデータ検索処理負荷が増大してデータの検索に遅延が生じてしまう。その結果、GUI端末にデータが表示されるのに長い時間を要したり、場合によってはタイムアウト等のエラーが発生し、GUI端末にデータを表示することができなくなるおそれがある。

0005

本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、半導体製造装置などの基板処理装置やGUI端末の台数が増加しても群管理装置内でのデータ検索処理の負荷を増大させないようにして、データ検索を迅速に行って必要なデータをGUI端末に確実に表示させることができる基板処理システムを提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

0006

上述した課題を解決するために、本発明に係る基板処理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置と、前記各基板処理装置を管理する群管理装置と、前記群管理装置と接続時に前記基板処理装置毎に各々のテーブルに分類された表示項目検索条件種別を規定したデータ取得要求フォーマットを作成し、前記群管理装置へ送信する複数の操作端末とを備えた。

0007

ここで、前記群管理装置は、前記操作端末からのデータ取得要求時に、前記複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目マージしてマージテーブルを作成することを特徴とする。

発明の効果

0008

本発明によれば、群管理装置によるデータのグループ分け機能やデータマージ機能により、GUI端末から表示データ取得要求が発行されたとき、GUI端末のデータ取得に遅延が生じるおそれがなくなる。また、群管理装置の内部でデータ検索を行う場合、データマージを行うことにより、データ検索負荷を軽減させたり内部メモリの使用量を減少させたりすることが可能となる。更に、従来のような重複したデータの検索がなくなるため、検索時間の短縮が可能となる。

発明を実施するための最良の形態

0009

まず、本発明における基板処理システムの概要について説明する。図1は、本発明における基板処理システムの基本構成図である。図1に示すように、本発明の基板処理システムは、複数台の装置2の情報を一元管理することの可能な群管理装置3が複数台の装置2のデータを蓄積していて、これら(つまり、複数台の装置2と群管理装置3)がネットワークで接続された構成となっている。さらに、複数台の装置2のデータを表示することができる複数台のGUI端末4(つまり、装置2のデータを表示可能な端末)と群管理装置3とがネットワークで接続された構成となっている。本発明の基板処理システムは、図1のような構成において、複数台のGUI端末4に表示するデータの効率的な検索手段を実現するものである。

0010

図1のような基板処理システムの構成において、特定の装置2への複数台のGUI端末4より定期的に発生する装置データ取得要求に対し、同一の検索条件で検索されるデータ種別を1つの検索項目としてまとめることにより、装置データの検索件数の削減を行うことができる。つまり、半導体製造装置(装置2)より群管理装置3に送られてくるデータ(装置データ)には、装置2が持つ装置自体の状態、ウエハの情報、温度情報ガス流量情報圧力情報、及び各種センサ情報などがあり、これらの情報はそれぞれグループにより分類され、そのグループ内において詳細なデータを持っている。例えば、温度情報であれば、温度の設定値モニタ値カスケードモニタ値、プロファイルモニタ値、ヒータパワーモニタ値などが温度情報グループとして定義される。このため、GUI端末4によって温度情報を表示しようとする場合は、表示項目の1項目ごとに、検索条件に温度情報グループを設定し、種別に温度設定値温度モニタ値を設定して、これらを群管理装置3に渡している。

0011

一方、群管理装置3では、GUI端末4より取得した複数の表示項目の検索条件を参照し、同一条件(この場合は「温度情報グループ」)の表示項目を検索項目として1つの項目にまとめる。このようにして検索条件を1つにまとめることにより、群管理装置3内に蓄積されている装置データに対してグループ単位での検索によるデータの取得が可能となる。GUI端末4は複数台存在するが、群管理装置3においてグループ単位で検索できるため、GUI端末4の台数を意識することなく、装置データの取得を行うことが可能となる。

0012

これにより、群管理装置3が行う装置2データの検索負荷を軽減させることができる。従って、検索時間に遅延を発生させることなく、各GUI端末4に対して適切な検索結果を返すことのできる複数のGUI端末4に対応した検索方式を実現することが可能となる。すなわち、群管理装置3に接続する複数台のGUI端末4が必要とする複数台の装置2のデータを検索するマージデータ検索方式を実現することができる。さらには、群管理装置3が行う複数台のGUI端末4のマージデータ管理方式や複数台のGUI端末4へのマージデータ展開方式を実現することができる。尚、マージとは、コンピュータで複数のファイル併合して1つのファイルを作ることである。

0013

ここで、マージ可能な理由は、群管理装置3では、GUl端末4からのデータ取得要求を受けたときに現在接続中のGUI端末4の情報とを合わせてマージテーブル及びマージデータ管理テーブル再構築しているからである。なお、GUl端末4からのデータ取得要求フォーマットが送られるのはGUl端末4の接続時のみである。その後は定期的に群管理装置3がマージされたデータをもとにGUl端末4に対しデータ取得応答を発行している。

0014

次に、本発明における基板処理システムの実施形態について詳細に説明する。まず、図2を用いて、GUI端末4からのデータ取得要求フォーマットの統一化について説明する。この図は、群管理装置3において装置2データの検索効率を向上するためのGUI端末4に表示する装置データ取得要求フォーマットの定義の例を示すものである。右図が各GUI端末4の表示画像群であり、左図が各GUI端末4で作成される表示データ取得要求フォーマットである。

0015

図2に示すように、各GUI端末4は複数の画面表示パターンを持っているが、何れの画面表示パターンの場合も表示するデータ項目単位(装置毎)に検索条件と表示データ種別の定義を行い(つまり、図2の左図に示すようなデータ取得要求フォーマットを作成し)、装置2単位に分類して群管理装置3に渡している。ここで、図2の左側は、図2の右側の各GUI端末4の表示画像群のうちの一つをフォーマットしたものである。

0016

群管理装置3では各GUI端末4の画面表示項目の検索条件と種別の定義に基づいてマージを行う。そのため、各GUI端末4より送られる情報はフォーマットを統一化している。

0017

次に、基板処理システムにおけるGUI端末のある画面(画面A)表示データ取得要求時のフォーマットの具体的な一例について説明する。図3は、図2に示すGUI端末のある画面(画面A)の表示データ取得要求時のフォーマットの具体例を示す図である。すなわち、図3は、GUI端末4によって各装置2(図3における装置ナンバーとしての装置1、2…5)の温度設定値及び温度モニタ値を表示する場合のGUI端末表示画イメージと、群管理装置3に渡すための表示データ取得要求フォーマット(表示項目格納テーブル)の関連を示している。尚、装置は5台に限定されないのは言うまでもない。

0018

尚、図3以降の図中では、装置の符号(つまり、図1に示す装置2)としてではなく、装置の番号として装置1、2…5と表現することにする。同様にして、GUI端末の符号(つまり、図1に示すGUI端末4)としてではなく、GUI端末の番号としてGUI端末1、2…nと表現することにする。

0019

図3のステップS1において、装置1の温度設定値を『表示項目格納テーブル』の装置1の表示項目1に設定する。この場合は、データが温度であるので検索条件は「温度グループ」とする。さらに、装置1の温度モニタ値を『表示項目格納テーブル』の装置1の表示項目2に設定する。この場合もデータが温度であるので検索条件は「温度グループ」とする。次に、ステップS2において、前述と同様に、装置2の温度設定値及び温度モニタ値を『表示項目格納テーブル』の装置2の表示項目1及び表示項目2に設定する。以降、ステップS3のように、各装置単位で表示項目を『表示項目格納テーブル』の表示項目1及び表示項目2に追加設定する。

0020

次に、群管理装置内における装置データ検索項目のマージ方式について説明する。図4は、本発明の基板処理システムにおける群管理装置内の装置データ検索項目マージ方式の概念図である。つまり、この図は、GUI端末より取得したデータ表示項目から群管理装置内において蓄積している装置データの検索を効率よく行うためのマージ方式を示しており、右図はGUI端末単位の表示項目格納テーブル、左図は装置単位の検索項目データマージテーブルを示している。

0021

ここで、マージデータ管理テーブルの定義について述べる。マージデータ管理テーブルは、半導体製造装置より報告されるデータの検索取得回数を削減することを目的とし、かつ検索結果取得したデータを誤ることなく効率よく各GUI端末の該当する項目に展開するためのテーブルである。

0022

図4に示すように、群管理装置では、各GUI端末より取得した情報(つまり、表示データ取得要求フォーマット)をGUI端末毎に内部テーブル(つまり、図4右図のGUI端末単位での表示項目格納テーブル)に保管している。そして、保管された各GUI端末の情報より同一装置の情報を取得し、同一検索条件の各表示項目における表示データ種別を図4左図の装置単位の検索項目データマージテーブルに格納する。つまり、同一検索条件である表示データの種別を1つの項目にまとめてマージテーブル(つまり、左図の装置単位の検索項目データマージテーブル)に格納する。これによって、特定装置への複数台のGUI端末からの要求をマージすることにより、検索条件数が大幅に削減される。

0023

尚、図4右図の内部テーブルについて、GUI端末1、2・・・n装置1というのは、装置1のデータを表示するGUI端末が群管理装置3に1、2・・・n台接続されていることを示す。表示項目はGUI端末が表示する項目を示す(例えば、“1”は表示項目1を示す)。検索条件は、群管理装置3がデータ蓄積エリアのデータを検索するための条件を示す(例えば、“1”は検索条件1を示す)。種別はGUl端末が表示したい項目の種類を示す(例えば、“1”は種別1を示す)。また、表示項目と検索項目は同じであり、同じ表示項目がある場合は1つの検索項目にマージするイメージで表現が変えてある。

0024

図5は、図4に示す基板処理システムにおける群管理装置内の装置データ検索方式の具体例を示す概念図である。以下、図5を用いて、図4に示す検索方式の具体的な例を説明する。尚、図5の右図は表示項目格納テーブル、左図は検索項目データマージテーブルを示している。

0025

まず、図5のステップS11において、『GUI端末1』より取得した『表示項目格納テーブル』より『装置1』の表示項目1の検索条件1を取り出して、『検索項目データマージテーブル』の『装置1』の検索項目1の検索条件1に設定する。次に、ステップS12において、『表示項目格納テーブル』の『装置1』の表示項目1の種別1を取り出して、『検索項目データマージテーブル』の『装置1』の検索項目1の種別1に設定する。そして、ステップS13において、『表示項目格納テーブル』の『装置1』の表示項目2の検索条件1と、『検索項目データマージテーブル』の『装置1』の検索項目1の検索条件1とを比較する。
比較した結果、両者の検索条件が一致しない場合、検索項目2の検索条件2に設定される。

0026

ここで両者の検索条件が一致した場合は、『表示項目格納テーブル』の『装置1』の表示項目2の種別1と、『検索項目データマージテーブル』の『装置1』の検索項目1の種別1とを比較する。そして、両者の種別が一致した場合は、両者は同一検索項目であると判断して検索項目に追加を行わない。

0027

ステップS14において、両者の種別が不一致であった場合は次に続く種別との比較を行い、比較対象の種別が存在しない場合は新規種別として検索項目に追加を行う。そして、ステップS15において、指定した装置が複数台ある場合は装置台数分だけ上記のステップS11〜S14の処理を繰り返す。さらに、ステップS16において、GUI端末が複数台存在する場合はGUI端末の台数分だけ上記のステップS12〜S15の処理を繰り返す。

0028

次に、マージデータ管理テーブルについて説明する。図6は、図1に示す群管理装置3におけるマージデータ管理テーブルを示す図であり、マージした検索項目に対するGUI端末表示項目を定義するテーブルを示している。つまり、マージした表示項目がどのGUI端末のどの表示項目であるかを認識するために図6に示すようなマージデータ管理テーブルを作成する。

0029

尚、図6におけるGUI端末表示項目情報とはGUI端末から送られてくる表示データ取得要求フォーマットの情報を示すものである。また、マージデータ管理テーブルは群管理装置3に接続される装置1の台数分だけ作成される。さらに、データ検索結果格納テーブルとは検索項目データマージテーブルに検索結果を格納したものである。

0030

図6に示すように、GUI端末表示項目格納テーブルの情報とマージテーブルの情報とを対比させることにより、データの所在を確認することが可能となり、装置データ検索結果後のマージデータからGUI端末表示項目への展開が容易となる。

0031

ここで、マージデータ管理テーブルについてさらに詳しく説明する。マージデータ管理テーブルは、GUI端末からの『表示項目格納テーブル』の種別情報が『検索項目データマージテーブル』のどの種別情報に該当するのかを管理するテーブルである。

0032

群管理装置3において複数のGUI端末から表示の要求を受けた場合は、その都度データ検索を行うと検索に時間がかかり、結果として、検索に遅延が発生してGUI端末の画面描画性能に悪影響を与えてしまう。そのため、GUI端末からの要求で同一の項目は一度の検索においてデータを取得する必要がある。つまり、各GUI端末からの表示項目において同一項目をマージし、検索件数を削減して検索時の負担を軽減させる必要がある。また、マージ後の検索した結果データを各GUI端末に渡す場合は、該当するGUI端末からの要求順(つまり、表示項目及び種別順)に結果データを展開する必要があり、マージデータ管理テーブルはそれらの内容を容易に展開するための管理テーブルである。

0033

図7は、図6に示すマージデータ管理テーブルの展開手順を示す概念図であり、マージデータ管理テーブルは図7に示す項目により構成されていて図の矢印のように展開される。GUI端末表示項目情報は、GUI端末より取得した『表示項目格納テーブル』の各種情報を番号にて管理する。例えば、GUI端末としてGUI端末の番号を示し、GUI端末の表示項目として表示項目格納テーブルの表示項目番号を示し、GUI端末の検索条件として表示項目格納テーブルの検索条件番号を示し、さらに、GUI端末の種別として表示項目格納テーブルの種別番号を示す。

0034

また、マージテーブル情報は、装置取得データの検索件数を削減するための『検索項目データマージテーブル』の各種情報を番号にて管理する。例えば、検索項目として検索項目データマージテーブルの検索項目番号を示し、検索条件として検索項目データマージテーブルの検索条件番号を示し、種別として検索項目データマージテーブルの種別番号を示す。

0035

図8は、図6に示すマージデータ管理テーブルの展開手順を示す流れ図である。ここで、マージデータ管理テーブルに情報を設定するタイミングはマージデータの作成と同時に行う。マージデータ管理テーブルへの情報設定手順は以下の通りである。すなわち、ステップS21において、『マージデータ管理テーブル』の[GUI端末表示項目情報]に『表示項目格納テーブル』のGUI端末番号、表示項目番号、検索条件番号、種別番号をGUI端末の台数分だけ設定する。

0036

さらに、ステップS22において、『表示項目格納テーブル』の情報より『検索項目データマージテーブル』を作成する。そのときの手順は、前述の図5における装置データ検索方式のステップS11〜S16の手順と同じであるので、重複する説明は省略する。そして、ステップS23において、S22で行った『検索データマージテーブル』の設定時に、該当する情報をマージデータ管理テーブルに展開する。このようにして、全てのGUI端末4の全表示項目に対して前述のステップS21〜S23を繰り返す。

0037

次に、データ検索結果格納方式について説明する。図9は、図1に示す群管理装置3が行うデータ検索結果格納テーブルヘの展開の様子を示す概念図である。つまり、図9は、検索項目にしたがった装置データ検索実施時の検索結果を格納するテーブルヘの流れを示し、左図は装置単位の検索項目データマージテーブル、右図はデータ検索結果格納テーブルを示している。

0038

まず、作成されたマージデータを用いて、検索条件と種別より装置情報のデータ検索を行う。次に、検索結果は、マージデータの検索項目内の種別に応じた項目を検索結果格納テーブルに格納する。尚、このときの検索条件は不要である。すなわち、図9に示すように、検索条件と種別よりデータを検索して、例えば、『装置1』のデータ蓄積エリアに格納する。そして、検索結果をデータ検索結果格納テーブルに格納する。

0039

図10は、図9に示すデータ検索結果格納テーブルヘの展開の具体的な一例を示す展開図である。まず、ステップS31において、『検索項目データマージテーブル』の検索条件1に一致する温度グループを蓄積データより検索する。次に、ステップS32において、ステップS31で一致する温度グループがある場合は『検索項目データマージテーブル』の同一グループ内の各種別を順に検索する。そして、ステップS33において、ステップS32で検索した結果を『データ検索結果格納テーブル』に設定する。

0040

次に、データ検索結果展開方式について説明する。図11は、図1に示す群管理装置が行うデータ検索結果展開方式の流れを示す概念図であり、装置データの検索結果より、GUI端末検索結果格納テーブルヘの展開の流れを示している。データ検索結果格納テーブルとマージデータ管理テーブルより各GUI端末に渡すためのGUI端末検索結果格納テーブルを作成し、その内容を該当するGUI端末に送信する。このとき、検索項目と種別より当該GUI端末のどの項目であるかを確認して検索結果を格納する。

0041

図12は、図11に示すデータ検索結果展開方式の具体的な流れを示す流れ図である。図12において、まず、ステップS41において、データ検索結果格納テーブルの検索項目番号及び種別番号と一致するGUI端末表示項目情報をマージデータ管理テーブルより取得する。次に、ステップS42において、ステップS41で取得した情報(つまり、GUI端末番号、表示項目、種別)に基づいてGUI端末検索結果格納テーブルの該当する位置を求める。さらに、ステップS43において、ステップS42で求めた位置に対して装置より取得したデータを設定する。そして、ステップS44において、マージデータ管理テーブルに格納されている行数分だけステップS41〜S43の処理を繰り返す。

0042

次に、上述した内容を要約するために群管理装置3のデータの流れの具体的な一例を説明する。図13は、本発明の基板処理システムにおける群管理装置3のデータの流れを示す流れ図である。まず、ステップS51において、群管理装置3は、各装置2から最新の装置情報を不定期に受信して自己の装置データ蓄積エリアへ蓄積する。このときの装置情報には、装置の状態、ウエハの状態、温度情報、ガス流量情報、圧力情報、センサ情報などさまざまな情報が存在する。

0043

そして、ステップS52において、群管理装置3は、GUI端末からの表示データ取得要求を受け付け、検索項目を装置単位ごとに分けてデータ検索テーブルに格納する。さらに、ステップS53において、群管理装置3は、GUI端末のデータ検索テーブルに格納された検索項目に対して、対象装置のデータ蓄積エリアより該当するデータを個々に検索する。次に、ステップS54において、群管理装置4は、ステップS53で検索した結果を装置単位で検索結果格納テーブルに格納する。そして、ステップS55において、群管理装置3は、検索結果格納テーブルより検索結果データを取り出してGUI端末に返却する。これによって、GUI端末は群管理装置3より取得した検索結果を適切に表示する。

0044

以上の実施形態では、基板処理装置として半導体製造装置を適用した場合について説明したが、半導体製造装置だけでなくLCD装置のようなガラス基板を処理する装置でも本実施形態が適用できることは言うまでもない。

0045

次に、本発明が適用される基板処理装置の具体的な実施形態について説明する。本発明を実施するための最良の形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置(IC)の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。尚、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化拡散処理CVD処理などを行なう縦型の装置(以下、単に処理装置という)を適用した場合について述べる。図15は、本発明に適用される処理装置の平面透視図として示されている。また、図16図15に示す処理装置の側面透視図である。

0046

図15及び図16に示されているように、シリコン等からなるウエハ(基板)200を収納したウエハキャリアとしてフープ基板収容器、以下ポッドという。)110が使用されている本発明の処理装置100は、筐体111を備えている。筐体111の正面壁111aの正面前方部には、メンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口103が開設され、この正面メンテナンス口103を開閉する正面メンテナンス扉104、104がそれぞれ建て付けられている。

0047

筐体111の正面壁111aには、ポッド搬入搬出口(基板収容器搬入搬出口)112が筐体111の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口112は、フロントシャッタ(基板収容器搬入搬出口開閉機構)113によって開閉されるようになっている。また、ポッド搬入搬出口112の正面前方側にはロードポート(基板収容器受渡し台)114が設置されており、ロードポート114はポッド110を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド110はロードポート114上に工程内搬送装置(図示せず)によって搬入され、かつ、ロードポート114上から搬出されるようになっている。

0048

筐体111内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚(基板収容器載置棚)105が設置されており、回転式ポッド棚105は複数個のポッド110を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚105は、垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱116と、支柱116に上下四段の各位置において放射状に支持された複数枚棚板(基板収容器載置台)117とを備えており、複数枚の棚板117は、ポッド110を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。

0049

筐体111内におけるロードポート114と回転式ポッド棚105との間には、ポッド搬送装置(基板収容器搬送装置)118が設置されており、ポッド搬送装置118は、ポッド110を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ(基板収容器昇降機構)118aと、搬送機構としてのポッド搬送機構(基板収容器搬送機構)118bとで構成されており、ポッド搬送装置118は、ポッドエレベータ118aとポッド搬送機構118bとの連続動作により、ロードポート114、回転式ポッド棚105、ポッドオープナ(基板収容器蓋体開閉機構)121との間で、ポッド110を搬送するように構成されている。

0050

筐体111内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体119が後端にわたって構築されている。サブ筐体119の正面壁119aには、ウエハ200をサブ筐体119内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口基板搬入搬出口)120が一対、垂直方向上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口120、120には、一対のポッドオープナ121、121がそれぞれ設置されている。

0051

ポッドオープナ121は、ポッド110を載置する載置台122、122と、ポッド110のキャップ蓋体)を着脱するキャップ着脱機構(蓋体着脱機構)123、123とを備えている。ポッドオープナ121は、載置台122に載置されたポッド110のキャップをキャップ着脱機構123によって着脱することにより、ポッド110のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

0052

サブ筐体119は、ポッド搬送装置118や回転式ポッド棚105の設置空間から流体的隔絶された移載室124を構成している。移載室124の前側領域にはウエハ移機構基板移載機構)125が設置されており、ウエハ移載機構125は、ウエハ200を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置(基板移載装置)125a及びウエハ移載装置125aを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ(基板移載装置昇降機構)125bとで構成されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ125b及びウエハ移載装置125aの連続動作により、ウエハ移載装置125aのツイーザ基板保持体)125cをウエハ200の載置部として、ボート基板保持具)217に対してウエハ200を装填チャージング)及び脱装(ディスチャージング)するように構成されている。

0053

図15に示されているように、移載室124のウエハ移載装置エレベータ125b側と反対側である右側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア133を供給するように、供給フアン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット134が設置されており、ウエハ移載装置125aとクリーンユニット134との間には、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置135が設置されている。

0054

クリーンユニット134から吹き出されたクリーンエア133は、ノッチ合わせ装置135およびウエハ移載装置125aに流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体111の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット134の吸い込み側である一次側(供給側)にまで循環され、再びクリーンユニット134によって、移載室124内に吹き出されるように構成されている。

0055

移載室124の後側領域には、大気圧未満の圧力(以下、負圧という。)を維持可能な機密性能を有する筐体(以下、耐圧筐体という。)140が設置されており、この耐圧筐体140によりボート217を収容可能な容積を有するロードロック方式待機室であるロードロック室141が形成されている。

0056

耐圧筐体140の正面壁140aにはウエハ搬入搬出開口(基板搬入搬出開口)142が開設されており、ウエハ搬入搬出開口142はゲートバルブ(基板搬入搬出口開閉機構)143によって開閉されるようになっている。耐圧筐体140の一対の側壁には、ロードロック室141へ窒素ガス給気するためのガス供給管144と、ロードロック室141を負圧に排気するための排気管145とがそれぞれ接続されている。

0057

ロードロック室141上方には、処理炉202が設けられている。処理炉202の下端部は炉口ゲートバルブ炉口開閉機構)147により開閉されるように構成されている。耐圧筐体140の正面壁140aの上端部には、炉口ゲートバルブ147を処理炉202の下端部の開放時に収容する炉口ゲートバルブカバー149が取り付けられている。

0058

図15に示されているように、耐圧筐体140にはボート217を昇降させるためのボートエレベータ(基板保持具昇降機構)115が設置されている。ボートエレベータ115に連結された連結具としてのアーム128には蓋体としてのシールキャップ219が水平に据え付けられており、シールキャップ219はボート217を垂直に支持し、処理炉202の下端部を閉塞可能なように構成されている。

0059

ボート217は複数本保持部材を備えており、複数枚(例えば、50枚〜125枚程度)のウエハ200をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

0060

次に、図15及び図15に示す処理装置の動作について説明する。図15及び図16に示されているように、ポッド110がロードポート114に供給されると、ポッド搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放され、ロードポート114の上のポッド110はポッド搬送装置118によって筐体111の内部へポッド搬入搬出口112から搬入される。

0061

搬入されたポッド110は、回転式ポッド棚105の指定された棚板117へポッド搬送装置118によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板117から一方のポッドオープナ121に搬送されて載置台122に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ121に搬送されて載置台122に移載される。この際、ポッドオープナ121のウエハ搬入搬出口120はキャップ着脱機構123によって閉じられており、移載室124にはクリーンエア133が流通され、充満されている。例えば、移載室124にはクリーンエア133として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が20ppm以下と、筐体111の内部(大気雰囲気)の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

0062

載置台122に載置されたポッド110はその開口側端面がサブ筐体119の正面壁119aにおけるウエハ搬入搬出口120の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構123によって取り外され、ポッド110のウエハ出し入れ口が開放される。また、予め内部が大気圧状態とされていたロードロック室141のウエハ搬入搬出開口142がゲートバルブ143の動作により開放されると、ウエハ200はポッド110からウエハ移載装置125aのツイーザ125cによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、ノッチ合わせ装置135にてウエハを整合した後、ウエハ搬入搬出開口142を通じてロードロック室141に搬入され、ボート217へ移載されて装填(ウエハチャージング)される。ボート217にウエハ200を受け渡したウエハ移載装置125aはポッド110に戻り、次のウエハ110をボート217に装填する。

0063

この一方(上段または下段)のポッドオープナ121におけるウエハ移載装置125によるウエハのボート217への装填作業中に、他方(下段または上段)のポッドオープナ121には回転式ポッド棚105ないしロードポート114から別のポッド110がポッド搬送装置118によって搬送され、ポッドオープナ121によるポッド110の開放作業が同時進行される。

0064

予め指定された枚数のウエハ200がボート217装填されると、ウエハ搬入搬出開口142がゲートバルブ143によって閉じられ、ロードロック室141は排気管145から真空引きされることにより、減圧される。

0065

ロードロック室141が処理炉202内の圧力と同圧に減圧されると、処理炉202の下端部が炉口ゲートバルブ147によって開放される。このとき、炉口ゲートバルブ147は炉口ゲートバルブカバー149の内部に搬入されて収容される。

0066

続いて、シールキャップ219がボートエレベータ115の昇降台161によって上昇されて、シールキャップ219に支持されたボート217が処理炉202内へ搬入(ローディング)されて行く。

0067

ローディング後は、処理炉202にてウエハ200に任意の処理が実施される。そして、処理後は、ボートエレベータ115によりボート217が引き出され、更に、ロードロック室140内部を大気圧に復圧させた後にゲートバルブ143が開かれる。その後は、ノッチ合わせ装置135でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ200およびポッド110は筐体111の外部へ払出される。

0068

以上、本実施において好ましい形態における基板処理システムは、前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報であるデータ取得要求フォーマットとをまとめてマージデータ管理テーブルを作成する群管理装置とを備えている。

0069

また、本実施例における基板処理システムは、前記群管理装置が、基板処理装置のデータを蓄積するデータ蓄積エリアと、前記作成されたマージテーブルを用い、対象とする前記データ蓄積エリアを前記取得要求フォーマットから取得した検索条件と種別により検索し、検索した結果を格納するデータ検索結果格納テーブルとを備え、前記検索結果格納テーブルと前記マージデータ管理テーブルにより、前記操作端末のそれぞれにデータを送信するための操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信することを特徴とする。

0070

また、本実施例おける基板処理システムにおいて、前記群管理装置は、定期的に前記データ蓄積エリアを検索し、前記操作端末検索結果格納テーブルを作成すると共に、その内容を該当する操作端末に送信することを特徴とする。

0071

また、前記操作端末からのデータ取得要求は、前記操作端末における操作画面切り換え操作で発生することを特徴とする。

0072

さらに、本実施例の一態様における基板処理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置と、電源を入れたときに前記基板処理装置毎にデータ取得要求フォーマットを作成する複数の操作端末と、前記複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フォーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フォーマットを抽出し、同一の検索条件で検索される各表示項目をマージしてマージテーブルを作成する群管理装置とを備えたことを特徴とする。

0073

また、この前記群管理装置は、前記基板処理装置毎のマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報とをまとめてマージデータ管理テーブルを作成することを特徴とする。

0074

また、本実施例の一態様における基板処理システムは、基板を処理する複数の基板処理装置と、データ取得要求時に基板処理装置ごとにデータ取得要求フオーマットを作成する複数の操作端末と、複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フオーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フオーマットから同一検索条件の各表示項目にまとめてマージテーブルに格納し、基板処理装置ごとのマージテーブルを作成すると共に、そのマージテーブルの情報と操作端末の表示項目情報とをマージしてマージデータ管理テーブルを作成する群管理装置とを備え、群管理装置が、作成されたマージテーブルを用い、対象とする基板処理装置のデータを蓄積するデータ蓄積エリアを検索条件と種別により検索し、検索した結果をデータ検索結果格納テーブルに格納し、検索結果格納テーブルとマージデータ管理テーブルにより、操作端末のそれぞれにデータを送信するための操作端末検索結果格納テーブルを作成し、その内容を該当する操作端末に送信するように構成されている。

0075

また、本実施例の一態様においては、複数の基板処理装置の情報を一元管理する基板処理システムにおける群管理装置であって、複数の操作端末のそれぞれより取得したデータ取得要求フオーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フオーマットから同一検索条件の各表示項目にまとめてマージテーブルに格納し、前記基板処理装置ごとのマージテーブルを作成すると共に、該マージテーブルの情報と前記操作端末の表示項目情報とをマージしてマージデータ管理テーブルを作成するものである。

0076

また、本実施例の一態様にいては、基板処理システムにおける基板処理方法を提供することもできる。すなわち、基板を処理する基板処理装置と、複数の基板処理装置を管理する群管理装置と、群管理装置に接続された複数の操作端末とで構成される基板処理システムにおける基板処理方法であって、操作端末がデータ取得要求時に基板処理装置ごとにデータ取得要求フオーマットを作成する手順と、群管理装置が、各操作端末より取得したデータ取得要求フオーマットのうち、同一の基板処理装置のデータ取得要求フオーマットから、同一検索条件の各表示項目にまとめてマージテーブルに格納して基板処理装置ごとのマージテーブルを作成する手順と、マージテーブルの情報と操作端末表示項目情報とをマージしてマージデータ管理テーブルを作成する手順と、作成されたマージテーブルを用い、対象とする基板処理装置のデータを蓄積するデータ蓄積エリアを検索条件と種別により検索し、検索した結果をデータ検索結果格納テーブルに格納する手順と、検索結果格納テーブルとマージデータ管理テーブルにより各操作端末にデータを送信するための操作端末検索結果格納テーブルを作成し、その内容を該当する操作端末に送信する手順とを含むことを特徴とする基板処理方法を提供することもできる。

図面の簡単な説明

0077

本発明における基板処理システムの基本構成図である。
本発明の基板処理システムにおけるGUI端末表示データ取得要求時のフォーマット例を示す図である。
図2に示すGUI端末表示データ取得要求時のフォーマットの具体例を示す図である。
本発明の基板処理システムにおける群管理装置内の装置データ検索項目マージ方式の概念図である。
図4に示す基板処理システムにおける群管理装置内の装置データ検索項目データマージ方式の具体例を示す概念図である。
図1に示す群管理装置におけるマージデータ管理テーブルを示す図である。
図6に示すマージデータ管理テーブルの展開手順を示す概念図である。
図6に示すマージデータ管理テーブルの展開手順を示す流れ図である。
図1に示す群管理装置が行うデータ検索結果格納テーブルヘの展開の様子を示す概念図である。
図9に示すデータ検索結果格納テーブルヘの展開の具体的な一例を示す展開図である。
図1に示す群管理装置が行うデータ検索結果展開方式の流れを示す概念図である。
図11に示すデータ検索結果展開方式の具体的な流れを示す流れ図である。
本発明の基板処理システムにおける群管理装置のデータの流れを示す流れ図である。
一般的な群管理装置のデータの流れを示す概念図である。
本発明に適用される処理装置の平面透視図である。
図15に示す処理装置の側面透視図である。

符号の説明

0078

2 装置(半導体製造装置)、3群管理装置、4GUI端末。

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