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技術 吐出量測定方法、吐出量調整方法、液状体の吐出方法、カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法

出願人 セイコーエプソン株式会社
発明者 小島健嗣
出願日 2007年6月14日 (12年8ヶ月経過) 出願番号 2007-157117
公開日 2008年10月2日 (11年4ヶ月経過) 公開番号 2008-229602
状態 特許登録済
技術分野 インクジェット(粒子形成、飛翔制御) 光学フィルタ エレクトロルミネッセンス光源 流動性材料の適用方法、塗布方法
主要キーワード 周辺気体 調整順 波形周期 凹状領域 調整回数 空気制御装置 湿度調整装置 分吐出
関連する未来課題
重要な関連分野

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図面 (19)

課題

吐出量を精度良く測定できる吐出量測定方法吐出量調整方法液状体吐出方法カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。

解決手段

複数のキャリッジ12に複数の液滴吐出ヘッド14が配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、液滴吐出ヘッド14から吐出される液滴44の吐出量を測定する吐出量測定方法に係る。複数の液滴吐出ヘッド列を並べて、液滴吐出ヘッド14から前記液状体を吐出して、液滴吐出ヘッド列の内、液滴吐出ヘッド列に挟まれている液滴吐出ヘッド14から吐出された液滴44の吐出量を測定する第1測定工程と、第1測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった液滴吐出ヘッド14を、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、液滴44を吐出した後、液滴吐出ヘッド14から吐出された液滴44の吐出量を測定する第2測定工程とを有する。

概要

背景

従来、ワークに対して液滴を吐出する方法として、インクジェット式液滴吐出装置を用いて吐出する方法が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド(以下、液滴吐出ヘッドと称す)を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。

ワークに対して、機能液を液滴にした後、吐出することにより、塗布する機能液は、各種の材料が用いられている。機能液は、温度により粘度の変わる物が多く、粘度が変わることにより流体抵抗が変化する。流体抵抗が変わることにより、液滴吐出ヘッド内の流路を流れる機能液の流速が変化する。機能液の流速が変化することにより、1ドットあたり吐出量が変動し、吐出量を精度良く測定することが困難であった。

この課題を解決するために、特許文献1において、1ドットあたりの吐出量を精度良く測定する方法が開示されている。これによれば、液滴吐出装置をチャンバ内に設置した後、チャンバ内の温度と湿度を調整することにより、液滴吐出装置の環境を制御して吐出量を測定している。

特開2004−209429号公報

概要

吐出量を精度良く測定できる吐出量測定方法吐出量調整方法液状体吐出方法カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法を提供する。複数のキャリッジ12に複数の液滴吐出ヘッド14が配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、液滴吐出ヘッド14から吐出される液滴44の吐出量を測定する吐出量測定方法に係る。複数の液滴吐出ヘッド列を並べて、液滴吐出ヘッド14から前記液状体を吐出して、液滴吐出ヘッド列の内、液滴吐出ヘッド列に挟まれている液滴吐出ヘッド14から吐出された液滴44の吐出量を測定する第1測定工程と、第1測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった液滴吐出ヘッド14を、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、液滴44を吐出した後、液滴吐出ヘッド14から吐出された液滴44の吐出量を測定する第2測定工程とを有する。

目的

効果

実績

技術文献被引用数
0件
牽制数
8件

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請求項1

複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体吐出量を測定する吐出量測定方法であって、複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第1測定工程と、前記第1測定工程の後に行われ、前記第1測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第2測定工程とを有することを特徴とする吐出量測定方法。

請求項2

請求項1に記載の吐出量測定方法であって、前記第1測定工程及び前記第2測定工程は、前記吐出量を測定する予定の前記液滴吐出ヘッドが待機する吐出前待機工程と、前記液状体を吐出する測定用吐出工程と、吐出された前記液状体の吐出量を測定する測定工程とを有し、前記吐出前待機工程において、前記液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することを特徴とする吐出量測定方法。

請求項3

請求項2に記載の吐出量測定方法であって、前記暖機駆動は、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出しない程度に駆動して、暖機駆動を行うことを特徴とする吐出量測定方法。

請求項4

請求項2に記載の吐出量測定方法であって、前記暖機駆動は、前記測定用吐出工程において前記液状体を吐出する場所と、略同じ場所で、暖機駆動を行うことを特徴とする吐出量測定方法。

請求項5

請求項1に記載の吐出量測定方法であって、前記第1測定工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第2測定工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定することを特徴とする吐出量測定方法。

請求項6

請求項1に記載の吐出量測定方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第1測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を測定した前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドであって、測定した前記液滴吐出ヘッドと近い場所に位置する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第2測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を測定した前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドであって、測定した前記液滴吐出ヘッドと近い場所に位置する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第1測定工程と、前記第2測定工程とを繰り返して、測定する予定である総ての行における前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定することを特徴とする吐出量測定方法。

請求項7

請求項1に記載の吐出量測定方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第1測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定し、前記第2測定工程においては、前記第1測定工程で測定した前記液滴吐出ヘッドの隣りに位置し、前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第1測定工程と、前記第2測定工程とを繰り返して、所定の行に属する前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定の、総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、測定していない前記液滴吐出ヘッドが属する行に切り換えて、前記第1測定工程と、前記第2測定工程とを繰り返して、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定することを特徴とする吐出量測定方法。

請求項8

複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を調整する吐出量調整方法であって、複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第1測定工程と、前記第1測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第1調整工程と、前記第1調整工程の後に行われ、前記第1測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第2測定工程と、前記第2測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第2調整工程とを有することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項9

請求項8に記載の吐出量調整方法であって、前記第1測定工程と前記第1調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第1吐出量調整工程と、前記第2測定工程と前記第2調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第2吐出量調整工程とを有することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項10

請求項8に記載の吐出量調整方法であって、前記第1測定工程及び前記第2測定工程は、前記吐出量を測定する予定の前記液滴吐出ヘッドが待機する吐出前待機工程と、前記液状体を吐出する測定用吐出工程と、吐出された前記液状体の吐出量を測定する測定工程とを有し、前記吐出前待機工程において、前記液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項11

請求項10に記載の吐出量調整方法であって、前記暖機駆動は、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出しない程度に駆動して、暖機駆動を行うことを特徴とする吐出量調整方法。

請求項12

請求項10に記載の吐出量調整方法であって、前記暖機駆動は、前記測定用吐出工程において前記液状体を吐出する場所と、略同じ場所で、暖機駆動を行うことを特徴とする吐出量調整方法。

請求項13

請求項9に記載の吐出量調整方法であって、前記第1吐出量調整工程では、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッド及び、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を調整することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項14

請求項8に記載の吐出量調整方法であって、前記第1測定工程及び前記第1調整工程とからなる工程と、前記第2測定工程及び前記第2調整工程とからなる工程との少なくとも一方の工程において、測定工程及び調整工程が複数行われ、前記調整工程は、粗調整工程と、微調整工程とを有することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項15

請求項14に記載の吐出量調整方法であって、前記粗調整工程の前に行われる測定工程において、吐出する前記液状体の量は、前記微調整工程の前に行われる測定工程において、吐出する前記液状体の量に比べて、少ない量であることを特徴とする吐出量調整方法。

請求項16

請求項14に記載の吐出量調整方法であって、前記粗調整工程の前に行われる測定工程において、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を単位時間に吐出する回数は、前記微調整工程の前に行われる測定工程において、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を単位時間に吐出する回数に比べて、多い回数であることを特徴とする吐出量調整方法。

請求項17

請求項8に記載の吐出量調整方法であって、前記第1調整工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第2調整工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整測定することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項18

請求項8に記載の吐出量調整方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第1調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を調整した前記液滴吐出ヘッドの行に属する一部の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第2調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を調整した前記液滴吐出ヘッドの行に属する一部の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第1調整工程と、前記第2調整工程とを繰り返して、調整する予定である総ての行における前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項19

請求項8に記載の吐出量調整方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第1調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整し、前記第2調整工程においては、前記第1調整工程で調整した前記液滴吐出ヘッドの隣りに位置し、前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第1調整工程と、前記第2調整工程とを繰り返して、所定の行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、調整していない前記液滴吐出ヘッドが属する行に切り換えて、前記第1調整工程と、前記第2調整工程とを繰り返して、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項20

複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を調整する吐出量調整方法であって、複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第1測定工程と、前記第1測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第1調整工程と、前記第1調整工程の後に行われ、前記第1測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第2測定工程と、前記第2測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第2調整工程とを有し、前記第1測定工程と前記第1調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第1吐出量調整工程と、前記第2測定工程と前記第2調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第2吐出量調整工程とを有し、前記第1吐出量調整工程では、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドに加え、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を粗調整することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項21

請求項20に記載の吐出量調整方法であって、前記第1吐出量調整工程において、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量は、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量に比べて、少ない吐出量が吐出されるように調整することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項22

請求項20に記載の吐出量調整方法であって、前記第2測定工程において、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出する前記液状体の吐出量は、前記第1吐出量調整工程にて設定した吐出量より少ない吐出量が吐出されるように設定を変更した後、前記液状体を吐出して、前記第2調整工程において、吐出量を調整することを特徴とする吐出量調整方法。

請求項23

ワークに液状体を液滴吐出ヘッドから吐出する液状体の吐出方法であって、吐出量を調整する吐出量調整工程と、前記ワークに液滴を吐出する塗布工程とを有し、前記吐出量調整工程では、請求項8〜22のいずれか一項に記載の吐出量調整方法を用いて調整することを特徴とする液状体の吐出方法。

請求項24

基板上にカラーインクを塗布して形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、請求項23に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記カラーインクを吐出して塗布することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。

請求項25

第1基板と第2基板とに配向膜を形成し、前記第1基板と前記第2基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、請求項23に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第1基板と前記第2基板との内、少なくとも一方に、前記配向膜の材料を吐出して塗布した後、固化することにより、前記配向膜を形成することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

請求項26

第1基板に液晶を塗布した後、前記第1基板と第2基板との間に、前記液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、請求項23に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第1基板に前記液晶を吐出して塗布することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。

請求項27

基板に発光素子形成材料を塗布した後、固化することにより、発光素子を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項23に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記発光素子形成材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

請求項28

基板に液状体の電極材料を塗布した後、固化することにより、電極を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項23に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記電極材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

請求項29

基板に液状体の配線材料を塗布した後、固化することにより、配線を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項23に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記配線材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

請求項30

基板に液状体の半導体材料を塗布して、固化した後、加熱することにより、半導体を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、請求項23に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記半導体材料を吐出して塗布することを特徴とする電気光学装置の製造方法。

技術分野

0001

本発明は、吐出量測定方法吐出量調整方法液状体吐出方法カラーフィルタの製造方法、液晶表示装置の製造方法、及び電気光学装置の製造方法に係り、特に、液滴吐出ヘッドから吐出する液滴の吐出量を精度良く測定する方法に関するものである。

背景技術

0002

従来、ワークに対して液滴を吐出する方法として、インクジェット式液滴吐出装置を用いて吐出する方法が知られている。液滴吐出装置は、基板等のワークを載置してワークを一方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置において、テーブルの移動方向と直交する方向に配置されるガイドレールに沿って移動するキャリッジとを備えている。キャリッジはインクジェットヘッド(以下、液滴吐出ヘッドと称す)を配置し、ワークに対して液滴を吐出して、塗布していた。

0003

ワークに対して、機能液を液滴にした後、吐出することにより、塗布する機能液は、各種の材料が用いられている。機能液は、温度により粘度の変わる物が多く、粘度が変わることにより流体抵抗が変化する。流体抵抗が変わることにより、液滴吐出ヘッド内の流路を流れる機能液の流速が変化する。機能液の流速が変化することにより、1ドットあたりの吐出量が変動し、吐出量を精度良く測定することが困難であった。

0004

この課題を解決するために、特許文献1において、1ドットあたりの吐出量を精度良く測定する方法が開示されている。これによれば、液滴吐出装置をチャンバ内に設置した後、チャンバ内の温度と湿度を調整することにより、液滴吐出装置の環境を制御して吐出量を測定している。

0005

特開2004−209429号公報

発明が解決しようとする課題

0006

液滴吐出ヘッドのキャビティを、圧電素子を用いて加圧するとき、圧電素子の動作に加えられるエネルギの一部は、熱に変換し、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させる要因となっている。また、圧電素子が駆動されていないとき、圧電素子は発熱せず、液滴吐出ヘッドは放熱するため、液滴吐出ヘッドの温度が変動する要因となっている。

0007

吐出量を測定するときに、吐出量は温度の影響を受けることから、測定時におけるヘッド温度は、測定する毎に略同じ温度条件で測定しないとき、測定精度が低下するという課題がある。

課題を解決するための手段

0008

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

0009

[適用例1]
本適用例にかかる吐出量測定方法は、複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を測定する吐出量測定方法であって、複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第1測定工程と、前記第1測定工程の後に行われ、前記第1測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第2測定工程とを有することを特徴とする。

0010

この吐出量測定方法によれば、吐出量の測定を第1測定工程と第2測定工程とに分けて測定している。

0011

ノズルから液状体を液滴にして吐出するとき、液状体を加圧する。液状体を加圧することにより、液状体の圧力が高くなる。このとき、ノズルでは、液状体と気体とが接した状態となっている。そして、液状体の圧力が、気体の気圧より高くなることから、液状体の一部が液滴となって、気体中に吐出される。

0012

液状体を加圧するとき、加圧するエネルギの一部は、熱に変換される。そして、液滴吐出ヘッドの温度が上昇する。液状体は、温度が上昇すると、液状体を構成する分子運動エネルギが増加するので、粘度が低くなるものが多い。液状体の粘度が変化すると、ノズル等の流路を通過するときの流体抵抗が変化する。そして、ノズルから吐出される液状体の吐出量が変化する。

0013

第1測定工程では、複数の液滴吐出ヘッド列を並べて液状体を吐出する。このとき、液滴吐出ヘッド列が、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッド列が、他の液滴吐出ヘッドに挟まれていない状態の液滴吐出ヘッドとが存在する。そして、各液滴吐出ヘッドは、吐出するとき温度が上昇するので、吐出する液滴吐出ヘッドは、総て温度が上昇する。

0014

他の液滴吐出ヘッド列に挟まれていない状態の液滴吐出ヘッドは、その一面が空気の流れと接しており放熱し易いので、温度が上昇し難くなっている。一方、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列は、挟んでいる液滴吐出ヘッド列も温度上昇するので、放熱し難くなっているため、温度が上昇し易くなっている。つまり、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドは、他の液滴吐出ヘッドに挟まれていない状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドと比べて、温度が上昇し易くなっている。

0015

この測定方法では、第1測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドから吐出するときの吐出量を測定している。そして、第2測定工程では、第1測定工程にて他の液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった液滴吐出ヘッド列を、他の液滴吐出ヘッド列にて挟んで、液状体を吐出した後、吐出量を測定している。つまり、第1測定工程及び第2測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドから吐出するときの吐出量を測定している。従って、液滴吐出ヘッドは、略同じ温度における吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

0016

[適用例2]
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、前記第1測定工程及び前記第2測定工程は、前記吐出量を測定する予定の前記液滴吐出ヘッドが待機する吐出前待機工程と、前記液状体を吐出する測定用吐出工程と、吐出された前記液状体の吐出量を測定する測定工程とを有し、前記吐出前待機工程において、前記液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することを特徴とする。

0017

この吐出量測定方法によれば、吐出前待機工程において、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させている。そして、液滴吐出ヘッドの温度が高い状態における吐出量を測定している。ワークに液状体を吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出するので、液滴吐出ヘッドの温度が上昇している。つまり、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、ワークに液状体を吐出するときと略同じ温度における吐出量を測定することができる。従って、ワークに液状体を吐出するときの吐出量を精度良く測定することができる。

0018

[適用例3]
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、前記暖機駆動は、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出しない程度に駆動して、暖機駆動を行うことを特徴とする。

0019

この吐出量測定方法によれば、ノズルから液滴が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴が無駄に吐出されない為、省資源な吐出量測定方法とすることができる。

0020

[適用例4]
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、前記暖機駆動は、前記測定用吐出工程において前記液状体を吐出する場所と、略同じ場所で、暖機駆動を行うことを特徴とする。

0021

この吐出量測定方法によれば、液滴吐出ヘッドが、測定するために液状体を吐出する場所と暖機駆動する場所とが略同じ場所である為、液滴吐出ヘッドが暖機駆動した後、測定するために液状体を吐出する場所に移動する必要がない。従って、液滴吐出ヘッドを移動する間に液滴吐出ヘッドを冷やさないで吐出することができる為、液滴吐出ヘッドの温度における分散を小さくして、吐出量を測定することができる。その結果、吐出量を精度良く測定することができる。

0022

[適用例5]
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、前記第1測定工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第2測定工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定することを特徴とする。

0023

この吐出量測定方法によれば、一つのキャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドにおける吐出量を総て測定してから、順次、キャリッジを変えて、各キャリッジに搭載されている前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定している。従って、キャリッジの移動量が少なくなる方法を用いて測定している。その結果、キャリッジを移動させるエネルギを少なくすることができる為、省資源な測定方法とすることができる。

0024

[適用例6]
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第1測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を測定した前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドであって、測定した前記液滴吐出ヘッドと近い場所に位置する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第2測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を測定した前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドであって、測定した前記液滴吐出ヘッドと近い場所に位置する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、順次、各前記キャリッジに搭載された測定する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第1測定工程と、前記第2測定工程とを繰り返して、測定する予定である総ての行における前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定することを特徴とする。

0025

この吐出量測定方法によれば、同じ行に属する液滴吐出ヘッドにおいて、近い場所に位置する液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、順次、行を変えて測定している。液滴吐出ヘッドの吐出量を測定するとき、液滴吐出ヘッドは、温度が管理されている環境内で測定される。このとき、温度は大きな周期で変化していることが多い。このとき、液滴吐出ヘッドのある行の内、近くに位置する液滴吐出ヘッドの吐出量を続けて測定している。従って、同一行において近い位置のヘッドは、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を測定することができる。

0026

[適用例7]
上記適用例にかかる吐出量測定方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第1測定工程において、一つのキャリッジに搭載された測定予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を測定し、前記第2測定工程においては、前記第1測定工程で測定した前記液滴吐出ヘッドの隣りに位置し、前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、前記第1測定工程と、前記第2測定工程とを繰り返して、所定の行に属する前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定の、総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定し、測定していない前記液滴吐出ヘッドが属する行に切り換えて、前記第1測定工程と、前記第2測定工程とを繰り返して、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定することを特徴とする。

0027

この吐出量測定方法によれば、一つの液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、その測定した液滴吐出ヘッドの隣に位置していた液滴吐出ヘッドの吐出量を測定している。従って、周囲の温度の変化があるときにも、同一行において近い位置のヘッドは、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を測定することができる。

0028

[適用例8]
本適用例にかかる吐出量調整方法は、複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を調整する吐出量調整方法であって、複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第1測定工程と、前記第1測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第1調整工程と、前記第1調整工程の後に行われ、前記第1測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第2測定工程と、前記第2測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第2調整工程とを有することを特徴とする。

0029

この吐出量調整方法によれば、第1測定工程にて測定した液滴吐出ヘッドを第1調整工程にて調整した後、第2測定工程にて測定した液滴吐出ヘッドを第2調整工程にて調整している。そして、第1測定工程及び第2測定工程において、精度良く吐出量を測定した測定結果に基づいて、第1調整工程及び第2調整工程において、吐出量を調整している。従って、第1調整工程及び第2調整工程において、吐出量を精度良く調整することができる。

0030

[適用例9]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第1測定工程と前記第1調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第1吐出量調整工程と、前記第2測定工程と前記第2調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第2吐出量調整工程とを有することを特徴とする。

0031

この吐出量調整方法によれば、第1吐出量調整工程と第2吐出量調整工程とを有している。そして、第1吐出量調整工程では、第1測定工程で測定した吐出量の測定結果に基づき、第1調整工程において、吐出量の調整を行っている。次に、第1測定工程と第1調整工程とを繰り返すことにより、吐出量を目標吐出量に近づけている。従って、調整工程を1回しか行わない方法に比べて、吐出量を精度良く調整することができる。

0032

そして、第2吐出量調整においても、同様に行われることから、調整工程を1回しか行わない方法に比べて、吐出量を精度良く調整することができる。その結果、吐出量を精度良く調整可能な方法とすることができる。

0033

[適用例10]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第1測定工程及び前記第2測定工程は、前記吐出量を測定する予定の前記液滴吐出ヘッドが待機する吐出前待機工程と、前記液状体を吐出する測定用吐出工程と、吐出された前記液状体の吐出量を測定する測定工程とを有し、前記吐出前待機工程において、前記液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することを特徴とする。

0034

この吐出量調整方法によれば、吐出前待機工程において、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、液滴吐出ヘッドの温度を上昇させている。そして、液滴吐出ヘッドの温度が高い状態における吐出量を測定している。ワークに液状体を吐出するとき、液滴吐出ヘッドは、液状体を吐出するので、液滴吐出ヘッドの温度が上昇している。つまり、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、ワークに液状体を吐出するときと略同じ温度における吐出量を測定した後、吐出量を調整している。従って、ワークに液状体を吐出するときの吐出量を精度良く調整することができる。

0035

[適用例11]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記暖機駆動は、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出しない程度に駆動して、暖機駆動を行うことを特徴とする。

0036

この吐出量調整方法によれば、ノズルから液滴が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴が無駄に吐出されない為、省資源な吐出量調整方法とすることができる。

0037

[適用例12]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記暖機駆動は、前記測定用吐出工程において前記液状体を吐出する場所と、略同じ場所で、暖機駆動を行うことを特徴とする。

0038

この吐出量調整方法によれば、液滴吐出ヘッドが、測定するために液状体を吐出する場所と暖機駆動する場所とが略同じ場所である為、液滴吐出ヘッドが暖機駆動した後、測定するために液状体を吐出する場所に移動する必要がない。従って、液滴吐出ヘッドを移動する間に液滴吐出ヘッドを冷やさないで吐出することができる為、前記液滴吐出ヘッドの温度における分散を小さくして、吐出量を測定することができる。その結果、吐出量を精度良く測定することができる。

0039

[適用例13]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第1吐出量調整工程では、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッド及び、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を調整することを特徴とする。

0040

この吐出量調整方法によれば、第1測定工程において、他の液滴吐出ヘッドに挟まれていない液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドは、第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程の両方の工程において、吐出量が調整される。

0041

第1測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッドは、第1吐出量調整工程において、吐出量の調整が行われる。そして、この液滴吐出ヘッドの吐出量は、目標吐出量に近くなるように調整された後、第2吐出量調整工程において、再度、吐出量が調整される。第2吐出量調整工程では、液滴吐出ヘッドの温度が、第1吐出量調整工程における温度よりも上昇する。そして、液滴吐出ヘッドは、第1吐出量調整工程にて調整されない場合に比べて、少ない繰り返し回数により調整をすることができる。その結果、生産性の良い調整方法とすることができる。

0042

[適用例14]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第1測定工程及び前記第1調整工程とからなる工程と、前記第2測定工程及び前記第2調整工程とからなる工程との少なくとも一方の工程において、測定工程及び調整工程が複数行われ、前記調整工程は、粗調整工程と、微調整工程とを有することを特徴とする。

0043

ここで、粗調整工程と微調整工程との違いは、調整するときの吐出量の大きさである。そして、粗調整工程では、微調整工程に比べて、吐出量を大きく変えて調整される。この吐出量調整方法によれば、粗調整と微調整とを行っている。このとき、微調整を繰り返して、吐出量を少量ずつ調整する場合に比べて、粗調整により、吐出量を大きく変化させる工程と微調整工程をと組み合わせて行う方が、少ない回数で、目標とする吐出量に調整することが多い。従って、生産性良く調整を行うことができる。

0044

[適用例15]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記粗調整工程の前に行われる測定工程において、吐出する前記液状体の量は、前記微調整工程の前に行われる測定工程において、吐出する前記液状体の量に比べて、少ない量であることを特徴とする。

0045

この吐出量調整方法によれば、粗調整工程では、微調整工程に比べて、少ない吐出量で吐出量の測定を行っている。従って、吐出する液状体の消費量を少なくすることができる。その結果、省資源な調整方法とすることができる。

0046

[適用例16]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記粗調整工程の前に行われる測定工程において、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を単位時間に吐出する回数は、前記微調整工程の前に行われる測定工程において、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を単位時間に吐出する回数に比べて、多い回数であることを特徴とする。

0047

この吐出量調整方法によれば、粗調整工程では、微調整工程に比べて、単位時間に吐出する回数を多くしている。粗調整工程及び、微調整工程において、略同じ回数の吐出を行って、吐出量を測定するとき、粗調整工程の方が短い時間で、吐出することができる。従って、生産性良く調整することができる。

0048

[適用例17]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第1調整工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、測定する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第2調整工程において、一つのキャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定である総ての前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整測定することを特徴とする。

0049

この吐出量調整方法によれば、一つのキャリッジに搭載された液滴吐出ヘッドにおける吐出量を総て測定してから、順次、キャリッジを変えて、各キャリッジに搭載されている前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整している。従って、キャリッジの移動量が少なくなる方法を用いて調整している。その結果、キャリッジを移動させるエネルギを少なくすることができる為、省資源な調整方法とすることができる。

0050

[適用例18]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第1調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を調整した前記液滴吐出ヘッドの行に属する一部の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第2調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整した後、別の前記キャリッジに搭載された前記液滴吐出ヘッドの内、吐出量を調整した前記液滴吐出ヘッドの行に属する一部の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、順次、各前記キャリッジに搭載された調整する予定の前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第1調整工程と、前記第2調整工程とを繰り返して、調整する予定である総ての行における前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整することを特徴とする。

0051

この吐出量調整方法によれば、同じ行に属する液滴吐出ヘッドにおいて、近い場所に位置する液滴吐出ヘッドにおける吐出量を測定した後、順次、行を変えて測定している。液滴吐出ヘッドの吐出量を測定するとき、液滴吐出ヘッドは、温度が管理されている環境内で測定される。このとき、温度は大きな周期で変化していることが多い。このとき、ある液滴吐出ヘッドのある行の内、近くに位置する液滴吐出ヘッドの吐出量を続けて調整している。従って、同一行において近い位置のヘッドは、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる。

0052

[適用例19]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、複数の前記キャリッジに搭載された複数の前記液滴吐出ヘッド列により、前記液滴吐出ヘッドの複数の行が形成され、前記第1調整工程において、一つのキャリッジに搭載された調整予定の前記液滴吐出ヘッドの内、一部の前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整し、前記第2調整工程においては、前記第1調整工程で調整した前記液滴吐出ヘッドの隣りに位置し、前記液滴吐出ヘッドの行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、前記第1調整工程と、前記第2調整工程とを繰り返して、所定の行に属する前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整し、調整していない前記液滴吐出ヘッドが属する行に切り換えて、前記第1調整工程と、前記第2調整工程とを繰り返して、前記液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整することを特徴とする。

0053

この吐出量調整方法によれば、一つの液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整した後、その調整した液滴吐出ヘッドの隣に位置していた液滴吐出ヘッドの吐出量を調整している。従って、周囲の温度の変化があるときにも、同一行において近い位置のヘッドは、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる。

0054

[適用例20]
本適用例にかかる吐出量調整方法は、複数のキャリッジに複数の液滴吐出ヘッドが配列して搭載された液滴吐出ヘッド列の、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液状体の吐出量を調整する吐出量調整方法であって、複数の前記液滴吐出ヘッド列を並べて、前記液滴吐出ヘッドから前記液状体を吐出して、前記液滴吐出ヘッド列の内、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第1測定工程と、前記第1測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第1調整工程と、前記第1調整工程の後に行われ、前記第1測定工程において、他の前記液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった前記液滴吐出ヘッドを、他の前記液滴吐出ヘッド列にて挟んで、前記液状体を吐出した後、前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を測定する第2測定工程と、前記第2測定工程にて測定した前記液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する第2調整工程とを有し、前記第1測定工程と前記第1調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第1吐出量調整工程と、前記第2測定工程と前記第2調整工程とを繰り返して、前記吐出量を目標吐出量に近づける第2吐出量調整工程とを有し、前記第1吐出量調整工程では、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドに加え、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッド列に属する前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量を粗調整することを特徴とする。

0055

この吐出量調整方法によれば、液滴吐出ヘッドが、第1吐出量調整工程にて調整されない場合に比べて、少ない繰り返し回数により調整をすることができる。その結果、生産性の良い調整方法とすることができる。

0056

[適用例21]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第1吐出量調整工程において、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれていない前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量は、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出された前記液状体の吐出量に比べて、少ない吐出量が吐出されるように調整することを特徴とする。

0057

この吐出量調整方法によれば、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドから吐出された液状体の吐出量が少なくなるように調整している。液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドは、風の影響を受けるので、温度が低くなる。そして、温度が低くなるとき、吐出量が少なくなる。目標とする吐出量の液状体を吐出するように調整した後、他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、液滴吐出ヘッドの温度が高くなるので、吐出量が目標とする吐出量を越えることになる。

0058

ここで、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドから吐出された液状体の吐出量が目標の吐出量より少なくなるように調整される。従って、他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、吐出量を目標とする吐出量に近い吐出量から調整を開始することができる。その結果、少ない調整回数で調整ができる為、生産性良く調整することができる。

0059

[適用例22]
上記適用例にかかる吐出量調整方法であって、前記第2測定工程において、前記液滴吐出ヘッド列に挟まれている前記液滴吐出ヘッドから吐出する前記液状体の吐出量は、前記第1吐出量調整工程にて設定した吐出量より少ない吐出量が吐出されるように設定を変更した後、前記液状体を吐出して、前記第2調整工程において、吐出量を調整することを特徴とする。

0060

この吐出量調整方法によれば、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドから吐出された液状体の吐出量が目標の吐出量より少なくなるように調整する。従って、他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、吐出量を目標とする吐出量に近い吐出量から調整を開始することができる。その結果、少ない調整回数で調整ができる為、生産性良く調整することができる。

0061

[適用例23]
本適用例にかかる液状体の吐出方法は、ワークに液状体を液滴吐出ヘッドから吐出する液状体の吐出方法であって、吐出量を調整する吐出量調整工程と、前記ワークに液滴を吐出する塗布工程とを有し、前記吐出量調整工程では、上記適用例に記載の吐出量調整方法を用いて調整することを特徴とする。

0062

この液状体の吐出方法によれば、吐出量を測定した後、吐出量を調整することにより、吐出量を所望の吐出量にして、ワークに吐出している。そして、精度良く測定した吐出量の測定値を基に、吐出量を調整する為、ワークに吐出する吐出量は、精度良く調整された吐出量の吐出をすることができる。その結果、吐出量を精度良くワークに吐出することができる。

0063

[適用例24]
本適用例にかかるカラーフィルタの製造方法は、基板上にカラーインクを塗布して形成する工程を有するカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記カラーインクを吐出して塗布することを特徴とする。

0064

このカラーフィルタの製造方法によれば、カラーインクの吐出量を精度良く吐出して塗布することから、カラーインクの塗布量が精度良く塗布されるカラーフィルタの製造方法とすることができる。

0065

[適用例25]
本適用例にかかる液晶表示装置の製造方法は、第1基板と第2基板とに配向膜を形成し、前記第1基板と前記第2基板との間に、液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第1基板と前記第2基板との内、少なくとも一方に、前記配向膜の材料を吐出して塗布した後、固化することにより、前記配向膜を形成することを特徴とする。

0066

この液晶表示装置の製造方法によれば、配向膜の材料における吐出量を精度良く吐出して塗布することから、配向膜の材料における塗布量が精度良く塗布される液晶表示装置の製造方法とすることができる。

0067

[適用例26]
本適用例にかかる液晶表示装置の製造方法は、第1基板に液晶を塗布した後、前記第1基板と第2基板との間に、前記液晶を挟んで形成する工程を有する液晶表示装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記第1基板に前記液晶を吐出して塗布することを特徴とする。

0068

この液晶表示装置の製造方法によれば、液晶の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、液晶の塗布量が精度良く塗布される液晶表示装置の製造方法とすることができる。

0069

[適用例27]
本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、基板に発光素子形成材料を塗布した後、固化することにより、発光素子を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記発光素子形成材料を吐出して塗布することを特徴とする。

0070

この電気光学装置の製造方法によれば、発光素子形成材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、発光素子形成材料の塗布量が精度良く塗布される電気光学装置の製造方法とすることができる。

0071

[適用例28]
本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の電極材料を塗布した後、固化することにより、電極を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記電極材料を吐出して塗布することを特徴とする。

0072

この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、電極材料の塗布量が精度良く塗布されて、電極が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。

0073

[適用例29]
本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の配線材料を塗布した後、固化することにより、配線を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記配線材料を吐出して塗布することを特徴とする。

0074

この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、配線材料の塗布量が精度良く塗布されて、配線が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。

0075

[適用例30]
本適用例にかかる電気光学装置の製造方法は、基板に液状体の半導体材料を塗布して、固化した後、加熱することにより、半導体を形成する工程を有する電気光学装置の製造方法であって、上記適用例に記載の液状体の吐出方法を用いて、前記基板に前記液状体の前記半導体材料を吐出して塗布することを特徴とする。

0076

この電気光学装置の製造方法によれば、液状体の半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布することから、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されて、半導体が形成される電気光学装置の製造方法とすることができる。

発明を実施するための最良の形態

0077

以下、実施形態について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
(第1の実施形態)
本実施形態では、液滴吐出装置と、この液滴吐出装置を用いて液状体を液滴にして吐出する場合の特徴的な例について図1図9に従って説明する。

0078

(液滴吐出装置)
最初に、ワークに液滴を吐出して塗布する液滴吐出装置1について図1図3に従って説明する。液滴吐出装置に関しては様々な種類の装置があるが、インクジェット法を用いた装置が好ましい。インクジェット法は微小液滴の吐出が可能であるため、微細加工に適している。

0079

図1は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図である。液滴吐出装置1により、機能液が吐出され塗布される。
図1に示すように、液滴吐出装置1には、直方体形状に形成される基台2が備えられている。本実施形態では、この基台2の長手方向をY方向とし、同Y方向と直交する方向をX方向とする。

0080

基台2の上面2aには、Y方向に延在する一対の案内レール3a,3bが同Y方向全幅にわたり凸設されている。その基台2の上側には、案内レール3a,3bに対応する図示しない直動機構を備えた走査手段を構成するテーブルとしてのステージ4が取付けられている。そのステージ4の直動機構は、例えば案内レール3a,3bに沿ってY方向に延びるネジ軸駆動軸)と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するY軸モータ(図示しない)に連結されている。そして、所定のステップ数に相対する駆動信号がY軸モータに入力されると、Y軸モータが正転又は逆転して、ステージ4が同ステップ数に相当する分だけ、Y方向に沿って所定の速度で往動又は、復動する(Y方向に走査する)ようになっている。

0081

さらに、基台2の上面2aには、案内レール3a,3bと平行に主走査位置検出装置5が配置され、ステージ4の位置が計測できるようになっている。

0082

そのステージ4の上面には、載置面6が形成され、その載置面6には、図示しない吸引式の基板チャック機構が設けられている。そして、載置面6にワークとしての基板7を載置すると、基板チャック機構によって、その基板7が載置面6の所定位置位置決め固定されるようになっている。

0083

基台2のX方向両側には、一対の支持台8a,8bが立設され、その一対の支持台8a,8bには、X方向に延びる案内部材9が架設されている。

0084

案内部材9の上側には、吐出する液体を供給可能に収容する収容タンク10が配設されている。一方、その案内部材9の下側には、X方向に延びる案内レール11がX方向全幅にわたり凸設されている。

0085

案内レール11に沿って移動可能に配置されるキャリッジ12は、第1キャリッジ12a〜第6キャリッジ12fの6個のキャリッジから構成され、各キャリッジ12a〜12fは、底面が略平行四辺形の角柱形状に形成されている。その各キャリッジ12a〜12fは直動機構を備え、各キャリッジ12a〜12fが個別に移動可能となっている。その直動機構は、例えば案内レール11に沿ってX方向に延びるネジ軸(駆動軸)と、同ネジ軸と螺合するボールナットを備えたネジ式直動機構であって、その駆動軸が、所定のパルス信号を受けてステップ単位で正逆転するX軸モータ(図示しない)に連結されている。そして、所定のステップ数に相当する駆動信号をX軸モータに入力すると、X軸モータが正転又は逆転して、キャリッジ12が同ステップ数に相当する分だけX方向に沿って往動又は復動する(X方向に走査する)。案内部材9とキャリッジ12との間には、副走査位置検出装置13が配置され、各キャリッジ12a〜12fの位置が計測できるようになっている。そして、キャリッジ12の下面(ステージ4側の面)には、液滴吐出ヘッド14が凸設されている。

0086

基台2の上側であって、ステージ4の片側の一方(図中Y方向の逆方向)には、クリーニングユニット15が配置されている。クリーニングユニット15は、保守ステージ16と、保守ステージ16の上に配置されている、第1フラッシングユニット17、第2フラッシングユニット18、キャッピングユニット19、ワイピングユニット20、重量測定装置21等により構成されている。

0087

保守ステージ16は、案内レール3a,3b上に位置し、ステージ4と同様の直動機構を備えている。そして、図示しない保守ステージ位置検出装置を用いて位置を検出し、直動機構で移動することにより、所望の場所に移動し、停止することが可能となっている。そして、保守ステージ16が、案内レール3a,3bに沿って移動することにより、液滴吐出ヘッド14と対向する場所に、第1フラッシングユニット17、第2フラッシングユニット18、キャッピングユニット19、ワイピングユニット20、重量測定装置21のいずれか一つの装置が配置されるようになっている。

0088

第1フラッシングユニット17及び第2フラッシングユニット18は、液滴吐出ヘッド14内の流路を洗浄するとき、液滴吐出ヘッド14から吐出する液滴を受ける装置である。液滴吐出ヘッド14内の機能液が揮発するとき、機能液の粘度が高くなるので、吐出し難くなる。この場合に、粘度の高くなった機能液を液滴吐出ヘッド14から排除するため、液滴吐出ヘッド14から液滴を吐出して洗浄する。この液滴を受ける機能を第1フラッシングユニット17及び第2フラッシングユニット18が行っている。

0089

キャッピングユニット19は、液滴吐出ヘッド14に蓋をする機能と、液滴吐出ヘッド14の機能液を吸引する機能とを有する装置である。液滴吐出ヘッド14から吐出する液滴は、揮発性を有する場合があり、液滴吐出ヘッド14に内在する機能液の溶媒がノズルから揮発すると、機能液の粘度が変わり、ノズルが目詰まりすることがある。キャッピングユニット19は、液滴吐出ヘッド14に蓋をすることで、ノズルが目詰まりすることを防止するようになっている。

0090

さらに、液滴吐出ヘッド14の内部に固形物混入して、液滴を吐出できなくなったとき、液滴吐出ヘッド14の内部の機能液と固形物とを吸引して、除去する。そして、ノズルの目詰まりを解消するようになっている。

0091

ワイピングユニット20は、液滴吐出ヘッド14のノズルが配置されているノズルプレートを拭く装置である。ノズルプレートは、液滴吐出ヘッド14において、基板7と対向する側の面に配置されている部材である。ノズルプレートに液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と基板7とが接触して、基板7において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことがある。

0092

さらに、ノズル周辺に液滴が付着しているとき、ノズルプレートに付着している液滴と吐出する液滴とが接触して、吐出する液滴の軌道が曲がる。従って、塗布する場所が、塗布する予定の場所と異なってしまうことがある。ワイピングユニット20は、ノズルプレートを拭くことにより、基板7において、予定外の場所に液滴が付着してしまうことを防止している。

0093

重量測定装置21には、電子天秤が12台設置され、各電子天秤には、受け皿が配置されている。電子天秤は、3個が一つの列に配列して、略Y方向に形成され、この列が4列配置されている。そして、液滴が、液滴吐出ヘッド14から受け皿に吐出され、電子天秤が液滴の重量を測定するようになっている。受け皿は、スポンジ状の吸収体を備え、吐出される液滴が、跳ねて、受け皿の外に出ないようになっている。この電子天秤は、液滴吐出ヘッド14が液滴を吐出する前後で、受け皿の重量を測定する。そして、吐出前後における受け皿の重量の差分を演算することにより、吐出する液滴の重量を測定可能となっている。

0094

重量測定装置21の両側には、第1フラッシングユニット17と第2フラッシングユニット18とが配置されている。そして、一部の液滴吐出ヘッド14から吐出される吐出量を測定している間、他の液滴吐出ヘッド14は、第1フラッシングユニット17又は、第2フラッシングユニット18と対向する場所に位置して、液滴を吐出することが可能となっている。

0095

液滴吐出装置1は、四隅支柱22を備え、上部(図中上側)に、空気制御装置23を備えている。空気制御装置23は、ファンフィルタ冷暖房装置湿度調整装置などを備えている。ファン(送風機)は、工場内の空気を取り込んで、フィルタを通過することにより、空気内の塵や埃を除去し、清浄化された空気を供給する。

0096

冷暖房装置は、液滴吐出装置1の雰囲気温度を所定の温度範囲に保持するように、供給する空気の温度を制御する装置である。湿度調整装置は、液滴吐出装置1の雰囲気湿度を所定の湿度範囲に保持するように、空気を除湿、又は加湿して供給する空気の湿度を制御する装置である。

0097

4本の支柱22の間には、シート24が配置され、空気の流れを遮断するようになっている。空気制御装置23から供給される空気は、空気制御装置23から床25に向かって(図中Z方向の反対方向)流れ、シート24に囲まれる空間内の塵や埃は、床25に向かって流動する。それにより、基板7に塵や埃が付着し難いようになっている。

0098

さらに、シート24が、空気の流れを制限することにより、シート24に囲まれる空間内の温度及び湿度を、シート24の外から影響され難くしている。そして、空気制御装置23がシート24に囲まれる空間内の温度及び湿度を制御し易くなっている。

0099

図2(a)は、キャリッジを示す模式平面図である。図2(a)に示すように、1個のキャリッジ12には、液滴吐出ヘッド14が3個で一つの列に配列して、略Y方向に形成され、この列が2列配置されている。そして、液滴吐出ヘッド14の表面には、ノズルプレート30が配置され、ノズルプレート30には、ノズル31が複数、形成されている。ノズル31の数は、吐出するパターンと基板7の大きさに合わせて設定すればよく、本実施形態においては、例えば、1個のノズルプレート30には、ノズル31の配列が2列形成され、各列には15個のノズル31が配置されている。

0100

図2(b)は、キャリッジを示す模式側面図であり、図2(a)に示すキャリッジをY方向から見た図である。図2(b)に示すように、キャリッジ12は、ベース板32を備えている。ベース板32の上側には、移動機構33が配置されており、キャリッジ12が、案内レール11に沿って移動するための機構が収納されている。

0101

ベース板32の下側には、支持部34を介して駆動回路基板35が配置されている。そして、駆動回路基板35の下側には、ヘッド駆動回路36が配置されている。さらに、ベース板32には、支持部37を介して、ヘッド取付板38が配置され、ヘッド取付板38の下面には、液滴吐出ヘッド14が配置されている。ヘッド駆動回路36と液滴吐出ヘッド14とは、図示しないケーブルにより接続され、ヘッド駆動回路36が出力する駆動信号が、液滴吐出ヘッド14に入力されるようになっている。

0102

ベース板32の下側には、供給装置39が配置され、収容タンク10と供給装置39との間、及び、供給装置39と液滴吐出ヘッド14との間は、図示しないチューブにより接続されている。そして、収容タンク10から供給される機能液が、供給装置39により液滴吐出ヘッド14に供給されるようになっている。

0103

図2(c)は、液滴吐出ヘッドの構造を説明するための要部模式断面図である。図2(c)に示すように、液滴吐出ヘッド14は、ノズルプレート30を備え、ノズルプレート30には、ノズル31が形成されている。ノズルプレート30の上側であって、ノズル31と相対する位置には、ノズル31と連通するキャビティ40が形成されている。そして、液滴吐出ヘッド14のキャビティ40には、収容タンク10に貯留されている液状体としての機能液41が供給される。

0104

キャビティ40の上側には、上下方向(Z方向)に振動して、キャビティ40内の容積拡大縮小する振動板42と、上下方向に伸縮して振動板42を振動させる圧電素子43が配設されている。圧電素子43が上下方向に伸縮して振動板42を加圧して振動し、振動板42がキャビティ40内の容積を拡大縮小してキャビティ40を加圧する。それにより、キャビティ40内の圧力が変動し、キャビティ40内に供給された機能液41は、ノズル31を通って吐出されるようになっている。

0105

そして、液滴吐出ヘッド14が圧電素子43を制御駆動するためのノズル駆動信号を受けると、圧電素子43が伸張して、振動板42がキャビティ40内の容積を縮小する。その結果、液滴吐出ヘッド14のノズル31からは、縮小した容積分の機能液41が液滴44として吐出される。ノズル31から液滴44を吐出するとき、液滴44を吐出するために、液滴吐出ヘッド14に加えられるエネルギの一部が、熱に変換される。そして、液滴吐出ヘッド14は加熱されて、温度が上昇する。

0106

図3は、液滴吐出装置の電気制御ブロック図である。図3において、液滴吐出装置1はプロセッサとして各種の演算処理を行うCPU(演算処理装置)48と、各種情報を記憶するメモリ49とを有する。

0107

主走査駆動装置50、副走査駆動装置51、主走査位置検出装置5、副走査位置検出装置13、液滴吐出ヘッド14を駆動するヘッド駆動回路36は、入出力インターフェース52及びデータバス53を介してCPU48に接続されている。さらに、入力装置54、ディスプレイ装置55、重量測定装置21、第1フラッシングユニット17、第2フラッシングユニット18、キャッピングユニット19、ワイピングユニット20も入出力インターフェース52及びデータバス53を介してCPU48に接続されている。同じく、クリーニングユニット15において、保守ステージ16を駆動する保守ステージ駆動装置56及び、保守ステージ16の位置を検出する保守ステージ位置検出装置57も入出力インターフェース52及びデータバス53を介してCPU48に接続されている。

0108

主走査駆動装置50は、ステージ4の移動を制御する装置であり、副走査駆動装置51は、キャリッジ12の移動を制御する装置である。主走査位置検出装置5が、ステージ4の位置を認識し、主走査駆動装置50が、ステージ4の移動を制御することにより、ステージ4を所望の位置に移動及び停止することが可能になっている。同じく、副走査位置検出装置13が、キャリッジ12の位置を認識し、副走査駆動装置51が、キャリッジ12の移動を制御することにより、キャリッジ12を所望の位置に移動及び停止することが可能となっている。

0109

入力装置54は、液滴44を吐出する各種加工条件を入力する装置であり、例えば、基板7に液滴44を吐出する座標を図示しない外部装置から受信し、入力する装置である。ディスプレイ装置55は、加工条件や、作業状況を表示する装置であり、操作者は、ディスプレイ装置55に表示される情報を基に、入力装置54を用いて操作を行う。

0110

重量測定装置21は、電子天秤及び受け皿を備え、液滴吐出ヘッド14が吐出する液滴44と、液滴44を受ける受け皿との重量を測定する装置である。液滴44が吐出される前後の受け皿の重量を測定して、測定値をCPU48に送信する。

0111

保守ステージ駆動装置56は、第1フラッシングユニット17、第2フラッシングユニット18、キャッピングユニット19、ワイピングユニット20、重量測定装置21から1つの装置を選択して、液滴吐出ヘッド14と対向する場所に位置するように、保守ステージ16を移動する装置である。そして、保守ステージ位置検出装置57が、保守ステージ16の位置を検出した後、保守ステージ駆動装置56が保守ステージ16を移動することにより、所望の装置又はユニットが、確実に、液滴吐出ヘッド14と対向する場所に、移動可能となっている。

0112

メモリ49は、RAM、ROM等といった半導体メモリや、ハードディスクCD−ROMといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、液滴吐出装置1における動作の制御手順記述されたプログラムソフト58を記憶する記憶領域が設定される。さらに、基板7内における吐出位置の座標データである吐出位置データ59を記憶するための記憶領域も設定される。

0113

他にも、液滴吐出ヘッド14の暖機駆動において、駆動回数データなどの暖機駆動データ60が設定される。さらに、ノズル31から吐出される液滴44の重量を測定するときに、圧電素子43を駆動する測定用駆動データ61を記憶するための記憶領域が設定される。

0114

さらに、基板7を主走査方向(Y方向)へ移動する主走査移動量と、キャリッジ12を副走査方向(X方向)へ移動する副走査移動量とを記憶するための記憶領域や、CPU48のためのワークエリアテンポラリファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。

0115

CPU48は、メモリ49内に記憶されたプログラムソフト58に従って、基板7における表面の所定位置に機能液を液滴44にして吐出するための制御を行うものである。具体的な機能実現部として、重量測定を実現するための演算を行う重量測定演算部62を有する。さらに、液滴吐出ヘッド14を洗浄するタイミングを演算する洗浄演算部63や、液滴吐出ヘッド14を暖機駆動するときに、暖機駆動する液滴吐出ヘッド14の選択や、暖機駆動時間の制御を行う暖機制御演算部64を有する。

0116

他に、液滴吐出ヘッド14によって液滴44を吐出するための演算を行う吐出演算部65などを有する。吐出演算部65を詳しく分割すれば、液滴吐出ヘッド14を液滴吐出のための初期位置へセットするための吐出開始位置演算部66を有する。さらに、吐出演算部65は、基板7を主走査方向(Y方向)へ所定の速度で走査移動させるための制御を演算する主走査制御演算部67を有する。加えて、吐出演算部65は、液滴吐出ヘッド14を副走査方向(X方向)へ所定の副走査量で移動させるための制御を演算する副走査制御演算部68を有する。さらに、吐出演算部65は液滴吐出ヘッド14内に複数あるノズルの内、どのノズルを作動させて機能液を吐出するかを制御するための演算を行うノズル吐出制御演算部69等といった各種の機能演算部を有する。

0117

(吐出方法)
次に、上述した液滴吐出装置1を使って、基板7に機能液を吐出して塗布する吐出方法について図4図9にて説明する。図4は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。図5図9は、液滴吐出装置を使った吐出方法を説明する図である。

0118

テップS1は、調整順番設定工程に相当し、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を設定する工程である。次にステップS2に移行する。ステップS2は、吐出前待機工程に相当し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。次にステップS3に移行する。ステップS3は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップS4に移行する。ステップS4は、測定用吐出工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う工程である。次にステップS5に移行する。ステップS5は、測定工程に相当し、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出1回当りの吐出量を演算する工程である。ステップS2〜ステップS5のステップにより、ステップS21の第1測定工程が構成される。次にステップS6に移行する。

0119

ステップS6は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップS5にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき(NOのとき)、ステップS7に移行する。ステップS6において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき(YESのとき)、ステップS8に移行する。ステップS7は、第1調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップS4に移行する。

0120

ステップS8は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップS1にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき(NOのとき)、ステップS3に移行する。ステップS8において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS9に移行する。ステップS2〜ステップS8のステップによりステップS22の第1吐出量調整工程が構成される。

0121

ステップS9は、移動工程に相当し、液滴吐出ヘッドを、第2フラッシングユニット及び重量測定装置と対向する場所から、第1フラッシングユニットと対向する場所へ移動させる工程である。次にステップS10に移行する。ステップS10は、吐出前待機工程に相当し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。次にステップS11に移行する。ステップS11は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップS12に移行する。ステップS12は、測定用吐出工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う工程である。次にステップS13に移行する。ステップS13は、測定工程に相当し、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出1回当りの吐出量を演算する工程である。ステップS10〜ステップS13のステップにより、ステップS23の第2測定工程が構成される。次にステップS14に移行する。

0122

ステップS14は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップS13にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき(NOのとき)、ステップS15に移行する。ステップS14において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき(YESのとき)、ステップS16に移行する。ステップS15は、第2調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップS12に移行する。

0123

ステップS16は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップS1にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき(NOのとき)、ステップS11に移行する。ステップS16において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける総ての、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS17に移行する。ステップS10〜ステップS16のステップによりステップS24の第2吐出量調整工程が構成される。

0124

ステップS17は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0125

次に、図5図9を用いて、図4に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く調整して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。
図5は、ステップS1に対応する図であり、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を説明するための図である。そして、図5(a)は、第1吐出量調整工程における液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を説明するための図である。図5(a)に示すように、キャリッジ12は、第1キャリッジ12a〜第6キャリッジ12fの6個のキャリッジから構成されている。そして、第1キャリッジ12aは、第1ヘッド列71及び第2ヘッド列72を備えている。そして、第1ヘッド列71及び第2ヘッド列72は、各々3個の液滴吐出ヘッド14がY方向に対して斜めに並べて配置されている。

0126

同様に、第2キャリッジ12bは、第3ヘッド列73及び第4ヘッド列74を備え、第3キャリッジ12cは、第5ヘッド列75及び第6ヘッド列76を備えている。そして、第4キャリッジ12dは、第7ヘッド列77及び第8ヘッド列78を備え、第5キャリッジ12eは、第9ヘッド列79及び第10ヘッド列80を備えている。同様に、第6キャリッジ12fは、第11ヘッド列81及び第12ヘッド列82を備えている。そして、第3ヘッド列73〜第12ヘッド列82は、第1ヘッド列71と同様に、各々3個の液滴吐出ヘッド14がY方向に対して斜めに並べて配置されている。この第1ヘッド列71〜第12ヘッド列82は、各々、液滴吐出ヘッド列となっている。

0127

ステップS22の第1吐出量調整工程では、キャリッジ12を3つの群に分けて調整を行う。1つ目は、第1キャリッジ12aと第2キャリッジ12bとを合わせて第1群83として設定し、2つ目は、第3キャリッジ12cと第4キャリッジ12dとを合わせて第2群84として設定する。そして、3つ目には、第5キャリッジ12eと第6キャリッジ12fとを合わせて第3群85として設定する。

0128

第1群83では、第1ヘッド列71〜第3ヘッド列73における液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整することとする。そして、第2群84では、第6ヘッド列76及び第7ヘッド列77における液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整することとする。第3群85では、第10ヘッド列80〜第12ヘッド列82における液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整することとする。

0129

図5(b)は、ステップS24の第2吐出量調整工程における液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を説明するための図である。図5(b)に示すように、ステップS24の第2吐出量調整工程では、キャリッジ12を2つの群に分けて調整を行う。1つ目は、第2キャリッジ12bと第3キャリッジ12cとを合わせて第4群86として設定し、2つ目は、第4キャリッジ12dと第5キャリッジ12eとを合わせて第5群87として設定する。

0130

第4群86では、第4ヘッド列74及び第5ヘッド列75における液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整することとする。そして、第5群87では、第8ヘッド列78及び第9ヘッド列79における液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整することとする。

0131

以上の設定では、ステップS22及びステップS24を行うことにより、第1ヘッド列71〜第12ヘッド列82の総てのヘッド列における液滴吐出ヘッド14の吐出量を測定することとなる。

0132

図6(a)はステップS2に対応する図である。図6(a)に示すように、第1キャリッジ12a〜第6キャリッジ12fを、第1フラッシングユニット17と対向する場所に移動する。そして、第1ヘッド列71〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14に、非吐出駆動波形90を入力することにより、第1ヘッド列71〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14から液滴が吐出しない程度に圧電素子43を駆動する。そして、圧電素子43が駆動されることにより、液滴吐出ヘッド14を暖機させる暖機駆動を行う。そして、第1ヘッド列71〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14は、加熱されるので、液滴吐出ヘッド14の温度が上昇する。また、待機する液滴吐出ヘッド14は、所定の間隔にて、液滴44を第1フラッシングユニット17に吐出するフラッシングを行うことにより、ノズル31を乾燥から防止している。

0133

図6(b)はステップS3に対応する図である。図6(b)に示すように、第1キャリッジ12a及び第2キャリッジ12bを重量測定装置21と対向する場所に移動する。そして、第1ヘッド列71〜第4ヘッド列74の液滴吐出ヘッド14が、重量測定装置21と対向する場所に位置される。このとき、第3キャリッジ12c〜第6キャリッジ12fに搭載されている第5ヘッド列75〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14は、第1フラッシングユニット17と対向する場所に待機しながら、暖機駆動とフラッシングとを行う。

0134

図6(c)〜図7(c)はステップS4に対応する図である。図6(c)に示すように、第1ヘッド列71〜第4ヘッド列74の液滴吐出ヘッド14に吐出駆動波形91を入力することにより、ノズル31から液滴44を重量測定装置21に吐出する。

0135

図7(a)及び図7(b)は液滴吐出ヘッドの駆動波形を示すタイムチャートである。図7(a)は、液滴吐出ヘッド14から液滴44を連続吐出するときの一例であり、ヘッド駆動回路36が、圧電素子43を駆動する吐出駆動波形91を3個分表示している。図の横軸は時間92の経過を示し、縦軸は、駆動電圧93の変化を示す。吐出駆動波形91は、略台形波形形状をしており、吐出時の駆動電圧のピーク値である吐出電圧94及び吐出パルス幅95は、所定の電圧及び時間に設定されている。そして、吐出駆動波形91の周期である吐出波形周期96も、所定の時間間隔に形成されている。吐出電圧94、吐出パルス幅95及び吐出波形周期96は、圧電素子43や振動板42の動特性に合わせて設定する必要がある。従って、実際に吐出する予備試験を実施して、最適な吐出条件を導くことが望ましい。

0136

図7(b)は、液滴吐出ヘッド14から液滴44を吐出せずに駆動することにより、暖機駆動するときの一例である非吐出駆動波形90を3個分表示している。非吐出駆動波形90は、略台形の波形形状をしており、非吐出時の駆動電圧のピーク値である非吐出電圧97は、液滴44を吐出しない範囲で、圧電素子43を大きく振動させる方が良い。本実施形態において、例えば、非吐出電圧97は、吐出電圧94の約3分の1程度の電圧を採用している。非吐出時のパルス幅である非吐出パルス幅98は、吐出パルス幅95と同じ値を採用している。そして、非吐出駆動波形90の波形周期である非吐出波形周期99は、圧電素子43が振動する間隔に設定する。非吐出波形周期99は、本実施形態では、例えば、吐出波形周期96と同一の時間間隔を採用している。

0137

図7(c)は、液滴吐出ヘッドを連続して駆動するときの駆動吐出回数とヘッド温度との関係を示すグラフである。図7(c)において、横軸は、液滴44を吐出する回数である吐出回数100の経過を示し、縦軸は、ヘッド温度101の変化を示す。圧電素子43を連続して駆動して、液滴44を吐出するときにおける、吐出回数100の経過に対するヘッド温度101の推移を外ヘッド温度曲線102及び内ヘッド温度曲線103に示す。外ヘッド温度曲線102は図6(c)における第1ヘッド列71及び第4ヘッド列74の液滴吐出ヘッド14の温度であり、内ヘッド温度曲線103は、第2ヘッド列72及び第3ヘッド列73の液滴吐出ヘッド14の温度である。

0138

吐出を開始するときの吐出開始点102aにおける外ヘッド温度曲線102は、吐出回数100の経過に伴いヘッド温度101が上昇する。温度上昇域102bの間では、吐出回数100の経過に伴いヘッド温度101が上昇する。

0139

そして、吐出回数100が経過しても、ヘッド温度101が上昇しない温度平衡域102cに移行する。温度平衡域102cでは、液滴吐出ヘッド14が放熱する熱エネルギと、吐出により発生する熱エネルギとが等しい平衡状態となる。ヘッド温度101が上昇すると、ヘッド温度101と、液滴吐出ヘッド14の周辺を取り囲む気体(以下、周辺気体と称す)との温度差が大きくなる。ヘッド温度101と周辺気体の温度との差が大きい程、液滴吐出ヘッド14から放熱する熱エネルギが大きくなる。従って、ヘッド温度101が上昇せずに、あるヘッド温度101で安定する。この温度を平衡ヘッド温度102dとする。

0140

同様に、内ヘッド温度曲線103においても、温度上昇域103bの間では、吐出開始点103aから吐出回数100が増えるにつれて、ヘッド温度101が上昇する。そして、温度平衡域103cでは、ヘッド温度101が平衡ヘッド温度103dで安定する。

0141

第2ヘッド列72及び第3ヘッド列73の液滴吐出ヘッド14は、第1ヘッド列71及び第4ヘッド列74に挟まれているので、周辺気体に放熱し難くなっている。従って、内ヘッド温度曲線103は、外ヘッド温度曲線102より高いヘッド温度101で推移する。そして、平衡ヘッド温度103dは、平衡ヘッド温度102dより高い温度に安定する。

0142

ステップS5において、第1ヘッド列71〜第3ヘッド列73の液滴吐出ヘッド14における吐出量を測定する。第1ヘッド列71は、ステップS17において、外側の列に位置して吐出することから、ステップS4では、ステップS17と略同じ配置条件にて吐出している。同様に、第2ヘッド列72及び第3ヘッド列73は、ステップS17において、内側の列に位置しており、第1ヘッド列71及び第4ヘッド列74に挟まれて吐出する。つまり、第1ヘッド列71〜第3ヘッド列73の液滴吐出ヘッド14は、ステップS4では、ステップS17と略同じ配置条件にて吐出している。一方、第4ヘッド列74は、ステップS17において、内側の列に位置して吐出することから、ステップS4では、ステップS17と異なる配置条件にて吐出している。そして、ステップS4とステップS17とにおいて、略同じ配置条件にて吐出する第1ヘッド列71〜第3ヘッド列73の液滴吐出ヘッド14における吐出量を測定する。

0143

吐出量の測定は、ステップS4で吐出した液滴44の重量を吐出した回数で除算して算出する。吐出する回数は、1回毎の吐出量のばらつきが平均化されて計測可能な回数であれば良く、例えば、本実施形態では、100回を採用している。そして、液滴吐出ヘッド14毎に吐出量を測定する。

0144

図7(d)は、ステップS7に対応する図であり、液滴吐出ヘッドを駆動するときの駆動電圧と吐出量との関係を示すグラフである。図7(d)において、横軸は、駆動電圧93を示し、右側が左側より高い電圧となっている。そして、縦軸は、液滴吐出ヘッドが吐出する吐出量104を示し、上側が、下側より大きな量を示す。そして、電圧吐出量曲線105は、駆動電圧93を変更するときに、吐出量104が変化する関係を示している。

0145

電圧吐出量曲線105が示す様に、駆動電圧93を高くすると、吐出量104が大きくなる。そして、駆動電圧93を変化させるとき、吐出量104が変化する電圧範囲駆動電圧範囲105aとして、その範囲に吐出電圧94が入る様に、液滴吐出ヘッド14が設計されている。この電圧吐出量曲線105は、一例であり、ヘッド温度101が変動することにより、電圧吐出量曲線105も変動する。

0146

ステップS7では、目標とする吐出量104である目標吐出量106と、ステップS5にて測定した吐出量104とを比較する。そして、目標吐出量106と測定した吐出量104との差に相当する駆動電圧93の差を算出する。そして、目標吐出量106より測定した吐出量104が小さいときは、吐出電圧94を駆動電圧93の差に相当する電圧分上げる。一方、目標吐出量106より測定した吐出量104が大きいときは、吐出電圧94を駆動電圧93の差に相当する電圧分下げる。

0147

そして、ステップS4〜ステップS7を繰り返すことにより、吐出量104を目標吐出量106に近づける。ステップS6において、目標吐出量106と測定した吐出量104との差が規定値より小さくなったところで、第1ヘッド列71〜第4ヘッド列74の液滴吐出ヘッド14における吐出量104の調整を終了する。

0148

図8(a)及び図8(b)はステップS22に対応する図である。図8(a)に示す様に、ステップS3において、第1キャリッジ12a及び第2キャリッジ12bを重量測定装置21と対向する場所から、第2フラッシングユニット18と対向する場所へ移動する。そして、第3キャリッジ12c及び第4キャリッジ12dを第1フラッシングユニット17と対向する場所から重量測定装置21と対向する場所へ移動する。第5キャリッジ12e及び第6キャリッジ12fは、第1フラッシングユニット17と対向する場所に待機する。

0149

ステップS4において、第1ヘッド列71〜第4ヘッド列74及び第9ヘッド列79〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14へ非吐出駆動波形90を入力して暖機駆動する。そして、第1ヘッド列71〜第4ヘッド列74の液滴吐出ヘッド14から液滴44を第2フラッシングユニット18に吐出して、フラッシング動作を行う。同様に、第9ヘッド列79〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14から液滴44を第1フラッシングユニット17に吐出して、フラッシング動作を行う。

0150

第5ヘッド列75〜第8ヘッド列78の液滴吐出ヘッド14へ吐出駆動波形91を入力して、重量測定装置21へ液滴44を、所定の回数分吐出する。そして、ステップS5において、吐出された液滴44の重量を測定する。このとき、第5ヘッド列75と第8ヘッド列78とに挟まれている第6ヘッド列76及び第7ヘッド列77の液滴吐出ヘッド14から吐出された液滴44の重量を測定する。

0151

そして、吐出した回数で除算して吐出量を算出する。次に、ステップS7にて調整する。ステップS4〜ステップS7を繰り返して、目標吐出量106と測定した吐出量104との差が規定値より小さくなったところで、第6ヘッド列76及び第7ヘッド列77の液滴吐出ヘッド14における吐出量の調整を終了する。

0152

次に、図8(b)に示す様に、ステップS3において、第3キャリッジ12c及び第4キャリッジ12dを重量測定装置21と対向する場所から、第2フラッシングユニット18と対向する場所へ移動する。そして、第5キャリッジ12e及び第6キャリッジ12fを第1フラッシングユニット17と対向する場所から重量測定装置21と対向する場所へ移動する。第1キャリッジ12a及び第2キャリッジ12bは、第2フラッシングユニット18と対向する場所にて、引き続き待機する。

0153

ステップS4において、第1ヘッド列71〜第8ヘッド列78の液滴吐出ヘッド14へ非吐出駆動波形90を入力して暖機駆動する。そして、定期的に第1ヘッド列71〜第8ヘッド列78の液滴吐出ヘッド14から液滴44を第2フラッシングユニット18に吐出して、フラッシング動作を行う。

0154

第9ヘッド列79〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14へ吐出駆動波形91を入力して、重量測定装置21へ液滴44を、所定の回数分吐出する。そして、ステップS5において、吐出された液滴44の重量を測定する。このとき、第9ヘッド列79と第12ヘッド列82とに挟まれている第10ヘッド列80及び第11ヘッド列81の液滴吐出ヘッド14から吐出された液滴44の重量を測定する。さらに、右端となる第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14から吐出された液滴44の重量を測定する。

0155

そして、吐出した回数で除算して吐出量を算出する。次に、ステップS7にて調整する。ステップS4〜ステップS7を繰り返して、目標吐出量106と測定した吐出量104との差が規定値より小さくなったところで、第10ヘッド列80〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14における吐出量の調整を終了する。

0156

図8(c)はステップS9及びステップS10に対応する図である。図8(c)に示す様に、第5キャリッジ12e及び第6キャリッジ12fを重量測定装置21と対向する場所から第1フラッシングユニット17と対向する場所に移動する。そして、第1キャリッジ12a〜第4キャリッジ12dを第2フラッシングユニット18と対向する場所から第1フラッシングユニット17と対向する場所に移動する。

0157

次にステップS10において、第1ヘッド列71〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14へ非吐出駆動波形90を入力して暖機駆動する。そして、定期的に第1ヘッド列71〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14から液滴44を第1フラッシングユニット17に吐出して、フラッシング動作を行う。

0158

図9(a)及び図9(b)はステップS24に対応する図である。図9(a)に示す様に、ステップS11において、第1キャリッジ12aを第1フラッシングユニット17と対向する場所から、第2フラッシングユニット18と対向する場所へ移動する。そして、第2キャリッジ12b及び第3キャリッジ12cを第1フラッシングユニット17と対向する場所から重量測定装置21と対向する場所へ移動する。第4キャリッジ12d〜第6キャリッジ12fは、第1フラッシングユニット17と対向する場所に待機する。

0159

ステップS12において、第1ヘッド列71、第2ヘッド列72及び第7ヘッド列77〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14へ非吐出駆動波形90を入力して暖機駆動する。そして、定期的に第1ヘッド列71及び第2ヘッド列72の液滴吐出ヘッド14から液滴44を第2フラッシングユニット18に吐出して、フラッシング動作を行う。同様に、定期的に第7ヘッド列77〜第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14から液滴44を第1フラッシングユニット17に吐出して、フラッシング動作を行う。

0160

第3ヘッド列73〜第6ヘッド列76の液滴吐出ヘッド14へ吐出駆動波形91を入力して、重量測定装置21へ液滴44を、所定の回数分吐出する。そして、ステップS13において、吐出された液滴44の重量を測定する。このとき、第3ヘッド列73と第6ヘッド列76とに挟まれている第4ヘッド列74及び第5ヘッド列75の液滴吐出ヘッド14から吐出された液滴44の重量を測定する。

0161

そして、吐出した回数で除算して吐出量を算出する。次に、ステップS15にて調整する。ステップS12〜ステップS15を繰り返して、目標吐出量106と測定した吐出量104との差が規定値より小さくなったところで、第4ヘッド列74及び第5ヘッド列75の液滴吐出ヘッド14における吐出量の調整を終了する。

0162

次に、図9(b)に示す様に、ステップS11において、第2キャリッジ12b及び第3キャリッジ12cを重量測定装置21と対向する場所から、第2フラッシングユニット18と対向する場所へ移動する。そして、第4キャリッジ12d及び第5キャリッジ12eを第1フラッシングユニット17と対向する場所から重量測定装置21と対向する場所へ移動する。第1キャリッジ12aは、第2フラッシングユニット18と対向する場所に待機し、第6キャリッジ12fは、第1フラッシングユニット17と対向する場所に待機する。

0163

ステップS12において、第1ヘッド列71〜第6ヘッド列76、第11ヘッド列81及び第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14へ非吐出駆動波形90を入力して暖機駆動する。そして、定期的に第1ヘッド列71〜第6ヘッド列76の液滴吐出ヘッド14から液滴44を第2フラッシングユニット18に吐出して、フラッシング動作を行う。同様に、定期的に第11ヘッド列81及び第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14から液滴44を第1フラッシングユニット17に吐出して、フラッシング動作を行う。

0164

第7ヘッド列77〜第10ヘッド列80の液滴吐出ヘッド14へ吐出駆動波形91を入力して、重量測定装置21へ液滴44を、所定の回数分吐出する。そして、ステップS13において、吐出された液滴44の重量を測定する。このとき、第7ヘッド列77と第10ヘッド列80とに挟まれている第8ヘッド列78及び第9ヘッド列79の液滴吐出ヘッド14から吐出された液滴44の重量を測定する。

0165

そして、吐出した回数で除算して吐出量を算出する。次に、ステップS15にて調整する。ステップS12〜ステップS15を繰り返して、目標吐出量106と測定した吐出量104との差が規定値より小さくなったところで、第8ヘッド列78及び第9ヘッド列79の液滴吐出ヘッド14における吐出量の調整を終了する。

0166

以上の工程により、第2ヘッド列72〜第11ヘッド列81の液滴吐出ヘッド14は、隣接する液滴吐出ヘッド14に挟まれている状態で、液滴44を吐出するときの吐出量を測定した後、吐出量の調整を行っている。これは、ステップS17において吐出するときの液滴吐出ヘッド14の形態と同じ形態となっている。そして、第1ヘッド列71及び第12ヘッド列82の液滴吐出ヘッド14は、液滴吐出ヘッド14に挟まれていない状態で、液滴44を吐出するときの吐出量を測定した後、吐出量の調整を行っている。これも、ステップS17において吐出するときの液滴吐出ヘッド14の形態と同じ形態となっている。つまり、ステップS17において吐出するときの液滴吐出ヘッド14の形態と同じ形態で、吐出量の調整を行っている。

0167

図9(c)はステップS17に対応する図である。図9(c)に示す様に、キャリッジ12及びステージ4を移動して、液滴吐出ヘッド14と基板7とが対向するように、液滴吐出ヘッド14と基板7とを移動する。次に、所定の描画パターンに基づいて、液滴44を吐出して、基板7に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップS17を終了し、基板7に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0168

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、吐出量の測定をステップS21の第1測定工程とステップS23の第2測定工程とに分けて測定している。そして、ステップS21において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッド14から吐出するときの吐出量を測定している。つまり、第2ヘッド列72、第3ヘッド列73、第6ヘッド列76、第7ヘッド列77、第10ヘッド列80、第11ヘッド列81に属する液滴吐出ヘッド14から吐出するときの吐出量を測定している。

0169

そして、ステップS23では、ステップS21にて他の液滴吐出ヘッド列に挟まれなかった液滴吐出ヘッド列を、他の液滴吐出ヘッド列にて挟んで、液状体を吐出した後、吐出量を測定している。そして、第4ヘッド列74、第5ヘッド列75、第8ヘッド列78、第9ヘッド列79に属する液滴吐出ヘッド14から吐出するときの吐出量を測定している。つまり、ステップS21及びステップS23において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれている状態の液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッド14から吐出するときの吐出量を測定している。従って、第2ヘッド列72〜第11ヘッド列81の液滴吐出ヘッド14は、略同じ温度における吐出量を測定することができる。その結果、精度良く吐出量を測定することができる。

0170

(2)本実施形態によれば、ステップS2及びステップS10の吐出前待機工程において、液滴吐出ヘッドは、暖機駆動することにより、液滴吐出ヘッド14の温度を上昇させている。そして、液滴吐出ヘッドの温度が高い状態における吐出量を測定している。基板7に液滴44を吐出するとき、液滴吐出ヘッド14は、液滴44を吐出するので、液滴吐出ヘッド14の温度が上昇している。つまり、液滴吐出ヘッド14は、暖機駆動することにより、基板7に液滴44を吐出するときと略同じ温度における吐出量を測定することができる。従って、基板7に液滴44を吐出するときの吐出量を精度良く測定することができる。

0171

(3)本実施形態によれば、液滴吐出ヘッド14のノズル31から液滴44が吐出されない程度に暖機駆動している。従って、液滴44が無駄に吐出されない為、省資源な吐出量測定方法とすることができる。

0172

(4)本実施形態によれば、ステップS21の第1測定工程にて測定した液滴吐出ヘッド14をステップS7の第1調整工程にて調整した後、ステップS23の第2測定工程にて測定した液滴吐出ヘッドをステップS15の第2調整工程にて調整している。そして、ステップS21及びステップS23において、精度良く吐出量を測定した測定結果に基づいて、ステップS7及びステップS15において、吐出量を調整している。従って、ステップS7及びステップS15において、吐出量を精度良く調整することができる。

0173

(5)本実施形態によれば、ステップS22の第1吐出量調整工程とステップS24の第2吐出量調整工程とを有している。そして、ステップS22では、ステップS21の第1測定工程で測定した吐出量の測定結果に基づき、ステップS7の第1調整工程において、吐出量の調整を行っている。次に、ステップS21とステップS7とを繰り返すことにより、吐出量を目標吐出量に近づけている。従って、ステップS7を1回しか行わない方法に比べて、吐出量を精度良く調整することができる。

0174

そして、ステップS24においても、同様に行われることから、ステップS15の第2調整工程を1回しか行わない方法に比べて、吐出量を精度良く調整することができる。その結果、吐出量を精度良く調整可能な方法とすることができる。

0175

(第2の実施形態)
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図4及び図5を用いて説明する。
この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、第1吐出量調整工程にて総ての液滴吐出ヘッド14における吐出量を調整する点にある。

0176

すなわち、図4において、ステップS22のステップS7及びステップS24のステップS15以外は、第1の実施形態と同じであり、説明を省略する。そして、ステップS7では、図5に示す第1ヘッド列71〜第12ヘッド列82に属する液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整する。

0177

従って、第4ヘッド列74、第5ヘッド列75、第8ヘッド列78、第9ヘッド列79に属する液滴吐出ヘッド14は、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれていない状態で吐出した後、測定する吐出量を用いて、吐出量を目標吐出量106に合わせることにより調整する。

0178

ステップS15では、第1の実施形態と同様の調整を行う。従って、第4ヘッド列74、第5ヘッド列75、第8ヘッド列78、第9ヘッド列79に属する液滴吐出ヘッド14は、ステップS7及びステップS15の2つのステップにて、吐出量の調整がされる。

0179

ステップS24において、吐出と調整とを繰り返して行うとき、第4ヘッド列74、第5ヘッド列75、第8ヘッド列78、第9ヘッド列79に属する液滴吐出ヘッド14は、ステップS22において、一度調整されていることから、少ない繰り返し回数で調整が完了する場合がある。そして、調整した後、ステップS17において、所定の描画パターンに基づいて、液滴44を吐出して、基板7に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップS17を終了し、基板7に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0180

上述したように、本実施形態によれば、第1の実施形態における効果(1)〜(5)に加え、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、ステップS21の第1測定工程において、他の液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッド列に属する液滴吐出ヘッド14は、ステップS22の第1吐出量調整工程において、1度、吐出量の調整が行われる。従って、この液滴吐出ヘッド14の吐出量は、目標吐出量に近くなるように調整されていることから、ステップS24の第2吐出量調整工程において、液滴吐出ヘッド14の温度が、ステップS22における温度よりも上昇するときにも、少ない繰り返し回数により調整をすることができる。その結果、生産性の良い調整方法とすることができる。

0181

(第3の実施形態)
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図10を用いて説明する。図10は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。
この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程において粗調整と微調整とに分けて吐出量を調整する点にある。

0182

図10において、ステップS31〜ステップS33は、図4に示すステップS1〜ステップS3と対応するステップであり、説明を省略する。ステップS34は、吐出測定工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う。例えば、100回の吐出を行う。その後、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出1回当りの吐出量を演算する工程である。次にステップS35に移行する。ステップS35は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップS34にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき(NOのとき)、ステップS36に移行する。ステップS35において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき(YESのとき)、ステップS37に移行する。ステップS36は、調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップS34に移行する。ステップS34〜ステップS36のステップによりステップS61の粗調整工程が構成される。

0183

ステップS37は、吐出測定工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う。このステップにおいては、ステップS34における吐出回数より多い回数の吐出を行う。例えば、1000回の吐出を行う。従って、このステップにおける吐出量は、ステップS34における吐出量より多い吐出量の吐出が行われる。その後、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出1回当りの吐出量を演算する工程である。次にステップS38に移行する。ステップS38は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップS37にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。この規定値は、ステップS35における規定値より狭い範囲に設定される。そして、吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき(NOのとき)、ステップS39に移行する。ステップS38において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき(YESのとき)、ステップS40に移行する。ステップS39は、調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。この工程で調整される吐出量の変化分は、ステップS36において調整される変化分より小さい量に設定される。次にステップS37に移行する。ステップS37〜ステップS39のステップによりステップS62の微調整工程が構成される。

0184

ステップS40は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップS31にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき(NOのとき)、ステップS34に移行する。ステップS40において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS41に移行する。ステップS32〜ステップS40のステップによりステップS63の第1吐出量調整工程が構成される。

0185

ステップS41は、移動工程に相当し、液滴吐出ヘッドを、第2フラッシングユニット及び重量測定装置と対向する場所から、第1フラッシングユニットと対向する場所へ移動させる工程である。次にステップS42に移行する。ステップS42は、吐出前待機工程に相当し、液滴吐出ヘッドを暖機駆動する工程である。次にステップS43に移行する。ステップS43は、移動工程に相当し、重量測定装置と対向する場所に液滴吐出ヘッドを移動する工程である。次にステップS44に移行する。ステップS44は、吐出測定工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う。例えば、100回の吐出を行う。その後、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出1回当りの吐出量を演算する工程である。次にステップS45に移行する。ステップS45は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップS44にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき(NOのとき)、ステップS46に移行する。ステップS45において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき(YESのとき)、ステップS47に移行する。ステップS46は、調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。次にステップS44に移行する。ステップS44〜ステップS46のステップによりステップS64の粗調整工程が構成される。

0186

ステップS47は、吐出測定工程に相当し、ノズルから重量測定装置の受け皿へ所定の回数の吐出を行う。例えば、1000回の吐出を行う。このステップにおける吐出回数は、ステップS44における吐出回数より多い回数の吐出が行われる。従って、このステップにおける吐出量は、ステップS44における吐出量より多い吐出量の吐出が行われる。その後、重量測定装置の受け皿の重量を計測する。そして、吐出1回当りの吐出量を演算する工程である。次にステップS48に移行する。ステップS48は、吐出量が目標吐出量になったか、を判断する工程に相当し、ステップS47にて測定した吐出量と調整する目標である目標吐出量とを比較して、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいか、を判断する工程である。この規定値は、ステップS45における規定値より狭い範囲に設定される。そして、吐出量と目標吐出量との差が規定値より大きいとき(NOのとき)、ステップS49に移行する。ステップS48において、吐出量と目標吐出量との差が規定値より小さいとき(YESのとき)、ステップS50に移行する。ステップS49は、調整工程に相当し、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を調整する工程である。この工程で調整される吐出量の変化分は、ステップS46において調整される変化分より小さい量に設定される。次にステップS47に移行する。ステップS47〜ステップS49のステップによりステップS65の微調整工程が構成される。

0187

ステップS50は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップS31にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき(NOのとき)、ステップS44に移行する。ステップS40において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS51に移行する。ステップS42〜ステップS50のステップによりステップS66の第2吐出量調整工程が構成される。

0188

ステップS51は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0189

上述したように、本実施形態によれば、第1の実施形態における効果(1)〜(5)に加え、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、ステップS61及びステップS64における粗調整工程と、ステップS62及びステップS65における微調整工程とを行っている。このとき、微調整を繰り返して、吐出量を少量ずつ調整する場合に比べて、粗調整により、吐出量を大きく変化させる工程と微調整工程をと組み合わせて行う方が、少ない回数で、目標とする吐出量に調整できることが多い。従って、生産性良く調整を行うことができる。

0190

(2)本実施形態によれば、ステップS61及びステップS64における粗調整工程では、ステップS62及びステップS65における微調整工程に比べて、少ない吐出量で吐出量の測定を行っている。従って、吐出する液状体の消費量を少なくすることができる。その結果、省資源な調整方法とすることができる。

0191

(第4の実施形態)
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図10を用いて説明する。この実施形態が第3の実施形態と異なるところは、粗調整工程と微調整工程とおいて単位時間に吐出する回数を異なる回数にする点にある。

0192

すなわち、図10において、ステップS34、ステップS37、ステップS44、ステップS47の各吐出測定工程にて、吐出する吐出回数を同じ回数とする、例えば、1000回とする。そして、ステップS51において、例えば、1秒間に5回吐出して機能液41を塗布するとき、微調整工程に属するステップS37及びステップS47では、1秒間に5回吐出する。次に、粗調整工程に属するステップS34及びステップS44では、例えば、1秒間に10回吐出して、測定を行う。つまり、粗調整工程では、微調整工程に比べて、単位時間当たりの吐出回数を多くして、短い時間で吐出する。

0193

上述したように、本実施形態によれば、第1の実施形態における効果(1)〜(5)及び、第3の実施形態における効果(1)に加え、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、粗調整工程に属するステップS34及びステップS44では、微調整工程に比べて、単位時間に吐出する回数を多くしている。粗調整工程及び、微調整工程において、同じ回数の吐出を行って、吐出量を測定するとき、粗調整工程の方が短い時間で、吐出することができる。従って、生産性良く調整することができる。

0194

(第5の実施形態)
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図4及び図5を用いて説明する。この実施形態が第2の実施形態と異なるところは、第1吐出量調整工程において、挟まれていないヘッド列の吐出量を、挟まれているヘッド列の吐出量より少なく吐出量を調整する点にある。

0195

すなわち、図4に示すステップS6において、吐出量と目標吐出量との比較を行う。このとき、図5(a)に示す第1群83において、第1ヘッド列71、第2ヘッド列72、第3ヘッド列73の目標吐出量は、ステップS17にて吐出するときの目標吐出量とする。そして、第4ヘッド列74の目標吐出量は、ステップS17にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定する。そして、そして、ステップS7において、各目標吐出量となるように吐出量を調整する。

0196

同様に、第2群84においては、第6ヘッド列76及び第7ヘッド列77の目標吐出量は、ステップS17にて吐出するときの目標吐出量とする。そして、第5ヘッド列75及び第8ヘッド列78の目標吐出量は、ステップS17にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定する。第3群85において、第10ヘッド列80、第11ヘッド列81、第12ヘッド列82の目標吐出量は、ステップS17にて吐出するときの目標吐出量とする。そして、第9ヘッド列79の目標吐出量は、ステップS17にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定する。

0197

次に、ステップS14において、吐出量と目標吐出量との比較を行う。このとき、図5(b)に示す第4群86において、第4ヘッド列74及び第5ヘッド列75は、第3ヘッド列73及び第6ヘッド列76に挟まれていることから、液滴吐出ヘッド14の温度が上昇しており、ステップS4における吐出量より増加している。しかし、ステップS6において、目標吐出量をステップS17にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定されているので、ステップS14においては、吐出量がステップS17にて吐出するときの目標吐出量に近い吐出量となることが多い。同様に、第5群87においても、第8ヘッド列78及び第9ヘッド列79の吐出量がステップS17にて吐出するときの目標吐出量に近い吐出量となることが多い。従って、ステップS12〜ステップS15を反復する回数を少なくすることができる。

0198

上述したように、本実施形態によれば、第1の実施形態における効果(1)〜(5)に加え、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、ステップS7において、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッドから吐出された液状体の吐出量がステップS17で吐出する目標の吐出量より少なくなるように調整される。従って、他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、吐出量をステップS17で吐出する吐出量の目標に近い吐出量から調整を開始することができる。その結果、少ない調整回数で調整ができる為、生産性良く調整することができる。

0199

(第6の実施形態)
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図4及び図5を用いて説明する。この実施形態が第2の実施形態と異なるところは、第1吐出量調整工程において、挟まれていないヘッド列の吐出量を、挟まれているヘッド列の吐出量より少なく吐出量に設定する工程を第2吐出量調整工程の測定用吐出工程点で行う点にある。

0200

すなわち、図4に示すステップS1〜ステップS11は、第2の実施形態と同様に実施する。そして、ステップS12において、ステップS7にて調整した吐出量に対して、吐出量を変更する。詳細には、図5に示す第4群86の第4ヘッド列74及び第5ヘッド列75の吐出量を、ステップS22にて設定した吐出量より少ない吐出量が吐出されるように設定を変更した後吐出する。

0201

第4ヘッド列74及び第5ヘッド列75は、第3ヘッド列73及び第6ヘッド列76に挟まれていることから、液滴吐出ヘッド14の温度が上昇しており、ステップS22における吐出量より増加している。しかし、ステップS12において、吐出量をステップS22にて吐出するときの目標吐出量より少なく設定されているので、ステップS14においては、吐出量がステップS17にて吐出するときの目標吐出量に近い吐出量となることが多い。従って、ステップS12〜ステップS15を反復する回数を少なくすることができる。

0202

同様に、第5群87においても、第8ヘッド列78及び第9ヘッド列79の吐出量を、ステップS12において、ステップS22にて設定した吐出量より少ない吐出量が吐出されるように設定を変更した後吐出する。その結果、ステップS12〜ステップS15を反復する回数を少なくすることができる。

0203

上述したように、本実施形態によれば、第1の実施形態における効果(1)〜(5)に加え、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、ステップS22において、液滴吐出ヘッド列に挟まれていない液滴吐出ヘッド14は、ステップS12で吐出量を少なくなるように調整している。従って、ステップS12で他の液滴吐出ヘッドに挟んで吐出量を測定するとき、吐出量をステップS17で吐出する吐出量の目標に近づいた吐出量から調整を開始することができる。その結果、少ない調整回数で調整ができる為、生産性良く調整することができる。

0204

(第7の実施形態)
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図5図11及び図12を用いて説明する。図11は、液滴吐出装置の構成を示す概略斜視図であり、図12は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。この実施形態が第2の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッドの配列における行数が重量測定装置より多いときに、同一キャリッジ内における液滴吐出ヘッドの吐出量を測定した後、別のキャリッジ内における液滴吐出ヘッドの吐出量を測定する点にある。

0205

すなわち、図11に示すように、液滴吐出装置108には、重量測定装置109がX方向に4個、一行配置されている。そして、図5に示すように、第1キャリッジ12a〜第6キャリッジ12fには、行としての第1ヘッド行110、第2ヘッド行111、第3ヘッド行112の3行に渡って液滴吐出ヘッド14が配置されている。つまり、重量測定装置109が一度に測定可能な液滴吐出ヘッド14の行数に対して、キャリッジ12が搭載する液滴吐出ヘッド14の行数が多いときの調整手順について説明する。

0206

図12のフローチャートにおいて、ステップS71は、調整順番設定工程に相当し、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を設定する工程である。次にステップS72に移行する。ステップS72は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップS73に移行する。ステップS73は、第1吐出量調整工程に相当し、一つの行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップS74に移行する。

0207

ステップS74は、同一キャリッジ内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、3つの行総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したか、を判断する工程である。調整していない行があるとき(NOのとき)、ステップS72に移行する。ステップS74において、3つの行総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS75に移行する。ステップS75は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップS71にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき(NOのとき)、ステップS72に移行する。ステップS75において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS76に移行する。

0208

ステップS76は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップS77に移行する。ステップS77は、第2吐出量調整工程に相当し、ステップS73とは異なるヘッド列の配置にした後、一行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップS78に移行する。ステップS78は、同一キャリッジ内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、3つの行総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したか、を判断する工程である。調整していない行があるとき(NOのとき)、ステップS76に移行する。ステップS78において、3つの行総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS79に移行する。ステップS79は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップS71にて調整すると設定した液滴吐出ヘッドにおいて、総て調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき(NOのとき)、ステップS76に移行する。ステップS79において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS80に移行する。ステップS80は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0209

次に、図5を用いて、図12に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く調整して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。ステップS71は、図4に示すステップS1と同様であり説明を省略する。ステップS72において、第1群83の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS73において、第1群83の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。そして、ステップS74及びステップS72において、第1群83の第2ヘッド行111を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS73において、第1群83の第2ヘッド行111の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。同様のステップを経て、第1群83の第3ヘッド行112の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。

0210

次に、ステップS75及びステップS72において、第2群84の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS73において、第1群83の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。そして、ステップS72〜ステップS74を繰り返すことにより、第2群84の第2ヘッド行111及び第3ヘッド行112の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。次に、同様のステップを経て、第3群85の第1ヘッド行110〜第3ヘッド行112の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。

0211

次に、ステップS76において、第4群86の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS77において、第4群86の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。このとき、第4ヘッド列74及び第5ヘッド列75の液滴吐出ヘッド14における吐出量を調整する。そして、ステップS76〜ステップS78を繰り返すことにより、第4群86の第2ヘッド行111及び第3ヘッド行112の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。次に、同様のステップを経て、第5群87の第1ヘッド行110〜第3ヘッド行112の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。

0212

そして、調整した後、ステップS80において、所定の描画パターンに基づいて、液滴44を吐出して、基板7に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップS80を終了し、基板7に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0213

上述したように、本実施形態によれば、第1の実施形態における効果(1)〜(5)に加え、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、一つのキャリッジ12に搭載された液滴吐出ヘッド14における吐出量を総て測定してから、順次、キャリッジ12を変えて、各キャリッジ12に搭載されている前記液滴吐出ヘッド14における吐出量を測定及び調整をしている。従って、キャリッジ12の移動量を少なくして測定及び調整をしている。その結果、省資源な測定方法及び調整方法とすることができる。

0214

(第8の実施形態)
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図5及び図13を用いて説明する。図13は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。この実施形態が第7の実施形態と異なるところは、液滴吐出ヘッド群の行毎に調整を行う点にある。

0215

図13のフローチャートにおいて、ステップS91は、調整順番設定工程に相当し、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を設定する工程である。次にステップS92に移行する。ステップS92は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップS93に移行する。ステップS93は、第1吐出量調整工程に相当し、一行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップS94に移行する。ステップS94は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップS95に移行する。ステップS95は、第2吐出量調整工程に相当し、ステップS93とは異なるヘッド列の配置にした後、一つの行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップS96に移行する。

0216

ステップS96は、同一行内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、12列の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したか、を判断する工程である。調整していない列があるとき(NOのとき)、ステップS92に移行する。ステップS96において、12列の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS97に移行する。ステップS97は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップS91にて調整すると設定した総ての行の液滴吐出ヘッドにおいて、調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき(NOのとき)、ステップS92に移行する。ステップS97において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS98に移行する。ステップS98は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0217

次に、図5を用いて、図13に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く調整して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。ステップS91は、図4に示すステップS1と同様であり説明を省略する。ステップS92において、第1群83の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。そして、ステップS93において、第1群83の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。そして、ステップS94において、第4群86の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS95において、第4群86の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。このとき、第4ヘッド列74及び第5ヘッド列75の液滴吐出ヘッド14における吐出量を調整する。

0218

次に、ステップS96及びステップS92において、第2群84の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS93〜ステップS95において、第2群84及び第5群87の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。

0219

次に、ステップS96及びステップS92において、第3群85の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。そして、ステップS92において、第3群85の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。その後、ステップS94及びステップS95では、調整を要する液滴吐出ヘッド14がないので、ステップを省略して、ステップS97に移行する。以上のステップにより、第1ヘッド列71〜第12ヘッド列82の第1ヘッド行110における液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量が調整される。

0220

次にステップS97において、第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14の調整を総て行ったことを確認して、第2ヘッド行111の液滴吐出ヘッド14の調整に移行する判断をする。そして、ステップS92にて、第1群83の第2ヘッド行111の液滴吐出ヘッド14を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS92〜ステップS97を繰り返して、第2ヘッド行111の液滴吐出ヘッド14の調整を行う。このとき、第1群83、第4群86、第2群84、第5群87、第3群85の順に液滴吐出ヘッド14の調整を行う。次に、第3ヘッド行112に移行して、同様の順序にて液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量の調整を行う。

0221

そして、調整した後、ステップS98において、所定の描画パターンに基づいて、液滴44を吐出して、基板7に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップS98を終了し、基板7に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0222

上述したように、本実施形態によれば、第1の実施形態における効果(1)〜(5)に加え、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、一つの液滴吐出ヘッド14における吐出量を調整した後、その調整した液滴吐出ヘッド14の隣に位置する液滴吐出ヘッドの吐出量を調整している。従って、周囲の温度の変化があるときにも、同一行において近い位置の液滴吐出ヘッド14は、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる。

0223

(2)本実施形態によれば、同一行の隣接する位置の液滴吐出ヘッド14は、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる為、略同じ吐出量に調整することができる。その結果、液滴吐出ヘッド14の走査方向(図5のY方向)に縦線を形成することなく塗布することができる。

0224

(第9の実施形態)
本実施形態では、液滴吐出装置の吐出量を調整する特徴的な調整方法の、一実施形態について図5及び図14を用いて説明する。図14は、基板に液滴を吐出して塗布する製造工程を示すフローチャートである。この実施形態が第8の実施形態と異なるところは、同一行内にて、第1吐出工程を総て行った後、第2吐出工程を行って、液滴吐出ヘッド群の行毎に調整を行う点にある。

0225

図14のフローチャートにおいて、ステップS101は、調整順番設定工程に相当し、液滴吐出ヘッドの吐出量を調整する順番を設定する工程である。次にステップS102に移行する。ステップS102は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップS103に移行する。ステップS103は、第1吐出量調整工程に相当し、一行の液滴吐出ヘッドから機能液を吐出して吐出量を測定し、吐出量を調整する工程である。次にステップS104に移行する。ステップS104は、同一行内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、第1群、第2群、第3群の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したか、を判断する工程である。調整していない液滴吐出ヘッド群があるとき(NOのとき)、ステップS102に移行する。ステップS104において、第1群、第2群、第3群の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS105に移行する。ステップS105は、移動工程に相当し、キャリッジを移動して、測定する液滴吐出ヘッドを重量測定装置と対向する場所に移動する工程である。次にステップS106に移行する。ステップS106は、第2吐出量調整工程に相当し、第4群及び第5群の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を調整する工程である。次にステップS107に移行する。

0226

ステップS107は、同一行内で、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、第4群及び第5群で同一行内の総ての液滴吐出ヘッドにおける吐出量を総て調整したか、を判断する工程である。調整していない液滴吐出ヘッド群があるとき(NOのとき)、ステップS105に移行する。ステップS107において、第4群及び第5群で同一行内の総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS108に移行する。ステップS108は、調整予定のヘッドを総て調整したか、を判断する工程に相当し、ステップS101にて調整すると設定した総ての行の液滴吐出ヘッドにおいて、調整したか、を判断する工程である。調整する予定の液滴吐出ヘッドの中で、吐出量を調整していない液滴吐出ヘッドがあるとき(NOのとき)、ステップS102に移行する。ステップS108において、調整する予定の液滴吐出ヘッドにおける、総ての液滴吐出ヘッドの吐出量を調整したとき(YESのとき)、ステップS109に移行する。ステップS109は、塗布工程に相当し、基板に液滴を吐出して塗布する工程である。以上で、基板に機能液を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0227

次に、図5を用いて、図14に示したステップと対応させて、液滴吐出ヘッドから吐出する吐出量を精度良く調整して、ワークに塗布する製造方法を詳細に説明する。ステップS101は、図4に示すステップS1と同様であり説明を省略する。ステップS102において、第1群83の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。そして、ステップS103において、第1群83の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。

0228

そして、ステップS104において、次に調整する液滴吐出ヘッド群に第2群84を設定する。次に、ステップS102において、第2群84の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS103において、第2群84の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。そして、ステップS104において、次に調整する液滴吐出ヘッド群に第3群85を設定する。その後、ステップS102及びステップS103において、第3群85の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。次のステップS104では、第1群83、第2群84、第3群85の第1ヘッド行110の調整を終了したことを確認する。

0229

次に、ステップS105において、第4群86の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS106において、第4群86の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。次に、ステップS107において、次に調整する液滴吐出ヘッド群に第5群87を設定する。ステップS105において、第5群87の第1ヘッド行110を重量測定装置21と対向する場所に移動する。その後、ステップS106において、第5群87の第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量を調整する。次にステップS107において、第4群86及び第5群87の調整が済んだことを確認する。

0230

次にステップS108において、第1ヘッド行110の液滴吐出ヘッド14の調整を総て行ったことを確認して、第2ヘッド行111の液滴吐出ヘッド14の調整に移行する判断をする。そして、ステップS102〜ステップS108を繰り返して、第2ヘッド行111の液滴吐出ヘッド14の調整を行う。このとき、第1群83、第2群84、第3群85、第4群86、第5群87の順に液滴吐出ヘッド14の調整を行う。次に、第3ヘッド行112に移行して、同様の順序にて液滴吐出ヘッド14から吐出される機能液41の吐出量の調整を行う。

0231

そして、調整した後、ステップS109において、所定の描画パターンに基づいて、液滴44を吐出して、基板7に塗布する。予定した描画パターンを塗布してステップS109を終了し、基板7に液滴を吐出して塗布する製造工程を終了する。

0232

上述したように、本実施形態によれば、第1の実施形態における効果(1)〜(5)に加え、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、同じ行に属する液滴吐出ヘッド14において、近い場所に位置する液滴吐出ヘッド14における吐出量を測定した後、順次、行を変えて測定している。液滴吐出ヘッド14の吐出量を測定するとき、液滴吐出ヘッド14は、温度が管理されている環境内で測定される。このとき、温度は大きな周期で変化していることが多い。このとき、ある液滴吐出ヘッドの行内であって、近くに位置する液滴吐出ヘッドの吐出量を続けて調整している。従って、同一行において近い位置の液滴吐出ヘッド14は、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる。

0233

(2)本実施形態によれば、同一行の近い位置の液滴吐出ヘッド14は、略同じ温度の影響による誤差にて、吐出量を調整することができる為、略同じ吐出量に調整することができる。その結果、液滴吐出ヘッド14の走査方向に縦線を形成することなく塗布することができる。

0234

(3)本実施形態によれば、ステップS103において、第1群83の液滴吐出ヘッド14における吐出量を調整するとき、第2群84の液滴吐出ヘッド14は、次に調整するキャリッジ12が並んで配置されている。そして、次に測定する第5ヘッド列75〜第8ヘッド列78が、測定するときと同じ順序で並んで待機している。このとき、第6ヘッド列76及び第7ヘッド列77は、待機しているときにも、第5ヘッド列75及び第8ヘッド列78に挟まれている。従って、第6ヘッド列76及び第7ヘッド列77は、待機状態から調整工程へと温度変化が少なく移行できる。その結果、液滴吐出ヘッド14は、温度変化が少ない状態で調整できるので、精度良く調整することができる。

0235

(第10の実施形態)
次に、上記に記載の吐出方法を応用して液晶表示装置を製造する一実施形態について図15を用いて説明する。

0236

まず、カラーフィルタを備えた電気光学装置の一つである液晶表示装置について説明する。図15は、液晶表示装置の構造を示す概略分解斜視図である。

0237

図15に示すように、電気光学装置としての液晶表示装置120は、透過型液晶表示パネル121と、液晶表示パネル121を照明する照明装置123とを備えている。液晶表示パネル121は、液晶122を第1基板としての素子基板124と第2基板としての対向基板125とで挟持して配置されている。そして、素子基板124における下側の表面には、下偏光板126が配置され、対向基板125における上側の表面には、上偏光板127が配置される。

0238

素子基板124は、光透過性のある材料からなる基板128を備え、基板128の上側には、絶縁膜129が形成されている。絶縁膜129上には、マトリクス状に電極としての画素電極130が形成され、各画素電極130には、スイッチング機能を有する半導体としてのTFT(Thin Film Transistor)素子131が形成されている。そして、TFT素子131のドレイン端子に画素電極130が接続されている。

0239

各画素電極130及びTFT素子131を囲んで、格子状に、配線としての走査線132及び配線としてのデータ線133が形成されている。そして、走査線132は、TFT素子131のゲート端子と接続され、データ線133は、TFT素子131のソース端子と接続されている。

0240

そして、画素電極130、TFT素子131、走査線132、データ線133などからなる素子層134の液晶122側には、配向膜135が形成されている。

0241

対向基板125は、光透過性のある材料からなる基板137を備えている。基板137の下側には、遮光性を有する材料からなる下層バンク138が格子状に形成され、下層バンク138の下側には、有機化合物などからなる上層バンク139が形成されている。そして、下層バンク138及び上層バンク139により隔壁部140が構成されている。

0242

隔壁部140によってマトリクス状に区画された凹部には、着色層141として、赤(R)、緑(G)、青(B)のカラーフィルタ141R,141G,141Bが形成されている。そして、隔壁部140とカラーフィルタ141R,141G,141Bとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層142が形成されている。このオーバーコート層142を覆うようにITO(Indium Tin Oxide)などの透明導電膜からなる電極としての対向電極143が形成されている。さらに、対向電極143の液晶122側には、配向膜144が形成されている。配向膜144と配向膜135とには、溝状の凹凸が配列して形成され、液晶122が凹凸に沿って配列して形成されている。

0243

液晶122は、該液晶122を挟持する画素電極130と対向電極143とに電圧を印加すると液晶122の傾き角度が変化する性質を持っており、TFT素子131のスイッチング動作により、液晶122にかける電圧をコントロールして液晶122の傾き角度を制御し、画素毎に光を透過させたり遮ったりする動作を行う。尚、光が液晶122により遮られた画素には当然光は入射しないため、黒色となる。このようにTFTのスイッチング動作により、液晶122をシャッタとして動作させることにより、画素毎に光の透過をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。

0244

画素電極130は、TFT素子131のドレイン端子に電気的に接続されており、TFTを一定期間だけオン状態とすることにより、データ線133から供給される画素信号が各画素電極130に所定のタイミングで供給される。このようにして画素電極130に供給された所定レベルの画素信号の電圧レベルは、対向基板125の対向電極143と画素電極130との間で保持され、画素信号の電圧レベルに応じて、液晶122の光透過量が変化する。

0245

照明装置123は、光源を備え、この光源からの光を液晶表示パネル121に向かって出射することができる導光板拡散板反射板等を備えている。光源には、白色のLED、EL、冷陰極管等を用いることが可能であり、本実施形態においては、冷陰極管を採用している。

0246

尚、下偏光板126及び、上偏光板127は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。液晶表示パネル121は、アクティブ素子としてTFT素子に限らずTFD(Thin Film Diode)素子を有したものでもよく、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。

0247

対向基板125のカラーフィルタ141R,141G,141Bを形成する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、基板137に下層バンク138及び上層バンク139を形成して、隔壁部140を形成する。隔壁部140の形成方法は、公知であり、説明を省略する。そして、カラーフィルタ141R,141G,141Bの材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、各色のカラーインクを製造する。次に、液滴吐出装置1又は液滴吐出装置108を用いて、このカラーインクを隔壁部140に囲まれた凹部に吐出して塗布する。

0248

このとき、第1の実施形態〜第9の実施形態における第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整した後、カラーインクの吐出を行って塗布する。その後、塗布されたカラーインクを加熱乾燥して固化することによりカラーフィルタ141R,141G,141Bを形成する。

0249

さらに、対向基板125において、オーバーコート層142の下側に対向電極143を形成する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、対向電極143の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜材料液を製造する。次に、液滴吐出装置1又は液滴吐出装置108を用いて、この電極膜の材料液をオーバーコート層142の表面に吐出して塗布する。

0250

このとき、第1の実施形態〜第9の実施形態における第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより対向電極143を形成する。

0251

さらに、対向基板125において、対向電極143の下側に配向膜144を形成する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜144の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置1又は液滴吐出装置108を用いて、この配向膜の材料液を対向電極143の下側に吐出して塗布する。

0252

このとき、第1の実施形態〜第9の実施形態における第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整した後、配向膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配向膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜144を形成する。

0253

さらに、素子基板124の素子層134に走査線132及びデータ線133の配線を形成する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、配線を形成する場所が凹部となるようにする。そして、配線の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配線の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置1又は液滴吐出装置108を用いて、この配線の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

0254

このとき、第1の実施形態〜第9の実施形態における第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整した後、配線の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配線の材料液を加熱乾燥して固化することにより走査線132及びデータ線133を形成する。

0255

さらに、素子基板124において、素子層134にTFT素子131を形成する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、絶縁膜でバンクを形成して、TFT素子131を形成する場所が凹部となるようにする。そして、シリコン等のTFT素子の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、TFT素子の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置1又は液滴吐出装置108を用いて、このTFT素子の材料液をバンクの間に形成された凹部に吐出して塗布する。

0256

このとき、第1の実施形態〜第9の実施形態における第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整した後、TFT素子の材料液の吐出を行って塗布する。その後、TFT素子の材料液を加熱乾燥して固化し、結晶化する。その後、イオンドープした後、絶縁膜及び端子を形成することにより、TFT素子131を形成する。

0257

さらに、素子基板124において、素子層134の表面に画素電極130を形成する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、画素電極130の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、電極膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置1又は液滴吐出装置108を用いて、この電極膜の材料液を素子層134の表面に吐出して塗布する。

0258

このとき、第1の実施形態〜第9の実施形態における第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整した後、電極膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、電極膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより画素電極130を形成する。

0259

さらに、素子基板124において、素子層134の上側に配向膜135を形成する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、配向膜135の材料を溶媒に溶解又は分散媒に分散することにより、配向膜の材料液を製造する。次に、液滴吐出装置1又は液滴吐出装置108を用いて、この配向膜の材料液を素子層134の上側に吐出して塗布する。

0260

このとき、第1の実施形態〜第9の実施形態における第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整した後、配向膜の材料液の吐出を行って塗布する。その後、塗布された配向膜の材料液を加熱乾燥して固化することにより配向膜135を形成する。

0261

さらに、液晶122を素子基板124と対向基板125とで挟持させるために、素子基板124に液晶122を塗布する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いる。具体的には、液滴吐出装置1又は液滴吐出装置108を用いて、この液晶の材料液を配向膜135の上側に吐出して塗布する。

0262

このとき、第1の実施形態〜第9の実施形態における第1吐出量調整工程及び第2吐出量調整工程と同様な工程にて、液滴吐出ヘッド14の吐出量を調整した後、液晶の材料液の吐出を行って塗布する。

0263

上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、カラーフィルタ141R,141G,141Bを製造する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いることにより、カラーインクの吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、カラーインクの塗布量を精度良く塗布されたカラーフィルタ141R,141G,141Bを製造することができる。

0264

(2)本実施形態によれば、配向膜135,144を製造する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いることにより、配向膜の材料における吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配向膜の材料における塗布量が精度良く塗布された配向膜135,144を製造することができる。

0265

(3)本実施形態によれば、液晶を塗布する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いることにより、液晶の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、液晶の塗布量が精度良く塗布された液晶表示装置120を製造することができる。

0266

(4)本実施形態によれば、画素電極130及び対向電極143を製造する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いることにより、電極材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、電極材料の塗布量が精度良く塗布された画素電極130及び対向電極143を製造することができる。

0267

(5)本実施形態によれば、走査線132及びデータ線133を製造する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いることにより、配線材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、配線材料の塗布量が精度良く塗布された走査線132及びデータ線133を製造することができる。

0268

(6)本実施形態によれば、TFT素子131を製造する工程において、第1の実施形態〜第9の実施形態における吐出方法を用いることにより、半導体材料の吐出量を精度良く吐出して塗布している。従って、半導体材料の塗布量が精度良く塗布されたTFT素子131を製造することができる。

0269

(第11の実施形態)
次に、上記に記載の吐出方法を応用して有機EL装置を製造する一実施形態について図16を用いて説明する。

0270

まず、電気光学装置の一つである有機EL装置について説明する。図16は、有機EL装置の構造を示す概略分解斜視図である。

0271

図16に示すように、電気光学装置としての有機EL装置147は、基板148を備えている。基板148の上側には、絶縁膜149が形成されている。絶縁膜149上には、コンタクト電極150がマトリクス状に形成され、各コンタクト電極150と隣接する場所には、スイッチング機能を有する半導体としてのTFT素子151が形成されている。そして、TFT素子151のドレイン端子にコンタクト電極150が接続されている。

0272

各コンタクト電極150及びTFT素子151を囲むように、配線としての走査線152及び配線としてのデータ線153が格子状に形成されている。そして、走査線152は、TFT素子151のゲート端子と接続され、データ線153は、TFT素子151のソース端子と接続されている。

0273

そして、コンタクト電極150、TFT素子151、走査線152、データ線153などからなる素子層154が形成されている。素子層154の上側には、絶縁膜155が形成され、絶縁膜155の上側には、バンク156が格子状に形成されている。

0274

バンク156により形成される凹状領域の各底部には、電極としての画素電極157が形成され、画素電極157は、コンタクト電極150と電気的に接続されている。画素電極157の上面には、発光素子としての正孔輸送層158が形成され、正孔輸送層158の上面には、発光素子としての発光層159R,159G,159Bが形成されている。そして、正孔輸送層158と発光層159R,159G,159Bとにより発光素子としての機能層160が形成されている。

0275

発光層159Rは、赤色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層であり、発光素子としての発光層159Gは、緑色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。同様に、発光素子としての発光層159Bは、青色を発光する有機発光材料などにより構成された発光層である。

0276

機能層160及びバンク156の上側全面に渡って、光透過性を有する導電性材料などからなる電極としての陰極161が形成されている。本実施形態においては、陰極161は、例えば、ITOを採用している。

0277

陰極161の上面には、光透過性を有する材料などからなる封止膜162が形成され、陰極161及び機能層160が空気中の酸素により酸化されることを防止している。

0278

画素電極157と陰極161との間に電圧を印加するとき、正孔輸送層158は、正孔のみを流動する。そして、発光層159R,159G,159Bは、正孔輸送層158から供給される正孔と陰極161から供給される電子とが、合体するときのエネルギにより、発光する性質を持っている。TFT素子151は、スイッチング動作を行い、機能層160にかける電圧をコントロールすることにより、発光層159R,159G,159Bが発光する光量を制御する。このように、発光層159R,159G,159Bが発光する光量を制御することにより、画素毎に光量をコントロールし、画素を明滅させることにより、映像を表示させることができる。

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