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技術 ガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法

出願人 ラピスセミコンダクタ株式会社ラピスセミコンダクタ宮崎株式会社
発明者 松川芳彦
出願日 2007年2月7日 (13年1ヶ月経過) 出願番号 2007-027845
公開日 2008年8月21日 (11年6ヶ月経過) 公開番号 2008-192963
状態 特許登録済
技術分野 ホトレジスト感材への露光・位置合せ ウエハ等の容器,移送,固着,位置決め等 半導体の露光(電子、イオン線露光を除く) ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等 半導体の露光(電子、イオン線露光を除く)
主要キーワード 付勢ピン 位置決め冶具 位置バラツキ スチールプレート 押圧ロッド 当接離間 位置決め構造 位置決め位置
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2008年8月21日)のものです。
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図面 (20)

課題

製造誤差によりガイド部材の位置がずれても、ガイド部材を再度位置決めし、基板基板テーブル所定位置に位置決めすることができるガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法を得る。

解決手段

基板テーブル24の円孔46へ脚部54を嵌合させ、位置決め冶具50の基本形状部52を基板テーブル24に位置決めする。そして、レール部材34によって移動可能に保持された第1ガイド30を基本形状部52に当てて停止させ、第1ガイドピン30A部の位置決め位置として設定する。製造誤差により第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピンの位置決め位置がずれていても、位置決め冶具50によって第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピンの位置決め位置を正規の位置へ設定することができ、これにより、基板を基板テーブル24の所定位置に位置決めすることができる。

概要

背景

基板テーブルに載置された基板外周縁ガイド部材を当てて基板の位置を決める基板の位置決め方法が提案されている。(特許文献1)
詳細には、基板テーブルから突出するガイド部材は、基板ステージ側が絞られた円錐形状とされている。そして、ガイド部材を基板テーブルに載置された基板へ向けて基板の周囲から押し付けることで、基板の端部を円錐形状の円錐面に沿って基板ステージに押し付け、基板の位置を決めることで、基板の位置決め不良による不具合を防止するようになっている。
特開2004−235386号公報

概要

製造誤差によりガイド部材の位置がずれても、ガイド部材を再度位置決めし、基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができるガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法を得る。基板テーブル24の円孔46へ脚部54を嵌合させ、位置決め冶具50の基本形状部52を基板テーブル24に位置決めする。そして、レール部材34によって移動可能に保持された第1ガイド30を基本形状部52に当てて停止させ、第1ガイドピン30A部の位置決め位置として設定する。製造誤差により第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピンの位置決め位置がずれていても、位置決め冶具50によって第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピンの位置決め位置を正規の位置へ設定することができ、これにより、基板を基板テーブル24の所定位置に位置決めすることができる。

目的

本発明は、上記事実を考慮し、製造誤差によりガイド部材の位置がずれても、ガイド部材を再度位置決めし、基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができるガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法を提供することが課題である。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
0件

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請求項1

一基板の外周縁に当って、前記第一基板を基板テーブル位置決めするガイド部材位置決め方法であって、前記第一基板の外周縁と同一形状の第一基本形状部を備える位置決め冶具と、前記位置決め冶具に設けられた第一位置決め部と、前記基板テーブルに設けられ、前記第一位置決め部と嵌合して前記第一基本形状部を位置決めする位置決め受部と、前記ガイド部材を移動可能に保持する保持手段と、を有する位置決め構造に用いられ、前記位置決め受部に前記第一位置決め部を嵌合させ、前記第一基本形状部を前記基板テーブルに位置決めする工程と、前記第一基本形状部に前記ガイド部材を押し当てて停止させ、ガイド部材の位置決め位置として設定する工程と、を備えることを特徴とするガイド部材の位置決め方法。

請求項2

前記ガイド部材は複数本ガイドピンであって、前記第一基本形状部の外周縁は、円形状部と直線部を備え、前記基板テーブルには、前記第一基本形状部に前記保持手段に保持された前記ガイドピンを押し付け押圧部材が設けられ、前記押圧部材は2本の前記ガイドピンの外周面を前記直線部に押し当てると共に、他のガイドピンの外周面を前記円形状部に押し当てることを特徴とする請求項1記載のガイド部材の位置決め方法。

請求項3

前記位置決め冶具において、前記第一基本形状部の裏面には、前記第一基板と異なる形状の第二基板と同一形状の第二基本形状部が設けられ、前記第二基本形状部には、前記位置決め受部と嵌合して前記第二基本形状部を前記基板テーブルに位置決めする第二位置決め部が設けられることを特徴とする請求項1又は2記載のガイド部材の位置決め方法。

請求項4

請求項1から3何れか1記載のガイド部材の位置決め方法によって、位置決めされたガイド部材に第一基板の外周縁を当てて前記第一基板を基板テーブルに位置決めすることを特徴とする基板の位置決め方法。

請求項5

前記基板テーブルは、縮小投影露光装置に用いられることを特徴とする請求項4記載の基板の位置決め方法。

技術分野

0001

本発明は、基板に当って基板を所定位置位置決めするガイド部材位置決め方法、及びこのガイド部材を使用して基板を基板テーブルへ位置決めする基板の位置決め方法に関する。

背景技術

0002

基板テーブルに載置された基板の外周縁にガイド部材を当てて基板の位置を決める基板の位置決め方法が提案されている。(特許文献1)
詳細には、基板テーブルから突出するガイド部材は、基板ステージ側が絞られた円錐形状とされている。そして、ガイド部材を基板テーブルに載置された基板へ向けて基板の周囲から押し付けることで、基板の端部を円錐形状の円錐面に沿って基板ステージに押し付け、基板の位置を決めることで、基板の位置決め不良による不具合を防止するようになっている。
特開2004−235386号公報

発明が解決しようとする課題

0003

しかしながら、この基板の位置決め方法では、ガイド部材の位置を調整できるようになっておらず、製造誤差によりガイド部材の位置バラツキにより、基板の位置決め不良が発生することが考えられる。

0004

本発明は、上記事実を考慮し、製造誤差によりガイド部材の位置がずれても、ガイド部材を再度位置決めし、基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができるガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法を提供することが課題である。

課題を解決するための手段

0005

本発明の請求項1に係るガイド部材の位置決め方法は、第一基板の外周縁に当って、前記第一基板を基板テーブルに位置決めするガイド部材の位置決め方法であって、前記第一基板の外周縁と同一形状の第一基本形状部を備える位置決め冶具と、前記位置決め冶具に設けられた第一位置決め部と、前記基板テーブルに設けられ、前記第一位置決め部と嵌合して前記第一基本形状部を位置決めする位置決め受部と、前記ガイド部材を移動可能に保持する保持手段と、を有する位置決め構造に用いられ、前記位置決め受部に前記第一位置決め部を嵌合させ、前記第一基本形状部を前記基板テーブルに位置決めする工程と、前記第一基本形状部に前記ガイド部材を押し当てて停止させ、ガイド部材の位置決め位置として設定する工程と、を備えることを特徴とする。

0006

上記ガイド部材の位置決め方法によれば、位置決め冶具には、ガイド部材が当る第一基板の外周縁と同一形状の第一基本形状部が設けられている。

0007

さらに、位置決め冶具には、第一位置決め部が設けられ、基板テーブルには、この第一位置決め部と嵌合して第一基本形状部を位置決めする位置決め受部が設けられている。

0008

先ず、基板テーブルの位置決め受部に第一位置決め部を嵌合させ、第一基本形状部を基板テーブルに位置決めする。

0009

そして、保持手段によって移動可能に保持されたガイド部材を第一基本形状部に当てて停止させ、ガイド部材の位置決め位置として設定する。

0010

このように、製造誤差によりガイド部材の位置決め位置がずれていても、位置決め冶具によって再度位置決め位置を正規の位置へ設定することができる。

0011

本発明の請求項2に係るガイド部材の位置決め方法は、請求項1記載において、前記ガイド部材は複数本ガイドピンであって、前記第一基本形状部の外周縁は、円形状部と直線部を備え、前記基板テーブルには、前記第一基本形状部に前記保持手段に保持された前記ガイドピンを押し付ける押圧部材が設けられ、前記押圧部材は2本の前記ガイドピンの外周面を前記直線部に押し当てると共に、他のガイドピンの外周面を前記円形状部に押し当てることを特徴とする。

0012

上記ガイド部材の位置決め方法によれば、押圧部材が2本のガイドピンの外周面を直線部に押し当てて停止させ、2本のガイドピンの位置決め位置として設定する。さらに、押圧部材が他のガイドピンの外周面を円形状部に押し当てて停止させ、他のガイドピンの位置決め位置として設定する。

0013

つまり、直線部に2本のガイドピンの外周面を押し当てることで、2本のガイドピンが直線方向に沿って停止し、他のガイドピンの外周面を円形状部に押し当てることで、他のガイドピンの外周面と円形状部が局部的に当って他のガイドピンはその位置で停止する。

0014

このため、直線部や円形状部に合わせた平板曲板をガイド部材として用いなくても基板の外周縁をガイドピンでガイドすることができる。

0015

本発明の請求項3に係るガイド部材の位置決め方法は、請求項1又は2記載において、前記位置決め冶具において、前記第一基本形状部の裏面には、前記第一基板と異なる形状の第二基板と同一形状の第二基本形状部が設けられ、前記第二基本形状部には、前記位置決め受部と嵌合して前記第二基本形状部を前記基板テーブルに位置決めする第二位置決め部が設けられることを特徴とする。

0016

上記ガイド部材の位置決め方法によれば、基板テーブルの位置決め受部に位置決め冶具の第二位置決め部を嵌合させ、第二基本形状部を基板テーブルの所定位置に配置し、ガイド部材を第二基本形状部に押し当てて、ガイド部材の位置決め位置を設定することで、第二基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができる。

0017

つまり、第二基本形状部を位置決め冶具に設けることで、異なる二つの形状の基板を基板テーブルに位置決めすることができる。

0018

本発明の請求項4に係る基板の位置決め方法は、請求項1から3何れか1記載のガイド部材の位置決め方法によって、位置決めされたガイド部材に第一基板の外周縁を当てて前記第一基板を基板テーブルに位置決めすることを特徴とする。

0019

上記基板の位置決め方法によれば、第一基板を基板テーブルへ載置して、この第一基板の外周縁を請求項1から3何れか1項記載のガイド部材の位置決め方法によって位置決めされたガイド部材に当てて、第一基板を基板テーブルの所定位置に位置決めする。

0020

このように、製造誤差によりガイド部材の位置決め位置がずれていても、位置決め冶具によって再度位置決め位置が設定されたガイド部材を使用して第一基板を位置決めするため、第一基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができる。

0021

本発明の請求項5に係る基板の位置決め方法は、請求項4記載において、前記基板テーブルは、縮小投影露光装置に用いられることを特徴とする。

0022

上記基板の位置決め方法によれば、基板テーブルは、縮小投影露光装置に用いられる。そして、基板は基板テーブルの所定位置に位置決めされるため、基板上の正確な位置にパターン転写することができる。

発明の効果

0023

本発明によれば、製造誤差によりガイド部材の位置がずれても、ガイド部材を再度位置決めし、基板を基板テーブルの所定位置に位置決めすることができる。

発明を実施するための最良の形態

0024

本発明の第1実施形態に係るガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法が採用された図14に示す半導体基板20の縮小投影露光装置10について説明する。

0025

縮小投影露光装置10は、反射ミラー12、高圧水銀ランプを用いた光源14、光源14から発する光を集光するコンデンサレンズ16、チップパターン縦横に複数形成されたマスク18、光りを基板20に縮小投影する縮小投影レンズ22、及び、基板20が載せられる基板テーブル24を備えている。

0026

この構成により、光源14から水平方向へ発光された光が、反射ミラー12よって、下方へ向きを変え、コンデンサレンズ16によって集光され、マスク18を通って、縮小投影レンズ22によって、基板テーブル24に載置された基板20に投影される。これによって、基板20上の感光層にチップパターンが転写される。

0027

次に、基板テーブル24について詳細に説明する。

0028

図12図13に示されるように、上方から見て略円形状の基板テーブル24の上面には、上方が開口したコ字形状レール40が基板テーブル24の中心部を中心として同心円上に複数本設けられている。

0029

さらに、基板テーブル24の中央部の底面には吸引孔42、また、コ字形状のレール40の底面には、基板テーブル24の中央部から径方向へ複数の吸引孔42が列状に3列設けられており、この吸引孔42から空気を吸引することにより、基板20(図11参照)を基板テーブル24へ吸い付ける構成となっている。

0030

また、隣接するレール40の間には、空気を排出することができる4個の排出孔44が設けられており、吸引孔42が発生する吸引力で基板テーブル24に吸い付けられた基板20を排出孔44から空気を排出することで、基板20を基板テーブル24から取り外せる構成となっている。

0031

さらに、最も内側に配置されるレール40の外側には、3個の円孔46が均等間隔に配置されており、後述する位置決め冶具50の3本の脚部54が嵌るようになっている。

0032

また、図13に示されるように、基板テーブル24には、基板テーブル24に設けられた円形状の貫通孔27から上方へ突出する付勢ピン28、矩形状の貫通孔29には第1ガイド30、及び矩形状の貫通孔31には第2ガイド32が設けられており、基板テーブル24に載せられた基板20(図11参照)の外周縁と当って、基板20を基板テーブル24の所定位置に位置決めするようになっている。

0033

図12に示されるように、第1ガイド30と第2ガイド32は、基板テーブル24の中心部を通り直交するX軸、Y軸上に配置されている。また、付勢ピン28は、第1ガイド30と第2ガイド32の中間部に対し、基板テーブル24の中心部を中心として対向する位置に配置されている。

0034

詳細には、図11に示されるように、基板20の外周縁は、円形状部20Aとオリフラ部としての直線部20Bとから構成されている。また、第1ガイド30は、矩形状の第1ガイドブロック30Bと、第1ガイドブロック30Bから立設し貫通孔29から突出する3本の第1ガイドピン30Aとで構成されている。

0035

図7に示されるように、第1ガイド30は、保持手段としてのレール部材34に移動可能に保持されている。

0036

詳細には、レール部材34は、上方が開放された箱形状とされており、レール部材34の内部に第1ガイドブロック30Bが嵌めこまれ、第1ガイドブロック30Bの側面とレール部材34の内側面34Aが当接している。これにより、第1ガイド30は、基板20に対して当接離間する方向(図7に示す矢印A方向)に移動可能となっている。

0037

さらに、この第1ガイド30を基板20に対して当接離間する方向に移動させる押圧部材としてのエアポット36が、レール部材34に隣接して設けられており、エアポット36の押圧ロッド36Aの先端部がレール部材34の背板34Bを貫通して第1ガイドブロック30Bに固定されている。

0038

第1ガイド30を移動させる場合は、押圧ロッド36Aを伸縮させることで第1ガイド30が移動する構成となっており、押圧ロッド36Aを伸ばして第1ガイド30を基板20へ向けて移動させると第1ガイドブロック30Bが、矩形状のストッパー38と当接して停止するようになっている。

0039

さらに、図11に示されるように、第2ガイド32は、矩形状の第2ガイドブロック32Bと、第2ガイドブロック32Bから立設し貫通孔31から突出する3本の第2ガイドピン32Aとで構成されている。

0040

図8に示されるように、第2ガイド32は、保持手段としてのレール部材35に移動可能に保持されている。

0041

詳細には、第1ガイド30と同様に、レール部材35は、上方が開放された箱形状とされており、レール部材35の内部に第2ガイドブロック32Bが嵌めこまれ、第2ガイドブロック32Bの側面とレール部材35の内側面35Aが当接している。これにより、第2ガイド32は、基板20に対して当接離間する方向(図8に示す矢印B方向)に移動可能となっている。

0042

さらに、この第2ガイド32を基板20に対して当接離間する方向に移動させる押圧部材としてのエアポット37が、レール部材35に隣接して設けられており、エアポット37の押圧ロッド37Aの先端部がレール部材35の背板35Bを貫通して第2ガイドブロック32Bに固定されている。

0043

第2ガイド32を移動させる場合は、押圧ロッド37Aを伸縮させることで第2ガイド32が移動する構成となっており、押圧ロッド37Aを伸ばして第2ガイド32を基板20へ向けて移動させると第2ガイドブロック32Bが、矩形状のストッパー39と当接して停止するようになっている。

0044

また、図10に示されるように、基板テーブル24上に基板20を載置した状態では、付勢ピン28、3本の第1ガイドピン30A、及び3本の第2ガイドピン32Aは、基板20の外周縁から離間する離間位置に配置されている。

0045

そして、図示せぬ制御部からの位置決め指示が発信されると、図9に示されるように、第1ガイド30は、エアポット36の押圧力で基板20へ向けて移動し、第1ガイドブロック30Bがストッパー38(図7参照)と当接して、第1ガイドピン30Aが基板20を位置決めする位置決め位置で停止するようになっている。

0046

ここで、3本の第1ガイドピン30Aの内、両端部の第1ガイドピン30Aが基板20側へオフセットして配置されており、この両端部の第1ガイドピン30Aの外周面が、基板20の直線部20Bと当る構成となっている。

0047

また、第1ガイド30の移動と同時に、第2ガイド32も、エアポット37の押圧力で基板20へ向けて移動し、第2ガイドブロック32Bがストッパー39(図8参照)と当接して、3本の第2ガイドピン32Aが基板20を位置決めする位置決め位置で停止するようになっている。ここで、3本の第2ガイドピン32Aは、直線上に配置されており、中央部の第2ガイドピン32Aの外周面が、基板20の円形状部20Aと当る構成となっている。

0048

第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aが停止すると、回動アーム25の先端に設けられた付勢ピン28は、図示せぬシリンダ回動する回動アーム25の回動動作で基板20を押圧して基板20を第1ガイドピン30A及び第2ガイドピン32Aに押し付けるようになっている。

0049

なお、付勢ピン28の基板20への押圧力は、基板20を第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aに押し付けるだけでよく、基板20を変形させないような力になっている。

0050

このように、基板20の直線部20Bへ2本の第1ガイドピン30Aの外周面を当て、基板20の回転を規制し、円形状部20Aへ第2ガイドピン32Aの外周面を当てることで、基板20の平行移動を規制する。このように、確実に基板20を基板テーブル24へ位置決めできる構成となっている。

0051

また、この状態で、図12に示す吸引孔42から空気を吸引することにより、基板20を基板テーブル24に吸い付ける構成となっている。

0052

次に、第1実施形態に係るガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具50について説明する。

0053

図2図5に示されるように、位置決め冶具50には、基板20と同一形状の基本形状部52が設けられ、この基本形状部52の片面には、前述した基板テーブル24の円孔46に嵌めることで、基本形状部52の外周縁52Aを位置決めされた基板20の円形状部20A、及び直線部20Bと同じ位置に配置する円筒状の脚部54が設けられている。

0054

つまり、円孔46へ脚部54を嵌め込むことで、基本形状部52の外周縁52Aを位置決めされた基板20の円形状部20A、及び直線部20Bと同じ位置に配置することができるようになっている。

0055

また、基本形状部52の上側(脚部54と反対側)には、リング状のリング部材56が設けられており、リング部材56の側面には、小径孔56Aが設けられている。

0056

なお、基本形状部52は、スチールプレートにて作成されており、さらに、リング部材56によって、容易に変形しないようになっている。

0057

次に、第1実施形態に係るガイド部材の位置決め方法について説明する。

0058

図4に示されるように、エアポット36、37(図7図8参照)を可動させ、第1ガイドピン30A、第2ガイドピン32A、及び付勢ピン28を、基本形状部52から離間する離間位置に移動させる。

0059

そして、位置決め冶具50の脚部54を基板テーブル24の円孔46へ嵌め込み、位置決め冶具50を基板テーブル24に載置する。これにより、基本形状部52の外周縁52Aを位置決めされた基板20の円形状部20A、及び直線部20Bと同じ位置になるように配置する。

0060

次に、図1図3に示されるように、第1ガイド30を、エアポット36(図7参照)の押圧力で基本形状部52へ向けて移動させる。第1ガイド30は、第1ガイドピン30Aの外周面が基本形状部52の外周縁52Aと当接すると停止する。この状態で、図7に示す第1ガイドブロック30Bのストッパー38の厚さを調整して第1ガイドピン30Aがこの位置で停止するように設定し、第1ガイドピン30Aの位置決め位置を決める。

0061

同様に、図1図3に示されるように、第2ガイド32を、エアポット36(図8参照)の押圧力で基本形状部52へ向けて移動させる。第2ガイド32は、第2ガイドピン32Aの外周面が基本形状部52の外周縁52Aと当接すると停止する。この状態で、図8に示す第2ガイドブロック32Bのストッパー39の厚さを調整して第2ガイドピン32Aがこの位置で停止するように設定し、第2ガイドピン32Aの位置決め位置を決める。

0062

このように、製造誤差により第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピン32Aの位置決め位置がずれていても、位置決め冶具50によって第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピン32Aの位置決め位置を正規の位置へ設定することができる。

0063

次に、第1実施形態に係る基板の位置決め方法について説明する。

0064

前述した第1実施形態に係るガイド部材の位置決め方法によって、第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aを位置決め冶具50によって位置決めした後、図4に示されるように、第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aを基本形状部52から離間する離間位置に移動させる。

0065

そして、図示せぬドライバーの先を位置決め冶具50の小径孔56A(図5参照)に挿入し、ドライバーを持上げて、位置決め冶具50を基板テーブル24から取り外す。

0066

次に、図10に示されるように、基板20を基板テーブル24に載置する。

0067

さらに、図9に示されるように、第1ガイド30、及び第2ガイド32をエアポット36、37(図7図8参照)の押圧力で基板20へ向けて移動させ、第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aを前述した位置決め位置で停止させる。

0068

次に、付勢ピン28によって、基板20を押圧して基板20を第1ガイドピン30A及び第2ガイドピン32Aに付勢し、基板20を基板テーブル24の所定位置に位置決めする。

0069

さらに、吸引孔42から空気を吸引することにより、基板20を基板テーブル24に吸い付ける。

0070

なお、基板20を基板テーブル24から取り外す際は、付勢ピン28、第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aを離間位置へ移動させ、さらに、排出孔44から空気を排出させることで、基板20を基板テーブル24から取り外すことができる。

0071

このように、製造誤差により第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピン32Aの位置決め位置がずれていても、第1実施形態に係るガイド部材の位置決め方法によって、位置決めされた第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aを使用して基板20を基板テーブル24に位置決めするため、基板20を基板テーブル24の所定位置に位置決めすることができる。

0072

また、基板20がずれた状態で吸引孔42によって吸引すると、基板20の縁部が波打つことがあるが、本発明では、基板20を確実に基板テーブル24の所定位置へ位置決めしてから、吸引孔42で基板20を吸引するため、基板20の縁部の波打ちを防止することができる。

0073

また、基板20の縁部の波打を防止することができるため、高解像度露光を行う場合でも、解像不良(デフォーカス)を防止することができる。

0074

また、基板20は基板テーブル24の所定位置に位置決めされるため、基板20上の正確な位置にパターンを転写することができる。

0075

なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態が可能であることは当業者にとって明らかである。例えば、上記実施形態では、基本形状部52の形状を基板20と同一形状としたが、基本形状部52の形状を、第1ガイドピン30A及び第2ガイドピン32Aが当る基板20の外周縁の形状のみと同一形状としてもよい。

0076

また、上記実施形態では、基板20の位置決め方法を縮小投影露光装置10の基板テーブル24を例にとって説明したが、ダイシング工程等の他の工程に用いられる基板テーブルに用いてもよい。

0077

次に、第2実施形態に係るガイド部材の位置決め方法、及び基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具60について図15から図19に従って説明する。

0078

なお、位置決め冶具50と同一部材については、同一符号を付してその説明を省略する。

0079

図17に示されるように、位置決め冶具50(図2参照)と違い、位置決め冶具60のリング部材56の上端には、基板20(図11参照)より一回り大きくされた基板66(図19参照)と同一形状の第二基本形状部62が設けられている。なお、基板66の外周縁は、基板20の外周縁と同様に、円形状部66Aとオリフラ部としての直線部66Bから構成されている。

0080

さらに、第二基本形状部62の上面には、図18に示す基板テーブル24の円孔46に嵌めることで、第二基本形状部62の外周縁62Aを位置決めされた基板66の円形状部66A、及び直線部66Bと同じ位置に配置する円筒状の第二脚部64が設けられている。

0081

次に、第2実施形態に係るガイド部材の位置決め方法について説明する。

0082

なお、第2実施形態に係るガイド部材の位置決め方法は、位置決め冶具60を使用して第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aの位置決め位置を正規の位置へ設定する方法である。

0083

基本形状部52を使用して第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピン32Aの位置決め位置を設定する方法については第1実施形態と同一であるため省略し、第二基本形状部62を使用して第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピン32Aの位置決め位置を再度設定する方法について説明する。

0084

図16に示されるように、基本形状部52によって第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピン32Aの位置決め位置を設定した後に、第二基本形状部62を使用して位置決め位置を再度設定する場合は、先ず、付勢ピン28、第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aを基本形状部52から離間する離間位置に移動させる。

0085

次に、図18に示されるように、位置決め冶具60を基板テーブル24から取り外し、第二基本形状部62が下側に向くように第二脚部64を基板テーブル24の円孔46へ嵌め込み、位置決め冶具60を基板テーブル24に載置する。

0086

これにより、第二基本形状部62の外周縁62Aを位置決めされた基板66の円形状部66A、及び直線部66Bと同じ位置になる。

0087

次に、図15に示されるように、第1ガイド30を、エアポット36(図7参照)の押圧力で第二基本形状部62へ向けて移動させる。第1ガイド30は、第1ガイドピン30Aの外周面が第二基本形状部62の外周縁62Aと当接すると停止する。この状態で、第1ガイドブロック30Bのストッパー38の厚さを調整して第1ガイドピン30Aがこの位置で停止するように設定し、第1ガイドピン30Aの位置決め位置を決める。

0088

同様に、第2ガイド32を、エアポット37(図8参照)の押圧力で第二基本形状部62へ向けて移動させる。第2ガイド32は、第2ガイドピン32Aの外周面が第二基本形状部62の外周縁62Aと当接すると停止する。この状態で、第2ガイドブロック32Bのストッパー39の厚さを調整して第2ガイドピン32Aがこの位置で停止するように設定し、第2ガイドピン32Aの位置決め位置を決める。

0089

このように、位置決め冶具60によって、第1ガイドピン30A,及び第2ガイドピン32Aを基板20と異なる形状の基板66を位置決めする位置決め位置へ設定することができる。

0090

次に、第2実施形態に係る基板の位置決め方法について説明する。

0091

前述した第2実施形態に係るガイド部材の位置決め方法によって、第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aを位置決め冶具60によって位置決めした後、第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aを第二基本形状部62から離間する離間位置に移動させる。

0092

次に、図示せぬドライバーの先を位置決め冶具60の小径孔56A(図17参照)に挿入し、ドライバーを持上げて、位置決め冶具60を基板テーブル24から取り外す。

0093

次に、図19に示されるように、基板66を基板テーブル24に載置する。

0094

さらに、第1ガイド30、及び第2ガイド32を基板66へ向けて移動させ、第1ガイドピン30A、及び第2ガイドピン32Aを前述した位置決め位置で停止させる。

0095

次に、付勢ピン28によって、基板66を押圧して基板66を第1ガイドピン30A及び第2ガイドピン32Aに付勢し、基板66を基板テーブル24の所定位置に位置決めする。

0096

さらに、吸引孔42から空気を吸引することにより、基板20を基板テーブル24に吸い付ける。

0097

このように、位置決め冶具60を使用して、異なる形状の基板20と基板66を基板テーブル24の所定位置に位置決めすることができる。

図面の簡単な説明

0098

本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、位置決め冶具等を示した断面図である。
(A)本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具の平面図である。(B)本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具の側面図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、位置決め冶具等を示した平面図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、位置決め冶具等を示した平面図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、位置決め冶具等を示した分解斜視図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、基板等を示した断面図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される第1ガイド、及びレール部材等を示した斜視図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される第2ガイド、及びレール部材等を示した斜視図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、基板等を示した平面図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、基板等を示した平面図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、基板等を示した分解斜視図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブルを示した平面図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブルを示した斜視図である。
本発明の第1実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される縮小投影露光装置の概略構成図である。
本発明の第2実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、及び位置決め冶具等を示した断面図である。
本発明の基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、及び第2実施形態に係る位置決め冶具等を示した断面図である。
(A)本発明の第2実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具の平面図である。(B)本発明の第2実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される位置決め冶具の側面図である
本発明の第2実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、及び位置決め冶具等を示した分解斜視図である。
本発明の第2実施形態に係る基板の位置決め方法に使用される基板テーブル、及び基板等を示した分解斜視図である。

符号の説明

0099

10縮小投影露光装置
20基板(第一基板)
20A円形状部(外周縁)
20B 直線部(外周縁)
24基板テーブル
30Aガイドピン(ガイド部材)
32A ガイドピン(ガイド部材)
34レール部材(保持手段)
35 レール部材(保持手段)
36エアポット(押圧部材)
37 エアポット(押圧部材)
46円孔(位置決め受部)
50位置決め冶具
52基本形状部(第一基本形状部)
54 脚部(第一位置決め部)
60 位置決め冶具
62 第二基本形状部
64 第二脚部(第二位置決め部)
66 基板(第二基板)
66A 円形状部(外周縁)
66B 直線部(外周縁)

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