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技術 識別部品の保持部材及び基板収納容器

出願人 信越ポリマー株式会社
発明者 戸田順也
出願日 2006年9月13日 (13年10ヶ月経過) 出願番号 2006-248128
公開日 2008年3月27日 (12年4ヶ月経過) 公開番号 2008-068888
状態 特許登録済
技術分野 剛性または準剛性容器の細部 脆弱物品の包装 ウエハ等の容器,移送,固着,位置決め等 ウエハ等の容器、移送、固着、位置決め等
主要キーワード 全数確認 識別部品 半導体生産工場 所定装置 貫通孔周縁 半径方向外向 識別部材 プラグ状
関連する未来課題
重要な関連分野

この項目の情報は公開日時点(2008年3月27日)のものです。
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図面 (10)

課題

複数の識別部品を取り付けることができる、基板収納容器着脱可能な識別部品の保持部材を提供し、また、洗浄等に便利な水切貫通孔を備えた識別部品の保持部材を提供する。

解決手段

精密基板収納する基板収納容器に取り付けられる識別部品の保持部材4であって、基部6と基部から立ち上がる前面壁部7および側壁部8とを有し、基部の両側部に立設される側壁部には、基板収納容器に保持部材を固定するための係止部が設けられており、前面壁部には、バーコードを表示する壁面29と、カードケースを保持する一対のカードケース保持部30が立設されている。

概要

背景

従来、半導体生産工場精密基板(以下、単に基板と言うこともある)を運び込んだり、半導体生産工場内の工程間の搬送や保管に使用される基板収納容器が知られている。
こうした基板収納容器には、工程管理用カードを保持するカードホルダーを備えるものも用いられてきた(特許文献1参照)。工程管理カードに限らず、バーコードや、RFIDタグインフォパッドなどの各種の識別部品も用いられてきているが、識別部品の保持部材や、工程連絡表などを収納するカードケースが、基板収納容器を使用する工場仕様に個別に合わせて取り付けられて使用されていた。これらの保持部材やカードケースにおいては、単一の識別部品やカードケース(以下、併せて識別部品という)を保持・収納するものであって、企業・工場・ライン毎に別個のものを用意する必要があった。

複数の識別部品に対応することができる保持部材やカードケースを用いる試みもなされてきた。例えば、基板収納容器の背面に複数のカードに対応可能なカードケースを取り付ける試み(特許文献2参照)や、応答器IDタグ)(非接触型情報媒体)の向きを複数の方向に変更可能としたもの(特許文献3参照)などである。
しかし、これらの試みも、同一の識別部品に対応するものであって、異なる識別部品を取り付けることは、未だ試みられてこなかった。

こうした基板収納容器には、複数の識別部品を取り付けて使用することがあり、その場合使用する識別部品の種類の分の保持部品やカードホルダー(カードケース、以下、併せて取付部品または保持部品という)を用意する必要があった。
複数種の取付部品を準備しておくことは、管理上の手間が掛かるし、急な仕様変更に対応できないといった問題があった。また、従来の取付部品では、洗浄した後の水切り性が考慮されていなかったために、洗浄後の乾燥に時間がかかるといった問題や、残った水分が基板収納容器に悪影響を及ぼすといったことが懸念されていた。

特開平4−225257号公報
特開2004−55868号公報
国際公開WO04/079818号公報

概要

複数の識別部品を取り付けることができる、基板収納容器に着脱可能な識別部品の保持部材を提供し、また、洗浄等に便利な水切貫通孔を備えた識別部品の保持部材を提供する。精密基板を収納する基板収納容器に取り付けられる識別部品の保持部材4であって、基部6と基部から立ち上がる前面壁部7および側壁部8とを有し、基部の両側部に立設される側壁部には、基板収納容器に保持部材を固定するための係止部が設けられており、前面壁部には、バーコードを表示する壁面29と、カードケースを保持する一対のカードケース保持部30が立設されている。

目的

本発明は、上記の事情に鑑みて、複数の識別部品を取り付けることができる、基板収納容器に着脱可能な識別部品の保持部材を提供し、また、洗浄等に便利な水切貫通孔を備えた識別部品の保持部材を提供することを課題とする。

効果

実績

技術文献被引用数
1件
牽制数
3件

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請求項1

精密基板収納する基板収納容器に取り付けられる識別部品保持部材であって、前記保持部材が、基部と基部から立ち上がる前面壁部および側壁部とを有し、基部の両側部に立設されて向き合う前記側壁部には、基板収納容器に前記保持部材を固定するための係止部が設けられており、前記前面壁部には、バーコードを表示する壁面と、カードケースを保持する一対のカードケース保持部が立設されていることを特徴とする識別部品の保持部材。

請求項2

前記カードケース保持部が、L字状をしたカードケース保持面を有し、前記カードケース保持面はカードケースの一面と両側面とを接触可能に保持していて、カードケースを他端から支え支柱部をさらに有する請求項1に記載の識別部品の保持部材。

請求項3

前記カードケース保持部と、前記支柱部との間には、精密基板を確認可能な空間が形成されている請求項1又は2に記載の識別部品の保持部材。

請求項4

前記基部及び/又は前記前面壁部には、RFIDタグを保持する保持部が少なくとも1箇所形成されている請求項1〜3の何れか1項に記載の識別部品の保持部材。

請求項5

前記基部には、貫通孔が設けられ、この貫通孔には、貫通孔を塞ぐプラグ状識別情報を保持するインフォパッド部品が取り付け可能である請求項1〜4の何れか1項に記載の識別部品の保持部材。

請求項6

前記基部の基部から突出するリブにより区画された部分には、1又は複数の水切用の水切貫通孔が備えられている請求項1〜5の何れか1項に記載の識別部品の保持部材。

請求項7

精密基板を収納する基板収納容器において、請求項1〜6の何れか1項に記載の識別部品の保持部材を固定可能な係止部を有し、前記保持部材に前記識別部材が取り付けられていることを特徴とする基板収納容器。

技術分野

0001

本発明は、半導体ウエーハ等の精密基板収納する基板収納容器に関し、特には、基板収納容器に取り付けられる識別部品保持部材に関する。

背景技術

0002

従来、半導体生産工場に精密基板(以下、単に基板と言うこともある)を運び込んだり、半導体生産工場内の工程間の搬送や保管に使用される基板収納容器が知られている。
こうした基板収納容器には、工程管理用カードを保持するカードホルダーを備えるものも用いられてきた(特許文献1参照)。工程管理カードに限らず、バーコードや、RFIDタグインフォパッドなどの各種の識別部品も用いられてきているが、識別部品の保持部材や、工程連絡表などを収納するカードケースが、基板収納容器を使用する工場仕様に個別に合わせて取り付けられて使用されていた。これらの保持部材やカードケースにおいては、単一の識別部品やカードケース(以下、併せて識別部品という)を保持・収納するものであって、企業・工場・ライン毎に別個のものを用意する必要があった。

0003

複数の識別部品に対応することができる保持部材やカードケースを用いる試みもなされてきた。例えば、基板収納容器の背面に複数のカードに対応可能なカードケースを取り付ける試み(特許文献2参照)や、応答器IDタグ)(非接触型情報媒体)の向きを複数の方向に変更可能としたもの(特許文献3参照)などである。
しかし、これらの試みも、同一の識別部品に対応するものであって、異なる識別部品を取り付けることは、未だ試みられてこなかった。

0004

こうした基板収納容器には、複数の識別部品を取り付けて使用することがあり、その場合使用する識別部品の種類の分の保持部品やカードホルダー(カードケース、以下、併せて取付部品または保持部品という)を用意する必要があった。
複数種の取付部品を準備しておくことは、管理上の手間が掛かるし、急な仕様変更に対応できないといった問題があった。また、従来の取付部品では、洗浄した後の水切り性が考慮されていなかったために、洗浄後の乾燥に時間がかかるといった問題や、残った水分が基板収納容器に悪影響を及ぼすといったことが懸念されていた。

0005

特開平4−225257号公報
特開2004−55868号公報
国際公開WO04/079818号公報

発明が解決しようとする課題

0006

本発明は、上記の事情に鑑みて、複数の識別部品を取り付けることができる、基板収納容器に着脱可能な識別部品の保持部材を提供し、また、洗浄等に便利な水切貫通孔を備えた識別部品の保持部材を提供することを課題とする。

課題を解決するための手段

0007

本発明の識別部品の保持部材は、上記した課題を解決するためのものであり、精密基板を収納する基板収納容器に取り付けられる識別部品の保持部材であって、前記保持部材が、基部と基部から立ち上がる前面壁部および側壁部とを有し、基部の両側部に立設されて向き合う前記側壁部には、基板収納容器に前記保持部材を固定するための係止部が設けられており、前記前面壁部には、バーコードを表示する壁面と、カードケースを保持する一対のカードケース保持部が立設されていることを特徴とする。
前記カードケース保持部が、L字状をしたカードケース保持面を有し、前記カードケース保持面はカードケースの一面と両側面とを接触可能に保持していて、カードケースを他端から支え支柱部をさらに有すること、さらに、前記カードケース保持部と、前記支柱部との間には、精密基板を確認可能な空間が形成されていることが好ましい。

0008

また、前記基部及び/又は前記前面壁部には、RFIDタグを保持する保持部が少なくとも1箇所形成されていること、前記基部には、貫通孔が設けられ、この貫通孔には、貫通孔を塞ぐプラグ状識別情報を保持するインフォパッド部品が取り付け可能であること、前記基部の基部から突出するリブにより区画された部分には、1又は複数の水切用の水切貫通孔が備えられていることが好ましい。
また、本発明の基板収納容器は、上記したような識別部品の保持部材を固定可能な係止部)を有し、前記保持部材に前記識別部材が取り付けられていることを特徴とする。

発明の効果

0009

本発明によれば、異なる種類の複数の識別部品や工程管理表を一つの部品(保持部材)で保持することが可能となり、コストダウンができるし、部品の在庫製品管理が容易で、急な仕様変更にも対応可能となる。
また、水切貫通孔を随所に形成したので、洗浄後の水切性が良好であり、生産性が向上する。

発明を実施するための最良の形態

0010

本発明は、基板収納容器に2種類以上の識別部品を備えさせることを可能とすることを基本とする。本発明で適用可能な識別部品の種類としては、格別制限されず、常用のバーコードや、RFIDタグ、インフォパッド、さらには工程連絡表などが対象とされ得る。ここにおいて、バーコードは、棒状のバーコードの他にも、PDF、QR、DATA MATRIX等の二次元バーコードでも良い。また、バーコードは、ラベル印刷したものを壁面に貼り付けたり、レーザーマーキング直接加工しても良く、こうしたバーコード表面にさらに透明な保護フィルム熱シール超音波シールにて被覆しても良い。

0011

RFIDは、Radio Frequency Identificationの略であり、電波を使用してデータの読み取り・書き込みを行う電子デバイスである。RFIDを使ったシステムは、基板収納容器にRFIDタグを個別に取り付けて応答器とし、半導体生産工程内に、ホストコンピュータワークステーション質問器リーダーライター)等を配置して構成される。
質問器は、コントローラ送受信器、及びアンテナから構成され、ホストコンピュータやワークステーションとその制御下で情報を交換する。この質問器は、応答器の情報を読み込んで確認したり、書き込みする機能を有し、基板収納容器の使用される装置や工程内の所定装置に設置される。

0012

RFIDタグ(応答器)は、アンテナ、送受信器、及びメモリーから構成され、精密基板収納容器に設置されて半導体ウエーハのロット、工程内の加工、あるいは処理経過等を記憶(記録)している。
こうした、RFIDシステムでは、RFIDタグのデータを読み取って、確認と書き換えを行いながら工程を管理することが可能となる。RFIDタグは、アンテナ、送受信器、及びメモリーをガラス樹脂等の筒状筺体封入したものや、二層フィルムに挟まれたフィルム状のものが使用される。

0013

インフォパッドは、基板収納容器を基板の加工装置に搭載したときに、基板収納容器の種類や、基板の収納枚数等を検出するためのもので、基板の加工装置の所定位置に配置されるセンサーが、容器本体の所定位置にセンサーが非検出となる貫通孔や凹部があるのか、あるいは貫通孔や凹部がインフォパッドプラグにより塞がれて検出されるのかを検出し、これらのON−OFFの結果の組み合わせによって、基盤収納容器の仕様を確認するためのものである。
インフォパッドプラグは、貫通孔や凹部の周縁又は近傍に係止可能で、センサーにより検出される被検出面を有していれば良い。

0014

インフォパッドは、被検出面となる円板と円板の被検出面とは反対側に突出する少なくとも二つの係止爪を有するものや、被検出面となる円板とこの円板よりも小さな径を有し、被検出面と反対側に延びる円筒状の部材でも良い。
円筒状の端部は開口となっていて、端部の少なくとも一部には、係止爪が形成されていて、貫通孔周縁を円板との協動によって挟持するものであっても良い。或いは、被検出面と被検出面と反対側に延びる円筒部材であり、これを基板収納容器の所定位置に設けられた係止爪に噛み合わせたりしても良い。

0015

本発明の基板収納容器は、正面、平面あるいは底面の少なくとも一箇所に開口を有する筺体からなり、内部に基板を水平又は垂直に収納可能な容器である。また、前記した筺体の開口を蓋体シール可能に閉鎖した密封容器や、基板を収納するカセット治具を筺体に収容して密封する容器などが使用できる。
蓋体は、マニュアル開閉するもの、外部から自動操作可能なラッチ機構を内蔵したもののどちらも使用できる。

0016

以下に、添付図面を参照しながら、本発明を詳細に説明する。
図1は、本発明の実施形態の基板収納容器を表す展開斜視図である。
図2は、本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す斜視図である。
図3は、本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す正面図である。
図4は、本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す平面図である。
図5は、本発明の識別部品の保持部のコーナー部拡大説明斜視図である。
図6は、本発明の実施形態の識別部品保持部材を容器本体に取り付けた状態を表す底面図である。
図7は、(a)は本発明の一実施の形態の識別部品(インフォパッド)を表す斜視図であり、(b)は本発明の他の実施の形態の識別部品(インフォパッド)を表す斜視図である。
図8は、(a)は本発明の一実施の形態の識別部品(RFIDタグ)を表す平面図、(b)は同部分断面図であり、(c)は本発明の他の実施の形態の識別部品(RFIDタグ)を表す説明立面図である。
図9は、本発明の実施形態の識別部品保持部材に工程管理表を取り付けた状態を表す説明斜視図である。

0017

図1において、基板収納容器は、正面に開口を有し、精密基板(図示省略)を水平に一定間隔で支持する一対の基板支持部3を有する容器本体1と、容器本体1の開口を閉鎖する蓋体2とからなり、背面に識別部品保持部材4が取り付け可能となっている。容器本体1の底面には、識別部品保持部材4を固定するための一対の係止溝5(図6)が底面から突出するように形成されている。

0018

識別部品保持部材4は、図2に斜視図で、図3に正面図で、図4に平面図で図5にコーナー部拡大説明斜視図で、示すように、容器本体1(図1)の底面に平行に取り付けられる板状の基部6と、容器本体1の背面側の側壁に平行になるように、基部6の一方の端部から立ち上がる前面壁部7と、一対の側壁部8からなる。基部と前面壁部7とのコーナー部には、基板収納容器を梱包するラミネート袋が衝撃にあっても破れないように、R2〜R20の曲面にしておくことが好ましい。
基部6の両側壁部8は、断面L字状に基部6の端部から突出し、基板収納容器の係止溝5(図6)に係合する係止爪10を有する一対の固定部9が形成されている。これにより識別部品保持部材4は基板収納容器に固定される。

0019

基部6の他端側には、幅方向中央線に沿って略U字状をしたU字状切欠部11が形成されていて、このU字状切欠部11により左右に分離された板状の基部6には、異なる半径をした複数の貫通孔12が対称に形成されていて、インフォパッド(部品)16(図7)が、必要に応じて、これらの貫通孔12を塞ぐように取り付けられる。
貫通孔12は、図2に示すように、同芯状である、大きな径をした外周円13と、小さな径の内周円14とを有していて、外周円13と内周円14との間には段差部15が形成されている。

0020

本発明の識別部材の一つであるインフォパッド(部品)16の例を図7に示す。図7(a)に示す一実施の形態のものでは、貫通孔12の内周円14よりも大きな径をし、被検出部となる平坦部17と、内周円14よりも小さな径をした円筒部18とを有し、円筒部18の端部には、段差部を挟み込むように半径方向外向きに突出する固定爪19が全周に渡って形成されている。図7(b)は、他の実施の形態のインフォパッド部品16を表しており、固定爪19は全周ではなく複数箇所に形成されている例である。
この場合、平坦部から延びる円筒部の替わりに、固定爪を支えるための支持部20を複数本設けておき、そこに固定爪19を設けておく例である。

0021

図2(上面側)および図4(下面側)に示されるとおり、識別部品保持部材4の基部6の平坦面21(図4ではその下面)の上面には、補強用のリブ22(図2)が形成されていて、これらのリブ22で囲まれた区画には、それぞれ洗浄したときの水切性を向上させるための三角形状や四角形状の水切穴23(水切貫通孔)が、1又は複数形成されている。
基部6の、U字状切欠部11が設けられた一端側の反対側、すなわち他端側には、左右方向の中心線を跨いで、その中心線に沿って、図8(a)・(b)に示すように、RFIDタグ24を保持するために、中心線の近傍に底面方向へ突出する第一の保持溝25(図9も参照)が形成されている。

0022

第一の保持溝25は、円筒状のRFIDタグ24を収納し、これを保持するための係止突起26が左右の側壁から中心線方向に向くように形成されていて、RFIDタグ24を中心線方向に固定している。
また、基部6の一端部にはRFIDタグを中心線と垂直な向きに保持するための、係止突起28で形成された第二の保持溝27を備えている。図示例では、第一の保持溝は基部の下面の一端部分に、第二の保持溝は基部の上面の一端部分に、それぞれ設けた例として示されているが、設置位置はこれらに限られるものではなく、基部の上下面を逆にしても差し支えなく、また、一端ではなく、内部部分でも差し支えない。
このように、RFIDタグの指向性を変えて保持することができるので、RFIDタグの送受信設備仕様(送受信方向)の異なる工場でも、RFIDタグの向きを変えることで対応可能となる。

0023

上記RFIDタグは、円筒状のRFIDタグであり、これを保持するための保持溝を設けたが、フィルム状のRFID(図示せず)を使用する場合は、基部の平坦部や前面壁部の平坦部に熱シールや、超音波シールあるいは、接着剤を介して、貼り付けることができる。また、こうしたフィルム状のRFIDタグを覆うように、保護フィルムを設けることもできる。

0024

基部の一端の中央部付近には、ここからほぼ垂直に立ち上がるバーコード表示壁面29(図3)が形成されている。このバーコード表示壁面29には、バーコードラベルを貼り付けたり、レーザーマーキングで直接書き込んだりすることもできる。バーコードは、PDF、QR、DATA MATRIX等の二次元バーコードでも良い。
また、バーコードラベルの表面に保護フィルムを加熱シール等で貼り付けても良い。

0025

基部の一端の両側には、バーコード表示壁面よりも高い位置でこれを取り囲むように直立した一対のカードケース保持部30と、バーコード表示壁面の裏面側に位置して、カードケース保持部30に指し込まれたカードケース33(図5)が抜け落ちないようにこれを支える一対の支柱部31を有する。支柱部のカードケースの下端部近傍には、保持部との間でカードケースを撓ませて保持するためにカードケースに向かって突出する突起34を設けることができる(図5)。この突起の突出量によってカードケースの保持力を調整することができる。また、バーコード表示壁面の上辺の内側もカードケース中央部の撓みを防止することができる。カードケース保持部30と支柱部31との間には、細長い空間部32が形成されていて、基板収納容器の背面から内部に収納された基板を全数確認可能となる。

0026

図9は、識別部品保持部材に工程管理表を取り付けた状態を表すものであり、一対のカードケース保持部30に挟持されて、カードケース33が保持されて示されている。カードケースは、一端に開口を有する透明なシート状の筐体と、開口部から筐体に挿入されるカード状の工程連絡表や、工程管理表からなる。このように、カードケースを使って連絡表などを表示することで、小ロットや、緊急試作等の場合の作業員確認ミスを防止することができる。

0027

図示例では、バーコードを表示する表面・カードケースを保持するカードケース保持部・RFIDタグを保持する保持部(第1および第2の保持溝)・インフォパッド(部品)を保持する貫通孔を全て兼ね備え、且つ水切貫通孔をも備えた例を示しているが、必ずしもこれに限られるものではなく、識別部品の任意の2種類以上に対応することでも、コストダウンや、部品の在庫や製品管理が容易で、急な仕様変更にも対応可能となる効果が得られるのは言うまでもない。また、識別部品の2種類以上に対応していれば、水切貫通孔の有無に関係なく、効果は得られる。

0028

本発明によれば、他種類の識別部品に対応することができるので、企業・工場・ラインにおける識別システム差異に拘わらず、キャリアケースを兼用することができるので、キャリアケースの保管・管理に気を遣う必要が無くなり、基板を移送・保管等を行う技術分野に裨益する処大である。

図面の簡単な説明

0029

本発明の実施形態の基板収納容器を表す展開斜視図である。
本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す斜視図である。
本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す正面図である。
本発明の実施形態の識別部品保持部材を表す平面図である。
本発明の識別部品の保持部のコーナー部拡大説明斜視図である。
本発明の実施形態の識別部品保持部材を容器本体に取り付けた状態を表す底面図である。
(a)は本発明の一実施の形態の識別部品(インフォパッド)を表す斜視図であり、(b)は本発明の他の実施の形態の識別部品(インフォパッド)を表す斜視図である。
(a)は本発明の一実施の形態の識別部品(RFIDタグ)を表す平面図、(b)は同部分断面図であり、(c)は本発明の他の実施の形態の識別部品(RFIDタグ)を表す説明立面図である。
本発明の実施形態の識別部品保持部材に工程管理表を取り付けた状態を表す説明斜視図である。

符号の説明

0030

1:容器本体
2:蓋体
3:基板支持部
4:(識別部品の)保持部材
5:係止溝
6:基部
7:前面壁部
8:側壁部
9:固定部
10:係止爪
11:U字状切欠部
12:貫通孔
13:外周円
14:内周円
15:段差部
16:インフォパッド(部品)
17:平坦部
18:円筒部
19:固定爪
20:支持部
21:(基部の)平坦面
22:リブ
23:水切穴(水切貫通孔)
24:RFIDタグ
25:第一の保持溝
26:(第一の保持溝用の)係止突起
27:第二の保持溝
28:(第二の保持溝用の)係止突起
29:バーコード表示壁面
30:カードケース保持部
31:支柱部
32:空間部
33:カードケース
34:突起

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